TWI591689B - 紫外光解膠裝置 - Google Patents

Description

紫外光解膠裝置

本發明乃是關於一種紫外光解膠裝置，特別是指一種解膠裝置，利用紫外光以降低晶圓與其底面膠膜間的黏膠黏性，以方便由膠膜上取出晶圓切割後的晶粒。

在工業製程上，常常會有需要預先固定工件，再進行加工處理，最後完全固定或脫離工件的製程。在預先固定的製程中，最常使用的接著劑為感壓膠，加工完成後再以紫外(Ultraviolet,UV)光照射後，感壓膠進一步反應便會失去黏性，得以輕易的將膠帶取下，完成解膠的動作。

舉例而言，為方便切割晶圓以及進行其他構裝製程，晶圓通常預先黏著固定於膠膜上，膠膜的外周緣固定於一固定環框(ring)，以方便運送晶圓。當晶圓要進行後續製程步驟，再藉解膠裝置對黏著晶圓的膠膜照射紫外線，以降低膠膜上的黏膠對晶圓的黏著性，藉此可供製程設備從膠膜上取出晶粒進行預定的製程步驟。

習知的晶圓解膠裝置是在一基座內平行地設置多個紫外線燈管。當進行晶圓解膠作業時，將晶圓連同其底面的膠膜利用固定環框置放於基座上定位，再利用燈管點亮時產生的紫外線照射於上方的晶圓底面膠膜，以降低晶圓與膠膜間的黏膠的黏著性。

然而，上述晶圓解膠裝置是以固定位置的紫外線燈管發出紫外線，再照射固定於紫外線燈管上方的晶圓底面膠膜。此種紫外 線的照射方式，因紫外線燈管平行排列方式以及紫外線燈管兩端光強度較弱，難以使紫外線均勻照射晶圓及其膠膜間之黏膠，以致解膠品質不佳之問題。

另一面，有些技術以紫外線發光二極體(UV LED)取代紫外線燈管，然而紫外線發光二極體為點狀光源，仍然存在照射不均勻的問題。即使多個紫外線LED密集的安排成一面光源，面光源之間也存在間隙，有待加以解決。

本發明所要解決的技術問題，在於提供一種紫外光解膠裝置，將紫外光完全照射於黏貼晶圓的膠膜區域，以提高解膠品質，並縮短解膠時間(glue peptization time)。

為了解決上述技術問題，根據本發明之其中一種方案，提供一種紫外光解膠裝置，包括一承載座；一紫外光燈條，係包括多個紫外光LED晶片，該多個紫外光LED晶片照向該承載座，其中該多個紫外光LFD晶片共同形成一幾何中心；及一轉動機構，係沿著一偏離該幾何中心的軸心轉動上述紫外光燈條。

本發明具有以下有益效果：本發明藉由轉動上述紫外光燈條可將紫外光完全照射黏貼晶圓的膠膜區域，改善現有晶圓解膠裝置對膠膜與晶圓間之黏膠照光不均勻的問題，還可以更縮短解膠時間。

為了能更進一步瞭解本發明為達成既定目的所採取之技術、方法及功效，請參閱以下有關本發明之詳細說明、圖式，相信本發明之目的、特徵與特點，當可由此得以深入且具體之瞭解，然而所附圖式與附件僅提供參考與說明用，並非用來對本發明加以限制者。

100‧‧‧紫外光解膠裝置

10‧‧‧機箱

12、16‧‧‧按鈕

14‧‧‧顯示器

20‧‧‧承載座

21‧‧‧限位框架

22‧‧‧透明載板

30、30a‧‧‧紫外光燈條

31‧‧‧基板

32、33、35、37、39‧‧‧紫外光LED面光源

321、331、391‧‧‧紫外光LED晶片

40‧‧‧轉動機構

50‧‧‧蓋板

60‧‧‧指示燈

C‧‧‧幾何中心

X‧‧‧軸心

G‧‧‧間隙

圖1為本發明之紫外光解膠裝置的立體圖。

圖2為本發明之紫外光解膠裝置的照射區域的俯視圖。

圖3為本發明的紫外光燈條轉動第一角度的照明軌跡示意圖。

圖4為本發明的紫外光燈條轉動第二角度的照明軌跡示意圖。

圖5為本發明的紫外光燈條轉動第三角度的照明軌跡示意圖。

圖6為本發明的紫外光燈條的完整照明軌跡示意圖。

圖7為本發明之紫外光解膠裝置的照射區域另一實施例的俯視圖。

請參考圖1，為本發明之紫外光解膠裝置的立體圖。本發明提供一種紫外光解膠裝置100，其包括一機箱10、一承載座20、一紫外光燈條30、一轉動機構40、一蓋板50、及一指示燈60。機箱10配置有按鈕12、16、及顯示器14。

本實施例的承載座20配置於機箱10的頂面，用以承載一待解膠的物件(圖略)，例如黏貼晶圓的膠膜。承載座20位於紫外光燈條30的上方。承載座20包括一限位框架21、及一透明載板22。蓋板50可移動地置於承載座20上方，本實施例的蓋板50是可翻轉地連接於機箱10的一側，用以覆蓋於待解膠的物件(圖略)的上方。然而，本發明的承載座20不限制於上述方式，例如也可以是類似抽屜的載盤結構，將待解膠的物件載入紫外光解膠裝置內。此種實施方式，可省略蓋板。

請參閱圖2，紫外光燈條30包括多個紫外光LED晶片321。本實施例的安排方式，紫外光燈條30包括一基板31、及多個紫外光LED面光源32分佈於基板31上，該些紫外光燈條30提供紫外線照向承載座20。該多個紫外光LED晶片321分佈於該多個紫外光LED面光源32上。上述多個紫外光LED晶片321共同形成一幾何中心C。上述轉動機構40沿著一偏離該幾何中心C的軸心X轉動上述紫外光燈條30。本實施例中，上述多個紫外光LED面 光源32呈矩形，並且具有相同的面積，數量為奇數個，例如五個，呈等間距分佈於基板31上。同時，上述多個紫外光LED面光源32之間形成偶數個間隙G。對於本實施例矩形的紫外光燈條30而言，上述幾何中心C是長邊的中線與短邊的中線的交叉處。

本實施例的特徵之一在於，其中上述多個紫外光LED面光源32相對於軸心X呈不對稱排列，並且上述多個紫外光LED面光源32之間的間隙G相對於上述軸心X呈不對稱排列。上述軸心X偏離紫外光燈條30的幾何中心C的距離，較佳以不超過一個紫外光LED面光源32的一半寬度即可。如此安排的優點在於，沿著軸心X的二側，各有照明的紫外光LED面光源32，在轉動紫外光燈條30的過程，軸心X都可提供紫外光照明，可以更縮短解膠時間。本發明藉由上述安排，當轉動機構40沿著軸心X轉動上述紫外光燈條30時，紫外光LED面光源32發出的紫外光可以互補地照射待解膠的物件(圖略)，如黏貼晶圓的膠膜。

依本發明的圖2實施例為例，紫外光LED面光源32的配置，共有四個間隙G。軸心X的二側各有二個間隙G。沿著軸心X，對稱於左邊的二個間隙G的右邊位置，是紫外光LED面光源32的照射區；另外，對稱於右邊的二個間隙G的左邊位置，也是紫外光LED面光源32的照射區。左邊的二個間隙G在初步轉動過程是紫外光空白區，當右邊的紫外光LED面光源32轉動一些角度，即可涵蓋到上述紫外光空白區。類似的情況，右邊的二個間隙G在初步轉動過程是紫外光空白區，當左邊的紫外光LED面光源32轉動將近180度，即可涵蓋到上述紫外光空白區。

請參閱圖3至圖6，為本實施例模擬上述紫外光燈條30沿著軸心X轉動過程所涵蓋的照射軌跡圖。藉由上述的安排，當轉動紫外光燈條30之後，如圖3所示，顯示該些紫外光LED面光源32沿著軸心X依逆時針方向轉動約30度，紫外光所掃過的區域呈多個弧形區塊。

如圖4所示，顯示該些紫外光LED面光源32，繼續依逆時針方向，沿著軸心X轉動約60度，紫外光所掃過的區域呈多個弧形區塊。此時，軸心X左邊最近的紫外光空白區，有一些部分已開始被覆蓋，亦即有紫外光的照射。

如圖5所示，顯示該些紫外光LED面光源32，再繼續依逆時針方向，沿著軸心X轉動約150度，紫外光所掃過的區域呈多個弧形區塊。最靠近軸心X左邊的間隙G產生的紫外光空白區已幾乎被紫外光掃描過，只剩下三條弧形狀的紫外光空白區。此時，該多個紫外光LED面光源32開始掃描上述剩下的三條弧形狀的紫外光空白區。

本實施例的上述紫外光燈條30一種較佳的掃描方式，其中該轉動機構40(如圖1所示)轉動上述紫外光燈條30的角度大約等於360度，並且呈逆時針方向及順時針方向來回轉動，例如先順時針轉動360度，再加上逆時針轉動360度。此種優點在於，紫外光燈條30的電源線安排較為安全，不會被重覆沿著同方向扭轉電源線。

如圖6所示，顯示該些紫外光LED面光源32，由0度位置，先依逆時針方向沿著軸心X轉動約+θ角，然後回到0度位置，再依順時針方向沿著軸心X轉動約-θ角。紫外光所掃過的區域呈多個弧形區塊，完全重疊，沒有紫外光的空白區。本實施例一種較佳的安排，其中該轉動機構40轉動上述紫外光燈條30的過程，較佳是呈一個方向(例如逆時針方向)轉動180度以上，然後，紫外光燈條30沿著反方向回到原點後，該轉動機構40再轉動上述紫外光燈條30沿另一方向(例如順時針方向)再轉動180度以上。當有需要時，本發明可以再重覆上述掃描過程，以達到解膠必需的紫外光強度(UV intensity)。

由於該多個紫外光LED面光源32之間的間隙G相對於上述軸心X呈不對稱排列，該些間隙G轉動後不會形成圓環狀的紫外 光空白區。

如圖6所示，當上述多個紫外光LED面光源32為相同功率的情況下，相同功率的紫外光在相同的時間裏掃過的面積不盡相同。此外，有些部分被重覆地掃描過。因此本實施例可以設定距離軸心X最遠的紫外光LED面光源32掃描後的紫外光強度(UV intensity)足以達到解膠的需求。

本實施例的紫外光解膠裝置100另一種可變化的方式，其中距離上述軸心X較遠的該紫外光LED面光源32的功率可以大於距離上述軸心X較近的該紫外光LED面光源32的功率。藉此，在轉動紫外光燈條30過程，可以更均勻地照射每一區域。承上，一種可行的方式，其中紫外光燈條30距離上述軸心X較遠區域的紫外光LED晶片數量大於距離上述軸心X較近區域的紫外光LED晶片數量。

請參閱圖7，為本發明之紫外光解膠裝置具有另一種紫外光燈條30a，其中該紫外光燈條30a大致呈梯形(trapezoid)，並具有紫外光LED面光源33、35、37、39。該些紫外光LED面光源33、35、37、39分別具有不同的面積，可以提供不同的照明功率。紫外光LED面光源39的紫外光LED晶片391數量大於紫外光LED面光源33的紫外光LED晶片331數量。該紫外光燈條30a具有一幾何中心C，轉動機構40沿著偏離該幾何中心C的軸心X轉動上述紫外光燈條30a。可變化的，此實施例的紫外光燈條也可以是扇形、或三角形。

本發明之特點及功能在於，本發明藉由轉動機構40沿著一偏離該幾何中心C的軸心X轉動上述紫外光燈條30，其中多個紫外光LED面光源32相對於軸心X呈不對稱排列，多個紫外光LED面光源32之間的間隙G相對於軸心X呈不對稱排列，藉此可將紫外光完全照射黏貼晶圓的膠膜區域，改善現有晶圓解膠裝置照光不均勻的問題，還可以更縮短解膠時間。

以上所述僅為本發明之較佳可行實施例，凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾，皆應屬本發明之涵蓋範圍。

100‧‧‧紫外光解膠裝置

10‧‧‧機箱

12、16‧‧‧按鈕

14‧‧‧顯示器

20‧‧‧承載座

21‧‧‧限位框架

22‧‧‧透明載板

30‧‧‧紫外光燈條

31‧‧‧基板

32‧‧‧紫外光LED面光源

40‧‧‧轉動機構

50‧‧‧蓋板

60‧‧‧指示燈

Claims (9)

1. 一種紫外光解膠裝置，包括：一承載座；一紫外光燈條，包括多個紫外光LED晶片，該多個紫外光LED晶片照向該承載座，其中該多個紫外光LED晶片共同形成一幾何中心，且該多個紫外光LED面光源相對於上述軸心呈不對稱排列，並且該多個紫外光LED面光源之間的間隙相對於上述軸心呈不對稱排列；及一轉動機構，沿著一偏離該幾何中心的軸心轉動上述紫外光燈條。
2. 如請求項1所述之紫外光解膠裝置，其中該紫外光燈條包括一基板、及多個紫外光LED面光源分佈於該基板上，該多個紫外光LED晶片分佈於該多個紫外光LED面光源上。
3. 如請求項2所述之紫外光解膠裝置，其中距離上述軸心較遠的該紫外光LED面光源的功率大於距離上述軸心較近的該紫外光LED面光源的功率。
4. 如請求項1所述之紫外光解膠裝置，其中該紫外光解膠裝置還包括一蓋板，該蓋板可移動地置於該承載座上方。
5. 如請求項1所述之紫外光解膠裝置，其中該承載座位於該紫外光燈條的上方，該承載座包括一限位框架、及一透明載板。
6. 如請求項1所述之紫外光解膠裝置，其中該轉動機構轉動上述紫外光燈條的角度小於360度，並且呈順時針方向及逆時針方向來回轉動。
7. 如請求項1所述之紫外光解膠裝置，其中該轉動機構轉動上述紫外光燈條的角度沿一方向轉動180度以上，轉動上述紫外光燈條回到原點後，上述紫外光燈條再沿另一方向轉動180度以上。
8. 一種紫外光解膠裝置，包括： 一承載座；一紫外光燈條，包括多個紫外光LED晶片，該多個紫外光LED晶片照向該承載座，其中該多個紫外光LED晶片共同形成一幾何中心；及一轉動機構，沿著一偏離該幾何中心的軸心轉動上述紫外光燈條，其中該紫外光燈條距離上述軸心較遠區域的紫外光LED晶片數量大於距離上述軸心較近區域的紫外光LED晶片數量。
9. 如請求項8所述之紫外光解膠裝置，其中該紫外光燈條呈梯形、扇形、或三角形。