TWI589869B - 感測裝置及該感測裝置之電極試片 - Google Patents

Description

感測裝置及該感測裝置之電極試片

本發明涉及電化學領域，尤其涉及應用電化學原理之感測裝置及感測裝置之電極試片。

電化學的三電極系電解槽的感測方式藉由感測化學能的變化，轉換為電訊號以進行後續的各種分析，例如反應速率分析、濃度分析、腐蝕速率分析等等。隨著印刷電路的發展，電極可以藉由印刷技術印刷於基板上形成電極試片，由於試片上的印刷電極很小，故可以對小量的樣品、低化學變化量、低電流的量測條件進行感測。進一步地，透過附加觸媒或酵素等反應材料，電極試片可以用於感測血糖感測、膽固醇感測、食物殘存的亞硝酸鹽、甚至流感快篩等生物醫學的應用。

習用技術的電極試片上包含工作電極，工作電極以印刷方式形成，工作電極的一部分曝露於樣品或電解溶液中進行感測，其他的部分則被絕緣層所遮蓋。現今絕緣層的印刷技術上可能產生位移、或是歪斜的偏差的問題，這將導致每個電極試片曝露出於樣品或電解溶液中之工作電極的面積不一致。這個問題會導致在同一條件下，各個電極試片感測的訊號值，例如，電流量或電流密度將會不同，進而影響了最終輸出的感測值。由於印刷製程的偏差及不穩定性，電極試片的感測準確度及穩定性、以及輸出的感測值都受到質疑。

為了解決現有技術上的問題，提升感測的訊號值的穩定性及準確度，避免感測面積因製程誤差的影響。本發明的目的在於提供一種感測裝置及感測裝置使用之電極試片。依據一實施例，感測裝置包括電極試片、參考電極、輔助電極、以及控制單元。電極試片包括基板、第一工作電極、第二工作電極、以及絕緣層。第一工作電極係位於基板上，包含第一線路部及電性耦接第一線路部的第一輸出墊。第二工作電極係位於基板上，包含第二線路部、第三線路部以及電性耦接第二線路部及第三線路部的第二輸出墊。第二線路部及第三線路部相距一間隙。絕緣層覆蓋第一線路部的至少一部分、第二線路部的至少一部分及第三線路部的至少一部分，絕緣層定義一開口而使得絕緣層未覆蓋間隙，以及間隙所對應的第一線路部。

控制單元電性耦接第一輸出墊、第二輸出墊、參考電極、及輔助電極，控制單元用以提供預定電壓位準至參考電極，並偵測第一工作電極提供的第一訊號值及第二工作電極提供的第二訊號值，控制單元根據第一訊號值及第二訊號值的差值輸出感測值。也就是，控制單元利用第二訊號值與第一訊號值進行邏輯運算，以校正感測值，提升電極試片電極試片的感測準確度及感測穩定度。在此，至少以開口所露出的部分第一線路部進行感測，以偵測第一訊號值。由於第一線路部與第二線路部、第三線路部之間具有間隔不相互接觸，使得第一工作電極及第二工作電極於檢測相同樣品時能夠具有不同的訊號值，因此可以利用此非等於零之差值來進行校正。

在一實施例，開口具有相對的第一側邊與第二側邊，第一側邊橫跨第一線路部及第二線路部，第二側邊橫跨第一線路部及第三線路 部，第二線路部的延伸方向定義一第一軸向，第一軸向的垂直方向定義一第二軸向。第二線路部位於開口中末端的面積，與第一線路部沿第二軸向投影延伸至末端與第一側邊之間區段的面積實質相等。

在一實施例，開口具有相對的第一側邊與第二側邊，第一側邊橫跨第一線路部及第二線路部，第二側邊橫跨第一線路部及第三線路部，第二線路部的延伸方向定義第一軸向，第一軸向的垂直方向定義第二軸向。第二線路部位於開口中的末端定義一切線，切線切齊第二線路部位開口中的末端並且切過第一線路部，第一線路部位於切線以及第一側邊之間的面積實質上等於第二線路部位於開口中的末端與第一側邊之間的面積。也就是，即使在絕緣層位移或偏差，使第一工作電極位於開口中的感測總面積改變時，仍然能夠利用對應之第二線路部及第三線路部外露於開口的面積來校正，以使在控制單元在所輸出的感測值實質相同。

在一實施例中，第二工作電極另包含連接部，連接部電性耦接第二線路部及第三線路部，以使第二輸出墊與第二線路部、第三線路部電性耦接，絕緣層覆蓋連接部，也就是，連接部僅用於電性耦接，無關於第二線路部及第三線路部對第一線路部之訊號值校正。

在一實施例中，絕緣層具有側邊部，側邊部位於基板的一側，且側邊部位於第一側邊及第二側邊之間，側邊部覆蓋連接部的至少一部分。

在一實施例中，基板的一表面包含複數個溝槽，第一工作電極及第二工作電極係分別位於溝槽中，參考電極及輔助電極位於基板的表面上，與第一工作電極及第二工作電極具有高度差。換言之，參考電極、輔助電極係與第一工作電極、第二工作電極整合於電極試片中，且第一工作電極及第二工作電極嵌入於基板。藉此，能夠避免電極試片受到外力使 第一工作電極或第二工作電極從基板剝離、造成感測面積改變、以及影響所感測之第一訊號值或第二訊號值的問題。

更進一步地，電極試片包含第一工作電極、第二工作電極、參考電極及輔助電極，其中參考電極及輔助電極設置於基板上，且第二工作電極及參考電極分別位於第一工作電極的相對兩側，第二工作電極及輔助電極分別位於第一工作電極的相對兩側。

本發明另揭示一種感測裝置，包含基板、第一工作電極、第二工作電極以及絕緣層。第一工作電極位於基板上，用以根據受測標的產生第一訊號值，包含第一線路部。第二工作電極位於基板上，用以依據受測標的產生第二訊號值。第二工作電極包含第二線路部、第三線路部及連接部，第二線路部及第三線路部相距一間隙。連接部連接部電性耦接第二線路部及第三線路部。絕緣層覆蓋連接部、第一線路部的至少一部分、第二線路部的至少一部分及第三線路部的至少一部分。絕緣層定義一開口，使絕緣層未覆蓋間隙，也未覆蓋間隙所對應的第一線路部。藉此，感測裝置透過覆蓋於絕緣層的連接部連接第二線路部以及第三線路部，設置相互電性耦接的第二線路部以及第三線路部。

在一實施例中，感測裝置還包含控制單元，控制單元電性耦接第一工作電極及第二工作電極，控制單元用以接收第一訊號值及第二訊號值，並且根據第一訊號值及第二訊號值的差值產生感測值。

綜上所述，電極試片具有第一工作電極及第二工作電極，藉由第一工作電極之第一線路部的一部分對應於第二工作電極上第二線路部及第三線路部之間的間隙，感測裝置能夠藉由第二工作電極上間隙兩側露出的第二線路部及第三線路部所感測到的第二訊號值，對第一工作電極提供的第一訊號值進行校正，而能克服絕緣層的印刷誤差，維持電極試 片感測到的訊號值穩定。

10‧‧‧電極試片

100‧‧‧感測裝置

13‧‧‧第一工作電極

11‧‧‧基板

133‧‧‧第一線路部

131‧‧‧第一輸出墊

1331‧‧‧第一區

1333‧‧‧第二區

15‧‧‧第二工作電極

1335‧‧‧第三區

153‧‧‧第二線路部

151‧‧‧第二輸出墊

157‧‧‧連接部

155‧‧‧第三線路部

171‧‧‧開口

17‧‧‧絕緣層

1713‧‧‧第二側邊

1711‧‧‧第一側邊

175‧‧‧側邊部

30‧‧‧控制單元

50‧‧‧參考電極

501‧‧‧第三輸出墊

503‧‧‧參考電路

701‧‧‧第四輸出墊

70‧‧‧輔助電極

703‧‧‧輔助線路

A‧‧‧第一軸向

B‧‧‧長軸向

C‧‧‧第二軸向

D‧‧‧距離

D1‧‧‧距離

D2‧‧‧距離

D3‧‧‧距離

D4‧‧‧距離

F1‧‧‧切線

F2‧‧‧切線

G‧‧‧間隙

W1‧‧‧寬度

W2‧‧‧寬度

W3‧‧‧寬度

W4‧‧‧寬度

[圖1]為感測裝置一實施例之結構示意圖。

[圖2]為感測裝置另一實施例之結構示意圖。

[圖3A]為電極試片第一實施例之上視示意圖。

[圖3B]為電極試片第二實施例之上視示意圖。

[圖3C]為電極試片第三實施例之上視示意圖。

[圖3D]為電極試片第四實施例之上視示意圖。

[圖3E]為電極試片第五實施例之上視示意圖。

[圖4]為圖4A中5-5’剖面線之剖視示意圖。

[圖5A]為圖4B中6-6’剖面線第一實施例之剖面示意圖。

[圖5B]為圖4B中6-6’剖面線第二實施例之剖面示意圖。

[圖5C]為圖4B中6-6’剖面線第三實施例之剖面示意圖。

參閱圖1，係為感測裝置一實施例之結構示意圖。如圖1所示，在本實施例中，感測裝置100包含電極試片10、控制單元30、參考電極50及輔助電極70。在此，同時參考圖3A，電極試片第一實施例之上視示意圖。如圖1及圖3A所示，電極試片10包括基板11、第一工作電極13、第二工作電極15及絕緣層17。第一工作電極13位於基板11上，第一工作電極13包含第一輸出墊131及與第一輸出墊131電性耦接的第一線路部133。第二工作電極15位於基板11上，第二工作電極15包含第二輸出墊151及與第二輸出墊151電性耦接的第二線路部153及第三線路部155。第二線 路部153及第三線路部155相距間隙G，在此，第二工作電極15另包含一連接部157，連接部157於電性耦接第二線路部153及第三線路部155。第二工作電極15的第二線路部153及第三線路部155實質位於第一軸向A上，第一軸向A實質平行第一線路部133的長軸向B。

絕緣層17覆蓋第一線路部133的至少一部分、第二線路部153的至少一部分、第三線路部155的至少一部分及連接部157，絕緣層17定義開口171，絕緣層17未覆蓋間隙G，也未覆蓋間隙G所對應的第一線路部133，使得間隙G及部分的第一線路部133外露於開口171。第二線路部153與由第二輸出墊151連接，並延伸至間隙G的一端。第三線路部155由間隙G的另一端沿與第二輸出墊151相反的方向延伸。開口171係具有相對的第一側邊1711與第二側邊1713。第一側邊1711係橫跨第一線路部133及第二線路部153，第二側邊1713係橫跨第一線路部133及第三線路部155。在此說明的是，本文中所述“外露”或“露出”並非一定表示被完全暴露於空間之中，僅指被外露的部分未被絕緣層所完全覆蓋。

控制單元30電性耦接第一輸出墊131、第二輸出墊151、參考電極50、及輔助電極70。控制單元30用以提供一預定電壓位準至參考電極50，並偵測第一工作電極13提供的第一訊號值及第二工作電極15提供的第二訊號值。參考電極50提供一穩定電位，用以提供控制單元30的感測基準點。輔助電極70與第一工作電極13、第二工作電極15形成電化學之反應迴路。控制單元30根據第一訊號值及第二訊號值的差值輸出一感測值。在一實施例中，控制單元30可以為一邏輯電路，包含放大器及邏輯運算器，偵測到第一工作電極13及第二工作電極15提供的第一訊號值及第二訊號值後可加以放大，在由邏輯運算器根據第一訊號值及第二訊號值的差值輸出感測值。此外，若是第二工作電極15完全被絕緣層17所覆蓋的狀況 下，則控制單元30僅接收到第一訊號值，並僅依據第一訊號值輸出感測值。控制單元30，可以透過積體電路來實現，舉例而言，透過微控制器(MCU)，可程式化邏輯電路，類比/數位混核積體電路，特定應用積體電路(ASIC)等方式，搭配或不搭配軟體、韌體來實現。

再次參閱圖3A，如圖3A所示，第一線路部133包含第一區1331、第二區1333及第三區1335，其中第一區1331的一端與第一輸出墊131連接，並沿長軸向B延伸。第二區1333由第一區1331的另一端延伸，且對應於間隙G，也就是，第二區1333的兩端如圖3A的虛線所示，水平對應於間隙G的兩端。第三區1335由第二區1333沿長軸向B延伸，位於第二區1333相對於第一區1331的另一側。此外，第一區1331對應於第二線路部153、第三區1335對應於第三線路部155，也就是，從第一輸出墊131到第二區1333的距離與第二輸出墊151到間隙G的位置相同、從第二區1333另一端延伸的距離與從間隙G的另一端延伸的距離相同。在此，第一區1331的面積與第二線路部153的面積實質相同、第三區1335的面積與第三線路部155的面積實質相同。在此，實施相同的定義係指誤差值之小於0.05%。

換言之，開口171具有相對的第一側邊1711與第二側邊1713，第一側邊1711橫跨第一線路部133及第二線路部153，第二側邊橫1713跨第一線路133部及第三線路部155，第二線路部153的延伸方向定義第一軸向A，第一軸向的垂直方向定義第二軸向C。第二線路部153位於開口171中的末端定義一切線，如圖3A中第一區1331及第二區1333之間的虛線，在此，切線大致平行於第二軸向C，且切線F1切齊第二線路部153位於開口171中的末端並且切過第一線路部133，第一線路部133位於切線F1以及第一側邊1711之間的面積實質上等於第二線路部153位於開口171 中的末端與第一側邊1711之間的面積。進一步地，第三線路部155位於開口171中的末端定義另一切線F2，即圖3A中第三區1335及第二區1333之間的虛線，切線F2切齊第三線路部155位於開口171中的末端並且切過第一線路部133，第一線路部133位於切線F2以及第一側邊1711之間的面積實質上等於第三線路部155位於開口171中的末端與第二側邊1713之間的面積。

在圖1及圖3A所示的實施例中，參考電極50及輔助電極70可為外加式，可以用於感測樣品量較多的物質，例如，電解槽中的電解液。參閱圖2，係為感測裝置另一實施例之結構示意圖，並同時參閱圖3B，電極試片第二實施例之上視示意圖。如圖2及圖3B所示，參考電極50、輔助電極70、第一工作電極13、及第二工作電極15係整合於電極試片10之中，第一工作電極13、及第二工作電極15的技術與圖1、圖3A的技術雷同，在此不再贅述。參考電極50及輔助電極70係設置於基板11上，參考電極50包含一第三輸出墊501及電性耦接第三輸出墊501的一參考線路503。輔助電極70包含一第四輸出墊701及電性耦接第四輸出墊701的一輔助線路703。開口171外露出參考線路503的至少一部份及輔助線路703的至少一部分。控制單元30連接第一輸出墊131、第二輸出墊151、第三輸出墊501及第四輸出墊701。此方式可以將試片整合，而能對於樣品較少的狀況進行感測，例如，液滴狀的溶液。參閱圖3C，電極試片第三實施例之上視示意圖。同時參考圖3A，如圖3A及3C所示，第三實施例的電極試片10是第一實施例的變化，在3A圖所示的第一實施例中，第一區1331、第二區1333及第三區1335實質為線寬相等的同一線段。而在圖3C所示的第三實施例中，在第三實施例中，第一區1331與第二區1333的線寬不相等，第三區1335與第二區1333的線寬不相等。在第三實施例中，雖然線寬不相 同，但第一區1331與第二線路部153被開口171外露的面積實質相同，第三區1335與第三線路部155被開口171外露的面積實質相同。

在如圖3A至3C所示之實施例中，第一線路部133的寬度W1為10至25um、第二線路部153及第三線路部155的寬度W2為10至25um、較佳地，第一線路部133的寬度W1、第二線路部153及第三線路部155的寬度W2為15至20um。間隙G的長度為0.6至1mm、較佳地，間隙G的長度係0.8至1mm。另外，在圖3A及圖3C的實施例中，第一線路部133與第二線路部153或第三線路部155之間的距離D為0.08至0.2mm，較佳地為0.1至0.16mm。在此，電極試片10符合現今超微試片的規格，在感測上具有所需樣品少、反應快、平衡時間短及高靈敏度等優點，且對於固態、液態及氣態接可進行感測。

參閱圖3D，為電極試片第四實施例之上視示意圖。同時參閱圖3B，如圖3B及圖3D所示，圖3D所示的第四實施例為圖3B之第二實施例的變化，均為將參考電極50及輔助電極70整合於電極試片10的實施方式，僅在於排列的方式不相同。如圖3B所示，第一工作電極13的第一線路部133與參考線路503及輔助線路703相鄰，而第二線路部153及第三線路部155相鄰於輔助線路703，在此僅為示意，可以將第一工作電極13及第二工作電極15的位置對調，或是將參考電極50與輔助電極70的位置對調。參考線路503的線寬W3及輔助線路703的線寬W4為250um至350um，較佳地為300um至320um。在圖3B中，參考線路503與第一線路部133距離D1、輔助線路703與第一線路133之間的距離D2、輔助線路703與第二線路部153的距離D3為0.4mm至1mm之間，較佳為0.5至0.8mm。參考線路50及輔助線路70的線寬較大於第一線路部133、第二線路部153及第三線路部155。

如圖3D所示，在電極的配置方式與圖3B不相同，第一工作電極13的第一線路部133與第二工作電極15的第二線路部153、第三線路部155相鄰，且第一線路部133與參考電極50的參考線路503相鄰。在此僅為示例，可以將參考電極50與輔助電極70的位置對調，亦可將第二工作電極15與第一工作電極13的位置對調。在此實施例中，參考線路503與第一線路部133距離D4為0.4mm至1mm之間，較佳為0.5至0.8mm。參考線路50及輔助線路70的線寬較大於第一線路部133、第二線路部153及第三線路部155。

上述的距離D、D1、D2、D3及D4主要考量目前電極試片10的寬度規格在3至5mm，又因為絕緣層17印刷於與第一工作電極13、第二工作電極15、參考電極50及輔助電極70上時，因為材料的特性差異，可能造成開口171之第一側邊1711與第二側邊1713上的局部扭曲。此扭曲的誤差會隨著距離而減少，考量整體的規格，此距離能將印刷造成誤差透過幾何的比例關係，減少到可接受的誤差範圍內。在此，距離的關係為D<D1≦D2≦D3≦D4，參考電路503、輔助線路703、第一線路部133、第二線路部153的位置及相互之間的距離可考慮依上述的條件配置。

進一步地，由於控制器30主要偵測第一工作電極13及第二工作電極15上的感測值，在配置上，圖3D的配置僅需考慮第一線路部133與參考線路503因絕緣層17的距離D4之配置，相較圖3B須考量多個距離D1、D2、D3相對簡單。

進一步地，在圖1至3D的實施例當中，第一工作電極13及第二工作電極15可以為印刷方式製作，例如，利用碳膠、石墨膠等導電材料印刷，並乾燥成型。圖1的實施例中，可以採用甘汞電極(Calomel electrode)和銀/氯化銀電極(Ag/AgCl electrode)作為參考電極50導電材 料、可以採用白金線絲做為輔助電極70的導電材料。而如圖2、圖3B及圖3D的實施例，在參考電極50及輔助電極70整合於電極試片10之中時，參考電極50可以利用銀膠印刷形成、輔助電極70可以利用碳膠、石墨膠印刷形成、亦可採用白金。也就是，參考電極50與第一工作電極13及第二工作電極15為不同的導電材料，而輔助電極70與第一工作電極13及第二工作電極15可以為相同或不同的導電材料。

另外，參閱圖3E，電極試片第五實施例之上視示意圖。如圖3E所示，第五實施例為此為圖3A之第一實施例的變化，其差異在於第二工作電極15的第二線路部153及第三線路部155可以不位同一軸線上，然而，第二線路部153及第三線路部155仍大致平行第一線路部133。

參閱圖4，圖3A中5-5’剖面線之剖視示意圖。如圖4所示，第一工作電極13及第二工作電極15係嵌入於基板11中。嵌入的方式可以是在基板11的一表面形成複數個溝槽，藉由印刷方式，例如輥塗，將導電材料形成於溝槽中，使得在溝槽中形成第一工作電極13及第二工作電極15。也就是，從最終的產品可以看出第一工作電極13及第二工作電極15係位於溝槽中，而內嵌於基板11。藉由內嵌的方式，能避免電極試片10受到外力時，第一工作電極13或第二工作電極15從基板11剝離，而造成感測面積改變的問題，而能夠維持電極試片10感測的穩定性及準確度。

參閱圖5A至5C，為圖3B中6-6’剖面線第一實施例至第三實施例之剖面示意圖。如圖5A至5C所示，在整合第一工作電極13、第二工作電極15、參考電極50及輔助電極70的電極試片10，其堆疊的方式可以具有不同的實施方式，例如，如圖5A及圖5B所示，第一工作電極13、第二工作電極15、參考電極50及輔助電極70係位於同一平面，其中圖5A在基板11的表面形成溝槽，使第一工作電極13、第二工作電極15、參考 電極50及輔助電極70位於溝槽之中，而內嵌於基板11。如圖5B所示，第一工作電極13、第二工作電極15、參考電極50及輔助電極70係位於基板11的表面。如圖5C所示，圖5C的實施例之第一工作電極13及第二工作電極15位於溝槽中而嵌入於基板11中，參考電極50及輔助電極70係位於基板11的一表面上，參考電極50及輔助電極70與第一工作電極13及第二工作電極15具有一高度差。

基於上述的內容，可以理解的是，電極試片包含第一工作電極及第二工作電極，以第二工作電極中第二線路部及第三線路部之間的間隙對應第一線路部的一部分，控制單元能夠藉由第二線路部及第三線路部的感測的訊號值對第一工作電極的訊號值進行校正，從而能克服絕緣層印刷偏移的誤差，維持電極試片所能感測到的訊號值穩定，進而能夠維持實驗或感測的穩定性及一致性，確保感測值的可靠性。

雖然較佳實施例揭露如上所述，然其並非用以限定本發明，任何熟習相關技藝者，在不脫離本發明的範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。

10‧‧‧電極試片

11‧‧‧基板

13‧‧‧第一工作電極

131‧‧‧第一輸出墊

133‧‧‧第一線路部

1331‧‧‧第一區

1333‧‧‧第二區

1335‧‧‧第三區

15‧‧‧第二工作電極

151‧‧‧第二輸出墊

153‧‧‧第二線路部

155‧‧‧第三線路部

157‧‧‧連接部

17‧‧‧絕緣層

171‧‧‧開口

1711‧‧‧第一側邊

1713‧‧‧第二側邊

175‧‧‧側邊部

A‧‧‧第一軸向

B‧‧‧長軸向

C‧‧‧第二軸向

D‧‧‧距離

F1‧‧‧切線

F2‧‧‧切線

G‧‧‧間隙

Claims (11)

1. 一種感測裝置，包括：一電極試片，包括：一基板；一第一工作電極，位於該基板上，包含一第一線路部及電性耦接該第一線路部的一第一輸出墊；一第二工作電極，位於該基板上，包含一第二線路部、一第三線路部及電性耦接該第二線路部及該第三線路部的一第二輸出墊，該第二線路部及該第三線路部相距一間隙；以及一絕緣層，覆蓋該第一線路部的至少一部分、該第二線路部的至少一部分及該第三線路部的至少一部分，該絕緣層定義一開口而使該絕緣層未覆蓋該間隙，該絕緣層也未覆蓋該間隙所對應的該第一線路部；一參考電極；一輔助電極；以及一控制單元，電性耦接該第一輸出墊、該第二輸出墊、該參考電極及該輔助電極，該控制單元用以提供一預定電壓位準至該參考電極，並偵測該第一工作電極提供的一第一訊號值及該第二工作電極提供的一第二訊號值，該控制單元還用以根據該第一訊號值及該第二訊號值的差值，輸出一感測值。
2. 如請求項1所述之感測裝置，其中該開口具有相對的一第一側邊與一第二側邊，該第一側邊橫跨該第一線路部及該第二線路部，該第二側邊橫跨該第一線路部及該第三線路部，該第二線路部的延伸方向定義一第一軸向，該第一軸向的垂直方向定義一第二軸向，該第二線路部位於 該開口中的末端定義一切線，該切線平行該第二軸向、切齊該第二線路部位於該開口中的末端並且切過該第一線路部，該第一線路部位於該切線以及該第一側邊之間的面積實質上等於該第二線路部位於該開口中的末端與該第一側邊之間的面積。
3. 如請求項2所述之感測裝置，其中該第二工作電極另包含一連接部，該連接部電性耦接該第二線路部及該第三線路部，該絕緣層覆蓋該連接部。
4. 如請求項3所述之感測裝置，其中該絕緣層具有一側邊部，位於該基板的一側，且該側邊部位於該第一側邊及該第二側邊之間，該側邊部覆蓋該連接部的至少一部分。
5. 如請求項1或2所述之感測裝置，其中該基板的一表面包含複數個溝槽，該第一工作電極及該第二工作電極位於該溝槽中，該參考電極及該輔助電極位於該基板的該表面上，與該第一工作電極及該第二工作電極具有一高度差。
6. 一種電極試片，包含：一基板；一第一工作電極，位於該基板上，包含一第一線路部；一第二工作電極，位於該基板上，包含一第二線路部及一第三線路部，該第二線路部及該第三線路部相距一間隙；以及一絕緣層，覆蓋該第一線路部的至少一部分、該第二線路部的至少一部分及該第三線路部的至少一部分，該絕緣層定義一開口使該絕緣層未覆蓋該間隙，該絕緣層也未覆蓋該間隙所對應的該第一線路部。
7. 如請求項6所述之電極試片，其中該開口具有相對的一第一側邊與一第二側邊，該第一側邊橫跨該第一線路部及該第二線路部，該第 二側邊橫跨該第一線路部及該第三線路部，該第二線路部的延伸方向定義一第一軸向，該第一軸向的垂直方向定義一第二軸向，該第二線路部位於該開口中的末端定義一切線，該切線平行該第二軸向、切齊該第二線路部位於該開口中的末端並且切過該第一線路部，該第一線路部位於該切線以及該第一側邊之間的面積實質上等於該第二線路部位於該開口中的末端與該第一側邊之間的面積。
8. 如請求項6或7所述之電極試片，其中該第二工作電極另包含一連接部，該連接部電性耦接該第二線路部及該第三線路部，該絕緣層覆蓋該連接部。
9. 如請求項6或7所述之電極試片，另包含一參考電極及一輔助電極，該參考電極及該輔助電極設置於該基板上，該第二工作電極及該參考電極分別位於該第一工作電極的相對兩側，該第二工作電極及該輔助電極分別位於該第一工作電極的相對兩側。
10. 一種感測裝置，包含：一基板；一第一工作電極，位於該基板上，包含一第一線路部，用以根據一受測標的產生一第一訊號值；一第二工作電極，位於該基板上，用以依據該受測標的產生一第二訊號值，該第二工作電極包含一第二線路部、一第三線路部、以及一連接部，該第二線路部及該第三線路部相距一間隙，該連接部電性耦接該第二線路部及該第三線路部；以及一絕緣層，覆蓋該連接部、該第一線路部的至少一部分、該第二線路部的至少一部分及該第三線路部的至少一部分，該絕緣層定義一開口，使該絕緣層未覆蓋該間隙，也未覆蓋該間隙所對應的該第一線路部。
11. 如請求項10所述之感測裝置，還包含一控制單元，電性耦接該第一工作電極及該第二工作電極，該控制單元用以接收該第一訊號值及該第二訊號值，並且根據該第一訊號值及該第二訊號值的差值產生一感測值。