TWI584919B - 可程式氣動伺服馬達 - Google Patents

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TWI584919B
TWI584919B TW105115496A TW105115496A TWI584919B TW I584919 B TWI584919 B TW I584919B TW 105115496 A TW105115496 A TW 105115496A TW 105115496 A TW105115496 A TW 105115496A TW I584919 B TWI584919 B TW I584919B
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朱秀鋒
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中國氣動工業股份有限公司
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Description

可程式氣動伺服馬達
本發明係提供一種可程式氣動伺服馬達，尤指一種具有電動伺服馬達特性，不需編碼器卻可做緊急停止、正逆轉切換、加減速、角度定位及扭力控制等動作控制的氣動馬達。
目前電動工具或設備的扭力、轉速與角度的控制，主要是使用電動伺服馬達或無刷馬達，其扭力、轉速與角度訊號主要係經由編碼器偵測並回饋訊號到電動伺服馬達驅動器內部，進行訊號分析後，再經由數學程式編寫出所需之控制方程式以達到扭力、轉速、角度等控制。然而，在氣動工具產業中並無類似伺服功能的氣動馬達。
另外，一般氣動馬達的選用，主要是基於操作環境的考量。氣動馬達的應用面可擴及所有石化工廠、高粉塵場所、礦坑、海上鑽油平台、下水道、潮溼環境作業等…相關產業應用，主要是在於氣動馬達的獨特優點：一、過載不升溫、運轉沒火花、沒有觸電和短路的風險；二、體積小且重量輕~氣動馬達較相同體積之電動馬達輸出扭力更高。然而，氣動馬達的缺點在於：一、氣體具可壓縮性、高摩擦力、易於洩漏、非線性以至於不易控制；二、氣動馬達在氣源切斷後氣壓會殘留在管線內，餘壓會造成氣動馬達無法馬上停止，因此無法精確控制其動作；三、氣動馬達的轉速極高，至少6000RPM以上甚至超過每分鐘萬轉以上，因此無法使用編碼器做控制。目前所有的氣動 馬達都難以控制轉速、轉動角度、扭力，僅能做簡單的正逆轉切換動作。由於有不少工作環境還是無法使用電動伺服馬達做動作控制，因此造成產業界對氣動馬達伺服控制相關產品的需求越來越高。
因此，如何發明出一種具有電動伺服馬達特性，可做緊急停止、正反轉、加減速、角度定位、寸動及扭力控制等作業的氣動伺服馬達，將是本發明所欲積極揭露之處。
有鑑於上述習知技術之缺憾，發明人有感其未臻於完善，遂竭其心智悉心研究克服，進而研發出一種可以程式編碼控制其動作的氣動伺服馬達的裝置與控制系統，以期達到不需編碼器即可做急停、正反轉、加減速、角度定位、寸動及扭力控制等作業的目的。
為達上述目的及其他目的，本發明係提供一種可程式氣動伺服馬達，其包含：一氣動伺服馬達及一氣動伺服馬達驅動器；其中，該氣動伺服馬達包含：一氣動馬達，其具有一輸出軸；一煞車模組，其連接於該輸出軸；以及一感測模組，其連接於該輸出軸且具有一扭力、轉速及角度感測單元、一第一中央處理單元、一第一通訊單元、一第一輸入與輸出單元及一供電單元，該扭力、轉速及角度感測單元電性連接該第一中央處理單元以感測該氣動馬達的輸出軸的輸出端以輸出一扭力訊號、一轉速訊號及一角度訊號，該第一通訊單元電性連接該第一中央處理單元以對外傳輸該扭力訊號、該轉速訊號及該角度訊號，該第一輸入與輸出單元及該供電單元電性連接該第一中央處理單元；該氣動伺服馬達驅動器包含：一作動模組、一控制模組及一通訊模組，該控制模組具有一第二中央處理單元，該通訊模組具有電性連接該第二中央處理單元 的一第二通訊單元及一有線通訊單元，該作動模組具有電性連接該第二中央處理單元的一供氣壓力監控模組、一氣壓調節模組、一第三氣壓感測單元、一正反轉電磁閥及一煞車電磁閥，該作動模組經由一正轉供氣管路及一反轉供氣管路連接該氣動馬達，及經由一煞車供氣管路連接該煞車模組，及用以經由一供氣管路連接一供氣單元，該第二通訊單元接收該扭力訊號、該轉速訊號及該角度訊號至該第二中央處理單元以控制該作動模組，該有線通訊單元用以電性連接一外部控制器以控制該作動模組。
上述的可程式氣動伺服馬達中，該供電單元為利用有線充電方式或無線充電方式。
上述的可程式氣動伺服馬達中，該氣動伺服馬達驅動器具有電性連接該第二中央處理單元的一第二輸入輸出模組及一供電模組，該供電模組為利用有線充電方式或無線充電方式。
上述的可程式氣動伺服馬達中，該控制模組具有電性連接該第二中央處理單元的一記憶單元、一輸入單元、一顯示單元、一警示單元或其任意組合。
上述的可程式氣動伺服馬達中，該第三氣壓感測單元連接該正轉供氣管路及該反轉供氣管路。
上述的可程式氣動伺服馬達中，該供氣壓力監控模組為一氣壓限制閥或一第一氣壓感測單元且用以連接該供氣管路。
上述的可程式氣動伺服馬達中，該氣壓調節模組具有一第二氣壓感測單元、一氣壓比例控制閥及一氣壓壓力控制閥。
上述的可程式氣動伺服馬達中，該氣壓調節模組之第二氣壓感測單元連接該供氣壓力監控模組及該氣壓比例控制閥，該氣壓比例控制閥連接該氣壓壓力控制閥，該氣壓壓力控制閥連接該正反轉電磁閥。
上述的可程式氣動伺服馬達中，該第二中央處理單元控制該供氣壓力監控模組直接提供最大進氣壓力於該煞車模組以急煞即停，或該第二中央處理單元控制該煞車電磁閥以瞬間啟/閉點放方式進氣以控制該煞車模組。
上述的可程式氣動伺服馬達中，該正反轉電磁閥為相互獨立之一正轉電磁閥及一反轉電磁閥以配合該氣壓調節模組，以供該第二中央處理單元控制該氣動馬達正轉或反轉的輸出扭力。
藉此，本發明的可程式氣動伺服馬達，不需編碼器即可驅動氣動馬達做緊急停止、正反轉、加減速、角度定位及扭力控制等類似電動伺服馬達的動作。
1‧‧‧氣動伺服馬達
11‧‧‧氣動馬達
111‧‧‧正轉供氣管路
112‧‧‧反轉供氣管路
113‧‧‧輸出軸
12‧‧‧煞車模組
121‧‧‧煞車供氣管路
13‧‧‧感測模組
131‧‧‧第一中央處理單元
132‧‧‧扭力、轉速及角度感測單元
1321‧‧‧扭力訊號
1322‧‧‧轉速訊號
1323‧‧‧角度訊號
133‧‧‧第一通訊單元
134‧‧‧第一輸入輸出單元
135‧‧‧供電單元
136‧‧‧記憶單元
137‧‧‧輸出端
14‧‧‧傳動模組
2‧‧‧氣動伺服馬達驅動器
21‧‧‧作動模組
211‧‧‧供氣壓力監控模組
2111‧‧‧第一氣壓感測單元
2112‧‧‧氣壓限制閥
212‧‧‧氣壓調節模組
2121‧‧‧第二氣壓感測單元
2122‧‧‧氣壓比例控制閥
2123‧‧‧氣壓壓力控制閥
213‧‧‧第三氣壓感測單元
214‧‧‧正反轉電磁閥
2141‧‧‧正轉電磁閥
2142‧‧‧反轉電磁閥
215‧‧‧煞車電磁閥
22‧‧‧控制模組
221‧‧‧第二中央處理單元
222‧‧‧記憶單元
223‧‧‧輸入單元
224‧‧‧顯示單元
225‧‧‧警示單元
23‧‧‧通訊模組
231‧‧‧第二通訊單元
232‧‧‧有線通訊單元
24‧‧‧第二輸入輸出模組
25‧‧‧供電模組
3‧‧‧供氣單元
31‧‧‧供氣管路
4‧‧‧外部控制器
[圖1]係本發明較佳具體實施例可程式氣動伺服馬達之示意圖。
[圖2]係本發明較佳具體實施例可程式氣動伺服馬達控制流程之示意圖。
為充分瞭解本發明之目的、特徵及功效，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本發明做一詳細說明，說明如後：請參考圖1及圖2，如圖所示，本發明係提供一種可程式氣動伺服馬達，其包含一氣動伺服馬達1及一氣動伺服馬達驅動器2，該氣動伺服馬達1為可程式氣動伺服馬達的裝置，該氣動伺服馬達驅動器2為可程式氣動伺服馬 達的控制系統。該氣動伺服馬達1包含一氣動馬達11、一煞車模組12及一感測模組13。其中，該氣動馬達11具有一輸出軸113，該輸出軸113的自由端為一輸出端連接該感測模組13以感測該氣動馬達11輸出的扭力、轉速及旋轉角度。感測模組13的輸出端137可連接一傳動模組14；該煞車模組12連接於該氣動馬達11的輸出軸113的另一自由端，以使該輸出軸113停止或轉動，該煞車模組12可裝設於該氣動馬達11軸心延伸的傳動軸上，且該煞車模組12可為鼓式或碟式；該感測模組13具有一第一中央處理單元131、一扭力、轉速及角度感測單元132、一第一通訊單元133、一第一輸入輸出單元134、一供電單元135及一記憶單元136，該扭力、轉速及角度感測單元132電性連接該第一中央處理單元131，係藉以感測該氣動馬達11的輸出軸113的一扭力訊號1321、一轉速訊號1322及一角度訊號1323，該扭力、轉速及角度感測單元132可藉由一應變規(圖未示)或其他扭力感測元件偵測該氣動馬達11輸出軸113的扭力訊號1321以及可藉由一陀螺儀(圖未示)或其他轉速感測元件偵測該氣動馬達11輸出軸113的轉速訊號1322及角度訊號1323。該第一中央處理單元131可為一微處理器且以電性連接該記憶單元136(例如記憶體、隨身碟或記憶卡)以記憶該扭力訊號1321、該轉速訊號1322及該角度訊號1323，該第一通訊單元133電性連接該第一中央處理單元131，以對外傳輸該扭力訊號1321、該轉速訊號1322及該角度訊號1323，該第一通訊單元133可利用藍芽、紅外線、無線電波或WiFi…等以無線通訊方式傳輸資料或透過集電滑環(Slip Ring/Rotary Joint)(圖未示)連同該供電單元135與外部做有線通訊方式傳輸資料。另外，該集電滑環亦可提供該供電單元135採有線方式充電。藉此，本發明的氣動伺服馬達1可經由該煞車模組12以使該氣動馬達11的輸出軸113緊急停止；再者，本發明之氣動伺服馬達1結合該 煞車模組12及經由該扭力、轉速及角度感測單元132所測得之角度訊號1323，可使該氣動馬達11的輸出軸113定位於特定角度，或使該氣動馬達11做寸動；再者，本發明的氣動伺服馬達1可經由該扭力、轉速及角度感測單元132所測得之扭力訊號1321以控制該氣動馬達11的輸出軸113的輸出扭力。
請再參考圖2，如圖所示，上述的氣動伺服馬達1中，該供電單元135可利用無線充電方式充電以便持續供電於該扭力、轉速及角度感測單元132、該第一中央處理單元131、該第一通訊單元133、該第一輸入輸出單元134及該記憶單元136。另外，該供電單元135亦可利用有線充電方式充電。
請再參考圖1及圖2，如圖所示，該氣動伺服馬達驅動器2具有一作動模組21、一控制模組22及一通訊模組23，該控制模組22具有一第二中央處理單元221，該第二中央處理單元221可為一微處理器；該通訊模組23以電性連接該第二中央處理單元221，其內含一第二通訊單元231及一有線通訊單元232(例如USB或其他電連接埠)；該作動模組21以電性連接該第二中央處理單元221，其內含一供氣壓力監控模組211、一氣壓調節模組212、一第三氣壓感測單元213、一正反轉電磁閥214及一煞車電磁閥215，該作動模組21經由一正轉供氣管路111及一反轉供氣管路112連接該氣動馬達11，及經由一煞車供氣管路121連接該煞車模組12，及用以經由一供氣管路31連接一供氣單元3。該第二通訊單元231自該第一通訊單元133接收該扭力訊號1321、該轉速訊號1322及該角度訊號1323再傳遞至該第二中央處理單元221以控制該作動模組21，該第二通訊單元231可利用藍芽、紅外線、無線電波或WiFi…等以無線通訊方式接收資料或以有線通訊方式接收資料，另外，該氣動伺服馬達驅動器2亦可經由該有線通訊單元232電連接一外部控制器4(例如個人電腦或可程式控制器)以控制該 作動模組21，此時該第二中央處理單元221便可輔助該外部控制器4控制該作動模組21並與外部控制系統做連結。藉此，本發明的氣動伺服馬達1可經由該氣動伺服馬達驅動器2控制該煞車模組12以使該氣動馬達11的輸出軸113緊急停止或減速，而該氣動馬達11亦可藉由控制該正轉供氣管路111或該反轉供氣管路112的反向供氣而提升煞車效率；亦可由該第二中央處理單元221控制該供氣壓力監控模組211直接提供最大進氣壓力於該煞車模組12做急煞即停，或由該第二中央處理單元221控制該煞車電磁閥215做瞬間啟/閉點放方式進氣以控制該煞車模組12。另外，本發明的氣動伺服馬達1可經由該氣動伺服馬達驅動器2控制該氣動馬達11正轉或反轉，或加速或減速；再者，如該第二中央處理單元221需分別控制該氣動馬達11正轉或反轉的輸出扭力，則該正反轉電磁閥214亦可為相互獨立之一正轉電磁閥2141及一反轉電磁閥2142以配合該氣壓調節模組212。
如上所述，本發明的氣動伺服馬達1不需編碼器即可做緊急停止、正反轉、加減速、扭力控制及角度定位等作業。另外，由於本發明的氣動伺服馬達1具備電動伺服馬達的功能，因此本發明的氣動伺服馬達1可擴大應用於有安全防爆需求的伺服控制機構，例如：石化產業設備(如化學攪拌槽控制)或防爆排風扇控制或採礦設備等，其中使用在石化工廠、高粉塵場所、礦坑、海上鑽油平台、下水道場所等產業尤可降低工安事故發生；再者，本發明的氣動伺服馬達1也可加上減速機構而成為一台高階具有伺服馬達功能的氣動靜力式板手，其將可取代傳統的氣動靜力式板手做更精準的扭力感測甚至是可控制螺栓貼面後鎖緊角度等後續衍生性功能，進而使未來螺絲鎖固安全性達到各國 法規標準的需求；再者，本發明的可程式氣動伺服馬達可以模組型式擴大應用於各式氣動馬達，以有效提升其控制精度與產品價值。
請再參考圖1及圖2，如圖所示，上述的氣動伺服馬達驅動器2中，該氣動伺服馬達驅動器2具有電性連接該第二中央處理單元221的一第二輸入輸出模組24(例如USB或其他電連接埠)及一供電模組25(例如市電)。藉此，該氣動伺服馬達驅動器2可經由該第二輸入輸出模組24擴充連接其他外部電子裝置以對內傳輸資料或對外傳輸資料，該氣動伺服馬達驅動器2可經由該供電模組25供電，該供電模組25可利用有線充電方式充電或無線充電方式充電。
請再參考圖2，如圖所示，上述的氣動伺服馬達驅動器2中，該控制模組22具有電性連接該第二中央處理單元221的一記憶單元222(例如記憶體、隨身碟或記憶卡)、一輸入單元223(例如鍵盤或觸控螢幕)、一顯示單元224(例如液晶顯示器)、一警示單元225(例如警示燈或警示喇叭)或其任意組合。其中，該警示單元225可警示本發明的氣動伺服馬達1是否發生異常，該顯示單元224可顯示各種數據或訊息，該輸入單元223可輸入煞車命令、正轉或反轉命令、加速或減速命令、特定轉速命令、特定角度命令、寸動命令及特定扭力命令…等，該記憶單元222可記憶該扭力訊號1321、該轉速訊號1322及該角度訊號1323等控制相關的程式。
請再參考圖2，如圖所示，上述的氣動伺服馬達驅動器2中，該供氣壓力監控模組211連接該氣壓調節模組212且用以經由該供氣管路31連接該供氣單元3，該供氣壓力監控模組211可藉由一第一氣壓感測單元2111或一氣壓限制閥2112監控該供氣單元3所提供的氣壓是否合乎正常值，如發生異常，該供氣壓力監控模組211可經由該第二中央處理單元221或該外部控制器4控制該 正反轉電磁閥214及該煞車電磁閥215關閉或控制該警示單元225發出警示燈光或警示聲響；該氣壓調節模組212可具有一第二氣壓感測單元2121、一氣壓比例控制閥2122及一氣壓壓力控制閥2123，該第二氣壓感測單元2121可為一氣壓壓力感測器，該第二氣壓感測單元2121、該氣壓比例控制閥2122及該氣壓壓力控制閥2123電性連接該第二中央處理單元221，該第二氣壓感測單元2121連接該供氣壓力監控模組211及該氣壓比例控制閥2122，該氣壓比例控制閥2122連接該氣壓壓力控制閥2123，該氣壓壓力控制閥2123連接該正反轉電磁閥214及該煞車電磁閥215。藉此，該氣壓比例控制閥2122可根據該第二中央處理單元221的指令與該第二氣壓感測單元2121感測的氣壓，將該第二中央處理單元221輸入的電壓(或電流)依成比例(Proportional)的方式，將來自該供氣單元3的氣壓以增壓或洩壓的方式調節該氣壓壓力控制閥2123輸出至該正反轉電磁閥214及該煞車電磁閥215的氣壓，而達到調節氣壓的目的；第二中央處理單元221接收來自氣動伺服馬達1之感測模組13所偵測的扭力訊號1321、轉速訊號1322、角度訊號1323，以獲取氣動伺服馬達的即時狀況，並根據該即時狀況進行自動調節供氣壓力，以提高扭力、轉速、角度控制精準度。該氣壓調節模組212連接該正反轉電磁閥214及該煞車電磁閥215以調節該正反轉電磁閥214及該煞車電磁閥215的輸出氣壓，該正反轉電磁閥214經由該第三氣壓感測單元213、該正轉供氣管路111及該反轉供氣管路112連接該氣動馬達11以使該氣動馬達11正轉或反轉，該煞車電磁閥215則經由該煞車供氣管路121連接該煞車模組12以使該氣動馬達11的輸出軸113緊急停止或減速。藉此，本發明的氣動伺服馬達1可經由該作動模組21及該控制膜組22或該外部控制器4使該氣動馬達11的輸出軸113 做正確的轉速、扭力、轉向、角度控制，或使該氣動馬達11的輸出軸113停止。
請再參考圖2，如圖所示，上述的氣動伺服馬達驅動器2中，該第三氣壓感測單元213連接該正轉供氣管路111及該反轉供氣管路112，該第三氣壓感測單元213可為一氣壓壓力感測器。藉此，本發明的氣動伺服馬達1可經由該第三氣壓感測單元213感測輸入至該氣動馬達11的氣壓是否在容許範圍內。
請再參考圖2，如圖所示，上述的氣動伺服馬達驅動器2中，該供氣壓力監控模組211可為一第一氣壓感測單元2111或一氣壓限制閥2112，以監控該供氣單元3所提供的氣壓是否合乎正常值，該第一氣壓感測單元2111可為一氣壓壓力感測器；該氣壓調節模組212可具有一第二氣壓感測單元2121、一氣壓比例控制閥2122及一氣壓壓力控制閥2123，該第二氣壓感測單元2121可為一氣壓壓力感測器，該第二氣壓感測單元2121、該氣壓比例控制閥2122及該氣壓壓力控制閥2123電性連接該第二中央處理單元221，該第二氣壓感測單元2121連接該供氣壓力監控模組211及該氣壓比例控制閥2122，該氣壓比例控制閥2122連接該氣壓壓力控制閥2123，該氣壓壓力控制閥2123連接該正反轉電磁閥214及該煞車電磁閥215。藉此，該氣壓比例控制閥2122可根據該第二中央處理單元221的指令與該第二氣壓感測單元2121感測的氣壓，將該第二中央處理單元221輸入的電壓(或電流)依成比例(Proportional)的方式，將來自該供氣單元3的氣壓以增壓或洩壓的方式調節該氣壓壓力控制閥2123輸出至該正反轉電磁閥214及該煞車電磁閥215的氣壓，而達到調節氣壓的目的；該第二中央處理單元221接收來自該氣動伺服馬達1之感測模組13所偵測的扭力訊號1321、轉速訊號 1322、角度訊號1323，以獲取氣動伺服馬達1的即時狀況，並根據該即時狀況進行自動調節供氣壓力，以提高扭力、轉速、角度控制精準度。
本發明在上文中已以較佳實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本發明，而不應解讀為限制本發明之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此，本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。
1‧‧‧氣動伺服馬達
11‧‧‧氣動馬達
111‧‧‧正轉供氣管路
112‧‧‧反轉供氣管路
113‧‧‧輸出軸
12‧‧‧煞車模組
121‧‧‧煞車供氣管路
13‧‧‧感測模組
137‧‧‧輸出端
14‧‧‧傳動模組
2‧‧‧氣動伺服馬達驅動器
21‧‧‧作動模組
22‧‧‧控制模組
23‧‧‧通訊模組
24‧‧‧第二輸入輸出模組
25‧‧‧供電模組
3‧‧‧供氣單元
31‧‧‧供氣管路
4‧‧‧外部控制器

Claims (10)

  1. 一種可程式氣動伺服馬達，其包含：一氣動伺服馬達及一氣動伺服馬達驅動器；其中，該氣動伺服馬達包含：一氣動馬達，其具有一輸出軸；一煞車模組，其連接於該輸出軸；以及一感測模組，其連接於該輸出軸且具有一扭力、轉速及角度感測單元、一第一中央處理單元、一第一通訊單元、一第一輸入與輸出單元及一供電單元，該扭力、轉速及角度感測單元電性連接該第一中央處理單元以感測該氣動馬達的輸出軸的輸出端以輸出一扭力訊號、一轉速訊號及一角度訊號，該第一通訊單元電性連接該第一中央處理單元以對外傳輸該扭力訊號、該轉速訊號及該角度訊號，該第一輸入與輸出單元及該供電單元電性連接該第一中央處理單元；該氣動伺服馬達驅動器包含：一作動模組、一控制模組及一通訊模組，該控制模組具有一第二中央處理單元，該通訊模組具有電性連接該第二中央處理單元的一第二通訊單元及一有線通訊單元，該作動模組具有電性連接該第二中央處理單元的一供氣壓力監控模組、一氣壓調節模組、一第三氣壓感測單元、一正反轉電磁閥及一煞車電磁閥，該作動模組經由一正轉供氣管路及一反轉供氣管路連接該氣動馬達，及經由一煞車供氣管路連接該煞車模組，及用以經由一供氣 管路連接一供氣單元，該第二通訊單元接收該扭力訊號、該轉速訊號及該角度訊號至該第二中央處理單元以控制該作動模組，該有線通訊單元用以電性連接一外部控制器以控制該作動模組。
  2. 如請求項1所述之可程式氣動伺服馬達，其中該供電單元為利用有線充電方式或無線充電方式。
  3. 如請求項1所述之可程式氣動伺服馬達，其中該氣動伺服馬達驅動器具有電性連接該第二中央處理單元的一第二輸入輸出模組及一供電模組，該供電模組為利用有線充電方式或無線充電方式。
  4. 如請求項1所述之可程式氣動伺服馬達，其中該控制模組具有電性連接該第二中央處理單元的一記憶單元、一輸入單元、一顯示單元、一警示單元或其任意組合。
  5. 如請求項1所述之可程式氣動伺服馬達，其中該第三氣壓感測單元連接該正轉供氣管路及該反轉供氣管路。
  6. 如請求項1所述之可程式氣動伺服馬達，其中該供氣壓力監控模組為一氣壓限制閥或一第一氣壓感測單元且用以連接該供氣管路。
  7. 如請求項1所述之可程式氣動伺服馬達，其中該氣壓調節模組具有一第二氣壓感測單元、一氣壓比例控制閥及一氣壓壓力控制閥。
  8. 如請求項7所述之可程式氣動伺服馬達，其中該氣壓調節模組之第二氣壓感測單元連接該供氣壓力監控模組及該氣壓比例控制 閥，該氣壓比例控制閥連接該氣壓壓力控制閥，該氣壓壓力控制閥連接該正反轉電磁閥。
  9. 如請求項1所述之可程式氣動伺服馬達，其中該第二中央處理單元控制該供氣壓力監控模組直接提供最大進氣壓力於該煞車模組以急煞即停，或該第二中央處理單元控制該煞車電磁閥以瞬間啟/閉點放方式進氣以控制該煞車模組。
  10. 如請求項1所述之可程式氣動伺服馬達，其中該正反轉電磁閥為相互獨立之一正轉電磁閥及一反轉電磁閥以配合該氣壓調節模組，以供該第二中央處理單元控制該氣動馬達正轉或反轉的輸出扭力。
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