TWI557837B - Vacuum equipment multi-vehicle simultaneous multi-processing process - Google Patents

Description

真空設備多載具同時多工處理製程

本發明涉及一種表面處理真空製程，尤指一種真空設備多載具同時多工處理製程。

一般真空設備係用於鍍膜、蝕刻、表面處理等加工，其應用的領域有半導體、光電、電機、電子、民生用品等產業，過程中都需經過多道製程處理以便形成不同材質之膜層結構。為了達到高品質、高產能且低成本的作業目標，現有真空設備多為連續式真空設備。

現有的連續式真空製程設備40的結構如圖7所示，包括依序連接的一前段製程腔41、一製程前緩衝腔42、一製程腔43、一製程後緩衝腔44以及一後段製程腔45，素材係由該前段製程腔41處被送往該後段製程腔45的方向，其中間經過該製程腔43時進行表面處理的製程，如：鍍膜、蝕刻等表面處理，而該製程腔43又可根據不同的表面處理製程程序而設計成多個相連接的製程腔，操作過程中，該前段製程腔41以及該後段製程腔45可用於抽真空或是破真空，而該製程前緩衝腔42至該製程後緩衝腔44的部份僅能進行抽真空。

以該連續式真空製程設備40進行單一素材的單工製程請參閱圖7、圖8所示，該連續式真空製程設備40設有兩製程腔43(分別為第一製程腔43A與第二製程腔43B)，縱向方向顯示為時間方向，首先，第一素材A1位於該前段製程腔41處，並隨著時間的演進而往該後段製程腔45的方向行進，當第一素材A1完成製程而離開該後段製程腔45後，第二素材A2才由該前段製程腔41處進入 該製程前緩衝腔42內，而第一素材A1未離開該後段製程腔45之前，第二素材A2一直位於該前段製程腔41等待，第三素材A3的行程同第一素材A1與第二素材A2，完成圖8所示的製程的成品為三層的層狀結構：底層為素材，其上分別為於第一製程腔43A與第二製程腔43B處完成的薄膜，因此，藉由素材進行單向移動的方式，便可得到依序堆疊的薄膜，具有製程單一、產能快等優點，然而，由於需要增加製程腔43的數量才可提升產能，故卻有增加設備購置成本佔地空間等缺點。

另外，以該連續式真空製程設備40進行單一素材的多工製程請參閱圖9所示，該連續式真空製程設備40設有兩製程腔43(分別為第一製程腔43A與第二製程腔43B)，縱向方向顯示為時間方向，首先，第一素材A1位於該前段製程腔41處，並隨著時間的演進往該製程後緩衝腔44行進、再返回該製程前緩衝腔42、再前往該製程後緩衝腔44，最後由該後段製程腔45離開該連續式真空製程設備40，在第一素材A1尚未離開該連續式真空製程設備50之前，第二素材A2一直在該前段製程腔41內等待，而第二素材A2與第三素材A3的行程同第一素材A1，將於該第一製程腔處43A與該第二製程腔43B處完成的薄膜定義為第一薄膜與第二薄膜，則完成圖9所示的製程的成品為七層的層狀結構：底層為素材，其上依序為第一薄膜、第二薄膜、第二薄膜、第一薄膜、第一薄膜以及第二薄膜，因此，藉由素材進行來回的移動，便可得到任意組合的薄膜結構，對於任意組合之薄膜結構而言具有設備造價較低的優點，然而，卻需要較長的工時，而容易導致產能變慢，因此，所述的單一素材的單工製程與多工製程的缺點，實有改善之必要。

為解決現有用於連續式真空製程設備的製程的缺點，本發明的主要目的在於提供一種可解決現有技術問題的真空設備多載具同時多工處理製程。

本發明提供一種真空設備多載具同時多工處理製程，包括有：製備兩片以上的素材；製備一連續式真空製程設備：該連續式真空製程設備具有依序連接的一前段製程腔、一表面處理腔以及一後段製程腔，其中，該表面處理腔具有依序連接的一製程前緩衝腔、一第一製程腔、一第二製程腔以及一製程後緩衝腔；以及移動素材：將各素材由該前段製程腔處依序進入該連續式真空製程設備內，並且較早進入該表面處理腔的素材恆比較晚進入該表面處理腔的素材更靠近該後段製程腔，其中，各素材同時間在該表面處理腔內進行來回且個別的移動，其中，當各素材通過該第一製程腔與該第二製程腔時進行表面處理，最後各素材依序由該後段製程腔處離開該連續式真空製程設備。

所述之真空設備多載具同時多工處理製程，其中於製備兩片以上的素材的步驟中，總共製備兩片素材，且分別定義為第一素材與第二素材；於製備一連續式真空製程設備步驟中，在表面處理腔的第二製程腔與製程後緩衝腔之間進一步製備一第三製程腔，並且於第一製程腔與第三製程腔內進行的為相同的表面處理；於移動素材的步驟中：第一素材於前段製程腔進入表面處理腔，且移動於表面處理腔內的順序依序為製程前緩衝腔、製程後緩衝腔、製程後緩衝腔、製程後緩衝腔、第一 製程腔、製程後緩衝腔、第一製程腔、第二製程腔、製程後緩衝腔、第二製程腔以及製程後緩衝腔，最後進入後段製程腔，並且由後段製程腔離開連續式真空製程設備；以及當第一素材第一次位於製程後緩衝腔內時，第二素材位於前段製程腔內，當第一素材第二次位於製程後緩衝腔內，第二素材才進入表面處理腔內，並且第二素材於表面處理腔內的移動順序依序為製程前緩衝腔、第三製程腔、製程前緩衝腔、第三製程腔、製程前緩衝腔、製程前緩衝腔、第二製程腔、製程前緩衝腔、第二製程腔，並且當第一素材進入後段製程腔時，第二素材進入製程後緩衝腔，當第一素材離開連續式真空製程設備時，第二素材進入後段製程腔，最後由後段製程腔離開連續式真空製程設備。

所述之真空設備多載具同時多工處理製程，其中於製備兩片以上的素材的步驟中，總共製備兩片素材，且分別定義為第一素材與第二素材；於製備一連續式真空製程設備步驟中，在表面處理腔的第二製程腔與製程後緩衝腔之間進一步製備一第三製程腔，並且於第一製程腔與第三製程腔內進行的為相同的表面處理；於移動素材的步驟中：第一素材於前段製程腔進入表面處理腔，且移動於表面處理腔內的順序依序為製程前緩衝腔、第二製程腔、製程後緩衝腔、第三製程腔、製程後緩衝腔、第二製程腔、製程後緩衝腔，最後進入後段製程腔，並且由後段製程腔離開連續式真空製程設備；以及當第一素材第一次位於第二製程腔內時，第二素材位於前段製程腔內，當第一素材第一次位於製程後緩衝腔內，第二素材才進入表面處理腔內， 並且第二素材於表面處理腔內的移動順序依序為第二製程腔、製程前緩衝腔、第一製程腔、製程前緩衝腔、第二製程腔，並且當第一素材進入後段製程腔時，第二素材進入製程後緩衝腔，當第一素材離開連續式真空製程設備時，第二素材進入後段製程腔，最後由後段製程腔離開連續式真空製程設備。

所述之真空設備多載具同時多工處理製程，其中於製備兩片以上的素材的步驟中，總共製備兩片素材，且分別定義為第一素材與第二素材；於製備一連續式真空製程設備步驟中，在表面處理腔的第二製程腔與製程後緩衝腔之間進一步製備一第三製程腔，並且於第一製程腔與第三製程腔內進行的為相同的表面處理；於移動素材的步驟中：第一素材於前段製程腔進入表面處理腔，且移動於表面處理腔內的順序依序為製程前緩衝腔、第一製程腔、製程後緩衝腔、第二製程腔、製程後緩衝腔、第三製程腔、製程後緩衝腔，最後進入後段製程腔，並且由後段製程腔離開連續式真空製程設備；以及當第一素材第一次位於第一製程腔內時，第二素材位於前段製程腔內，當第一素材第一次位於製程後緩衝腔內，第二素材才進入表面處理腔內，並且第二素材於表面處理腔內的移動順序依序為第一製程腔、製程前緩衝腔、第二製程腔、製程前緩衝腔、第一製程腔，並且當第一素材進入後段製程腔時，第二素材進入製程後緩衝腔，當第一素材離開連續式真空製程設備時，第二素材進入後段製程腔，最後由後段製程腔離開連續式真空製程設備。

藉由上述的技術手段，本發明可達到的功效增進有：各素材同時間可在該表面處理腔內進行來回且個別的移動，可根據不同的薄膜結構設計各 素材在表面處理腔內的移動路徑，而得到任意組合的薄膜結構，故可利用較低造價的設備得到任意組合之薄膜結構，且同時間可有兩片以上的素材在表面處理腔內移動，可有效減少工時、提高產能。

10‧‧‧連續式真空製程設備

11‧‧‧前段製程腔

12‧‧‧表面處理腔

13‧‧‧後段製程腔

121‧‧‧製程前緩衝腔

122A‧‧‧第一製程腔

122B‧‧‧第二製程腔

122C‧‧‧第三製程腔

123‧‧‧製程後緩衝腔

T1、T1’、T1”‧‧‧第一時間

T2、T2’、T2”‧‧‧第二時間

T3、T3’、T3”‧‧‧第三時間

T4、T4’、T4”‧‧‧第四時間

T5、T5’、T5”‧‧‧第五時間

T6、T6’、T6”‧‧‧第六時間

T7、T7’、T7”‧‧‧第七時間

T8、T8’、T8”‧‧‧第八時間

T9、T9’、T9”‧‧‧第九時間

T10、T10’、T10”‧‧‧第十時間

T11、T11’、T11”‧‧‧第十一時間

T12‧‧‧第十二時間

T13‧‧‧第十三時間

T14‧‧‧第十四時間

T15‧‧‧第十五時間

S1、S1’、S1”‧‧‧第一素材

S2、S2’、S2”‧‧‧第二素材

S3、S3’、S3”‧‧‧第三素材

S、S’、S”‧‧‧素材

F1、F1’、F1”‧‧‧第一薄膜

F2、F2’、F2”‧‧‧第二薄膜

40‧‧‧連續式真空製程設備

41‧‧‧前段製程腔

42‧‧‧製程前緩衝腔

43‧‧‧製程腔

43A‧‧‧第一製程腔

43B‧‧‧第二製程腔

44‧‧‧製程後緩衝腔

45‧‧‧後段製程腔

A1‧‧‧第一素材

A2‧‧‧第二素材

A3‧‧‧第三素材

圖1為本發明第一較佳實施例之製程流程示意圖。

圖2為本發明第一較佳實施例製程之成品示意圖。

圖3為本發明第二較佳實施例之製程流程示意圖。

圖4為本發明第二較佳實施例製程之成品示意圖。

圖5為本發明第三較佳實施例之製程流程示意圖。

圖6為本發明第三較佳實施例製程之成品示意圖。

圖7為連續式真空製程設備之結構示意圖。

圖8為現有用於連續式真空製程設備的單素材單工製程流程示意圖。

圖9為現有用於連續式真空製程設備的單素材多工製程流程示意圖。

為能詳細瞭解本發明的技術特徵及實用功效，並可依照說明書的內容來實現，玆進一步以如圖式所示的較佳實施例，詳細說明如后：請參閱圖1所示，本發明提供的真空設備多載具同時多工處理製程係應用於一連續式真空製程設備10，該連續式真空製程設備10包括依序連接的一前段製程腔11、一表面處理腔12以及一後段製程腔13，其中，該表面處理腔12包括依序連接的一製程前緩衝腔121、一第一製程腔122A、一第二製程腔122B、一第三製程腔122C以及一製程後緩衝腔123，於該表面處理腔12內為進行表面處理加工處，或是，表面處理腔12可為多節串接，以符合製程之需要，另 外，本發明不侷限該表面處理腔12內各製程腔的數量，只要至少設有兩個製程腔即可實施。

在操作過程中，主要是該表面處理腔12製程流程與現有用於連續式真空製程設備的製程不同。該表面處理腔12內僅能進行抽真空，而該前段製程腔11與該後段製程腔13可進行抽真空或是破真空。另外，該第一製程腔122A與該第三製程腔122C內進行的製程為相同，亦即通過該第一製程腔122A與該第三製程腔122C可得到結構相同的薄膜，而為了區別則分別以第一與第三表示。另外，素材係由該前段製程腔11進入該連續式真空製程設備10，由該後段製程腔13離開該連續式真空製程設備10。

該真空設備多載具同時多工處理製程的第一較佳實施例，以下依照時間行進方向進行下述說明：1.第一時間T1：第一素材S1進入該前段製程腔11內；2.第二時間T2：第一素材S1進入該製程前緩衝腔121內進行前處理；3.第三時間T3：第二素材S2進入該前段製程腔11內，同時第一素材S1進入該製程後緩衝腔123內等待；4.第四時間T4：第二素材S2進入該製程前緩衝腔121內進行前處理，同時第一素材S1仍在該製程後緩衝腔123內等待；5.第五時間T5：第二素材S2進入該第三製程腔122C內進行表面處理，同時第一素材S1仍在該製程後緩衝腔123內等待；6.第六時間T6：第二素材S2進入該製程前緩衝腔121內進行後處理，同時第一素材S1進入第一製程腔122A內進行表面處理；7.第七時間T7：第一素材S1進入該製程後緩衝腔123進行後處理，同時第二素材S2進入第三製程腔122C內進行表面處理； 8.第八時間T8：第二素材S2進入該製程前緩衝腔121進行後處理，同時第一素材S1進入該第一製程腔122A內進行表面處理； 9.第九時間T9：第二素材S2在該製程前緩衝腔121內等待，第一素材S1進入該第二製程腔122B內進行表面處理；10.第十時間T10：第一素材S1進入該製程後緩衝腔123進行後處理，第二素材S2進入該第二製程腔122B內進行表面處理；11.第十一時間T11：第二素材S2進入該製程前緩衝腔121進行後處理，第一素材S1進入該第二製程腔122B內進行表面處理；12.第十二時間T12：第一素材S1進入該製程後緩衝腔123進行後處理，第二素材S2進入該第二製程腔122B內進行表面處理；13.第十三時間T13：第一素材S1進入該後段製程腔13，第二素材S2進入該製程後緩衝腔123進行後處理；14.第十四時間T14：第一素材S1離開該連續式真空製程設備10，第二素材S2進入該後段製程腔13；15.第十五時間T15：第二素材S2離開該連續式真空製程設備10，第三素材S3進入該前段製程腔11。

加工完成的成品如圖2所示，於一素材S上依序堆疊有一第一薄膜F1、一第一薄膜F1、一第二薄膜F2以及一第二薄膜F2。而第三素材S3、第四素材...等後續進入該連續式真空製程設備10的素材，由於製程流程同於第一素材S1與第二素材S2，故在此不再贅述。

該真空設備多載具同時多工處理製程的第二較佳實施例請參閱圖3所示，以下依照時間行進方向進行下述說明：1.第一時間T1’：第一素材S1’進入該前段製程腔內； 2.第二時間T2’：第一素材S1’進入該製程前緩衝腔121內進行前處理；3.第三時間T3’：第一素材S1’進入該第二製程腔122B內進行表面處理，同時第二素材S2’進入該前段製程腔11內；4.第四時間T4’：第一素材S1’進入該製程後緩衝腔123內進行後處理，同時第二素材S2’進入該第二製程腔122B內進行表面處理；5.第五時間T5’：第二素材S2’進入該製程前緩衝腔121內進行後處理，同時該第一素材S1’進入該第三製程腔122C內進行表面處理；6.第六時間T6’：第二素材S2’進入該第一製程腔122A內進行表面處理，同時第一素材S1’進入該製程後緩衝腔123內進行後處理；7.第七時間T7’：第二素材S2’進入該製程前緩衝腔121內進行後處理，同時第一素材S1’進入該第二製程腔122B內進行表面處理；8.第八時間T8’：第一素材S1’進入該製程後緩衝腔123內進行後處理，同時第二素材S2’進入該第二製程腔122B內進行表面處理；9.第九時間T9’：第二素材S2’進入該製程後緩衝腔123內進行後處理，同時第一素材S1’進入該後段製程腔13；10.第十時間T10’：第一素材S1’離開該連續式真空製程設備10，同時第二素材S2’進入該後段製程腔13；11.第十一時間T11’：第二素材S2’離開該連續式真空製程設備10，同時第三素材S3’進入該前段製程腔11。

加工完成的成品如圖4所示，於一素材S’上依序堆疊有第二薄膜F2’、第一薄膜F1’以及第二薄膜F2’。而第三素材S3’、第四素材...等後續進入該連續式真空製程設備的素材，由於製程流程同於第一素材S1’與第二素材S2’，故在此不再贅述。

該真空設備多載具同時多工處理製程的第三較佳實施例請參閱圖5所示，以下依照時間行進方向進行下述說明：1.第一時間T1”：第一素材S1”進入該前段製程腔11內；2.第二時間T2”：第一素材S1”進入該製程前緩衝腔121內進行前處理；3.第三時間T3”：第一素材S1”進入該第一製程腔122A內進行表面處理，同時第二素材S2”進入該前段製程腔11內；4.第四時間T4”：第一素材S1”進入該製程後緩衝腔123內進行後處理，同時第二素材S2”進入該第一製程腔122A內進行表面處理；5.第五時間T5”：第二素材S2”進入該製程前緩衝腔121內進行後處理，同時該第一素材S1”進入該第二製程腔122B內進行表面處理；6.第六時間T6”：第二素材S2”進入該第二製程腔122B內進行表面處理，同時第一素材S1”進入該製程後緩衝腔123內進行後處理；7.第七時間T7”：第二素材S2”進入該製程前緩衝腔121內進行後處理，同時第一素材S1”進入該第三製程腔122C內進行表面處理；8.第八時間T8”：第一素材S1”進入該製程後緩衝腔123內進行後處理，同時第二素材S2”進入該第一製程腔122A內進行表面處理；9.第九時間T9”：第二素材S2”進入該製程後緩衝腔123內進行後處理，同時第一素材S1”進入該後段製程腔13；10.第十時間T10”：第一素材S1”離開該連續式真空製程設備，同時第二素材S2”進入該後段製程腔13；11.第十一時間T11”：第二素材S2”離開該連續式真空製程設備，同時第三素材S3”進入該前段製程腔11。

加工完成的成品如圖6所示，於一素材S”上依序堆疊有一第一薄膜F1”、一第二薄膜F2”以及一第一薄膜F1”。而第三素材S3”、第四素材...等後續進入該連續式真空製程設備的素材，由於製程流程同於第一素材S1”與第二素材S2”，故在此不再贅述。

本發明提出的製程中，同時至少有兩片以上的素材S可於該表面處理腔12內進行表面處理，較早進入該表面處理腔12的素材S始終相對較晚進入該表面處理腔12的素材S更靠近該後段製程腔13(亦即較早進入該處面處理腔12的素材S與較晚進入該表面處理腔12的素材S無法交換彼此的前後關係)，並且依照製程需要在該表面處理腔12內進行來回且個別的移動，來回的次數則根據不同製程需求而設定，因此，兩片以上的素材S可位於該表面處理腔12內進行各自的製程，針對任意組合的薄膜結構，只要設計素材S通過指定的腔體便可達到。

10‧‧‧連續式真空製程設備

11‧‧‧前段製程腔

12‧‧‧表面處理腔

13‧‧‧後段製程腔

121‧‧‧製程前緩衝腔

122A‧‧‧第一製程腔

122B‧‧‧第二製程腔

122C‧‧‧第三製程腔

123‧‧‧製程後緩衝腔

T1‧‧‧第一時間

T2‧‧‧第二時間

T3‧‧‧第三時間

T4‧‧‧第四時間

T5‧‧‧第五時間

T6‧‧‧第六時間

T7‧‧‧第七時間

T8‧‧‧第八時間

T9‧‧‧第九時間

T10‧‧‧第十時間

T11‧‧‧第十一時間

T12‧‧‧第十二時間

T13‧‧‧第十三時間

T14‧‧‧第十四時間

T15‧‧‧第十五時間

S1‧‧‧第一素材

S2‧‧‧第二素材

S3‧‧‧第三素材

Claims (3)

1. 一種真空設備多載具同時多工處理製程，其包括有：製備兩片素材，且分別定義為第一素材與第二素材；製備一連續式真空製程設備：該連續式真空製程設備具有依序連接的一前段製程腔、一表面處理腔以及一後段製程腔，其中，該表面處理腔具有依序連接的一製程前緩衝腔、一第一製程腔、一第二製程腔、一第三製程腔以及一製程後緩衝腔，並且於第一製程腔與第三製程腔內進行的為相同的表面處理；以及移動素材：將各素材由該前段製程腔處依序進入該連續式真空製程設備內，並且較早進入該表面處理腔的素材恆比較晚進入該表面處理腔的素材更靠近該後段製程腔，其中，各素材同時間在該表面處理腔內進行來回且個別的移動，其中：第一素材於前段製程腔進入表面處理腔，且移動於表面處理腔內的順序依序為製程前緩衝腔、製程後緩衝腔、製程後緩衝腔、製程後緩衝腔、第一製程腔、製程後緩衝腔、第一製程腔、第二製程腔、製程後緩衝腔、第二製程腔以及製程後緩衝腔，最後進入後段製程腔，並且由後段製程腔離開連續式真空製程設備；以及當第一素材第一次位於製程後緩衝腔內時，第二素材位於前段製程腔內，當第一素材第二次位於製程後緩衝腔內，第二素材才進入表面處理腔內，並且第二素材於表面處理腔內的移動順序依序為製程前緩衝腔、第三製程腔、製程前緩衝腔、第三製程腔、製程前緩衝腔、製程前緩衝腔、第二製程腔、製程前緩衝腔、第二製程腔，並且當第一素材進入後段製程腔時，第二素材進入 製程後緩衝腔，當第一素材離開連續式真空製程設備時，第二素材進入後段製程腔，最後由後段製程腔離開連續式真空製程設備。
2. 一種真空設備多載具同時多工處理製程，包括有：製備兩片素材，且分別定義為第一素材與第二素材；製備一連續式真空製程設備：該連續式真空製程設備具有依序連接的一前段製程腔、一表面處理腔以及一後段製程腔，其中，該表面處理腔具有依序連接的一製程前緩衝腔、一第一製程腔、一第二製程腔、一第三製程腔以及一製程後緩衝腔，並且於第一製程腔與第三製程腔內進行的為相同的表面處理；以及移動素材：將各素材由該前段製程腔處依序進入該連續式真空製程設備內，並且較早進入該表面處理腔的素材恆比較晚進入該表面處理腔的素材更靠近該後段製程腔，其中，各素材同時間在該表面處理腔內進行來回且個別的移動，其中：第一素材於前段製程腔進入表面處理腔，且移動於表面處理腔內的順序依序為製程前緩衝腔、第二製程腔、製程後緩衝腔、第三製程腔、製程後緩衝腔、第二製程腔、製程後緩衝腔，最後進入後段製程腔，並且由後段製程腔離開連續式真空製程設備；以及當第一素材第一次位於第二製程腔內時，第二素材位於前段製程腔內，當第一素材第一次位於製程後緩衝腔內，第二素材才進入表面處理腔內，並且第二素材於表面處理腔內的移動順序依序為第二製程腔、製程前緩衝腔、第一製程腔、製程前緩衝腔、第二製程腔，並且當第一素材進入後段製程腔時，第二素材進入製程後緩衝腔，當第一素材離開連續式真空製程設備時，第二素材進入後段製程腔，最後由後段製程腔離開連續式真空製程設備。
3. 一種真空設備多載具同時多工處理製程，包括有：製備兩片素材，且分別定義為第一素材與第二素材；製備一連續式真空製程設備：該連續式真空製程設備具有依序連接的一前段製程腔、一表面處理腔以及一後段製程腔，其中，該表面處理腔具有依序連接的一製程前緩衝腔、一第一製程腔、一第二製程腔、一第三製程腔以及一製程後緩衝腔，並且於第一製程腔與第三製程腔內進行的為相同的表面處理；以及移動素材：將各素材由該前段製程腔處依序進入該連續式真空製程設備內，並且較早進入該表面處理腔的素材恆比較晚進入該表面處理腔的素材更靠近該後段製程腔，其中，各素材同時間在該表面處理腔內進行來回且個別的移動，其中：第一素材於前段製程腔進入表面處理腔，且移動於表面處理腔內的順序依序為製程前緩衝腔、第一製程腔、製程後緩衝腔、第二製程腔、製程後緩衝腔、第三製程腔、製程後緩衝腔，最後進入後段製程腔，並且由後段製程腔離開連續式真空製程設備；以及當第一素材第一次位於第一製程腔內時，第二素材位於前段製程腔內，當第一素材第一次位於製程後緩衝腔內，第二素材才進入表面處理腔內，並且第二素材於表面處理腔內的移動順序依序為第一製程腔、製程前緩衝腔、第二製程腔、製程前緩衝腔、第一製程腔，並且當第一素材進入後段製程腔時，第二素材進入製程後緩衝腔，當第一素材離開連續式真空製程設備時，第二素材進入後段製程腔，最後由後段製程腔離開連續式真空製程設備。