TWI547373B - 非標定型感應晶片及其應用 - Google Patents

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Description

非標定型感應晶片及其應用
本發明係關於一種非標定型感應晶片及其應用，特別是關於一種使用非標定型感應晶片來鑑定化學物質的方法。
生物晶片(如DNA微陣列、晶片實驗室(lab on a chip)、蛋白微陣列及碳水化合物晶片)的研究與開發對許多重要研究領域都是有潛在價值的，包括醫學診斷、藥物研究、環境監測、植物病原檢測及食品安全在內。螢光標定及酵素比色法已廣泛應用於微陣列。當被標定之標的與微陣列上的探針相互作用，即可由晶片上各點的螢光強度或顏色來讀取標的與特定探針之間的生物親和力。然而，這些標定技術有一些缺點，它們的價格高昂，標定程序也相當複雜。
為解決上述技術問題，可用於非標定型高敏感度檢測的表面電漿子共振(surface plasmon resonance，SPR)為非標定型生物晶片的開發提供了一個很好的方向[1]。這類感應技術已廣泛應用於抗原-抗體結合親和力的測量。一般的做法係在玻璃稜鏡中使用衰減全反射(attenuated total reflection，ATR)，而於包覆在稜鏡外的50nm厚的金薄膜上激發表面電漿子波(surface plasmon wave，SPW)。當有生物分子吸附在金屬表面時，反射光訊號會改變。目前已知ATR生物感應器對表面環境的 變化非常敏感[2]。然而，由於本身光學構造的問題，它很難用於高通量及晶片式的檢測方法，如DNA及蛋白微陣列。
除了稜鏡耦合方法外，也可用金屬奈米結構來激發SPR[3]。2004年時，有人利用週期性金奈米孔洞陣列的優異穿透性質，提出了一種以晶片式SPR生物感應器(參第一圖(a))[4]。此外也有報告提出奈米狹縫式SPR感應器(參第一圖(b))[5],[6]及奈米粒子式侷域性電漿子共振(localized surface plasmon resonance，LSPR)感應器[7],[8]。與稜鏡式SPR感應器相較之下，金奈米結構的優點是檢測體積小、檢測區域小，以及具有穿透模式或反射模式的簡單光學測量系統。他們提供了一種晶片式的高通量非標定型檢測。
本發明之目的係開發一種利用菲諾共振(Fano resonance)原理來鑑定化學物質的非標定型感應晶片。菲諾共振提供了一種非對稱的窄波段共振，其可增強SPR感應器的感應敏感度，並有效改善化學物質(如生物分子)之感應解析度。
本發明之另一目的係提供一種使用前述非標定型感應晶片來鑑定化學物質的方法。
因此，本發明提供了一種用以鑑定化學物質之非標定型感應晶片其包含：一透明基板，其包含一基底及第一週期性凸槽；及一金屬層，其係包覆前述透明基板，且包含第二週期性凸槽及第三週期性凸槽，其中前述第二週期性凸槽之高度係等於或大於該第一週期性凸槽的高度，且該第二週期性凸槽之各凸槽係與該第一週期性凸槽之各凸槽之 間所形成的凹部結構互相嵌合，而前述第三週期性凸槽係位於其所對應之第一週期性凸槽之上。
在本發明之較佳具體實施態樣中，前述非標定型感應晶片進一步包含一包覆在前述金屬層上的分子層，且前述分子層係包含一或多種可與前述化學物質結合的分子。
在本發明之較佳具體實施態樣中，前述化學物質係包含元素、生物分子、聚合物及藥物；更佳者，前述生物分子係包含蛋白、DNA及RNA。
在本發明之較佳具體實施態樣中，前述第三週期性凸槽之高度係等於或小於該第二週期性凸槽的高度；更佳者，前述第三週期性凸槽之高度係等於該第二週期性凸槽的高度。
在本發明之較佳具體實施態樣中，前述第二週期性凸槽的高度為數十奈米至數百奈米。
在本發明之較佳具體實施態樣中，前述第二週期性凸槽的週期長度(P)為數百奈米至數微米；更佳者，前述第一週期性凸槽之各凸槽的寬度(w)為10nm至200nm。前述第一週期性凸槽的長度並無特別限定，但一般係大於1μm；較佳者，係大於數微米。
在本發明之較佳具體實施態樣中，前述透明基板係由玻璃或塑膠材料所製成；更佳者，前述塑膠材料係選自壓克力、紫外線凝膠、聚碳酸酯或環烯烴聚合物；最佳者，前述塑膠材料係為聚碳酸酯。
在本發明之較佳具體實施態樣中，前述金屬層係由選自金、銀、鋁或銅之金屬所製成；更佳者，前述金屬係為金。
本發明係提供一種鑑定化學物質的方法，其包含：(a)提供一前述化學物質的樣本；(b)將前述樣本加到如前文所述之非標定型感應晶片上，使之包覆該金屬層；(c)使一入射光從基板側入射；(d)檢測該樣本之穿透光譜，以鑑定該化學物質。
在本發明之較佳具體實施態樣中，步驟(b)之非標定型感應晶片進一步包含一包覆在前述金屬層上的分子層，且前述分子層係包含一或多種可與前述化學物質結合的分子；更佳者，該方法於前述步驟(b)之後進一步包含一步驟：使該一或多種分子與該化學物質相互作用。
在本發明之較佳具體實施態樣中，前述樣本的形式係為液體或氣體。
在本發明之較佳具體實施態樣中，前述要以該方法加以鑑定的化學物質係包含生物分子；更佳者，前述生物分子係包含蛋白；又更佳者，前述蛋白係溶解於PBS緩衝溶液。該化學物質之濃度並無特別限定。
在本發明之較佳具體實施態樣中，前述入射光係為偏極化之入射光；更佳者，前述入射光係為TM極化光；更佳者，該TM極化光之入射角係為從0°至40°。在可測量的光譜範圍(400-1000nm)中，入射光之k向量與感應晶片之法向量所形成的角度係為從0°至40°。入射角範圍會隨著週期長度改變。最佳者，當使用週期長度為500nm之雙層金屬奈米凸槽時，TM極化光之入射角係為從0°至40°。此外，TM極化光之E向量係垂直於前述凸槽。
在本發明之較佳具體實施態樣中，前述入射光係從實質垂直於該非標定型感應晶片的方向入射到該基板。
本發明提供了一種非標定型感應晶片及一種使用該非標定型感應晶片來鑑定化學物質的方法。本發明之非標定型感應晶片的金屬層會形成腔體而產生菲諾共振，在未知化學物質的檢測上具有高感應敏感度及解析度。
第一圖顯示了傳統週期性奈米結構式表面電漿子共振感應器的結構示意圖：(a)金屬奈米孔洞陣列及(b)金屬奈米狹縫陣列。
第二圖顯示了下列示意圖：(a)LSPR所產生的寬波段共振圖譜；(b)BW-SPP所產生的窄波段共振圖譜；(c)寬波段共振及窄波段共振耦合後所產生的菲諾共振圖譜；及(d)菲諾共振圖譜因化學物質吸附所產生的紅移。
第三圖 顯示本發明之非標定型感應晶片之剖面示意圖。
第四圖係為本發明之非標定型感應晶片之製備流程示意圖。
第五圖顯示(a)雙層金屬奈米凸槽之幾何尺寸參數的結構示意圖，並描繪了具有E向量及k向量之TM極化入射光的方向；(b)以週期長度為500nm之雙層金屬奈米凸槽在空氣及水中以正向入射之TM極化光測得的穿透光譜；(c)具有多種週期(從500nm至650nm)之雙層金屬奈米凸槽在水中以TM極化波所得出的穿透光譜；(d)菲諾共振之波長實測值及BW-SPP之波長理論值，其係為週期長度之函數。
第六圖顯示(a)使用多種水/甘油混合物時，週期長度為650nm之雙 層金屬奈米凸槽以正向入射之TM極化波所得出的強度光譜；(b)共振波峰波長對水/甘油混合物之折射率的圖表；(c)波長為874nm時正規化後的強度變化對水/甘油混合物之折射率的圖表；(d)使用在RIU值(n)為1.3365之水/甘油混合物時，週期長度為650nm之雙層金屬奈米凸槽以正向入射之TM極化波所得出的強度光譜放大圖。
第七圖顯示(a)使用週期長度為600nm之雙層金屬奈米凸槽時，在不同表面條件下所得出的強度光譜；(b)波長為810nm時正規化後的強度變化，其係為蛋白-蛋白相互作用之時間的函數。圖中的插圖係為圖譜的部分放大圖。
本發明之非標定型感應晶片與傳統使用金屬奈米孔洞或奈米狹縫陣列之SPR感應器、以及使用奈米粒子之LSPR感應器都不相同。本發明係利用在本發明之雙層金屬奈米凸槽中產生的菲諾共振[9],[10]來加強SPR感應器的感應敏感度。如第二圖所示，寬波段共振及窄波段共振耦合後會產生菲諾共振。它在共振波長附近有個極尖銳且非對稱的共振波峰，可加強SPR感應器的感應敏感度。菲諾共振的波段寬度較其他共振系統來得窄，當有化學物質(特別是生物分子)吸附在結構表面上時，共振波峰就會發生紅移。在特定波長的強度變化與共振波峰的尖銳度有關，由於菲諾共振的波段寬度極尖極窄，故可提供更高的強度敏感度(△I)。
本發明係提供了一種包含雙層金屬奈米凸槽的結構(即金屬層)，如第三圖所示。這個結構包含三組奈米凸槽，第一週期性凸槽係由與 基板之基底相同的材質構成的透明凸槽，寬度為w，高度為T1。其他兩組凸槽(第二及第三週期性凸槽)則是由金屬構成，其中第二週期性凸槽係與前述透明凸槽「咬合」：亦即第二週期性凸槽之各凸槽係與第一週期性凸槽之各凸槽之間所形成的凹部結構互相嵌合。此外，第二週期性凸槽的高度(T2)係與第三週期性凸槽的高度(T3)相同，故在下列實施例中，T2等於T3。第三週期性凸槽係位於其所對應之第一週期性凸槽之上。第二週期性凸槽的週期長度係以P表示。由於光可穿透透明材料，但無法穿透金屬，所以對入射光來說，前述兩組金屬凸槽形成了一系列的「腔體」，這些腔體實質上就是前述透明凸槽。也就是說，入射光會被捕捉在這些腔體內。
使用本發明之非標定型感應晶片來鑑定化學物質時，係將一樣本溶液加到雙層金屬奈米凸槽表面上，該化學物質會吸附在金屬層表面上。之後藉由清洗步驟移除未結合的目標化學物質。之後使一偏極化的入射光從垂直於基板的方向由基板側入射時，會在前述腔體(I區)中產生侷域性電漿子共振(localized surface plasmon resonances，LSPR)。此外，當情況符合Bragg條件(Bragg conditions)時，在金屬/樣本溶液(II區)介面與金屬/基板(III區)介面會各別產生Bloch波表面電漿極化子(Bloch wave surface plasmon polaritons，BW-SPP)。LSPR和BW-SPP分別會在穿透光譜中產生一寬波段的共振和一窄波段的共振，它們會耦合形成菲諾共振(Fano resonance)。
LSPR(即腔體共振)的共振條件可由Fabry-Perot腔體公式表示如下：
其中n eff 是第一凸槽的等效折射率，k 0 是真空中的波向量(2π/λ 0 )，h是金屬薄膜(如金薄膜)或第一週期性凸槽的厚度，及是上、下介面的相位移。至於BW-SPP，當入射光正向入射時，一維陣列的條件可由下式表示：
其中i是共振階數，P是奈米結構的週期長度，ε m 是金屬的介電常數，n是環境折射率。LSPR與BW-SPP會相互作用，形成包含最低強度(接近公式(2)所預測的共振位置，即λ0，共振波長)及相臨最高強度的菲諾共振圖譜。如第二圖(c)所示。
與習知週期性奈米孔洞或奈米狹縫陣列相較之下，本發明所提出的結構由於使用了雙層金屬奈米凸槽，會產生一極尖銳的菲諾共振。它增加了腔體共振的強度，以及LSPR與BW-SPP之間的耦合效率。
實施例 實施例1，非標定型感應晶片的製備
可採用多種方式來製備非標定型偵測晶片。在本實施例中，係採取熱退火輔助基板剝離法來製備本發明之非標定型偵測晶片[6]。此方法之示意圖見於第四圖。
首先提供一矽基板，使用電子束微影術(e-beam lithography，EBL)與反應式離子蝕刻術(reactive ion etching，RIE)在該矽基板上製作出 奈米溝槽(nanogroove)。使用電子槍蒸鍍設備將金沉積Si模板上，而得出兩組凸槽：第二及第三週期性凸槽，而這兩組凸槽形成金質的週期性奈米溝槽。沉積金層的厚度係等於或稍大於Si模板上奈米溝槽的深度。根據本發明所使用的幾何尺寸參數(geometrical parameters)(參下表1)，若沉積金層的厚度比奈米溝槽的深度高出約25%以上，則入射光的穿透率會減少，而無法產生菲諾共振。之後，將一178μm厚的聚碳酸酯(PC)薄膜(Lexan8010,GE,USA)置於經金塗覆之模板上。將模板及PC基板置於加熱板上，在170℃加熱，以軟化PC基板。另使用聚對苯二甲酸乙二酯(PET)薄膜作為封裝薄膜。在這個系統中，將氮氣引入腔內，在薄膜上產生均勻的壓力(2kgw/cm2)。它會大範圍均勻地壓在矽模及PC基板上。這個步驟會使金薄膜均勻地貼附在軟化的PC薄膜上。之後將模板及基板冷卻，從腔內取出。金薄膜對矽模板的黏著性不佳，所以可以輕易地從矽模板上取下PC薄膜。從模板及PET薄膜上剝除後，即製得帶有金屬奈米結構的PC基板。
將熔融的聚碳酸酯填入週期性金奈米溝槽，並形成第一週期性凸槽及基板的基底。之後將沉積金層轉移到PC層上，得出本發明之感應晶片。這是因為金薄膜與Si基板之間的親和力(黏著)要比金層與PC層(即本發明之感應晶片的基板)之間的親和力來得弱的緣故。
第五圖(a)進一步描繪了雙層金屬奈米凸槽(即金屬層)的幾何尺寸參數，以及具有E向量(電場向量)及κ向量(波向量)之TM極化入射光的方向。下列實施例所用的幾何尺寸參數係如下表所示：
凸槽長度(L)並無特別限定。入射光的偏極化係垂直於透明PC基板。也可使用其他角度的入射光，但光的角度會改變菲諾共振的波峰位置。
實施例2，本發明之非標定型感應晶片在空氣及水中的穿透光譜
以週期長度為500nm之金屬奈米凸槽(S1)的非標定型感應晶片及正向入射的TM極化光來測量空氣(無樣本)及水(空白樣本)之穿透光譜。當使用一樣本溶液(如水或一蛋白溶液)時，係加入該樣本溶液，使之包覆該感應晶片的金屬奈米凸槽。空氣及水的穿透光譜係如第五圖(b)所示。
第五圖(b)顯示在650nm附近有一與腔體共振有關的寬波段共振。從公式2可知，BW-SPP在PC/金介面(金於800nm之εm=-29+2.0i，i=1，n=1.584，P=500nm)之共振波長為832nm。第五圖(b)清楚顯示，菲諾共振波峰出現在832nm附近，其中對應的波峰及波谷波長分別位於803nm及807nm。波長之實測值與其理論值相近。
當用水作為該樣本溶液時，穿透光譜中會出現兩組菲諾共振。當晶片被水包覆時，水之穿透光譜中會出現兩個菲諾共振波峰，其中金屬/基板介面(I+III區)及金屬/水介面(I+II區)之共振波長分別位於807nm及692nm。從公式2可知，BW-SPP在水/金介面(金於705nm之εm=-16.8+1.1i，i=1，n=1.3320，P=500nm)之共振波長為704nm，且水/金介面之菲諾共振的共振波谷波長係為692nm。波長之實測值與其理論值相近。至於PC/金介面之菲諾共振的共振波谷，則與空氣之穿透光譜所示者相同。
在下列實施例中，只將I區之寬波段共振及II區之窄波段共振耦合產生的菲諾共振用於檢測。這是因為I區及III區耦合所產生的菲諾共振對環境折射率的改變並不是非常敏感。舉例來說，在空氣和水中由I區及III區耦合所產生的菲諾共振幾乎是相同的。
第五圖(c)顯示以具有不同週期之雙層金屬奈米凸槽及TM極化波(S1~S4)在水中得出的穿透光譜。在凸槽中之腔體共振與在週期性凸槽之BW-SPP耦合後在光譜中產生菲諾共振。波長之實測值顯然與週期長度成正比，且與理論值相近，如第五圖(d)所示。
實施例3，本發明之非標定型感應晶片在甘油溶液中的穿透光譜
菲諾共振極尖銳且非對稱的圖譜會增強SPR感應器的感應敏感度。在本實施例中，使用多種不同濃度之水/甘油混合物作為樣本溶液(外側介質)。以折射計測得混合物(0至15%的甘油)的折射率，其範圍為從1.333至1.384。又，使用週期長度為650nm之雙層金屬奈米凸槽 (S4)及正向入射的TM極化光來檢測穿透光譜，如第六圖(a)所示。當環境折射率(RIU)為1.3330時，水/金介面之菲諾共振波長係接近870nm。環境折射率係為包覆本發明本發明金屬層之介質的折射率。當待測化學物質之濃度增加時，樣本溶液之環境折射率也會增加，且菲諾共振之波長會產生紅移。
第六圖(b)顯示了共振波峰波長對樣本溶液之折射率的圖表。共振波峰波長之擬合曲線的斜率對折射率的圖表顯示折射率敏感度為644nm/RIU。
第六圖(c)顯示了波長為874nm時正規化後的強度變化對外側介質之折射率的圖表。擬合曲線的斜率顯示強度敏感度為48117%/RIU。由此圖可知，本發明所測得的強度敏感度要比使用複雜角度檢測方法之稜鏡式SPR感應器之強度敏感度(15000%/RIU)高上大約三倍[1]。易言之，當入射光之強度解析度固定為0.2%時，本發明結構的檢測限值(detection limit)可達4.15×10-6RIU(數據未顯示)。檢測限值係以下式計算得出：
為比較先前技術所製造之多種奈米結構的折射率感應能力，我們計算了效能指數(figure of merit，FOM)，單位為波長。單位為波長之FOM定義為Sλ/△λ，其中Sλ為波長敏感度，而△λ為電漿子共振之共振寬度。第六圖(d)顯示了一水/甘油混合物(n=1.3365)以週期長度為650nm之雙層金屬奈米凸槽及正向入射之TM極化波所得出的強度光譜放大圖。測得的菲諾共振波峰波段寬度(△λ)為3.36nm，而波長敏感度為 644nm/RIU(Sλ)(參第六圖(b))。因此，所得FOM值為192。這個值要比以下傳統感應器的理論值上限要來得高：稜鏡-耦合SPR感應器(FOM=108)、奈米孔洞感應器(FOM=162)及LSPR感應器(FOM=4.5)。本發明之感應晶片的折射率感應能力較佳。
實施例4，本發明之非標定型感應晶片在蛋白溶液中的穿透光譜
本實施例使用了一個簡單的光學穿透設定[5]，其中感應晶片之週期長度為600nm(S3)。使用光纖耦合線性CCD陣列光譜儀(BWTEK,BTC112E)以1min的測量間隔來記錄晶片的縮時強度光譜。本發明之感應晶片先以10mM磷酸緩衝液(PBS,UniRegion Bio-Tech)清洗(PBS(1)組)，再加入溶於PBS之500μg/mL牛血清白蛋白(BSA,Sigma-Aldrich)(BSA組)，使之吸附在感應晶片之金屬層上。在以PBS洗掉多餘的BSA後(PBS(2)組)，在系統中加入溶於PBS之375μg/mL抗BSA(Sigma-Aldrich)溶液，並與吸附於金屬層上之BSA結合(抗BSA組)。最後，用PBS緩衝溶液再次清洗感應晶片(PBS(3)組)。
第七圖(a)顯示對PBS(1)、BSA、PBS(2)、抗BSA及PBS(3)各組所測得的穿透強度光譜。在BSA及抗BSA的圖譜中，可觀察到波長位移及穿透強度都有明顯的變化。結合到金層表面之單層BSA會產生0.40nm的紅移。150kDa大小的抗BSA會產生2.76nm的波長位移。第七圖(b)顯示了在波長為810nm時正規化後的強度變化，其係為蛋白-蛋白相互作用之時間的函數。由於週期長度為600nm之晶片在波長810nm的強度敏感度最高，故分析在該波長所測得的光譜。在金的表面包覆BSA 後，強度變化為17%。分子量較大的抗BSA所產生的強度變化則高達237%，比奈米狹縫陣列的強度變化(12%)來得好。奈米狹縫陣列之強度敏感度為約4000%/RIU。
前文所述之實施例中也測試了其他具有不同寬度的不同週期性凸槽(S5-S10)。這些週期性凸槽也可得出良好的結果(數據未顯示)。
所提出的雙層金屬奈米凸槽可在穿透光譜中產生極尖銳且非對稱的菲諾共振。這類共振的波段寬度較窄，可增強SPR感應器之感應敏感度，並有效改善感應解析度。在商業應用方面，非標定型生物晶片可應用於特定分子結合、濃度分析、親和力分析、動態分析及高通量檢測。
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Claims (20)

  1. 一種用以鑑定化學物質之非標定型感應晶片，其包含：(a)一透明基板，其包含一基底及第一週期性凸槽；以及(b)一金屬層，其係包覆前述透明基板，且包含第二週期性凸槽及第三週期性凸槽，其中前述第二週期性凸槽之高度係等於或大於該第一週期性凸槽的高度，且該第二週期性凸槽之各凸槽係與該第一週期性凸槽之各凸槽之間所形成的凹部結構互相嵌合，而前述第三週期性凸槽係位於其所對應之第一週期性凸槽之上。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的用以鑑定化學物質之非標定型感應晶片，其進一步包含一包覆在前述金屬層上的分子層，且前述分子層係包含一或多種可與前述化學物質結合的分子。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的用以鑑定化學物質之非標定型感應晶片，其中前述化學物質係包含元素、生物分子、聚合物及藥物。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的用以鑑定化學物質之非標定型感應晶片，其中前述生物分子係包含蛋白、DNA、RNA。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的用以鑑定化學物質之非標定型感應晶片，其中前述第二週期性凸槽的高度為數十奈米至數百奈米。
  6. 如申請專利範圍第1項所述的用以鑑定化學物質之非標定型感應晶片，其中前述第二週期性凸槽的週期長度為數百奈米至數微米。
  7. 如申請專利範圍第6項所述的用以鑑定化學物質之非標定型感應晶片，其中前述第一週期性凸槽之各凸槽的寬度為10nm至200nm。
  8. 如申請專利範圍第1項所述的用以鑑定化學物質之非標定型感應晶 片，其中前述透明基板係由玻璃或塑膠材料所製成。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的用以鑑定化學物質之非標定型感應晶片，其中前述塑膠材料係選自壓克力、紫外線凝膠、聚碳酸酯或環烯烴聚合物。
  10. 如申請專利範圍第1項所述的用以鑑定化學物質之非標定型感應晶片，其中前述金屬層係由選自金、銀、鋁或銅之材料所製成。
  11. 如申請專利範圍第11項所述的用以鑑定化學物質之非標定型感應晶片，其中前述金屬係為金。
  12. 一種鑑定化學物質的方法，其包含：(a)提供一前述化學物質的樣本；(b)將前述樣本溶液加到如申請專利範圍第1項所述之非標定型感應晶片上，使之包覆該金屬層；(c)使一入射光從基板側入射；(d)檢測該樣本之穿透光譜，以鑑定該化學物質。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之鑑定化學物質的方法，其中前述非標定型感應晶片進一步包含一包覆在前述金屬層上的分子層，且前述分子層係包含一或多種可與前述化學物質結合的分子。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之鑑定化學物質的方法，其於前述步驟(b)之後進一步包含一步驟：使該一或多種分子與該化學物質相互作用。
  15. 如申請專利範圍第12項所述之鑑定化學物質的方法，其中前述樣本的形式係為液體或氣體。
  16. 如申請專利範圍第13項所述之鑑定化學物質的方法，其中前述化學物 質係包含生物分子。
  17. 如申請專利範圍第16項所述之鑑定化學物質的方法，其中前述生物分子係包含蛋白。
  18. 如申請專利範圍第17項所述之鑑定化學物質的方法，其中前述蛋白係溶解於PBS緩衝溶液。
  19. 如申請專利範圍第13項所述之鑑定化學物質的方法，其中前述入射光係為偏極化之入射光。
  20. 如申請專利範圍第13項所述之鑑定化學物質的方法，其中前述入射光係從實質垂直於該非標定型感應晶片的方向入射到該基板。
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