TWI526674B - 超音波液位感測系統 - Google Patents

超音波液位感測系統 Download PDF

Info

Publication number
TWI526674B
TWI526674B TW103116758A TW103116758A TWI526674B TW I526674 B TWI526674 B TW I526674B TW 103116758 A TW103116758 A TW 103116758A TW 103116758 A TW103116758 A TW 103116758A TW I526674 B TWI526674 B TW I526674B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
tube
side wall
outer diameter
neck
opening
Prior art date
Application number
TW103116758A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201443401A (zh
Inventor
查理 麥克 伯特奇兒
湯瑪斯 安得魯 斯坦多
Original Assignee
氣體產品及化學品股份公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 氣體產品及化學品股份公司 filed Critical 氣體產品及化學品股份公司
Publication of TW201443401A publication Critical patent/TW201443401A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI526674B publication Critical patent/TWI526674B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296—Acoustic waves
    • G01F23/2961—Acoustic waves for discrete levels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2/00—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P19/00—Machines for simply fitting together or separating metal parts or objects, or metal and non-metal parts, whether or not involving some deformation; Tools or devices therefor so far as not provided for in other classes
    • B23P19/04—Machines for simply fitting together or separating metal parts or objects, or metal and non-metal parts, whether or not involving some deformation; Tools or devices therefor so far as not provided for in other classes for assembling or disassembling parts
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296—Acoustic waves
    • G01F23/2965—Measuring attenuation of transmitted waves

Description

超音波液位感測系統 相關申請案之相互參照
本案請求2013年，5月15日申請的美國臨時申請案第61/823,625號的權益，在此以引用的方式將其完整內容併入本文。
本發明關於一種於密封容器內具有增加數目的測量液位用的超音波感測器之超音波探針。
許多半導體製程涉及必須符合嚴格純度要求的化學試劑的應用。這些液態化學試劑通常裝入密封容器(例如安瓿)中以預防該等化學試劑的污染並且防止洩漏。該等化學試劑通常需要運用金屬對金屬密封(metal-on-metal seal)的金屬容器和容器附件以避免在提高壓力之下的腐蝕、污染及洩漏。當使用存於此容器中的化學試劑時，其經常必須得能測定留在該容器中的化學試劑的量而不會使該化學試劑暴露於環境或使操作員受到該化學試劑影響。
超音波探針於半導體業常被用來測量密封容器內的化學試劑位準。典型的設計包括沿著該探針內的導管縱 長串聯佈置的多重超音波感測器，例如准予Dam等人的美國專利第5,663,503號所揭示的感測器及構型。信號處理裝置(例如，控制器、計量器、個人電腦等等)將電子信號發放給該等超音波感測器，其接著產生通過該導管的音波爆炸及返回該等感測器的回波。各感測器將其接收的回波(echoed wave)轉換成發送回該信號處理裝置的電子信號。該信號處理裝置接著解析該等電子信號以推斷該等回波的強度以及該等回波發射與到達之間經過的時間。對沿著該導管特定部位佈置的各感測器，該等超音波行經該導管的速度及該超音波回波的強度將隨著該導管部位含有化學試劑或氣體或蒸氣而不同(亦即，聲音行經液態介質比氣體或蒸氣更快)。依此方式，該信號處理裝置能測定沿著該導管縱長的化學試劑位準而且從而該容器內的化學試劑的量。
一般，配置於該超音波探針內的較多數目的超音波感測器轉變成測量化學試劑位準時的提高的準確度。然而，較大的探針經常必需容納增加數目的超音波感測器及其配線。如果有半導體製程及環境的精確本質，則密封容器、容器附件、密封件及相關硬體的尺寸多半被標準化，其限制了該等超音波探針能被改造以包括較多數目的超音波感測器(例如，多於4個)而不需要換成較大附件及/或非標準化零件的程度。
因此，此技藝仍需要具有增加數目的超音波感測器而且能配合現有的標準化容器附件使用之超音波探針。
根據本發明之一具體實施例，揭示一種配合容器使用的超音波探針。該超音波探針包含具有一外徑的筒體及配置於該筒體內的導管，該導管具有上方開口及下方開口。一頸管係連接至該筒體及裝配組合件的一個部位，該頸管包含肩部部位、由該肩部部位界定的下方開口、側壁及由該側壁界定的第一外徑，該頸管的第一外徑小於該筒體的外徑。一內部容積係配置於該筒體內，該內部容積與該導管隔離。多數超音波感測器係配置於該內部容積內，而且該多數超音波感測器中的各超音波感測器均具有自該內部容積拉出通過該頸管的電線。
另外，在隨附的申請專利範圍中描述本發明的系統及方法的數個特定形態。
D1‧‧‧凸出密封面內緣與頸管側壁的距離
D2‧‧‧頸管外徑
D3‧‧‧筒體外徑
D4‧‧‧心柱內徑
S1‧‧‧頸管側壁與心柱側壁之間的距離
S2‧‧‧容器上方部位與肩部管上端之間的
S3‧‧‧容器上方部位與外管上端之間的距離
100‧‧‧超音波探針
102a‧‧‧密封裝配構件
102b‧‧‧密封裝配構件
103‧‧‧貫通孔
104‧‧‧可撓性連接器
106‧‧‧電纜護套
107‧‧‧連接器
108‧‧‧頸管
109‧‧‧控制器
110‧‧‧頸管上端
111‧‧‧發光二極體計量器
112‧‧‧頸管下端
113‧‧‧肩部部位
114‧‧‧側壁
116‧‧‧肩部管
118‧‧‧肩部管上端
120‧‧‧肩部管下端
122‧‧‧筒體的外管
123‧‧‧筒體
124‧‧‧外管上端
126‧‧‧外管下端
128‧‧‧側壁
130‧‧‧貫通孔
132‧‧‧筒體的內管
134‧‧‧內管上端
136‧‧‧內管下端
138‧‧‧側壁
140‧‧‧碟形蓋
142‧‧‧碟形蓋的內部邊緣
144‧‧‧導管
146‧‧‧筒體的內部容積
148‧‧‧熔接區
149‧‧‧唇部
150‧‧‧凸出密封面
151‧‧‧凸出密封面的內緣
152‧‧‧螺紋區
154a‧‧‧測試埠
154b‧‧‧測試埠
156‧‧‧超音波感測器
156a‧‧‧超音波感測器
156b‧‧‧超音波感測器
156c‧‧‧超音波感測器
156d‧‧‧超音波感測器
156e‧‧‧超音波感測器
156f‧‧‧超音波感測器
156g‧‧‧超音波感測器
156h‧‧‧超音波感測器
156i‧‧‧超音波感測器
156j‧‧‧超音波感測器
156k‧‧‧超音波感測器
156l‧‧‧超音波感測器
157‧‧‧密封裝配組合件
158‧‧‧電纜護套的配線
159‧‧‧容器
160‧‧‧容器本體
162‧‧‧上方部位
164‧‧‧密封裝配構件
166‧‧‧相反螺紋區
168‧‧‧心柱
170‧‧‧凸出密封面
172‧‧‧唇部
174‧‧‧側壁
176‧‧‧金屬墊片
200‧‧‧超音波探針
208‧‧‧頸管
211‧‧‧側壁部位
212‧‧‧頸管下端
213‧‧‧肩部部位
214‧‧‧側壁
215‧‧‧套管
217‧‧‧套管上端
219‧‧‧套管下端
221‧‧‧套管側壁
222‧‧‧外管
223‧‧‧筒體
223a‧‧‧圓周形熔接線
223b‧‧‧圓周形熔接線
224‧‧‧外管上端
225‧‧‧貫通孔
226‧‧‧外管下端
228‧‧‧側壁
232‧‧‧內管
234‧‧‧內管上端
236‧‧‧內管下端
238‧‧‧側壁
240‧‧‧碟形蓋
246‧‧‧內部容積
256‧‧‧超音波感測器
258‧‧‧超音波感測器之配線
後文中將聯合隨附圖式來描述本發明，其中類似的編號表示類似的元件。
圖1A係依據本發明的示範具體實施例的超音波探針的爆炸透視圖；圖1B係圖1A的超音波探針沿著線1B-1B取得的非爆炸截面圖；圖2A依據本發明的示範具體實施例將圖1A和1B之超音波探針安裝於容器上的透視圖；圖2B係圖2A的虛線面積內所示的超音波探針及容器之 數部位沿著線2B-2B取得的放大局部截面圖；圖3A係依據本發明的另一示範具體實施例的超音波探針的爆炸透視圖；及圖3B係圖3A的超音波探針沿著線3B-3B取得的非爆炸截面圖。
圖4A係圖3A和3B的超音波探針某些零件的爆炸透視圖。
圖4B係圖4A所示的超音波探針零件的非爆炸透視圖。
隨附的詳細描述僅提供較佳的示範具體實施例，而且無意限於本發明的範圍、適用性或構型。更確切地說，該等較佳示範具體實施例的隨附詳細說明將提供給熟悉此技藝者用於實施本發明的較佳示範具體實施例的許可說明。如後附申請專利範圍所述的，各種不同變更能依照元件的功能及配置做到而不會悖離本發明的精神及範圍。
在該等圖式中，類似於本發明的其他具體實施例者的元件係藉由增加數值100的參考編號來表示。除非在文中另行指明或描述，否則這樣的元件應該被視為具有相同功能及特徵，而且此類元件的討論可能因此對於多重具體實施例不再重述。
用於本說明書及申請專利範圍時，該措辭“導管”表示一或更多結構，流體能通過該一或更多結構運送於一系統的二或更多零件之間。舉例來說，導管能包括運送液體、 蒸氣及/或氣體的輸送管、導管、通路及其組合。
用於本說明書及申請專利範圍時，該措辭“流體連通”表示使液體、蒸氣及/或氣體能依照控制方式(亦即，不洩漏)運送於該等零件之間的二或更多零件之間的連結性質。連接二或更多零件以便使其彼此流體連通會涉及此技藝中已知的任何適合方法，例如使用熔接件、凸緣導管、墊片及螺釘。二或更多零件也可能經由可以將其分開的系統其他零件連接在一起。
為了協助描述本發明，本說明書及申請專利範圍中可使用方向用語來描述本發明的部位(例如，上方、下方、右側、右側等等)。這些方向用語僅欲協助描述並且主張此發明，而且無意依任何方式限制本發明。另外，為了提供其他特徵的前後關係，本說明書中關聯圖式加進來的參考編號可能在一或更多其後的圖中重複出現而不在此說明書中另行描述。
圖1A和1B顯示依據本發明的示範具體實施例之超音波探針100。更明確地說，圖1A顯示該超音波探針100的爆炸透視圖而且圖1B顯示圖1A的超音波探針沿著線1B-1B取得的非爆炸截面圖。
該超音波探針100包含密封裝配構件102a和102b、可撓性連接器104、電纜護套106、具有肩部部位113的頸管108及筒體123。如本文更詳細討論的，該密封裝配構件102a和102b係密封裝配組合件157的部件(同樣參見圖2B)，該等部件將該超音波探針100鎖緊於容器159。在此示 範具體實施例中，該密封裝配組合件157係一面密封裝配組合件(face seal fitting assembly)，其中該密封裝配構件102a係一具有貫通孔103的面密封配合填函蓋(face seal fitting gland)而且該密封裝配構件102b係一具有4分之3吋(19.1mm)六角螺帽的標準尺寸的面密封附件。在此具體實施例中，該密封裝配構件102b擺在該密封裝配構件102a的唇部149上並且能相對於該密封裝配構件102a繞著繪製通過該貫通孔103的軸旋轉。在可供選擇的具體實施例中，如普通熟悉此技藝者顯而易見的，該密封裝配構件102a和102b能具有其他尺寸及特徵，例如較長的填函蓋、半吋(12.7mm)或非標準尺寸的面密封附件及/或接合於該密封裝配構件102a的密封裝配構件102b。同樣地，其他類型的附件也能用於密封裝配組合件157，例如，舉例來說，表面安裝C形密封件。
該密封裝配構件102a係連接至該可撓性連接器104及該電纜護套106。該頸管108包含界定上方開口的上端110、界定下方開口的下端112及側壁114。在此具體實施例中，該頸管108的肩部部位113包含一肩部管116，該肩部管116具有界定上方開口的上端118及界定下方開口的下端120。該肩部管116係圓錐形並且提供從該頸管108至該筒體123的外管122之平滑過渡部分。該頸管108的下端112係配置於該肩部管116內而且該肩部管116係連接至該頸管108的側壁114。在其他具體實施例中，整個頸管108，包括該肩部部位113在內，能由單一單件式零件構成。該頸管108的上端110係配置於該密封裝配構件102a的貫通孔103內及該 可撓性連接器104內。
該筒體123包含外管122、內管132及碟形蓋(disc cap)140。該外管122具有界定上方開口的上端124、界定下方開口的下端126、側壁128及配置於該側壁128中並接近該上端124的貫通孔130。該外管122的上端124係連接至該肩部管116的下端120。
該內管132包含界定上方開口的上端134、界定下方開口的下端136及側壁138。在此示範具體實施例中，該上端134界定一上方開口，該上方開口大約與該下端136所界定的下方開口垂直。該內管132界定一導管144(參見圖1B)。理應了解的是，在本發明的其他具體實施例中，該導管可能沒完全被包住，超音波探針100就是這樣。舉例來說，在具有“音叉”型筒體(亦即，具有二間隔開並向下伸出的組件)探針中該導管可能包含位於該二間隔開的組件之間的空間。
該碟形蓋140包含界定一開口的內部邊緣142。在一組合構型中，該內管132完全配置於該外管122內，該內管132的上端134對準中配置於該側壁128的貫通孔130，而且該內管132的下端136對準該外管122的下端126。該內管132的上端134係連接至該側壁128。該碟形蓋140係連接至該外管122的下端126及該內管132的下端136，藉以將該外管122的下端126連接至該內管132的下端136。
該導管144係配置於該筒體123內而且具有該內管132的下端136所界定的下方開口(該下方開口也能視為由該碟形蓋140的內部邊緣142界定)(參見圖1B)。當該筒體 123係插入一容器時(參見圖2A和2B的容器159)，該導管144與盛裝液體的容器內部容積流體連通以致於該液體能流過該導管144。
該外管122的側壁128及該內管132的側壁138之間界定出一內部容積146(亦即，隔間)，該內部容積146也以該碟形蓋140為界，如示。該內部容積146與該導管144隔離(亦即，該內部容積146沒與該導管144流體連通)以致於流經該導管144的任何液體均無法進入該內部容積146。
多數超音波感測器156係配置於該筒體123的內部容積146內。在此示範具體實施例中，該多數超音波感測器156包括12個超音波感測器156a至156l，該多數超音波感測器156均連接至該內管132的側壁138。在此具體實施例中，該多數超音波感測器156中的各者係以環氧樹脂黏接於該側壁138。其他適於連接的手段也能運用，例如雙面膠或其他黏著劑。在其他具體實施例中，該多數超音波感測器156能包括更多或更少數目的感測器。該多數超音波感測器156較佳地包括至少5個超音波感測器。該多數超音波感測器156能提供普通熟悉此技藝者已知的任何適合的超音波感測器，例如，舉例來說，壓電性晶體。該多數超音波感測器156中的各超音波感測器係定向以發射穿過該側壁138及該導管144(及存在於其中的任何液體)的聲波並且偵測返回的聲波。該多數超音波感測器156中的各超音波感測器包括自該內部容積146拉出，通過該頸管108，並且通過該電纜護套106的配線158(包含至少一電線)。配線158終止於接上控制器109的連 接器107(參見圖2A)。
該控制器109係一可程式資料處理裝置，其發送電子信號給該多數超音波感測器156，接收來自該多數超音波感測器156的信號，並且測定該超音波探針100插入的容器內的液位。在此具體實施例中，該控制器109包含一或更多微處理器(沒顯示)、電源供應器(沒顯示)、接受該連接器107的至少一輸入/輸出埠(沒顯示)及提供該容器內的液體量的目視度數指示的發光二極體(LED)計量器111。在可供選擇的具體實施例中，該控制器109能包括其他輸入/輸出埠及/或其他用於指示該容器內的液位的聽覺和視覺機構。同樣地，該控制器109可提供任何類型的可程式資料處理裝置，包括個人電腦執行控制軟體。
關於該多數超音波感測器156中的各超音波感測器，該控制器109經由該配線158發送電子信號(亦即，脈衝)給該超音波感測器，其造成該超音波感測器發射聲波(亦即，該等壓電性晶體振盪)。該超音波感測器接著接收返回的聲波並且將該回波轉換成經由該配線158送返該控制器109的電子信號。如先前討論的，該控制器109解析收到的信號強度以及傳送該電子信號給該超音波感測器與接收來自該超音波感測器的電子信號之間經過的時間以測定於配置特定感測器的導管144部位是否有液體。相應地，藉由使用該多數超音波感測器156，該控制器109能測定沿著該導管144縱長的液位及插入該筒體123的容器內的液體量。該多數超音波感測器156中的各感測器係藉由該LED計量器111中的LED來表 示以提供該容器內的液體量的目視度數指示(例如，各LED只有在特定感測器偵測到液體時才點亮)。
該控制器109能經程式編寫以於同一時間發送信號給該多數超音波感測器156中的超音波感測器156a至156l不到所有者並且接收來自該等感測器的信號。此特徵消除該多數超音波感測器156的配線158得個別遮蔽的需求而且也讓該等超音波感測器156a至156l能更緊密地配置在一起。在先前技藝系統中，將該等超音波感測器連接至控制器的配線經常個別遮蔽以防止於同一時間發送給該探針中的所有超音波感測器及來自該等超音波感測器的電子信號引起的干擾(亦即，串擾)。舉例來說，在典型先前技藝設計中的各超音波感測器的配線可能包括一同軸電纜，其中該內導線擔任往該超音波感測器的信號線的任務而且該外部遮蔽件擔任地線(例如，接地到該探針的鋼管)及來自該超音波感測器的信號返回線的任務。在先前技藝的系統中，該探針內的超音波感測器也必須遠遠地間隔開以避免同時發射聲波的超音波感測器引起的干擾。這些特徵(亦即，多重遮蔽電纜增加的體積及感測器之間更大的空間)各個均限制能配置於探針中的超音波感測器數目而無法加大該探針的尺寸及相關的硬體。
在一較佳具體實施例中，該控制器109係經程式編寫或以操作方式建構以於一時間發送信號給該多數超音波感測器156中之一超音波感測器，並且接收來自該超音波感測器的信號。舉例來說，該控制器109能經程式編寫以便先發送電子信號給該超音波感測器156a並且等候收取來自該超 音波感測器156a的返回信號，接著發送電子信號給該超音波感測器156b並且等候收取來自該超音波感測器156b的返回信號，關於該多數超音波感測器156中的各超音波感測器均依此類推。如果該超音波探針100正在運作，等到已經於第一時間發送電子信號給該多數超音波感測器156中的各者並且接收來自各者的電子信號以後(在此具體實施例中，開始於超音波感測器156a而且終止於超音波感測器156l)，該控制器109重複此順序並且於第二時間發送電子信號給該超音波感測器156a及該多數超音波感測器156中的各者並且接收來自彼等的電子信號，以此類推。依此方式，各超音波感測器156a至156l的配線158之間及該等超音波感測器本身之間發生干擾的可能性將大幅降低或消除，因為該等超音波感測器156a至156l並非全都同時發射接收聲波而且該等超音波感測器156a至156l中各自的配線158並非同時運送電子信號。
這個操作該多數超音波感測器156的方法消除各超音波感測器156a至156l的配線158得個別遮蔽的需求而且該等超音波感測器156a至156l能更緊密地配置在一起(亦即，比圖1B所示者又更緊密)，該二者使更大數目的超音波感測器能配置於該筒體123內。在一示範構型中，該配線158包含一多導線遮蔽電纜，該多導線遮蔽電纜具有沒經個別遮蔽的多數內導線，其中一單獨內導線係連接至該多數超音波感測器156中的各超音波感測器以擔任該信號線的任務，而且該多導線遮蔽電纜的外部遮蔽件擔任該多數超音波感測器156中的所有超音波感測器的共同返回線及接地線。舉例來 說，能使用一同軸電纜當作該多導線遮蔽電纜，其中該等內導線係連接至該多數超音波感測器156擔任信號線的任務，而且該同軸電纜外部遮蔽件擔任該共同返回線的任務。
該頸管108係配置於該密封裝配構件102a和102b及該可撓性連接器104內。該頸管108係藉由製作在熔接區148內的熔化熔接件(亦即，焊珠)固定於該密封裝配構件102a。較佳地，該熔接件僅佔據該熔接區148的一部分而且製作在該頸管108的側壁114緊鄰該密封裝配構件102a之處。該密封裝配構件102a包括繞著該頸管108伸出的凸出密封面(亦即，密封面)150。該凸出密封面150具有與該頸管108的側壁114分隔距離D1的內緣151。為了防止該熔接區148內的熔接損及該凸出密封面150(例如，熔接材料會創造隆起的表面及/或熔接的熱會使該凸出密封面150變形)，距離D1較佳為至少2.0mm而且，更佳為至少6.0mm。該密封裝配構件102b包括一螺紋區152，該螺紋區152咬合該密封裝配組合件157的另一密封裝配構件164(參見圖2B)之相反螺紋區166，如本說明後續討論的)。當該超音波探針100鎖緊於該容器159時用測試埠154a和154b來做洩漏偵測，如關於圖2B更詳細討論的。
該筒體123具有一外徑D3(亦即，該外管122的外徑)。該頸管108和該內管132具有小於該筒體123外徑D3的外徑D2。相較於該內管132的外徑D2，該筒體123的較大外徑D3提供該內部容積146內的增量空間，那是儲存增加數目的超音波感測器156a至156l及其個別配線158所必需的。 較佳地，該內管132的外徑D2對該筒體123的外徑D3之比值小於或等於0.95。更佳地，該內管132的外徑D2對該筒體123的外徑D3之比值小於或等於0.95而且大於或等於0.3。更佳地，該內管132的外徑D2對該筒體123的外徑D3之比值小於或等於0.8，而且該筒體123的外徑D3不大於0.827吋(21.0mm)。更佳地，該內管132的外徑D2對該筒體123的外徑D3之比值小於或等於0.8而且大於或等於0.4。更佳地，該內管132的外徑D2大約是16分之5吋(7.9mm)，而且該筒體123的外徑D3大約是8分之5吋(15.9mm)。較佳地，在該多數超音波感測器156包括4個超音波感測器的情形下該外管122的側壁128與該內管132的側壁138之間的最小距離為至少0.10吋(2.5mm)，而且在在該多數超音波感測器156包括12個超音波感測器156a至156l的情形下最小距離為至少0.15吋(3.8mm)。
圖2A顯示依據本發明的示範具體實施例將該超音波探針100安裝於容器159上的透視圖。該超音波探針100包括該控制器109和該LED計量器111，如先前討論的。該容器159包含本體160、上方部位162及連接至該上方部位162的密封裝配構件164。普通熟悉此技藝者將顯而易見，為了達到清晰及例示的目的該容器159可包括圖2A和2B中沒顯示的其他零件(例如，用於再填滿該容器159的額外的閥及硬體)。該本體160和上方部位162界定能容納流體的內部容積。在此具體實施例中，該上方部位162係連接至該本體160的蓋子。在其他具體實施例中，該上方部位162可能是該本 體160的整體部分。該密封裝配構件164，像是該密封裝配構件102a和102b，係將該超音波探針100鎖緊於該容器159的密封裝配組合件157之一部位。在此示範具體實施例中，該容器159的零件係由一或更多金屬構成。
圖2B顯示在圖2A的虛線框內沿著線2B-2B取得的超音波探針100和容器159部分的截面圖。如所示，心柱(stem)168係配置於該容器159的本體160之上方部位162中的洞。在此具體實施例中，該心柱168係接合(例如，熔接)於該本體160的上方部位162之面密封配合填函蓋(face seal fitting gland)。該心柱168包含凸出密封面170、唇部172及側壁174。該心柱168的側壁174具有大於該筒體123的外徑D3之內徑D4以致於該筒體123能插入該心柱168。該密封裝配構件164係繞著該心柱168配置並且包含螺紋區166，該螺紋區166咬合該密封裝配構件102b的螺紋區152(亦即，該等螺紋區152和166分別具有互補螺紋例如公和母螺紋)。具有貫通孔的金屬墊片176係配置於該密封裝配構件102a的凸出密封面150與該心柱168的凸出密封面170之間。
在完全安裝的構型中，該筒體123係插入穿過該金屬墊片176和該心柱168以致於該筒體係配置於該容器159內側而且該頸管係配置於該心柱168和該金屬墊片176內。該密封裝配構件102b的螺紋區152接著依螺紋鎖於該密封裝配構件164的螺紋區166以致於該密封裝配構件102b咬合(亦即，壓靠於)該密封裝配構件102a的唇部149，該密封裝配構件164咬合該心柱168的唇部172，而且該金屬墊片176緊壓 於該密封裝配構件102a的凸出密封面150與該心柱168的凸出密封面170之間。依此方式，該凸出密封面170、該凸出密封面150和該金屬墊片176構成能防止流體(亦即，液體、蒸氣及/或氣體)逸散或進入該容器159的金屬對金屬密封。
在完全安裝的構型中，在此示範具體實施例中，該頸管108的側壁114與該心柱168的側壁174之間存在一距離S1；該容器159的上方部位162(亦即，蓋子)與該肩部管116的上端118之間存在一距離S2，而且該肩部管116的上端118係位於該心柱168的最下方部位下面；而且該容器159的上方部位162與該筒體123的外管122上端124之間存在一距離S3。較佳地，該距離S2大於或等於0.10吋(2.5mm)而且該距離S1大於或等於0.70mm。一般而言，該等距離S1、S2及S3較佳為大到足以使流體能行經該頸管108的側壁114與該心柱168的側壁174之間，但是也能在重力作用之下往下流回並且重返該容器159。以不同方式陳述，該等距離S1、S2及S3較佳為大到足以避免使流體保持於該頸管108的側壁114與該心柱168的側壁174之間的毛細作用。避免此毛細作用有助於將能引出該容器159以供使用的化學試劑可用量最大化，而且也確保依照完全安裝構型的容器159和超音波探針100在清潔的期間，沒有可能會污染到後續加於該容器159的新鮮化學試劑之殘留化學藥品留下來。
該超音波探針100滿足了具有增量超音波感測器並能配合現存標準化尺寸的容器附件使用的超音波探針在此技藝中的需求。該筒體123具有能於該內部容積146內提供 加大的空間量之外徑D3，該加大的空間量乃儲存增加數目的超音波感測器156a至156l和其個別配線158所必需。在先前技藝的超音波探針設計中，該筒體經常伸入該密封裝配組合件。該筒體加大的外徑因此可能需要較大及/或非標準的密封裝配組合件，或改造標準密封裝配組合件例如藉由搪出一貫通孔(例如，該密封裝配構件102a的貫通孔103)使其能接受較大的筒徑。然而，非標準的裝配組合件經常比其標準化相對部分更貴許多而且也可能必需使用其他非標準化零件。非標準化裝配組合件也無法從用於半導體製程的標準化裝配組合件的延伸測試及既有歷史受益。較大的密封附件也需要在該容器蓋子(例如，上方部位162)上有更大的空間並且會使得獲得密封更為困難。最後，發明人發現改造標準密封裝配組合件以接受較大筒徑的意圖會負面地影響到該超音波探針及/或該密封裝配組合件的結構完整性。舉例來說，參照圖1B，若在該密封裝配構件102a中搪出該貫通孔103以接受較大外徑D2而非該頸管108的外徑D2，該距離D1將會減小。結果，該熔接區148也會減小，而且熔接的熱可能損及(亦即，使其翹曲)該凸出密封面150並且負面地影響做在該凸出密封面150與該金屬墊片176之間的密封件之完整性。
不像是先前技藝的探針設計，該超音波探針100的筒體123不會伸入該密封裝配構件102a。而是，該筒體123係連接至該頸管108，該頸管108接著連接至該密封裝配構件102a。該心柱168係搪孔以致於該心柱168的內徑D4大於該筒體123的外徑D3而且使該筒體123能插入該心柱168。該 頸管108具有小於該筒體123的外徑D3之外徑D2(亦即，D2對D3的比例小於1)，其使得該密封裝配構件102a的貫通孔103能具有較小的孔徑，這與需要較大密封附件(例如，1吋密封附件)或在該密封裝配構件102a中搪出該貫通孔103以容納該筒體123的加大外徑D3相反。該頸管108的較小外徑D2也提供擁有夠大的熔接區148所必需的距離D1，以致於該頸管108及該密封裝配構件102a能熔接在一起而不會使熔接材料及/或熔接熱損及該凸出密封面150。防止對該凸出密封面150產生這樣的損傷對保持該凸出密封面150與該金屬墊片176之間的密封件完整度，而且從而保持用於半導體製造的化學試劑化驗結果(純度)很重要。
圖3A係依據本發明的另一示範具體實施例的超音波探針200的爆炸透視圖。圖3B係沿著線3B-3B取得的超音波探針200的非爆炸截面圖。圖4A係該超音波探針200的某些零件的爆炸透視圖，而且圖4B係圖4A所示的超音波探針200之零件的非爆炸透視圖。
該超音波探針200與該超音波探針100共用許多類似之處，但是關於該頸管208和該筒體223的構造卻不相同。在此具體實施例中，該頸管208的肩部部位213係由該側壁214構成(而非獨立配件，超音波探針100的肩部管116就是這樣)而且與該頸管208的剩餘部分合為一體(亦即，該頸管208和肩部部位213係單一配件的材料)。該肩部部位213具有鐘形，其起於標示於211的側壁214之部位而且從該頸管208的外徑D2轉變成該頸管208的外徑D3，那也是該筒 體223的外徑。該頸管208的下端212也界定出直徑大於該頸管208的外徑D2之下方開口。
在此具體實施例中，該筒體223包含套管215、外管222、內管232及碟形蓋240。該套管215包含界定上方開口的上端217，界定下方開口的下端219、側壁221及配置於該側壁221的貫通孔225。
不像是該超音波探針100，該超音波探針200的外管222不包括配置於該側壁228的貫通孔，而且該外管222的上端224沒連接至一肩部管或該頸管208的下端212。而是，該內管232的上端234對準配置於該套管215的側壁221之貫通孔225，而且該內管232的上端234係連接至該套管215的側壁221。該套管215的上端217係連接至該頸管208的下端212，而且該外管222的上端224係連接至該套管215的下端219。該碟形蓋240係連接至該外管222的下端226及該內管232的下端236，藉以將該外管222的下端226連接至該內管232的下端236。
該套管215使該筒體223能建構成一或更多組合件。頃發現此特徵是有益的，因為該筒體223能部分組裝起來而且該多數超音波感測器256能在該筒體223完成組合並且將該多數超音波感測器256附入該內部容積246以前先測試。另外，此特徵有益的原因是在熔接的熱可能損及該多數超音波感測器256及/或將該多數超音波感測器256固持於該內部容積246內的適當位置之連結物的情形中，該筒體223大部分旳零件均能在安裝該多數超音波感測器256以前熔接 在一起。
在一較佳具體實施例中，舉例來說，組合件藉由將該內管232的上端234熔接至該套管215並且將該內管232的下端236熔接至該碟形蓋240先建構成包含該套管215、該內管232及該碟形蓋240。該組合件接著藉由將該套管215的上端217熔接至該頸管208的下端212而連接至該頸管208。該多數超音波感測器256接著藉由環氧樹脂或其他已知的連結手段將該多數超音波感測器256連接至該側壁238(參見圖3B)安裝至該組合件中。連接至該多數超音波感測器中的各超音波感測器256之配線258(包含至少一電線)係沿著該側壁238拉出，通過該套管215，並且通過該肩部部位213及剩下部分的頸管208。連接至各超音波感測器的配線258，像是該超音波探針100的配線158，不需要個別遮蔽，而且該配線258能提供一多導線遮蔽電纜，該多導線遮蔽電纜具有供各超音波感測器用的獨立內導線及擔任該多數超音波感測器256中的所有超音波感測器之共同返回線和接地線的任務之外部遮蔽件。此刻，該多數超音波感測器256能加以測試(例如，藉由將其連接至控制器並且提供電流)，調整及/或替換，但是其仍舊能輕易地利用。再者，所產生的熱可能損及該等超音波感測器256及/或其對該側壁238的連結物之熔接已經在安裝該多數超音波感測器256以前進行過。
該筒體223的組合可接著藉由將該外管222連接至該組合件而完成。在此例中，該外管222滑過該碟形蓋240並且滑過該內管232直到該外管222的上端224緊鄰該套管 215的下端219。該套管215係經由沿著圓周形熔接線223a的熔接連接至該頸管208(參見圖4B)並且經由沿著圓周形熔接線223b的熔接連接至該外管222，藉以將該多數超音波感測器256附入該外管222的側壁228與該內管232的側壁238之間所界定的內部容積246。發明人已經發現當沿著等等圓周形熔接線223a和223b從該筒體223的外側熔接時，該內部容積246內產生的任何熱均沒大到足以損及該多數超音波感測器256及/或將該多數超音波感測器256固持於該內部容積246內的適當位置之連結物。
該超音波探針200能與該密封裝配組合件157聯合使用以依照先前關於該超音波探針100討論的方式將該超音波探針200安裝於該容器159上。然而，當該超音波探針200完全安裝於該容器159上時，測量該容器159的上方部位162與211所標示的側壁214部位(亦即，該肩部部位213的最上方部位)而非該肩部管116的上端118之間的等效距離S2，並且測量該容器159的上方部位162與該套管215的上端217而非該外管122的上端之間的等效距離S3。
儘管本發明的原理已經連結較佳具體實施例描述過，但是人們
100‧‧‧超音波探針
102a‧‧‧密封裝配構件
102b‧‧‧密封裝配構件
103‧‧‧貫通孔
104‧‧‧可撓性連接器
106‧‧‧電纜護套
108‧‧‧頸管
110‧‧‧頸管上端
112‧‧‧頸管下端
114‧‧‧側壁
116‧‧‧肩部管
118‧‧‧肩部管上端
120‧‧‧肩部管下端
122‧‧‧筒體的外管
123‧‧‧筒體
124‧‧‧外管上端
126‧‧‧外管下端
128‧‧‧側壁
130‧‧‧貫通孔
132‧‧‧筒體的內管
134‧‧‧內管上端
136‧‧‧內管下端
138‧‧‧側壁
140‧‧‧碟形蓋
142‧‧‧碟形蓋的內部邊緣

Claims (29)

  1. 一種與容器一併使用之超音波探針，該超音波探針包含：一筒體，其具有一外徑；一導管，其係配置於該筒體內；一頸管，其係連接至該筒體及裝配組合件的一個部位，該頸管包含肩部部位、由該肩部部位界定的下方開口、側壁及由該側壁界定的第一外徑，該頸管的第一外徑小於該筒體的外徑；一內部容積，其係配置於該筒體內，該內部容積與該導管隔離；及多數超音波感測器，其係配置於該內部容積內，該多數超音波感測器中的各超音波感測器均具有自該內部容積拉出通過該頸管的電線。
  2. 如申請專利範圍第1項之超音波探針，其中該裝配組合件部位包含一具有內緣的密封面，該內緣位於離該頸管的側壁至少2.0mm之處。
  3. 如申請專利範圍第2項之超音波探針，其中該筒體的外徑係至少16分之5吋(7.9mm)。
  4. 如申請專利範圍第1項之超音波探針，其中該頸管的第一外徑對該筒體的外徑之比例小於或等於0.95。
  5. 如申請專利範圍第1項之超音波探針，其中該頸管的第一外徑對該筒體的外徑之比例大於或等於0.3而且小於或等於0.95。
  6. 如申請專利範圍第1項之超音波探針，其中該頸管的第一外徑不大於21.0mm。
  7. 如申請專利範圍第1項之超音波探針，其中該筒體包含：一套管，其具有上方開口、下方開口、側壁、配置於該側壁中的側開口及由該側壁界定的外徑；一外管，其包含上方開口、下方開口、側壁及由該側壁界定的外徑；及一內管，其包含上方開口、下方開口及側壁，該內管的上方開口對準該套管的側開口；其中該內管界定該導管，該內部容積位於該內管的側壁與該外管的側壁之間，該套管的側開口對準該內管的上方開口，而且該套管係佈置於該頸管與該外管之間。
  8. 如申請專利範圍第1項之超音波探針，其中該筒體包含：一套管，其具有上方開口、下方開口、側壁、配置於該側壁中的側開口及由該側壁界定的外徑，該套管的上方開口係連接至該頸管的下方開口；一外管，其包含上方開口、下方開口、側壁及由該側壁界定的外徑，該外管的上方開口係連接至該套管的下方開口； 及一內管，其係連接至該外管及該套管，該內管包含上方開口、下方開口及側壁，該內管的上方開口對準該套管的側開口，該內管的下方開口對準該外管的下方開口；其中該內管界定該導管而且該內部容積位於該內管的側壁與該外管的側壁之間。
  9. 如申請專利範圍第7項之超音波探針，其中由頸管的肩部部位界定的下方開口具有第二外徑，該第二外徑大於該頸管的第一外徑。
  10. 如申請專利範圍第9項之超音波探針，其中該第二外徑實質上等於該外管的外徑及該套管的外徑。
  11. 如申請專利範圍第1項之超音波探針，其中該筒體包含：一外管，其包含上方開口、下方開口、側壁及由該側壁界定的外徑；及一內管，其係連接至該外管，該內管包含上方開口、下方開口及側壁，該內管的上方開口對準該外管的側開口，該內管的下方開口對準該外管的下方開口，其中該內管界定該導管，其中該內部容積位於該內管的側壁與該外管的側壁之間。
  12. 如申請專利範圍第11項之超音波探針，其中該頸管的肩部部位包含： 一肩部管，其係連接至該頸管的側壁，該肩部管係連接至該外管，該肩部管具有大於該第一外徑的外徑。
  13. 如申請專利範圍第1項之超音波探針，其中該裝配組合件部位包含：一第一密封裝配構件，其係連接至該頸管的一個部位，該第一密封裝配構件包含第一螺紋區及凸出密封面，該第一密封裝配構件的凸出密封面環繞著該頸管延伸，該第一密封裝配構件的凸出密封面與該頸管的側壁分開第一距離。
  14. 如申請專利範圍第13項之超音波探針，其另外包含：一第二密封裝配構件，該第二密封裝配構件包含第二螺紋區，其中該第二螺紋區係適配成能咬合該第一螺紋區；及一具有貫通孔的墊片，該頸管通過該貫通孔配置，該墊片係適配成能配置於該第一密封裝配構件的凸出密封面與該容器的凸出密封面之間。
  15. 如申請專利範圍第13項之超音波探針，其中該第一距離係至少2.0mm。
  16. 如申請專利範圍第13項之超音波探針，其中該第一密封裝配構件包含4分之3吋(19.1mm)面密封附件。
  17. 一種系統，其包含： 一容器，其係用於盛裝液體，該容器包含：具有上方部位和內部容積的本體；及配置於該本體上方部位的洞中之心柱，該心柱具有內徑、側壁、唇部及凸出密封面；及一超音波探針，其係用於測量該容器內部容積中的液位，該超音波探針包含：具有小於該心柱內徑的外徑之筒體，該筒體具有配置於該筒體內的導管，該導管與該容器本體的內部容積流體連通；連接至該筒體及裝配組合件的一個部位之頸管，該頸管包含肩部部位、由該肩部部位界定的下方開口、側壁及由該側壁界定的第一外徑，該頸管的第一外徑小於該筒體的外徑，其中該頸管一個部位係配置於該心柱內；配置於該筒體內的內部容積，該筒體的內部容積與該導管和該容器本體的內部容積隔離；及配置於該筒體的內部容積內之多數超音波感測器，該多數超音波感測器中的各超音波感測器均具有從該筒體的內部容積延伸通過該頸管的電線，該多數超音波感測器中的各超音波感測器係定位並且定向以使音波射入該導管的至少一部分。
  18. 如申請專利範圍第17項之系統，其中該裝配組合件部位包含具有內緣的密封面，該內緣位於離該頸管的側壁至少2.0mm之處。
  19. 如申請專利範圍第17項之系統，其中該頸管的第一外徑對該筒體的外徑之比例小於或等於0.95。
  20. 如申請專利範圍第17項之系統，其中該筒體另外包含：一套管，其具有上方開口、下方開口、側壁、配置於該側壁中的側開口及由該側壁界定的外徑，該套管的上方開口係連接至該頸管；一外管，其包含上方開口、下方開口、側壁及由該側壁界定的外徑，該外管的上方開口係連接至該套管的下方開口；及一內管，其係連接至該外管和該套管，該內管包含上方開口、下方開口及側壁，該內管的上方開口對準該套管的側開口，該內管的下方開口對準該外管的下方開口，其中該內管界定該導管，該內部容積位於該內管的側壁與該外管的側壁之間。
  21. 如申請專利範圍第20項之系統，其中當該超音波探針完全安裝於該容器上時由頸管的肩部部位界定的下方開口位於該心柱最下方部位的下面。
  22. 如申請專利範圍第20項之系統，其中由頸管的肩部部位界定的下方開口具有第二外徑，該第二外徑大於該頸管的第一外徑。
  23. 如申請專利範圍第22項之系統，其中該第二外徑實質上等於該外管的外徑和該套管的外徑。
  24. 如申請專利範圍第17項之系統，其中該筒體包含：一外管，其包含上方開口、下方開口、側壁及配置於該側壁中的側開口；及一內管，其係連接至該外管，該內管包含上方開口、下方開口及側壁，該內管的上方開口對準該套管的側開口，該內管的下方開口對準該外管的下方開口，其中該內管界定該導管，其中該筒體的內部容積位於該內管的側壁與該外管的側壁之間。
  25. 如申請專利範圍第24項之系統，其中該頸管的肩部部位包含：一肩部管，其係連接至該頸管的側壁，該肩部係連接至該外管，該肩部管具有大於該第一外徑的外徑。
  26. 如申請專利範圍第25項之系統，其中當該超音波探針完全安裝於該容器上時該肩部管的下方開口位於該心柱最下方部位的下面。
  27. 如申請專利範圍第17項之系統，其中該裝配組合件部位包含：一第一密封裝配構件，其係連接至該頸管的一個部位，該 第一密封裝配構件包含第一螺紋區及環繞著該頸管延伸的凸出密封面，該第一密封裝配構件的凸出密封面與該頸管的側壁分開至少2.0mm。
  28. 如申請專利範圍第27項之系統，其另外包含：一第二密封裝配構件，該第二密封裝配構件包含第二螺紋區，其中該第二螺紋區咬合該第一螺紋區而且該容器心柱的唇部咬合該第二密封裝配構件的一個部位；及一墊片，其係配置於該第一密封裝配構件的凸出密封面與該容器心柱的凸出密封面之間，該墊片具有一貫通孔，該頸管通過該貫通孔配置。
  29. 如申請專利範圍第17項之系統，其中配置於該心柱內的頸管部位離該心柱的側壁大於或等於0.70mm的距離。
TW103116758A 2013-05-15 2014-05-12 超音波液位感測系統 TWI526674B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201361823625P 2013-05-15 2013-05-15
US14/163,407 US8959998B2 (en) 2013-05-15 2014-01-24 Ultrasonic liquid level sensing systems
US14/163,518 US9316525B2 (en) 2013-05-15 2014-01-24 Ultrasonic liquid level sensing systems

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201443401A TW201443401A (zh) 2014-11-16
TWI526674B true TWI526674B (zh) 2016-03-21

Family

ID=51894700

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104140001A TWI576568B (zh) 2013-05-15 2014-05-12 超音波探針、其操作方法及超音波液位感測系統
TW103116758A TWI526674B (zh) 2013-05-15 2014-05-12 超音波液位感測系統

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104140001A TWI576568B (zh) 2013-05-15 2014-05-12 超音波探針、其操作方法及超音波液位感測系統

Country Status (5)

Country Link
US (3) US8959998B2 (zh)
JP (2) JP5902751B2 (zh)
KR (2) KR101636951B1 (zh)
CN (3) CN105021257A (zh)
TW (2) TWI576568B (zh)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2012298757B2 (en) * 2011-08-23 2016-04-28 Cidra Corporate Services Inc. Acoustic probing technique for the determination of multiple liquid/froth interfaces in separation and storage vessels based on an oblique tomographic analysis approach
US8959998B2 (en) * 2013-05-15 2015-02-24 Air Products And Chemicals, Inc. Ultrasonic liquid level sensing systems
US10151618B2 (en) 2014-01-24 2018-12-11 Versum Materials Us, Llc Ultrasonic liquid level sensing systems
JP6702995B2 (ja) 2014-11-18 2020-06-03 バーサム マテリアルズ ユーエス，リミティド ライアビリティ カンパニー 超音波液体レベルセンシングシステム
KR20160115656A (ko) * 2015-03-26 2016-10-06 김지환 지방 제거 장치 및 세포 분리 장치
JP7029040B2 (ja) * 2016-04-12 2022-03-03 テキサス インスツルメンツ インコーポレイテッド シールドされたケーブルを介して共振器コンデンサに結合されるセンサインダクタを備えるセンサ共振器を用いる遠隔検知
US10289126B2 (en) * 2016-10-11 2019-05-14 Fuel Automation Station, LLC Mobile distribution station with guided wave radar fuel level sensors
US10633243B2 (en) 2017-02-24 2020-04-28 Fuel Automation Station, Llc. Mobile distribution station
US10150662B1 (en) 2017-10-27 2018-12-11 Fuel Automation Station, Llc. Mobile distribution station with additive injector
RU2700286C2 (ru) 2018-02-14 2019-09-16 Александр Петрович Демченко Ультразвуковой датчик уровня жидкости
US10926996B2 (en) 2018-05-04 2021-02-23 Fuel Automation Station, Llc. Mobile distribution station having adjustable feed network
CA3051985C (en) 2018-08-24 2022-08-09 Fuel Automation Station, LLC Mobile distribution station having satellite dish
JP6927182B2 (ja) * 2018-11-28 2021-08-25 株式会社デンソー 液面検出装置
JP2021057751A (ja) * 2019-09-30 2021-04-08 セイコーエプソン株式会社 超音波装置、及び超音波装置の製造方法
DE102019216047A1 (de) * 2019-10-17 2020-10-08 Vitesco Technologies Germany Gmbh Anordnung und Verfahren zum Feststellen eines Mindestfüllstands eines Fluids in einem Fluidbehälter
US11142449B2 (en) 2020-01-02 2021-10-12 Fuel Automation Station, LLC Method and system for dispensing fuel using side-diverting fuel outlets
US11827421B2 (en) * 2020-01-17 2023-11-28 Fuel Automation Station, LLC Fuel cap assembly with cylindrical coupler
EP4348192A1 (en) * 2021-06-04 2024-04-10 Abb Schweiz Ag Sensing assembly for use in piezoelectric liquid level sensor

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4077022A (en) * 1974-08-05 1978-02-28 Texaco Inc. Well logging method and means using an armored multiconductor coaxial cable
US4063457A (en) 1976-09-27 1977-12-20 Envirotech Corporation Ultrasonic level sensing device
GB1595194A (en) 1977-09-13 1981-08-12 Marconi Co Ltd Liquid level sensing device
US4964090A (en) * 1989-07-19 1990-10-16 Trw, Inc. Ultrasonic fluid level sensor
US5275060A (en) * 1990-06-29 1994-01-04 Panametrics, Inc. Ultrasonic transducer system with crosstalk isolation
DE9010566U1 (zh) 1990-07-13 1990-09-20 Siemens Ag, 8000 Muenchen, De
EP0745833A3 (en) 1991-07-25 1998-09-23 The Whitaker Corporation Liquid level sensor
US5269188A (en) 1991-07-29 1993-12-14 Rosemount Inc. Continuous self test time gate ultrasonic sensor and method
US5119676A (en) * 1991-09-03 1992-06-09 The Babcock & Wilcox Company Ultrasonic method and apparatus for determining water level in a closed vessel
US5437178A (en) * 1992-07-06 1995-08-01 Kay-Ray/Sensall, Inc. Controller for ultrasonic sensors
CN1086900A (zh) * 1992-11-07 1994-05-18 浙江大学 振动式粉仓粉位监测方法及装置
US5428984A (en) 1993-08-30 1995-07-04 Kay-Ray/Sensall, Inc. Self test apparatus for ultrasonic sensor
US5842374A (en) 1994-06-02 1998-12-01 Changmin Co., Ltd. Measuring method of a wide range level and an apparatus thereof
US5663503A (en) 1995-09-08 1997-09-02 Cosense, Inc. Invasive and non-invasive ultrasonic sensor with continuous and demand self-test
US5962952A (en) * 1995-11-03 1999-10-05 Coherent Technologies, Inc. Ultrasonic transducer
US5996407A (en) * 1996-06-14 1999-12-07 Parker-Hannifin Corporation Multi-frequency ultrasonic liquid level gauging system
US6246154B1 (en) 1996-11-01 2001-06-12 Coherent Technologies Ultrasonic transducer
GB9817454D0 (en) * 1998-08-12 1998-10-07 Smiths Industries Plc Fluid-gauging systems
IL150315A (en) * 1998-11-30 2010-12-30 Air Prod & Chem Ultrasonic level sense in a chemical refill system
US6264064B1 (en) * 1999-10-14 2001-07-24 Air Products And Chemicals, Inc. Chemical delivery system with ultrasonic fluid sensors
CN1120982C (zh) * 1999-10-20 2003-09-10 刘春生 传波杆接触式超声脉冲回波液位测量方法
GB0001746D0 (en) * 2000-01-27 2000-03-15 Smiths Industries Plc Quantity gauging
US6640634B2 (en) * 2000-03-31 2003-11-04 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasonic probe, method of manufacturing the same and ultrasonic diagnosis apparatus
GB0118320D0 (en) * 2001-07-27 2001-09-19 Ici Plc Level measurement
US6725721B2 (en) * 2001-10-22 2004-04-27 Magnetic Analysis Corporation Ultrasonic multi-element transducers and methods for testing
DE10159359A1 (de) 2001-12-04 2003-06-12 Tetra Laval Holdings & Finance Vorrichtung zum Messen der Füllhöhe einer Flüssigkeit in einem abgeschlossenen Raum
US7082822B2 (en) * 2002-04-05 2006-08-01 Vetco Gray Inc. Internal riser inspection device and methods of using same
DE10224294A1 (de) * 2002-05-31 2004-01-15 systec Controls Meß- und Regeltechnik GmbH Verfahren zur Ultraschall-Laufzeit-Mengenmessung
CA2498396A1 (en) * 2002-09-09 2004-03-18 Robertshaw Industrial Products Division Interface detection using time domain reflectometry with two separate conductive elements
WO2004052209A1 (en) 2002-12-11 2004-06-24 Koninklijke Philips Electronics N.V. Miniaturized ultrasonic transducer
AU2004213825B2 (en) 2003-02-14 2009-07-30 Adept Science & Technologies, Llc Ultrasonic liquid level monitor
US7464596B2 (en) * 2004-09-24 2008-12-16 The Boeing Company Integrated ultrasonic inspection probes, systems, and methods for inspection of composite assemblies
GB0722256D0 (en) 2007-11-13 2007-12-27 Johnson Matthey Plc Level measurement system
US8061196B2 (en) * 2008-12-01 2011-11-22 Cosense, Inc. Bottom up contact type ultrasonic continuous level sensor
CN101769777A (zh) * 2008-12-30 2010-07-07 广州昉时工业自动控制系统有限公司 自带气体声速实时校准的超声波液位计
US8248888B1 (en) * 2010-08-04 2012-08-21 Measurement Specialties, Inc. Bottom up contact type ultrasonic continuous level sensor
US10551238B2 (en) * 2010-11-18 2020-02-04 Illinois Tool Works Inc. Ultrasonic level sensor for aerated fluids
US8959998B2 (en) * 2013-05-15 2015-02-24 Air Products And Chemicals, Inc. Ultrasonic liquid level sensing systems

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016027343A (ja) 2016-02-18
US9316525B2 (en) 2016-04-19
JP2014224818A (ja) 2014-12-04
US9550260B2 (en) 2017-01-24
KR20140135118A (ko) 2014-11-25
KR101636951B1 (ko) 2016-07-07
CN104215300B (zh) 2019-12-13
US8959998B2 (en) 2015-02-24
CN109211357A (zh) 2019-01-15
TWI576568B (zh) 2017-04-01
US20160207153A1 (en) 2016-07-21
JP5937736B2 (ja) 2016-06-22
JP5902751B2 (ja) 2016-04-13
TW201614198A (en) 2016-04-16
US20140338442A1 (en) 2014-11-20
US20140338443A1 (en) 2014-11-20
CN105021257A (zh) 2015-11-04
KR20150084752A (ko) 2015-07-22
TW201443401A (zh) 2014-11-16
CN104215300A (zh) 2014-12-17
KR102204997B1 (ko) 2021-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI526674B (zh) 超音波液位感測系統
TWI582395B (zh) 超音波液位感測系統
TWI598573B (zh) 超音波液位感測系統
EP2803955B1 (en) Ultrasonic liquid level sensing systems
KR20170008020A (ko) 탱크 수위 측정용 센서를 위한 센서 브라켓