TWI506239B - 溫度補償系統及方法 - Google Patents

溫度補償系統及方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI506239B
TWI506239B TW101117151A TW101117151A TWI506239B TW I506239 B TWI506239 B TW I506239B TW 101117151 A TW101117151 A TW 101117151A TW 101117151 A TW101117151 A TW 101117151A TW I506239 B TWI506239 B TW I506239B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
value
scale
workpiece
coordinate axis
measurement
Prior art date
Application number
TW101117151A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201344149A (zh
Inventor
Chih Kuang Chang
Hua-Wei Yang
Original Assignee
Hon Hai Prec Ind Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hon Hai Prec Ind Co Ltd filed Critical Hon Hai Prec Ind Co Ltd
Publication of TW201344149A publication Critical patent/TW201344149A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI506239B publication Critical patent/TWI506239B/zh

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/0003Arrangements for preventing undesired thermal effects on tools or parts of the machine
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/03Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring coordinates of points
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/045Correction of measurements
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/37Measurements
    • G05B2219/37193Multicoordinate measuring system, machine, cmm

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)

Description

溫度補償系統及方法
本發明涉及一種溫度管理系統及方法,尤其涉及一種溫度補償系統及方法。
量測機台於量測待測工件的時候,會因為各種外界因素引起量測的誤差。溫度是不可忽視的其中之一因素,於不同溫度的影像下,量測機台的光柵尺、待測工件等均會因為溫度的變化而變形,使得測得的待測工件的尺寸出現誤差。
鑒於以上內容,有必要提供一種溫度補償系統及方法,可以對量測機台量測的工件進行溫度補償。
一種溫度補償系統,該系統包括:量測模組,用於在多個環境溫度下量測放置於量測機臺上的標準工件的量測長度值和該量測機台的光柵尺的量測刻度值;第一計算模組,用於根據所述標準工件的理論長度值和所述量測長度值,及光柵尺量測刻度值和理論刻度值,計算出標準工件的長度偏差值和光柵尺的刻度偏差值;第二計算模組,用於根據計算得到的標準工件的長度偏差值和光柵尺的刻度偏差值、量測標準工件量測長度值的量測次數、量測光柵尺量測刻度值的量測次數、量測機台每個座標軸的座標值計算所述標準工件和光柵尺分別對應的每個座標軸的補償係數;第 三計算模組,用於根據計算出來的標準工件和光柵尺於每個環境溫度下各個座標軸的補償係數和環境溫度個數,計算出標準工件和光柵尺分別對應的每個座標軸總補償係數值;第四計算模組,用於利用待測工件的溫度值和光柵尺的溫度值、環境溫度值、標準工件對應的每個座標軸的總補償係數值、及光柵尺對應的每個座標軸的總補償係數值,計算出放置於量測機臺上的待測工件對應的各個座標軸的總誤差;及補償模組,用於根據計算出來的待測工件對應的各個座標軸的總誤差和量測機台各個座標軸的座標值來計算待測工件於各個座標軸的實際座標值。
一種溫度補償方法,該方法包括:量測步驟,量測放置於量測機臺上的標準工件的量測長度值和該量測機台的光柵尺的量測刻度值;第一計算步驟,根據所述標準工件的理論長度值和所述量測長度值,及光柵尺量測刻度值和理論刻度值,計算出標準工件的長度偏差值和光柵尺的刻度偏差值;第二計算步驟,根據計算得到的標準工件的長度偏差值和光柵尺的刻度偏差值、量測標準工件量測長度值的量測次數、量測光柵尺量測刻度值的量測次數、量測機台每個座標軸的座標值計算所述標準工件和光柵尺分別對應的每個座標軸的補償係數;第三計算步驟,根據計算出來的標準工件和光柵尺於用戶設置的每個環境溫度下各個座標軸的補償係數和環境溫度個數,計算出標準工件和光柵尺分別對應的每個座標軸總補償係數值;第四計算步驟,利用待測工件的溫度值和光柵尺的溫度值、環境溫度值、標準工件對應的每個座標軸的總補償係數值、及光柵尺對應的每個座標軸的總補償係數值,計算出放置於量測機臺上的待測工件對應的各個座標軸的總誤差;及補償步驟,根據計算出來的待測工件對應的各個座標軸的總誤差 和量測機台各個座標軸的座標值來計算待測工件於各個座標軸的實際座標值。
相較於習知技術,所述溫度補償系統及方法,可以於量測工件時,補償因為溫度偏差原因造成的誤差,使得量測工件的結果更加精確。
1‧‧‧電腦
10‧‧‧溫度補償系統
2‧‧‧量測機台
20‧‧‧光柵尺
21‧‧‧量測單元
3‧‧‧標準工件
4‧‧‧待測工件
5‧‧‧第一溫度感測器
6‧‧‧第二溫度感測器
11‧‧‧資料庫
100‧‧‧設置模組
101‧‧‧第一讀取模組
102‧‧‧記錄模組
103‧‧‧量測模組
104‧‧‧第一計算模組
105‧‧‧第一計數位組
106‧‧‧第一判斷模組
107‧‧‧第二計算模組
108‧‧‧第二計數位組
109‧‧‧第二判斷模組
110‧‧‧第三計算模組
111‧‧‧第二讀取模組
112‧‧‧第四計算模組
113‧‧‧補償模組
圖1是本發明溫度補償系統較佳實施例的運行環境示意圖。
圖2是圖1中溫度補償系統10的功能模組圖。
圖3和圖4是本發明溫度補償方法較佳實施例的作業流程圖。
如圖1所示,是本發明溫度補償系統較佳實施例的運行環境示意圖。該溫度補償系統10運行於電腦1中,該電腦1連接量測機台2,該量測機台2包括光柵尺20和量測單元21。該量測單元21用於量測標準工件3和待測工件4的長度值,還用於量測光柵尺20的刻度值。所述標準工件3可以為線紋尺、塊規等。所述光柵尺20、標準工件3及待測工件4上各放置了一個第一溫度感測器5,用於量測光柵尺20、標準工件3及待測工件4的溫度值。
所述電腦1連接於一個第二溫度感測器6,該第二溫度感測器6用於量測環境溫度值。該電腦1還包括資料庫11,該資料庫11中儲存有所述量測機台2每個座標軸的座標值L,所述每個座標軸的座標值L是指X軸、Y軸、Z軸的座標值,指的是所述量測機台2的機械座標值。
如圖2所示,是圖1中溫度補償系統10的功能模組圖。所述溫度補 償系統10包括:設置模組100、第一讀取模組101、記錄模組102、量測模組103、第一計算模組104、第一計數位組105、第一判斷模組106、第二計算模組107、第二計數位組108、第二判斷模組109、第三計算模組110、第二讀取模組111、第四計算模組112、及補償模組113。所述模組是具有特定功能的軟體程式段,該軟體儲存於電腦可讀儲存介質或其他儲存設備中,可被電腦或其他包含處理器的計算裝置執行,從而完成對待測工件量測結果的溫度補償的作業流程。
設置模組100用於讀取第二溫度感測器6測得的一個環境溫度值。
第一讀取模組101用於讀取標準工件3和光柵尺20上第一溫度感測器5採集到的溫度值,並判斷所讀取的溫度值與所述環境溫度值的誤差值是否均於允許誤差比例範圍內。若所述標準工件3或光柵尺20的溫度值與環境溫度值的誤差不於允許誤差比例範圍內,則需要繼續等待直到標準工件3或光柵尺20的溫度值與環境溫度值的誤差於允許誤差比例範圍內。本實施例中,所述允許誤差比例範圍為小於10%。
記錄模組102用於當所讀取的標準工件3和光柵尺20的溫度值與所述環境溫度值的誤差值均於允許誤差比例範圍內時,記錄該標準工件3和光柵尺20的溫度值。
量測模組103用於控制量測單元21量測標準工件3的量測長度值和光柵尺20的量測刻度值。
第一計算模組104用於根據所述標準工件3的理論長度值X1和所述量測長度值X2,計算出標準工件3的長度偏差值X3,所述 X3=X2-X1。同理計算光柵尺20的理論刻度值和量測刻度值的刻度偏差值。
第一計數位組105用於將於所述環境溫度下量測標準工件3的量測長度值和光柵尺20的量測刻度值的量測次數加1。本實施例中,該量測次數(如N)指的是量測標準工件3的量測長度值的次數,標準工件3的量測長度值可能因為溫度的不穩定造成長度值的差異,該量測次數N的初始值為0,當量測完標準工件3的量測長度值X2後,該量測次數N=1。
第一判斷模組106用於判斷所述量測標準工件3和光柵尺20的量測次數是否均達到了用戶設置的該環境溫度下需要量測的次數。若量測標準工件3的量測次數或者量測光柵尺20的量測次數沒有達到用戶設置的需要量測的次數,則所述量測模組103繼續量測標準工件3的量測長度值或繼續量測光柵尺20的量測刻度值,再由所述第一計算模組104繼續計算長度偏差值或刻度偏差值,直到所述量測光柵尺20和標準工件3的量測次數均達到用戶設置的需要量測的次數。
若所述量測標準工件3和光柵尺20的量測次數均達到用戶設置的需要量測的次數,則第二計算模組107用於根據上述計算得到的所有長度偏差值和所有刻度偏差值、量測次數、及量測機台2的每個座標軸的座標值L分別計算所述標準工件3和光柵尺20於所述環境溫度下每個座標軸的補償係數a。例如,計算標準工件3於所述環境溫度下每個座標軸的補償係數的公式為: 。由於每個座標軸的座標值L不同, 計算出來的每個座標軸對應的補償係數a的值亦不同。
第二計數位組108用於將環境溫度個數J加上1,環境溫度個數初始值為0。
第二判斷模組109用於判斷所述環境溫度個數J的值是否達到了用戶設置的需要的環境溫度個數。若所述環境溫度個數J沒有達到用戶需要的環境溫度個數,則所述設置模組100繼續讀取第二溫度感測器6測得的另一個環境溫度值,以計算該另一個環境溫度值下標準工件3和光柵尺20於每個座標軸的補償係數a。
當所述環境溫度個數J的值達到了用戶設置的需要的環境溫度個數時,第三計算模組110用於根據上述計算出來的標準工件3和光柵尺20於每個環境溫度下各個座標軸的補償係數以及環境溫度個數,計算出標準工件3和光柵尺20分別對應的每個座標軸上的總補償係數值。標準工件3於各個座標軸上的總補償係數值A1的計 算公式為。同理可以計算出所述光柵尺20於每個 座標軸上的總補償係數值A2。
第二讀取模組111用於當所述量測機台2於量測待測工件4時,讀取待測工件4上的第一溫度感測器5採集到的溫度值T1,光柵尺20上的第一溫度感測器5採集到的溫度值T2、及當前第二溫度感測器6所測得的環境溫度值T。
第四計算模組112用於利用待測工件4和光柵尺20上的第一溫度感測器5採集到的溫度值T1和T2,環境溫度值T、標準工件3於每個座標軸上的總補償係數值A1、及光柵尺20於每個座標軸上的總補 償係數值A2,來計算出待測工件4對應的各個座標軸的總誤差△L,計算公式為:△L=L[A1*(T1-T)-A2*(T2-T)]。
補償模組113用於根據所述計算出來的待測工件4於各個座標軸上的總誤差△L和量測機台2於各個座標軸上的座標值來計算出待測工件4於各個座標軸上的實際座標值。
如圖3和圖4所示,是本發明溫度補償方法較佳實施例的作業流程圖。
步驟S30,設置模組100讀取第二溫度感測器6測得的環境溫度值。
步驟S31,第一讀取模組101讀取標準工件3上第一溫度感測器5所採集到的溫度值。本實施例中,該第一溫度感測器5所採集到的溫度值即所述標準工件3於上述環境溫度值下的溫度值。
步驟S32,第一讀取模組101判斷所讀取的標準工件3的溫度值與所述環境溫度值的誤差值是否於允許誤差比例範圍內。本實施例中,所述允許誤差比例範圍為小於10%。若所述標準工件3的溫度值與環境溫度值的誤差不於允許誤差比例範圍內,則返回步驟S31繼續讀取標準工件3的溫度值。若所述標準工件3的溫度值與環境溫度值的誤差於允許誤差比例範圍內,則執行步驟S33。
步驟S33,記錄模組102記錄該標準工件3的溫度值。
步驟S34,量測模組103量測標準工件3的量測長度值。
步驟S35,第一計算模組104根據所述標準工件3的理論長度值X1和所述量測長度值X2,計算出標準工件3的長度偏差值X3,所述 X3=X2-X1。
步驟S36,第一計數位組105將對標準工件3於所述環境溫度下的量測次數N加上1。本實施例中,該量測次數N的初始值為0。
步驟S37,第一判斷模組106判斷所述量測次數N是否達到了用戶設置的該環境溫度下需要量測的次數。若所述量測次數N沒有達到用戶設置的需要量測的次數,則執行步驟S34,重複量測標準工件3的量測長度值。若所述量測次數N達到用戶設置的需要量測的次數,則執行步驟S38。
步驟S38,第二計算模組107根據上述計算得到的所有長度偏差值X3、量測次數N、及每個座標軸的座標值L計算所述標準工件3於所述環境溫度下每個座標軸的補償係數a。計算公式為: 。由於每個座標軸的座標值L不同, 計算出來的每個座標軸對應的補償係數a的值亦不同。
步驟S39,第二計數位組108將環境溫度個數J加上1,環境溫度個數初始值為0。
步驟S40,第二判斷模組109判斷所述環境溫度個數J的值是否達到了用戶設置的需要的環境溫度個數。若所述環境溫度個數J沒有達到用戶需要的環境溫度個數,則返回執行步驟S30。若所述環境溫度個數J達到了用戶需要的環境溫度個數,則執行步驟S41。
步驟S41,第三計算模組110根據上述計算出來的標準工件3於每個環境溫度下各個座標軸的補償係數以及環境溫度個數,計算出 標準工件3於每個座標軸上的總補償係數值A1。該總補償係數值A1的計算公式為
步驟S42,重複執行步驟S30至步驟S41,同理計算出光柵尺20於每個座標軸上的總補償係數值A2。
步驟S43,當所述量測機台2於量測待測工件4時,第二讀取模組111讀取待測工件4上的第一溫度感測器5所採集到的溫度值T1,光柵尺20上的第一溫度感測器5所採集到的溫度值T2、及當前第二溫度感測器6所測得的環境溫度值T。
步驟S44,第四計算模組112利用待測工件4和光柵尺20的溫度值T1和T2,環境溫度值T、標準工件3於每個座標軸上的總補償係數值A1、及光柵尺20於每個座標軸上的總補償係數值A2,來計算出待測工件4於各個座標軸上的總誤差△L,計算公式為:△L=L[A1*(T1-T)-A2*(T2-T)]。
步驟S45,補償模組113根據所述計算出來的待測工件4於各個座標軸上的總誤差△L和量測機台2各個座標軸的座標值來計算待測工件4於各個座標軸上的實際座標值。
需要指出的是,步驟S42可以與步驟S30-S41同時進行,或先於步驟S30-S41進行,即可以同時計算標準工件3和光柵尺20於每個座標軸上的補償係數,亦可以先計算光柵尺20於每個座標軸上的補償係數。
最後所應說明的是,以上實施例僅用以說明本發明的技術方案而非限制,儘管參照以上較佳實施例對本發明進行了詳細說明,本 領域的普通技術人員應當理解,可以對本發明的技術方案進行修改或等同替換,而不脫離本發明技術方案的精神和範圍。
10‧‧‧溫度補償系統
100‧‧‧設置模組
101‧‧‧第一讀取模組
102‧‧‧記錄模組
103‧‧‧量測模組
104‧‧‧第一計算模組
105‧‧‧第一計數位組
106‧‧‧第一判斷模組
107‧‧‧第二計算模組
108‧‧‧第二計數位組
109‧‧‧第二判斷模組
110‧‧‧第三計算模組
111‧‧‧第二讀取模組
112‧‧‧第四計算模組
113‧‧‧補償模組

Claims (6)

  1. 一種溫度補償系統,該系統包括:第一讀取模組,用於讀取環境溫度值及標準工件的溫度值,判斷所述標準工件的溫度值與所述環境溫度值的誤差值是否於允許誤差比例範圍內;量測模組,用於當所述標準工件的溫度值與所述環境溫度值的誤差值於允許誤差比例範圍內時,在所述環境溫度下控制量測單元量測放置於量測機台上的標準工件的量測長度值和該量測機台的光柵尺的量測刻度值;第一計算模組,用於根據所述標準工件的理論長度值和所述量測長度值,及光柵尺量測刻度值和理論刻度值,計算出標準工件的長度偏差值和光柵尺的刻度偏差值;第二計算模組,用於根據計算得到的標準工件的長度偏差值和光柵尺的刻度偏差值、量測標準工件量測長度值的量測次數、量測光柵尺量測刻度值的量測次數、量測機台每個座標軸的座標值計算所述標準工件和光柵尺分別對應的每個座標軸的補償係數;第三計算模組,用於根據計算出來的標準工件和光柵尺於每個環境溫度下各個座標軸的補償係數和環境溫度個數,計算出標準工件和光柵尺分別對應的每個座標軸總補償係數值;第四計算模組,用於利用待測工件的溫度值和光柵尺的溫度值、環境溫度值、標準工件對應的每個座標軸的總補償係數值、及光柵尺對應的每個座標軸的總補償係數值,計算出放置於量測機台上的待測工件對應的各個座標軸的總誤差,所述待測工件對應的各個座標軸的總誤差的計算 公式為:△L=L[A1*(T1-T)-A2*(T2-T)],其中L是預先儲存的所述量測機台的每個座標軸的座標值,A1是所述標準工件對應的每個座標軸的總補償係數值,A2是所述光柵尺對應的每個座標軸的總補償係數值,T1是所述待測工件的溫度值,T2是所述光柵尺的溫度值,T是所述環境溫度值;及補償模組,用於根據計算出來的待測工件對應的各個座標軸的總誤差和量測機台各個座標軸的座標值來計算待測工件於各個座標軸的實際座標值。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之溫度補償系統,該系統還包括:第一計數位組,用於在每個環境溫度下計算出標準工件的長度偏差值和光柵尺的刻度偏差值之後,將量測標準工件的量測長度值和量測光柵尺的量測刻度值的量測次數加1。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之溫度補償系統,該系統還包括:第二計數位組,用於在計算出一個環境溫度下標準工件和光柵尺分別對應的每個座標軸的補償係數之後,將環境溫度個數加1。
  4. 一種溫度補償方法,該方法包括:讀取步驟,讀取環境溫度值及標準工件的溫度值,判斷所述標準工件的溫度值與所述環境溫度值的誤差值是否於允許誤差比例範圍內;量測步驟,當所述標準工件的溫度值與所述環境溫度值的誤差值於允許誤差比例範圍內時,量測放置於量測機台上的標準工件的量測長度值和該量測機台的光柵尺的量測刻度值;第一計算步驟,根據所述標準工件的理論長度值和所述量測長度值,及光柵尺量測刻度值和理論刻度值,計算出標準工件的長度偏差值和光柵尺的刻度偏差值;第二計算步驟,根據計算得到的標準工件的長度偏差值和光柵尺的刻度 偏差值、量測標準工件量測長度值的量測次數、量測光柵尺量測刻度值的量測次數、量測機台每個座標軸的座標值計算所述標準工件和光柵尺分別對應的每個座標軸的補償係數;第三計算步驟,根據計算出來的標準工件和光柵尺於用戶設置的每個環境溫度下各個座標軸的補償係數和環境溫度個數,計算出標準工件和光柵尺分別對應的每個座標軸總補償係數值;第四計算步驟,利用待測工件的溫度值和光柵尺的溫度值、環境溫度值、標準工件對應的每個座標軸的總補償係數值、及光柵尺對應的每個座標軸的總補償係數值,計算出放置於量測機台上的待測工件對應的各個座標軸的總誤差,所述待測工件對應的各個座標軸的總誤差的計算公式為:△L=L[A1*(T1-T)-A2*(T2-T)],其中L是預先儲存的所述量測機台的每個座標軸的座標值,A1是所述標準工件對應的每個座標軸的總補償係數值,A2是所述光柵尺對應的每個座標軸的總補償係數值,T1是所述待測工件的溫度值,T2是所述光柵尺的溫度值,T是所述環境溫度值;及補償步驟,根據計算出來的待測工件對應的各個座標軸的總誤差和量測機台各個座標軸的座標值來計算待測工件於各個座標軸的實際座標值。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之溫度補償方法,該方法於所述第二計算步驟之後還包括:第一計數步驟,將量測標準工件的量測長度值和量測光柵尺的量測刻度值的量測次數加1;第一判斷步驟,判斷所述量測標準工件的量測長度值和量測光柵尺的量測刻度值的量測次數是否均達到了用戶設置的該環境溫度下需要量測次數,若沒有達到用戶設置的需要量測的次數,則執行所述量測步驟,若量測標準工件的量測長度值和量測光柵尺的量測刻度值的量測次數均達 到了用戶設置的量測次數,則執行第二計算步驟。
  6. 如申請專利範圍第4項所述之溫度補償方法,該方法於所述第二計算步驟之後還包括:第二計數步驟,將環境溫度個數加1;及第二判斷步驟,判斷所述環境溫度個數的值是否達到了用戶設置的需要的環境溫度個數,若所述環境溫度個數沒有達到用戶需要的環境溫度個數,則返回執行所述設置步驟,若所述環境溫度個數達到了用戶需要的環境溫度個數,則執行所述第三計算步驟。
TW101117151A 2012-04-28 2012-05-15 溫度補償系統及方法 TWI506239B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210129895XA CN103376058A (zh) 2012-04-28 2012-04-28 温度补偿系统及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201344149A TW201344149A (zh) 2013-11-01
TWI506239B true TWI506239B (zh) 2015-11-01

Family

ID=49461541

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101117151A TWI506239B (zh) 2012-04-28 2012-05-15 溫度補償系統及方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9702681B2 (zh)
CN (1) CN103376058A (zh)
TW (1) TWI506239B (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000057676A1 (en) 1999-03-23 2000-09-28 The University Of Southern California Cyclometallated metal complexes as phosphorescent dopants in organic leds
KR100913568B1 (ko) 1999-05-13 2009-08-26 더 트러스티즈 오브 프린스턴 유니버시티 전계인광에 기초한 고 효율의 유기 발광장치
CN1840607B (zh) 1999-12-01 2010-06-09 普林斯顿大学理事会 作为有机发光器件的磷光掺杂剂的l2mx形式的络合物
DE102015104289B4 (de) * 2015-03-23 2016-12-15 Klingelnberg Ag Verfahren zum Betreiben einer verzahnungsbearbeitenden Maschine
JP6792219B2 (ja) * 2015-08-10 2020-11-25 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター 温度補正方法、温度補正プログラム、温度補正装置、及び座標測定機
FI127730B (en) * 2017-10-06 2019-01-15 Oy Mapvision Ltd Measurement system with heat measurement
CN110375694B (zh) * 2019-08-30 2020-12-04 合肥工业大学 基于便携关节式坐标测量机圆光栅测角误差的自校准方法
EP3839414A1 (en) * 2019-12-20 2021-06-23 Hexagon Technology Center GmbH Advanced thermal compensation of mechanical processes
CN112414265B (zh) * 2020-10-26 2022-02-11 东风汽车集团有限公司 发动机孔径尺寸测量补偿计算方法、测量补偿方法和装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5610846A (en) * 1994-05-27 1997-03-11 Carl Zeiss Stiftung Method for coordinate measurement on workpieces adjusted for bending of measuring apparatus structure
EP1462760A1 (de) * 2003-03-24 2004-09-29 Klingelnberg GmbH Vorrichtung zur Erfassung der Lage eines Tastelements in einem Mehrkoordinatenmessgerät
TW200704914A (en) * 2005-07-22 2007-02-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd System and method for error compensation of coordinate measurement machine
US20100014099A1 (en) * 2004-12-16 2010-01-21 Werth Messtechnik Gmbh Coordinate measuring device and method for measuring with a coordinate measuring device

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4340883A (en) * 1977-06-20 1982-07-20 The Solartron Electronic Group Limited Bipolar mark-space analogue-to-digital converter with balanced scale factors
DE3841488A1 (de) * 1988-12-09 1990-06-13 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet mit einem oder mehreren fuehrungselementen aus aluminium
DE4436181A1 (de) * 1994-10-10 1996-04-11 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer elektrischen Wechselgröße mit Temperaturkompensation durch Fitting
WO2002003025A1 (en) * 2000-06-30 2002-01-10 Unova Ip Corp. Method for determining effective coefficient of thermal expansion
CN2706759Y (zh) * 2003-12-03 2005-06-29 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 热流产生装置
JP4359573B2 (ja) * 2005-03-31 2009-11-04 オークマ株式会社 工作機械の熱変位補正方法
CN100462677C (zh) * 2005-07-08 2009-02-18 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 三坐标测量机床误差补偿系统及方法
CN101339692B (zh) * 2007-07-06 2011-01-05 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 热电偶温度采集系统及方法
CN101470027B (zh) * 2007-12-27 2011-12-21 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 温度测量装置及其温度测量方法
CN101858739B (zh) * 2009-04-10 2013-03-20 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 误差补正方法及采用该误差补正方法的工件测量方法
US8619265B2 (en) * 2011-03-14 2013-12-31 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker
CN101825453A (zh) * 2010-05-13 2010-09-08 天津大学 圆柱坐标系三坐标测量机的温度误差补偿方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5610846A (en) * 1994-05-27 1997-03-11 Carl Zeiss Stiftung Method for coordinate measurement on workpieces adjusted for bending of measuring apparatus structure
EP1462760A1 (de) * 2003-03-24 2004-09-29 Klingelnberg GmbH Vorrichtung zur Erfassung der Lage eines Tastelements in einem Mehrkoordinatenmessgerät
US20100014099A1 (en) * 2004-12-16 2010-01-21 Werth Messtechnik Gmbh Coordinate measuring device and method for measuring with a coordinate measuring device
TW200704914A (en) * 2005-07-22 2007-02-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd System and method for error compensation of coordinate measurement machine

Also Published As

Publication number Publication date
US9702681B2 (en) 2017-07-11
US20130289917A1 (en) 2013-10-31
TW201344149A (zh) 2013-11-01
CN103376058A (zh) 2013-10-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI506239B (zh) 溫度補償系統及方法
CN104376211A (zh) 一种坐标测量机测量不确定度评定方法
US6671650B2 (en) Position measuring apparatus and working apparatus using the same
CN101706294B (zh) 一种自动判断传感器的校准时间的方法
CN109990712B (zh) 一种测宽仪在线校准方法
CN108152325B (zh) 一种基于防护热板法校准热流计法导热仪的方法
CN107967701B (zh) 一种深度摄像设备的标定方法、装置及设备
US11105605B2 (en) Metrology device with automated compensation and/or alert for orientation errors
CN102331266A (zh) 多参量气体传感器补偿方法
TW201514441A (zh) 測量儀器線鐳射測頭校準系統及方法
CN109855583A (zh) 三坐标测量机测量不确定度的确定方法
CN108375352A (zh) 基于平行度的两平面位置的调整方法、装置及系统
CN115122333A (zh) 机器人标定方法、装置、电子设备及存储介质
US12085468B2 (en) Method and system for universal calibration of devices under test
CN107101935A (zh) 一种测量法向接触刚度的方法
CN106197745A (zh) 体温计及其测量方法
CN109945963A (zh) 不受安装随机性影响的并联传感器称重系统在位标定方法
CN103075989B (zh) 一种螺距误差补偿方法
CN104136885B (zh) X射线厚度计
CN104142299A (zh) 红外甲烷传感器的压力补偿方法
JP2010008277A (ja) 可変端度器
TWI429878B (zh) 曲面檢測系統及方法
TWI410767B (zh) 機械裝置之具有參數學習的控制器及其參數學習方法
CN202648576U (zh) 数显量具
JP7314969B2 (ja) ジルコニア式酸素濃度計のメンテナンス方法、メンテナンスシステム、及びジルコニア式酸素濃度計

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees