TWI505627B - Vibration power generation device - Google Patents

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TWI505627B
TWI505627B TW102146801A TW102146801A TWI505627B TW I505627 B TWI505627 B TW I505627B TW 102146801 A TW102146801 A TW 102146801A TW 102146801 A TW102146801 A TW 102146801A TW I505627 B TWI505627 B TW I505627B
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Masayo Ikuta
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Omron Tateisi Electronics Co
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Description

振動發電裝置
本發明係關於一種利用外部振動進行發電的振動發電裝置。
由於近年的節能潮流,不依靠化石燃料等日常存在的環保能源受到重視。作為環保能源,眾所周知有太陽光或風力等所生之發電能源,但作為具有不遜於此的能源密度之環保能源,可舉出存在於日常周圍的振動能源。
而且,人們已開發利用此振動能源進行發電的振動發電裝置,且在該發電裝置廣泛利用可半永久保存電荷的駐極體。如此利用駐極體進行振動發電時,必須將該駐極體與電極的間隙維持在發電效率為良好的規定距離。因此,如專利文獻1所示,揭示一種在使設有駐極體的基板與設有電極的基板相向之構造中,配置用於在支撐任一基板的支撐構件與支撐另一基板的支撐構件之間調整間隙的調整構件之技術。
又,作為維持駐極體與電極的間隙之構成,如專利文獻2所示,揭示一種間隙形成技術,在利用可動構件與固定構件的相對移動而進行發電的振動發電裝置之殼體,設有用於安裝固定構件的第一基準面與定位用 於支撐可動構件的可滑動鋼球之第二基準面,且藉由經由第一基準面使固定構件固定與經由第二基準面及鋼球配置可動構件,而不易受到構成可動構件的基板的厚度誤差影響。又,利用電荷所生之斥力來抑制可動構件與固定構件之間隙變窄的技術係揭示於專利文獻3。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2009-148124號公報
[專利文獻2]國際公開第2011/086830號小冊
[專利文獻3]日本特開2008-278607號公報
在使用駐極體的振動發電裝置中,如上所述,該駐極體與電極之間隙的大小會大幅影響發電效率。因此,在組裝振動發電裝置時,除了將該間隙調整成發電效率為良好狀態的距離,維持該距離亦十分重要。在此,於上述專利文獻1的以往技術中,必須經由調整構件進行調整,因此不易將該間隙調整成適當大小。
又,上述專利文獻2的以往技術係為在發電振動元件的殼體設置用於形成間隙的二個基準面。然而,針對支撐可動構件的鋼球之滑動面,即作為該二個基準面其中之一的第二基準面,殼體的一部分係發揮作為該第二基準面的作用,且藉由殼體的構成而形成有鋼球滑動的溝部。因此,殼體的扭曲或尺寸精度容易影響第二 基準面,故有時難以適當形成駐極體與電極的間隙。從製造容易度等觀點考量,一般而言,有利用樹脂材料作為振動發電裝置的殼體之情況。因為樹脂材料容易受到加工或周圍溫度的影響而變形,所以容易影響上述第二基準面。又,專利文獻3的以往技術係為利用電荷所生的斥力欲抑制可動構件與固定構件的間隙變窄,並未就如何適當形成間隙本身給予有用的啟發。
本發明係鑑於上述問題而研創,其目的為提 供在藉由使駐極體與電極呈相向的狀態下使其相對移動而進行發電的振動發電裝置中,適當形成駐極體與電極的間隙之技術。
本發明為了解決上述課題,而採用以下構成。即,本發明係一種振動發電裝置,藉由利用外部振動使由複數個駐極體所構成的駐極體群與由複數個電極所構成的電極群朝相對移動方向位移而進行振動發電,其具備:殼體部,收納前述駐極體群與前述電極群;固定構件,固定於前述殼體部的底面側,且前述駐極體群與前述電極群中任一者係設為固定構件側發電要素;可動構件,在與前述固定構件相向的狀態下,以可利用外部振動而相對移動的方式,收納於前述殼體部內,且前述駐極體群與前述電極群中另一者係設為可動構件側發電要素;及複數個支撐構件,配置成可滑動於前述固定構件上,且為了規定前述固定構件側發電要素與前述可動構件側發電要素之間的間隙,而直接夾在前述固定構件 與前述可動構件之間,並對該可動構件以可相對於該固定構件移動的方式予以支撐。而且,前述固定構件係具有:發電基板,包含前述固定構件側發電要素;及滑動基板,在前述固定構件與前述可動構件的相向方向積層於與前述發電基板的該可動構件相反之側,且前述複數個支撐構件滑動的滑動面係形成於共通的基板表面上。
在本發明的振動發電裝置,藉由駐極體群與 電極群由於外部振動朝相對移動方向位移,而進行振動發電。在此,駐極體群與電極群中任一者作為固定構件側發電要素配置於固定構件,而另一者作為可動構件側發電要素配置於可動構件。此兩構件係收納於殼體部的內部,藉由將固定構件固定於殼體部,同時將可動構件配置成可對固定構件相對移動,而實現用於上述駐極體群與電極群的振動發電之相對移動。
在此,在可動構件與固定構件之間直接存在 複數個支撐構件,且可相對移動地支撐可動構件。而且,此支撐構件的滑動面在固定構件側係形成於該固定構件所包含之經積層的二個基板即發電基板與滑動基板中該滑動基板上。又,可動構件側的滑動面係形成於該可動構件的表面上。因此,設於可動構件的可動構件側發電要素與設於固定構件的固定構件側發電要素之間的間隙,即對振動發電裝置的發電效率造成大幅影響的間隙(以下稱「發電間隙」)之精度係由以下變動反映:在實用上容易抑制變動的、與滑動基板鄰接之經積層的發電基板之厚度方向(即固定構件與可動構件的相向方向(以下 僅稱「相向方向」)的變動;滑動構件高度方向(即相向方向)的變動;及用於決定在相向方向上可動構件相對固定構件之高度的基準面,即支撐構件接觸、滑動於固定構件的面(滑動面)之高度方向的位置之變動。
如上所述,在以往技術,因為此滑動面係以 殼體的一部分形成,受到殼體的扭曲或尺寸精度的影響,使基準面容易變動。然而,如上所述,在本發明的振動發電裝置,複數個支撐構件的滑動面係形成於共通的滑動基板之基板表面上。如此意指使複數個支撐構件共用用以在相向方向相對該固定構件定位該可動構件的基準面,藉此可盡可能排除支撐構件間的相向方向之基準面位置的變動。結果,可使發電間隙容易調整,而且可將發電間隙穩定維持在適當大小。
尚且,在實用上,即使共用上述基準面,滑 動基板之基板表面自身的扭曲(平坦度的變動)亦會作為基準面的變動而存在。因此,較佳為在盡可能提升滑動基板的基板表面之平坦度後,在該基板表面上形成用於複數個支撐構件的滑動面。而且,若基於滑動基板的材料之觀點,為了提升該平坦度,較佳為使用玻璃構件製造該滑動基板。
更且,在實用上,在發電基板與滑動基板之 間,為了對兩基板進行積層、固定,有使用接著劑等固定的情況。此時,發電間隙的精度亦由接著劑層厚度的變動所反映。而且,使用接著劑固定兩基板時,當發電基板與滑動基板的材料相異,則由於熱應力而生之扭曲 可能較顯著,因此發電基板與滑動基板的材料較佳為同質材料,舉例而言,可採用玻璃材料或陶瓷材料等。
在此,於上述振動發電裝置,前述複數個支 撐構件的滑動面可在夾著前述發電基板的前述滑動基板兩側之基板表面,形成為朝前述可動構件對前述固定構件的相對移動方向延伸。其可藉由如此構成滑動面,而利用複數個支撐構件穩定支撐可動構件。
又,在至此所述之振動發電裝置中,前述固 定構件係在接觸設於前述殼體部的殼體部側接觸面之狀態下被固定,接觸前述殼體部側接觸面的該固定構件側之接觸面即固定構件側接觸面可形成於前述滑動基板中不與前述複數個支撐構件的滑動面重合的基板表面之一部分。即,固定構件藉由接觸殼體部側接觸面,而針對殼體定位固定構件。然而,此時殼體部並非接觸發電基板而是滑動基板上的部位,即與滑動面不重合的部位(固定構件側接觸面),因此在對固定構件固定時,可避免對固定構件側發電要素施加多餘的外力,而確保適當形成發電間隙並予以維持。
尚且,在至此所述之振動發電裝置中,支撐 構件可為藉由旋轉而可相對移動地支撐可動構件之鋼球,此時,可降低支撐構件所生之摩擦力,且可期待更有效率的振動發電。又,作為支撐構件,亦可採用藉由以滑動過滑動面上的方式移動而可相對移動地支撐可動構件之滑動構件以取代該鋼球。
可在使駐極體與電極呈相向的狀態下使該等 相對移動而進行發電的振動發電裝置中,適當形成駐極體與電極的間隙。
1‧‧‧可動構件
1a‧‧‧駐極體群
1b‧‧‧駐極體基板
1c‧‧‧配重構件
2‧‧‧駐極體
5‧‧‧固定構件
5a‧‧‧電極群
5b‧‧‧電極基板
5c‧‧‧滑動基板
6、7‧‧‧電極
9‧‧‧底座
10‧‧‧振動發電裝置
11‧‧‧殼體
11a‧‧‧側面
11c‧‧‧殼體11的頂面
11d‧‧‧側面
12‧‧‧支撐用鋼球(Z方向支撐用鋼球)
13‧‧‧支撐用鋼球(Y方向支撐用鋼球)
14‧‧‧彈簧
15‧‧‧連結部
第1圖為表示本發明的振動發電裝置之駐極體群及電極群的概略構造之圖。
第2圖A為本發明的振動發電裝置之俯視圖。
第2圖B為第2圖A所示的振動發電裝置之剖面圖。
第3圖為說明本發明之振動發電裝置的原理之圖。
第4圖為表示本發明的振動發電裝置中駐極體群與電極群之間的間隙距離以及關於振動發電之發電量比的關係之圖。
[實施發明之形態]
以下參照圖式說明本發明的實施形態之振動發電裝置。尚且,以下實施形態的構成為例示,本發明並不受限於此實施的形態之構成。
第1圖表示本發明的振動發電裝置10之概略構成,特別是利用外部振動進行振動發電之分別設於可動構件1與固定構件5的駐極體群1a及電極群5a的構成。尚且,第1圖中,以駐極體及電極排列的方向,即可動構件1對固定構件5的相對移動方向設為X方向,可動構件1與固定構件相向的方向設為Z方向,垂直於X方向及Z方向的方向設為Y方向。而且,第1圖為在ZX平面切斷振動 發電裝置10時的剖面圖。
在振動發電裝置10,可動構件1及固定構件5 係收納於後述的第2圖A等所示的殼體11內部。可動構件1與固定構件5構成為在彼此相向的狀態下可相對移動,而可進行該相對移動的可動構件1之支撐構造將於之後敘述。又,固定構件5係固定於殼體11,這一點亦將於之後敘述。對此,可動構件1其兩端分別利用彈簧14連接至殼體11(參照第2圖等),因此可動構件1本身係構成為利用外部振動對固定於殼體11的固定構件5相對往返運動(振動)。
尚且,可動構件1與固定構件5在彼此相向的 狀態且維持彼此平行的狀態下,即相向之面的間隔保持一定的狀態下,構成為可相對移動。藉此,可藉由可動構件1側的駐極體2之作用而在固定構件5側的一對電極6、7生成電訊號。此電訊號的生成原理係為以往技術,故在本專利說明書中省略其詳細說明。又,維持可動構件1與固定構件5之間的間隔之構成亦將於之後敘述。
在此說明可動構件1側的構造。可動構件1係在駐極體基板1b上形成有駐極體群1a。此駐極體群1a係設於可動構件1中與固定構件5相向之面側,且包含分別在導電體上形成的複數個駐極體2與皆不接地的複數個保護電極4。而且,沿著可動構件1對固定構件5的相對移動方向(X方向),駐極體2與保護電極4配置成交互排列。此複數個駐極體2與複數個保護電極4分別形成為梳狀,個別的駐極體2與個別的保護電極4係配置成巢套狀 (nesting),但如上所述,第1圖為ZX剖面圖,因此圖示呈現駐極體2與保護電極4交互配置。在本實施形態,駐極體2係構成為半永久地保持負電荷。
尚且,保護電極4在本實施形態係如上所述採用未接地的構成,但亦可採用使其接地的構成以取代之。藉由使保護電極4接地,即可利用後述的第一電極6與第二電極7取出對應外部振動的電訊號作為以OV為中心的穩定訊號,因此,利於穩定地檢測出外部振動。
再者,說明固定構件5側的構造。固定構件5係在電極基板5b上形成有電極群5a。此電極群5a係設於固定構件5中與可動構件1相向之面側,且包含複數組以一對電極(第一電極6與第二電極7)為一組的小電極群。
在如此構成的振動發電裝置10,由於外部振動導致具有複數個駐極體2的可動構件1對固定構件5產生相對位置變動,因此在電極6、7間會產生對應該相對位置變動(振動)的電動勢,而進行發電。而且,已發電之電力經由整流器20整流而成為振動發電裝置10的輸出。
[實施例1]
第2圖A、第2圖B表示本實施例的振動發電裝置10之概略構成。第2圖A為振動發電裝置10的俯視圖(XY平面的俯視圖),第2圖B為第2圖A的A-A剖面圖(ZY平面的剖面圖)。然而,第2圖A係表示移除殼體11的頂面11c,而可從上方觀看其內部的狀態。從此等圖亦可知,包含電極群5a及電極基板5b的固定構件5與包含駐極體 群1a及駐極體基板1b的可動構件1係容納於振動發電裝置10的殼體11。該殼體11係具有略長方體的形狀,並具有:頂面11c、朝作為可動構件1的相對移動方向之X方向延伸的一組側面11a、及垂直於該相對移動方向的側面即朝Y方向延伸的一組側面11d。尚且,如之後所述,殼體11的底面藉由將固定構件5安裝於殼體11,使該固定構件5的一面(底座9的背面)同時為殼體11的底面。
而且,如第2圖B所示,固定構件5除了上述 電極群5a、電極基板5b,進一步包含滑動基板5c,且係依序積層此等而形成。更且,各層如使積層而形成的固定構件5係在安裝於底座9的狀態下安裝於殼體11的底部。因此,如第2圖B所示,安裝後,底座9的底面會露出於殼體11的外側,同時電極群5a成為朝上方(殼體11的內側)的狀態。另外,針對如此固定於殼體11的固定構件5,可動構件1係以經由支撐用鋼球12而可對該固定構件5相對移動的方式受到支撐,且該支撐相當於使用本發明的支撐構件對可動構件1進行的支撐。具體而言,如第2圖B所示,在不與駐極體群1a干涉之駐極體基板1b上的部分以及滑動基板5c之間,配置可支撐可動構件1的複數個支撐用鋼球12。即,構成為在配置於滑動基板5c上的複數個支撐用鋼球12上,進一步配置可動構件1。如此在可動構件1由支撐用鋼球12支撐的狀態下,可動構件1側的駐極體群1a與固定構件5的電極群5a之間的發電間隙距離係規定為適合振動發電的規定距離。
又,在可動構件1對固定構件5的相對移動中 ,為了使設於固定構件5側的電極6、7之排列與設於可動構件1側的駐極體2之排列盡可能一致,而在可動構件1與側面11a的內壁面之間配置進一步支撐用鋼球13。尚且,為了不朝下方落下,此支撐用鋼球13係由可動構件1側的構成所支撐,其詳細構成將於之後敘述。在此,於可動構件1,在與駐極體群1a相反的方向將配重(weight)構件1c安裝於駐極體基板1b。此配重構件1c係為了增大可動構件1的慣性力且有效率地進行利用外部振動的發電而安裝。因此,配重構件1c的大小、質量係基於振動發電裝置10預定的外部振動之大小等而適當設定。
而且,於可動構件1,在與殼體11之側面11a 的內壁面相向之駐極體基板1b的兩端上設置端部側突起1d,且在該駐極體基板1b的中央部分設置中央突起1f,並在端部側突起1d與中央突起1f之間形成有可配置支撐用鋼球13的支撐用溝1e。因此,如第2圖A所示,分別在可動構件1的左右各形成有2個支撐用溝1e,並分別配置支撐用鋼球13。如此在可動構件1的側方,可藉由使支撐用鋼球13配置在與殼體11的內壁面之間,而順暢進行沿著可動構件1對固定構件5的相對移動方向之移動。
更且,經由設於可動構件1的XY平面之略中 央部分的連接部15,分別在可動構件1與殼體11的2個側面11d之間配置彈簧14。在第2圖A所示的狀態,彈簧14係連接於側面11d的略中央部分,而且配置成各彈簧14所生之彈性力配置成作用於相對移動方向(X方向)。利用彈簧14的彈性力,受到外部振動的可動構件1在殼體11 內進行往返運動,而實現高效率的振動發電。
如此,在本實施例的振動發電裝置10,針對 可動構件1,使用Z方向支撐用鋼球12(以下僅稱「支撐用鋼球12」)支撐滑動基板5c與使用Y方向支撐用鋼球13(以下僅稱「支撐用鋼球13」)支撐側面11a係獨立進行。 由於存在此兩支撐,相對移動方向藉由幾何學條件而明確決定,故可穩定進行可動構件1與固定構件5的相對移動。
在此,針對本實施例的振動發電裝置10之利 用支撐用鋼球12的可動構件1之支撐構造,將基於第3圖詳細說明。第3圖係擷取第2圖B所示的振動發電裝置10之構造中關於利用支撐用鋼球12的可動構件1之支撐構造的部分。因此,在第3圖,針對可動構件1僅記載駐極體基板1b,針對固定構件5僅記載電極基板5b及滑動基板5c,而省略記載駐極體群1a及電極群5a等。
又,第4圖表示振動發電裝置10的駐極體群1a 及電極群5a之間的間隙(發電間隙)距離以及振動發電裝置10之發電量比的關係。發電量比係為將發電間隙距離為65μm時的發電量設為1時的與該發電量相關之比。
在此,振動發電裝置10的最大發電輸出Pmax在理論上可依照下式1算出。
Pmax=σ2nA‧2πf/[(εe ε0 /d)×((εe g/d)+1)]…(式1)
尚且,σ為駐極體的表面電荷密度,n為[一對基板的振幅÷駐極體的間距]、A為駐極體與電極彼此重合的最大面積、εe 為駐極體的相對介電常數、d為駐極體的厚度、 ε0 為真空的介電常數、g為發電間隙距離、f為從外部輸入至振動發電裝置10的振動頻率。
而且,如同從第4圖亦可理解,欲將發電間隙距離設定成例如發電量比為最高的70μm時,當發電間隙距離由於振動發電裝置10的支撐構造而在第4圖中的Y所示之範圍內變動,發電量比會大幅變動,使振動發電裝置10製造上的良率大幅降低。另外,若發電間隙距離的變動落在第4圖中的X所示之範圍,則發電量比的變動較小,而可將振動發電裝置10製造上的良率維持在較高狀態。
因此,若檢視本發明的振動發電裝置10,則如第3圖的上段所示,直接將支撐用鋼球12配置在構成固定構件5的滑動基板5c之基板表面上,而非配置有電極群5a的電極基板5b上。此構成係適用於振動發電裝置10中所使用的所有支撐用鋼球12(本實施例中為4個支撐用鋼球12)。結果,所有支撐用鋼球12的滑動面(可動構件1進行相對移動時,支撐用鋼球12滾動且滑動的面)係形成於滑動基板5c的共通基板表面上。又,針對可動構件1,所有支撐用鋼球12皆接觸駐極體基板1b,因此可動構件1側的滑動面係形成於所有駐極體基板1b的基板表面上。
而且,針對滑動基板5c,為了大幅提高供所有支撐用鋼球12的滑動面形成的基板表面的平坦度(即,為了降低該基板表面的平坦度之變動),而製造滑動基板5c。具體而言,為了提高平坦度,滑動基板5c以玻璃構件製造。尚且,滑動基板5c的平坦度係為以複數個點 (4點以上)量測滑動基板5c的表面高度,再量測相對以該量測點中的3點劃定的基準面,其他量測點之表面高度的位移程度而得之數值。又,駐極體基板1b亦同樣為了大幅提高其平坦度而使用玻璃構件製造。
在此,如第4圖所示,發電間隙距離會大幅影 響振動發電裝置10的發電效率,在具有第3圖所示的可動構件1與固定構件5之間的支撐構造之振動發電裝置10中,從振動發電裝置10的構造觀點考量,發電間隙距離的變動係由電極基板5b厚度方向(Z方向)的變動(以下稱「第一變動」)、支撐用鋼球12高度方向(Z方向)的變動(以下稱「第二變動」)以及支撐用鋼球12滑動接觸的滑動面,即複數個支撐用鋼球12的滑動面間之該滑動面高度方向(Z方向)的位置變動(以下稱「第三變動」)所反映。
第一變動與第二變動係為構件本身尺寸的變 動。針對與電極基板5b相關的第一變動,可藉由以與滑動基板5c同樣的方式利用玻璃構件製造而提高其平坦度,結果,可使第一變動之值較小。又,針對與支撐用鋼球12相關的第二變動,亦可藉由提高支撐用鋼球12的加工精度而使第二變動之值較小。因而容易控制此等變動。
在此,如上所述,針對第三變動,振動發電裝置10所使用之所有支撐用鋼球12的滑動面係形成於共通的滑動基板5c之基板表面上,且形成為該滑動基板5c的平坦度十分高的狀態。因此,亦可使第三變動較小。又,製造振動發電裝置10時,藉由在使可動構件1與固定 構件5相向夾著支撐用鋼球12的狀態(第3圖上段所示的狀態)下嵌入殼體11,而形成振動發電裝置10的完成體(第3圖下段所示的狀態)。此時,殼體11完全不影響可動構件1與固定構件5之間的發電間隙距離。因此,振動發電裝置10具有可在製造過程中盡可能抑制第三變動變動的可能性之支撐構造。更且,利用玻璃構件製造的滑動基板5c對於支撐用鋼球12的持續滑動或外部溫度變化而生的熱應力等具有非常高的耐性。因此,在振動發電裝置10,第三變動難以變動,結果,可長期間維持適當的發電效率。
如此,從其構造觀點考量,振動發電裝置10 可降低影響發電間隙距離的各種變動,結果,可使振動發電裝置10易於製造並提升其良率。尚且,作為影響發電間隙距離的要因,除了源自上述構造觀點的變動,在實用上亦存在源自製造工法的變動。舉例而言,採用以接著劑固定電極基板5b與滑動基板5c的工法時,該接著劑的高度方向(Z方向)之變動會影響發電間隙距離。然而,即使考慮此點,用於抑制源自上述構造觀點的變動之構成,即第3圖所示之支撐構造的有用性亦值得特別記述。
1‧‧‧可動構件
1a‧‧‧駐極體群
1b‧‧‧駐極體基板
1c‧‧‧配重構件
5‧‧‧固定構件
5a‧‧‧電極群
5b‧‧‧電極基板
5c‧‧‧滑動基板
9‧‧‧底座
11a‧‧‧側面
11c‧‧‧殼體11的頂面
12‧‧‧支撐用鋼球(Z方向支撐用鋼球)
13‧‧‧支撐用鋼球(Y方向支撐用鋼球)
14‧‧‧彈簧

Claims (4)

  1. 一種振動發電裝置,藉由利用外部振動使由複數個駐極體所構成的駐極體群與由複數個電極所構成的電極群朝相對移動方向位移而進行振動發電,其具備:殼體部,收納前述駐極體群與前述電極群;固定構件,固定於前述殼體部的底面側,且前述駐極體群與前述電極群中之任一者係設為固定構件側發電要素;可動構件,在保持與前述固定構件相向的狀態下,以可利用外部振動而相對移動的方式收納於前述殼體部內,且前述駐極體群與前述電極群中之另一者係設為可動構件側發電要素;及複數個支撐構件,配置成可滑動於前述固定構件上,且以規定前述固定構件側發電要素與前述可動構件側發電要素之間的間隙之方式,直接夾在前述固定構件與前述可動構件之間,並將該可動構件以可相對於該固定構件移動的方式予以支撐,前述固定構件係具有:固定構件側發電基板,包含前述固定構件側發電要素;及滑動基板,在前述固定構件與前述可動構件的相向方向積層於前述固定構件側發電基板的與該可動構件相反之側,且前述複數個支撐構件滑動的滑動面係形成於共通的基板表面上,前述複數個支撐構件係配置成與前述滑動基板和 包含前述可動構件側發電要素的可動構件側發電基板接觸。
  2. 如申請專利範圍第1項之振動發電裝置,其中前述複數個支撐構件的滑動面在夾著前述固定構件側發電基板的前述滑動基板兩側之基板表面,形成為朝前述可動構件相對前述固定構件的相對移動方向延伸。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之振動發電裝置,其中前述固定構件係在接觸設於前述殼體部的殼體部側接觸面之狀態下固定,接觸前述殼體部側接觸面的該固定構件側之接觸面即固定構件側接觸面,係形成於前述滑動基板中不與前述複數個支撐構件的滑動面重疊的基板表面之一部分。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之振動發電裝置,其中前述固定構件側發電基板與前述滑動基板為包含玻璃材料的基板。
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