TWI497637B - 應用於聚光型太陽能電池之蝕刻設備之晶圓傳輸手臂 - Google Patents

Description

應用於聚光型太陽能電池之蝕刻設備之晶圓傳輸手臂

本發明是有關於一種應用於聚光型太陽能電池之蝕刻設備之晶圓傳輸手臂，特別係一種Y字型晶圓傳輸手臂，以避免撞擊薄片晶圓之中央下垂區域，並以複數個真空吸孔吸附該晶圓以利搬運。

目前，CPV(Concentrated Photovoltaic)等薄片晶圓厚度小於300μm，當晶圓傳輸手臂拿取晶圓時，晶圓傳輸手臂非常容易撞擊薄片晶圓的中央下垂區域，導致晶圓破片的問題產生。舉例而言，當使用一字型晶圓傳輸手臂時，拿取晶圓內之晶圓時，更容易因薄片晶圓向下凹陷太多，導致一字型晶圓傳輸手臂與薄片晶圓的中央下垂區域發生碰撞，造成晶圓破片情況的發生。

再者，當使用一字型晶圓傳輸手臂拿取晶圓時，一字型晶圓傳輸手臂只有一個真空吸孔。因此，較不能承受太多側向的力量，在快速迴旋移動時就容易翻覆。

有鑑於習知技藝之各項問題，為了能夠兼顧解決之，本發明人基於多年研究開發與諸多實務經驗，提出一種改良式晶圓傳輸手臂，以作為改善上述缺點之實現方式與依據。

有鑑於上述習知技藝之問題，本發明之主要目的在於提供一種晶圓傳輸手臂，以解決晶圓傳輸手臂撞擊薄片晶圓中央下垂部分而導致晶圓破片的問題。

緣是，為達上述目的，依本發明之晶圓傳輸手臂，其包含一手臂本體，該手臂本體具有一第一支臂與一第二支臂，該第一支臂與該第二支臂各具有一晶圓承載平面且該第一支臂與該第二支臂之內部各具有相互連通之一真空通道與一真空蓋板溝槽，且該第一支臂與該第二支臂之該些晶圓承載平面各具有一連通該真空通道之真空吸孔，用以於該真空通道呈一真空狀態時吸住一晶圓；一真空蓋板，該真空蓋板氣密式設置於該真空蓋板溝槽上，該真空蓋板具有一抽真空孔，藉以利用外部之一抽氣裝置經由該抽真空孔以使該真空通道形成該真空狀態。

本發明之晶圓傳輸手臂之該第一支臂與該第二支臂係共同形成一Y字型手臂，以使該晶圓之中央區域懸空。亦即，當本發明之晶圓傳輸手臂拿取一薄片晶圓時能避開該晶圓之中央下垂區域，而只碰觸晶圓邊緣不易變形部分。

其中，第一支臂之前端例如具有一第一支臂前端斜面，以及第二支臂之前端例如具有一第二支臂前端斜面，且第一支臂前端斜面與第一支臂之下表面相夾一第一銳角，第二支臂前端斜面與第二支臂之下表面相夾一第二銳角。第一銳角之一較佳角度範圍為30度至75度，且第二銳角之一較佳角度範圍為30度至75度，其中第一銳角與第二銳角更可以具有相同角度大小。本發明之晶圓傳輸手臂藉由此第一支臂前端斜面與第二支臂前端斜面來避免與晶圓直接碰撞，以此減少發生晶圓破片的機會。

其中，該真空蓋板之該抽真空孔係位於於該真空蓋板之根部位置。其中該手臂本體之該第一支臂與該第二支臂之該些晶圓承載平面具有相同之位置高度。該真空吸孔之直徑大於該真空通道之寬度。該真空蓋板的寬度大於該真空通道的寬度。

其中本發明之晶圓傳輸手臂係例如應用於聚光型太陽能電池之蝕刻設備，晶圓傳輸手臂更例如設置於Matrix公司生產的Matrix 105/106 Asher機台上。

承上所述，因依本發明之晶圓傳輸手臂，其具有一或多個下述優點：

(1)　此晶圓傳輸手臂可避開薄片晶圓之中央下垂區域拿取該晶圓。

(2)　此晶圓傳輸手臂碰觸晶圓之部分具有複數個真空吸孔吸附晶圓，用來防止晶圓掉落。

(3)　此晶圓傳輸手臂之支臂前端具有一前端斜面以避免正面碰撞晶圓，藉以減少晶圓破片。

茲為使　貴審查委員對本發明之技術特徵及所達到之功效有更進一步之瞭解與認識，謹佐以較佳之實施例及配合詳細之說明如後。

以下將參照相關圖式，說明依本發明之晶圓傳輸手臂之實施例，為使便於理解，下述實施例中之相同元件係以相同之符號標示來說明。

請參閱第1圖，其係為本發明之晶圓傳輸手臂之上視示意圖。其中，為使貴審查委員更清楚了解本發明之晶圓傳輸手臂之結構，晶圓30係以虛線表示。本發明之晶圓傳輸手臂包含一手臂本體10，手臂本體10之兩側各具有一第一支臂15與一第二支臂16，第一支臂15與第二支臂16各具有一晶圓承載平面17，且其上分別具有一真空吸孔11與另一真空吸孔12，第一支臂15與第二支臂16係以真空吸孔11與12碰觸一晶圓30，以吸取晶圓30。

請參閱第2圖及第3圖，第2圖係為本發明之晶圓傳輸手臂之未設置真空蓋板時之上視示意圖。第3圖為本發明之晶圓傳輸手臂之真空蓋板之上視示意圖。如第2圖及第3圖所示，手臂本體10之第一支臂15與第二支臂16之內部更具有相互連通之一真空通道14與一真空蓋板溝槽13。其中，真空通道14、真空蓋板溝槽13與真空蓋板20例如具有相同之Y字型。其中，真空蓋板20可氣密式設置於真空蓋板溝槽13中，藉以保持真空通道14之真空狀態。真空蓋板20之根部位置更具有連通真空通道14之一抽真空孔21，且抽真空孔21係與一外部之抽氣裝置連接，藉以使得真空通道14形成真空狀態。

請參閱第4圖至第6圖，第4圖係為本發明之晶圓傳輸手臂沿第2圖之DD剖面線所得之剖面圖。第5圖係為本發明之晶圓傳輸手臂沿第2圖CC剖面線所得之剖面圖。第6圖係本發明之晶圓傳輸手臂沿第2圖AA剖面線所得之剖面圖。第7圖係為本發明之晶圓傳輸手臂沿第2圖BB剖面線所得之剖面圖。如第4至7圖所示，真空蓋板溝槽13寬度例如比真空通道14寬度寬，因此，當真空蓋板20蓋住真空蓋板溝槽13時，就能完全蓋住真空通道14以維持真空通道14之真空狀態。此外，真空吸孔11的直徑例如比真空通道14寬度大，藉以更穩固地吸取晶圓30。

請參閱第8圖，第8圖係為本發明之晶圓傳輸手臂吸取晶圓時之剖面示意圖。如第8圖所示，本發明之一特點在於藉由Y字型之手臂本體10即能避開晶圓30之中央凹陷區域，並以手臂本體10內部之真空通道14經由真空吸孔11、12吸住晶圓30之兩側區域，以固定晶圓30。其中，手臂本體之第一支臂與第二支臂之晶圓承載平面17具有相同之位置高度。當欲放下晶圓30時，只須解除真空吸孔真空通道14之真空狀態，即可使真空吸孔11、12脫離晶圓30，藉以使得之後晶圓傳輸手臂再可脫離開晶圓30。

請參閱第9圖，第9圖係為本發明之晶圓傳輸手臂之第一支臂前端之側面示意圖。請參閱第10圖，第10圖係為本發明之晶圓傳輸手臂之第二支臂前端之側面示意圖。如第9圖與第10圖所示，第一支臂15之前端例如具有第一支臂前端斜面151，第二支臂16之前端亦例如具有一第二支臂前端斜面161，第一支臂前端斜面151與第一支臂之下表面18夾出一第一銳角A1，第二支臂前端斜面161與第二支臂之下表面19夾出一第二銳角A2。此第一銳角A1之一較佳角度範圍為30度至75度，第二銳角A2之一較佳角度範圍為30度至75度，其中第一銳角A1與第二銳角A2更可具有相同角度。當本發明之晶圓傳輸手臂拿取晶圓時，藉由第一支臂前端斜面151與第二支臂前端斜面161來避免晶圓傳輸手臂直接碰撞晶圓，以減少晶圓破片之產生。

以上本發明之晶圓傳輸手臂係例如應用於聚光型太陽能電池之蝕刻設備，晶圓傳輸手臂更例如設置於Matrix公司生產的Matrix 105/106 Asher機台上。

以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。任何未脫離本發明之精神與範疇，而對其進行之等效修改或變更，均應包含於後附之申請專利範圍中。

10．．．手臂本體

11．．．真空吸孔

12．．．真空吸孔

13．．．真空蓋板溝槽

14．．．真空通道

15．．．第一支臂

151．．．第一支臂前端斜面

16．．．第二支臂

161．．．第二支臂前端斜面

17．．．晶圓承載平面

18．．．第一支臂之下表面

19．．．第二支臂之下表面

20．．．真空蓋板

21．．．抽真空孔

30．．．晶圓

A1．．．第一銳角

A2．．．第二銳角

；以及

AA、BB、CC、DD．．．剖面線

第1圖　為本發明之晶圓傳輸手臂之上視示意圖；

第2圖　為本發明之晶圓傳輸手臂未設置真空蓋板時之上視示意圖；

第3圖　為本發明之晶圓傳輸手臂之真空蓋板之上視示意圖；

第4圖　為本發明之晶圓傳輸手臂沿第2圖之DD剖面線所得之剖面圖；

第5圖　為本發明之晶圓傳輸手臂沿第2圖之CC剖面線所得之剖面圖；

第6圖　為本發明之晶圓傳輸手臂沿第2圖之AA剖面線所得之剖面圖；

第7圖　為本發明之晶圓傳輸手臂沿第2圖之BB剖面線所得之剖面圖；以及

第8圖　為本發明之晶圓傳輸手臂吸取晶圓時之剖面示意圖。

第9圖　為本發明之晶圓傳輸手臂之第一支臂前端之側面示意圖。

第10圖　為本發明之晶圓傳輸手臂之第二支臂前端之側面示意圖。

10．．．手臂本體

11．．．第一真空吸孔

12．．．第二真空吸孔

13．．．真空蓋板溝槽

14．．．真空通道

15．．．第一支臂

16．．．第二支臂

；以及

AA、BB、CC、DD．．．剖面線

Claims (10)

1. 一種晶圓傳輸手臂，其包含：一手臂本體，該手臂本體具有一第一支臂與一第二支臂，該第一支臂與該第二支臂各具有一晶圓承載平面且該第一支臂與該第二支臂之內部各具有相互連通之一真空通道與一真空蓋板溝槽，且該第一支臂與該第二支臂之該些晶圓承載平面各具有一連通該真空通道之真空吸孔，用以於該真空通道呈一真空狀態時吸住一晶圓，該第一支臂之前端具有一第一支臂前端斜面，以及該第二支臂之前端具有一第二支臂前端斜面，且該第一支臂前端斜面與該第一支臂之下表面相夾一第一銳角，該第二支臂前端斜面與該第二支臂之下表面相夾一第二銳角；以及一真空蓋板，該真空蓋板氣密式設置於該真空蓋板溝槽中，該真空蓋板具有連通該真空通道之一抽真空孔，藉以利用外部之一抽氣裝置經由該抽真空孔以使該真空通道形成該真空狀態。
2. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸手臂，其中該手臂本體之該第一支臂與該第二支臂係共同形成一Y字型手臂，以使該晶圓之中央區域懸空。
3. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸手臂，其中該真空蓋板之該抽真空孔係位於於該真空蓋板之根部位置。
4. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸手臂，其中該手臂本體之該第一支臂與該第二支臂之該些晶圓承載平面具有相同之位置高度。
5. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸手臂，其中該真空吸孔之直徑大於該真空通道之寬度。
6. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸手臂，其中該真空蓋板的寬度大於該真空通道的寬度。
7. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸手臂，其中該第一銳角之一角度範圍為30度至75度。
8. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸手臂，其中該第二銳角之一角度範圍為30度至75度。
9. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸手臂，其中本發明之晶圓傳輸手臂係應用於聚光型太陽能電池之蝕刻設備。
10. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓傳輸手臂，其中本發明之晶圓傳輸手臂係設置於Matrix公司生產的Matrix 105/106 Asher機台上。