TWI480649B - 顯示裝置及其製造方法 - Google Patents

顯示裝置及其製造方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI480649B
TWI480649B TW101119833A TW101119833A TWI480649B TW I480649 B TWI480649 B TW I480649B TW 101119833 A TW101119833 A TW 101119833A TW 101119833 A TW101119833 A TW 101119833A TW I480649 B TWI480649 B TW I480649B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
substrate
liquid crystal
blue phase
phase liquid
crystal mixture
Prior art date
Application number
TW101119833A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201350999A (zh
Inventor
Chien Hung Chen
Li Chieh Hsu
Original Assignee
Innocom Tech Shenzhen Co Ltd
Innolux Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Innocom Tech Shenzhen Co Ltd, Innolux Corp filed Critical Innocom Tech Shenzhen Co Ltd
Priority to TW101119833A priority Critical patent/TWI480649B/zh
Publication of TW201350999A publication Critical patent/TW201350999A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI480649B publication Critical patent/TWI480649B/zh

Links

Landscapes

  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Description

顯示裝置及其製造方法
本發明是有關於一種顯示裝置及其製造方法,且特別是有關於一種具有規則微結構層設置於基板上之顯示裝置及其製造方法。
藍相液晶(blue phase liquid crystal)是一種不需配向膜的液晶材料、且其反應時間為次毫秒等級。藍相液晶在未施加電壓時具有光學等向性,然而,藍相液晶之操作溫度範圍較小仍是待解決的問題。因此,如何提供一種維持良好操作溫度範圍並具有良好顯示品質之藍相液晶顯示器,乃為相關業者努力之課題之一。
本發明係有關於一種顯示裝置及其製造方法。顯示裝置中之藍相液晶混合物根據規則微結構層的型態而整齊地排列,而能夠使得藍相液晶混合物於未施加電壓時具有良好的光學等向性,提高顯示裝置的顯示品質。
根據本發明之一方面,係提出一種顯示裝置。顯示裝置包括一第一基板、一規則微結構層、一第二基板、以及一藍相液晶混合物。規則微結構層設置於第一基板上,第二基板與第一基板對組。規則微結構層包括複數個規則微結構,規則微結構之尺寸係為等於或小於500奈米(nm)。藍相液晶混合物設置於規則微結構層和第二基板之間。
根據本發明之另一方面,係提出一種顯示裝置之製造方法。顯示裝置之製造方法包括:提供一第一基板;形成 一規則微結構層於第一基板上;提供一第二基板;滴下一藍相液晶混合物於第一基板或第二基板上;對組第一基板和第二基板;以及以一紫外光照射藍相液晶混合物。
為了對本發明之上述及其他方面有更佳的瞭解,下文特舉較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細說明如下:
在此揭露內容之實施例中,係提出一種顯示裝置及其製造方法。顯示裝置中之藍相液晶混合物根據規則微結構層的型態而整齊地排列,而能夠使得藍相液晶混合物於未施加電壓時具有良好的光學等向性,提高顯示裝置的顯示品質。然而,實施例所提出的細部結構和製程步驟僅為舉例說明之用,並非對本發明欲保護之範圍做限縮。該些結構和步驟僅為舉例說明之用,並非用以限縮本發明。具有通常知識者當可依據實際實施態樣的需要對該些結構和步驟加以修飾或變化。
請參照第1A~1B圖。第1A圖繪示依照本發明之一實施例之顯示裝置之俯視示意圖,第1B圖繪示沿第1A圖之剖面線1B-1B’之剖面示意圖。顯示裝置100包括第一基板110、規則微結構層120(ordered micro-structure layer)、第二基板130、以及藍相液晶混合物140。規則微結構層120設置於第一基板110上,第二基板130與第一基板110對組。藍相液晶混合物140設置於規則微結構層120和第二基板130之間。
實施例中,第一基板110和第二基板130的材質例如 是玻璃、可撓式塑膠、或金屬,然第一基板110和第二基板130的材質亦視應用狀況作適當選擇,並不以前述材質為限。
實施例中,規則微結構層120包括複數個規則微結構,規則微結構層120的規則微結構規則地且週期性地排列在第一基板110上。規則微結構之尺寸係為等於或小於500奈米(nm)。藍相液晶混合物140設置於規則微結構層120和第二基板130之間,使得液晶分子根據規則微結構層120的型態而整齊地排列。換句話說,液晶分子是以物理性的方式依據規則微結構層120的規則微結構而整齊排列,因此液晶分子排列的方式受到規則微結構層120的型態之影響,並不受到規則微結構層120的材質之影響。也就是說,液晶分子排列的方式與液晶分子和規則微結構層120之間的化學作用無關。
實施例中,在操作顯示裝置100的過程中,電壓施加於藍相液晶混合物140會使得藍相液晶混合物140具有光學非等向性(optical anisotropy)。一實施例中,藍相液晶混合物140具有複數個螺距(pitch),每個螺距由複數個藍相液晶分子組成。藍相液晶混合物140之螺距的尺寸大約界在200~400奈米之間。藍相液晶混合物140的複數個螺距鄰近於規則微結構層120的部分根據規則微結構層120的型態而整齊地排列,接著其餘螺距再依據鄰近於規則微結構層120整齊排列的部分螺距而整齊排列,使得藍相液晶混合物140的複數個螺距整體而能夠整齊地排列。如此一來,可以提高藍相液晶混合物140中之複數個螺距於未施 加電壓時排列的週期性與規則性,使得藍相液晶混合物140於未施加電壓時具有良好的光學等向性。並且,規則微結構層120包括複數個規則微結構,規則微結構規則且週期性地排列,有助於使藍相液晶的晶粒成長時能夠有穩定的結構,進而使得藍相液晶的操作溫度範圍得以擴大,同時仍具有良好的光學特性與穩定性。
實施例中,如第1A~1B圖所示,規則微結構層120的規則微結構包括複數個微粒子120a,微粒子120a規則地排列於第一基板上110。實施例中,微粒子120a之粒徑D1例如是等於或小於500奈米(nm)。實施例中,微粒子120a之材質例如是聚苯乙烯(polystyrene)或二氧化矽(SiO2 ),微粒子120a之形狀例如是球體,微粒子120a例如以單層或多層的方式規則排列於第一基板上110上。然微粒子120a的材質及形狀亦視應用狀況作適當選擇,並不以前述的類型為限。
一實施例中,藍相液晶混合物140的複數個螺距根據微粒子120a的型態而整齊地排列。舉例來說,規則排列的微粒子120a間具有規則排列的間隙,各個螺距依靠微粒子120a間的間隙而規則排列,使得藍相液晶混合物140於未施加電壓時具有良好的光學等向性。並且,規則排列的微粒子120a有助於使藍相液晶的晶粒成長時能夠有穩定的結構,進而使得藍相液晶的操作溫度範圍得以擴大,同時仍具有良好的光學特性與穩定性。
請參照第2A~2B圖。第2A圖繪示依照本發明之另一實施例之顯示裝置之俯視示意圖,第2B圖繪示沿第2A圖 之剖面線2B-2B’之剖面示意圖。本實施例中與前述實施例相同之元件係沿用同樣的元件標號,且相同元件之相關說明請參考前述,在此不再贅述。
實施例中,如第2A~2B圖所示,規則微結構層220的規則微結構包括複數個突起物220a,突起物220a規則地排列於第一基板上110。實施例中,複數個突起物220a可以具備不同的尺寸與形狀,突起物220a間之距離D2例如是等於或小於500奈米。實施例中,突起物220a之材質例如是銦錫氧化物(ITO)或介電材料。然微粒子120a的材質及之間之距離亦視應用狀況作適當選擇,並不以前述的條件為限。
一實施例中,藍相液晶混合物140的複數個螺距根據突起物220a的型態而整齊地排列。舉例來說,規則排列的突起物220a間具有規則排列的空間,當突起物220a間的空間之容積大於一個螺距的體積時,各個螺距可以容置於突起物220a間的空間而規則排列,使得藍相液晶混合物140於未施加電壓時具有良好的光學等向性。然突起物220a間的空間之容積亦視應用狀況作適當選擇,可以大於、等於、或者是小於一個螺距的體積,並不以前述的條件為限。此外,規則排列的突起物220a有助於使藍相液晶的晶粒成長時能夠有穩定的結構,進而使得藍相液晶的操作溫度範圍得以擴大,同時仍具有良好的光學特性與穩定性。
請參照第3A~3B圖。第3A圖繪示依照本發明之再一實施例之顯示裝置之俯視示意圖,第3B圖繪示沿第3A圖 之剖面線3B-3B’之剖面示意圖。本實施例中與前述實施例相同之元件係沿用同樣的元件標號,且相同元件之相關說明請參考前述,在此不再贅述。
實施例中,如第3A~3B圖所示,規則微結構層320的規則微結構包括複數個孔洞320a,孔洞320a規則地排列於第一基板上110。實施例中,複數個孔洞320a之寬度D3例如是等於或小於500奈米,孔洞320a例如是柱狀孔洞。實施例中,規則微結構層320之材質例如是氧化鋁。然規則微結構層320的材質及孔洞320a之寬度亦視應用狀況作適當選擇,並不以前述的條件為限。
一實施例中,藍相液晶混合物140的複數個螺距根據孔洞320a的排列型態而整齊地排列。舉例來說,當孔洞320a的空間之容積大於一個螺距的體積時,各個螺距可以容置於孔洞320a間的空間而規則排列,使得藍相液晶混合物140於未施加電壓時具有良好的光學等向性。然孔洞320a的空間之容積亦視應用狀況作適當選擇,可以大於、等於、或者是小於一個螺距的體積,並不以前述的條件為限。此外,規則排列的孔洞320a有助於使藍相液晶的晶粒成長時能夠有穩定的結構,進而使得藍相液晶的操作溫度範圍得以擴大,同時仍具有良好的光學特性與穩定性。
請參照第4圖。第4圖繪示依照本發明之更一實施例之顯示裝置之剖面示意圖。本實施例中與前述實施例相同之元件係沿用同樣的元件標號,且相同元件之相關說明請參考前述,在此不再贅述。
實施例中,如第4圖所示,規則微結構層420例如是 具有晶格單元的金屬層或金屬氧化物層。規則微結構層420的規則微結構包括晶格單元中之複數個原子,原子係以具有方向性之方式規則地排列,因此,規則微結構層420的表面具有原子等級的週期性規則微結構。實施例中,規則微結構層420之材質例如是氧化鎂,規則微結構層420之米勒指數(miller index)例如為110,規則微結構層420之厚度例如是1毫米(mm)。然規則微結構層420的材質和厚度及其米勒指數亦視應用狀況作適當選擇,並不以前述的條件為限。
一實施例中,藍相液晶混合物140的複數個螺距根據規則微結構層420表面的型態而整齊地排列,使得藍相液晶混合物140於未施加電壓時具有良好的光學等向性。並且,規則微結構層420表面整齊排列的型態有助於使藍相液晶的晶粒成長時能夠有穩定的結構,進而使得藍相液晶的操作溫度範圍得以擴大,同時仍具有良好的光學特性與穩定性。
以下係提出實施例之一種顯示裝置之製造方法,然該些步驟僅為舉例說明之用,並非用以限縮本發明。具有通常知識者當可依據實際實施態樣的需要對該些步驟加以修飾或變化。請參照第3A至3B圖、第4圖、第5A圖至第5C圖、及第6A圖至第6D圖。
第5A圖至第5C圖繪示依照本發明之一實施例之一種顯示裝置之製造方法示意圖。
請參照第5A圖,提供第一基板110。
請參照第5B圖,形成規則微結構層120於第一基板 110上。實施例中,形成規則微結構層120於第一基板110上之步驟包括提供複數個微粒子120a規則地排列於第一基板110上。實施例中,例如是以旋轉塗佈(spin coating)方式提供微粒子120a於第一基板110上。複數個微粒子120a例如是以自組裝(self-assembly)的方式而規則地排列於第一基板110上。
請參照第5C圖,提供第二基板130,滴下藍相液晶混合物140於第一基板110或第二基板130上,對組第一基板110和第二基板130,以及以紫外光照射藍相液晶混合物140使藍相液晶混合物140中之聚合物硬化(curing)。至此,形成如第1B圖所示之顯示裝置100。
實施例中,藍相液晶混合物140位於規則微結構層120和第二基板130之間後,藍相液晶混合物140中之複數個螺距根據微粒子120a的型態而整齊地排列。接著,再以紫外光照射藍相液晶混合物140使藍相液晶混合物140中之聚合物硬化,而固定住複數個螺距根據微粒子120a而整齊地排列的型態。如此一來,藍相液晶混合物140於未施加電壓時可具有良好的光學等向性。
第6A圖至第6D圖繪示依照本發明之另一實施例之一種顯示裝置之製造方法示意圖。
請參照第6A圖,提供第一基板110,以及提供複數個微粒子120a規則地排列於第一基板上110。
請參照第6B圖,沈積材料層620於微粒子120a及第一基板110上。實施例中,例如是以濺鍍沈積(sputtering)方式沈積材料層620於微粒子120a及第一基板110上。 實施例中,材料層620之材質與微粒子120a之材質係為不同。微粒子120a之材質例如是聚苯乙烯或二氧化矽,材料層620之材質例如是銦錫氧化物或介電材料。然微粒子120a的材質和材料層620的材質亦視應用狀況作適當選擇,並不以前述的條件為限。
請參照第6C圖,以掀離(lift-off)製程去除微粒子120a及沈積於微粒子120a上之部分材料層620。去除沈積於微粒子120a上之部分材料層620後,仍沈積於第一基板110表面的部分材料層620便形成複數個突起物220a規則地排列於第一基板110上。實施例中,掀離製程採用的溶劑可以溶解並掀離微粒子120a,且掀離製程採用的溶劑實質上無法溶解並掀離材料層620。
請參照第6D圖,提供第二基板130,滴下藍相液晶混合物140於第一基板110或第二基板130上,對組第一基板110和第二基板130,以及以紫外光照射藍相液晶混合物140使藍相液晶混合物140中之聚合物硬化(curing)。至此,形成如第2B圖所示之顯示裝置200。
實施例中,藍相液晶混合物140位於規則微結構層220和第二基板130之間後,藍相液晶混合物140中之複數個螺距根據突起物220a的型態而整齊地排列。接著,再以紫外光照射藍相液晶混合物140使藍相液晶混合物140中之聚合物硬化,而固定住複數個螺距根據突起物220a間的空間而整齊地排列的型態。如此一來,藍相液晶混合物140於未施加電壓時可具有良好的光學等向性。
以下係說明依照本發明之再一實施例之一種顯示裝 置之製造方法。
請參照第3A~3B圖,提供第一基板110,形成基底膜(未繪示)於第一基板110上,以及於基底膜形成複數個規則排列的孔洞320a,以形成規則微結構層320。實施例中,基底膜的材質例如是氧化鋁。實施例中,例如是以陽極氧化鋁(anodic aluminum oxide)製程形成複數個規則排列的孔洞320a,孔洞320a例如是柱狀孔洞。
接著提供第二基板130,滴下藍相液晶混合物140於第一基板110或第二基板130上,對組第一基板110和第二基板130,以及以紫外光照射藍相液晶混合物140使藍相液晶混合物140中之聚合物硬化(curing)。至此,形成如第3B圖所示之顯示裝置300。
實施例中,藍相液晶混合物140位於規則微結構層320和第二基板130之間後,藍相液晶混合物140中之複數個螺距容置於孔洞320a間的空間而規則排列。接著,再以紫外光照射藍相液晶混合物140使藍相液晶混合物140中之聚合物硬化,而固定住複數個螺距容置於孔洞320a間的空間而整齊地排列的型態。如此一來,藍相液晶混合物140於未施加電壓時可具有良好的光學等向性。
以下係說明依照本發明之更一實施例之一種顯示裝置之製造方法。
請參照第4圖,提供第一基板110,接著形成規則微結構層420於第一基板110上。實施例中,規則微結構層420例如是具有晶格單元的金屬層或金屬氧化物層。實施例中,規則微結構層420之材質例如是氧化鎂,規則微結 構層420之米勒指數(miller index)例如為110,規則微結構層420之厚度例如是1毫米(mm)。
接著提供第二基板130,滴下藍相液晶混合物140於第一基板110或第二基板130上,對組第一基板110和第二基板130,以及以紫外光照射藍相液晶混合物140使藍相液晶混合物140中之聚合物硬化(curing)。至此,形成如第4圖所示之顯示裝置400。
綜上所述,雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明之精神和範圍內,當可作各種之更動與潤飾。因此,本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
100、200、300、400‧‧‧顯示裝置
110‧‧‧第一基板
120、220、320、420‧‧‧規則微結構層
120a‧‧‧微粒子
130‧‧‧第二基板
140‧‧‧藍相液晶混合物
220a‧‧‧突起物
320a‧‧‧孔洞
620‧‧‧材料層
D1‧‧‧粒徑
D2‧‧‧距離
D3‧‧‧寬度
第1A圖繪示依照本發明之一實施例之顯示裝置之俯視示意圖。
第1B圖繪示沿第1A圖之剖面線1B-1B’之剖面示意圖。
第2A圖繪示依照本發明之另一實施例之顯示裝置之俯視示意圖。
第2B圖繪示沿第2A圖之剖面線2B-2B’之剖面示意圖。
第3A圖繪示依照本發明之再一實施例之顯示裝置之俯視示意圖。
第3B圖繪示沿第3A圖之剖面線3B-3B’之剖面示意圖。
第4圖繪示依照本發明之更一實施例之顯示裝置之剖面示意圖。
第5A圖至第5C圖繪示依照本發明之一實施例之一種顯示裝置之製造方法示意圖。
第6A圖至第6D圖繪示依照本發明之另一實施例之一種顯示裝置之製造方法示意圖。
100‧‧‧顯示裝置
110‧‧‧第一基板
120‧‧‧規則微結構層
120a‧‧‧微粒子
130‧‧‧第二基板
140‧‧‧藍相液晶混合物
D1‧‧‧粒徑

Claims (5)

  1. 一種顯示裝置,包括:一第一基板;一規則微結構層(ordered micro-structure layer)設置於該第一基板上,該規則微結構層包括複數個規則微結構,該些規則微結構之尺寸係為等於或小於500奈米(nm);一第二基板,與該第一基板對組;以及一藍相液晶混合物,設置於該規則微結構層和該第二基板之間;其中該些規則微結構包括該規則微結構層之晶格單元中之複數個原子,該些原子係以具有方向性之方式規則地排列。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之顯示裝置,其中該規則微結構層之材質係為氧化鎂,且該規則微結構層之米勒指數(miller index)係為110。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之顯示裝置,其中在操作該顯示裝置的過程中,一電壓施加於該藍相液晶混合物使得該藍相液晶混合物具有光學非等向性(optical anisotropy)。
  4. 一種顯示裝置之製造方法,包括:提供一第一基板;形成一規則微結構層於該第一基板上;提供一第二基板;滴下一藍相液晶混合物於該第一基板或該第二基板 上;對組該第一基板和該第二基板;以及以一紫外光照射該藍相液晶混合物;其中形成該規則微結構層之步驟包括:提供複數個微粒子規則地排列於該第一基板上;沈積一材料層於該些微粒子及該第一基板上;以及以一掀離(lift-off)製程去除該些微粒子及沈積於該些微粒子上之部分該材料層。
  5. 一種顯示裝置之製造方法,包括:提供一第一基板;形成一規則微結構層於該第一基板上;提供一第二基板;滴下一藍相液晶混合物於該第一基板或該第二基板上;對組該第一基板和該第二基板;以及以一紫外光照射該藍相液晶混合物;其中該規則微結構層之晶格單元中之複數個原子係以具有方向性之方式規則地排列。
TW101119833A 2012-06-01 2012-06-01 顯示裝置及其製造方法 TWI480649B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW101119833A TWI480649B (zh) 2012-06-01 2012-06-01 顯示裝置及其製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW101119833A TWI480649B (zh) 2012-06-01 2012-06-01 顯示裝置及其製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201350999A TW201350999A (zh) 2013-12-16
TWI480649B true TWI480649B (zh) 2015-04-11

Family

ID=50157991

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101119833A TWI480649B (zh) 2012-06-01 2012-06-01 顯示裝置及其製造方法

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TWI480649B (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1091237A1 (en) * 1999-10-05 2001-04-11 Hewlett-Packard Company Liquid crystal device
US20100265451A1 (en) * 2007-12-21 2010-10-21 Stephen Kitson Liquid crystal display
TW201128273A (en) * 2009-05-29 2011-08-16 Semiconductor Energy Lab Method for manufacturing liquid crystal display device
TW201127941A (en) * 2009-08-28 2011-08-16 Univ Kyushu Nat Univ Corp LCD devide and substrate used therein
TW201137473A (en) * 2010-04-22 2011-11-01 Au Optronics Corp Blue phase liquid crystal display and method for fabricating the same
CN102326119A (zh) * 2009-02-18 2012-01-18 夏普株式会社 液晶显示装置及其制造方法
CN102402042A (zh) * 2011-11-02 2012-04-04 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示装置及其制造方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1091237A1 (en) * 1999-10-05 2001-04-11 Hewlett-Packard Company Liquid crystal device
US20100265451A1 (en) * 2007-12-21 2010-10-21 Stephen Kitson Liquid crystal display
CN102326119A (zh) * 2009-02-18 2012-01-18 夏普株式会社 液晶显示装置及其制造方法
TW201128273A (en) * 2009-05-29 2011-08-16 Semiconductor Energy Lab Method for manufacturing liquid crystal display device
TW201127941A (en) * 2009-08-28 2011-08-16 Univ Kyushu Nat Univ Corp LCD devide and substrate used therein
TW201137473A (en) * 2010-04-22 2011-11-01 Au Optronics Corp Blue phase liquid crystal display and method for fabricating the same
CN102402042A (zh) * 2011-11-02 2012-04-04 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示装置及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW201350999A (zh) 2013-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5274006B2 (ja) ワイヤグリッド偏光子およびその製造方法
WO2012098694A1 (ja) 透明導電性素子、入力装置、および表示装置
WO2014015613A1 (zh) 用于制作隔垫物的掩模板、隔垫物制作方法、显示装置
TWI713878B (zh) 基板
JP4881792B2 (ja) 光学素子、複合光学素子及び光学素子の製造方法
TWI480649B (zh) 顯示裝置及其製造方法
KR20120099538A (ko) 기능성 필름의 제조방법
TW201319636A (zh) 用於奈米壓印之模具的製造方法
KR20130091846A (ko) 관통홀을 가지는 프리스탠딩한 고분자 멤브레인 및 그 제조방법
US11428994B2 (en) Substrate
CN110770646B (zh) 基板
WO2016060170A1 (ja) 偏光板及びその製造方法、媒体
KR100881233B1 (ko) 임프린트 리소그래피용 스탬프 및 이를 이용한 임프린트리소그래피방법
JPWO2020004497A1 (ja) 光学素子及び光学素子の製造方法
TW201704145A (zh) 結構體及其製造方法
Lee et al. 22.2: Variable liquid crystal pretilt angle using nano‐alignment surfaces
US8506703B2 (en) Method and apparatus for forming colloidal photonic crystals
TWI758519B (zh) 基板及光學裝置
WO2020261856A1 (ja) ワイヤグリッド構造を有する偏光素子およびその製造方法
TWI684287B (zh) 基板及包含此基板的光學裝置
CN103454795B (zh) 显示装置及其制造方法
KR101611990B1 (ko) 모세관 현상을 이용한 박막형 금속 산화물 역오팔 구조 제조방법
KR100935019B1 (ko) 건식 식각 또는 습식 식각을 이용한 금속 나노 패턴의 제작방법
JP5822192B2 (ja) 幾何微細凹凸構造の作製方法
KR20090076550A (ko) 곡률패턴을 구비한 금형 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees