TWI458585B - 斜向驅動式平台結構 - Google Patents

Description

斜向驅動式平台結構

本發明係關於一種高精度的工具機平台，尤指一種斜向驅動式平台結構。

隨著科技的進步，各種工業產品有逐漸朝向微小精密化的需求和趨勢，因此，近年來新興的研發主題：微型化切削技術(Micro/Meso-Scale Manufacturing Technology)將是未來工業產品製造的關鍵技術。微型化切削技術適用於國防、航空、電子、光學、通訊以及醫療等各領域之產品，特別的是其更可應用於高速訊號傳輸的微光學組件、汽車及醫學上的微制動器(micro-actuator)和微感測器(micro-sensor)、高溫噴射引擎的微噴嘴、以及微小燃料電池等。

在現階段，微型化切削技術大都使用多軸工具機來進行，其中多軸工具機大都為序列式連接(Serial Connected)的機構來進行。多軸工具機大都採用線性馬達配合液靜壓滑軌的驅動方式，此種組合雖然具有無背隙差、快速等優點，但卻具有組裝不易、設備成本高等缺點。此外。多軸工具機具有類似懸臂樑(Cantilever)的主要結構，因此擁有較大的工作區間，但卻也容易因外界的負荷或本身的重量而產生變形或位移。再者，若要達到高解析、高精度，則序列式機構機台的伺服系統與機台結構皆需要非常的高精準和高規格，才有辦法達到次微米甚至是更高的奈米精度。

有鑑於此，工具機廠商係研發出一種肘節式定位平台，此機構主要是係用三角幾何運動的轉換，將螺桿位移量經由相似三角形等比例地轉換成工作平台的進給量，因此該肘節式定位平台不需要使用高規格的伺服元件(即線性馬達與液靜壓滑軌)，便可達到高解析與高精度的需求。

請參閱第一圖，係習用的一種肘節式定位平台的上視圖。如第一圖所示，該肘節式定位平台100’包括一第一平台112’、一馬達120’、一螺桿130’、一第二平台114’以及一連桿140’。其中，馬達120’、螺桿130’和第二平台114’均配置於第一平台112’上。第二平台114’則於第一平台112’上沿著一預定路徑d’往覆移動而且預定路徑d’之延伸方向與螺桿130’成一夾角θ2’，而連桿140’則與螺桿130’成一夾角θ1’。

連桿140’位於第一平台112’與第二平台114’之間，且連桿140’同時連接第二平台114’與螺桿130’，如此，螺桿130’轉動將使連桿140’移動，並帶動第二平台114’沿預定路徑d’移動。第一平台112’具有一導槽160’，且一滾珠軸承180’被設置於該導槽160’並位於第一平台112’與第二平 台114’之間，如此，當第二平台114’於第一平台112’之上沿預定路徑d’移動的時候，該滾珠軸承180’則沿著導槽160’移動，這樣的方式可穩定第二平台114’的移動。

此外，為了更加提高第二平台114’的穩定度，第一平台112’更包括一導軌170’，且一滾柱軸承190’設置於導軌170’之內並位於第一平台112’與第二平台114’之間。如此，當第二平台114’於第一平台112’之上沿預定路徑d’移動的時候，該滾柱軸承190’則沿著導軌170’移動，這樣的方式可使得第二平台114’適於沿著導軌170’移動，藉此可提高第二平台114’的穩定度。

請參閱第二圖，係連桿的移動示意圖。如第二圖所示，行程位置X’代表連桿140’之一端於螺桿130’上的位移位置、平台位移解析度H’代表第二平台114’的移動解析度、長度L’代表連桿140’的長度。其中，由於行程位置X’、平台位移解析度H’與長度L’係構成一幾何三角形，因此行程位置X’、平台位移解析度H’與長度L’之間存在一三角函數關係。故，平台位移解析度H’可透過其與行程位置X’、連桿140’的長度L’之間的三角函數關係計算。

因此，由上述可知該肘節式定位平台100’具有平台位移解析度H’易於計算、平台穩定性高等優點。然而，即便如此，該肘節式定位平台100’並非完美的，其仍具有諸多的缺點。請參閱第二圖，當第二平台114’於第一平台112’ 之上沿預定路徑d’移動的時候，連桿140’同時隨著第二平台114’而移動，如第二圖所示，吾人可以發現，當連桿140’的行程位置由Xa’移動至Xb’時，連桿140’與螺桿130’之夾角便由θ1a’改變成θ1b’，這表示平行程位置X’、連桿140’的長度L’之間的三角函數關係也改變了。因此，由於三角函數關係的改變，透過與行程位置X’、連桿140’的長度L’之間的三角函數關係所計算的平台位移解析度H’之值也隨之改變了。

請繼續地參閱的二圖，並請同時請參閱第三圖，係螺桿行程位置X’與平台位移解析度H’的關係圖。於該肘節式定位平台100’之中，不同規格的馬達120’與螺桿130’所提供的行程位置X’的最小解析度是不同的，而行程位置X’的最小解析度也會影響到平台解析度H’的最小解析度；其中，第三圖之資料所使用的馬達120’與螺桿130’所提供的行程位置X’的最小解析度為1μm，而使用肘節式定位平台100’便可將平台位移解析度H’的解析度放大至nm(奈米)等級。

並且，由第三圖的資料，吾人可以得知，隨著行程位置X’的改變，平台位移解析度H’的值也隨之改變，由此可知該肘節式定位平台100’並不具有定量的平台位移解析度H’；更明確的說，當螺桿130’行程位置X’增加時，平台解析度H’係相對變差的。

因此，經由上述，吾人可以得知習用的多軸工具機與肘節式定位平台皆具有明顯的缺點與不足，有鑑於此，本案之發明人係極力地研究創作，而終於研發出一種斜向驅動式平台結構，且本案之發明人期望以該斜向驅動式平台結構取代習用的肘節式定位平台，作為高解析度的工具機平台。

本發明之主要目的，在於提供一種斜向驅動式平台結構，係利用三角幾何運動轉換，將螺桿移動量經由相似三角形等比例地轉換成工作平台的進給量，進而使得受驅動的工作平台可獲得極精細的進給解析度，不需要搭配使用任何高規格伺服元件。

本發明之另一目的，在於提供一種斜向驅動式平台結構，其中，斜向驅動式平台結構之斜滑動桿、螺桿與工作平台運行軌道之間係存在不變的三角函數關係，且斜滑動桿與螺桿之間具有一斜驅角；藉由如此機構設計，隨著螺桿行程位置之改變，平台位移解析度仍可被維持常數，使得工作平台運行時可具有穩定、精細的進給解析度。

本發明之再一目的，在於提供一種斜向驅動式平台結構，其中，斜滑動桿、螺桿與工作平台運行軌道之間係存在不變的三角函數關係，且斜滑動桿與螺桿之間具有一斜驅角，如此，藉由調整該斜驅角之大小可使得工作平台具有不同的進給解析度與工作行程，以滿足工具機的各種切削需求，使得工具機獲得更佳的加功效能。

因此，為了達成本發明之上述目的，本案之發明人係提出一種斜向驅動式平台結構，係包括：一基座；一第一軌道，係設於該基座之上；一螺桿，係設於該第一軌道之內；一第一滑塊，係設於該螺桿之上，並可藉由該螺桿之旋轉而往覆滑動於第一軌道之內；一第二滑塊，係設於該第一滑塊之上，並具有一滑動桿容置槽；一斜滑動桿，係設置於該第二滑塊之上，且該斜滑動桿係部分容置於該滑動桿容置槽之內，其中該斜滑動桿與該螺桿之間係具有一斜驅角，該斜驅角為一定值；至少一第二軌道，係設於該基座之上，且該第二軌道與該第一軌道係相對地正交；至少一第二滑塊，係設於該第二軌道之上，並可於第二軌道之上往覆滑動；一工作平台，係連接於該第二滑塊，且工作平台同時連接該斜滑動桿；以及一馬達，係耦接於該螺桿；其中，當該馬達運轉並驅動螺桿旋轉時，該第一滑塊即藉由該螺桿之旋轉而沿著第一軌道滑動一螺桿位移量之距離；並且，當第一滑塊沿著第一軌道滑動時，該斜滑動桿同時於該滑動桿容置槽之內滑動，並維持該斜驅角之該定值；其中，當斜滑動桿於滑動桿容置槽之內滑動時，該第二滑塊即受到斜滑動桿的帶動而沿著第二軌道滑動，使得該工作平台產生一定位平台解析度之位移。

並且，為了達成本發明之上述目的，本案之發明人係提出一種斜向驅動式平台結構之另一實施例，係包括：一基座；一螺桿，係藉由二固定塊而設置於設於該基座之上；一第一滑塊，係設於該螺桿之上，並可藉由該螺桿之旋轉而往覆滑動於基座之上；一第二滑塊，係設於該第一滑塊之上，並具有一滑動桿容置槽；一斜滑動桿，係設置於該第二滑塊之上，且該斜滑動桿係部分容置於該滑動桿容置槽之內，其中該斜滑動桿與該螺桿之間係具有一斜驅角，該斜驅角為一定值；至少二第一軌道，係設於該基座之上，且該第一軌道與該螺桿係相對地正交；至少二第二滑塊，係設於該第一軌道之上，並可於第一軌道之上往覆滑動；一工作平台，係連接於該第二滑塊，且工作平台同時連接該斜滑動桿；以及一馬達，係耦接於該螺桿；其中，當該馬達運轉並驅動螺桿旋轉時，該第一滑塊即藉由該螺桿之旋轉而於基板上滑動一螺桿位移量之距離；並且，當第一滑塊滑動時，該斜滑動桿同時於該滑動桿容置槽之內滑動，並維持該斜驅角之該定值；其中，當斜滑動桿於滑動桿容置槽之內滑動時，該第二滑塊即受到斜滑動桿的帶動而沿著第二軌道滑動，使得該工作平台產生一定位平台解析度之位移。

為了能夠更清楚地描述本發明所提出之一種斜向驅動式平台結構，以下將配合圖式，詳盡說明本發明之實施例。

請同時參閱第四圖、第五圖與第六圖，係本發明之一種斜向驅動式平台結構的立體圖、側視圖與爆炸圖。如第四圖、第五圖與第六圖所示，本發明之斜向驅動式平台結構1係包括：一基座11、一第一軌道12、一第一滑塊14、一轉動軸15、一轉動軸承座16、一第二滑塊17、一斜滑動桿18、二個第二軌道19、四個第三滑塊1A、一工作平台1B、一馬達1C、二個支撐件1D、一平台聯結件1E、一馬達座1F、以及一固定塊1G。

第一軌道12係設於該基座11之上，且螺桿13係設於該第一軌道12之內。第一滑塊14則設於該螺桿13之上，並可藉由螺桿13之旋轉而沿著第一軌道12滑動。轉動軸15係設置於該第一滑塊14之上，轉動軸承座16則設置於該轉動軸15之上，且，第二滑塊17係設於該轉動軸承座16之上並具有一滑動桿容置槽171。斜滑動桿18係設置於該第二滑塊17之上，且該斜滑動桿18係部分容置於該滑動桿容置槽171之內；特別地，於本發明之中，斜滑動桿18與螺桿13之間係具有一斜驅角θ(斜驅角θ圖示於下列第八圖之中)，該斜驅角θ為一定值；並且，透過將轉動軸15與轉動軸承座16旋動一旋轉自由度，則可調整並改變斜驅角θ之值。

該二個支撐件1D係相對底設置於該基座11之上，並位於基座11之二側邊。二個第二軌道19則分別設於該二個支撐件1D之上，且第二軌道19與第一軌道12係相對地正交。其中，支撐件1D係用以支撐第二軌道19，且藉由調整支撐件1D的高度可令第二軌道19具有一定的高度。該四個第三滑塊1A係平均設於該二個第二軌道19之上，其中，第三滑塊1A具有一平台連接部1A2與一滑槽1A1，第三滑塊1A係透過該滑槽1A1而結合於該第二軌道19之上。

該工作平台1B係連接於該四個第三滑塊1A之平台連接部1A2，且工作平台1B係同時連接該斜滑動桿18。該馬達1C係耦接於該螺桿13，且馬達1C與螺桿13之間設有一馬達座1F，該馬達座1F可協助穩定該螺桿13。另，固定塊1G係相對於馬達1C而設置於基座11之上，係連接第一軌道12與螺桿13並將第一軌道12與螺桿13固定於基座11之上。平台聯結件1E則設置於工作平台1B與斜滑動桿18之間，使得工作平台1B可以間接的方式與斜滑動桿18連接。

如此，上述已經簡單介紹本發明之斜向驅動式平台結構1的構成元件，於該斜向驅動式平台結構1之中，當馬達1C運轉並驅動螺桿13旋轉時，第一滑塊14沿著螺桿13之軸方向而於第一軌道12之上滑動；並且，當第一滑塊14沿著第一軌道12滑動時，該斜滑動桿18同時於該滑動桿容置槽171之內滑動，並維持該斜驅角θ之該定值；並且，當斜滑動桿18於滑動桿容置槽171之內滑動時，該第三滑塊1A即受到斜滑動桿18的帶動而沿著第二軌道19滑動，使得該工作平台1B產生位移。需特別說明的是，欲操作控制本發明之斜向驅動式平台結構1執行工作行程之前，需先確認轉動軸承座16已固定於轉動軸15之上，且工作平台1B亦已固定於平台聯結件1E之上，以避免執行工作行程的時候轉動軸15與轉動軸承座16的突然轉動而改變斜驅角θ的值。

為了更加詳細地說明螺桿13、第一滑塊14、第二滑塊17、斜滑動桿18、與工作平台1B的作動關係以及該作動關係所帶來的特別效能，以下將藉由作動圖的加以說明。請參閱第七A圖、第七B圖與第七C圖，係本發明之斜向驅動式平台結構的作動圖。如第七A圖所示，工作平台1B係被移至基座11的最左側；如第七B圖所示，當馬達1C運轉並驅動螺桿13旋轉時，第一滑塊14即藉由螺桿13之旋轉而沿著第一軌道12滑動且斜滑動桿18同時於該滑動桿容置槽171之內滑動，並維持該斜驅角θ之該定值。

承上述，並且，當斜滑動桿18於滑動桿容置槽171之內滑動時，該第三滑塊1A即受到斜滑動桿18的帶動而沿著第二軌道19滑動，使得該工作平台1B產生位移。最後，如第七C圖所示，當馬達1C繼續地運轉並驅動螺桿13旋轉時，第一滑塊14將滑動至第一軌道12之終端，此時斜滑動桿18亦會帶動工作平台1B移動，使得工作平台1B移動至基座11的最右側。

請繼續參閱第八圖與第九圖，係滑塊行程位置X與平台位移解析度H之關係圖，以及滑塊行程位置X與平台位移解析度H之曲線圖。如第七A圖與第八圖所示，於本發明之中，該斜滑動桿18、該螺桿13與該第二軌道19之間係存在一三角函數關係，並且，馬達1C驅動螺桿13所產生的滑塊行程位置X可經由三角函數運算而被轉換成工作平台1B的平台位移解析度H，進而使得受驅動的工作平台1B可獲得極細微的平台位移解析度H。

並且，最重要的是，如第八圖所示，當第一滑塊14由位置X_a 滑動至位置X_b 時，工作平台1B係由平台解析度H_a 被移動至平台解析度H_b (圖中未標示H_a 與H_b )。此時，斜滑動桿18與螺桿13之間的斜驅角θ仍舊維持定值，這表示斜滑動桿18、螺桿13與第二軌道19之間的三角函數關係不變的，也就是說經由三角函數運算轉換而成定位平台解析度H並不會因為滑塊行程位置X之變動而有所改變；更精確地說，隨著滑塊行程位置X之改變，定位平台解析度H係維持一常數，其中，第九圖所示的滑塊行程位置X與定位平台解析度H的曲線圖，便證明了這樣的結果。同時，經由上述結果，吾人也可得知欲改變該工作平台1B之該平台位移解析度H的值，便需藉由調整該斜驅角θ之的大小來達成。

另外，須要補充說明的是，不同規格的馬達1C與螺桿13所提供的滑塊行程位置X的最小解析度是不同的，而滑塊行程位置X的最小解析度將影響到定位平台解析度H的最小解析度；其中，第九圖所使用的馬達1C與螺桿13所提供的滑塊行程位置X的最小解析度為1μm。而本發明便是透過斜滑動桿18、螺桿13與第二軌道19之間的三角函數關係，而進一步地將定位平台解析度H的解析度放大至nm(奈米)等級。

如此，藉由上述之立體圖、爆炸圖、作動圖之說明，本發明之斜向驅動式平台結構之構成元件與技術特徵係已完整且清楚地被揭露，並且，經由上述，吾人可得知本發明係具有下列之優點：

1.相較於習用的肘節式定位平台，於本發明之斜向驅動式平台結構之中，工作平台1B除了具有極細微的平台位移解析度H以外，且其平台位移解析度H更可隨著滑塊行程位置X的改變而維持一常數。

2.承上述第1點，因此，當本發明之斜向驅動式平台結構應用於工具機之時，係不需要使用高規格的伺服元件(即線性馬達與液靜壓滑軌)，便可提供工具機穩定、高解析與高精度的進給解析度。

3.承上述第2點，此外，藉由調整該斜驅角θ之大小可變換工作平台1B之進給解析度，以滿足工具機的各種切削需求，使得工具機獲得更佳的加工效能。

另外，本發明又提供該斜向驅動式平台結構之一第二實施例，請參閱第十圖，係本發明之斜向驅動式平台結構的第二實施例之爆炸圖。如第十圖所示，本發明之斜向驅動式平台結構1的第二實施例係包括：一基座11a、一螺桿13a、四個第一軌道19a、一第一滑塊14a、一轉動軸15a、一第二滑塊17a、一斜滑動桿18a、四個第三滑塊1Aa、一工作平台1Ba、一馬達1Ca、四個支撐件1Da、一平台聯結件1Ea以及二固定塊1Ga。

該螺桿13a係藉由該二固定塊1Ga而設置於設於基座11a之上，且第一滑塊14a係設於螺桿13a之上，並可藉由螺桿13a之旋轉而往覆滑動於基座11a之上。該第二滑塊17a係設於該第一滑塊14a之上，並具有一滑動桿容置槽171a。該斜滑動桿18a係設置於第二滑塊17a之上，且斜滑動桿18a係部分容置於該滑動桿容置槽171a之內，其中斜滑動桿18a與螺桿13a之間係具有一斜驅角θ，該斜驅角θ為一定值。此外，第一滑塊14a與第二滑塊17a之間設有一轉動軸15a，該斜驅角θ之值可經由旋轉該轉動軸15a而調整。

如第十圖所示，第一軌道19a為一V型槽軌，且四個第一軌道19a係成對地設於基座11a之上，並與螺桿13a係相對地正交。該四個第三滑塊1Aa係分別設於該第一軌道19a之上，並可於第一軌道19a之上往覆滑動。工作平台1Ba則連接於該四個第三滑塊1Aa，且工作平台1Ba同時連接該斜滑動桿18a。此外，四個支撐件1Da，係設置於該第二滑塊17a與該工作平台1Ba之間，用以支撐該工作平台1Ba，並以得工作平台1Ba具有一定的高度。

承上述，並且，一平台聯結件1Ea係設置於工作平台1Ba與該斜滑動桿18a之間，使得工作平台1Ba可以間接的方式與斜滑動桿18a連接。如第十圖所示，斜滑動桿18a與平台聯結件1Ea之間係形成有一承載盤連接件181a，用以連接斜滑動桿18a與平台聯結件1Ea；且，平台聯結件1Ea與該工作平台1Ba之間亦形成有一平台連接件1E1a，用以連接平台聯結件1Ea與工作平台1Ba。另外，該工作平台1Ba更包括一結合件1B1a，用以與該平台連接件1E1a相結合。

如此，上述已經簡單介紹本發明之斜向驅動式平台結構1之第二實施例的構成元件。其中，與前述實施例相同的是，於該斜向驅動式平台結構1之第二實施例之中，當該馬達1Ca運轉並驅動螺桿13a旋轉時，該第一滑塊14a即藉由該螺桿13a之旋轉而於基座11a上滑動；並且，當第一滑塊14a滑動時，該斜滑動桿18a同時於該滑動桿容置槽171a之內滑動，並維持該斜驅角θ 之該定值。且，當斜滑動桿18a於滑動桿容置槽171a之內滑動時，該第三滑塊1Aa即受到斜滑動桿18a的帶動而沿著第一軌道19a滑動，使得該工作平台1Ba產生位移。

與前述實施例相同的是，於斜向驅動式平台結構1的第二實施例之中，該斜滑動桿18a、該螺桿13a與該第一軌道19a之間係存在不變的三角函數關係，且斜滑動桿18a與螺桿13a之間具有一斜驅角θ ；藉由如此機構設計，則隨著滑塊於螺桿上的行程位置之改變，工作平台1Ba的平台位移解析度依舊可被維持常數，進而使得工作平台1Ba運行時可具有穩定不變的進給解析度。

另外，補充說明的是，為了增加第一滑塊14a滑動的穩定性，可再設置一第二軌道(第十圖中未示)於該基座11a之上，用以容置該螺桿13a與該第一滑塊14a，且當該第一滑塊14a滑動時，該第二軌道可穩定第一滑塊14a之滑動。相較於前述實施例，第二實施例為本發明之斜向驅動式平台結構1的簡單實施例，雖然其工作穩定性不像前述實施例那樣優良，但卻具有較為低廉的製作成本。

必須強調的是，上述之詳細說明係針對本發明可行實施例之具體說明，惟該實施例並非用以限制本發明之專利範圍，凡未脫離本發明技藝精神所為之等效實施或變更，均應包含於本案之專利範圍中。

1‧‧‧斜向驅動式平台結構

11‧‧‧基座

12‧‧‧第一軌道

13‧‧‧螺桿

14‧‧‧第一滑塊

15‧‧‧轉動軸

16‧‧‧轉動軸承座

17‧‧‧第二滑塊

171‧‧‧滑動桿容置槽

18‧‧‧斜滑動桿

θ‧‧‧斜驅角

19‧‧‧第二軌道

1A‧‧‧第三滑塊

1B‧‧‧工作平台

1C‧‧‧馬達

1D‧‧‧支撐件

1E‧‧‧平台聯結件

1F．．．馬達座

1G．．．固定塊

1A1．．．滑槽

1A2．．．平台連接部

11a．．．基座

13a．．．螺桿

14a．．．第一滑塊

15a．．．轉動軸

1Ga．．．固定塊

17a．．．第二滑塊

171a．．．滑動桿容置槽

18a．．．斜滑動桿

181a．．．承載盤連接件

19a．．．第一軌道

1Aa．．．第三滑塊

1Ba．．．工作平台

1Ca．．．馬達

1Da．．．支撐件

1Ea．．．平台聯結件

1E1a．．．平台連接件

1B1a．．．結合件

100’．．．肘節式定位平台

112’．．．第一平台

114’．．．第二平台

120’．．．馬達

130’．．．螺桿

140’．．．連桿

d’．．．預定路徑

θ1’．．．夾角

θ1a’．．．夾角

θ1b’．．．夾角

θ2’．．．夾角

160’．．．導槽

170’．．．導軌

180’．．．滾珠軸承

190’．．．滾柱軸承

X’．．．行程位置

X_a ．．．滑塊行程位置

X_b ．．．滑塊行程位置

H’．．．平台位移解析度

L’．．．長度

X．．．滑塊行程位置

H．．．平台位移解析度

第一圖係一種肘節式定位平台的上視圖；

第二圖係肘節式定位平台的一連桿的移動示意圖；

第三圖係螺桿行程位置與平台位移解析度的曲線圖；

第四圖係本發明之一種斜向驅動式平台結構的立體圖；

第五圖係斜向驅動式平台結構的側視圖；

第六圖係斜向驅動式平台結構的爆炸圖；

第七A圖係斜向驅動式平台結構的作動圖；

第七B圖係斜向驅動式平台結構的作動圖；

第七C圖係斜向驅動式平台結構的作動圖；第八圖係螺桿行程位置與平台位移解析度的關係圖；第九圖係螺桿行程位置與平台位移解析度的曲線圖；以及第十圖係本發明之一種斜向驅動式平台結構的第二實施例之爆炸圖。

1．．．斜向驅動式平台結構

11．．．基座

12．．．第一軌道

13．．．螺桿

14．．．第一滑塊

15．．．轉動軸

16．．．轉動軸承座

17．．．第二滑塊

18．．．斜滑動桿

19．．．第二軌道

1A．．．第三滑塊

1B．．．工作平台

1C．．．馬達

1D．．．支撐件

1E．．．平台聯結件

1F．．．馬達座

1A1．．．滑槽

1A2．．．平台連接部

Claims (14)

1. 一種斜向驅動式平台結構，係包括：一基座；一第一軌道，係設於該基座之上；一螺桿，係設於該第一軌道之內；一第一滑塊，係設於該螺桿之上，並可藉由該螺桿之旋轉而往覆滑動於第一軌道之內；一第二滑塊，係設於該第一滑塊之上，並具有一滑動桿容置槽；一斜滑動桿，係設置於該第二滑塊之上，且該斜滑動桿係部分容置於該滑動桿容置槽之內，其中該斜滑動桿與該螺桿之間係具有一斜驅角，該斜驅角為一定值；至少一第二軌道，係設於該基座之上，且該第二軌道與該第一軌道係相對地正交；至少一第二滑塊，係設於該第二軌道之上，並可於第二軌道之上往覆滑動；一工作平台，係連接於該第二滑塊，且工作平台同時連接該斜滑動桿；以及一馬達，係耦接於該螺桿；其中，當該馬達運轉並驅動螺桿旋轉時，該第一滑塊即藉由該螺桿之旋轉而沿著第一軌道滑動一螺桿位移量之距離；並且，當第一滑塊沿著第一軌道滑動時，該斜滑動桿同時於該滑動桿容置槽之內滑動，並維持該斜驅角之該定值；其中，當斜滑動桿於滑動桿容置槽之內滑動時，該第二滑塊即受到斜滑動桿的帶動而沿著第二軌道滑動，使得該工作平台產生一定位平台解析度之位移。
2. 如申請專利範圍第1項所述之斜向驅動式平台結構，更包括：一轉動軸，係設置於該第一滑塊之上，並介於第一滑塊與第二滑塊之間；一轉動軸承座，係設置於該轉動軸之上，並介於第一滑塊與第二滑塊之間，該轉動軸與該轉動軸承座可被旋動一旋轉自由度，藉此調整該斜驅角之該定值；至少一支撐件，係設置於該基座之上，用以支撐該第二軌道，以使得第二軌道具有一定的高度；以及一平台聯結件，係設置於該工作平台與該斜滑動桿之間，使得工作平台可以間接的方式與斜滑動桿連接，且該平台聯結件亦可被旋動一旋轉自由度，藉此調整工作平台的方位。
3. 如申請專利範圍第2項所述之斜向驅動式平台結構，更包括：一馬達座，係設置於該馬達與該螺桿之間，用以協助固定馬達及穩定該螺桿；以及一固定塊，係相對於該馬達而設置於該基座之上，用以連接該第一軌道與該螺桿，並將第一軌道與螺桿固定於基座之上。
4. 如申請專利範圍第2項所述之斜向驅動式平台結構，其中，該第二滑塊更包括：一滑槽，第二滑塊係透過該滑槽而結合於該第二軌道之上；以及一平台連接部，第二滑塊係透過該平台結合部而與該工作平台連接。
5. 如申請專利範圍第2項所述之斜向驅動式平台結構，其中，該斜滑動桿、該螺桿與該第二軌道之間係存在一三角函數關係。
6. 如申請專利範圍第5項所述之斜向驅動式平台結構，其中，藉由調整該轉動軸之角度係可調整該斜驅角之該定值的大小，進以改變該工作平台之該定位平台解析度的值。
7. 一種斜向驅動式平台結構，係包括：一基座；一螺桿，係藉由二固定塊而設置於設於該基座之上；一第一滑塊，係設於該螺桿之上，並可藉由該螺桿之旋轉而往覆滑動於基座之上；一第二滑塊，係設於該第一滑塊之上，並具有一滑動桿容置槽；一斜滑動桿，係設置於該第二滑塊之上，且該斜滑動桿係部分容置於該滑動桿容置槽之內，其中該斜滑動桿與該螺桿之間係具有一斜驅角，該斜驅角為一定值；至少二第一軌道，係設於該基座之上，且該第一軌道與該螺桿係相對地正交；至少二第二滑塊，係設於該第一軌道之上，並可於第一軌道之上往覆滑動；一工作平台，係連接於該第二滑塊，且工作平台同時連接該斜滑動桿；以及一馬達，係耦接於該螺桿；其中，當該馬達運轉並驅動螺桿旋轉時，該第一滑塊即藉由該螺桿之旋轉而於基板上滑動一螺桿位移量之距離；並且，當第一滑塊滑動時，該斜滑動桿同時於該滑動桿容置槽之內滑動，並維持該斜驅角之該定值；其中，當斜滑動桿於滑動桿容置槽之內滑動時，該第二滑塊即受到斜滑動桿的帶動而沿著第二軌道滑動，使得該工作平台產生一定位平台解析度之位移。
8. 如申請專利範圍第7項所述之斜向驅動式平台結構，更包括：一轉動軸，係設置於該第一滑塊之上，並介於第一滑塊與第二滑塊之間，且該斜驅角之該定值可經由旋轉該轉動軸而調整；至少一支撐件，係設置於該第二滑塊與該工作平台之間，用以支撐該工作平台，並以得工作平台具有一定的高度；以及一平台聯結件，係設置於工作平台與該斜滑動桿之間，使得工作平台可以間接的方式與斜滑動桿連接，且該平台聯結件更具有轉動工作平台的功能。
9. 如申請專利範圍第8項所述之斜向驅動式平台結構，更包括：一承載盤連接件，係形成於該斜滑動桿之上，並位於斜滑動桿與該平台聯結件之間，用以連接斜滑動桿與平台聯結件；以及一平台連接件，係形成於該平台聯結件之上，並位於平台聯結件與該工作平台之間，用以連接平台聯結件與工作平台。
10. 如申請專利範圍第9項所述之斜向驅動式平台結構，其中，該工作平台更包括一結合件，用以與該平台連接件相結合。
11. 如申請專利範圍第8項所述之斜向驅動式平台結構，其中，該第一軌道為一V型槽軌。
12. 如申請專利範圍第8項所述之斜向驅動式平台結構，其中，該斜滑動桿、該螺桿與該第一軌道之間係存在一三角函數關係。
13. 如申請專利範圍第8項所述之斜向驅動式平台結構，其中，藉由調整該轉動軸之角度係可調整該斜驅角之該定值的大小，進以改變該工作平台之該定位平台解析度的值。
14. 如申請專利範圍第7項所述之斜向驅動式平台結構，更包括一第二軌道，係設置於該基座之上，用以容置該螺桿與該第一滑塊，且當該第一滑塊滑動時，該第二軌道可穩定第一滑塊之滑動。