TWI456622B - 掃描電子顯微鏡及利用該裝置的原電子電流量的測量方法 - Google Patents

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Claims (6)

  1. 一種掃描電子顯微鏡，包括：一鏡筒，其內部形成收容空間；電子源，其設置在所述鏡筒內部，用於向所述鏡筒外部的樣品產生帶電的原電子；一過濾器，其設置在所述鏡筒內部中所述電子源的下部，用於改變所述原電子或所述原電子與所述樣品衝撞後所放射出的二次電子兩者中至少一者的移動路徑；一第一檢測器，其設置在所述過濾器和所述樣品之間的所述鏡筒內部，用於檢測由於所述過濾器中產生的電磁場而改變移動路徑的所述原電子所形成的電流量；一第二檢測器，其設置在所述電子源和所述過濾器之間的所述鏡筒內部，用於檢測由於所述過濾器而改變移動路徑的所述二次電子；其中，所述鏡筒之內部的收容空間收容了所述電子源、所述過濾器、所述第一檢測器和所述第二檢測器；一過濾器控制部，其用於控制所述過濾器，以選擇性地改變所述原電子及所述二次電子的移動路徑，在沿著一第一方向掃描所述原電子時，使所述二次電子流入所述第二檢測器，且在沿著一第二方向掃描所述原電子時，使所述原電子流入所述第一檢測器，其中，所述第二方向垂直於所述第一方向。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之掃描電子顯微鏡，其中所述掃描電子顯微鏡是對於行依次掃描所述樣品的掃描領域的光柵掃描方式。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之掃描電子顯微鏡，其中所述過濾器控制部在對所述樣品的掃描領域中的其中一行掃描原電子的期 間，控制所述過濾器使所述二次電子流入所述第二檢測器，並在為了向所述樣品的下一行掃描原電子，移動原電子的入射位置的途中，控制所述過濾器以使所述原電子流入所述第一檢測器。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之掃描電子顯微鏡，其中，進一步包括：檢查部，其用於分析由所述第一檢測器及所述第二檢測器測出的電流量；及電子源控制部，其根據由所述檢查部傳遞的結果值，控制從電子源掃描的所述原電子的電流量。
  5. 一種利用申請專利範圍第1項至第4項其中任一項所述之掃描電子顯微鏡的原電子電流量的測量方法，包括：控制過濾器，以在對樣品的檢測領域中的一行掃描帶電的所述原電子的同時，將所述二次電子導引至所述第二檢測器；及控制過濾器，以在將所述原電子的掃描位置移動到下一行的同時，將所述原電子導引至所述第一檢測器。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之掃描電子顯微鏡的原電子電流量的測量方法，進一步包括：比較分析由所述第一檢測器和所述第二檢測器測出的結果值，並調節所述電子源的所述原電子的產生量的檢查步驟。
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