TWI456356B - 曝光裝置用之光照射裝置及其點亮控制方法、曝光裝置及基板 - Google Patents

Claims (11)

1. 一種曝光裝置用之光照射裝置，其特徵在於，包括：複數個光源部，其各自包含發光部以及使自該發光部所產生之光具有指向性而射出之反射光學系統；複數個匣盒，其各自可安裝特定數量之上述光源部；框架，其可安裝該複數個匣盒；以及控制部，其控制上述複數個光源部之點亮或熄滅；上述匣盒包含支持上述特定數量之光源部的光源支持部；上述框架包含各自安裝上述複數個匣盒之複數個匣盒安裝部；上述複數個匣盒安裝部各自包含上述匣盒之光源支持部所面對之開口部、與形成於該光源支持部之周圍的平面部抵接之平面、以及以該平面為底面之匣盒用凹部；於上述匣盒用凹部之周圍，設置有用以固定上述匣盒之匣盒固定機構；且上述控制部係以使上述各匣盒內之上述特定數量之光源部以點對稱點亮之方式進行控制。
2. 如請求項1之曝光裝置用之光照射裝置，其中上述控制部係以使上述複數個匣盒之上述特定數量之光源部以同一點亮圖案且以點對稱同時點亮之方式進行控制，使上述所有的光源部以點對稱點亮。
3. 如請求項1或2之曝光裝置用之光照射裝置，其中上述控制部包含上述匣盒內之特定數量之光源部中所 要點亮之上述光源部之數量不同的複數個點亮圖案群，並且該各點亮圖案群各自包含由上述光源部以點對稱點亮之複數個點亮圖案。
4. 如請求項3之曝光裝置用之光照射裝置，其中進而包含對上述各光源部之點亮時間進行計數之計時器；且上述控制部對應於所期望之照度，選擇上述複數個點亮圖案群中之任一者，並且於該所選擇之點亮圖案群中，根據上述光源部之點亮時間選擇上述點亮圖案。
5. 如請求項3之曝光裝置用之光照射裝置，其中進而包含對上述各光源部之點亮時間進行計數之計時器；上述控制部根據上述各光源部之點亮時間、及於點亮時所供給之電壓或電力，計算上述複數個光源部之殘存壽命；且上述控制部對應於所期望之照度，選擇上述複數個點亮圖案群中之任一者，並且於該所選擇之點亮圖案群中，根據上述光源部之殘存壽命選擇上述點亮圖案。
6. 如請求項4之曝光裝置用之光照射裝置，其中當上述所期望之照度與藉由上述複數個點亮圖案群所獲得之照度不同時，選擇可獲得接近上述所期望之照度之照度的點亮圖案群，並且調整供給至上述所要點亮之光源部的電壓或電力。
7. 如請求項1之曝光裝置用之光照射裝置，其中 上述光源支持部係以自上述特定數量之光源部之光所照射之各照射面至上述特定數量之光源部之光所入射的積分透鏡之入射面為止之各光軸之距離成為大致固定之方式而形成。
8. 如請求項7之曝光裝置用之光照射裝置，其中上述複數個匣盒安裝部係以自上述所有光源部之光所照射之各照射面至上述所有光源部之光所入射的積分透鏡之入射面為止之各光軸之距離成為大致固定之方式而形成。
9. 如請求項8之曝光裝置用之光照射裝置，其中於特定方向上排列之上述複數個匣盒安裝部之各平面係以特定角度相交。
10. 一種曝光裝置，其特徵在於，包含：基板保持部，其係保持作為被曝光材之基板；光罩保持部，其係以與上述基板對向之方式保持光罩；及照明光學系統，其包含如請求項1至9中任一項之上述光照射裝置、以及自該光照射裝置之複數個光源部出射之光所入射之積分透鏡；且經由上述光罩對上述基板照射來自上述照明光學系統之光。
11. 一種曝光裝置用之光照射裝置之點亮控制方法，其特徵在於：該曝光裝置用之光照射裝置包含：複數個光源部，其 各自包含發光部以及使自該發光部所產生之光具有指向性而射出之反射光學系統；複數個匣盒，其各自可安裝特定數量之上述光源部；框架，其可安裝該複數個匣盒；以及控制部，其控制上述複數個光源部之點亮或熄滅；上述匣盒包含支持上述特定數量之光源部的光源支持部；上述框架包含各自安裝上述複數個匣盒之複數個匣盒安裝部；上述複數個匣盒安裝部各自包含上述匣盒之光源支持部所面對之開口部、與形成於該光源支持部之周圍的平面部抵接之平面、以及以該平面為底面之匣盒用凹部；於上述匣盒用凹部之周圍，設置有用以固定上述匣盒之匣盒固定機構；且上述控制部係以使上述各匣盒內之上述特定數量之光源部以點對稱點亮之方式進行控制。