TWI448706B - 具有乾燥環境之測試平台 - Google Patents

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Hsuan Jen Shen
Hung Ta Kao
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    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607—Circuits therefor
    • G01R31/2632—Circuits therefor for testing diodes
    • G01R31/2635—Testing light-emitting diodes, laser diodes or photodiodes

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Description

具有乾燥環境之測試平台
本發明係關於一種具有乾燥環境之測試平台，尤指一種藉由導流機構將乾燥氣體引導至測試區域，以產生乾燥環境之測試平台。
隨著科技發展與時代進步的同時，人們環保意識抬頭及環保觀念隨著進步，節能減碳已成為世界各國重視的議題及努力的目標，因此以往常使用的白炙燈、日光燈、碘鎢燈以及高壓鈉燈，漸漸地被發光二極體(Light Emitting Diode；LED)燈取代，LED燈具備不易碎、省電、環保無汞、光源具方向性、體積小、色域豐富、可應用於低溫環境、造成光害少以及工作壽命長之優點，因此LED將廣泛地、革命性地取代傳統之白熾燈等現有之光源，進而成為符合節能環保主題之主要光源。
其中，習知之LED晶片製造製程包含有在基底材料之基板上形成磊晶矽晶圓(Epitaxial Wafer)之磊晶矽製程、使用晶圓來生產數個LED晶片之晶粒製程、藉由晶粒製程所生產之LED晶片之封裝製程、以及測試已經由封裝製程所處理之LED晶片之測試製程。其中，在傳統LED晶片之測試製程中，需於測試平台上進行電性測試，進而得知一晶圓上每一LED晶片之光學特性與電流特性，而在進行電性測試的過程中，由於測試環境通常需要為常溫，更甚 者需要在不同的溫度下進行測試(如負40℃或負50℃之低溫或135℃之高溫等)。然而，由於現有之測試平台之測試環境之溼度較高，當其於低溫環境下進行測試時，LED晶片容易有結露甚至結冰之問題發生，進而影響到電性測試之結果，因此現有技術仍有改善之空間。
有鑒於在習知技術中，由於現有之測試平台在低溫環境下測試晶片時，其有容易結露甚至結冰之問題而影響到電性測試之結果，所以必須將該測試平台置於一乾燥容室內，且該容室必須確實與外界隔離，以避免上述結露問題發生，當測試過程需要維修或者測試結束時，皆必須讓系統回溫至常溫才能進行後續作業，使用上有其不方便性。
緣此，本發明之主要目的係提供一種具有乾燥環境之測試平台，其係藉由導流機構將乾燥氣體引導至測試區域，藉以產生包覆測試平台及待測物之乾燥測試環境進而防止結露。
本發明為解決習知技術之問題，所採用之必要技術手段係提供一種具有乾燥環境之測試平台，測試平台包含一承載座、一導流機構以及一乾燥氣體產生裝置。承載座具有一測試區域，導流機構係設置包圍承載座之周邊，乾燥 氣體產生裝置係連結於導流機構，用以產生一乾燥氣體，乾燥氣體係藉由導流機構之引導往測試區域流動，以包覆測試區域及待測物產生乾燥環境防止結露。
較佳者，上述之測試平台中，導流機構具有一導流部，且在乾燥氣體流動至導流部後，藉由導流部之引導往測試區域流動，且導流機構更具有複數個出氣孔，乾燥氣體係由該些出氣孔流動至導流部。此外，導流機構更具有一進氣孔，用以連結乾燥氣體產生裝置，乾燥氣體係由進氣孔進入導流機構並流動至該些出氣孔，另外，導流部係具有一導流角，藉以增加乾燥氣體往測試區域流動之均勻性。
較佳者，上述之測試平台中，其係用以測試一佈有發光二極體(Light Emitting Diode；LED)晶片之待測晶圓(wafer)，並且更包含一殼體以及一乾燥氣體管線，殼體用以遮蓋測試區域之上方空間，而乾燥氣體管線連結於乾燥氣體產生裝置，乾燥氣體管線係設置於殼體內部，以於測試區域之上方空間產生乾燥環境防止結露。此外，乾燥氣體產生裝置係為一空氣過濾器，且承載座係為一具有溫度控制功能之承載座，可對測試區域進行溫度控制。
相較於習知技術，藉由本發明所提供之具有乾燥環境之測試平台，由於藉由導流機構將乾燥氣體引導至測試區域而產生乾燥之測試環境，因而使得在測試LED晶片時可防止結露或結冰之現象發生，進而提高電性測試之可靠度。
本發明所採用的具體實施例，將藉由以下之實施例及圖式作進一步之說明。
由於本發明所提供之具有乾燥環境之測試平台中，其組合實施方式不勝枚舉，故在此不再一一贅述，僅列舉三個較佳實施例來加以具體說明。
請一併參閱第一圖以及第二圖，第一圖係顯示本發明第一較佳實施例之具有乾燥環境之測試平台之示意圖，第二圖係顯示本發明第一較佳實施例之承載座以及導流機構立體剖面示意圖。如圖所示，本發明第一較佳實施例所提供之具有乾燥環境之測試平台1係用以測試一佈有發光二極體(Light Emitting Diode；LED)晶片之待測晶圓(wafer)，當然在其他實施例中係可測試其他待測物而不限於上述，其中，具有乾燥環境之測試平台1包含一具有溫度控制功能之承載座11、一導流機構12以及一乾燥氣體產生裝置13，承載座11具有一測試區域111，測試區域111係用以容置上述之待測物以進行電性測試，且承載座11可對測試區域111進行溫度控制。
導流機構12係設置包圍承載座11之周邊，進一步而言係環繞並鄰近於承載座11而設置，且導流機構12以及承載座11間具有縫隙，而導流機構12可由一般具有剛性之金屬材質製成，此外，導流機構12係設有一導流部121以及四個進氣孔122(圖中僅標示一個)，導流部121係具 有導流角1211，而導流角1211係遮蓋於上述的縫隙，而導流角1211之角度例如是三十度或四十五度(以導流部121之平面為水平面而往下所張之角度)，但不限於上述。
乾燥氣體產生裝置13係連結於導流機構12，具體而言係藉由管線(圖未示)連結於進氣孔122，且乾燥氣體產生裝置13係可產生乾燥氣體，而乾燥氣體產生裝置13係為一空氣過濾器，但不限於上述，只要是可產生乾燥氣體之裝置均不脫離本發明之精神。
其中，使用者在啟動本發明第一較佳實施例所提供之具有乾燥環境之測試平台1時，乾燥氣體產生裝置13係產生乾燥氣體，且乾燥氣體係經由管線以及上述之縫隙，並經由進氣孔122而流動，在乾燥氣體流動至導流部121後，係藉由導流機構12之引導往測試區域111流動，以使測試區域111形成乾燥環境進而防止結露，其中，導流角1211係可增加乾燥氣體往測試區域111流動之均勻性。
請參閱第三圖，第三圖係顯示本發明第二較佳實施例之測試平台之承載座以及導流機構立體剖面示意圖。如第三圖所示，第二較佳實施例與第一較佳實施例不同的是，導流機構12a僅包含導流部121a、複數個進氣孔122a(圖中僅標示一個)以及複數個出氣孔123a(圖中僅標示一個)，而不包含如第一較佳實施例之導流角1211。其中，使用者在啟動本發明第二較佳實施例所提供之具有乾燥環境之測試平台1a時，乾燥氣體係由進氣孔122a進入導流機構12a並流動至該些出氣孔123a，乾燥氣體再由該些出 氣孔123a流動至導流部121a，再藉由導流部121a之引導往測試區域111a流動，其他均與第一較佳實施例相同，在此不再予以贅述。
請參閱第四圖，第四圖係顯示本發明第三實施例之具有乾燥環境之測試平台之剖面示意圖。如第四圖所示，與第一較佳實施例不同的是，具有乾燥環境之測試平台1更包含一殼體14以及一乾燥氣體管線15，殼體14用以遮蓋測試區域111之上方空間，而乾燥氣體管線15連結於乾燥氣體產生裝置13，並且設置於殼體14之內部，以於測試區域111之上方空間產生乾燥環境而防止結露，其餘均與第一較佳實施例相同，在此不再予以贅述。
綜合以上所述，藉由本發明所提供之具有乾燥環境之測試平台，由於藉由導流機構將乾燥氣體引導至測試區域而產生乾燥之測試環境，因而使得在測試LED晶片時可防止結露或結冰之現象發生，進而提高電性測試之可靠度。
藉由以上較佳具體實施例之詳述，係希望能更加清楚描述本發明之特徵與精神，而並非以上述所揭露的較佳具體實施例來對本發明之範疇加以限制。相反地，其目的是希望能涵蓋各種改變及具相等性的安排於本發明所欲申請之專利範圍的範疇內。
1、1a‧‧‧具有乾燥環境之測試平台
11、11a‧‧‧承載座
111、111a‧‧‧測試區域
12、12a‧‧‧導流機構
121、121a‧‧‧導流部
1211‧‧‧導流角
122、122a‧‧‧進氣孔
123a‧‧‧出氣孔
13‧‧‧乾燥氣體產生裝置
14‧‧‧殼體
15‧‧‧乾燥氣體管線
第一圖係顯示本發明第一較佳實施例之具有乾燥環境之測試平台之示意圖； 第二圖係顯示本發明第一較佳實施例之承載座以及導流機構立體剖面示意圖；第三圖係顯示本發明第二較佳實施例之測試平台之承載座以及導流機構立體剖面示意圖；以及第四圖係顯示本發明第三實施例之具有乾燥環境之測試平台之剖面示意圖。
1‧‧‧具有乾燥環境之測試平台
11‧‧‧承載座
111‧‧‧測試區域
12‧‧‧導流機構
13‧‧‧乾燥氣體產生裝置

Claims (8)

  1. 一種具有乾燥環境之測試平台，該測試平台包含：一承載座，具有一測試區域；一導流機構，係設置包圍該承載座之周邊，並具有一導流部，該導流部係自該測試區域之平面延伸而高於該測試區域；以及一乾燥氣體產生裝置，係連結於該導流機構，用以產生一乾燥氣體，該乾燥氣體流動至該導流機構之該導流部後，係藉由該導流部之引導往該測試區域流動，以產生乾燥環境防止結露。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之測試平台，其中，該導流機構更具有複數個出氣孔，該乾燥氣體係由該些出氣孔流動至該導流部。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之測試平台，其中，該導流機構更具有一進氣孔，用以連結該乾燥氣體產生裝置，該乾燥氣體係由該進氣孔進入該導流機構並流動至該些出氣孔。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之測試平台，其中，該導流部係具有一導流角，藉以增加該乾燥氣體往該測試區域流動之均勻性。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之測試平台，其係用以測試一佈有發光二極體(Light Emitting Diode；LED)晶片之待測晶圓(wafer)。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之測試平台，更包含：一殼體，用以遮蓋該測試區域之上方空間；以及一乾燥氣體管線，連結於該乾燥氣體產生裝置，該乾燥氣體管線係設置於該殼體內部，以於該測試區域之上方空間產生乾燥環境防止結露。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之測試平台，其中，該乾燥氣體產生裝置係為一空氣過濾器。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之測試平台，其中，該承載座係為一具有溫度控制功能之承載座，可對該測試區域進行溫度控制。
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