TWI420734B - 共振腔系統 - Google Patents

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TWI420734B TW098131135A TW98131135A TWI420734B TW I420734 B TWI420734 B TW I420734B TW 098131135 A TW098131135 A TW 098131135A TW 98131135 A TW98131135 A TW 98131135A TW I420734 B TWI420734 B TW I420734B
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Description

共振腔系統
本發明係關於一種共振腔，尤指一種不受溫度改變影響之共振腔系統。
按，光波領域的技術近幾年來的應用層面相當廣泛，如光通訊、光學調變器、光感應器等等，也由於光波領域的急速發展，伴隨帶動了其對應之被動與主動元件的蓬勃發展。舉例來說，現今高密度分波多工(DWDM)系統要求通訊的容量不斷的提高，且訊號波長又必須盡量落在光纖最低傳輸損失處，因而造成每個訊號波長的間距變窄，所以在開發以矽為基板的半導體光電元件時，具有頻率選擇性的元件是一件很重要的課題之一。而環型濾波器具有高Q值的特性，可維持訊號的選擇性，對於波長濾波的應用範圍也很廣泛，因此在光訊號處理方面，環型濾波器為一相當重要的元件。
第一圖為習用共振腔系統之透視圖，如圖所示：該共振腔系統10主要由一共振腔裝置11以及一光源12所組成，而共振腔裝置11則包含一波導管13、一環形共振器(光電調變模組)14以及一調變控制單元15。光源12可提供一特定波長之光波，即一光訊號，並由波導管13之輸入端131進入共振腔裝置11，並於波導管13之輸出端132輸出。環形共振器(光電調變模組)14之工作原理與Fabry-perot(法布里-伯羅)共振腔體雷同，但其不需要反射的端面即可達到自我回授的功能。假設環形共振器(光電調變模組)14的圓周長為L，衰減常數為α，則當光波耦合至環形共振器(光電調變模組)14並於其內繞行一周而回到原耦合點時，將會有e-αL 的衰減量以及產生相位轉換，而此相位轉換又與環形共振器(光電調變模組)14的圓周長為L以及輸入光波的波長有關。利用此原理，當光波從波導管13之輸入端131進入共振腔裝置11後，部分光波的能量會傳遞到環形共振器(光電調變模組)14中，使光波不斷的在環形共振器(光電調變模組)14內來回的共振，再耦合回波導管13並自其輸出端132輸出，達到具有高Q值的功效。調變控制單元15的關閉狀態會使環形共振器(光電調變模組)14在一般的情況下工作，而調變控制單元15的開啟狀態則為接收到一電壓或電流訊號，以微調輸出端132輸出訊號的峰值。
一般而言，環形共振器(光電調變模組)14對於其光波操作波長與週遭的環境溫度改變量相當的敏感，故當溫度改變時，其光電特性將會有大幅度的變化。第二圖為第一圖習用共振腔系統之輸出頻譜圖，W10與W11為調變控制單元15在環境溫度不變的情況下，其開啟狀態與關閉狀態切換之輸出頻譜；W20與W21為調變控制單元15在環境溫度變化的情況下，其開啟狀態與關閉狀態切換之輸出頻譜。其中，IL(insertion loss)為環形共振器14之插入損失，ER(extinction ratio)為環形共振器(光電調變模組)14之消光比。由第二圖中得知，在操作波長固定為單一波長之光源(波長在±0.1nm的範圍內視為單一波長)時，環形共振器(光電調變模組)14之插入損失IL受溫度影響的變化量並不大，但其消光比ER受溫度影響的變化量就非常的明顯。深究其原因，就是在溫度變化時，其操作波長會隨著溫度變化而改變，使環形共振器(光電調變模組)14之插入損失IL與消光比ER隨之劣化，故一般的解決之道，就是在共振腔裝置11內加設一溫度控制器(圖未示)，使得共振腔裝置11內之溫度保持一定或使溫度變化量很小，進而使操作波長幾乎保持一定值，如此環形共振器(光電調變模組)14之插入損失IL與消光比ER才不會劣化。
加設溫度控制器的方式雖然改善了環形共振器(光電調變模組)14之插入損失IL與消光比ER劣化的機會，但此種主動控制的方式不論是在製造成本、功率消耗以及元件體積等方面都是相當大的，故難以堪稱實用。
因此，如何讓共振腔系統能在不大幅增加製造成本、功率消耗以及元件體積的前提下，使其操作上不受溫度改變而影響，實為一具有意義的思考方向。
由是，本發明之主要目的，即在於提供一種共振腔系統，可達到不受溫度改變影響之功效者。
為達上述目的，本發明之技術實現如下：本發明揭露一種共振腔系統，係包含有：一光源供應裝置，係輸出一光源；以及一共振腔裝置，包含：一第一波導管，係具有一接收該光源之輸入端；一第一共振器，係與該第一波導管相鄰，並接收自該第一波導管內耦合出之該光源，以產生一共振光源；一第二波導管，其一側與該第一共振器相鄰，並具有一接收自該第一共振器耦合出之該共振光源之轉接端與一輸出端；以及一光電調變模組，係與該第二波導管之另一側相鄰，並接收自該第二波導管內耦合出之該共振光源，透過一調變電訊號產生一光調變訊號，並於該第二波導管之該輸出端輸出。
本發明之另一實施例，即在提供一種共振腔系統，係包含有：一光源供應裝置，係輸出一光源；以及一共振腔裝置，包含：一第一波導管，係具有一接收該光源之輸入端；一第一共振器，係與該第一波導管相鄰，並接收自該第一波導管內耦合出之該光源，以產生一共振光源；一第二波導管，其一側與該第一共振器相鄰，並具有一接收自該第一共振器耦合出之該共振光源之轉接端與一輸出端；一光電調變模組，係與該第二波導管之另一側相鄰，並接收自該第二波導管內耦合出之該共振光源，並透過一調變電訊號產生一調變訊號；以及一第三波導管，其一側與該光電調變模組相鄰，並具有一接收自該光電調變模組耦合出之該調變訊號之轉接端與一輸出端，且該調變訊號係於該第三波導管之該輸出端輸出。
與一般加設溫度控制器的方式不同，本發明之共振腔系統係加設了一共振器與一波導管作為輸出用，並不需要主動的去偵測溫度來維持一定的溫度，而是利用共振器會隨溫度改變而改變光電特性的現象來對溫度變化進行補償，因此為被動式的補償，故製造成本較低，功率消耗以及元件體積也較低。此外，由於本發明之共振腔系統會補償溫度改變時輸入光源波長的變化量，因此輸入光源可為一具有多種波長之寬頻光源，故具有更多種的應用。
第三圖為本發明共振腔系統之透視圖，如圖所示：本發明之共振腔系統20，主要由一共振腔裝置21以及一可輸出一光源之光源供應裝置22所組成。光源供應裝置22輸出之光源係經過該共振腔裝置21的耦合處理後才輸出，以利後續應用；後續應用的部分非為本發明之重點，故此處不再贅述。
本發明之共振腔裝置21包含一第一波導管23、一第一共振器24、一第二波導管25、一光電調變模組26以及一調變控制單元27。第一波導管23具有一接收光源供應裝置22輸出光源之輸入端231，光源供應裝置22之輸出光源則經由此輸入端231進入共振腔裝置21。第一共振器24係與第一波導管23相鄰，並接收自第一波導管23內耦合出之光源，以產生一共振光源。第二波導管25之一側與第一共振器24相鄰，並具有一接收自第一共振器24耦合出之共振光源之轉接端251與一輸出端252。光電調變模組26係與第二波導管25之另一側相鄰，並接收自第二波導管25內耦合出之共振光源，透過一調變電訊號產生一光調變訊號，並於第二波導管25之輸出端252輸出。經由共振腔裝置21將輸入之光源轉變成為光調變訊號而輸出，即可適用於多種光訊號處理的應用。調變控制單元27的開啟狀態則為接收到一電壓或電流訊號，以調整第二波導管25內之共振光源。
第一共振器24為一溫度補償元件，用以補償環境溫度變化時輸出光源之波長變化量，而該共振器之形狀，可為環形或跑道形(racetrack)，所為的跑道形(racetrack)，指的是如賽馬的橢圓形跑道之形狀。光電調變模組26係為一可改變共振光源之光電特性的功能性元件，如環形共振器(圖中所舉之例)、濾波器、感測器、濾波模組或其他可調整光電特性之元件，而該光電調變模組之形狀，亦可為環形或跑道形(racetrack)。
以下所舉之實施例，共振器與光電調變模組兩元件之定義與上述相同，半徑皆為1~1000um且可為環形或跑道形(racetrack)，在所舉實施例中將不再贅述。
由於本發明係利用光之耦合來進行耦合與交疊，因此第一波導管23與第一共振器24間的距離約為10~1000nm、第一共振器24與第二波導管25的間距離約為10~1000nm且第二波導管25與光電調變模組26間距離約為10~1000nm，此些距離都不宜過大，以免造成光源之衰減量過大。
本發明之第一共振器24與光電調變模組26係為二組相同之共振器，即其圓周長與衰減常數均相同，第一共振器24做為濾波器使用，而光電調變模組26則真正的做為共振器使用。當溫度發生變化時，雖然光源供應裝置22輸出之光源波長會隨之改變，即改變第一共振器24的工作波長，亦即改變共振光源的波長。光電調變模組26的工作波長亦隨溫度而改變，其改變量與第一共振器24相同，即改變量一致。此共振光源會被耦合至第二波導管25內，第二波導管25內之共振光源又會被耦合至光電調變模組26內而進行調變，透過一調變電訊號產生一光調變訊號，並於第二波導管25之輸出端252輸出。由第一共振器24耦合至第二波導管25內之共振光源傳導率頻譜圖則如第四圖所示。在環境溫度變化的情況下，由於光源已經受到溫度影響而改變其波長，故共振光源也會隨之改變。
第五圖為本發明調變控制單元之傳導率特性頻譜圖，調變控制單元27的關閉狀態會使光電調變模組26在一般的情況下工作，而調變控制單元27的開啟狀態則為接收到一電壓或電流訊號，以調整第二波導管25內之共振光源。
第六圖為本發明光調變訊號之傳導率頻譜圖，乃為第四圖中共振光源以及第五圖中調變電訊號所交疊而成。由於第一共振器24與光電調變模組26係為二組相同之共振器，因此會將光源與共振光源對溫度的波長變化量進行補償，使光調變訊號之波長不受環境溫度以及輸入光源波長變化的影響而保持原有的光電特性，補償了溫度變化的光電特性改變，依然保有較高的消光比ER。
由於本發明多了一組共振器與一波導管，故整體之插入損失IL會稍微增加，但幅度有限，不影響原有之光電特性。也因為多了一組共振器與一波導管，調變控制單元27的開啟狀態與關閉狀態的耦合率頻譜的半峰全寬(FWHM)值會更小，因而使消光比ER較僅一組共振器來的更大。
第七圖為本發明光源之頻譜圖，如圖所示：舉例來說，本發明所輸入之光源可為一波長為20nm~50nm之寬頻光源，由於頻寬較大，其受溫度影響之比例較小，只要第一共振器24的工作波長不恰在頻寬的邊緣(即20nm或50nm附近)，便可透過第一共振器24隨時產生第一共振器26所需要的工作波長或共振波長，以進行共振耦合。
第八圖為本發明共振腔系統之另一實施例圖，如圖所示：本發明之共振腔系統30，主要由一共振腔裝置31以及一可輸出一光源之光源供應裝置32所組成。光源供應裝置32輸出之光源係經過該共振腔裝置31的耦合處理後才輸出，以利後續應用；後續應用的部分非為本發明之重點，故此處不再贅述。
本發明之共振腔裝置31包含一第一波導管33、一第一共振器341、一第二共振器342、一第二波導管35、一光電調變模組36以及一調變控制單元37。第一波導管33具有一接收光源供應裝置32輸出光源之輸入端331，光源供應裝置32之輸出光源則經由此輸入端331進入共振腔裝置31。第一共振器341係與第一波導管33相鄰，並接收自第一波導管33內耦合出之光源，以產生一第一共振光源。第二共振器342係與第一共振器341相鄰，並接收自第一共振器341內耦合出之第一共振光源，以產生一第二共振光源。第二波導管35之一側與第二共振器342相鄰，並具有一接收自第二共振器342耦合出之第二共振光源之轉接端351、一輸出端352。光電調變模組36係與第二波導管35之另一側相鄰，並接收自第二波導管35內耦合出之第二共振光源，透過一調變電訊號產生一光調變訊號，並於第二波導管35之輸出端352輸出。經由共振腔裝置31將輸入之光源轉變成為光調變訊號而輸出，即可適用於多種光訊號處理的應用。調變控制單元37的開啟狀態則為接收到一電壓或電流訊號，以調整第二波導管35內之第二共振光源。
與第三圖之共振腔系統30比較之，由於本實施例多增加了一組共振器342(亦可增加N組共振器)，因此可以使第四圖之共振光源傳導率頻譜(即本實施例之共振光源傳導率頻譜)變成較窄且較尖，並使第六圖中的光調變訊號傳導率頻譜波峰-波谷值差異更大，進而降低系統之插入損失IL與消光比ER劣化的狀況。
此外，第二共振器342與第二波導管35間更包含N組依序為一波導管以及一共振器的組合，且N為大於1之整數。
由於本發明係利用光之耦合來進行耦合與交疊，因此第一波導管33與第一共振器341間的距離約為10~1000nm、第一共振器341與第二共振器342的間距離約為10~1000nm、第二共振器342與第二波導管35的間距離約為10~1000nm且第二波導管35與光電調變模組36間距離約為10~1000nm，此些距離都不宜過大，以免造成光源之衰減量過大。
第九圖為本發明共振腔系統之又一實施例圖，如圖所示：本發明之共振腔系統40，主要由一共振腔裝置41以及一可輸出一光源之光源供應裝置42所組成。光源供應裝置42輸出之光源係經過該共振腔裝置41的耦合處理後才輸出，以利後續應用；後續應用的部分非為本發明之重點，故此處不再贅述。
本發明之共振腔裝置41包含一第一波導管43、一第一共振器441、一第二共振器442、一第二波導管48、一第三波導管45、一光電調變模組46以及一調變控制單元47。即於第八圖之第一、第二共振器間增加一波導管。第一波導管43具有一接收光源供應裝置42輸出光源之輸入端431，光源供應裝置42之輸出光源則經由此輸入端431進入共振腔裝置41。第一共振器441係與第一波導管43以及第二波導管48相鄰，並接收自第一波導管43內耦合出之光源，以產生一第一共振光源，並將之耦合至第二波導管48內。第二波導管48另一側與第二共振器442相鄰，並具有一接收自第一共振器441耦合出之第一共振光源之轉接端481與一輸出端482。第二共振器442係與第二波導管48以及第三波導管45相鄰，並接收自第二波導管48內耦合出之第一共振光源，以產生一第二共振光源，並將之耦合至第三波導管45內。第三波導管45之一側與第二共振器442相鄰，並具有一接收自第二共振器442耦合出之第二共振光源之轉接端451與一輸出端452。第三共振器46係與第三波導管45之另一側相鄰，並接收自第三波導管45內耦合出之第二共振光源，透過一調變電訊號產生一光調變訊號，並於第三波導管45之輸出端452輸出。經由共振腔裝置41將輸入之光源轉變成為光調變訊號而輸出，即可適用於多種光訊號處理的應用。調變控制單元47的開啟狀態則為接收到一電壓或電流訊號，以調整第三波導管45內之第二共振光源。
與第八圖之共振腔系統40比較之，由於本實施例多增加了一組波導管48(亦可增加N組共振器與N組波導管)，因此亦可以使第四圖之共振光源傳導率頻譜(即本實施例之共振光源傳導率頻譜)變成較窄且較尖，並使第六圖中的光調變訊號傳導率頻譜波峰-波谷值差異更大，進而降低系統之插入損失IL與消光比ER劣化的狀況。
由於本發明係利用光之耦合來進行耦合與交疊，因此第一波導管43與第一共振器441間的距離約為10~1000nm、第一共振器441與第二波導管48的間距離約為10~1000nm、第二波導管48與第二共振器442的間距離約為10~1000nm、第二共振器442與第三波導管45的間距離約為10~1000nm且第三波導管45與光電調變模組46間距離約為10~1000nm，此些距離都不宜過大，以免造成光源之衰減量過大。
第十圖為本發明共振腔系統之再一實施例圖，如圖所示：本實施例之共振腔系統50，其構件與配置與第三圖之共振腔系統20相當類似，不同處乃在於其主要由一共振腔裝置51以及一可輸出一光源之光源供應裝置52所組成，而共振腔裝置51包含一第一波導管53、一第一共振器54、一第二波導管55、一光電調變模組56、一調變控制單元27以及一第三波導管58。第一波導管53具有一接收光源供應裝置52輸出光源之輸入端531，光源供應裝置52之輸出光源則經由此輸入端531進入共振腔裝置51。第一共振器54係與第一波導管53相鄰，並接收自第一波導管53內耦合出之光源，以產生一共振光源。第二波導管55之一側與第一共振器54相鄰，並具有一接收自第一共振器54耦合出之共振光源之轉接端551與一輸出端552。光電調變模組56係與第二波導管55之另一側相鄰，並接收自第二波導管55內耦合出之共振光源，透過一調變電訊號產生一光調變訊號，並於第三波導管58之輸出端582輸出。第三波導管58之一側與光電調變模組58相鄰，並具有一接收自光電調變模組56耦合出之第一調變訊號之轉接端581與輸出端582。經由共振腔裝置51將輸入之光源轉變成為光調變訊號而輸出，即可適用於多種光訊號處理的應用。調變控制單元57的開啟狀態則為接收到一電壓或電流訊號，以調整第二波導管55內之第二共振光源。
第十一圖為第十圖之共振腔系統之一變化實施例圖，如圖所示：本實施例之共振腔系統60，其構件與配置與第十圖之共振腔系統50相當類似，不同處乃在於其主要由一共振腔裝置61以及一可輸出一光源之光源供應裝置62所組成，而共振腔裝置61內則多配置了一組波導管以及共振器。共振腔裝置61包含一第一波導管63、一第一共振器541、一第四波導管69、一第二共振器542、一第二波導管65、一光電調變模組66、一調變控制單元67以及一第三波導管68。第一波導管63具有一接收光源供應裝置62輸出光源之輸入端631，光源供應裝置62之輸出光源則經由此輸入端631進入共振腔裝置61。第一共振器641係與第一波導管63相鄰，並接收自第一波導管63內耦合出之光源，以產生一第一共振光源。第四波導管69之一側與第一共振器641相鄰，並具有一接收自第一共振器541耦合出之第一共振光源之轉接端651與一輸出端652。第二共振器642係與第四波導管69相鄰，並接收自第四波導管69內耦合出之第一共振光源，以產生一第二共振光源。第二波導管65之一側與第二共振器642相鄰，並具有一接收自第二共振器642耦合出之第二共振光源之轉接端651與一輸出端652。光電調變模組66係與第二波導管65之另一側相鄰，並接收自第二波導管65內耦合出之第二共振光源，透過一調變電訊號產生一光調變訊號，並於第三波導管68之輸出端682輸出。第三波導管68之一側與光電調變模組66相鄰，並具有一接收自光電調變模組66耦合出之光調變訊號之轉接端681與輸出端682。經由共振腔裝置61將輸入之光源轉變成為第一調變訊號而輸出，即可適用於多種光訊號處理的應用。調變控制單元67的開啟狀態則為接收到一電壓或電流訊號，以調整第二波導管65內之第二共振光源。
此外，第一共振器641與第二波導管652間更包含N組依序為一波導管以及一共振器的組合，且N為大於1之整數。
雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
10．．．共振腔系統
11．．．共振腔裝置
12．．．光源供應裝置
13．．．波導管
131．．．輸入端
132．．．輸出端
14．．．環形共振器(光電調變模組)
20．．．共振腔系統
21．．．共振腔裝置
22．．．光源供應裝置
23．．．第一波導管
231．．．輸入端
24．．．第一共振器
25．．．第二波導管
251．．．轉接端
252．．．輸出端
26．．．光電調變模組
27．．．調變控制單元
30．．．共振腔系統
31．．．共振腔裝置
32．．．光源供應裝置
33．．．第一波導管
331．．．輸入端
341．．．第一共振器
342．．．第二共振器
35．．．第二波導管
351．．．轉接端
352．．．輸出端
36．．．光電調變模組
37．．．調變控制單元
40．．．共振腔系統
41．．．共振腔裝置
42．．．光源供應裝置
43．．．第一波導管
431．．．輸入端
441．．．第一共振器
442．．．第二共振器
45．．．第三波導管
451．．．轉接端
452．．．輸出端
46．．．光電調變模組
47．．．調變控制單元
48．．．第二波導管
481．．．轉接端
482．．．輸出端
50．．．共振腔系統
51．．．共振腔裝置
52．．．光源供應裝置
53．．．第一波導管
531．．．輸入端
54．．．第一共振器
55．．．第二波導管
551．．．轉接端
552．．．輸出端
56．．．光電調變模組
57．．．調變控制單元
58．．．第三波導管
581．．．轉接端
582．．．輸出端
60．．．共振腔系統
61．．．共振腔裝置
62．．．光源供應裝置
63．．．第一波導管
631．．．輸入端
641．．．第一共振器
642．．．第二共振器
65．．．第二波導管
651．．．轉接端
652．．．輸出端
66．．．光電調變模組
67．．．調變控制單元
68．．．第三波導管
681．．．轉接端
682．．．輸出端
69．．．第四波導管
第一圖為習用共振腔系統之透視圖。
第二圖為第一圖習用共振腔系統之傳導率頻譜圖。
第三圖為本發明之共振腔系統之透視圖。
第四圖為本發明共振光源之傳導率頻譜圖。
第五圖為本發明調變控制單元之傳導率特性頻譜圖。
第六圖為本發明光調變訊號之傳導率頻譜圖。
第七圖為本發明光源之頻譜圖。
第八圖為本發明共振腔系統之另一實施例圖。
第九圖為本發明共振腔系統之又一實施例圖。
第十圖為本發明共振腔系統之再一實施例圖。
第十一圖為第十圖之共振腔系統之一變化實施例圖。
20．．．共振腔系統
21．．．共振腔裝置
22．．．光源供應裝置
23．．．第一波導管
231．．．輸入端
24．．．第一共振器
25．．．第二波導管
251．．．轉接端
252．．．輸出端
26．．．光電調變模組
27．．．調變控制單元

Claims (22)

  1. 一種共振腔系統，係包含有：一光源供應裝置，係輸出一寬頻光源；以及一共振腔裝置，包含：一第一波導管，係具有一接收該光源之輸入端；一第一共振器，係與該第一波導管相鄰，並接收自該第一波導管內耦合出之該光源，以產生一共振光源；一第二波導管，其一側與該第一共振器相鄰，並具有一接收自該第一共振器耦合出之該共振光源之轉接端；以及一光電調變模組，係與該第二波導管之另一側相鄰，並接收自該第二波導管內耦合出之該共振光源，透過一調變電訊號產生一光調變訊號，並於該第二波導管之輸出端輸出，其中該第一共振器為一環形或跑道形共振器，該光電調變模組為一環形或跑道形光電調變模組。
  2. 根據請求項1之共振腔系統，其中該光電調變模組更包含一調變控制單元，用以調整該第二波導管內共振光源。
  3. 根據請求項2之共振腔系統，其中該調變控制單元係接收一電訊號來調整該第二波導管內共振光源。
  4. 根據請求項1之共振腔系統，其中該第一波導管與該第一共振器間、該第一共振器與該第二波導管間以及該第二波導管與該光電調變模組間的距離均為10~1000nm。
  5. 根據請求項1之共振腔系統，其中該共振器之半徑為1~1000um。
  6. 根據請求項1之共振腔系統，其中該光電調變模組之半徑為1~1000um。
  7. 一種共振腔系統，係包含有： 一光源供應裝置，係輸出一寬頻光源；以及一共振腔裝置，包含：一第一波導管，係具有一接收該光源之輸入端；一第一共振器，係與該第一波導管相鄰，並接收自該第一波導管內耦合出之該光源，以產生一第一共振光源；一第二共振器，係與該第一共振器相鄰，並接收自該第一共振器內耦合出之該第一共振光源，以產生一第二共振光源；一第二波導管，其一側與該第二共振器相鄰，並具有一接收自該第二共振器耦合出之該第二共振光源之轉接端；以及一光電調變模組，係與該第二波導管之另一側相鄰，並接收自該第二波導管內耦合出之該第二共振光源，透過一調變電訊號產生一光調變訊號，並於該第二波導管之輸出端輸出，其中該些共振器為一環形或跑道形共振器，該光電調變模組為一環形或跑道形光電調變模組。
  8. 根據請求項7之共振腔系統，更包含一調變控制單元，用以調整該第二共振光源。
  9. 根據請求項8之共振腔系統，其中，該調變控制單元係接收一電訊號來調整該第二共振光源。
  10. 根據請求項7之共振腔系統，其中，該第一波導管與該第一共振器間、該第一共振器與該第二共振器間、該光電調變模組與該第二波導管間以及該第二波導管與該光電調變模組間的距離均為10~1000nm。
  11. 根據請求項7之共振腔系統，其中該共振器之半徑為1~1000um。
  12. 根據請求項7之共振腔系統，其中該光電調變模組之半徑為1~1000um。
  13. 根據請求項7之共振腔系統，其中，該第一共振器與該第二共振器間更配置有一第三波導管。
  14. 根據請求項7之共振腔系統，其中，該第二共振器與該第二波導管間更包含N組依序為一波導管以及一共振器的組合，且N為大於1之整數。
  15. 一種共振腔系統，係包含有：一光源供應裝置，係輸出一寬頻光源；以及一共振腔裝置，包含：一第一波導管，係具有一接收該光源之輸入端；一第一共振器，係與該第一波導管相鄰，並接收自該第一波導管內耦合出之該光源，以產生一共振光源；一第二波導管，其一側與該第一共振器相鄰，並具有一接收自該第一共振器耦合出之該共振光源之轉接端；一光電調變模組，係與該第二波導管之另一側相鄰，並接收自該第二波導管內耦合出之該共振光源，並透過一調變電訊號產生一光調變訊號；以及一第三波導管，其一側與該光電調變模組相鄰，並具有一接收自該光電調變模組耦合出之該調變訊號之轉接端，且該調變訊號係於該第三波導管之輸出端輸出，其中該共振器為一環形或跑道形共振器，該光電調變模組為一環形或跑道形光電調變模組。
  16. 根據請求項15之共振腔系統，其中該光電調變模組更包含一調變控制單元，用以調整該第二波導管內共振光源。
  17. 根據請求項16之共振腔系統，其中該調變控制單元係接收一電訊號來調整該第二波導管內共振光源。
  18. 根據請求項15之共振腔系統，其中，該第一波導管與該第一 共振器間、該第一共振器與該第二波導管間、該第二波導管與該光電調變模組間以及該光電調變模組與該第三波導管間的距離均為10~1000nm。
  19. 根據請求項15之共振腔系統，其中該共振器之半徑為1~1000um。
  20. 根據請求項15之共振腔系統，其中該光電調變模組之半徑為1~1000um。
  21. 根據請求項15之共振腔系統，其中，該第一共振器與該第二波導管間更依序包含一第四波導管以及第二共振器。
  22. 根據請求項15之共振腔系統，其中，該第一共振器與該第二波導管間更包含N組依序為一波導管以及一共振器的組合，且N為大於1之整數。
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