TWI408922B - 半導體設備通訊標準的訊息交換裝置與訊息交換方法 - Google Patents

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Description

半導體設備通訊標準的訊息交換裝置與訊息交換方法
本提案是有關於一種半導體設備通訊標準的訊息交換裝置與訊息交換方法，尤其是一種藉由修改設定檔即具有半導體設備通訊功能的訊息交換裝置與訊息交換方法。
按，為了使得半導體的製造過程更有效率，半導體製造廠商透過特殊的通訊協定，以控制及管理半導體機台，例如：由半導體設備與材料學會(Semiconductor Equipment and Material International，SEMI)所制定的半導體設備通訊標準(SEMI Equipment Communication Standards，SECS)已成為半導體產業的機台設備進行自動化生產與生產資料收集時採用的通訊標準。
目前，除了半導體產業機台設備使用之外，半導體設備通訊標準也大量地應用於光電、發光二極體(Light Emitting Diode，LED)、太陽能等產業的機台設備自動化生產與生產資料收集的通訊處理上。一般而言，欲使機台設備具有SECS通訊功能，研發部分必須先參考客戶提供的產品規格(spec)與欲進行的SECS通訊規範文件，進行程式碼撰寫開發與測試，爾後，機台設備方具有符合客戶需求的SECS通訊功能。
然而，此種研發方式不僅需要耗費較多的時間、金錢與人力成本來進行系統開發與測試，同時更需要兼具程式開發能力以及SECS專業知識與實務經驗的程式設計師。其次，藉由程式碼編撰開發的通訊程式，初期容易會有潛在的錯誤發生，而影響到機台設備生產作業的穩定性。於開發完成後的SECS通訊程式亦不具備足夠之延展性(extensibility)與彈性(flexibility)，也就是說，後續SECS通訊功能的擴充與修改不易，研發人員必須再次透過修改通訊程式的程式碼來達成擴充或修改SECS通訊功能之目的。
基於以上原因，如何解決習知利用程式碼撰寫開發SECS通訊程式所產生的缺點與不便，實為相關技術領域者目前迫切需要解決的課題之一。
鑒於以上的問題，本提案在於提供一種半導體設備通訊標準的訊息交換裝置與訊息交換方法，藉以解決先前技術所存在的問題。根據本提案的實施例之一，訊息交換裝置適合安裝於具有資訊儲存裝置的半導體設備機台端或是具有資訊儲存裝置的主機端(Host)，使得機台端與主機端之間具備SECS通訊功能。
本提案是有關於一種半導體設備通訊標準(SEMI Equipment Communication Standards，SECS)的訊息交換裝置，根據本提案的實施例之一，該訊息交換裝置包括：一SECS-II訊息通訊部、一設定檔(configuration file)、一轉譯部以及一資訊儲存裝置存取部。SECS-II訊息通訊部負責SECS-II訊息的接收與發送；設定檔包括用以定義SECS-II訊息內容與格式的至少一組資料結構檔與一訊息格式檔；轉譯部根據資料結構檔與訊息格式檔所定義的SECS-II訊息內容與格式將SECS-II訊息解譯為符合資訊儲存裝置的資訊儲存格式的資料，以及將資訊儲存裝置中所儲存的資料組譯為SECS-II訊息；資訊儲存裝置存取部負責對資訊儲存裝置進行資料的存取。
根據本提案的實施例之一，其中的資料結構檔用以定義SECS-II訊息內容，包括以下所述複數個欄位：索引檔、信息流(Stream)、功能(Function)、SECS-II訊息標籤、項目標籤、項目索引、資訊儲存位置、資料長度、SECS-II資料型態、結束欄位及訊息驅動儲存位置。
根據本提案的實施例之一，其中的資料結構檔可為一個以上的檔案，負責定義所有可能接收與發送的SECS-II訊息內容與識別碼，以及資訊儲存位置。
根據本提案的實施例之一，其中的訊息格式檔是根據SECS通訊規範文件，利用統一的訊息格式(Unified Message Format)定義SECS-II訊息之訊息格式，並且與資料結構檔串接，提供轉譯部根據資料結構檔與訊息格式檔所定義的SECS-II訊息內容與格式進行SECS-II訊息的組譯和解譯。
根據本提案的實施例之一，其中設定檔包括：一第一資料結構檔、一第二資料結構檔與一訊息格式檔，其中的第一資料結構檔定義SECS-II訊息通訊部接收到的SECS-II訊息內容，第二資料結構檔定義SECS-II訊息通訊部發送的SECS-II訊息內容。
本提案還包括一種半導體設備通訊標準(SEMI Equipment Communication Standards，SECS)的訊息交換方法，適於將SECS-II訊息轉譯並寫入一資訊儲存裝置。該訊息交換方法包括：建立一設定檔(configuration file)，該設定檔具有至少一組資料結構檔與一訊息格式檔，以定義SECS-II訊息之內容與格式；根據資料結構檔與訊息格式檔所定義的SECS-II訊息之內容與格式，將第一SECS-II訊息解譯為符合資訊儲存裝置的資訊儲存格式的一第一資料訊息；以及將解譯後的第一資料訊息寫入該資訊儲存裝置。
根據本提案的訊息交換方法的實施例之一，其步驟還包括：根據資料結構檔與訊息格式檔所定義的SECS-II訊息之內容與格式，將該資訊儲存裝置中所儲存的一第二資料訊息組譯為一第二SECS-II訊息；以及發出組譯後之第二SECS-II訊息。
本提案提出之SECS訊息交換裝置與訊息交換方法，是提供由資料結構檔與訊息格式檔串接而成之設定檔，令研發人員只需根據客戶提供的SECS通訊規範文件內容進行設定檔之設定，於設定完成後，機台設備即具有符合客戶需求的SECS通訊功能。
根據本提案提出之訊息交換裝置與訊息交換方法，不僅系統的穩定性高、設定與操作方式直覺簡單、相較於習知利用程式碼編撰的方式，更具有成本低廉、產業效益大等之優點。
以上之關於本提案內容之說明及以下之實施方式之說明是用以示範與解釋本提案之精神與原理，並且提供本提案之專利申請範圍更進一步之解釋。
以下在實施方式中詳細敘述本提案之詳細特徵以及優點，其內容足以使任何熟習相關技藝者了解本提案之技術內容並據以實施，且根據本說明書所揭露之內容、申請專利範圍及圖式，任何熟習相關技藝者可輕易地理解本提案相關之目的及優點。
「第1圖」是根據本提案一實施例之半導體設備通訊標準(SEMI Equipment Communication Standards，SECS)的訊息交換裝置，其系統應用架構圖。本提案提出之訊息交換裝置100可適用於一機台自動化程式(Equipment Automatic Program，EAP)200與一資訊儲存裝置300進行SECS-II訊息交換，其中SECS-II係定義為半導體設備通訊標準訊息。
資訊儲存裝置300可以是但不限於可程式邏輯控制器(Programmable Logic Controller，PLC)、基於物件連結內含技術之工業標準介面(Object Linking and Embedding(OLE) for Process Control，OPC)之伺服器或資料庫伺服器其中之一。訊息交換裝置100之應用並不以此為限。於本提案之其他實施例中，訊息交換裝置100亦可以安裝於具有資訊儲存裝置的半導體設備機台端或是具有資訊儲存裝置的主機端(Host)，其例如：個人電腦、平板電腦、可攜式電腦設備、嵌入式系統中，以令該等設備具有符合SECS-II通訊規範的通訊功能。為便於詳細說明，以下以訊息交換裝置100應用於機台自動化程式200與資訊儲存裝置300之間的SECS-II訊息交換，作為本提案較佳實施例之說明。
訊息交換裝置100包括一SECS-II訊息通訊部110、一轉譯部120、一資訊儲存裝置存取部130與一設定檔(configuration file)，其中，設定檔具有至少一資料結構檔140與一訊息格式檔150，以分別用以定義SECS-II訊息之內容與格式。
SECS-II訊息通訊部110電性連接於機台自動化程式200，並適於與機台自動化程式200進行SECS-II訊息的接收與發送。轉譯部120與SECS-II訊息通訊部110、資訊儲存裝置存取部130、資料結構檔140與訊息格式檔150建立電訊號連接(electrical signals connection)，並可根據資料結構檔140與訊息格式檔150所定義的SECS-II訊息內容與格式進行組合串接，以形成對應於SECS-II訊息之訊息結構160。其中，資料結構檔140可包括一個或一個以上之檔案，以定義SECS-II訊息之訊息內容。訊息格式檔150則負責根據SECS通訊規範文件而定義SECS-II訊息之訊息格式。舉例而言，訊息格式檔150可根據統一訊息格式(Unified Message Format)，例如：SECS Message Language(或稱SML格式)設定SECS訊息之訊息格式，以與資料結構檔140串接後，定義SECS-II訊息之內容與格式，一併組成對應於SECS-II訊息的訊息結構160。
「第2圖」是根據「第1圖」之資料結構檔具有一個以上檔案之系統應用架構圖。如圖所示，資料結構檔140包括一第一資料結構檔140a與一第二資料結構檔140b，當SECS-II訊息通訊部110接收機台自動化程式200發出的第一SECS-II訊息10時，轉譯部120根據第一資料結構檔140a與訊息格式檔150所定義的SECS-II訊息之內容與格式，將第一SECS-II訊息10解譯為一第一資料訊息20，資訊儲存裝置存取部130即可將第一資料訊息20寫入資訊儲存裝置300。
至於當資訊儲存裝置300發出一第二資料訊息22時，轉譯部120亦可根據第二資料結構檔140b與訊息格式檔150所定義的SECS-II訊息之內容與格式，將第二資料訊息22編譯為一第二SECS-II訊息12，SECS-II訊息通訊部110即可將第二SECS-II訊息12發送至機台自動化程式200。
其中，當SECS-II訊息通訊部110接收機台自動化程式200發出的第一SECS-II訊息10時，第一資料結構檔140a定義第一SECS-II訊息10的訊息內容；至於當SECS-II訊息通訊部110欲發出第二SECS-II訊息12時，第二資料結構檔140b則用以定義第二SECS-II訊息12的訊息內容。
詳細而言，第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b主要目的是分別用以定義訊息交換裝置100可能接收到與可能傳送的SECS-II訊息內容，分別如下表格：
其各自具有欄位：索引檔(Index)、信息流(Stream)、功能(Function)、SECS-II訊息標籤(Message Name)、項目索引(Tag Index)、項目標籤(Tag Name)、資料儲存位置(Data Address)、資料長度(Data Length)、SECS-II資料型態(SECS Data Type)、結束欄位(End Item Bit)與訊息驅動儲存位置(Event Dada Address/Trigger Address)，其中，第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b中的訊息驅動儲存位置，分別用以定義寫入資料的位置，以及資料讀出的位置。
根據本提案之實施例，第一資料結構檔140a的資料儲存位置是用以定義SECS-II訊息經過解譯之後之資料會被寫入資訊儲存區中的資訊儲存位置。而第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b的訊息驅動儲存位置所儲存的資料在發生變動時，則會分別通知機台設備觸發一個接收或發送SECS-II訊息的動作，而這通常是由機台設備中的事件觸發程序來定義哪些事件可用來觸發SECS-II訊息的接收或發送動作。
訊息格式檔150如下所示，則用以定義SECS-II訊息之訊息格式，
Reguest_Online：S1F79W
<B[1]tag=CMDCD>
EQ_Online_Rpy：S1F80
<B[1]tag=GRANT_S1F80>
並可與第一資料結構檔140a及第二資料結構檔140b之訊息標籤(Message Name)結合後，串接形成對應於SECS-II訊息之訊息結構160，其欄位關聯包括：訊息標籤(Message Name)是用以結合兩個相關的訊息，例如上述訊息格式檔150中的「Request_Online」和「EQ_Online_Rpy」；索引檔(Index)是用以結合兩個相關的資料結構檔140，若只有一個資料結構檔140，則索引檔仍會被賦予一個索引值，只是不會找到另一個具有相同索引值的資料結構檔140；項目標籤(Tag Name)則是用以結合兩個相關的資料結構檔140中的關聯欄位。
承以本提案之實施例而言，則第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b的索引檔是用以相互配對，以配合第一SECS-II訊息10與第二SECS-II訊息12使用。第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b的Stream和Function欄位分別對應第一SECS-II訊息10與第二SECS-II訊息12的Stream與Function部分。第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b的SECS-II訊息標籤分別定義訊息交換裝置100接收的第一SECS-II訊息10與發送的第二SECS-II訊息12的訊息標籤。第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b的項目標籤分別負責定義第一SECS-II訊息10項目與第二SECS-II訊息12項目的識別標籤(例如：訊息格式檔150中的B[1]tag=CMDCD)。第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b的項目索引分別負責定義第一SECS-II訊息10項目與第二SECS-II訊息12項目的識別標籤索引值。舉例而言，當該項目實際上具有多筆標籤索引值時(例如：一晶圓盒(Cassette)中具有25片晶圓)，則項目索引可定為0至24。
至於第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b的資料儲存位置主要分別定義第一SECS-II訊息10對應寫入資訊儲存裝置對應儲存區的儲存位置與第二SECS-II訊息12對應資訊儲存裝置對應儲存區讀取資訊的儲存位置。第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b的資料長度分別用以定義第一SECS-II訊息10項目與第二SECS-II訊息12項目的資料長度。第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b的SECS-II資料型態分別用以定義第一SECS-II訊息10項目與第二SECS-II訊息12項目的SECS-II資料型態，其各自的結束欄位分別用以判定第一SECS-II訊息10與第二SECS-II訊息12的訊息項目是否已設定完成的旗標。最後，第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b的訊息驅動儲存位置則分別定義第一SECS-II訊息10驅動訊息交換裝置100處理對應寫入至資訊儲存裝置對應儲存區的儲存位置與訊息交換裝置100驅動發送第二SECS-II訊息12對應至資訊儲存裝置對應儲存區的儲存位置。
「第3A圖」與「第3B圖」分別為根據本提案實施例之第一資料結構檔與第二資料結構檔之示意圖。其中，第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b各自包括其索引檔、Stream、Function、SECS-II訊息標籤、SECS-II資料型態、項目標籤、項目索引、資料長度、結束欄位等欄位，以分別定義訊息交換裝置100接收之第一SECS-II訊息10、以及訊息交換裝置100發送之第二SECS-II訊息12之訊息內容。
如「第3A圖」所示，當第一資料結構檔140a之方向定義為E← H時，即代表主機端(Host)所發出之第二資料訊息22是經過編碼程序，而成為供設備端(Equipment)所接收之第一SECS-II訊息10，而其中的資料內容則可供使用者自定義。舉例而言，當指令代碼為00H時，主機可要求設備轉為連線狀態；而指令代碼為01H時，則定義當設備轉為連線狀態時通知主機。
如「第3B圖」所示，至於當第二資料結構檔140b之方向定義為E→ H時，則代表設備端(Equipment)所發出之第二資料訊息22是經過解碼程序，而成為供主機端(Host)所接收之第一SECS-II訊息10，而其中的資料內容同樣可供使用者自定義。舉例而言，當指令代碼與授予代碼同為00H時，設備回覆主機為可轉為連線狀態；而當指令代碼為00H，授予代碼為01H時，設備則回覆主機無法轉為連線狀態。以上有關於資料內容之定義僅為用來解釋本提案技術所舉之例子，並非用以限定本提案之發明範圍。因此，設計者可根據客戶所提供之規格(spec)與通訊規範，自定或修改第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b之訊息內容，再與訊息格式檔150組合連結後，一併定義SECS-II訊息之內容與格式，以形成符合該SECS-II訊息通訊規範之訊息結構160。
值得注意的是，第一資料結構檔140a與第二資料結構檔140b可選擇性地合併為同一個資料結構檔案，而透過在檔案中新增欄位來作區分，或者在檔案中分成不同區塊亦可。
關於訊息交換裝置100接收與發送SECS-II訊息之說明，請詳閱以下「第4A圖」與「第4B圖」。「第4A圖」與「第4B圖」分別為根據本提案實施例之訊息交換裝置於接收SECS-II訊息與發送SECS-II訊息時之系統架構示意圖。如「第4A圖」所示，當SECS-II訊息通訊部110接收第一SECS-II訊息10時，轉譯部120首先根據第一資料結構檔140a與訊息格式檔150所定義的SECS-II訊息之內容與格式，將第一SECS-II訊息10解碼為第一資料訊息20。其中，第一資料訊息20包括驅動訊號20a與資料內容20b，資料內容20b會先被傳送且暫存於資訊儲存裝置300中的資訊儲存區300b。驅動訊號20a則用以變更資訊儲存裝置300中的訊息驅動儲存區300a在接收到第一資料訊息20前的一儲存值。因此，當該儲存值被驅動訊號20a所變更之後，資訊儲存裝置300即會去讀取預先暫存於資訊儲存區300b中的第一資料訊息20之資料內容20b，於此，完成將第一SECS-II訊息10解碼為第一資料訊息20，並且寫入資訊儲存裝置300之步驟。
續請參閱「第4B圖」，當資訊儲存裝置300發出第二資料訊息22時，第二資料訊息22中亦包括驅動訊號22a與資料內容22b。其中，資料內容22b同樣地亦會先被傳送且暫存於資訊儲存區300b中，驅動訊號22a則用以變更訊息驅動儲存區300a在發送出第二資料訊息22前的一儲存值。因此，當該儲存值被驅動訊號22a所變更之後，資訊儲存裝置存取部130即會去讀取預先暫存於資訊儲存區300b中的第二資料訊息22之資料內容22b。爾後，轉譯部120即可根據第二資料結構檔140b與訊息格式檔150所定義的SECS-II訊息之內容與格式，將第二資料訊息22編碼為第二SECS-II訊息12，SECS-II訊息通訊部110續可將第二SECS-II訊息12發送至機台自動化程式200，於此，完成將第二資料訊息22編碼為第二SECS-II訊息12，並且發送至機台自動化程式200之步驟。
根據本提案之實施例，SECS-II訊息通訊部110、轉譯部120以及資訊儲存裝置存取部130，可為利用軟體程式碼所實作出來的功能，也就是說，根據本提案實施例之訊息交換裝置100本身即是一種具有延展性的SECS通訊應用程式。
「第5圖」是根據本提案另一實施例之半導體設備通訊標準(SEMI Equipment Communication Standards，SECS)的訊息交換裝置，其系統應用架構圖。如圖所示，訊息交換裝置100並不限於機台自動化程式與資訊儲存裝置300之間的SECS-II訊息交換，亦可應用於各個訊息交換裝置100層級之間的SECS-II訊息交換。也就是說，根據本提案之另一實施例，經過轉譯部120編譯後之SECS-II訊息並不限於發送至半導體設備機台端(例如機台自動化程式)，亦可被發送至具有資訊儲存裝置300的另一主機端。
「第6A圖」是根據本提案實施例之半導體設備通訊標準(SEMI Equipment Communication Standards，SECS)的訊息交換方法之步驟流程圖。此種訊息交換方法可適用於前述之訊息交換裝置100，以安裝於具有資訊儲存裝置的半導體設備機台端或是具有資訊儲存裝置的主機端(例如：個人電腦、平板電腦、可攜式電腦設備、嵌入式系統)，以令該等設備具有符合SECS通訊規範的通訊功能。訊息交換方法亦可適用於機台自動化程式(Equipment Automatic Program，EAP)與資訊儲存裝置(例如：OPC、PLC等資料庫伺服器)之間的SECS-II訊息交換。以下以訊息交換方法應用於前述之訊息交換裝置100作為本提案一實施例之說明，然其應用並不以此為限。
請一併參閱「第2圖」與「第6A圖」，本提案提出之訊息交換方法，包括以下步驟S602至S606：步驟S602：建立一設定檔，該設定檔具有至少一組資料結構檔140與一訊息格式檔150，以定義SECS-II訊息之內容與格式；步驟S604：根據資料結構檔140與訊息格式檔150所定義的SECS-II訊息之內容與格式，將第一SECS-II訊息10解譯為符合資訊儲存裝置300的資訊儲存格式的第一資料訊息20；以及步驟S606：將解譯後之第一資料訊息20寫入資訊儲存裝置300。
其中，根據本提案之實施例之一，資料結構檔140可包括第一資料結構檔140a，以定義訊息交換裝置100接收之第一SECS-II訊息10之訊息內容。訊息格式檔150則是根據統一訊息格式(Unified Message Format)，例如：SECS Message Language(或稱SML格式)設定第一SECS-II訊息10之訊息格式。資料結構檔140與訊息格式檔150即串接定義了SECS-II訊息之內容與格式。接著，關於步驟S604至S606將第一SECS-II訊息10解譯為第一資料訊息20並寫入資訊儲存裝置300之程序，則相同於本提案前述「第4A圖」有關於訊息交換裝置100實施例之說明，故在此不再重述。
「第6B圖」為根據「第6A圖」之訊息交換方法之又一實施例之步驟流程圖，其包括步驟S602至S606，以及步驟S608與步驟610如下：步驟S608：根據資料結構檔140與訊息格式檔150所定義的SECS-II訊息之內容與格式，將資訊儲存裝置300中所儲存的第二資料訊息22組譯為第二SECS-II訊息12；以及步驟S610：將組譯後之第二SECS-II訊息12發送至機台端或主機端。
其中，根據本提案之又一實施例，資料結構檔140更可包括第二資料結構檔140b，以定義訊息交換裝置100發送之第二SECS-II訊息12之訊息內容，以與訊息格式檔150一併串接後定義SECS-II訊息之內容與格式。接著，關於步驟S608至S610將第二資料訊息22組譯為第二SECS-II訊息12並發送至機台端(例如機台自動化程式)或主機端之程序，則相同於本提案前述「第4B圖」有關於訊息交換裝置100實施例之說明，故在此不再重述。
是以，綜上所述，根據本提案提出之半導體設備通訊標準的訊息交換裝置，訊息交換裝置在啟動時，轉譯部即可載入符合客戶需求之資料結構檔與訊息格式檔，據以串接定義出SECS-II訊息之內容與格式。於此，訊息交換裝置即可擁有符合客戶需求的SECS通訊功能。
其次，根據本提案提出之半導體設備通訊標準的訊息交換方法，使用者可透過直接修改資料結構檔與訊息格式檔的方式，令訊息交換裝置在不需重新撰寫系統程式碼的前提下，即可立即擁有符合客戶需求的SECS通訊功能。
綜上所述，根據本提案提出之訊息交換裝置與訊息交換方法，不僅其系統穩定性高、設定與操作方式直覺簡單、相較於習知利用程式碼編撰的方式，更具有成本低廉、產業效益大、節省導入時間與成本等之優點。
雖然本提案以前述的較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本提案，任何熟習相像技藝者，在不脫離本提案之精神與範圍內，當可作些許更動與潤飾，因此本提案之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。
10．．．第一SECS-II訊息
12．．．第二SECS-II訊息
20．．．第一資料訊息
20a．．．驅動訊號
20b．．．資料內容
22．．．第二資料訊息
22a．．．驅動訊號
22b．．．資料內容
100．．．訊息交換裝置
110．．．SECS-II訊息通訊部
120．．．轉譯部
130．．．資訊儲存裝置存取部
140．．．資料結構檔
140a．．．第一資料結構檔
140b．．．第二資料結構檔
150．．．訊息格式檔
160．．．訊息結構
200‧‧‧機台自動化程式
300‧‧‧資訊儲存裝置
300a‧‧‧訊息驅動儲存區
300b‧‧‧資訊儲存區
第1圖是根據本提案一實施例之半導體設備通訊標準的訊息交換裝置，其系統應用架構圖。
第2圖是根據「第1圖」之資料結構檔具有一個以上檔案之系統應用架構圖。
第3A圖與第3B圖分別為根據本提案實施例之第一資料結構檔與第二資料結構檔之示意圖。
第4A圖與第4B圖分別為根據本提案實施例之訊息交換裝置於接收SECS-II訊息與發送SECS-II訊息時之系統架構示意圖。
第5圖是根據本提案另一實施例之半導體設備通訊標準的訊息交換裝置，其系統應用架構圖。
第6A圖是根據本提案實施例之半導體設備通訊標準的訊息交換方法之步驟流程圖。
第6B圖為根據「第6A圖」之訊息交換方法之又一實施例之步驟流程圖。

Claims (16)

  1. 一種半導體設備通訊標準(SEMI Equipment Communication Standards，SECS)的訊息交換裝置，適合安裝於一具有一資訊儲存裝置的半導體設備機台端或是一具有該資訊儲存裝置的主機端(Host)，使得該具有一資訊儲存裝置的半導體設備機台端與該具有該資訊儲存裝置的主機端之間具備SECS通訊功能，該訊息交換裝置包括：一SECS-II訊息通訊部，負責進行一SECS-II訊息的接收與發送；一設定檔(configuration file)，具有至少一組資料結構檔與一訊息格式檔，以定義該SECS-II訊息之內容與格式；一轉譯部，根據該資料結構檔與該訊息格式檔定義之該SECS-II訊息之內容與格式將該SECS-II訊息解譯為該資訊儲存裝置的資訊儲存格式的資料，以及將該資訊儲存裝置的資訊儲存格式的資料組譯為該SECS-II訊息，其中該資訊儲存格式與該SECS-II訊息之格式不同；以及一資訊儲存裝置存取部，與該轉譯部建立電訊號連接，該資訊儲存裝置存取部負責對該資訊儲存裝置進行資料的存取；其中該資料結構檔包括一第一資料結構檔，當該SECS-II訊息通訊部接收一第一SECS-II訊息時，該轉譯部根據該資料結構檔與該訊息格式檔所定義的該SECS-II訊息之內容與格 式，將該第一SECS-II訊息解譯為一第一資料訊息，該資訊儲存裝置存取部將該第一資料訊息寫入該資訊儲存裝置。
  2. 如請求項1所述之訊息交換裝置，其中該訊息格式檔根據SECS通訊規範文件，利用統一訊息格式(Unified Message Format)定義該SECS-II訊息之訊息格式。
  3. 如請求項2所述之訊息交換裝置，其中該資料結構檔包括複數個欄位：索引檔、信息流(Stream)、功能(Function)、SECS-II訊息標籤、項目標籤、項目索引、資訊儲存位置、資料長度、SECS-II資料型態、結束欄位及訊息驅動儲存位置，該訊息格式檔定義該SECS-II訊息之訊息格式，並與該資料結構檔之訊息標籤串接，提供該轉譯部進行該SECS-II訊息的組譯與解譯。
  4. 如請求項1所述之訊息交換裝置，其中該第一資料結構檔定義該SECS-II訊息通訊部接收之該第一SECS-II訊息之訊息內容。
  5. 如請求項1所述之訊息交換裝置，其中該第一資料訊息包括一驅動訊號與一資料內容，該驅動訊號用以變更該資訊儲存裝置於接收該第一資料訊息前的一儲存值，當該儲存值被變更後，該資訊儲存裝置讀取自該資訊儲存裝置存取部輸出的該第一資料訊息之該資料內容。
  6. 如請求項1所述之訊息交換裝置，其中該資料結構檔包括一第二資料結構檔，當該資訊儲存裝置發出一第二資料訊息時，該轉譯部根據該資料結構檔與該訊息格式檔所定義的該SECS-II訊息之內容與格式，將該第二資料訊息編譯為一第二SECS-II 訊息，該SECS-II訊息通訊部將該第二SECS-II訊息發送至該具有一資訊儲存裝置的半導體設備機台端或該具有該資訊儲存裝置的主機端。
  7. 如請求項6所述之訊息交換裝置，其中該第二資料結構檔定義該SECS-II訊息通訊部發送之該第二SECS-II訊息之訊息內容。
  8. 如請求項6所述之訊息交換裝置，其中該第二資料訊息包括一驅動訊號與一資料內容，該驅動訊號用以變更該資訊儲存裝置於發出該第二資料訊息前的一儲存值，當該儲存值被變更後，該資訊儲存裝置存取部讀取自該資訊儲存裝置發出的該第二資料訊息之該資料內容。
  9. 如請求項1所述之訊息交換裝置，其中該資訊儲存裝置為可程式邏輯控制器(Programmable Logic Controller，PLC)、基於物件連結內含技術之工業標準介面(Object Linking and Embedding(OLE)for Process Control，OPC)之伺服器或資料庫伺服器其中之一者。
  10. 一種半導體設備通訊標準(SEMI Equipment Communication Standards，SECS)的訊息交換方法，適合安裝於一具有一資訊儲存裝置的半導體設備機台端或是一具有該資訊儲存裝置的主機端(Host)，使得該具有一資訊儲存裝置的半導體設備機台端與該具有該資訊儲存裝置的主機端之間具備SECS通訊功能，該訊息交換方法包括：建立一設定檔(configuration file)，該設定檔具有至少一組 資料結構檔與一訊息格式檔，以定義SECS-II訊息之內容與格式；根據該資料結構檔與該訊息格式檔所定義的SECS-II訊息之內容與格式，將一第一SECS-II訊息解譯為符合該資訊儲存裝置的資訊儲存格式的一第一資料訊息；將解譯後之該第一資料訊息寫入該資訊儲存裝置；根據該資料結構檔與該訊息格式檔所定義的SECS-II訊息之內容與格式，將該資訊儲存裝置中所儲存的一第二資料訊息組譯為一第二SECS-II訊息；以及將組譯後之該第二SECS-II訊息發送至該具有一資訊儲存裝置的半導體設備機台端或該具有該資訊儲存裝置的主機端；其中該資訊儲存格式與該SECS-II訊息之格式不同。
  11. 如請求項10所述之訊息交換方法，其中該訊息格式檔根據SECS通訊規範文件，利用統一訊息格式(Unified Message Format)定義該第一SECS-II訊息與該第二SECS-II訊息之訊息格式。
  12. 如請求項10所述之訊息交換方法，該資料結構檔包括複數個欄位：索引檔、信息流(Stream)、功能(Function)、SECS-II訊息標籤、項目標籤、項目索引、資訊儲存位置、資料長度、SECS-II資料型態、結束欄位及訊息驅動儲存位置，該訊息格式檔定義SECS-II訊息之訊息格式，並與該資料結構檔之訊息標籤串接，提供SECS-II訊息的組譯與解譯。
  13. 如請求項10所述之訊息交換方法，該資料結構檔包括一第一資料結構檔與一第二資料結構檔，該第一資料結構檔定義接收之該第一SECS-II訊息之訊息內容，該第二資料結構檔定義發送之該第二SECS-II訊息之訊息內容。
  14. 如請求項10所述之訊息交換方法，其中該第二資料訊息包括一驅動訊號與一資料內容，該驅動訊號用以變更該資訊儲存裝置於發出該第二資料訊息前的一儲存值，當該儲存值被變更後，該具有一資訊儲存裝置的半導體設備機台端或該具有該資訊儲存裝置的主機端接收自該資訊儲存裝置發出的該第二資料訊息之該資料內容。
  15. 如請求項10所述之訊息交換方法，其中該第一資料訊息包括一驅動訊號與一資料內容，該驅動訊號用以變更該資訊儲存裝置於接收該第一資料訊息前的一儲存值，當該儲存值被變更後，該資訊儲存裝置讀取該第一資料訊息之該資料內容。
  16. 如請求項10所述之訊息交換方法，其中該資訊儲存裝置可以是可程式邏輯控制器(Programmable Logic Controller，PLC)、基於物件連結內含技術之工業標準介面(Object Linking and Embedding(OLE)for Process Control，OPC)之伺服器或資料庫伺服器其中之一者。
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