TWI343761B - Protective cap attachment processing line system - Google Patents

Description

1343761 有機發光二極體可以多種不同之方法製作。 如第 所示，一透明陽極層、一有機電致發光層、 久一陰極 形成於玻璃板1上之藉由半導體製程所做成之 上，每一單胞2 (unit cell 2)包含透明陽極層、 W 令機；電 光層及陰極層’排列於玻璃板之上。玻螭板丨 押 1承依 作切割而製作出一單位元件組成有機發光二極趙。因 配置有單胞2之玻璃板1將被稱為有機材質沉積玻 (organic material deposition glass G) ° 將用以以保護單胞2之一固定形狀的保護蓋接八 璃板1上，以覆蓋單胞2。保護蓋包含—乾燥劑以去 氣。保護蓋可分為金屬蓋、玻璃蓋等，依其材質而定 如第2圖所示’金屬蓋（MC)包含_為矩形矩形 屬容器3，及一乾燥劑4，係接合在形成於金屬容器3 内部凹處5»將金屬蓋接合至有機材質沉積玻璃〇上 蓋該單胞2。 為了製造金屬蓋，先製備一特定形狀之金屬容器 並將乾燥劑4與金屬容器3接合。以密封劑將所製成 屬蓋接合在有機材質沉積玻璃G上以覆蓋單胞2。名 使用一金屬容器盤T，其上配置有複數個金屬蓋。 金屬蓋能藉由模製（m〇l ding)而輕易製得，且能以 本大量生產。但是，因金屬蓋之變形速率與有機材質 玻璃G之變形速率不相同，其於長期使用後之變形將 產品損壞。 1圖 層係 區域 致發 胞2 此， 璃G 於玻 除濕、 〇 之金 之一 以覆 3， 之金 .此， 低成 沉積 導致 6 1343761 如第3圖所示’一玻璃蓋（giass cap，GC)包含一矩 形之蓋子玻璃6;及一乾燥劑4，係接合於蓋子玻璃6之内 部凹處。GC係接合到有機材質沉積玻璃G上，以覆蓋單 胞2。藉由在基底玻璃（base glass，BG)(其外形大小係相 當於有機材質沉積玻璃G)中製作複數個凹處7,，之後置 入乾燥劑4於凹處7之中，再切割bg，來形成玻璃蓋。 將接合有乾燥劑的BG黏在有機材質沉積玻璃〇上，之後 再與有機材質沉積玻璃 G —起切割。 玻璃蓋係與有機材質沉積玻璃G為同一材質所形 成，因而可預防因長期使用後變形所致之產品損壞。由於 乾燥劑4之鍵結強度係依據基底玻璃凹處7之處理程度來 決定（基底玻璃上的凹處7必須個別的生成），因此，相較 於金屬蓋而言，玻璃蓋之生產成本較為昂貴。 OLED的研發比較偏重在兩-表面發光，而非前表面發 光。因此’以GC作為接合在有機材質沉積玻璃〇上的保 護蓋的頻率要高過於金屬蓋（MC)。 用以將保護蓋接合在有機材質沉積玻璃g上的製 程’係於一大量生產線上執行。 第4圖示出一用以接合一金屬蓋至有機材質沉積玻璃 G上之生產線。 如第4圖所示’有複數個金屬容器3排列於金屬容器 盤Τ上，且該金屬容器盤於一清洗線L1進行清潔。以一 液體清洗金屬容器3以藉由清洗線L1去除接合在其上的 外來物質。之後，以電漿清洗該金屬容器3,以增進與乾 7 1343761

燥劑4間之鍵結強度。 金屬容器盤T於通過清洗線L1後，轉送至乾燥劑-合室C2，其係與第一傳輸室C1相接，並藉由第一傳輸 C 1之機械傳輸手臂1 0與清洗線L 1相接。在乾燥劑接合 C2中設有一膠合機11 (attacher 11)，且經由該膠合機1: 將乾燥劑4分別接合到金屬容器盤T之金屬容器3上。 多個乾燥劑接合室C2» 由第一傳輸室C1之機械傳輸手臂10將放在乾燥劑 合室C2的金屬容器盤T傳送至分配室C3(其係與第一傳 室C1相接）。然後，藉由設在該分配室C3之分配器20 以一密封劑來分別地塗佈該金屬容器盤T上之該些金屬 器。有多個分配室C3。 之後，於分配室C3中已完成塗佈密封劑之金屬容 盤T，遂由第一傳輸室C1之機械傳輸手臂10傳送至與 一傳輸室C1相接之緩衝室C4。 第二傳輸室C5係與緩衝室C4相接，並在第二傳輸 C5設置一機械傳輸手臂30。第二傳輸室C5之機械傳輸 臂30可將位於緩衝室C4之金屬容器盤T傳送至與第二 輸室C5相接之接合室C6。 將經歷過半導體生產線上之半導體製程的有機沉積 璃G加載至一與第二傳輸室C5相接之沉積室C7中。在 積室C7中設有一卡匣40，而有機沉積玻璃G係置放於 匣40上》 第二傳輸室C5之機械傳輸手臂30可將加載至沉積 接 室 室 [， 有 接 輸 9 容 器 第 室 手 傳 玻 沉 卡 室 8 1343761

C7之有機材質沉積玻璃G傳送至接合室C6。以設在接 室C6之膠合機50將金屬容器盤T上之金屬容器，個別 接合至有機材質沉積玻璃G上。接合室C6可以有多個 接合有金屬容器3之有機材質沉積玻璃G，以及不 接合有金屬容器3之金屬容器盤T，可被個別地傳送至 第二傳輸室C5相接之卸載室C 8。 卸載室C8係與第三傳輸室C9相接，第三傳輸室 則與一用以攜出有機材質沉積玻璃 G之攜出室 C 10 接。一用以迴轉金屬容器盤T到第三傳輸室C9的迴轉 L2係與第三傳輸室C9相接。一機械傳輸手臂60係設在 三傳輸室C9。 第三傳輸室C9之機械傳輸手臂60可將已被送至卸 室C 8之有機材質沉積玻璃G傳送至攜出室C 10。同 的，第三傳輸室C9之機械傳輸手臂60可將已被傳送至 載室C8之金屬容器盤T傳送至迴轉線L2。 將已傳送至迴轉線L2之金屬容器盤T清洗，並將 的金屬容器3排列放置於乾淨的金屬容器盤T上。已置 金屬容器3之金屬容器盤T即接續重覆前述之流程。 於後段生產線中，該已被傳送至攜出室C 10之有機 質沉積玻璃G係依後段生產程序進行。後段生產線包含 用以切割有機材質沉積玻璃G成為多個單胞之製程、用 檢測該些單胞之製程、及用以黏貼標籤於每個單胞上之 程。 一未說明之元件符號C 1 1係指一供應室，用以供應 合 地 〇 再 與 C9 相 線 第 載 樣 卸 新 放 材 以 製 金 9 1343761 屬容器至金屬容器盤T上，C 12係指一、生 ’玲洗室，用以姆由 一清洗線來清潔金屬容器盤，且C 1 3代 八衣一沉積室。 第5圖示出用以將玻璃蓋接合 ’機材質沉積玻璃上 之生產線。 如第5圖所示，一基底玻璃（具有凹處7形成於其中广 於清洗線L3上進行清潔製程，附著於基底玻璃上之外來 材質可被一清洗線L3上的一液體去除。如此清洗完之基

底玻離璃再進-步以電聚清潔以強化其與乾燥4間之鍵 結力。 已經過β洗線L3之基底玻璃藉由第一傳輸室C2丨之 機械傳輸手臂70傳送至與一第一傳輪室C21相偕的乾燥 劑接合至C22»以設在乾燥劑接合室€22中的膠合機81 將乾操劑4個別地接合至基底玻璃之凹處7。該乾燥劑接 合室C22可有多個。

位於乾燥劑接合室C22之基底玻璃，係以第一傳輸室 C21之機械傳輸手臂70，將其個別地轉移至與第一傳輸室 C21相接之分配室C23。之後，一密封劑以設於分配室C23 之分配器80’塗佈在已被傳送至分配室 C23之基底玻璃 上。分配室C23可有複數個。 之後，在分配室C23中已塗佈有一密封劑之基底玻璃， 係以第一傳輸室C21之機械傳輸手臂70傳送至與第一傳 輸室C21相接之缓衝室C24。 一第二傳輸室C25係與緩衝室C24相接，及一機械傳 輸手臂90係設於第二傳輸室C2 5。第二傳輸室C25之機械 10 1343761 傳輸手臂90可將位於緩衝室C24之基底玻璃傳送至與 二傳輸室C25相接之接合室C26。 將已於一半導體生產線中經過一半導體製程處理的 機材質沉積玻璃G，加載至一與第二傳輸室C25相接之 積室C27中。一·^匣1〇〇係設於沉積室C27，且有機材 沉積玻璃G係設在卡匣1〇〇之上。 以第二傳輸室C25之機械傳輸手臂9〇將已加載至 積室C2 7之有機材質沉積玻璃G傳送至接合室C26，且 設於接合至C26之膠合機11〇將該基底玻璃接合於有機 質沉積玻璃G之上》可設有複數個接合室C26d於接合 C26中，用來將基底玻璃接合至有機材質沉積玻璃〇上 製程，將說明於後。首先，將基底玻璃與有機材質沉積 璃G相互對準及預硬化；接著，以紫外光照射已預硬化 有機材質沉積玻璃G及基底玻璃，因而使塗佈於基底坡 之上的密封劑硬化，而使基底玻璃接合至有機材質沉積 璃G之上。 之後，藉由第二傳輸室C25之機械傳輸手臂9〇將 接合有基底玻璃之有機材質沉積玻璃G，傳送至與第二 输室C25相接之卸載室C28。 卸載室C28係與第三傳輸室C29相接，第三傳輪 C2 9則與用以攜出有機材質沉積玻璃〇之攜出室 接。一機械傳輪手臂12〇係設於第三傳輪室c29中。 以第三傳輪室C29之機械傳輸手冑120將已傳送至 載室C 28之有機材質沉積玻璃G傳送至攜出室C3〇。已 第 有 沉 質 沉 以 材 室 之 玻 之 璃 玻 已 傳 室 相 卸 被 11 1343761 有一第二膠合機240 。 玻璃接合室C46之功用為以第一膠合機230將BG接 合至有機沉積玻璃G之上。複合室C47之功用為以第二膠 合機240將金屬容器3接合到有機沉積玻璃G上，並將 BG硬化使與有機沉積玻璃G彼此接合。更具體的是，有 機沉積玻璃G及B G係預先於其間之多個接觸點位置先行 預硬化，且該彼此接合的BG與有機沉積玻璃G係於複合 室C47内進行最後之硬化。

一供應及攜出室C48係與第二傳輸室C45相接，及一 第三傳輸室C49與供應及攜出室C4 8相接。同樣地，第三 傳輸室C49亦配備一機械傳輸手臂R3。 如第7圖所示，供應及攜出室C48中設有一卡匣250。 卡匣250包含一第一區域251，其中加載了已經過沉積處 理之有機材質沉積玻璃G;及一第二區域252，其中加載 了已與金屬容器3或BG接合之有機材質沉積玻璃G。

一第二緩衝室C50係與第三傳輸室C49之一側相接， 且一卸載室C51係與第三傳輸室C49之另一側相接。一第 四傳輸室C52係與卸載室C51相接。 第四傳輸室C52中設有一機械傳輸手臂R4,將已藉由 半導體製程沉積一有機材質於其上之有機材質沉積玻璃 G，加載入第二緩衝室C50。 一攜出室C53係與第四緩衝室之一側相接，且一用以 迴轉金屬容器盤T的迴轉線L5係與第四緩衝室C52之另 一側相接。可有多個攜出室C 5 3。 15 1343761 被傳送至迴轉線L5之金屬容器盤τ為乾淨的，且新 一批的金屬容器3將被排放在該些乾淨的金屬容器盤Τ 上。 已被傳送至攜出室C 53的機材質沉積玻璃G係於一 後段生產線（post_processing line)中進行後段處理 • (Post-Processing)，。後段生產線包含一用以切割有機材質 沉積玻璃G成為單胞之製程、一用以檢測單胞之製程、及 一用以黏貼標籤於每一單胞上之製程。 ^ 一未說明之元件符號C 54係指-第五傳輸室（其t設 有一機械傳輸手臂R5)〇C55代表_供應室，用以供應金 屬容器至金屬容器盤丁上》〇：56代表一 BG供應室，且c57 代表一沉積室。 依據本發明精神而實施之保護蓋接合作業生產線將說 明如下。 首先，說明將金屬蓋接合至有機材質沉積玻璃G之上 之作業》 • 將複數個金屬容器3排列在金屬容器盤τ ▼ 血1义上，及金 屬容器盤τ於清洗線上進行清洗。經過清洗線以一液 體清洗後，可去除金屬容器3上的外來物質。之後，再以 電漿清潔該金屬容器3，以加強其與乾燥劑4 度。 B ;鍵結強 ^ 已經過清洗線L4之清洗處理的金屬容器般τ 如.* 35盤Τ，可藉由 . 與⑺洗線L4相接之第一傳輸室C41中的機械傳輪名

傳送至接合室C42。乾燥劑4係於接合室^ R '個別地與 16 1343761 金屬容器盤τ上之金屬容器3接合。 位於接合室C42之金屬容器盤τ，以第一傳 之機械傳輪手臂R1傳送至分配室C43,之後以設 C43之分配器220將一密封劑分別沉積到金屬容 的金屬容器3上。 之後，將其上排列有已沉積密封劑之金屬容i 屬容器盤T，以第一傳輸室C41之機械傳輸手臂 至第一緩衝室C44。第二傳輸室c：45之機械傳彰 可將加載至第一緩衝室C44之金屬容器盤τ傳送 C47。 將已經過半導體製程處理的有機材質沉積玻禾 到一第一緩衝室C50，之後以第三傳輸室C49之 手臂R3將其傳送至供應及攜出室^48。於此， 沉積玻璃G係被加載至設於供應及攜出室C48 250之第一區域251中。 第二傳輪室C4 5之機械傳輪手臂R2可將加載 搆出室C48之有機材質沉積玻璃◦傳送至複合室 排列在金屬容器盤T上之金屬容器係於複合 個別地接合至有機材質沉積玻璃G之上。以UV UV光將沉積在每一 MC上的密封劑加以硬化’使 接合至有機材質沉積玻璃G之上》 在複合室C4 7中接合了 MC的有機材質沉積 係藉由第二傳輸室C45之機械傳輪手臂R2傳送 攜出室C48»之後，將該有機材質沉積玻璃〇以 輸室C41 於分配室 器盤T上 § 3的金 R1傳送 ¥手臂R2 至複合室 G加載 機械傳輪 有機材質 t的卡匣 至供應及 C47。 室C47中 燈發出的 得MC可 玻璃G， 至供應及 第三傳輸 17 1343761 質°之後’再以電漿清潔該乾淨的BG ,以加強其與乾燥 劑4間之鍵結強度。 已於清洗線L4上清洗過之BG，可藉由與清洗線Μ 相接之第一傳輸室C4 1之機械傳輸手臂ri傳送至接合室 C42。於接合室c42中，將乾燥劑4個別地黏接到bg之 凹處7。

已加載至接合室C42之BG可以第—傳輸室C41之機 械傳輸手臂R1傳送至分配室C43，之後，一以設於分配室 C43之分配器220將密封劑個別地沉積在被傳送至分配室 C43之BG上。 之後，以第一傳輸室C41之機械傳輪手臂R1’將沉積 有密封劑之BG傳送至第一緩衝室C44。之後，該已加載 至第一緩衝室C44之BG可藉由第二傳輸室C45之機械傳 輪手臂R2傳送裏玻璃接合室C46中。

將已經過半導想製程處理的有機材質沉積玻璃G加載 到第二緩衝室C50，之後’以第三傳輸室C49之機械傳輸 手臂R3將其傳送至供應及攜出室C48。於此’有機材質 沉積玻璃G係加載至設於供應及揭出室C48中之卡® 250 的第一區域251上° 第-傳檢室C45之機械傳輪手臂R2’ <將加載於供應 及攜出室c48之有機材質沉積玻璃〇，傳送至玻璃接合室 C 4 6 〇 於玻璃操合室C46中將BG接合至有機材質沉積玻璃 G上。有機讨質沉積玻璃G及BG兩者，係於其間之多個 19 1343761

4 乾燥劑 5、 .7 内部 凹 處 6 蓋子玻璃 T 金屬 容 器 盤 Μ 金屬蓋 BG 積底 玻 璃 GC 玻璃蓋 LI、 L3、 L4 清 洗 線 L2、 L5 迴 轉 線 10、 30、 60 、 70 、 90 ' 120、 R1-R5 機 械 傳 11' 50、 81 、 110 、 210 、230 ' 240 膠 合 機 20 ' 80 ' 220 分 配 器 40、 100 、250 卡 匣 Cl、 C21 、C41 第 一 傳 輸 室 C2 ' C22 乾 燥 劑 接 合室 C3、 C23 、C43 分 配 室 C4、 C24 緩 衝 室 C5、 C25 、C45 第 二 傳 輸 室 C6、 C26 、C42 接 合 室 C7、 C13 、C27 、 C32 、 C57 沉 積 室 C8、 C28 、C51 卸 載 室 C9、 C29 、C49 第 三 傳 輸 室 CIO 、C30 攜 出 室 Cl 1 、C55 、 C56 供 應 室 C45 、C50 第 二 緩 衝 室 C48 、C53 供 應 及 攜 出室 23 1343761 C12 清洗室 C44 第一緩衝室 C46 玻璃接合室 C52 第四傳輸室 251 第一區域 252 第二區域

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Claims (1)

1343761 ({〇〇.· ι： 2T~- 年月曰修(更)正替換1 第qW W妙號專敦卿I月修正 十、申請專利範圍： ι - 一種保護蓋接合作業生產線系統，其至少包含： 一第一緩衝室，係用以固持將被接合至一有機材質沉積 玻璃上以作為一保護蓋的一基底玻璃（BG)或一金屬蓋 (MC)，在該BG或MC上接合有一乾燥劑，之後在此接合 有乾燥劑的BG或MC上又沉積有一密封劑；

一第二傳輸室，其與該第一緩衝室相接並具有一機械傳 輸手臂； 一玻璃接合室，其係與該第二傳輸室相接，用以將該 BG接合至該有機材質沉積玻璃上； 至少一複合室，係與該第二傳輸室相接，用以將該MC 接合至該有機材質沉積玻璃上，並硬化該有機材質沉積玻 璃和該BG使其可彼此接合； 一供應及攜出室，係與該第二傳輸室相接； 一第三傳輸室，係與該供應及攜出室相接並具有一機械 傳輸手臂於其中； 一第二緩衝室，係與該第三傳輸室相接，且該有機材質 沉積玻璃可於其中沉積； 一卸載室，係與該第三傳輸室相接； 一第四傳輸室，係與該卸載室相接；及 一迴轉線，係與該第四傳輸線室相接，用以迴轉其上已排 列有多個金屬蓋的一金屬容器盤。 25 1343761

佩 1. 24 年月日修(更)正替換1 2.如申請專利範圍第1項所述之生產線系統，其中 玻璃接合室與該至少一複合室係分別位於該第二傳輸室 兩相反側上。 3.如申請專利範圍第3項所述之生產線系統，其中 供應及攜出室中設有一卡匣，該卡匣包含一第一區域（其 可加載有該有機材質沉積玻璃），及一第二區域（其中可 載有已接合有保護蓋之該有機材質沉積玻璃）。 4.如申請專利範圍第1項所述之生產線系統，其中 於該玻璃接合室中，在該有機材質沉積玻璃與該BG兩 間之複數個接合點先將該有機材質沉積玻璃與該B G兩 預硬化（pre-hardened)。 該 之 該 中 加 可 者 者

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