1335999 t 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種濾光片之製作方法，尤其是藉由阻 抗材料以避免晝素區域底部在疏墨性電漿處理時降低底 部的親墨性，進而改善色料薄膜之平坦性。 【先前技術】 隨著各種資訊科技的進展，目前大多的影像訊號皆已
由類比改為數位傳輸的方式，使得傳統的陰極射線顯示器 已被新一代的平面顯示器所取代，例如液晶顯示器、電裝 顯示器'發光二極體顯示器等。液晶顯示器由於成本與性 能上的各項優點，而成為平面顯示器當中相當重要的產 品。而液晶顯示器當中通常係使用彩色濾光片來達成彩色 化的顯示效果。彩色濾光片通常係架構於一透明 上，此透明玻璃基板上主要配置有用以遮光之黑^陣 (Black Matrix，BM)，以及對應於各個晝素排列之彩”色濾光 單元。接著由喷頭將色料喷入晝素區域中，再經由乾^紫 程而形成色料薄膜。 μ、 由於色料喷入的過程中，必須控制適當的色料量，否 則可能產生色料跨過黑矩陣而流至鄰近的晝素區域之 中。因此在習知的製程中，通常會藉由例 電漿處理，以使黑矩陣具有高疏墨性。然而在此時車^ 區域内的基板㈣也會暴露在⑽處理的環境 區域内基板的親紐會遭到破壞。這使 ^辛 區域後較不㈣著至基板表面，而容易產生色^法^ 4ADT/07002TW ； AU0609081 填滿晝素區域的缺點，進卞會影響遽光片的色彩表現。 有鑑於此，實有必要提供一種新的遽光片製作方法， 以簡單且低成本的方式改善濾光片的品質。 【發明内容】 本發明一方面在於提供一種彩色濾光片之製作方 法，以改善色料薄膜之平坦性。 本發明另一方面在於提供一種彩色濾光片之製作方 法’藉由滴入阻抗材料至晝素區域中以避免底部在疏墨性 電聚處理時降低底部的親墨性，進而改善色料於畫素區域 之填滿狀況。 本發明一方面揭示一種形成彩色濾光片之方法，包含 下列步驟：提供一基板；形成一黑矩陣(Black Matrix, BM) ，基板上’以定義出至少一畫素(pixel)區域；滴入阻抗材 料於至少一畫素區域中；進行電漿處理，將黑矩陣之頂表 =改麦為具有疏墨性質(ly〇ph〇bic);去除阻抗材料，以暴 路出基板，滴入色料(c〇1〇ring agem)於至少一晝素區域 中’以及固化色料，以產生平坦之色料薄膜(eolorfilm)。 在^發明的另一實施例中，更包含下列步驟：控制滴
St材料於—預定量’使得阻抗材料得以完全覆蓋晝 素區域内之基板。 4ADT/07002TW ; AU0609081 6- •1335999 ' 在本發明的又一實施例中，黑矩陣具有一側壁，且阻 • 抗材料之預定量更進一步使得阻抗材料得以覆蓋黑矩陣 之側壁之至少一部份。 在本發明的又另一實施例中，疏墨性質使得色料不易 附著於黑矩陣之頂表面。而阻抗材料係用以保護晝素區域 内之基材不党電漿處理之影響，而保持一親墨性質 (lyophilic)’使得色料易於附著於晝素區域内之基材。 在本發明的再一實施例中，電漿處理之步驟進一步包 含形成一薄層於黑矩陣之頂表面，而此薄層具有疏墨性 質。 【實施方式】 以下說明依據本發明的其中一種實施例，首先提供基 板100並形成黑矩陣120於基板1〇〇上，如圖ία所示即 為本實施例之基板100的俯視圖。圖1B則為圖1A中基 板100延AA’線的側向剖面圖。在本發明的圖式中，黑矩 陣120定義出三個晝素區域122、124、及126，分別為作 為彩色濾光片的三種顏色的晝素。然而在此必需注意的 是，圖式中僅顯示三個晝素區域是為了說明方便起見，而 熟此技藝者當知道本發明的黑矩陣120可以有較多數量或 較少數量的畫素區域’而並不會影響本發明的實施。黑矩 陣120具有頂表面128與側壁129，而黑矩陣120所定義 的畫素區域122、124、及126則分別暴露出基板1〇〇的表 面 102、104、及 106。 4ADT/07002TW ； AU0609081 一接著藉由噴頭14〇將阻抗材料142滴入至圖1B中所 不基板100的晝素區域122、124、及126中，如圖2所示。 圖2中僅繪不滴入一滴阻抗材料142至畫素區域122中係 ，明方便起見’而本發明在滴人阻抗材料142上並未作任 ^限制’例如可以任何順序將阻抗材料142分別滴入晝素 區域122、124、及126中，或在另一實施例中亦可使用多 個噴頭14G來加速滴人的程序，或者在又另—實施例中， 依實際wi*情形而亦可選擇性不滴人阻抗材料142至其中 的幾個晝素區域中。在本實施例中，阻抗材料142包括一 親墨材料與—散佈劑，而在其它實施例巾，阻抗材料142 亦可以使用其它具有類似性質的物質^阻抗材料142中所 使用的親墨材料可包括氧化鈦或二氧化矽或其它類似 物’阻抗材料142中所使㈣散佈細可包括水或乙醇或 其它類似物。 圖3A顯示一種依照本發明實施例之電漿處理的示意 圖。如圖3A所示，圖2中所滴入之阻抗材料142分別形 成阻抗材料薄膜152、154、及156於晝素區域122、124、 及126中，並元全覆蓋晝素區域122、124、及126内之基 板表面102、104'及106。電漿處理裝置16〇係用於對基 板100進行㈣處理，而魏處理為—疏墨性改質技術， 在圖式中僅為一示意方塊而未繪示詳細的元件然其並不 影響本發明之實施。藉由此電漿處理，黑矩陣12〇之頂表 ，128會被改變為具有疏墨性質，然而同時藉由阻抗材料 薄膜152、154、及156’分別可以保護晝素區域122、124、 4ADT/〇7〇〇2TW ； AU0609081 及126中原本暴露的基板表面102、104、及106。因此， 在將黑矩陣120的頂表面變更為具有疏墨性質的同時，藉 由阻抗材料薄膜152、154、及156的保護，又得以維持基 板表面102、104、及106的親墨性質。 本發明實可以有許多不同的實施方式，而非限定在本 文中所敘述的特定實施方式。例如圖3B顯示另一種依照 本發明實施例之電漿處理的示意圖。圖3B與圖3A不同 之處在於控制所滴入的阻抗材料142於適當的量，使得阻 抗材料薄膜153、155、及157得以覆蓋黑矩陣12〇之側壁 129。因此，阻抗材料薄膜153、155、及157除了保護基 板表面102、104、及106之外，更可以進一步保護黑矩陣 120之側壁129。當然，視實際實施本發明時的不同狀況， 阻抗材142的量可以做適度的調整，而僅覆蓋黑矩陣12〇 之側壁129的一部分。 圖4顯示為圖3A之基板100完成電漿處理的示意 圖。此時藉由電漿處理而會在黑矩陣12〇的頂表面128處 形成疏墨性質薄層170。在此必需注意的是，本發明的圖 式僅為示意圖’以便谷易而清楚地說明本發明，亦即圖式 中的各元件並未按照比例繪製。接著，去除阻抗材料薄膜 152、154、及156 ’以暴露出基板表面1〇2、、及。 此步题可以使用水或其它溶劑將阻抗材料薄膜152、154、 及156去除，使得本發明得容易地實施而不需使用複雜的 製程或附加昂貴的設備。 4ADT/07002TW ; AU0609081 1335999 在去除阻抗材料薄膜152、154、及156並暴露出基板 表面102、104、及106·之後，藉由喷頭182、184、及ι86 而滴入色料183、185、及187至圖4中所示基板100的晝 素區域122、124、及126之中，如圖5所示。晝素區域 122、124、126區分為至少三組顏色區域(例如是藍色、綠 色與紅色），色料183、185、及187使用對應的三原色色 料的其中之一，分別填入對應的顏色區域，以形成彩色遽 光片。疏墨性質薄層170使得色料不易附著於黑矩陣12〇 之頂表面128，同時基板表面102、104、及106仍保持著 親墨性質，使得色料183、185、及187易於附著於基板表 面102、104、及106，而不會產生色料覆蓋不完全或不均 勻的問題，如圖6所示之色料分佈192、194、及196。 最後’固化色料183、185、及187，以產生平坦之色 料薄膜202、204、及206，如圖7所示。如前所述，色料 完全地覆蓋基板表面102、104、及1〇6，使得固化後的色 料薄膜202、204、及206會具有平坦且均勻的良好性質。 在本實施例中’固化步驟係使用乾燥製程，使得色料由液 ,%轉化為固態’而在其它實施例中’固化步驟亦可以視色 料性質的不同而使用不同的方式。 上述之實施例係用以描述本發明’然本發明技術仍可 有許多之修改與變化。因此本發明並不限於以上特定實 施例的描述，本發明的申請專利範圍係欲包含所有此類修 改與變化，以能真正符合本發明之精神與範圍。 4ADT/07002TW ： AU0609081 1335999 【圖式簡單說明】 圖1A顯示一種依照本發明實施例之基板的俯視圖； 圖1B為圖ία中基板的側向剖面圖； 圖2顯示滴入阻抗材料至圖iB中所示基板的晝素區 域； 圖3A顯示一種依照本發明實施例之電漿處理的示意 圆， 圖3B顯示另一種依照本發明實施例之電漿處理的示 意圖， 圖4顯示為圖3A之基板完成電漿處理的示意圖； 圖5顯示滴入色料至圖4中所示基板的晝素區域； 圖6顯示色料於基板中的分佈圖；以及 圖7顯示固化色料而形成色料薄膜的示意圖。 【主要元件符號說明】 100 基板 102、104、106 基板表面 120 黑矩陣 122、124、126 晝素區域 128 黑矩陣頂表面 129 黑矩陣侧壁 140 噴頭 142 阻抗材料 _ 152、 154、156 阻抗材料薄膜 153、 155、157 阻抗材料薄膜 160 電漿處理裝置 4ADT/07002TW ； AU0609081 -11 . 1335999 170疏墨性質薄層 182、 184、186 喷頭· 183、 185、187 色料 192、194、196 色料分佈 202、204、206 色料薄膜 4ADT/07002TW ； AU0609081 -12