TWI292066B - - Google Patents

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TWI292066B
TWI292066B TW090106525A TW90106525A TWI292066B TW I292066 B TWI292066 B TW I292066B TW 090106525 A TW090106525 A TW 090106525A TW 90106525 A TW90106525 A TW 90106525A TW I292066 B TWI292066 B TW I292066B
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TW
Taiwan
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layer
angle
liquid crystal
crystal display
reflection
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TW090106525A
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English (en)
Inventor
Jung-Yuan Liou
Original Assignee
Chi Mei Optoelectronics Corp
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Priority to US10/063,086 priority patent/US20020135717A1/en
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    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
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    • G02F1/133553Reflecting elements

Description

1292066 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種液晶顯示器(Liquid Crystal Display) 之反射板結構及其製造方法,特別是有關於一種多角度傾斜狀反 射板(Multi-Slants Reflector)之結構及其製造方法。 【發明背景】 液晶顯示器在1970年首先應用在電子計算機與數位鐘錶 上,目前則應用在筆記型電腦(Notebook)、電視與文書處理器 上,並且急速普及。目前使用最廣的電子顯像器為影像管(CRT), 而影像管卻有重量過重、體積過大及耗電量大、尺寸的缺點存在。 而液晶顯示器的問題之一在於其反射率(Reflectivity)過 低’般報紙反射率約為標準白板的55%,而扭曲向列(Twisted Nematic,TN)型黑白液晶顯示器反射率通常低於25%,雖然其 對比率(Contrast Ratio)可達到5 : 1以上,卻由於低反射率 的關係,使用者操作時會有反射光亮度過弱與視角狹隘的缺點, 甚不方便。 請參照第1圖,第丨圖所繪示為鏡面反射板結構中入射與反 射之光線反射示意圖,其中入射光線32以和垂直法線3〇夹角0 1292066 的角度恥射,在基材36上的反射板38之平面與垂直法線30垂 直狀恶下,反射光線34與垂直法線30的夾角αι會與0相同。 月多…、第2圖,弟2圖所繪示為習知具鏡面(Mirror)反射板 與擴散板之液晶顯示||結構圖,其巾為改善反射強度⑽⑽吻) 分散過弱的缺點,習知液晶顯示器結構在液晶層58下方加上鏡 面反射板56,利用金屬鏡面可使入射光線50反射至反射光線52 的方向。根據別述的光線反射原理得知,光線入射角度等於友射 角度若/、依罪鏡面反射板%的結構,會造成反射光線集中在 某特疋角度的缺點,使其他角度的反射光線過低,如第3圖所 示。根據第3圖所繪示之習知反射強度與反射角度函數圖,其中 曲線A即代表液晶顯示器加入鏡面反射板後所呈現的反射強度 與反射角度函數。當入射光由一3〇度角入射時,其反射角度多集 中在30度,證明習知液晶顯示器若只加入鏡面反射板,則反射 角度確實只會集中在某特定角度,則此液晶顯示器會因亮度過低 的缺點而無法在其他角度觀看。 因此,衍生出另一種習知結構在偏光板(p〇larizer)68和位 相差板(Retardation Fnm)66之下方加入一層擴散板 (Diffuser)64,此擴散板可使反射強度稍趨於缓和,如第3圖所 示。根據第3圖所繪示之習知反射強度與反射角度函數圖,其中 1292066 曲線B即代表加人錄板後的反射強度與反射肖度函數曲線,此 擴散板64具有分散光線強度的功能,因此利用擴散板結構可改 善反射強度集中在約30度的缺點,使反射強度與反射角度函數 曲線稍趨於緩和。 由於液晶顯示器也廣泛應用在如手提電腦與個人數位助理 (PDA)等數位產品中,若液晶顯示器只使用鏡面反射板與擴散板 結構,會造成使用者在操作時視線必須保持在反射光線角度-上, 否則無法看清顯示面板的内容,在操作上相當不便。因為事實 上,使用者在使用手提電腦或PDA等數位產品時,視線通常保持 在接近與顯示面板垂直的方向,即視線角度應在反射光線角度與 垂直法線夾角之間。為改善此一缺點,再衍生出另一習知液晶顯 示器結構係應用具單一角度的傾斜狀反射板來改變反射光線的 角度,使反射光線較偏向於垂直法線的方向。 請參照第4圖,第4圖所繪示為傾斜狀反射板結構中入射與 反射之光線反射原理,其中入射光線42以和垂直法線40夾角0 的角度照射,若基材46上的反射板48之平面與垂直法線4〇呈 夾角Φ ·,此爽角4即為單一角度傾斜狀反射极所具有的傾斜角摩 (Slope Angle) 0,則反射光線44與垂直法線40的夾角α 2會等 於丨0 -2 0 I,而使得反射光線較偏向於垂直法線40的方向。 1292066 利用上述錢反射原理所製造的習知液晶顯示H結構如第5 圖所繪:’除了保留原有的液晶顯示器結構。如擴散板84,其 中更了單角度之傾斜狀反射板76。請參照第5圖,其中 此’肖度之傾斜狀反射板76可使反射光線72,較第2圖中 、射光線52偏向垂直法線方向,由此可知傾斜狀反射板的功 么匕 Λ 月^ 0 !知結構巾保留的擴散板結構,制來分散特定角度的反射 強度而使視差較不明顯。若不加入此擴散板結構,所呈現的強 度與反射角度函數圖如第9圖所示。帛9圖所繪示為習知液晶 顯示為中具鏡面反射板與具不同單-肖度傾斜狀反射板之反射 強度與反射肖度函數圖,其中曲線G代表液晶顯示器中只加入 鏡面反射板結構而不加入擴散板結構,曲線Ηι、H2、H3、沁則 分別代表單獨加入各不同的單一角度傾斜狀反射板結構。當光線 於-30度角入射後,由具鏡面反射板之液晶顯示器所反射的光線 強度曲線較尖銳且集中於30度,如曲線G所示;若使反射板微 傾斜若干角度’則反射光線會微偏向垂直法線,如曲線乩所示; 當反射板傾斜角度增大,反射光線偏向垂直法線的現象越明顯, 如曲線H4所示;換言之,曲線乩、Hz、H3、H4分別代表傾斜狀 反射板的角度越來越大的情況下,所造成的反射強度與反射角度 曲線’但是’曲線Hi 、Η2、Η3、H4都仍有反射強度集中的現象 1292066 產生。由此可知,不加入擴散板結構會保有光線集中在一特定角 度,而視差過於明顯的的缺點,這是不論利用何種角度的單一角 度傾斜狀反射板都無法改善。因此就習知的液晶顯示器結構而 a ’欲改變液晶顯示器中的反射板結構,仍需再加上擴散板結構 才行。 此單一角度反射板對光線反射的影響,如第6圖所示。第6 圖所緣示為習知具擴散板之液晶顯示器中,亦具有鏡面反射-板或鲁 具有單一角度傾斜狀反射板兩者比較之反射強度與反射角度函 數圖,其中曲線B代表液晶顯示器中加入鏡面反射板與擴散板後 所呈現出的強度與反射角度函數圖,而曲線F則代表液晶顯示器 中加入單一角度傾斜狀反射板與擴散板後所呈現出的強度與反 射角度函數圖。由兩曲線的比較可知單一角度的傾斜狀反射板的 確使反射角度變小,與垂直法線較為靠近。 ’ 至於習知製造單一角度傾斜狀反射板的方法多使用光罩來 製作,例如:一種為使用半頻(Half-tone)光罩,對塗佈的反射 板層進行不同深淺私度的姓刻’如苐7圖所不;另^一種則為利 周移動光罩(Mask shift)的位置來控制不同深淺的餡刻效果。 使用光罩來定義傾斜狀反射板的圖形,需注意曝光與微影最小間 距距離,對傾斜角度的定義較不精確。換句話說,此光罩製程只 9 1292066 適合使用在僅具有單一傾斜角度之傾斜狀反射板。 習知液晶顯示器結構中所使用的單一角度傾斜狀反射板雖 加入擴散板而使反射強度較缓和地分佈,但由於其反射角度大多 集中在早肖度’且擴散板會分散絲,仍然有反射強度範圍狹 隱與亮度不均的缺點存在。根據第6圖中的曲線F可知,反射強 度仍集中在約20度,使用者在操作時仍需控制顯示面板與視線 保持此一特定角度才能達到較良好的觀看效果。 _ 對^準白板而吕’其反射強度與反射角度之關係如第8圖 之曲線C所示,即在所有的反射角之反射強度均相同;而理想 之反射版需能將人射祕集巾在特定範關反射,1在此範圍 内之反射光強度足夠且均勻,如曲線D與£所示。如此,才能 使液晶顯不器有更佳的使用角度及亮度。 【發明目的及概述】 U上述自知液晶顯示器結構所產生光線反射強度集中在某 特定角度的缺點,g此本發_目的為提供—種具多角度傾斜狀 反射梭結構之液晶顯示器,缝得此液㈣示器具有理想化的反' 射強度與反射角度。 1292066 本發明的之一目的為提供多角度傾斜狀反射板結構,可改善 反射光線,不僅使反射角度位在使用者較常操作的視線範圍内, 更由於省略擴散板結構,不必再次分散光線而使反射亮度較習知 結構為強。 另外,本發明的再一目的為提供與一般液晶顯示器之薄膜電 晶體製程相容的多角度傾斜狀反射板製造方法,在製造薄膜電晶 體疋件的同時,可製造出反射板的多角度傾斜狀結構。一 根據本l明之上述目的,本發明提供—種具有複數個傾斜角 度之反射板結構,包括:複數個用於製造薄膜電晶體元件的沉積 層位在-基材上;—有機層位於這些沉積層上;—金屬層位於有 機層上,其中上述之傾斜角度係指金屬層之上表面與基材之上表 面之失角。另外,本發明更提供—種液晶顯示器,包括:基材; 雜序位於基材上之多肖度傾斜狀反射板;液晶層;透明導電膜; 彩色遽光以件;灿差板以及偏光板。 以製1方t月之上述目的,本發明提供—種多角度傾斜狀反j 係利用液晶顯示器元件中的製造薄臈電麻 =::(一層、非晶_層、金屬_ 層,隨後經供烤平、、〜μ $、 、計…構上塗佈有4 ^ 卩例如金屬麟方式塗佈反射層,4 1292066 形成本發明之多角度傾斜狀反射板結構。 本發明之-特點係利用沉積不同層數的堆疊結構以定義出傾 斜狀結構的不同傾斜角度,使反射光線偏向垂直法線的程度不 同,達到反射強度的多樣化。 本發明之再i點係利用薄膜電晶體製程中塗佈與微影步驟 的操作,同步定義出多角度傾斜狀結構,亦即利用同步製造—的沉 積層如閘極層、非晶⑦層,金屬層或絕緣層等,作為反射層的傾 斜狀結構。之後,在此傾斜狀結構塗佈的有機層具熔融特性,烘 烤(Baking)後可獲得平滑(smo〇th)表面,使單一傾斜之反射角度 便寬而使反射光得有效分散。 本發明的較佳實施例將於往後之說明文字中辅以下列圖形 做更詳細的闡述,其中: 第1圖所繪示為鏡面反射板結構中入射與反射之光線反射 示意圖; 第2圖所繪示為習知具鏡面反射板與擴散板之液晶顯示器 結構圖; 12 1292066 第3圖所繪不為習知當入射角為3〇度時,具鏡面反射板與 再加上擴散板之液晶顯示器兩者比較反射強度與反射角度函數 _, 第4圖所繪示為傾斜狀反射板結構中入射與反射之光線反 射不意圖; 第5圖所繪不為習知液晶顯示器中具單一角度傾斜狀反射 板之結構圖; 第6圖所繪不為習知當入射角為3〇度時,具鏡面反射板與 具單一角度傾斜狀反射板之液晶顯示器兩者比較反射強度與反 射角度函數圖; 第7圖所繪示為習知反射板傾斜狀結構之製造方法; 第8圖所繪示為液晶顯示器中理想傾斜狀反射板與標準白 板比較的反射強度與肖度函數圖; 第9圖所繪不為習知具鏡面反射板與具不同單一角度傾斜 狀反射板之液晶顯示器兩者比較反射強度與反射角度函數圖; 13 1292066 第10圖所繪示為本發明具多角度傾斜狀反射板之彩色液晶 顯示器結構圖; 第11圖所繪示為本發明具多角度傾斜狀反射板之液晶顯示 器強度與反射角度之一實施例之函數圖; 第12圖所繪示為本發明具多角度傾斜狀反射板之液晶顯示 器強度與反射角度之一實施例之函數圖;以及 - 弟13圖至弟18圖所繪示為本發明具多角度傾斜狀反射板之 液晶顯示器製造流程圖。 【發明詳細說明】 習知液晶顯示器結構係使用單一角度的傾斜狀反射板,所以 反射光線角度只能集中在某-角度,使視角侷限於狹關範圍 中’導致使用反射式液晶顯示器時之視角較小、亮度較低。 為達到理想的使用狀態’根據統計液晶顯示器光線反射強度 與角度·關係應如第8圖之曲線D或e所示,亦即,在特定角度 範圍内的反㈣度足夠且均勻,才能讓使財操作顯示面板有較 佳之視角及較大的反射強度。 1292066 本發明所提供具有多角度傾斜狀反射板之液晶顯示器,其結 構如第ίο圖所示。本發明之液晶顯示器結構包括:基材94, 材質可例如為玻璃,此基材94表面依序具有多角度傾斜狀反射 板96、液晶層98、透明導電膜100、彩色濾光器元件102、位相 差板104以及偏光板106。 其中’多角度傾斜狀反射板96具有不同的傾斜角度(^、 必2、與Θ3 ’且傾斜角度範圍約介於0度與10度之間。值得注意φ 的一點是’本發明多.角度傾斜狀反射板的傾斜角度並不限於 01 02、與03二種,此傾斜角度可具有更多樣變化角度與範圍, 端視實際或所需之情況而定。 本么明的特點在於多角度傾斜狀反射板96係為在薄膜電晶 體製程中,同步沉積的傾斜狀結構,可具有不同的高度與傾斜角- 度01、02、與必3。當入射光線90照射多角度傾斜狀反射板96蠢 後,不僅可改善反射光線92的原有反射角度,使反射光線偏向 垂直法線方向,且不同傾斜角度造成的反射效果更可使反射角度 具有多樣化。 另外,習知製程中必須加入一層擴散板結構,因此在分散光 源反射強度的同時’也減低光源反射強度,亦使強度分布不均 勻本孓月的特點之一為利用多角度傾斜狀反射板的平滑表面來 15 1292066 平均各反射角度與反射強度的目的,即使省去繼板結構,並不 會減低原有反射光線強度。請參照第㈣,其巾反射光線92與 第5圖的反射光線72比較,本發明多角度傾斜狀反射板結構可 使反射強度較為平均。 本發明之-實_係提供—種多角度傾斜狀反射板結構,其 中多角度傾斜狀反射板結構係利用液晶顯示器製程中,製造薄臈 電晶體所需的沉積層’例如係選自於陳線、共通線、絕緣層、 非晶石夕層、—層、源極層、祕層、麟護層所組成之一族群 及其任意組合來作為傾斜狀結構之—雜。接著,麟上反射金 屬層即可形成本發日好歧傾反龍結構。此以度傾斜狀 反射板結構具有不_斜角度,使反射紐偏_直法線的程度 不同’可制同-液晶顯示H中具多樣化的反射強度分佈,其結 果如第11圖所示。第11圖所繪示為本發明之一實施例中,具多 角度傾斜狀反射板之液晶顯示㈣度與反射肢之函數圖,其中
在反射角度3G度⑽強度分布規律,不僅只條在單一角度而 已。 X 而本發明之另-較佳實施例巾,係提供—種經平滑化的多角 度傾斜狀反射板結構’此結構同樣液晶絲器製程中,製造 薄膜電晶體所需的沉積層’例如係選自於問極線、 層、非晶料、料層、源極層、祕層、與保護層所組成之、一 16 1292066 族群及其任意組合來作為傾·結構之—部份。接著,塗佈一層 具炫融⑽〇特性的有機層’利用供烤(Baking)熔融後,使多角 度傾斜狀反射板具有平滑表面。平滑化後,傾斜狀反射板的表面 具有多個不同角度的切線平面,當光線照射時,可反射更多樣化 的角度’並減少大肖度反射而增加反射級。本發明此較佳 實施例可使同-液晶顯示器的強度分佈更理想化,其結果如第 12圖所示。第12 _繪示為本侧多肢傾斜狀反射板之液晶 顯示器強度與反射角度之一實施例之函數圖,其中在反射角·度 30度内的強度不僅增加料勻,可表現出本發微善習知結構 之特點。 由第12圖巾本發明之較佳實施例所得的反射強度曲線了, 與第8圖巾代表理想反射曲線E兩者比較可知,顧本發明多角 度傾斜狀反射板之液晶顯示器結構,所得之反射與反射角度 函數結果非常接近縣狀態,可衫加人習知擴散板結構。 另外’本發财提供衫肖賴斜狀反驗之製造方法,如 第13圖至第18圖所示。帛13目至第18圖所繪示為本發明利用 -般液.晶顯示器之薄膜電晶體製程’同步製造出多角度傾斜狀反 射板的一實施例流程圖。 請參照第13圖,首先在基材2〇〇上沉積一層閘極層,再以 17 1292066 微影方式,同步定義出薄膜電晶體元件的閘極層202,以及兩相 鄰薄膜電晶體元件間’本發明反射板之傾斜狀結構的閘極層 204、206與208。此同步定義形成的閘極層204、206與208即 疋作為本發明反射板之傾斜狀結構中的一層,在本發明此一實施 例中,藉由微影步驟使得閘極層204寬度大於閘極層206 ;並且 使得閘極層208的寬度又大於閘極層204,藉此可定義出不同寬 度傾斜狀反射板。 上述之寬度與位置順序關係僅是舉例說明,本發明更可依照 實際製程與需求利用微影步驟來選擇閘極層的寬度與位置。 接著,請參照第14圖,再塗佈上一層絕緣層21〇覆蓋第13 圖所不之結構’此絕緣層21 〇係作為薄膜電晶體元件中位於閉極 曰02上方的、、、邑緣材料,也同時作為本發明反射板的傾斜狀結構 之一。其中,此絕緣層210的材料為熟悉f知薄膜電晶體製程之 人員所了解,且非本發明之重點,故不再贅述。 接著’凊參照第15圖’依序塗佈製作薄膜電晶體元件所需 魏非晶特料與N+特料覆蓋第14圖所示之結構,並利用另 一微影步驟定義出薄膜電晶體元件中的非晶石夕層212與ΓΤ石夕層 213 ’同-步驟中’也定義出本發明反射板之傾斜狀結構的非^曰 夕層214、216與218 ’以及N+石夕層215、217與219。其中,本 18 1292066 發明此一實施例係定義本發明反射板之傾斜狀結構的非晶矽層 與N石夕層覆蓋閘極層約三分之二的寬度,在同—沉積厚度下,可 定義出不同的傾斜狀堆疊結構。上述之寬度與位置僅是舉例說 明,本發明更可依照實際製程與需求,利用微影步驟來選擇非晶 砍層與N+砂層的寬度與位置。 隨後,請參照第16圖,再塗佈一層金屬材料,利用微影方 式定義出薄膜電晶體元件中的金屬層220與222,此金屬層—220 與222係作為薄膜電晶體元件的源極與汲極,同時,亦定義出本 發明反射板之傾斜狀結構的金屬層224。在本發明此一實施例之 不同角度傾斜狀反射板的傾斜狀結構中,只選擇在N+矽層219上 覆蓋此金屬層224,使金屬層224的寬度約等於N+矽層219寬度 的三分之二,如此定義出不同高度的傾斜狀堆疊結構。上述的寬 度與位置僅是舉例說明,本發明更可依照實際製程與需求,利用 微影步驟來選擇金屬層的寬度與位置。 請參照S 17圖’由於製作薄膜電晶體所需,利用金屬層22〇 與222 ’即源極與汲極作為光罩,對部分矽層μ3與非晶矽層 212進#蝕刻,形成一蝕刻區226。而蝕刻步驟進行時,沒有被 金屬層224覆蓋的N+矽層215、217與部分的N+石夕層219,以及 非晶石夕層214、216與部分的非晶石夕層218,也同步被侧,造 成不同角度傾斜狀反射板之傾斜狀堆疊結構彼此間的高度差異 19 1292066 更大。 進仃到此階段,本發明之不同角度傾斜狀反射板内的傾斜狀 堆豐結構已大致完成,其特點在於利用製作薄麟晶體的塗佈與 微影步驟,同步製作本發明不同角度傾斜狀反射板之傾斜狀堆疊 結構。前述的寬度與位置僅是舉例,本發明更可依照實際製程與 需求,選擇是否沉積前述傾斜狀結構之閘極層、非晶矽層、N+矽 層與金屬層,並可利用微影步驟來定義其位置與寬度,如此-可定 義出多樣的傾斜狀堆疊結構。 凊參照第18圖,製作完薄膜電晶體元件以及不同角度傾斜 狀反射板46 _雜堆疊結碰,在其上塗佈—層鱗融特性 的有機層228覆蓋如第18圖之結構,再進行烘烤步驟以平滑傾 斜狀堆®結構,接著利用微影方式,製造出接觸窗開口挪。隨 以例如金屬濺鍍方式塗佈一層反射金屬層23(),即完成本發 明的多角度傾斜狀反射板242、244與246之製作。另外,可^ 2行一蝕刻步驟,使形成反射金屬層斷路開口 234,再進行晝素 義口為這些後續步驟為此技藝者所熟知,故此處不再贅述: —上述步驟中,具炫融特性的有機層228可為具炫融特性的保 4層’進行烘烤與爛步驟後,塗佈反射金屬層以製造傾斜狀反 射板結構;或_保護層上塗佈魏融特性的有機轨層,钱刻 20 1292066 二^觸㉟後’不將此有機光阻層去除,而是直接進行烘烤步驟以 平β化,再輯簡金屬以製造傾斜歧射板結構。 另外,上述步驟中,塗佈具熔融特性的有機層,目的在利用 ^機層棋烤後炼融,使不同角度傾斜狀反射板M2、244與⑽ 具有較平滑的表面,關光線反射。此烘烤步驟飾難觸窗步 驟可相互對調,本發明不限於此。 、值彳于/主思的疋’本發明兩薄膜電晶體間不限於只具有三個傾 斜狀堆疊結構,更可依照實際製程與需求,在兩_電晶體元件 間’利用製造薄膜電晶體所需的沉積層,製作一或多個具有不同 门度/、X度的傾斜狀堆豐結構。另外本發明三種不同角度傾斜狀 反射板242、244與246之傾斜狀堆疊結構也僅為舉例,本發 明不限於此。 本發明的優點在於提供多角度傾斜狀反射板結構,此多角度 傾斜狀反射板具衫關斜歧、寬度與高度,使反射光線偏向 垂直法線陳度;fli],翻反射強度的錄化;並有機層的 熔融特性,❹肖度簡歧射板具有精表面,使反射光之強 度分散且均…如此,可取代f知單—肖賴斜狀反射板與擴散 板結構,以製造較佳的液晶顯示器元件。另外,本發明亦提供此 -多角度傾斜狀反射板的製造方法,可在—般液晶顯示器製造薄 21 1292066 ' 、,體的製私中,定義多角度傾斜狀反射板的傾斜狀堆疊結 ’並利用製造薄膜電晶體元件結構,如閘極層、共通層、絕緣 ^ 層N石夕層、金屬層、源極層與汲極層等製程,同步 •曰㈣1度傾斜狀反射板的傾斜狀結構,如此不僅與習知薄膜 之人g ^⑥相4亦達到簡化步驟與時_功效。如熟悉此技術 用以限〜i解❾以上所述僅為本發明之較佳實施例而已,並非 ; 圍内。 a乜娜,均應包含在下述之申請專刑範 【主要元件符號說明】 3〇垂直法線 32入射光線 34反射光線 36基材 38反射板 40垂直法線 42入射光線 44反射光線 46基材 48反射板 50入射光線 52反射先線 54基材 56鏡面反射板 58液晶層 60透明導電膜 62可透光基材 64擴散板 66位相差板 68偏光板 70入射光線 72反射光線 22 1292066 74基材 76單一角度傾斜狀反射板 78液晶層 80透明導電膜 82可透光基材 84擴散板 86位相差板 8 8偏光板 90入射光線 92反射光線 94基材 96多角度傾斜狀反射板 98液晶層 100透明導電膜 102彩色濾光器 103基材 104位相差板 106偏光板 110光罩 112反射板之傾斜狀結構 200基材 202閘極層 204閘極層 206閘極層 208閘極層 210絕緣層 212非晶矽層 213 N+矽層 214非晶矽層 214a非晶矽層 215 N+矽層 216非晶矽層 216a非晶石夕層 217 N+矽層 218非晶矽層 218a非晶矽層 219N+矽層 220金屬層 222金屬層 224金屬層 226蝕刻區 228有機層 230反射金屬層 232接觸窗開口 23 1292066 234反射金屬層斷路開口 240薄膜電晶體元件 242傾斜狀結構 244傾斜狀結構 246傾斜狀結構 曲線A係為習知反射強度與反射角度函數曲線 曲線B係為習知反射強度與反射角度函數曲線 曲線C係為習知反射強度與反射角度函數曲線 曲線D係為反射強度與反射角度函數曲線 曲線E係為反射強度與反射角度函數曲線 曲線F係為習知反射強度與反射角度函數曲線 曲線G係為習知反射強度與反射角度函數曲線 曲線Η係為習知反射強度與反射角度函數曲線 曲線I係為本發明反射強度與反射角度函數曲線 曲線J係為本發明反射強度與反射角度函數曲線 24

Claims (1)

1292066 十、申請專利範圍: 心 卜> 1· 一種多角度傾斜狀反射板之製邊牙落, 提供一基材; 形成-薄膜電晶體,且同步形成複數個非對稱之傾斜狀堆疊 結構於該基材上,其中該些傾斜狀堆疊結構具有兩_上相里之 傾斜角度、結構高度與結構底邊寬度,峨㈣斜狀堆疊結構更 ,括複數個次堆#層,且該些次堆疊層至少具有兩種以上之相異 寬度; 塗佈一有機層於該薄膜電晶體與該些傾斜狀堆疊結構上; 進行一烘烤步驟以平滑化該有機層;以及 第一 〜外金,層在該有機看上·其中該些傾斜角度係指玆 金屬層之上表面與該基材之上表面之夾角。 方1 2法7請專纖圍第1項所述之多肢傾斜狀反射板之製造 /、中該些次堆疊層係選自於一絕緣層、一閘極層、一非晶 梦層、一 1U+ a 曰、一弟二金屬層所組成之一族群及其任意組合。 25 1 3· *申請專利範圍® 1項所述之多角度傾斜狀反射板之製 去其中該些次堆疊層更包括選自於一閘極線、一丘通線、 2 一絕緣層、一韭曰p . 非日日矽層、一 Nt矽層、一第二金屬層、一源極層、 3 一汲極層、—仅雄 曰 乐遷層、與一有機層所組成之一族群及其任意組合。 法,4复=專财請朗帛1項^肢傾斜岐祕之製造方 一中該些傾斜角度可為〇度至10度。 數個非對彳種驗液日日顯不狀傾斜狀反射板結構,至少包括複 二狀堆疊結構、—有機層、與—第—金屬層,其 高度叫:二構至少具有兩種以上相異之傾斜角度、結構 晶/、= 而該些傾斜狀堆疊結構更包括複數個次堆 宜層’且該些次堆疊層至少具有兩種以上之相異寬度。_ L如專财請範圍第5項所述之液晶顯示器之反射板結 ’其中該些傾斜狀堆疊結構係與—薄膜電晶體同步形成。 槿專利申請第5項所述之液晶顯示器之反射板結 構’其中該些傾斜角度可為0度至10度。 甘#申睛專利範圍第5項所述之液晶顯示器之反射板結 =,其中該些次堆疊層係選自於一絕緣層、—閉極層、一非晶石夕 曰、-N梦層、-第二金屬層所組成之—族群及其任意組合。 共通層 源極層 絕 汲 9· #申請專利_第5項所狀μ度傾斜狀反射板結 ,其中戎些次堆疊層更包括選自於一閘極層、 緣層、-非晶石夕層、-夕層、—第二金屬層、 26 1292066 極層、一保護層與一有機層所組成之一族群及其任意組合。 ιο· —種液晶顯示器結構,至少包括: 一第一基材; —-反射板位㈣第-基材上,其巾該反射板具錢數個非野 稱之傾斜狀堆疊結構,而該些傾斜狀堆疊結構至少具有兩種以上 之傾斜角度、結構⑤度與結構錢寬度,而該些傾斜狀雄疊 結構更包括複數個次堆疊層,且該些次堆疊層至少具有兩種^ <相異寬度; —液晶層位於該反射板上; 料所構基材位於該液晶層上,其中該第二基材係由—透明材 —位相差板位於該彩色濾光器上;以及 一偏光板位於該位相差板上。 11·如專利申請範圍第1〇 頻钭角度可為〇度至10度。 項之液晶顯示器結構,其中該些 兮2·‘如申%專補圍第1G項所述之液晶顯示H結構,並中 :::欠堆疊層係選自於-絕緣層^ 金屬層馳叙—鱗及其任纽合。 27 1292066 13.如申請專利範圍第10項所述之液晶顯示器結構,其中該 些次堆疊層更包括選自於一閘極線、一共通線、一絕緣層、一非 晶砍層、一 N+砍層、一金屬層、一源極層、一没極層、一保護層 與一有機層所組成之一族群及其任意組合。 28 1292066 十一、圖式: ^ 1ft 17
29
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