TWI281538B - Gas leak detecting apparatus - Google Patents

Description

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五、發明說明（1) (一）、【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種氣體洩漏偵測裝置，尤其是用於 測一氣動元件是否漏氣之氣體洩漏偵測裝置。 、、 (二）、【先前技術】 在半導體製程中，常常會於真空腔室（Vacuum Chamber)中，進行沈積以及濺鍍等等製程。為了確保真处 腔室内外完全隔絕，並且避免污染真空腔室内之環境^ = 度或是真空度被破壞，製程機台常會使用氣動式之=:你 來協助進行基板之傳送。 ’ 如圖1所示，以濺鍍機台（Sputter)之氣動式旋轉式 臂（Pneumatic Sw1Vel Arm) 1〇為例，其係為設置於1介 腔室内之一氣動式元件。旋轉式手臂丨〇之中央部份，'係^ 有-氣體入口 111及一氣體出口 112。藉由外部空氣壓力： 控制，使得兩側的蛇簧管丨2能分別伸張及收縮，並 端之基板承載處13得以分別夾持基板，以傳送基 鍍製程。蛇簧管12係蛇簀fl2伸張時，旋 3 管12縮回後，利用一馬達工乳屋力使蛇簧 w m并」 達使疋轉式手臂1 0進行旋轉，使 兩鈿基板承載處1 3之位置進行交換。一得使 基板送至濺鑛腔室，以進行濺鍍製程；另未錢鍍之 濺鍍好之基板移出濺鍍腔室，以 方面，則是將 然而，旋轉式手臂1〇之蛇筈管12經：鍍之基板。 難免會有破損。蛇簧管12 一旦、：：長日守間操作後， 、後 原本存於蛇簧管1 2

1281538 五、發明說明（2) 内之空氣，就 真空度，進而 而等到在生產 往往要花費相 式手臂1 0，因 本 ° 為了檢測 式手臂整個放 蛇簧管伸張收 氣泡，來判斷 氣現象不明顯 識，甚至會忽 有鍍於上 以解決習知氣 偵測裝置，。 ’進而破壞了腔室之 ’影響產品之品質。 臂10有漏氣現象時， 新組I一個新的旋轉 也增加了生產的成 習知的技術是將旋轉 手臂中通入空氣，使 因氣體漏出而產生之 但是’當蛇簀管之漏 相當小，肉眼不易辨 現象。 因於此，亟思一種可 等問題之「氣體洩漏 會進入濺鍍之真空腔室 使得濺鍍製程遭受污染 製程線上察覺旋轉式手 當長的時間來拆卸及重 此浪費了許多的時間， 旋轉式手臂是否漏氣， 置於水中，並於旋轉式 縮。以肉眼觀察是否有 ，轉式手臂是否漏氣。 蚪，所產生之氣泡則會 略掉而以為沒有漏氣的 述問題，本案發明人爰 動式元件漏氣判斷不易 ~ 、【發明内容】 G Η α 、 有-模仿製程真種氣體洩漏偵測裒置，Α係呈 :呈機台之前，…;室，讓待檢測物在裝設於製 有體發:使得= = = : = 表疋，為達上述目的， 置’用以偵測—待檢測物二發明之氣體洩漏偵測裝 漏氣，氣體洩漏偵測裝置係 發明說明（3) 包含-偵測室、一固定板、—氣體轉接頭、 2：及一抽真空單元。其測 測早 覆蓋開D，使偵測室及固定板形成―；閉！；：固 =頭係穿設於固定才反，氣體轉接頭 ：：於氣 測室連結，·抽真空單元係；1;;連；檢測單元係與偵 待f 所述，本發明之氣體洩漏偵測裝置俜用以#、ί 是否漏氣。與習知技術相比，本發 偵Μ置係於模擬成製程直 ：之軋體洩漏 測’讓待檢測物於偵洌室；：月:至之偵測至中進行壓力偵 氣。在實施例中氣，以測定待檢測物是否漏 習知技術用肉眼觀ί==ΐ:ί壓力變 更精準，更有钕 T、f τ疋企有軋泡產生，爽捏 :上即進行是否漏氣的债測在：：：：：=期之保養 ;程：二則物均沒有漏氣的問胃。如此- Ϊ裂：製程機 f之良率’進而降低生產的成本。 末’即可增進 實施方式】 (四 體相關圖式’說明依本發明較佳實施例之_ 21、- “ ：，2 ’ 11體洩漏偵測裝置20係包含 以及— Ξ::22、一氣體轉接頭23、-壓力 夂抽真空單元25。 &力檢測單元24、 本發明之氣體洩漏偵測裝置2〇 係用以偵測—待檢須 1281538

五、發明說明（4) 斗勿 Η 不、 中疋待H而待檢測物可為一氣動式元件。本實施例 、 物係以應用於濺鍍機台中之一旋轉女丰辟。、 h m明本發明氣體泡漏彳貞測裝置20之較佳i施例。6為 91 . 所不，本實施例中，偵測室2 1係具有一開^ 成一穷固閉定^2係覆蓋開口&，使偵測室21及固定板22形 測室ϋ 模擬一真空腔室。而固定板22外露於伯 上之夂2: 至少設有一把手221。設置於固定板22、 把手^21，係方便於搬運固定板22，使其覆蓋開口 。固定板22覆蓋開口 211後，係可利用複數螺絲2 22將 固定板22與偵測室21鎖合住，以形成一密閉空間。 請參考圖4，氣體轉接頭23係穿設於固定板22，而 體轉接頭23與固定板22可以是一體成型，也可以是螺合於 固定板22。氣體轉接頭23之一端係與旋轉式手臂26連=，' 而連接的方式，可利用複數螺絲231將氣體轉接頭23之一 端鎖合於旋轉式手臂2 6上。故，待固定板22與偵測室2 1固 疋後’旋轉式手臂2 6即容置於偵測室2 1内（如圖2所示）。 如圖4所示，氣體轉接頭23之另一端更具有一氣體進 入口 232及一氣體輸出口 233。氣體進入口 232係用以輸入 氣體進入旋轉式手臂26，使得旋轉式手臂26之蛇簀管261 開始舒展；而氣體輸出口 2 3 3是讓氣體得以由旋轉式手臂 2 6輸出，而使得蛇簧管2 6 1收縮。 如圖2所示，壓力檢測單元24係與偵測室2 1連結。本 實施例中’壓力檢測單元24係可為一壓力錶，用以檢測偵 測室2 1内的壓力。而壓力檢測單元24更可具有一顯示器

第10頁 1281538 發明說明（5) 241 ’以顯示壓 口口 人員觀看。當r ^測單元24所檢測之壓力值，方便操作 始進行壓力。> :轉式手臂2 6容置於偵測室2 1内時，即可開 〜檢測。 如圖2所示， ⑽ 空單元2 5係勹人由真空單元2 5係與偵測室2 1連結。抽真 252，抽高真匕^一抽低真空幫浦251及一抽高真空幫浦 浦251係與抽:二浦2 5 2係與偵測室21連接，而抽低真空幫 偵測室21内B:，'空幫浦252連接。當旋轉式手臂26容置於 内之壓力降^，係先開啟抽低真空幫浦251，將密閉空間

252，並關閉^由之足的程度後，再開啟抽高真空幫浦 做宓閉*門 …、空幫浦2 5 1。開啟抽高真空幫浦2 5 2可 更：含力下降至幾乎真空的狀態。抽真空單元25 251及抽高直二空制器2 5 3係用以控制抽低真空幫浦 、—、―、二絮浦2 5 2之開啟及關閉。 式手則試時，請參照圖2及圖3，首先，係將旋轉 臂26門接測物）與氣體轉接頭23連接，使得旋轉式手 於固定板22上’排出蛇簧管261 體，以使蛇黃管261收縮。 刃乱

以把手2 2 1作為施力點將旋轉臂2 6 211處進入偵測室21，並進行鎖合固定==測=口 使旋轉式手臂26容置於偵測室21内。扳22及㈣至21， 接著，再利用控制器25 3控制抽真空單元25之運 先開啟抽低真空幫浦251，將密閉空間内之壓力降低 定的程度後’ #開啟抽高真空幫浦 ！二 定板22所形成之密閉空間之壓力幾乎為真^貞狀^，21^固力

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五、發明 值保持忮定 將氣體 發進入蛇簧 ，氣體則會 旰鬲的變化 搞之不良品 f2 6之蛇簣 ^鬲。經過 線，則可確 程之良率。 綜上所 待檢測物是 偵測裝置係 測’讓待檢 氣。在實施 化，故較習 更精準，更 時，即進行 台上之待檢 製程之良率 以上所 本發明之精 應包含於後 時’則可開始進行檢測。 ^9fil ^ a」輸入力疋轉式手臂26，使得氣 占'脹。此時’若蛇簧管261上有破損， 進二：：室21，壓力檢測單元24則會檢知壓力 :Γ:ΐ即:!ΐ待檢測物旋轉式手臂26係為破 其2^彳力右L。反之，若待檢測物旋轉式手 ::/破損’則不會造成偵測室21之壓力 # /絲4 1 t將试吊之旋轉式手臂26上 轉式手臂26不會漏氣，故不會影響滅鍍製 U發？之氣體洩漏偵測裝置係用以偵測- :::成”；技術相比，本發明之氣㈣漏 測物於偵測室中充奇偵測至中進行壓力偵 例中，#用m ^充 以測定待檢測物是否漏 , ’、&力錶來檢測偵測室中之壓+ 知技術用肉眼觀察水中 &力欠 有效率。因士 + &τ疋否有軋泡產生，來得 ，在待檢測物進行定 疋否漏氣的偵測，則可確保每個安;ϋ 測：均沒有漏氣的問題。如此一；衣：；:； ，進而降低生產的成本。 ρ了^進 述僅為舉例性，而非 神血範奋，ft # #為限制性者。任何未脫離 :;由：奎對其進行之等效修改或變更，均 附之申請專利範圍中。 义文

第12頁 1281538 圖式簡單說明 (五）、【圖式簡單說明】 圖1係習知氣動式旋轉式手臂之一示意圖； 圖2係本發明之氣體洩漏偵測裝置之一示意圖； 圖3係本發明之氣體洩漏偵測裝置之另一示意圖；以 及 圖4係本發明之氣體洩漏偵測裝置之氣體轉接頭及固 定板之連接示意圖。 元件符號說明： 10 旋轉式手臂 111 氣體入口 112 氣體出口 12 蛇簧管 13 基板承載處 14 馬達 20 氣體洩漏偵測裝置 21 偵測室 211 開口 22 固定板 221 把手 222 螺絲 23 氣體轉接頭 231 螺絲 232 氣體進入口

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Claims (1)

1281538 安 修正 ~----9311188^ 六、申請專利範圍 1 尸 種氣體沒漏偵測裝置，用以偵測一待檢測物是否漏 i系包松測物係為一氣動式元件，該氣體洩漏偵測裝置 室’其係具有一開口 ； 一固定板，其係覆蓋該開口，使該偵測室及該固定板形成 一密閉空間； 一 ^體轉接頭，其係穿設於該固定板，該氣體轉接頭之一 端係與該待檢測物連接，該待檢測物容置於該偵測室 内； 、J王 » 1力^ ^單7^ ’其係與該偵測室連結；以及 一抽真空單元，其係與該偵測室連結。 兮气動申弋月元專件 1乾圍第1項所述之氣體洩漏偵測裝置，其中 該乳動式兀件係為一旋轉式手臂。 ，、T 3.如申請專利範in筐1馆％、+、 該固定板外露於該二室頁…細測裝置’其中 茨偵劂至之一側，係至少設有一把手。 t氣如體申二7圍第1項所述之氣㈣漏靖置，其中 该耽體轉接碩係以複數螺絲與該待檢測物連接。 5.如申請專利範圍第1項所述之氧舻^ & 該氣體轉接頭之另一端更if ^體洩漏偵測裝置，其中 σ 。 鈿更具有一氣體進入口及一氣體輸出 修正 案號 93111889 六、申請專利範圍 6.如申請專利範圍第1項所述之氣體洩漏偵測裝置，其中 該氣體轉接頭與該固定板係為一體成型。 7. 如申請專利範圍第1項所述之氣體洩漏偵測裝置，其中 _ 該壓力檢測單元更具有一顯示器。 8. 如申請專利範圍第1項所述之氣體洩漏偵測裝置，其中 該抽真空單元係包含一抽低真空幫浦及一抽高真空幫浦， 該抽高真空幫浦係與該偵測室連接，而該抽低真空幫浦係丨· 與該抽高真空幫浦連接。 9.如申請專利範圍第1項所述之氣體洩漏偵測裝置，其中 該抽真空單元更包含一控制器。

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