TWI275788B - Method and apparatus for detecting a defect of an object by a color image of the object - Google Patents

Description

1275788 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關於使用彩色影像檢測檢查對象物之缺陷的 技術。 【先前技術】 在構成電子電路之用之印刷基板設有層間之導通或零 件之插入用之通孔，或印刷基板之切斷或定位用之基板 孑L。在此種印刷基板中，通孔周邊之抗蝕劑厚度之變動很 *大，在對印刷基板攝影所獲得之影像上之色會產生變化。 因此5在利用影像檢查裝置檢查印刷基板時5 —般是從檢 查之對象中，將對印刷基板攝影所獲得之影像中之與孔和 孔之周邊之一定幅度之部分相當之區域除外（從檢查之對 象被除外之區域一般稱為「遮罩區域」）。 [專利文獻1]日本專利第2500961號公報 [專利文獻2]日本專利特開平6-288739號公報 •[專利文獻3]日本專利特開平11-316193號公報 [專利文獻4]日本專利特開2002-259667號公報 但是，當使與孔和孔之周邊之一定幅度之部分相當之區 域一律成為遮罩區域時，會發生不能檢測不存在於通孔而 是存在基板孔之周邊之缺陷。另外一方面，當只有與孔相 當之區域成為遮罩區域時，由於通孔周邊之抗蝕劑厚度之 變動之可容許之色變化，沒有缺陷之印刷基板會被誤辨識 為有缺陷者。亦即，當對印刷基板攝影所獲得彩色影像進 行解析，藉以進行缺陷檢測時，缺陷之有無會有辨識錯誤 5 312XP/發明說明書(補件)/94· 12例12783 8 1275788 之問題。 上述問題不只限於印刷基板之利用影像檢查裝置之檢 查，一般在使用檢查對象物之彩色影像之檢查，均會有共 同之問題。 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 本發明用來解決上述之先前技術之課題，其目的是提高 檢查對象物之缺陷檢測處理之可靠度。 σ (解決問題之手段） =著達成上述目的之至少一部分，本發明之缺陷檢測方 法係使用對含㈣孔之檢㈣象物攝影賴得之彩色与 像’用來檢測上述檢查對象物之缺陷者，其特徵在於Γ ，丰（Γ)取得上述彩色影像中與上述通孔相當之特定區域 :^驟’⑻取传上述特定區域之周圍之鄰接區域的步 1(c)設定包含上述特定區域之遮罩 狀上述彩色影像中之上述遮罩區域以外之區域’進= =之缺陷檢測處理的步驟；其中，上述遮罩區域之曰 照上述鄰接區域之色而變更。 一 又 之：:此:ί構成時’因為依照鄰接區域之色變更遮罩區域 产。…以可以提高檢查對象物之缺陷檢測處理之可靠 之具有上述特定區域、和包含上述特定區域 處理區域;上述方法亦可以更具傷·心 '"处理區域’進行與上述指定之缺陷檢測處理不 3 IMP/發明說明書(補件)/94·12/94ΐ27838 1275788 同之特別缺陷處理的步驟。 依'^此種構成時’可以檢測出現在遮罩區域中之缺陷。 t方法之特彳政是更具備：（^)在指定之色空間内，設 定表示上述特別處理區域所取得之色之範圍的實在色： =、和上述實在色外之非實在色範_步驟；上述步 恥（e)曰具備.（el)判定構成上述特別處理區域之各個圖素 之色：屬於上述貫在色範圍和上述非實在色範圍之那一 方’藉以檢測上述特別處㈣域巾之缺陷的步驟。 依照此種料時，可以制滿足缺條件之 域之缺陷。 上述步知⑴亦可以具備：準備上述檢查對象物 標準彩色影像之主影像的㈣；和將包含構成上述主= 中之上述特別處理區域之圖素色之上述指定色空間的一 部分範圍，設定在上述實在色範圍内的步驟。 依照此種構成時，因為可以利用主影像之特別處理區域 Si:?色，設定實在色範圍，所以實在色範圍之設定 上述步驟⑴亦可以包含以上述指^之色空間内之任音、 色作為輸人，輸出表示上述任意色是屬於上述實在色範^ =上述非實在色範圍之那—方之值，藉以製作杳找表 2〇:k:up table)的步驟；和上述步驟⑻具備之步驟包 3有參照上述查找表用來判^上述各圖素之 述實在色範圍和上述非實在色範圍之那—方的步驟萄；上 依照此種構成時，因為特別處理區域中之圖素之色是否 312XP/發明說明書(補件)/94-12/94127838 I275788 屬於貫在色範圍之判斷，可以經由參照查找表進行判定， 所以可以更高速地進行特別處理區域之檢查。 真上述步驟⑻亦可以包含：⑽取得上述特定區域之周 =境界區域的步驟；⑽在上述境界區域之色滿足指定 t件之情料，取得包含上述境界區域且比上述境界區域 之上述4接區域的步驟；和⑽在上述境界區域之色不 2足上述指定條件之情況時，將上述鮮區域之大小設定 成為指定之大小的步驟。 蜱：〜：種才t成0”因為在境界區域之色不能滿足指定之 1卞、之月況日守’依照鄰接區域之色變更遮罩區域之大小， 所以可以減少鄰接區域之影像處理量。 t述指紐歧在上料界區財存在有 素的條件；上述步驟（e)亦可心 中之圖素之色在指定之第2色範圍外之情況時，使上 述遮罩區域比在上述第2色範圍之情況大的步驟。 依照此種構成時’可以更適當地収遮罩區域之大小。 上述檢查對象物亦可以為印刷基板。 =此種構成時，可以提高印刷基板之缺陷檢測處 勹罪度。 另外’本發明可㈣各種態樣實現，例如，其實 利=檢查對象物之缺陷檢測方法和裝置，使用其檢測 之影像檢查方法和裝置，肋實職等之各種方法° ㈣腦程式’記錄有該電腦程式之記錄媒體= 腦程式之在載波内被具體化之資料信號等之能樣。 312XP/發明說明書(補件)/94-12/94127838 8 1275788 【實施方式】 下面根據貫施例用來順序地說明用以貫施本發明之最 佳形態。 A. 第1實施例： B. 第2實施例： C. 變化例 A.第1實施例： 圖1是說明圖，用來表示作為本發明之一實施例之印刷 _基板檢查裝置1〇〇之構造。該印刷基板檢查裝置1〇〇具備 有：光源20，用來照明印刷基板PCB ;攝影部3〇，用來 攝影印刷基板PCB之影像；和電腦40，用來進行裝置全 體之控制。在電腦40連接有外部記憶裝置50用來收納各 種之資料或電腦程式。 電腦40具有作為影像取得210、孔區域取得部220、鄰 接區域取得部230、特別處理區域設定部240、特別處理 春區域檢查部250和遮罩外區域檢查部260。該等之各個部 分之功能之實現是利用電腦40實行被收納在外部記憶裝 置50之電腦程式。 圖2是說明圖，用來表示成為檢查對象物之印刷基板PCB 之樣態。在該印刷基板PCB設有5個之通孔TH1〜TH5，和 印刷基板PCB之切斷所使用之基板孔HL。在印刷基板PCB 之表面包含有：絲網印刷區域RSG，在基板基體上絲網印 刷白色之文字；鍍金區域RGP，被施加鑛金；基板基體區 域RSB，使基板基體露出；基體抗蝕劑區域rbr，在基板 312XP/發明說明書(補件)/94-12/94127838 9 1275788 基體上塗布有抗蝕劑；和圖案抗蝕劑區域RPR，在銅佈線 之圖案上塗布有抗蝕劑。另外，在銅佈線之圖案上塗布有 抗姓劑之區域中，在通孔TH5之周圍成為抗餘劑較薄之薄 抗蝕劑區域RTR。 一般在印刷基板PCB，利用抗蝕劑之塗布步驟會使通孔 之周邊之抗蝕劑之厚度成為不穩定，在每一個通孔使周邊 之抗蝕劑之厚度成為不同。因此，即使是沒有缺陷之印刷 基板PCB，如圖2所示，在通孔之周邊會產生抗飯劑較薄 之區域。因此，通孔周邊之抗姓劑厚度之容許範圍被設定 成為比塗布有抗蝕劑之其他區域寬廣，容許如同薄抗蝕劑 區域RTR之抗蝕劑較薄之區域之存在。另外，薄抗蝕劑區 域RTR，即使在沒有缺陷之印刷基板亦會由於抗蝕劑厚度 之變動，如後面所述地使彩色成為不同。亦即，鄰接通孔 之薄抗蝕劑區域RTR是色之容許範圍比其他之區域寬廣 之區域。 圖3是流程圖，用來表示檢測第1實施例之印刷基板PCB 之缺陷之步驟。在步驟S100，影像取得部210(圖1)從攝 影部30取得印刷基板PCB之彩色影像。 另外，在步驟S100，對於所取得之彩色影像，影像取得 部210依照需要實行平滑化處理（模糊處理）。在平滑化處 理時可以使用中值濾波器、高斯濾波器、移動平均等之各 種之平滑化濾波器。經由進行該平滑化處理，因為可以除 去存在於影像資料内之特異之圖素，可以可以獲得灰塵 (雜訊成分）較少之影像資料。另外，對於預先取得之影 312XP/發明說明書(補件)/94-12/9412783 8 10 1275788 像，在實行步驟S200以後之處理之情況時，在步驟S100， 從外部記憶裝置50(圖1)讀出影像資料。 圖4(a)是說明圖，用來表示對印刷基板PCB(圖2)攝影 到之彩色影像IM之樣態。該彩色影像IM包含有黑色區域 BK、白色區域WH、金色區域GL、茶色區域BR、暗綠色區 域GD和亮綠色區域GB。另外，在本說明書中，該等之影 像區域BK、WH、GL、BR、GD、GB總稱為「色區域」。 在彩色影像IM上，通孔TH1〜TH5和基板孔HL因為是在 ® 基板開孔，所以以黑色區域BK表示。絲網印刷區域RSG， 鍍金區域RGP，基板基體區域RSB分別依照表面材質之 色，以白色區域WH，金色區域GL，茶色區域BR表示。基 體抗蝕劑區域RBR因為是在茶色之基板基體塗布綠色之 抗蝕劑，所以以暗綠色區域GD表示，圖案抗蝕劑區域RPR 因為抗触劑之下成為銅色之銅佈線圖案，所以以免度比基 體抗蝕劑區域RBR高之亮綠色區GB表示。另外，圖案上 鲁之抗蝕劑較薄之薄抗蝕劑區域RTR，因為出現銅佈線之 色，所以以金色區域GL表示。 另外，在攝影實際之印刷基板PCB之彩色影像中，與薄 抗蝕劑區域RTR對應之金色區域GL，和與其周圍之圖案 抗蝕劑區域RPR對應之亮綠色區域GB之境界不能明確地 分辨，但是在圖4(a)中，為著圖示之方便，將該等之金 色區域GL和亮綠色區域GB描繪成分離之不同色區域。

在圖3之步驟S200，孔區域取得部220抽出彩色影像 IM中之黑色區域BK，用來取得表示被設在印刷基板PCB 11 312ΧΡ/發明說明書(補件)/94· 12/9412783 8 1275788 之孔之孔區域。黑色區域BK可以抽出作為表示構成彩色 影像ΙΜ之各個圖素之亮度值小於指定之亮度臨限值之區 域。該黑色區域ΒΚ之抽出所使用之指定之亮度臨限值， 例如，可以經由對亮度值之長條圖解析進行設定。 另外，在本實施例中是根據各個圖素之亮度值進行黑色 區域ΒΚ之抽出，但是黑色區域ΒΚ之抽出亦可以利用其他 之方法進行。黑色區域ΒΚ之抽出之進行亦可以經由將彩 色影像IΜ之區域分割成為包含黑色之預定之多個代表色 ®之區域，從被分割之區域中抽出代表色為黑色之區域。彩 色影像ΙΜ之區域分割之進行，例如，可以經由求得表示 彩色影像ΙΜ之各圖素之色和多個代表色之指定色空間之 距離之距離指標值，將各個圖素分類到距離指標值成為最 小之代表色之區域。該距離指標值，例如，可以利用將 RGB色空間視為3次元歐幾里德（Euclid)空間時之歐幾里 德距離，或在L*a*b空間之色差ΔΕ。另外，彩色影像IM $ 之區域分割方法亦可以使用將各個圖素分類成為多個代 表色之區域分割方法，例如，可以利用上述之專利文獻3 或專利文獻4所揭示之方法進行。 另外，在本實施例中是經由抽出彩色影像IM中之黑色 區域BK用來取得孔區域，但是亦可以利用其他之方法取 得與被設在印刷基板PCB之孔對應之影像區域。例如，可 以取得用以形成通孔或基板孔之設計資料（CAD資料）所含 之孔之位置和大小所構成之孔區域。另外，亦可以從攝影 部30之相反面對被照明之印刷基板PCB進行攝影，將被 12 312XP/發明說明書(補件)/94-12/9412783 8 1275788 攝影到之影像之亮度較高之區域設定在孔區域。 圖4(b)是說明圖，用來表示在步驟S200所取得之孔區 域之配置。如圖4(b)所示，經由從彩色影像IM抽出黑色 區域BK，用來取得與通孔TH1〜TH5對應之影像區域 SR1〜SR5，和與基板孔HL對應之影像區域31^6。以此方式 取得之影像區域SR1〜SR6之各個成為孔區域。 在圖3之步驟S300，鄰接區域取得部230取得與孔區域 SR1〜SR6鄰接之鄰接區域。鄰接區域取得部230進行擴大 ® 處理，使在步驟S200取得之孔區域SR1〜SR6以指定之擴 大幅度（例如，5個圖素）進行擴大。然後，利用擴大處理 被擴大之區域成為鄰接區域。該擴大幅度，除了預先決定 之設定值外，亦可以使用由使用者輸入之指定值，或根據 CAD資料算出之設定值。另外，亦可以在每一個孔區域， 個別地設定擴大幅度。 另外，孔區域之擴大處理假如是利用擴大處理所產生之 φ 區域包含孔區域，所產生之區域可以大於孔區域之處理 時，則可以使用任意之處理。此種處理，例如，在各個圖 素之8個近旁之任一個屬於孔區域之情況時，可以使用將 該圖素設定成屬於孔區域之膨脹處理，或該膨脹處理實行 n(n為1以上之整數）次之η段之膨脹處理。另外，亦可 以使用取得孔區域之外形，使該外形擴大之處理。 圖4(c)是說明圖，用來表示鄰接區域之取得之樣態。鄰 接區域取得部230對孔區域SR1進行擴大處理，用來產生 區域ER1。利用該擴大處理被擴大之區域（區域ER卜區域 13 312ΧΡ/發明說明書(補件)/94-12/94127838 1275788 SR1)成為孔區域SR1之鄰接區域NRi。同樣地，從利用孔 區域SR2〜SR6之擴大處理所產生之區域ER2〜ER6中除去孔 區域SR2〜SR6，所產生之區冊2〜NR6，亦即，利用擴大處 理擴大之區域冊2〜NR6成為孔區域SR2〜SR6之鄰接區域。 在圖3之步驟S400，特別處理區域設定部240依照各個 鄰接區域所含之圖素之色，決定是否設定用以進行特別之 缺陷檢測處理用之特別處理區域。實質上，當在某一孔區 鲁域之鄰接區域有指定色（在本實施例中為金色）之圖素存 在之情況時，在該孔區域之周圍設定特別處理區域。 圖5是說明圖，用來表示特別處理區域之設定之樣態。 圖5(a)表示對印刷基板pcB(圖2)攝影所獲得之彩色影像 IM。另外，圖5(a)和圖4(a)相同。圖5(b)表示鄰接區域 NR1〜NR6之配置，和該等之區域nri〜鼎6所屬之色區域。 另外’圖5(c)表示在步驟S400被設定之特別處理區域 PR2、PR3、PR5之配置。另外，在圖5(b)和圖5(c)描繪 _之虛線表示圖5(a)所示之色區域之境界。 如圖5(b)所示，孔區域SR1之鄰接區域NR1因為被包含 在暗綠色區域GD，所以在鄰接區域NR1未存在有金色之 圖素。因此，在孔區域SR1未設定有特別處理區域。另外 一方面，孔區域SR2之鄰接區域NR2被包含在金色區域 GL。因此，在鄰接區域NR2存在有金色之圖素，在孔區域 SR2設定有特別處理區域pR2(圖5(c))。同樣地，在鄰接 區域冊3、NR5存在有金色之圖素，在孔區域SR3、SR5設 定有特別處理區域PR3、PR5。另外一方面，在鄰接區域 312XP/發明說明書(補件)/94-12/94127838 14 1275788 NR4、NR6因為未存在有金色之圖素，所以在孔區SR4、sR6 未設定有特別處理區域。 特別處理區域，與鄰接區域同樣地，利用孔區域之擴大 處理被設定。在圖5(c)之實例中，特別處理區域設定部 240進行孔區域SR2之擴大處理。然後，利用擴大處理擴 大之區域PR2被設定在與孔區域sr2對應之特別處理區 域。對於其他之孔區域SR3、SR5亦同。 另外，在圖5(c)中，特別處理區域PR2、PR3、PR5被描 緣成大於鄰接區域NR2、NR3、NR5，但是特別處理區域和 鄰接區域之大小關係亦可以任意設定。 在圖3之步驟S500，特別處理區域檢查部250檢測各個 特別處理區域中之缺陷。實質上，判斷特別處理區域中之 圖素之色疋否被包含在色之容許範圍。然後，當特別處理 區域中之所有之圖素之色在容許範圍内之情況時，判斷為 在该判定處理d域沒有缺陷，當在制處理區域中有容許 範圍外之色之圖素之情況時，判斷為在該特別處理區域具 有缺陷。 圖6疋"兒月圖，用來表示在特別處理區域内沒有缺陷之 P刷基板PCB之缺陷檢測處理之樣態。圖6(a)表示印刷 基板PCB之特別處理區域之樣態。另外，圖6⑻表示印 刷基板PCB之特別處理區域pR5中之各個圖素之色分布。 另外在圖6(b)為著圖示之方便，描繪黑圓之點用來表 示在由R成分和B成分之2個色成分構成之2次元色空間 (以下稱為「RB色空間」之各個圖素之色。

M2XP/發明說明書(補件)/94-12/94127838 1C 1275788 如圖6(a)所示，在印刷基板PCB，與2個孔區域SR2、 SR3對應之2個特別處理區域PR2、PR3均被包含在金色 區域GL。另外一方面，與孔區域SR5對應之特別處理區 域PR5，跨越在金色區域GL和亮綠色區域GB之2個色區 域。如上述之方式，該等之2個色區域GL、GB之境界， 因為在攝影實際之印刷基板PCB所獲得之彩色影像，並不 明確，所以特別處理區域PR5中之圖素之色，從金色連續 變化至亮綠色。因此，表示特別處理區域PR5中之圖素之 ® 色之點，如圖6(b)所示，分布在跨越表示綠色之範圍和 表示金色之範圍之RB色空間内之一部分之範圍XR(以下 稱為「實在色範圍XR」）。 如圖6所示，在特別處理區域PR5中之所有之圖素之 色，屬於實在色範圍XR之情況時，特別處理區域檢查部 250判斷為在特別處理區域PR5沒有缺陷。對於其他之特 別處理區域PR2、PR3，依照特別處理區域中之圖素之色 $ 是否被包含在設定於每一個特別處理區域之實在色範 圍，用來判斷缺陷之有無。 另外，在本實施例中，特別處理區域PR5中之各個圖素 之色是否屬於實在色範圍XR之判斷，可以經由參照在各 個基板之檢查前預先產生之被保存在外部記憶裝置50之 查找表LUT進行判斷。此處之查找表1^了是在輸入表示 RGB色空間内之個別色RGB值（亦稱為「輸入點」）時，輸 出表示個別色是否屬於實在色範圍XR之值（例如，在屬於 實在色範圍XR之情況時為1，不屬於之情況時為0)所構 16 312XP/發明說明書(補件)/94-12/9412783 8 1275788 成之表。 色使用對沒有缺陷之印刷基板攝影所獲之彩 素:色，以下I象，據主影像之特別處理區域中之各個圖 π' 1转為「實在色」）產生。實質上，查找表

旦Μ象之之輸人點輸出G之查找表，經由將與該主 :特別處理區域之各_素之色對應之輸出值變更 插而產生。依照此種方式’經由重寫查找表之輸出 '剧出值為1之色之範圍成為實在色範圍XR。另外， t = LUT之產生之後，對於查找表道之各個輸入 ’’’、田輸入點之8個近旁之輸出值之任-個為1之情況 時’最好進行將與輸入點對應之輸出值變更成為i之膨脹 處理。經由進行該膨脹處理，對於存在於沒有缺陷之印刷 土板PCB之色，可以使出現在主影像之特別處理區域之 色’成為被包含在實在色範圍JR。 ^外，本實施例之查找表LUT是輸出表示個別色是否屬 於貫在色|&圍之值(實在色旗標），但是查找表之輸出值亦 可以是忐夠判定個別色是否屬於實在色範圍之值。例如， 作為查找表之輸出值可以是表示個別色屬於色空間中之 那一個色之區域之值（色號碼），和由實在色旗標產生之 值。 另外，在本實施例中是參照查找表LUT用來判斷特別處 理區域中之圖素之色是否被包含在容許之色之範圍，但是 亦可以使用其他之方法。例如，亦可以對RGB各個成分設 定上限值和下限值，當特別處理區域中之圖素之RGB各個 312XP/發明說明書(補件)/94] 2/94127838 17 1275788 成分值分別在上限值和下

卜限值之間之情況時，判斷為該 素之色在容許之色之範圍。 圖7疋口兄月目帛來表示在特別處理區域内具有 印刷基板PCB之缺陷檢測處理之樣態。與圖6同樣地，圖 7(a)表不印刷基板PCB之特別處理區域之樣態，圖7 表示印刷基板PCB之特別處理區域pR5中之各個圖 公右。 、巴 在目7(a)所示之實例中，在特別處理區域pR5存在有表 不2個缺陷之2個影像區域贿、DF2(亦稱為「缺陷影像 區域」）。該等之缺陷影像區域DF1、DF2分別如圖7(匕） 之黑三角形和黑四角形所示，具有與出現在沒有缺陷之印 刷基板PCB之特別處理區域烈5之色不同之色。依照此種 方式，在特別處理區域内具有缺陷之印刷基板PCB，特別 處理區域PR5除了屬於以黑圓表示之實在色範圍XR之色 之圖素外，亦具有不屬於以黑三角形和黑四角形表示之實 鲁在色範圍XR之色之圖素。因此，特別處理區域檢查部25〇 判斷為在特別處理區域PRg有缺陷。 在圖3之步驟S600，遮罩外區域檢查部26〇檢測來自彩 色影像IM之特別處理區域和孔區域（該等之區域合稱為 「遮罩區域」）以外之影像區域（遮罩外區域）中之缺陷。 實質上，例如，對遮罩外區域進行區域分割，根據該區域 分割結果之代表色區域之位置或形狀，判斷印刷基板PCB 之缺陷之有無。遮罩外區域因為從彩色影像IΜ中除去色 之容許範圍變廣之特別處理區域，所以利用區域分割可以 312ΧΡ/發明說明書(補件)/94-12/94127838 18 1275788 進行高可靠度之缺陷檢測。 圖8是說明圖，用來表示對沒有缺陷之印刷基板PCB進 行缺陷處理檢測處理之結果。在未設定有特別處理區域之 比較例中，如圖8(a)所示，利用區域分割使薄抗#劑區 域RTR之色成為金色區域GL。因此，塗布有本來為綠色 之抗姓劑之區域被判斷成為金色，薄抗融劑區域RTR被檢 測為缺陷。另外一方面，在本實施例中，因為對薄抗蝕劑 區域RTR進行特別之缺陷檢測處理，所以薄抗蝕劑區域 ® RTR未被檢測為缺陷。 依照此種方式，在本實施例中，因為在孔區域之周圍設 置鄰接區域，當在鄰接區域包含特定之色之情況時，使包 含孔區域之遮罩區域擴大，所以將鄰接孔區域之薄抗蝕劑 區域RTR誤辨識為缺陷之可能性可以降低。另外，因為在 孔區域之周圍設置特別處理區域，檢測特別處理區域之缺 陷，所以可以檢測存在於孔區域之周圍之缺陷。 鲁 B·第2實施例·· 圖9是流程圖，用來表示第2實施例之檢測印刷基板PCB 之缺陷之步驟。圖9之流程圖其與圖3所示之流程圖之不 同部分是在步驟S200、S300之間追加2個之步驟S310、 S320。其他之部分與圖3相同。 在步驟S310，鄰接區域取得部230(圖1)利用孔區域之 擴大處理取得境界區域。然後，在步驟S320，依照境界 區域之色，決定是否需要使用有鄰接區域之特別處理區域 之設定判定。 19 312XP/發明說明書(補件)/94_12/94!27838 1275788 圖ίο是說明圖，用來表示使用有境界區域之鄰接區域 之設定之樣態。圖10(a)表示在2個孔區域SRI、SR3之 附近之色區域之配置。鄰接區域取得部230(圖1)利用孔 區域SRI、SR3之擴大處理取得境界區域TR卜TR3。另外， 在境界區域TR1、TR3中存在有指定之色（例如，金色）之 圖素之情況時^判斷為需要特別處理區域之設定，在孔區 域SRI、SR3之周圍設定鄰接區域。另外，對於其他之孔 區域亦進行同樣之處理。 ® 圖10(b)表示使用境界區域TR1、TR3設定之鄰接區域之 配置。在圖10之實例中，因為在境界區域TR1(被包含在 暗綠色區域GD)未存在有金色之圖素，所以在孔區域SR1 未設定有鄰接區域。另外一方面，因為在境界區域TR3(被 包含在金色區域GL)存在有金色之圖素，所以在孔區域 SR3設定有鄰接區域NR3。另外，如圖10(b)所示，鄰接 區域NR3被設定成為大於境界區域TR3。 φ 依照此種方式，在第2實施例中，依照境界區域之色用 來決定特別處理區域之設定判定是否需要，只對需要特別 處理區域之設定判定之孔區域，決定使用鄰接區域之特別 處理區域之設定之有無，可以用來減少鄰接區域之影像處 理量。 C.變化例： 另外，本發明並不只限於上述實施例或實施形態，在不 脫離其主旨之範圍内，可以以各種態樣實施，例如，可以 有下列方式之變化。 20 312XP/發明說明書(補件)/94-12/94127838 !275788

Cl ·變化例】： 區域之周園設定特別處理 圍設定特別二出:：外之特定之區域，在其周 域之分割所產生之特定之心 等。另外，特定巴νΓ 特定之區域之位置或形狀 (例如，黑=取好選擇在彩_中具 C2·變化例2 ·· :上述各個實施例中是依照在鄰接區域是否含有 =之圖素’用來決定是否需要特別處理區域，但是一二 =依照鄰域之色时決定是否需要特別處理區域。ί 貝上’當指定之色空間内之鄰接區域中、 布範圍外之情況時，可以設以區 域。另外，當接鄰區域跨越在指定之多個代表色區域中之 2個以上之代表色區域之情況時’亦可以設定特別處理區 域。在此處之「代表色區域」是指以使用多個代表色之區 域分割㈣色影像產生之與各域表色對應之影像上之 區域。在此種情況’鄰接區域是否跨越在2個以上之代表 色區域之判斷是預先進行彩色影像之區域分割，判斷鄰接 區域所含之代表色區域之數目是否為2以上。 C3.變化例3 : 在上述各個實施例中是在圖3之步驟S5〇〇，特別處理區 域檢查部250(圖1)進行特別處理區域中之缺陷檢測處 312XP/發明說明書(補件)/94-12/94127838 21 l275788 理’但疋亦可以將特別處理區域中之缺陷檢測處理省略。 亦即，合併特別處理區域和孔區域之遮罩區域未被缺陷檢 則處理’而疋遮罩區域外之區域被缺陷檢測處理。 C4·變化例4 : 在上述各個貫施例中是依照在每一個孔區域決定之是 否需要特別處理區域用來設定遮罩區域（二孔區域+特別 處理區域），但是一般亦可以依照鄰接區域之色變化遮罩 籲區域之大小。在此種情況，最好是當在鄰接區域包含有特 、囷素之^況日^，遮罩區域被設定成較大，當在鄰接區 域未含有特定之色之圖素之情況時，被設定成較小。 C5·變化例5·· 、在上f各個實施例中是使用孔區域設定特別處理區 域，但疋亦可以與孔區域無關地，將能夠滿足指定之條件 之區域設定在特別處理顧。能夠滿足指定之條件之區 域，例如，包含有如同印刷基板pcB鍍金區域RGp之預先 •決定之位置或形狀之區域，或具有孔區域之周圍之指定之 色之區域。 C6·變化例6 : 本發明之特別處理區域之設定和特別處理區域中之缺 陷之檢測，不只限於印刷基板，亦可適用在任意之物體之 缺陷之檢測’該物體具有對檢查對象物攝影所獲得之彩色 影像上之色之容許範圍互異之影像區域。例如，亦可^適 用在對形成有圖案之半導體晶圓，或具有複雜之形狀之機 械零件等之檢查對象物進行攝影，使用攝影到之彩色影像 312XP/發明說明書(補件)/94· 12/9412783 8 22 1275788 進行該等之檢查對象物之缺陷檢測。 【圖式簡單說明】 圖1是說明圖，用來表示本發明之一實施例之印刷基板 檢查裝置100之構造。 圖2是說明圖，用來表示印刷基板PCB之表面之狀態。 圖3是流程圖，用來表示第1實施例之印刷基板PCB之 缺陷檢測處理之步驟。 圖4(a)〜（c)是說明圖，用來表示鄰接區域之取得之樣 態。 圖5(a)〜（c)是纟兄明圖，用來表不特別處理區域之設定之 樣態。 圖6(a)、（b)是說明圖，用來表示在特別處理區域内沒 有缺陷之印刷基板之缺陷檢測處理之樣態。 圖7(a)、（b)是說明圖，用來表示在特別處理區域内有 缺陷之印刷基板之缺陷檢測處理之樣態。 圖8(a)、（b)是纟兄明圖5用來表不對沒有缺陷之印刷基 板PCB進行缺陷處理檢測處理之結果。 圖9是流程圖，用來表示第2實施例之印刷基板PCB之 缺陷檢測處理之步驟。 圖10(a)、（b)是說明圖，用來表示使用有境界區域之鄰 接區域之設定之樣態。 【主要元件符號說明】 20 光源 30 攝影部 23 312XP/發明說明書(補件)/94-12/9412783 8 1275788 40 電腦 50 外部記憶裝置 100 印刷基板檢查裝置 210 影像取得部 220 孔區域取得部 230 鄰接區域取得部 240 特別處理區域設定部 250 特別處理區域檢查部

260 遮罩外區域檢查部 PCB 印刷基板 24 312XP/發明說明書(補件)/94-12/9412783 8

Claims (1)

1275788 十、申請專利範圍·· 攝1影係使用對含有通孔之檢查對象物 者，其特1=具Γ來㈣上述檢查對象物之缺陷 步=取得上述彩色轉中與上述通孔相t之特定區域的 ===圍之鄰接區域的步驟； ⑷對於上述彩和 進行指定之缺陪檢测處理的步驟/其中外之區域’ 上述：罩區域之大小依照上述鄰接區域之色而變更。 如申請專利_第1項之缺陷檢測方法，其中 上述遮罩區域具有上述敎區域 ^ 之周圍之特別處理區域； ^上述特疋£域 而上述方法更具備： ⑷對於上述特別處理區域，進行與上述指定之缺陷檢 測處理不同之特別缺陷處理的步驟。 、 H申Λ專利Λ圍第2項之缺陷檢測方法，其更具備·· 取扩之/j^㈣内’設定表示上述特财理區域所 範圍的實在色範圍、和上述實在色範圍外之非實 在色乾圍的步驟；、 而上述步驟（e)具備： (el)判定構成上述特別處理區域之各個圖辛之色 於上述實在色範圍和上述非實在色範圍之那—方，藉以檢 312XP/發明說明書(補件)/9‘ 12/94】2783 8 25 1275788 測上述特別處理區域中之缺陷的步驟。 4·如申睛專利範圍第3項之缺陷檢測方法， 上述步驟（f)包含： 〃 τ 之主影像的 準備上述檢查對象物之作為標準彩色影像 步驟；和 將包含構成上述主影像中之上述特 色之上诚j匕宝ώ处Μ &域之圖素 仏&色卫_ _部分範圍，設定在 圍内的步驟。 只在色乾 5 ·如申請專利範圍第3項之缺陷檢測方法， ^述=包含以上述指定之色空間内之任'意色作為 述非實在色範圍之那一方之值，藉以製作杳和上 table)的步驟； 一找表（l〇〇k-up :上述步驟(el)包含參照上述查找表 圖素之色是屬於上述實在色範圍和 逑各 那-方的步驟。 财上这非，在色範圍之 6.如申請專利範圍第5項之缺陷檢測方法， 上述步驟（f)包含： 驟= 口上述檢查對象物作為標㈣色影像之主影像的步 構成上述主影像中之上述特別處理區域之圖素 述指定色空間的-部分範圍，設定在上述實在 圍内的步驟。 在色靶 7.如申請專利範圍第…項中任一項之缺陷檢測方 312ΧΡ/發明說明書(補件)淋12/94127_ 26 1275788 法，其中 上述步驟（b)包含： (bl)取得上述特定區域之周邊之境界區域的步驟； (b2)在上述境界區域之色滿足指定條件之情況時，取得 包含上述境界區域且比上述境界區域大之上述鄰接區域 的步驟；和 (b3)在上述境界區域之色不滿足上述指定條件之情況 時，將上述遮罩區域之大小設定成為指定之大小的步驟。 • 8.如申請專利範圍第7項之缺陷檢測方法，其中 上述指定條件是在上述境界區域中存在有指定之第1色 範圍之圖素的條件； 上述步驟（c)包含在上述鄰接區域中之圖素之色在指定 之第2色範圍外之情況時，使上述遮罩區域比在上述第2 色範圍之情況大的步驟。 9. 如申請專利範圍第1至6項中任一項之缺陷檢測方 0 法’其中’上述檢查對象物為印刷基板。 10. —種缺陷檢測裝置，係使用對含有通孔之檢查對象 物攝影所獲得之彩色影像，用來檢測上述檢查對象物之缺 陷者，其特徵在於具備： 特定區域取得部，其取得上述彩色影像中與上述通孔相 當之特定區域； 鄰接區域取得部，其取得上述特定區域之周圍之鄰接區 域； 遮罩區域設定部，其設定包含上述特定區域之遮罩區 27 312XP/發明說明書(補件)/94-12/9412783 8 1275788 域 > 和 遮蔽區域外檢查部，其對於上述彩色影像中之上述遮罩 區域以外之區域，進行指定之缺陷檢測處理； 上述遮罩區域之大小依照上述鄰接區域之色而變更。 11·如申請專利範圍第10項之缺陷檢測裝置，其中 上述遮罩區域具有上述特定區域、和包含上述特定區域 之周圍之特別處理區域； 鲁 而上述t置更具備特別處理區域檢查部，其對於上述特 別處理區域，進行與上述指定之缺陷檢測處理不同之特別 缺陷處理。 」2·如申請專利範圍第Π項之缺陷檢測装置，其更具備 貫在色範圍設定部，用以在指定之色空間内，設定表示上 述特別處理區域所取得之色範圍的實在色範圍、和上述實 在色範圍外之非實在色範圍； 、 立而上述特別處理區域檢查部具有特別處理區域色判定 鲁部，其判定構成上述特別處理區域之各個圖素之色是屬於 上述實在色範圍和上述非實在色範圍之那一方，藉以檢測 上述特別處理區域中之缺陷。 13·如申請專利範圍第12項之缺陷檢查裝置，其中 —上述實在色範圍設定部具備查找表製作部，其以上述指 疋^色空間内之任意色作為輸入，用來輸出表示上述任意 色疋屬於上述貫在色範圍和上述非實在色範圍之那一方 之值，藉以製作查找表； 而上述特別處理區域色判定部具備查找表參照部，其參 312XP/發明說明書(補件)/94-12/94127838 28 1275788 照上述查找表用來判定上述各個圖素之色是屬於上述實 在色範圍和上述非實在色範圍之那一方。

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