TWI270005B

TWI270005B - Method and system for dynamic learning through a regression-based library generation process

Info

Publication number: TWI270005B
Application number: TW091117401A
Authority: TW
Inventors: Xinhui Niu; Nickhil Jakatdar
Original assignee: Timbre Tech Inc
Priority date: 2001-08-06
Filing date: 2002-08-01
Publication date: 2007-01-01
Also published as: IL160241A; US20040225477A1; WO2003014866A3; US6785638B2; WO2003014866A2; US20030028358A1; IL160241A0; US6961679B2; US20040220760A1; US6928395B2

Description

127〇ψΚ%ή 五、發明說明（1) 【相關申請案之交叉參考】本申請案係相關於西元200 1年1月25日申請的美國專利申請of Intra-Layer Calculations for Kapid Rigorous Coupled-Wave Analysis”，申請序號為 = /7 64,780，以及西元200 1年7月16日申請的美國專利^ 请案’’Generation of a Library of peri〇dic Diffraction Signals1’，申請序號為〇9/9〇7,488。【發明領域】本發明係關於一種方法與系統，使用動態學習於數據犀產生程序中而有效率地確定光柵輪廓。相關技藝之說明光纖連結之為寬度小於一微尺寸變小而更加於可接受的範圍壁逐漸尖細、垂栅或週期性結構傳統上，樣裝置加以檢驗。測定法（angu 1 ar 此程序要求設定 1散射光之繞射半導體裝置與發射器上之特徵部係被形成米。此等次微米特徵部之測量隨著特徵部困難。然而，為了確定特徵部尺寸是否 =且特定的製造程序是否造成特徵部之侧直、T形頂、或切除下部，必須要知道光之尺寸。割且藉由掃描式電子顯微鏡或類似此方法緩慢且昂貴。雖然已經採用角= scatterometry)測量光栅之線寬度，但夕ί Ϊ測器，於入射光束之不同角度處以測 1270005

種角散射測定法僅使用第零階光，由於此程序中所用的雷射光的波長大，所以對於次1 〇〇 nm的特徵部不敏感。光譜反射測定法（spectroscopic ref lectometry)與橢圓計法（ell ipsome try)用以將光指向光柵上且測量反射信號之光譜。目前實務上一般使用經驗法則，在光栅中測量已知特徵部寬度的反射光之光譜。此程序耗時且昂貴，' 即使對於光柵尺寸之輪廓與關連的反射光之光譜資料之有限的數據庫而言亦然。在另一實務上，必須預先建立餘存大量輪廓與信號資料的數據庫，需要冗長的先前處理時間，即使如此，仍僅涵蓋有限的參數範圍與解析度。在另一貫務上’使用即時回歸。然而，由於「即時」之本質限制了可用於模擬與檢索的時間量，故此方法僅涵蓋有限的參數範圍。此外，不像數據庫方式，嚴格的即時回歸方法並未廣泛地涵蓋結果空間，可能使此方法陷入區域性最小值中，而非適當地確定全域性最小值。因此，需要較不費力且較不昂貴之用以創造輪廓與關聯的光譜資料之數據庫的方法。亦需要一種無須首先產生主數據庫而創造光柵輪廓之動態數據庫的方法及系統，藉以獲得更快速的檢索、徹底的涵蓋性、以及有限的或沒有預先處理時間。【發明概述】依據本發明實施例之方法及系統係關於一種確定實際光栅輪廓之方法。在本發明之一態樣中，一實施例例如一

1270005 五、發明說明（3) 電腦接收一 <氣到量邀，包括有舉例而言反射率與偏極化狀態之變化，以獲得關聯於光柵的實際光譜信號資料，並且產生具有一第一試用光譜信號資料之一第一試用輪廓。在本發明之又一態樣中，該電腦比較第一試用光譜信號資料與實際光譜信號資料。倘若該第一試用光譜信號資料在預設的誤差標準内不相配於該實際光譜信號資料，則該電腦藉由使用最佳化技術而確定較近似該實際輪廓的一第二試用輪廓，例如區域性及/或全域性最佳化技術。該，腦反覆地產生額外的試用輪廓，企圖發現具有光譜信號資f相配於該實際光譜信號資料之一試用輪廓。當在預設的决差標準内發生光譜信號資料之相配時，該電腦擷取該關聯的相配試用輪廓。 *在本發明之另一態樣中，一實施例提供一種用以設定回歸最佳化之方法及系統。該實施例接收一組測量值且選擇^數、參數範圍、與參數解析度之值。該實施例得執行回歸最佳化、產生回歸結果、分析所產生的回歸結果 '且，用所產生的回歸結果來調整參數、範圍、及/或解析缔^ ^ ^明之另_癌樣中，—實施例提供一種方法及系 j二=接收-所測得的信?虎、選擇一組試用參數值、且參ΐ值是否儲存於-資料庫中而確定關聯於齡# M f^ 發月之更—態樣中，倘若該組試用參庫m 〜1庫中，則本發明之一實施例檢索該資料庫以求_於該組試用參數值 <—試用信號。

1270005 五、發明說明（4) 施例提供一種方法，藉、與參數解析度、儲存聯於該組參數的所有值管理該資料庫。施例提供一種方法及系一組測量值且檢索一輪參數值而確定一輪廓。號。在本發明之又一態否滿足擬合良好性門檻 >倘若該試用信號滿足相配組試用參數值。 ά、登在本發明之另一態樣中，一實一，f或創造一組參數《:參數範圍广=數值至一資料庫、且確定關之，'且合是否已經儲存入該資料庫而在本發明之另—態樣中，一實統藉由接收關聯於一實降作於之靡數據庫以求最接近的;目=;用该組試用參數值得關聯於一試用信樣中’該實施例確定該試用信號是 (a g00dness of fit threshold) 〇該門檻，則一實施例顯示最近似的【較佳實施例之詳細說明】本發明提供一種方法及系統，使用動態 f生程序中而有效率地確定光柵輪廟。在下文的观明^庫，及眾多細節以便能透徹瞭解本發明n _ :之ΐ ΐ將ϊ ΐ到此等細節對於實施本發明而ί:非必要。更且，為了避免模糊本發明，故不：：二的兀件、裝置、程序步驟與類似者。、週知 …雖然本發明已經藉著特定實施例加以說熟悉此項技藝之人士得在不偏離本發明之 :〜行各種修改J變化。本發明不限於節，而是由申請專利範圍所界定。 Θ閣不之用的細圖1顯示關聯於依據本發明實施例之系統及/或方法之 1270005 五、發明說明(5) 光栅特徵部之架構圖。圖1係顯示在本發明之一實施例中之的光柵特徵部之臨界尺寸（criticai dimension，CD)之架構圖。光柵中之特徵部之剖面圖具有光柵頂部CD 2、光柵底部CD 10、光柵厚度6、以及下方厚度12。其他的尺寸為曲折點處之寬度8與曲折點處之高度丨4。曲折點4係特徵部之側壁中斜率改變之點。曲折點處之百分比高度係定義為曲折點之高度14對於光柵厚度6之比值。若干應用得包括其他特徵部之量測值，例如τ字形頂部、足部、圓化

部、下削部、四形侧壁、與凸形側壁之大小、以及侧壁與下方厚度之交叉角度。 :圖2顯不關聯於依據本發明實施例之系統及/或方法之動癌數據庫產生與相配程序之流程圖。在步驟2〇〇中，本毛明之一貫施例收集關聯於一光柵所用的一第一實際輪之一組測量值資料。在本發明 metrology)從射資料。舉例〇 f a Library 此種繞射資料基於該組一系統，例如 2〇2)。藉由電技藝之人士所柵來的反射光量衡學（opt ical 隔的結構獲得繞案"Generation Signals” 揭露此處作為參考。明之一實施例之資料（步驟已經是熟悉此項可稱為代表從光一方面，藉由給

之一實施例中，使用光學度一維與二維上重複規律地間而言，先前參考的專利申請 Periodic Diffraction 之獲取’因此將其整個併入收集的測量值，關聯於本發一電腦，產生實際光譜信號腦產生光譜信號資料之方法週知。舉例而言，光譜資料之數位化的測量之資料。另

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五、發明說明（6) 定一組參數尺寸而對嚴格的數學模式求解得導出用於假設性光柵之計算出的光譜資料。此種數學模式之一係描述於丨丨 An Integrated System of Optical Metrology for Deep Sub-Micron Lithography丨，，University of California at Berkeley Doctoral Thesis of Xinhui Niu，Apr i 1 20，1 999，將其整個併入此處作為參考。先前參考的專利申請案'’Caching of lntra-layer Calculations for Rapid Rigorous Coupled-Wave Ana 1 ysesf丨亦說明了光言眷資料之推導。

在一實施例中，實際光譜資料得藉由使用光學度量衡學裝置而獲得。光學度量衡學裝置之例子包括光譜橢圓偏光計（spectroscopic ellipsometer)、光譜反射計 (spectroscopic ref 1ectometer)、以及變數角度，單一波長的反射計與橢圓偏光計。再次參照圖2，在步驟206中，本發明之一實施例選擇關聯於一第一試用輪廓之一第一組試用參數。在一實施例中，舉例而言，第一組試用參數所用之值得從參數值之特定範圍内隨機選出。舉例而言，參數之範圍得基於圍繞著

該參數之期望值的一分佈。電腦得從第一組試用參數產生一第一組試用光言晋信號資料。在-貝施例中’電腦儲存第一試用輪廓與第一組試用光譜信號資料至輪廓與光譜資料之動態數據庫。在步驟 204中’冑態數據庫得儲存於，舉例而言，關聯於本發明之一實施例的硬式磁碟機或其他儲存裝置上之一資料庫。

第9頁 1270005 五、發明說明（7)

第ii=V電腦比較第一組試用光譜信號資料與 ::驟中碟”號資料。該比較得為-相配測試，用以 7 = /二預設的標準是否滿足。目前技術上已知的一種=:糸最小平方誤差(Minimum Le 二八二法’其中從第一實際光譜信號資料中之軲㈣脾莫枯ΐ 4遽貧料中所測得的各變的變數之平方誤差全部相加，以獲得試』料之總誤差之估計值。徜若她誤# f私π °用先°曰仏就貝 τ值倘右總決差小於預設的最大允許誤

1，則電腦認定相配存在且擷取關聯於相配的第一試用= 譜信號資料之相配試用輪廓（步驟2 1 〇 )。舉例而言，最小成本演算法得使用下列方程式： C⑽4(兄一从此處y〗為元素i之試用資料；且乃為元素i之實際資料

再次參照步驟21 2，倘若總誤差超過預設的最大允許誤差，則第一試用光譜信號資料被認定為不相配於第一實際光谱信號資料。電腦使用最佳化技術以確定具有一關聯的第二試用組光譜信號資料之一第二試用輪廓（步驟 21 6 )。電腦得使用的最佳化技術之例子包括全域性最佳化技術，例如模擬退火以及區域性最佳化技術，例如最陡下降（steepest descent)演算法。

第10頁 1270005 五發明說明（8) 用以智慧地選擇更加優良法，例如具有較大的擬合良好$忒用組之值的最佳化方方法。在簡化的最陡下降^ ，包括但不限於最陡下降第一猜測或試用組之值，〉之例子中，得隨機選擇一 :誤差度量（metric)。亦得& 所測得的信號時產生當相較於所測得的信號時第— 一第二試用組。倘若例而言’擬合良好性較大或二用t誤差度量較好’舉上選擇第三試用組之值。則在第二試用組之方向糟，則第三試用、组之值於用多且之誤差度量更若需要多重尺寸用於回歸模式方；六變動。舉例而言’倘一組四個測得的參，，則在可使^5，四個尺寸用於變動值”需要較大組的隨；降演算法智慧地廓盘二二:: ΐ用組光譜信號資料得儲存入輪守丨”尤邊貝枓之動態數據庫（步 — ^ 4 1 ^ ^ 1^ t , ,4' ° ^ ^ V "，J f 5 而成長，且得發生於實際測量產生並儲存入數據庫 F光第广試用組光譜信號資料是否相配於第-實 2〇)。相配測試得基於預設的誤差資料龙：。藉使用MLSE測試。倘若第二試用組光譜信號 ΙίΞί預設的標準’㈣二試用組光譜信號資料相配， ηΐ ίΐ取關聯於相配的第：試用組㈣信號資料之相配巧用輪廓（步驟2 1 8 )。 # ^，右第二試用組光譜信號資料不相配於第一實際光譜 °犰貪料，則輪廓不相配，且電腦使用最佳化技術而重複

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五、發明說明（9) ΐ(步驟224)。舉例而言，得使用万卜峄肩异法.重複產生額外的試用輪廓。取陡在步驟224中，每一額外的試的試用組光譜信號資料。每一々輪廓係關聯於-額外試以確定其是否相配於第一严2的光譜信號資料受測 ⑽。在重複程序中；：一；：=2資料(步驟 :ί广組光譜信號資料得儲存入輪廓心=ί : : 2 ί外據庫（步驟222)。 I /、尤。曰貝枓之動態數當電腦在步驟228中發現光譜信號資料之電腦擁取關聯的相配試用輪靡(步驟二貝)科之相配知，則圖3顯示關聯於依據動態數據庫檢争盥知耐#广 / 例之糸統及/或方法之 -實施例：Ϊ 程序之流程圖。當關聯於本發明之夏她例之一電腦確定一個睿抓认知乃之電腦系統性建立輪廟與光譜資料之動時’ 組試用輪廓與關聯的試；數：：二有一等測量值，電卿f:; ί輪廓之—第二組測量值。從此 302 )。。獲侍一組第二實際光譜信號資料（步驟 — 態數ΐ ί Ϊ 3二中用，A腦檢索儲存於輪廓與光譜資料之動言，隨演算資料。電腦得使用，舉例而料之相配是否Ϊ:牛二足預設的誤差標準之光譜信號資存在（步驟308)，如前所述。、在本發明·> . &= t —貫施例中，倘若具有當相較於第_#^ 光“號貝枓時最低的最小平方誤差值之試用組匕以

第12頁 1270005 發明說明（10) 資料^ "吳差值低於最大預設的誤差極很，則電腦認定試用 =且光碏销唬資料為相配且擷取關聯的相配試用輪廓（步驟 3 0 6 )。 ^ 倘若最低的誤差值超過最大預設的誤差極限，則認定，相配存在，且電腦檢索動態數據庫以確定最接近相配的試譜信號資料（步驟31 2)。在本發明之一實施例中，電腦得，設如步驟3〇8中所發現的具有最低的最小成本誤差值之減用組光谱彳§號資料為最接近的相配且擷取關聯的最接埤相配輪廓（步驟3 14)。電腦得在步驟224中使用最佳

化技術以重複產生較接近的相配輪廓，此時電腦仿效圖2 之步驟2 2 4中所示之程序。

圖4顯示依據本發明實施例之光柵之架構形狀輪廓元件圖。圖4所示的光柵輪廓係對稱於γ軸。在此對稱的輪廓中’關聯於半邊輪廓之形狀之點A 400、點b 402、點C 404 、點D 406 、點E 408 、點F 410 、點G 412 、點Η 414 、以及點I 41 6得用以確定整個輪廓之形狀。舉例而言，點a 40 0、係關聯於位置（1〇〇，〇)，位於χ軸。輪廓之刻度得為亳微米或另一刻度。相似地，點Β 40 2係關聯於位置（1〇〇， 100)。點C 404係關聯於位置（1〇〇，2〇〇)。點d 406係關聯於位置（100，30 0 )。點Ε 408係關聯於位置（75，300 )。點 F 41 0係關聯於位置（7 5，3 5 0 )。點G 41 2係關聯於位置 (5 0，4 0 0 )。點Η 41 4係關聯於位置（2 5，4 5 0 )。點I 41 6係關聯於位置（0，5 0 0 )，位於γ軸。圖6顯示關聯於依據本發明實施例之系統及/或方法之

1270005 五、發明說明（11) 動態數據庫之表格資料結構圖。動態數據庫表6 〇〇可包括例如項目I D 6 0 2、形狀-輪廓資料g q 4、信號光譜資料 6 0 6、以及相配之數目6 0 8的欄位。在本發明之一實施例中，表中之每一列含有關聯於一試用光栅輪廓之資料。

項目ID 6 0 2得為關聯於試用光柵輪廓之一紀錄的識別符。形狀-輪廓資料604得包括關聯於試用光柵輪廓之形狀的點之座標’例如前述圖4所示的點a 4 0 〇、點B 4 0 2、點C 404 、點D 406 、點E 4G8 、點F 410 、點G 412 、點Η 414 、以及點I 4 1 6。〇^ =幺(乃一免)2 /=/ 此處夕i為tan(Y)或c〇s(Z\)。 ^號光譜資料60 6包括關聯於試用光栅輪廓之光譜資料。圖7與8顯示在本發明之.一實施例中關聯於試用光柵輪廓之信號光譜資料。圖7顯示關聯於依據本發明實施例之光柵之tan (Ψ )測量之信號光譜資料。圖8顯示關聯於光柵之cos( △)測量之信號光譜資料。、，再次參照圖6，相配之數目6〇8可包括一計數，顯示試用光栅輪廓藉由滿足預設的誤差標準而相配於實際光栅輪、人數一舉例而0 ’母一喊用光柵輪廓所用之計數起初待，0母夂试用光柵輪廓相配於實際光栅輪廓時，增加減用光栅輪靡之計數。在本發明之一實施例中，總動態數據庫尺寸得由具有 1270005 五、發明說明（12) 最大數目之儲存的試用光栅輪廓紀錄來管理。倘若超過最〇數目則在一貫施例中，得刪除最少使用的試用光柵輪郭之、、、己錄:舉例而言，得刪除在相配數目6 〇 8攔位中具有最低值的試用光栅輪廓之紀錄。舉例而言，得藉由先進先出的連、纟"斷路器（tie breaker)使連結斷路，刪除最先創造的試用光柵輪廂。 j，發明之另一實施例中，整個動態數據庫得藉由先進先出糸統來管理。在此實施例中，不使用相配之數目 6 0 8來決定試用光柵輪廓之刪除。

圖9至12顯示代表本發明方法及系統之另一實施例之 /爪私^捃3聯於本發明方法及系統之一實施例的電腦設定二回式（步驟9 0 0 )，以準備光栅輪廓之分析。回歸模 2:1/驟Γ°)係為了發現可用於參數化-光柵輪廓 Ξίίίίΐ 之值。在設定步驟9(30中，關聯於電月:之=程式設定參數化、範圍、與對於每一參數所用的母一範圍之解析度。 ^例而言’軟體程式之實施例得建構成用於多晶石夕一査的結構。多晶石夕得被圖案化，然:而氧化物與石夕 ·· Π二多晶石夕層得’舉例而言，具有-底部臨界壁角度、與一厚度參數。氧化物得具有- 人二二古嘴對：底部C?參數而言，軟體程式得設定範圍為 i例而至毫微米之間。側壁角度之範圍得為，舉例而§ ，8 2度至8 8度。容曰功/1命 ^ 毫微米。氧化物厚度之範以二度^得從又心靶仵攸1· 〇至〗.2毫微米。對於每

1270005 五、發明說明（13) 一參數範圍而言，解析度得被任音微米。于很任思叹疋，舉例而言，1毫在步驟902中，電腦對關聯於光柵輪進行標準測量而獲得一信號 ^圖案化區域 904)。號然後執仃回歸分析（步驟. 舉例而言，得選擇用於在特定範圍内之之值。然後得執行模擬於第一組〃數的第一、、且信號相比較，且儲存或分析第一組之值盘^與所測得的之差異，舉例而言，作為誤差度量。得選於參數 '對於第二組執行模擬，且值二相比較，因而產生第二誤差度量。回測付的6唬好性之值符合或超過，舉例而言，0.9為止。仃直到擬合良最接近於所測得的信號之作浐的兮#、、、此時，產生得的信號之正確的-組參=的5亥組之值被視為用於所測如前職1以智慧地選擇愈來愈佳 (下具降有方較，。的擬…性)的最佳化方法包含但不限 ·· /在初始化期間中’對於5個測量信號而t，步驟90 執二=’舉例而言’ 16個處理機器上。在腦隨後分析5個結果之回歸結果，調整參數】中電，析度（步驟9〇6)。步_6得用以基於5個結果二參數之期望值之範圍變窄或變寬。舉例而言，惝若起初選擇的參數範圍為1〇〇毫微 200毫微米，但從5個測量所得的結果全料在⑴毫微米

第16頁 1270005 五、發明說明（14) 與120毫微米間’則當進行即時回歸分析時之新的參數〜圍得修改成較接近於11 0至1 20毫微米的範圍。在_/杏於#2* 中’步驟906得不在電腦線上進行，或由不同組處理列行。在步驟908中| 得表示，舉例而言未完成。當LIB =. 0 時! 軟體程式得初使化一變數UB為〇。〇，輪廓與信號之數據庫尚未創造出或尚得對光栅輪廓進行一個或更多的 '測量（步驟910)。參照圖10，得使用所確定的參數化貝_^二參數）、範圍、與解析度在16個處理器電腦上對實際測旦且執行即時回歸（步驟1 002 )。回歸尋找用於參數的最T佳、里以獲得所測得的信號之滿意匹配。舉例而言，聯 :日夺回歸之最佳化程序得選擇一參數值(步驟1〇〇4 二 :匕確定所選擇的參數值是否儲存於關聯於電腦“Ϊ °#進行回歸時’數據庫係平行地建二 η用/序中，選擇4用組之值（步驟lm)。此等中間的 ::組：值及其關聯的模擬信號係有用的且得儲存於數= iW/若該值尚未儲存，則電腦儲存該值於資料庫中 = 101(0。執行電磁模擬於所選擇的參數值上 1012)，且儲存模擬信號於資料庫中（步驟1〇14)。然後，電腦可比較模擬信號與所測得的信 :6)。參照步驟1 006 ’倘若參數值已】中，則電職索數據庫以求對應於參貝枓庫驟1008^當擷取模擬信號時 > 數值的模擬/就（步從〈相較於所測得的信號

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五、發明說明（15) (步驟 1 0 1 6 ) 〇參照圖1 1，當比較模擬信號與所測得的信號時（步驟〇16)，電腦確定是否符合擬合良好性門檻（步驟11〇2)。舉例而言，倘若擬合良好性門檻設定為〇· 9，如果模擬的與所測得的信號間之擬合良好性低於〇· 9，則藉由前進至圖10中之步驟1 0 04且選擇另一參數值而繼續最佳化（步驟 10 0)。再次參照圖11，倘若符合擬合良好性門檻，則停止最佳化（步驟1 104)，且得顯示最佳化之結果（步 1106) 〇 Μ 在步驟11 08中，電腦檢查資料庫以確定是否所有參數 ^合皆已輸入。舉例而言，簡化的三參數之組為底部&、阿度、與寬度。倘若底部CD之範圍為1〇〇至120毫微米且解才斤，為1耄微米’則具有21個用於底部⑶之可能參數值。 =若亦具有21個用於高度之可能的值與21個用於寬度之月匕的值，則總共有2 1 X 2 1 X 2 1 = 9 2 6 1個可能的參數值組合。電腦檢查以確定是否所有的926 1個組合皆已模於資料庫中。倘若並非所有的926 1個組合皆已模堆:，則在步驟111 0中，電腦返回至圖1 〇中之步驟91 〇以5 進行下一測量且繼續建立資料庫。，次參照圖丨丨，倘若所有的參數組合皆已輸入，腦編數化、範圍、與解析度之資料庫完成。然後：雷 I诚L貝料庫成數據庫（步驟1112)。舉例而言，資料座你數據庫得儲；^ μ φ 叶犀與 „ 省存於電恥之硬式磁碟機中，但亦得儲存於你八聯的位置及/或儲存裝置。電腦亦得隨意地叢集可

第18頁 1270005 五、發明說明（16) (cluster)數據庫（步驟1114)，如西元2〇〇〇七月28日申請的專利申請案，· Clustering for Data Compression，，，序號為09/727, 531 ’其整個併入此處作為參考。在步驟Η" 中，電腦得壓縮數據庫以允許更有效率的檢索。然後，在步驟1116中設定數據庫變數LiBai，表示數據庫^經完成。

繼續至圖12，在步驟1 200中，電腦檢查以確定是否 LIB = 1。倘若LIB不為1，則電腦繼續平行的數據庫產生程序（步驟1 202 )且返回至圖1〇中之步驟91〇以進行下一測罝。再次參照圖12，倘若LIB = 1，則電腦進行下一測量 (步驟1 204)。電腦可檢索數據庫以求最佳相（崎步驟12。8中，佳相配滿足相擬配=性門，，則得顯示出相配（步驟1212)。倘若最佳相配不滿足擬 &良好性門檻，則電腦可顯示錯誤訊息（步驟121〇)，表示數據庫未含有相配項目。電腦亦得標示出所產生的光柵 >已經偏離出較佳範圍，且得建議製造程序暫停或停止，進一步的檢閱。、 ·· 在一實施例中，於步驟1214中，電腦得隨後確定用於 i數之回歸分析範圍要變寬多少。範圍變寬量得由本發明例之使用者以百分比具體表示。舉例而言，使用者得 ^疋倘若擬合良好性（goodness of fit，G〇F)低於g〇f門 =丄則用於所有參數之範圍應該增加30%。舉例而言，電 ^ ί ^由確定G〇F值有多糟糕而確定該值是否些微地超出特疋$il圍之外或者大大遠離該範圍。在本發明之一實施例

1270005 五 •發明說明（17) ' ----- 中’於步驟1216中’電腦隨後設定數據庫變數l 展至圖9中之步驟906以調整參數範圍，倘若必 ^進下一測量（步驛91 0)之前使之變寬。在本發明之一'杏於中，當LIB -。時，即使沒有進行實際回歸分析，;月二可繼續地產生數據庫資料庫。圖1 3至1 4顯示代表本發明之方法及系統之另一實施之流程圖 '在此實施例中’並非所有試用值與關聯的模擬信號皆儲存。舉例而言’只有符合擬合良好性門檻而相配於所測得的信號之試用值與模擬信號方得儲存。 ·· 參照圖13，在步驟1 300中，電腦進行回歸設定，指定參數化與其關聯的範圍及解析度，且初始化測量計數κ成〇。在實施例中，回歸得設定於1 5個處理機器或電腦上。然後得於步驟1 3 0 2中進行光柵輪廓之測量。電腦得執行回歸最佳化（步驟1 3 0 4 )直到達成擬合良好性門檻（步驟 1 30 6 )。當符合擬合良好性門檻時，電腦得顯示結果13〇8 且儲存結果的參數值與模擬信號於第一資料庫中（步驟 1310) 〇在實施例中，電腦得對於20個測量執行回歸分析（步驟1 31 4)。本發明實施例亦得採用較多或較少的測量。在 _籲 20次测量之後，在步驟丨316中，電腦設定數據庫變數LIB 為0 ’且基於2 0個所測得的信號之參數值而確定新的參數範圍與解析度（步驟1318)。舉例來說，對於每一參數而 _ 言’參數範圍之下限得設成20個測量中之最低值，且上限得設成20個測量中之最高值。在另一實施例中，範圍之下 -

第20頁 1270005 五、發明說明（18) 限得設成低於最低測量值的2 0 %，且上限得設成高於最古測量值的20%。亦得使用其他值。、同參照圖1 4，當LIB = 0時，電腦得切換關聯的處理器之一部分，以繼續進行背景數據庫產生（步驟14〇2)，/ 得在特定參數範圍内的所有參數值組合之光譜與信號。^ ☆發明之一實施例中，回歸分析得執行於第一;個^處^里在 ϋ上，同時數據庫產生係執行於第二組8個處里 =。數據庫產生參數與信號得儲存於第：資；= Γ:戶古2腦得’舉例而言’藉由分析在特定參數範圍戶^參數值組合是否已經模擬與儲存，而檢查以確定枓庫是否已經完成數據庫資料庫產生（步驟1408)。回：步Ξ:Γ、8中料庫尚ί完成，則本方法之實施例返驟1 408 ^第二二：J Π f貧料庫孝生與回歸分析。在步據於Λ 庫°或者，電腦得於步驟1412中叢集數 ?於乂驟1414中設定數據庫變數LIB = 1。腦檢：二得下-測量(步驟1416)，且電性的參數值之組時’電腦檢查參數值之擬合良好 (步驟擬合良好性門艦（*驟142〇)，則得顯示匹配訊息（步驟14?二若未符合擬合良好性門檻，則得顯示錯誤析的參數值範園變：步：1426中亦得分析且使用於回歸分設成〇。秋接士凌寬在步驟1 4 28中數據庫變數LIB得發明之方法與系統之實施例得返回至步驟

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五、發明說明（19) — :2以進行額外的組測量值且確定新的範圍及/或參數圖5顯示關聯於依據本發明杳L 柵輪廟動態數據庫產生^;統及方法的光為，舉例而言，關聯於或可雷^康庫產生器94得數據庫產生器94創造一數據Γ乍：：=中之，^ 數據庫，且儲存數據庫於輸置之„ ;帶驅動設備、或另一關聯於以碟⑽、貫知例中，輸出裝置96亦得遠離電俨存媒體。在另一 :::路(internet)而存取。電糊得i可=網路例如甸或伺服器組。為舉例而言，一悉此if本發明已經由特定實施例加以說明ν 各種攸技藝之人士得在不偏離本發明之铲、由^ t應瞭解熟節，二，與替換。本發明不限於前述作：：:、範圍内進行 ☆是由申請專利範圍所定義。 ”、、闡不之用的細

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圖式簡單說明圖1 s音'~ 光柵特科關聯於依據本發明實施例之系統及/或方法之伋4之架構圖。圖2 i苜- 動態數插/關聯於依據本發明實施例之系統及/或方法之〜圖3暴庫一產生與相配程序之流程圖。動態數據貝庠示Λ聯於依據本發明實施例之系統及/或方法之圖4顯厂檢索與相配程序之流程圖。件圖i 、、厂依據本發明貫施例之光柵之架構形狀輪廓元圖5顯_ Μ 光柵輪廓動能據本發明實施例之系、统及7或方法之圖6領數據庫產生器之架構圖。動態數據廑^關±聯於依據本發明實施例之系統及/或方法之圖7與格資料結構圖。廓之信號光譜$ =本發明之一實施例中關聯於試用光柵輪圖9至1 2顯千#主流程圖。、、、不仪表本發明方法及系統之另一實施例之圖1 3至1 4顧；也士流程圖。 ”、、貝不代表本發明汐法及系統之另一實施例之【符號說明1 2〜光柵頂部臨界尺寸 4〜曲折點 6〜光柵厚度 8〜曲折點之寬度

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Claims

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六、申請專利範圍 1. 一種光柵輪廓之確定方法，用以確定柵的一第一實際輪廓，包含·· 聯於一第一光接收一組測量值，該組測量值係關_ > 光柵的繞射之信號；於—表示來自該產生關聯於該光柵的實際光譜信姨；胃μ 選擇一第一試用輪廓；產生關聯於該第一試用輪廓的_第—上、料；试用光譜信號資比較該第一試用光譜信號資料與該 ^

資料；以及貫際光譜信號用於第二試用輪廓之，於—第二試用光譜信该第一試用輪廓更接近使用至少一最佳化技術而確定參數值，其中該第二試用輪廓係關號資料，且其中該第二試用輪廓比相配於該第一實際輪廓。 2·如申請專利範圍第1項之光柵輪廓之確定方法，其中該至少一最佳化技術係包括選自於由_全域性最佳化技術與一區域性最佳化技術所組成之族群中之至少一種。 ·· 3.如申請專利範圍第1項之光柵輪廓之確定方法，更包含：使用該至少一最佳化技術以產生複數個額外的試用輪廓’該複數個額外的試用輪廓中之每一個具有一關聯的額外的試用光譜信號資料，其中所產生的每一額外的試用輪

第25頁 1270005 六、申請專利範圍廓比先前所產生的額外的試用輪廓更接近相配於該實際輪廓。 - 4. 如申請專利範圍第1項之光柵輪廓之確定方法，更包含：儲存該第一試用輪廓、該第二試用輪廓、該第一試用 … 光譜信號資料、以及該第二試用光譜信號資料至一輪廓之 . 動態數據庫中。 5. 如申請專利範圍第3項之光柵輪廓之確定方法，更包含：儲存該第一試用輪廓、該第二試用輪廓、該複數個額外的試用輪廓、該第一試用參數組、該第二試用光譜信號資料、以及該額外的試用光譜信號資料至一輪廓之動態數 —’ 據庫中。 - ·> 6. 如申請專利範圍第5項之光柵輪廓之確定方法，更包含：確定關聯於一第二光柵的一第二實際輪廓，包括：丨•❿ 接收第二組測量值，以獲得關聯於該第二光柵的一第二實際光譜信號資料；以及比較該第二實際光譜信號資料與儲存於該輪廓之 9 動態數據庫中的該光譜信號資料中之一個或更多個。

第26頁 1270005 六、申請專利範圍申請專利範圍第6 疋5亥弟二實際輪廓之該檢索儲存於該輪^ 以求相配於該第— 料#仏邊弟一貫際二#其中該相配光譜信倘若發現一相配光譜信擷取關聯於該 8·如申請專利範圍第6 定該第二實際輪廓之該檢索儲存於該輪^ 以求相配於該第二實際料，其中該相配光譜信倘若未發現相配光譜信確定儲存於該相配光譜信號資料為該擷取關聯於該接近的相配輪廓；以及項之光柵輪廓之確定方法’其中碟步驟更包含：之動態數據庫中的該光譜信號資2 光譜信號資料的一相配光譜信鱗資號資料滿足一組預設的標準’炎且號資料號資料，則：相配光譜信號資料的/相項之光柵輪廓之確定方法’其步驟更包含：之動態數據庫中的該光譜信號光譜信號資料的一相配光譜信魂資料滿足一組預設的梯準號資料，則：輪廓之暫時數據庫中的/最接第二實際光譜信號資料；最接近的相配光譜信號資料的配輪廓使用該至少一最佳化技術中之至少/個以地產生愈來愈接近相配於該第二實際輪廊之複數個額試用輪廓。中貧料號資近的 /最反覆外的 9.如申請專利範圍第1項之光柵輪廓之確定方法，务组組測量值包括選自於由反射率與偏極化狀態中之變化所”

1270005 六、申請專利範圍成之族群中 10·如申請該至少一最 11· 一種回接收一選擇用的至少一範組成之族群執行該行的回歸結分析所使用所數、該至少至少一個。 12. 如申請中該組測量 13. 如申請中該至少一界尺寸、一之至少一個。專利範圍第1項之光柵輪廓之確定方法，其中佳化技術包括一最陡下降技術。歸最佳化之設定方法，包含：組測量值；於選自於由至少一參數、關聯於該至少一參數圍、與關聯於該至少一範圍的至少一解析度所中之一個或更多個之值；回歸最佳化且產生關聯於該回歸最佳化之該執果；產生的該回歸結果；以及產生的該回歸結果以調整選自於由該至少一參一範圍、與該至少一解析度所組成之族群中I 專利範圍第1 1項之回歸最佳化之設定方法值係關聯於一光柵輪廓。 / ，其專利範圍第11項之回歸最佳化之設定方參數包括選自於由一頂部臨界尺寸、一& ’其侧壁角危〜也 6 A “ 丁底部臨 1270005 六、申請專利範圍 14· 一種光栅輪廓之讀定方法，包含接收一所測得的信號；選擇一組試用參數值；確定該組試用參數值是否儲存於一山若該組試用參數值儲存於該資料庫中，則^庫中，其中倘檢索該資料庫以求關聯於古玄 1 也用信號，剛於”褒組忒用參數值的一試則 15. 含：且其中倘若該組試用參數值並未儲存於該資料庫中儲存該組試用參數值於該資料庫中；進行關聯於該組試用參數值的一電磁模擬；產生一模擬的信號；以及儲存該模擬的信號於該資料庫或另一儲存媒體如申請專利範圍第1 4項之光柵輪廓之確定方法，更包比李交該模擬的信號與該所測得的信號。該組，申請專利範圍第1 4項之光柵輪廓之確定方法，其中 ^ i ί用參數值係關聯於一組一個或更多個試用參數，其寸二j ~個或更多個試用參數包括選自於由一頂部臨界尺底部臨界尺寸、一側壁角度、與一厚度所組成之族

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六、申請專利範圍群t ϋ少一個該比較步範圍第15項之光柵輪廓之確定方法，其中準。確疋该试用#號是否滿足一擬合良好性標 i8m料庫之管理方法，包含：範圍與—解^組-個或更多個參數，|-參數具有- <1· 儲存至φ 2 料庫；、及關聯於該一個或更多個參數之值至該資否色:ί ί ? ϋ於該組一個或更多個參數的所有值之組合是否已絰，存於該資料庫中；以及，次t ΐ所有值之組合已經儲存至該資料庫中，則編譯讀負枓庫成一數據庫。 19·如申請專利範圍第18項之資料庫之管理方法，其中倘 Ϊ該所有值之組合尚未儲存至該資料庫中，則表示該數據庫未完成。 2 0·如申請專利範圍第1 8項之資料庫之管理方法，更包含：表示該數據庫完成。

第30頁 l27〇005 ，更包六、申請專利範圍 =·.如申請專利範圍第18項之資料庫之管理方法含I 叢集该數據庫 22· 一種輪廓之確定方法，包含：接收關聯於一實際信號的一組測量值；值檢索一輪廓數據庫以求一最接近相配組之/ 其中該組試用參數值係關聯於一試用信號；確定該試用信號是否滿足一擬合良好性門權；以及之1ΐ ί试用信號滿足該門檻，則顯示該最接近相配組、巧用翏數值。範圍第22項之輪廊之確定方法，其中倘若 #用仏5虎並未滿；^該門檻，則傳遞—錯誤訊息。 24. 如申請專利範圍第22項之輪廓之確定方该試用信號並未滿足該門檻，則^ ，、中倘右值中之至少-個的至少一參數範圍^關如於該組試用參數 25. 如申請專利範圍第22項之輪廓之確定方該試用信號並未滿足該門楹，則增加關聯於該且試值中之至少一個的至少一參數範圍。 /，且忒用參數 26. 一種回歸最佳化之設定方法，包含：

1270005 六、申請專利範圍確定一第一組回歸參數； ’ 接收關聯於一第一輪廓的一第一組測量值；執行該回歸最佳化於該第一組測量值上，以獲得關聯於該第一輪廓的一第一組結果的參數值；儲存該第一組結果的參數值至一儲存位置；接收關聯於一第二輪廓的一第二組測量值； … 執行該回歸最佳化於該第二組測量值上，以獲得關聯 . 於該第二輪廓的一第二組結果的參數值；以及確定一第二組回歸參數，其中該第二組回歸參數係關聯於選自於由該第一組結果的參數值與該第二組結果的參數值所組成之族群中之至少一個。 2 7. —種回歸最佳化之設定方法，包含：確定一第一組一個或更多個回歸參數範圍； ’ 接收關聯於一第一輪廓的一第一組測量值； - 執行該回歸最佳化於該第一組測量值上，以獲得關聯於該第一輪廓的一第一組結果的參數值；儲存該第一組結果的參數值至一儲存位置；接收關聯於一第二輪廓的一第二組測量值；丨•馨執行該回歸最佳化於該第二組測量值上，以獲得關聯於該第二輪廓的一第二組結果的參數值；以及確定一第二組一個或更多個回歸參數範圍，其中該第二組一個或更多個回歸參數範圍係關聯於選自於由該第一組結果的參數值與該第二組結果的參數值所 ·

第32頁 1270005 六、申請專利範圍組成之族群中之至少一個。 2 8. —種電腦程式產品，用以確定關聯於一第一光柵的一 _ 第一實際輪廓，該電腦程式產品包含： _ 一電腦可使用媒體，包括附載於該媒體中之電腦可讀 β 取程式碼，使確定該第一實際輪廓； · · 電腦可讀取程式碼，使一電腦實行接收一表示來自該 . 光栅的繞射之信號；電腦可讀取程式碼，使該電腦實行產生關聯於該光柵的實際光譜信號資料；電腦可讀取程式碼，使該電腦實行選擇一第一試用輪廓；電腦可讀取程式碼，使該電腦實行產生關聯於該第一試用輪廓的一第一試用光譜信號資料； -. 電腦可讀取程式碼，使該電腦實行比較該第一試用光 - 譜信號資料與該第一實際光譜信號資料；以及電腦可讀取程式碼，使該電腦實行使用至少一最佳化技術而確定用於一第二試用輪廓之參數值，其中該第二試用輪廓係關聯於一第二試用光譜信號資料，且其中該第二丨試用輪廓比該第一試用輪廓更接近相配於該第一實際輪廓。 2 9. —種製造物，包含：一電腦可使用媒體，包括附載於其中之電腦可讀取程

第33頁 1270005 申請專利範圍式碼，該電腦可讀取程式一第一實際輪廓，在該製含：電腦可讀自該光柵的繞電腦可讀光柵的實際光電腦可讀用輪廓；電腦可讀石馬用於確定、關聯於一第— 、生^丄九柵的坆物中之該電腦可讀取程低巧>5馬包取程式碉，射之信號；取程式碼，譜信號資料取程式蝎，取程式碼，用以使一電腦實行接收一表用以使該電腦實行產生關聯於該用以使該電腦實行選擇_第試第一試用輪廓的一第一試電腦可讀取程式碼，用光譜信號資料與該第一電腦可讀取程式碼，佳化技術而確一试用輪廊係第二試用輪廓輪廓。定用於一第關聯於一第比該第一試用以使該電腦實行產生關聯古用光譜信號資料；用以使該電腦實行比較該第一試實際光譜信號資料；以及用以使該電腦實行使用至少一最二試用輪廓之參數值，其中該第二試用光譜信號資料，且其中該用輪廓更接近相配於該第一實際 3 0·如申請專利範圍第2 8項之電腦程式產品，更包含：電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行使用該至少/ 最佳化技術以產生複數個額外的試用輪廓，該複數個額外的試用輪廓中之每一個具有一關聯的額外的試用光譜作號資料，其中所產生的每一額外的試用輪廓比先前所^ ^的 ··

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六、申請專利範圍額外的試用輪廓更接近相配於該實際輪廓。 31·如申請專利範圍第2 9項之製造物，更包含：電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行使用該至少一最佳化技術以產生複數個額外的試.用輪廓，該複數個額外的試用輪廓中之每一個具有一關聯的額外的試用光譜信號資料’其中所產生的每一額外的試用輪廓比先前所產生的额外的試用輪廓更接近相配於該實際輪廓。 '

32.如申請專利範圍第28項之電腦程式產品，更包含：電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行儲存該^ — 用輪廓、該第二試用輪廓、該第一試用光譜信號資料、= 及該第二試用光譜信號資料至一輪廓之動態數據庫令。 33·如申請專利範圍第29項之製造物，更包含：電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行儲存用輪廓、該第二試用輪廓、該第一試用 " 介矽篦-士十m , 口现貝料、以及瀛弟一式用光譜信號資料至一輪廓之動態數據庫中。 •m 3 4.如申請專利範圍第3〇項之電腦程式產品，电物j Μ取程式碼，用以使該電腦實行儲存用枷Θ第二試用輪廓、該複數個額外的試用輪廓、該第〆试用參數絚 '該第二試用光譜信號資料、以及談額^ 的試用光譜信號資料至一輪廓之動態數據庫中。人

第35頁 1270005 _ -------- 六、申請專利範圍 3 5· 如申電腦用輪廊、第一試用的试用光請專利範圍第31項之製造物，更包含· 可讀取程式碼，用以使該雷丄該第二試用輪廓、該複 ;二用子y-試 i數…第二試用光譜信號資額：谱信號資料至―輪靡之動態數據庫中。亥額外 3 6·如申電腦請專利範圍第34項之電腦程式產品，更勺人· 卜可讀取程式碼，用以使該電腦實行確定^I · 第二光柵的一第二實際輪廓，包括：胃聯於一用以使該電腦實行接收一第第二光柵的一第二實際光譜二組測量信號資料電腦可讀取程式碼值，以獲得關聯於 ;以及電腦可讀取程式碼 — 二實際光光譜信號 —— 用以使該電腦實行！^鈇— 磺指號貧料與儲存於該輪廓之動態數據第資料中之一個或更多個。平Υ的該定關聯於— 行接收一第二實際光譜

37·如申請專利範圍第35項之製造物，更包含電細可讀取程式碼，用以使該電腦實行確第二光柵的一第二實際輪廓，包括：電細可讀取程式碼，用以使該電腦實二組測量值，以獲得關聯於該第二光柵的一第信號資料；以及電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行比較該第

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六、申請專利範圍 ::=譜信號資料與之先谱信號資料中之一彻+击# 7彻所义動態數據庫中的該 1固或更多個。 3第8·- Ϊ二3利範園第36項之電腦程式產品，” 第一貫際輪廓之該步驟更包含：，、中確疋该電腦可讀取斗、Ttt — 輪廓之動態數據丄用以使該電腦實行檢索儲存於該實際光譜信號資料：2 f先2唬身料以求相配於該第二譜信號資料滿足m f配光Ά #ϋ #料’其中該相配光譜信號資料，％:、貝设的標#’並且倘若發現—相配光電腦可纟蠡^ 於該相配光谱信“】二目:::該電腦實行操取關聯際輪i I: : : J【:37項之製造物’其中確定該第二實電腦可讀取鞋^ i 輪廓之動態數攄ii碼’用以使該電腦實行檢索儲存於該實際光譜信號資i中的該光譜信號資料以求相配於該第二譜信號資料滿足j的—相配光譜信號資料，其中該相配光譜信號資料，則包=預設的標準，並且倘若發現一相配光電腦可綠t · 於該相配光詳传Γ程式碼，用以使該電腦實行擷取關聯 g 0號資料的一相配輪廓。 4 0· 如申請專制# 觀圍第3 6項之電腦程式產品，其中確定該

第37頁 1270005 ----- '""""- ______ 六、申請專利範圍 ~"" —~____ 第二實際輪廓之該步驟更包含電腦可讀取程式輪靡之動態數據庫中實際光譜信號資料的譜信號資料滿足一組譜信號資料，則包含碼，用以使該電腦實行檢索儲存於該的該光譜信號資料以求相配於該第二一相配光譜信號資料，其中該相配光頊設的標準，並且倘若未發現相配光電腦可讀取程式碼，用以使該 — 於該輪廓之暫時數據庫中畺接近Mi自貫仃確疋儲存作A兮第一奋w尿犀中的最接近的相配光譜信號資料作為，亥第一貝際先瑨信號資料；於，最接ί::::程式碼，用以使該電腦實行擷取關聯、、以最接近的相配光譜信號資料的一最接近的相配輪廓；以及電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行使用該至少-最佳化技術中之至少一個以反覆地產生愈來愈接近相配於該第二實際輪廓之複數個額外的試用輪廓。 41.如申請專利範圍第37項之^造物，其中確定該第二實際輪廓之該步驟更包含：電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行檢索儲存於該，廊之，態數據庫中的該光譜信號資料以求相配於該第二 :際光！信號資料的一相配光譜信號資料，其中該相配光譜信號資料滿足一組預設的標準，並且倘若未發現相配光譜信號資料，則包含：電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行確定儲存 1270005 六、申請專利範圍於該輪廊之暫時數據庫中的一最接近的相配光譜信號資料作為該第二實際光譜信號資料；電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行擷取關聯於該最接近的相配光譜信號資料的一最接近的相配輪廓；以及電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行使用該至少一最佳化技術中之至少一個以反覆地產生愈來愈接近相配於該第二實際輪廓之複數個額外的試用輪廓。 42·如申請專利範圍第28項之電腦程式產品，其中該組測量值包括選自於由反射率與偏極化狀態中之變化所組成之族群中之至少一個。 43·如申請專利範圍第29項之製造物，其中該組測量值包括選自於由反射率與偏極化狀態中之變化所組成之族中之至少一個。 44·種電恥程式產品，用以設定一回歸最佳化，該電腦程式產品包含：一電腦可使用媒體，包括附載於該媒體中之電腦可讀取程式碼，使設定該回歸最佳化；項電腦可讀取程式碼，用以使接收一組測量值；電腦可讀取程式碼，用以使一電腦實行選擇用於選自於由至少一參數、關聯於該至少一參數的至少一範圍、與

1270005 六、申請專利範圍關聯於該至少一笳p , 個或更多個之值；少一解析度所組成之族群中之一電腦可言買取m 乂土儿牙式馬’用以使該電腦實行執杆呤W妗旦佳化二產生關聯於該回歸最佳化之該執行的回；ί =最 J腦可讀取程式碼，用以使該分=生該回歸結果；以及 77何所產生的電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行用所該回歸結果以調整選自於由該至少-參數、該的圍、與該至少一解析度所組成之族群中之至少一個。巳

45. —種製造物，包含：、一電腦可使用媒體，包括附載於其中之電腦可讀取程式碼，使設定一回歸最佳化，在該製造物中之該電福取程式碼包含·· 。貝電腦可讀取程式碼，用以使一電腦實行接收一纟且旦值；里

電腦可讀取程式碼，用以使一電腦實行選擇用於還自於由至少一參數、關聯於該至少一參數的至少—範圍、'與關聯於該至少一範圍的至少一解析度所組成之族群中之二個或更多個之值；電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行執行該回歸最佳化且產生關聯於該回歸最佳化之該執行的回歸結果；電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行分析所產生的該回歸結果；以及

第40頁 1270005 六'申請專利範圍兮η Ϊ ΐ可讀取程式碼，用以使該電腦實行使用所產生的 ;回”果以調整選自於由該至少一參數、該至少一範 /、该至少一解析度所組成之族群中之至少一個。 4量6.值：ϋ專利範圍第44項之電腦程式產品，，中該組測於由二頂4 ΚίΪ輪廓二並其中該至少一參數包括選自厚度所組成之族群中之至少一個。 47·如申請專利範圍第45項之製诰物，甘士斗關=-光栅輪廓，並且其令該至少一參口一頂部臨界尺寸、-底部臨界尺寸、一:上括選自於由度所組成之族群中之至少一個。，角度、與一厚 48.—種電腦程式產品，用以禮廓，該電腦程式產品包含：；—光柵的一輪電腦可使用媒體，包括附載取程式碼，使確定該輪廓；m於錢體中之電腦可讀電腦可讀取程式碼，用以使一雷腦垂"处的信號；電®只订接收一所測得電腦可讀取程式碼，用以使參數值；便忒電細貫行選擇一組試用電腦可讀取程式碼，用以使 _ 參數值是否儲存於一資料庫中，讀定該組試用平τ其中倘右該組試用參數值第41頁 1270005 六、申請專利範圍 /儲存於該資料庫中，則： =可讀取程式碼’用以使該電腦實行檢索該資料庫以求關聯於該組試用參數值的一試用#號，該資料庫中並且其中倘若該組試用參數值未儲存於則包含：電腦可讀取程式碼，用以使該電腦試用參數值於該資料庫中；黑订诫仔Θ、電月6ϊ可Ή呈式碼，用α使該於該組試用參數值的一電磁模擬；甸χ盯進订關聯模 &電恥可喂取耘式碼，用以使該電腦行一擬的信號；以及貝仃座玍電腦可讀取程欢石焉，田土擬的信號^該資料庫或另I儲存媒體^腦實行赌存該模 49· 一種製造物，包含：一電腦可使用媒μ ,七& 式碼，使確定關聯於—光載於其，之電腦可讀取程可讀取程式碼包含：、一輪廓，該製造物之該電腦電腦可讀取程式碼，田、，的信號；電用參數值；驗·· 从使一電腦實行接收一所測得電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行選擇一組試用電腦可讀取程式崎，參數值是否儲存於〜資料使該電腦實行確定該組試用，其中倘若該組試用參數值

!27〇〇〇5 六、申請專利範圍儲存於該資電料庫以求關並且其則包含：電試用參數值電於該組試用電擬的信號；電擬的信號於 50. 如申請電腦可號與該所測電用信號是否 =庫中，則包含：細可項取程式螞，用以使該電腦聯方;邊組試用參數值的一試用信中倘若該組試用參數值未儲存於實行檢索該資號，、該資料庫中，實行儲存該組實行進行關聯月旬可碩取程式碼，用以使該電腦於該資料庫中；月:可碩取程式碼，用以使該電腦 t數，的一電磁模擬；月尚可碩取程式碼，用以使該電腦以及 ^ Ϊ =取程式碼，用以使一電腦實行儲存該模讀資料庫或另一儲存媒體中。實行產生模 «· 接利fe圍第48項之電腦程式產品 :t f碼’用以使該電腦實行 :叮1號’其中該比較步驟包括 H讀取程式碼，用以使該電腦滿足一擬合良好性標準。，更包含：比較該試用信實行確定該試 51. ΐ = 之製造物，更包含:貝取％式碼，用以俊號與該所測得的作笋， ^ 一 ”口<，其中該比較步·驟包括：電腦可讀取程式碼，測得的作，，=使该電腦實行比較該試用信兩π 1口 #u，其中該比較步驟电腦可讀取^ 4版式1 ’用以使該電腦實行確定該試第43頁 1270005

用信號是否滿足-擬合良好性標準。 52·— 品包含取程式電組一個電一個或電組一個料庫中中，則料庫成電腦程式產品，電腦可石馬，使腦可讀或更多腦可讀更多個腦可讀或更多 ’並且包含：使用媒體管理該資取程式碼個參數，取程式石馬參數的至取程式瑪個參數的倘若該所電腦可讀取程數據庫。用以管理一資料庫，該電腦程式產 ’包括附載於該媒體中之電腦可讀料庫；，用以使一電腦實行選擇或創造一母一參數具有一範圍與一解析度； ’用以使該電腦實行儲存關聯於該少一組之值至該資料庫中； ’用以使該電腦實行確定關聯於該所有值之組合是否已經儲存於該資有值之組合已經儲存至該資料庫式碼，用以使該電腦實行編譯該資一種製造物，包含一電腦可使用媒體式螞，使管理一資料庫式碼包含：電腦可讀取程式碼組一個或更多個參數，電腦可讀取程式石馬，包括附載於其中之電腦可讀取程在忒製造物中之該電腦可讀取程丄用以使一電腦實行選擇或創造一母一參數具有一範圍與一解析度； ’用以使該電腦實行儲存關聯於該

1270005 六、申請專利範圍一個或更多個參數的至少一組之值至該資料庫中；電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行確定組一個或更多個參數的所有值之組合是否已經儲存於該^ 料庫中’並且倘若該所有值之組合已經儲存至中，則包含：貝丁叶犀電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行編該成一數據庫。子'貝料庫 54.如申請專利範圍第52項之電腦程式產品，其桃— 所有值之組合尚未儲存至該資料庫中，則包含：、Q右“ 未完】腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行1示該數據庫 55·如申請專利範圍第53項之製造物，其中倘之組合尚未儲存至該資料庫中，則包人· μ所有值未完r可讀取程式竭，用以使該電腦實行表示該數據庫項之電腦程式產品，用以使該電腦實行表更包含：示該數據庫 5 6·如申清專利範圍第5 2 電腦可讀取程式瑪，完成；以及電細可項取程式石馬用以使該電腦實行叢集該數據庫。

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、申請專利範圍庫電恥可讀取程式碼，用以使該電腦實行叢集該數據 :包：種電腦程式產品’用以確定—輪應，該電腦程式產 #· 取程，包括附載於該媒體中之電腦可讀 …低八碼，使確定該輪廓；實際以；用以使-電腦實行接收關聯於- 電腦可讀取程式碼，用 — 據庫以求一最接近的相配組^該電腦貫行檢索一輪廓數數值係關聯於一試用信號；用參數值，其中該組試用參電腦可讀取程式碼，用號是否滿足一擬合良好性使該電腦實行確定該試用信該門檻，則包含：派，並且倘若該試用信號滿足電腦可讀取程式瑪， #· 接近的相配組試用參數值。 M使該電腦實行顯示該最 59· 一種製造物，包含：一電腦可使用媒體，包紅式碼’使確定一輪廓，纟其中之電腦町讀取程

第46頁讀取程式 1270005

碼包含：電腦實行接收關聯於一電腦可讀取程式碼，用以使一只際仏5虎的^一組測量值；電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行檢索一輪廓據庫以求一最接近的相配組試用參數值，其中該組試用數值係關聯於一試用信號； f 電腦可讀取程式碼，號是否滿足一擬合良好性該門檻，則包含：用以使該電腦實行確定該試用信門檻，並且倘若該試用信號滿足電腦可讀取程式碼，丄接近的相配組試用參數值。以使該電腦實行顯示該最 60·如申請專利範圍第58項之 w 試用信號不滿足該門檻，則包2腦程式產品，其中倘若該電腦可讀取程式碼，用 3 · 息。使該電腦實行傳遞一錯誤訊 61·如申請專利範圍第5 9項之翻& 號不滿足該門檻’則包含： ^物’其中倘若該試用信

電腦可讀取程式碼，用以^ 幸、。使該電腦實行傳遞一錯誤訊 62·如申請專利範圍第58項之。試用信號不滿足該門檻，則包含％程式產品’其中倘若該

信該用於試聯該關若加倘增。中行圍其實範，腦數物電參造該\ 製使，少之以至項：用之 59含，個第包碼I 圍則式少範，程至利檻取之專門讀值請該可數申足腦參如滿電用，不試 65號組種電腦程式產 1270005 六、申請專利範圍電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行改變關聯於該組試用參數值中之至少一個之至少一參數範圍。 6 3 ·如申請專利範圍第5 9項之製造物，其中倘若該試用信號不滿足該門檻，則包含：電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行改變關聯於該組試用參數值中之至少一個之至少一參數範圍。 64.如申請專利範圍第58項之電腦程式產品，其中倘若該試用信號不滿足該門檻，則包含：電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行增加關聯於該組試用參數值中之至少一個之至少一參數範圍。程式產品包含一電腦可使用媒體，包& # β 取程式媽，用以設定該回歸以於該媒體中之電腦可驾電如可讀取程式碼，用以回歸參數；電如實行確定一第一 ||

第48頁 1270005 六、申請專利範圍電腦可讀取第一輪廓的一第電腦可讀取佳化於該第一組第一組結果的參電腦可讀取結果的參數值至電腦可讀取第二輪廓的一第電腦可讀取佳化於該第二組第二組結果的參電腦可讀取回歸參數，其中一組結果的參數中之至少一個。程式碼，用一紐測量值程式碼，用測量值上，數值；程式螞，用一儲存位置私式>5馬，用二組測量值程式碼，用測量值上，數值；以及程式碼，用该第二組回值與該第二以使該電腦實行接收關聯於一 i 以使該電腦實行執行該回歸最以獲得關聯於該第一輪廓的一以使該電腦實行儲存該第一組 I 以使該電腦實行接收關聯於一以使該電腦實行執行該回歸最以獲得關聯於該第二輪廓的一以使該電腦實行確定一第二組歸參數係關聯於選自於由該第組結果的參數值所組成之族群 6 7 · —種製造物，包含：、電知可使用媒體，包括附載於其中之電腦可讀取複式瑪’使設定一回歸最佳化，在該製造物中之該電腦可取程式碼包含：電腦可讀取程式碼，用以使一電腦實行確定一第一回歸參數，· " 電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行接收關聯於— 1270005 六、申請專利範圍 ~ 第一輪廓的〆第一組測量值；電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行執行該回歸最佳化於該第一組測量值上，以獲得關聯於該第一輪廓的一第一組結果的參數值；電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行儲存該第一組結果的參數值至一儲存位置；電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行接收關聯於一弟二輪廊的一第^一組測量值；電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行執行該回歸最佳化於β第一組測里值上，以獲得關聯於該第二輪廊的一魯第二組結果的參數值；以及電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行確定一第二組回歸參數，其中該第二組回歸參數係關聯於選自於由該第 ’ 一組結果的參數值與該第二組結果的參數值所組成之族群 · 中之至少' —個。 ·*; 5 8· 種電腦程式產品’用以设定一回歸最佳化，該電月似程式產品包含： ^

一電腦可使用媒體，包括附載於該媒體中之電腦可讀取程式碼，用以設定該回歸最佳化； " 電腦可讀取程式碼，用以使一電腦實行確定一第一組一個或更多個回歸參數範圍；、、’ 電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行接收關聯於— 第輪麻的一第一組測量值；

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六、申請專利範圍電腦可讀取程式碼，用以使該電、腦實行執行該回歸最佳化於該第一組測量值上，以獲得關聯於該第一輪的一第一組結果的參教值；时，、一 '電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行儲存該第一組結果的參數值至一儲存位置； '、一電腦可讀取程式碍，用以使該電腦實行接收關聯於一第二輪廓的一第二組測量值； ·· 電腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行執行該回歸最 ^化於該第二組測量值上，以獲得關聯於該第二輪廓的一一組結果的參數值；以及一，腦可讀取程式碼，用以使該電腦實行確定一第二組 w 3或更多個回歸參數範圍，其中該第二組一個或更多個 ^ ί參數範圍係關聯於選自於由該第一組結果的參數值與 ^ 一組結果的參數值所組成之族群中之至少一個。種製造物，包含：式满一電腦可使用媒體，包括附載於其中之電腦可讀取身

I^二使設定—回歸最佳化，在該製造物中之該電腦可1 私式瑪包含： -個ΐΐ 了 :1取程式碼，用以使-電腦實行碟定一第叫 :更夕個回歸參數範圍；第取程式碼，用以使該電腦實行接收關聯於· 二邪、一第一組測量值；電腦可讀1程式㉟，用以使該電腦實行執行該回歸：

1270005 六申請專利範圍 ___ 佳化於該第—組測旦第一組鍺果的參▲ ^ · 以獲彳于關聯於該第一輪廓的一電腦可讀取藉々zl 結果的參數值至二^，用以使該電腦實行儲存該第一組電腦可讀取程々直第二輪廓的一筮二·、、、，用以使該電腦實行接收關聯於一弟二組測量值；電腦可讀取程式該電腦电呤佳化於該第二組測量值上，以“丁執灯5亥回卸最第二組結果的參數值；卩及獲付關聯於該第二輪廓的- 個讀取ΐί碼，用以使該電腦實行確定-第二組回歸參數範圍係關聯於選自於：：：第二組-個f更多個該第二組結果的參數值；：：：；；：組結果的參數值與 1 w <秩拜中之至少一個。定關聯於一第一光組測量值係關聯於實際光譜信號資 7〇· 一種確定光柵輪廓之系統，用以柵的一第一實際輪廓，包含·· 一裴置，用以接收一組測量值，該一表示來自該光柵的繞射之信號； • 一裝置，用以產生關聯於該光柵的輪廓；一式甩輪廓的一第一試一裴置，用以選擇一第一試用一裝置，用以產生關聯於該第用光譜信號資料；一裝置，用以比較該第一

試用光譜信號資料與該第一

第52頁 1270005 六、申請專利範圍實際光譜信號資料；以及一裝置，用以使用至少一最佳化技術而確定用於一第二試用輪廓之參數值，其中該第二試用輪廓係關聯於一第二試用光譜信號資料，且其中該第二試用輪廓比該第一試用輪廓更接近相配於該第一實際輪廓。