TWI237843B - Valve structure improvement - Google Patents

Description

1237843 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種閥門結構改良，尤指一種運用於半 導體設備且具有較佳的結構強度之閥門者。 【先前技術】 請參閱第七圖、第八圖、第九圖與第十圖所示，該閥 門6包括一基座6 0 ，基座6 0的頂面設置有一固定座6 1 ，此固定座6 1係以數支螺絲6 1 2穿過鎖設固定於基 座6 0上，且固定座6 1的上端面具有一凹槽6 1 1以提 供一推桿6 3置放，基座6 0的底面具有一可容置密封體 6 4的嵌合槽6 0 1 ，又固定座6 1的頂面設置有一固定 塊6 2 ，該固定塊6 2面對推桿6 3的一側面具有一凹槽 6 2 1 ，此凹槽6 2 1係配合固定座6 1的凹槽6 1 1將 推桿6 3夾固於固定座6 1與固定塊6 2間，又固定塊6 2係以螺絲6 2 2穿過鎖設固定於固定座6 1上，其閥門 6作動是利用推桿6 3受力後驅使閥門6產生關閉或開啟 的動作。 關於上述的閥門結構主要應用於半導體廠的相關設備 上，而半導體的相關製程有需要利用南溫與低溫的變化以 達成製程要求，因此該閥門6往往需要在高、低溫差變化 大的環境下作業，故閥門6會受高、低溫差變化而產生熱 脹冷縮的物理變化，而前述的閥門6結構各組件間主要以 螺絲6 1 2 、6 2 2固定之，因此當溫度變高時會使閥門 6的構件膨脹，依據前述的結構閥門6之構件膨脹時會使 其提供螺絲鎖6 1 2、6 2 2設的孔徑縮小，而螺絲6 1

1237843 五、發明說明（2) ' -- f、6 2 2的外徑會擴大，如此會使閥門6的每兩兩組件 父接處對螺絲6 1 2、6 2 2產生剪切應力。 再請參閱第十一圖所不，當執行正常關閉程序狀態 閥門6可正常的關閉閥門座5 ’的通道5 1，，閥門6 f平 穩的底靠於閥門座5 ,上，因此閥門6所受的衝擊力可平“ 均分散至其各組件吸收’而當執行非正常關閉程序時如第 十二圖所示，閥門6的一侧會先接觸到闕門座5，，而其 產生的衝擊力容易集中於閥門6某部分組件上，使螺絲6 1 2、6 2 2承受莫大的應力，加上螺絲6 1 2、6 2 2 長期受剪切應力影響更會加速使其斷裂，造成閥門6損壞 使半導體設備停土運作’而半導體廠的設備一但損壞而停 止將會使業者產生莫大的損失。 【發明内容】 綜上所述，本發明在提供一種具有高結構強度的閥 Π ’使其在作業時可對抗溫度差變化時產生的剪切應力， 以及不當操作時產生的衝擊力，令閥門結構不易損壞以減 少半導體業者成本者。 -種閥門結構改良，該閥門具有一基座，此基座的底 面具有一可容置密封體的卡槽，基座的頂面設置有至少兩 栓鎖塊，栓鎖塊各別提供一下固定塊結合固定，下固定塊 底鈿具有可供栓鎖塊嵌入的栓鎖槽，頂面設置有可供一推 桿容置的一凹槽’以及在下固定塊頂端固設有一可夾固推 桿的上固定塊。 【實施方式】

1237843 五、發明說明（3) 請參閱第一圖、第二圖、第三圖與第四圖所示，本創 作的閥門1是應用於半導體的相關設備上，其具有一基座 1 0 ，此基座1 0的底面具有可容置一密封體1 4的卡槽 1 2 ，基座1 0的頂面上的兩側設置有外觀略呈T字型的 兩栓鎖塊1 1 ，以及基座1 0的頂面上且位於各栓鎖塊1 1的兩側設置有數個螺孔1 3，各栓鎖塊1 1各別可供設 置一下固定塊2 ，該下固定塊2底面對應栓鎖塊1 1設置 有一栓鎖槽2 1 ，使栓鎖塊1 1可嵌入栓鎖槽2 1内使下 固定塊2定位，又下固定塊2的頂端設置有可容置推桿3 的凹槽2 2 ，且於凹槽2 2的兩侧分別設置有數個螺孔2 3與穿孔24 ，下固定塊2在以鎖固元件43穿過穿孔2 4鎖入螺孔1 3内使其固定於基座1 0上。 下各固定塊2的頂端分別設置有一上固定塊4 ，該上 固定塊4係以螺絲4 2穿過鎖設固定於下固定塊2的螺孔 2 3上，且上固定塊4的底面設置有一凹槽4 1 ，此凹槽 4 1配合下固定塊2的凹槽2 2將推桿3穩固夾持於上、 下固定塊4、2間，藉由推桿3受力後可驅使閥門1作動 產生關閉或開啟的動作者。 本發明主要是關於下固定塊2與基座1 0的組設實 施，即基座1 0上的栓鎖塊1 1加工時會設計為略大於下 固定塊2的栓鎖槽2 1 ，並於組合時需將基座1 0以低溫 冷卻處理且下固定塊2以高溫加熱處理，使基座1 0的栓 鎖塊1 1體積縮小而下固定塊2的栓鎖槽2 1擴大，以便 於裝配時栓鎖塊1 1可輕易的嵌入栓鎖槽2 1内，並於兩

1237843 五、發明說明（4) 者恢復常溫後使栓鎖# 9 ,... 貝子日2 1與栓鎖塊1 1形成干涉配合的 組合万式，再配合雜λ π P I广！ n L 、’貞入螺絲4 3使下固定塊2穩固設置於 基座1 0上。 當閥門於半 產生熱騰冷縮的 2、4 3受剪切 行正常關閉程序 上，且密封體1 而閥門1關閉時 苐六圖所不，操 門1傾斜而閥門 衝擊力將會集中 一侧的栓鎖塊1 2、4 3，使其 3斷裂令閥門1 本發明藉由 固定塊2組合固 使兩者結合更加 較大的應力，且 2、4 3不會承 一提的是基於成 成，而下固定塊 大於鋁合金，故 因此僅需更換推 導體 物理 應力 時， 4會 的衝 作閥 1的 於閥 1承 受較 損壞 栓鎖 定， 穩固 可預 受過 本考 2可 於閥 桿3 設備運作 現象，並 的影響， 會使基座 封閉閥門 擊力則平 門1執行 一側先與 門的一侧 受後才傳 小的衝擊 〇 塊1 1與 並配合鎖 ’利用栓 先吸收部 大的應力 量基座1 為不鑛鋼 門1作動 即可時閥 時，同 會使閥 請參閱 1 0平 座5的 均分散 非正常 閥門座 ，該衝 達至其 力不易 樣會受 門1的 第五圖 穩的底 通道5 至各組 關閉程 5碰撞 擊力主 他組件 使鎖固 溫度變 鎖固元 ，當閥 靠於閥 1使其 件，再 序時， ，此時 要由基 與鎖固 元件4 拴鎖槽2 固元件4 鎖塊1 1 分的衝擊 而產生斷 0與推桿 材質所製 時僅會對 門繼續使 1使基座1 3鎖入基座 較大的面積 力，使鎖固 裂，又本創 3可為鋁合 成，因不鏽 推桿3產生 用而無須更 化影響 件4 門1執 門座5 關閉， 請參閱 會使閥 產生的 座1 0 元件42、4 0與下 1 0内 可承受 元件4 作值得 金所製 鋼硬度 磨耗， 換整組

1237843

1237843 明 說 單 簡 式 圖 圖 觀 外 解 分 體 立 1 之 明明 說發 單本 簡係 式圖圖一 ί第 圖 觀 外 合 。 組圖 體視 立俯 之之 明明 發發 本本 係係 圖圖 二三 第第 〇 圖 圖作 作動 。動之 圖之序 視序程 剖程閉 之閉關 取關常 所常正 線正非 4行行 一 執執 4門門 圖閥閥 三明明 第發發 沿本本 係 圖圖圖 四五六 圖 觀 外 合 。 組圖 體視 立俯 之之 曰 JaJ f Γ 9¾一、 用用 習習 係 係 圖圖 七八 第第 圖視 視側 側構 構結 結合 合結 結之 之座 座定 基固 與與 座塊 定定 固固 示示 顯顯 曰J G J 严 Γ 閥閥 用用 習習 係 係 圖圖 九十 第第 圖第第 圖 作 £ 之 士V 日 序 程 9-^ 關 常 正 行 執 0J f 閥 用 習 係 圖 圖 圖 作 之 士守 日 序 程 F * J-hum 關 常 正 up ¥ 行 執 ΘΊ F 閥 用 羽白 係分 圖部 二號

塊 鎖 門栓 閥1 IX IX 座槽 基卡 0 2 件 槽 元 孔鎖孔 槽固 螺栓螺桿凹鎖 3 1 3 推 1 3 1 2 2 3 4 4 5 座 ΘΊ F 閥 件 塊 塊元 定槽孔定固座道 固凹穿固鎖門通 下 2 4 上 2 閥 1 2 2 2 4 4 5 5

第10頁 1237843 圖式簡單說明 5 1 ’通道 6 0基座 6 1固定座 6 1 2螺絲 6 2 1凹槽 6 3推桿 6閥門 6 Ο 1嵌合槽 6 1 1凹槽 6 2固定塊 6 2 2螺絲

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Claims (1)

1237843 六、申請專利範圍 ~-—— 1 · 一種閥門結構改良，包括： 一基座，基座的底面具有可容置一密封體的_卡槽， 以及基座的頂面分設有至少兩栓鎖塊； 至少兩下固定塊，各下固定塊底面具有供栓鎖塊嵌入 的一栓鎖槽，使各下固定塊穩固設置於基座上且位於^ 塊處，又下固定塊的頂面形成有一凹槽； 王、’ 一推桿’該推桿係設置於下固定塊的凹槽内； 至少兩上固定塊，各上固定塊係分別設置於下固定 的頂面，上固定塊的底面具有可容置推桿的凹槽，^护 受上、下固定塊的凹槽夾持者。 干 2 ·如申請專利範圍第丄項所述之閥門結構改$ ， 中基座及推桿係為链合金所製成者。 〃 3 ·如申請專利範圍第丄項所述之閥門結構改 中下固定塊係為不鏽鋼所製成者。 义 一 4 ·如申請專利範圍第i項所述之閥門結構改良，复 中基座上且位於栓鎖塊的兩側設置於螺孔，以及下^ a : 設置有對應螺孔的穿孔，提供鎖固元件穿過穿孔鎖入= 如〒睛寻利範圍第1 〜叫不丄7\岡门菇構改良，复 中基座的栓鎖塊係略呈T字形者。 /、 6 .如申請專利範圍第i項所述之閥門結構改 中基座的栓鎖塊體積係略大於下固定塊的栓鎖样 /、 組裝時將基座冷卻收縮，並將下固定塊加熱膨二吏： 塊嵌入栓鎖槽内，冷卻至常溫者。 &鎖

第12頁 1237843 六、申請專利範圍 7 ·如申請專利範圍第1項或第6項所述之閥門結構 改良，其中基座的栓鎖塊與下固定塊的栓鎖槽係以緊迫配 合方式結合者。

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