TWI231724B - OLED device and EL device - Google Patents

OLED device and EL device Download PDF

Info

Publication number
TWI231724B
TWI231724B TW092112128A TW92112128A TWI231724B TW I231724 B TWI231724 B TW I231724B TW 092112128 A TW092112128 A TW 092112128A TW 92112128 A TW92112128 A TW 92112128A TW I231724 B TWI231724 B TW I231724B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
layer
substrate
cap
oled
patent application
Prior art date
Application number
TW092112128A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200400773A (en
Inventor
Hooi-Bin Lim
Ewald Karl Michael Guenther
Shi-Chai Chong
Hagen Klausmann
David Lacey
Original Assignee
Osram Opto Semiconductors Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US10/142,208 external-priority patent/US7423375B2/en
Application filed by Osram Opto Semiconductors Gmbh filed Critical Osram Opto Semiconductors Gmbh
Publication of TW200400773A publication Critical patent/TW200400773A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI231724B publication Critical patent/TWI231724B/zh

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/871Self-supporting sealing arrangements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/805Electrodes
    • H10K50/81Anodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/841Self-supporting sealing arrangements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/842Containers
    • H10K50/8426Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/805Electrodes
    • H10K59/8051Anodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/871Self-supporting sealing arrangements
    • H10K59/8722Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/17Passive-matrix OLED displays
    • H10K59/173Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/17Passive-matrix OLED displays
    • H10K59/179Interconnections, e.g. wiring lines or terminals

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

1 1231724 玖、發明說明: (一) 、發明所屬之技術領域 本發明係關有機裝置之製造,諸如電激發光或有機發光 二極體(〇 LED)裝置。特別是本發明係關於改善電激發光裝 置之封裝’及本發明之又一觀點係關於活性有機材料之同 質性或均勻沉積。 (二) 、先前技術 第1圖係顯示具有一或多個0 LED單胞之習知電激發光 裝置100。0LED單胞係包括透明導電層1〇5(如銦錫氧化物 或ITO)和導電層115之間,有一或多個有機功能層11〇的 功能堆疊。該些導電層係作爲電極。單胞係製造於基板1 〇 i 上之主動區域185中。該單胞可依需求建構成顯示器或指 示燈。形成電極及銲墊1 5 0間互連之金屬化層係被提供。 該銲墊係耦合至諸如驅動電路,以控制OLED單胞之動作。 帽蓋160,係形成空腔145,而封裝該裝置,緊密地密封0LEd 單胞以保護其對抗環境(如濕氣及/或空氣)。 動作時,電荷載體係經由電極注入用於在功能層中復合。 電荷載體之復合使單胞功能層發射可見輻射光。 用於沉積聚合物之技術包括,如旋塗或刮刀成型(d〇etQl< blading)。此種技術係塗覆整個基板表面。因聚合物非常軟 且局部易潮解,故必須自連接至基板的帽蓋區域(即帽蓋連 接區)完全移除。 再者,因銲墊一般係在聚合物材料沉積前形成,該材料 須自銲墊上移除,以露出用於耦合至驅動電路之靜墊。 -6 - 1231724 然而’此瓶頸技術係用於圖樣化聚合物材料。此乃因對 化學性質(乾或濕)有要求之技術係和光敏性聚酯材料不相 容。通常使用圖樣化之技術係爲鐳射熔削(abiati〇n)。 使用鐳射熔削時,高鐳射強度和較長之照射時間爲必須, 以自基板之選定區域上移除聚合物材料。高鐳射強度和較 長之照射時間,可能會損傷金屬化或聚合物下之銦錫氧化 物層,反而影響該裝置。再者,鐳射熔削並無法完全移除 聚合物材料’因在該層變得較薄時,光的吸收能力會下降。 無法自帽盖連接區域完全移除聚合物材料可能導致缺陷封 裝,造成失敗。 由上述之討論證明,提供具有可靠封裝的電激發光裝置 是受到期盼的。 再者,OLED裝置之有機功能層包括,如溶解在溶液中之 共輛聚合物。聚合物係藉如旋塗或刮刀成型(doctor blading) 技術或其他沉積/印刷技術沉積於基板上。一般而言,有機 層係非常薄,例如約50至400nm。因有機層非常薄,在該 層中很小的偏差或不均勻性可能導致裝置動作時的光學缺 陷。 有機層塗覆在備有圖樣化結構的玻璃基板上,諸如金屬 互連和銦錫氧化物電極結構。 不同的結構會在基板表面產生不均勻的形貌。依基板之 形貌,在不同的材料下具有不同的表面能量,使得提供均 勻之有機層成爲困難。 爲了改善有機層塗覆之均勻性,可採取各種解決方案。 -7- 1231724 此等解決方案包括,藉氧氣或電漿處理基板表面,選擇適 當之金屬使有機層展現較佳之塗覆成果,或修改有機材料 以產生較佳之塗覆特性。然而,此等解決方案是無益的, 此乃因有機材料之較佳塗覆特性之達成係藉由犧牲可製造 性,導致成本提高及/或使功能衰減。 由上所論述之事實,在有機裝置中提供均勻的有機功能 層而不會相反地影響裝置特性或增加製造成本,是更受到 期盼的。 (三) 、發明內容 本發明係關於電激發光裝置之密封。該電激發光裝置包 括:具有一活性區域而至少一 OLED單胞形成於其上之基 板;圍繞該活性區域之帽蓋連接區域;諸如光阻之保護層, 係提供在帽蓋焊線連接的活性區中。保護層允許用於形成 OLED的聚合物材料自帽蓋連接區域中移除,而不會損壞保 護層以下之各層。此會改善基板和帽蓋之間的密封。 本發明之另一項觀點係關於在有機裝置中有機層之均勻 沉積。該有機裝置包括一基板,其中有機層沉積在基板上, 或諸如電極、金屬互連部的其他層之上。諸如光阻之同質 層,其具有有機材料而呈現良好之塗覆特性,係被提供於 有機層之下。此避免可能影響基板上有機層均勻沉積之下 層金屬,導致例如在OLED單胞中的有害的效應。 (四) 、實施方式 第2圖中係顯示依照本發明之一實施例之有機裝置200。 該裝置包括一基板2 0 1,其具有一或多個活性元件形成在其 1231724 之主動區域2 8 5中。在一實施例中,該等主動元件包括一 或多個形成OLED裝置之OLED單胞。提供具有有機材料 之其他型式之主動元件,同時可用於形成其他型式之裝置。 在一實施例中,基板包括諸如玻璃之透明基板。可作爲 支撐OLED單胞之基板的其他型式透明材料,亦同時可使 用。例如:塑膠薄膜可應用於當作基板。塑膠材料對於形 成可撓性裝置係特別有用。非透明材料,諸如矽,係同時 可使用,特別是在由帽蓋觀點之應用。 一 OLED單胞包括1或多個夾於第一和第二電極205和 215間之有機層(有機堆疊)210。較佳地,該有機層係包括 共軛聚合物。其他型式有機材料例如低分子材料,寡聚合 物,starburst混合物或dendrimer材料,係亦可使用。該些 材料包括 tris-(8-hydroxyquinolate)-Aluminun(Alq), poly(p-phenylenevinylene)(PPV)或 polyfluorene(PF)。其他 型式包括螢光或磷光系之功能性有機層,亦可使用。在一 實施例中,一電洞傳輸層(HTL)係包括在有機堆疊210中。 該 HTL 包括諸如一般含 polyaniline(Pani)或 polythylenedioxythiophene (Pedot)之聚合物混合物。有機 堆疊之厚度一般係在2至500nm。 第一電極205作爲諸如陽極,此時第二電極(2 15)作爲陰 極。至少一個電極包括透明導電材料,如銦錫氧化物(IT0)。 陰極和陽極可依所需作圖樣化,以形成一或多個OLED單 胞。如陰極和陽極分別在第一和第二方向形成條狀,以創 造出像素化的裝置。其他圖樣亦爲有用的。一般而言,第 -9- 1231724 一和第二方向係彼此垂直。 帽蓋260係連接至基板中圍繞活性區域的帽蓋連接區 域,封裝OLED單胞。帽蓋產生一空腔245以保護單胞免 於因帽蓋受到碰撞而損傷。 裝置之主動區域可能包括,例如用於圖樣化裝置層的成 形墩柱(未顯示)。具有挖除下部的成形墩柱係用於圖樣化 頂部電極。成形墩柱之使用係敘述在例如”結構化電極之生 產”(US200 1/00 1 75 1 6A1)和”〇LED 裝置中電極之圖樣 化”(PCT/SG00/00 1 34)中,其係在此結合而參照到所有使用 目的。 基板係包括位於主動(active)區域28 5外側之第一電極205 之導電互連部。該互連部包括,例如金屬。如前所述,金屬 之互連部可能不利地影響有機層之均勻性。此有機層之不 平坦可能會從非活動區域之外側滲透進入此主動區域,其 中有機層係與下面之金屬層接觸,因此,不利地影響活性 元件。 依照本發明之一實施例,同質層275係提供在基板上活 性區域之外側。該同質層覆蓋基板之非活性區域中的金屬 互連部。該同質層包括在有機層中用於提升均勻性以形成 活性元件之材料。藉由覆蓋金屬互連部,有機層不均勻之 不利效應係被降低或防止。較佳地,該材料包括防止互連 部短路之絕緣材料。爲了同質層之材料導電之應用,須在 保護層之下提供一同質層。更佳地’同質層係由相容於裝 置之製造方法的材料所形成。例如,該材料須易於沉積在 - 1 0 - 1231724 基板上,或易於選擇性移除以露出所需之下層互連部分。 較佳地,該材料可被沉積或藉使用已用於製造該裝置之製 程而易於移除,因此可避免額外之工具或化學特性需求。 在另一實施例中,同質層包括諸如光阻之光敏性材料。其 他型式之光敏性材料,如聚硫亞胺(polyimide)亦爲有用。 非光敏性材料如樹酯或非光敏性聚硫亞胺亦可被使用。具 有良好塗覆特性之其他形式有機材料,亦能被使用。這些 包括,如 Novolak 樹酯,polybenzoxazole,pery 1 ene ° 同質層同時可有利地當作表面保護層。例如,在主動區 域外之有機層部份可能須被移除,使得在帽蓋連接區域中 提升帽蓋和基板之間的黏著性或露出用於銲墊之下層金屬 互連部。有機層之移除一般係藉鐳射熔削達成。然而,鐳 射熔削可能損傷金屬互連部,引起裝置瑕疵或性能之不良 影響。藉提供有機層下方之同質層,金屬互連部可被保護 免於在鐳射熔削製程中受到損傷。同質層之厚度須足夠, 以降低或消除在不均勻有機層上之互連金屬部的不良效 應。另外,同質層須足夠厚,以保護其下方之各層免於在 選擇性移除聚合物材料的製程中受到損傷。一般而言,其 厚度約〇·5〜2微米。其他厚度亦可被使用。 弟3圖係顯不依照本發明之另一實施例之電激發光裝置 200。該裝置包括一個基板201,其係具有一或多個0LED 單胞形成於其中的主動區域2 8 5。在一實施例中,基板包括 和基板相同材質的電激發光裝置係顯示於第2圖中。 顯示於第3圖之OLED單胞同時可能包括和第2圖裝置 1231724 相同的功能堆疊,由夾於第一和第二電極2 Ο 5和2 1 5之間 的一或多個有機層(聚合物堆疊)2 10組成。 陰極和陽極可依第2圖所述之裝置的相同方式,依照需 求圖樣化而形成一或多個OLED單胞。銲墊250係電氣耦 合至陰極和陽極。 帽蓋260係連接至基板中圍繞主動區域之帽蓋連接區 域,密封該些OLED單胞。該帽蓋產生一空腔245以保護 該些單胞免於因實際碰撞帽蓋而損傷。在一實施例中,該 帽蓋包括密封環或密封條(gasket)形成於其上之帽蓋基板。 該帽蓋基板可由如玻璃形成。其他可作爲帽蓋基板之材料, 諸如金屬或陶瓷亦可被使用。該密封環,例如可由光阻形 成。其它材料,諸如矽玻璃,矽氧化物或陶瓷亦可被使用。 黏合劑係用作接合帽蓋至基板。黏合劑包括,諸如環氧樹 酯系之樹酯,矽化物,胺基甲酸酯,丙烯或烯化合物。該 樹酯可以是紫外線或高溫塑形之樹酯。提供由樹酯接合劑 形成之密封環係同時爲有用的。選用地,帽蓋係由例如壓 鑄金屬或蝕刻玻璃,預製形成。 裝置之主動區域可能包括,例如成形墩柱。包括挖除下 部之成形墩柱係用於圖樣化頂部電極。成形墩柱之使用係 敘述在例如”結構化電極之生產”(US200 1 /00 1 75 1 6A1) 和”OLED裝置中電極之圖樣化”(PCT/SG00/00 1 345)中,其 係在此結合而參照到所有使用目的。可替代地或除了地成 形墩柱之外,間隔物質可被提供於基板上。間隔物質作爲 支撐帽蓋,防止其與OLED單胞接觸。間隔物質之使用, 1231724 係敘述在例如:”電器裝置之封裝,,(USSN09/9 893 62),”有 機OLED裝置之改善密封”(pCt/SG99/00 1 45),,,具有改良密 封之〇LED裝置”(PCT/SG99/00 1 43),其係在此結合而參照 到所有使用目的。 依照本發明之一實施例,用以當做保護層之同質層275 係提供在基板上的帽蓋連接區域之中。該帽蓋係接觸保護 層表面。在保護層下之不同層,如用於各電極之間的金屬 互連部及/或諸如ITO電極,係被保護在聚合物層移除時免 於受到損傷。因保護層當作是封裝的一部份,其須展現充 分的機械穩定度,良好之黏合特性和低滲透率,以確保帽 蓋和基板間較佳之密封。若表面保護層直接在金屬互連部 上’其須由絕緣材料形成。較佳地,表面保護層係由和OLED 製程相容之材料形成。典型地,表面保護層之厚度約爲 0.5〜5 0微米。其他厚度亦爲可用。在一實施例中,表面保 護層包括光阻。其他形式之光敏材料,諸如樹酯或非光敏 聚合物,亦亦爲可用。 第4〜9圖係顯示依照本發明之一實施例之製造〇LED裝 置的方法。參照第4圖,係提供基板3 0 1。在一實施例中, 基板包括透明基板,例如蘇打生石灰或砂酸硼玻璃。其他 形式之透明材料亦可使用當作基板。該基板一般係爲 0.4〜1.1毫米厚。 在另一實施例中,基板包括薄式可撓性基板。薄式可撓 性基板係由例如塑膠膜形成,如PET,PBT,PEN,PC,PT, PSO,PES,PE,PP,PVC,PS,PMMA,亦可使用以形成 1231724 基板。選用的材料包栝,如··超薄玻璃(如厚度介於i 〇〜i 〇〇 微米之間)’包括玻璃和聚合物之合成堆疊或塗覆在非有機 阻障層上之聚合物薄膜,亦可被使用。 基板係備製第一電極3 0 5。第一電極係至少位於在活性 區域。第一電極係作爲,如陽極。陽極之形成可藉如,沉 積及圖樣化基板上之導電層。不同之技術,如光照圖像, 亦可被用於圖樣化導電層。在一實施例中,陽極係以條狀 配置於第一方向中。具有其他圖樣之陽極亦可使用。在一 實例中’導電材料包括諸如銦錫氧化物(ITO)之透明導電材 料。其他透明導電材料,例如銦鋅氧化物、鋅氧化物、錫 氧化物,亦爲可用。 互連部3 7 5係提供於基板上活性區域之外。互連部係耦 合至例如電極。在一實施例中,導電層係沉積於基板上且 圖樣化以形成電氣互連部3 7 5和銲墊。導電層包括例如鋁、 銀、金或鉻。導電層之圖樣化可藉由傳統之光罩和蝕刻技 術達成。 參照第5圖,裝置層43 0係沉積於基板上。在一實施例 中,裝置層包括光阻。不同形式之光阻,例如正或負動作 型,皆可使用。其他形式之光敏材料或提升活性聚合物層 之均勻性的非光敏材料,亦可使用。若裝置層包括導電材 料,在有需要時,須提供一絕緣層於其下方,以防止互連 部短路。 參照第6圖,裝置層係接著圖樣化以形成一同質層575 於活性區域外部之區域。若採用光敏裝置層,依照正或負 -14 一 1231724 光敏材料,選擇性的圖樣化露出部分且移除露出或不需要 的部分’係被採用。另一方面,習知之光罩和蝕科技術可 備用於圖樣化非光敏裝置層。 參照第7圖,係爲後續完成製造OLED裝置之製程。各 種不同之習知技術可用於完成OLED裝置。在一實施例中, 成形墩柱68 5係形成於基板上。該成形墩柱包括挖除下部, 諸如V字形外廓,以在沉積時充分地遮斷導電層。較佳地, 成形墩柱係由一單層材料形成。在一實施例中,成形墩柱 係由包括負光阻之單層材料形成。其他形式之光敏材料亦 可被使用。非光敏材料亦可被使用以形成該成形墩柱。選 用地’該成形墩柱係由多數層所形成,以創造出一 T字形 外廓。該多數層可由光敏及/或非光敏材料形成。 在墩柱形成後,功能性有機層6 1 0係沉積於基板上。在 一實施例中,功能性有機層6 1 0係包括共軛聚合物。其他 形式之有機材料亦可使用。聚合物係藉由例如旋塗(spincoating)而沉積 。其 他沉積 技術亦 爲可用 。外 加之功 能層係 被沉積以形成功能性有機堆疊。不同型式之聚合物可被沉 積以形成多種色彩之OLED裝置。在主動區域外側之金屬 層下所存在的同質層,是用以確保聚合物有一良好之均勻 沈積。 參照第 8圖,第二導電層7 1 5係形成於基板上。該導 電層包括例如:鈣、鎂、鋇、銀、鋁或其混合物,或其合 金。特別地,這些包括低工作函數(work function),亦可 被使用以形成第二導電層。選用地,第二導電層包括離子混 - 15 - 1231724 合物’ S者如親化鋰(LiF)、贏化鎂(MgF)或氟化鉋(CsF)。在 一實施例中,第二導電層包括鈣。鈣層係藉例如以1奈米/ 秒(nm/s)之熱蒸發和1〇·5毫巴(mbar)之壓力而沉積。選用 地’第二導電層包括組合層或多重層之堆疊。例如該堆疊 包括第一鈣層及緊隨在後之銀或鋁的第二導電層。各種沉 積技術,諸如熱蒸發,濺鍍(PVD),化學氣相沉積(CVD), 電漿提升化學氣相沉積(PECVD)或金屬有機化學氣相沉積 (MOCVD),可被用於形成第二導電層。較佳地,陰影遮罩 係用於裝置之主動區域585中,以形成第二導電層。第二 導電層之沉積係由墩柱阻斷,以創造出第二電極或陰極。 該陰極和陽極之交叉點形成OLED單胞(cell)。 在活性區域外之有機層的部分係被移除,如第8圖所示。 蝕刻可藉例如鐳射熔削來被執行。在一實施例中,有機材 料可在第二電極形成前被移除。在第二電極形成後圖樣化 有機層亦可被使用。爲確保有機層完全被移除,係施行過 度蝕刻。過度蝕刻同時部分地移除當作表面保護層之同質 層。然而,在金屬互連部,因其受到表面保護層保護,而 不會有雷射熔削所導致的損傷。 如第9圖中所示,OLED裝置藉由安裝帽蓋860至基板上 之帽蓋連接區域而完成。在OLED裝置封裝後,在活性區 域外之同質層部分可使用習知之濕或乾式蝕刻技術而移 除,以露出聯交至電極之互連部。其它技術,例如鐳射熔 削亦可用於移除同質層。此處可以例如0.3焦耳/平方公分 之能量密度和248奈米之波長完成。 1231724 , 在一較佳實施例中,同質層的形成係爲製造OLED裝置 之現行製程的一部份。例如,在銲墊和互連部形成之後, 同質層之一部份可保留在基板上以當作表面保護層。 第10〜14圖係顯示依照本發明之一實施例之用於製造 O LED裝置的製程。參照第10圖,係提供一基板301。在 一實施例中,基板包括一透明基板,包括蘇打石灰或鋇矽 化物玻璃。如第4圖中所述之其他型式透明基板,亦可被 使用。 基板包括形成在其表面上之第一^電極305。第一*電極當 作,例如陽極。陽極可藉沉積和圖樣化基板上之導電層而 形成。各種技術,如光照圖像可被用於圖樣化導電層。在 一實施例中,陽極係在第一方向被配製成條狀。具有其他 圖像之陽極亦爲可用。在一實施例中,導電材料包括例如 銦錫氧化物(IT0)之透明導電材料。其它透明導電材料,例 如銦鋅氧化物,鋅氧化物,錫氧化物,亦可使用。銲墊和 其他互連部亦包括在基板之上。銲墊和互連部係藉沉積和 圖樣化導電層而完成。導電層包括諸如鋁、銀、金、鉻之 類金屬。圖樣化導電層可使用習知之光罩和蝕刻技術達成。 裝置層3 72係沉積於基板上。在一實施例中,表面保護 層包括光阻。各種形式光阻,例如正或負動作型,均可使 用。其他形式之光敏材料或非光敏材料,亦可使用。如第1 1 圖所示,裝置層係接著圖樣化,以形成在基板上的帽蓋連 接區域中之表面保護層475。若使用光敏裝置層,依照使用 正或負光敏材料,藉選擇性露出部分且移除該露出或非期 -17- 1231724 望之部分而圖樣化。另一方面,習知之光罩和蝕刻技術亦 可用於圖樣化非光敏裝置層。 參照第1 2圖,係爲後續完成製造〇LED裝置製程。各種 不同之習知技術可用於完成OLED裝置。在一實施例中, 成形墩柱5 84係形成於基板上。該成形墩柱包括挖除下部, 諸如V字形外廓,以在沉積時充分地遮斷導電層。較佳地, 成形墩柱係由一單層材料形成。在一實施例中,成形墩柱 係由包括負光阻之單層材料形成。其他形式之光敏材料亦 可被使用。非光敏材料亦可被使用以形成該成形墩柱。選 用地,該成形墩柱係由多數層所形成,以創造出一 T字形 外廓。該多數層可由光敏及/或非光敏材料形成。 在墩柱形成後,功能性有機層5 1 0係沉積於基板上。在 一實施例中,功能性有機層5 1 0係包括共軛聚合物。其他 形式之有機材料亦可使用。聚合物係藉由例如旋塗(spin-coating)而沉積 。其 他沉積 技術亦 爲可用 。外 加之功 能層係 被沉積以形成功能性有機堆疊。不同型式之聚合物可被沉 積以形成多種色彩之OLED裝置。 參照第1 3圖,第二導電層6 1 5係形成於基板上。該導 電層包括例如:鈣、鎂、鋇、銀、鋁或其混合物,或其合 金。特別地,這些包括低工作功能,亦可被使用以形成第 二導電層。選用地,第二導電層包括離子混合物,諸如氟 化鋰(LiF)、氟化鎂(MgF)或氟化絶(CsF)。在一實施例中, 第二導電層包括鈣。鈣層係藉例如以1奈米/秒(nm/s)之熱 蒸發和1〇·5毫巴(mb ar)之壓力而沉積。選用地,如第8圖 1231724 .. 所示,第二導電層包括相同之組合層或多重層之堆疊。如 第8圖所示,各層之配置使用相同方法沉積於基板上。 在帽蓋連接區域之聚合物層,可藉例如鐳射熔削而移除 或鈾刻。在一實施例中,聚合物係在在第二電極形成前被 移除。爲確保有機層完全被移除,係施行過度蝕刻。過度 蝕刻同時部分地移除表面保護層。然而,在金屬互連部, 因其受到表面保護層保護,而不會有雷射熔削所導致的損 傷。 如第14圖中所示,OLED裝置藉由安裝帽蓋760至基板 鲁 上之帽蓋連接區域而完成。表面保護層和帽蓋密封環形成 在帽蓋和基板間之介面。黏合樹酯可用於連接帽蓋和基板。 在一實施例中,黏合劑在基板和帽蓋間呈現良好之連接和 阻障特性,以緊密地密封OLED裝置。黏合劑包括,諸如 環氧樹酯系之樹酯,矽化物,胺基甲酸酯,丙烯或烯化合 物。該樹酯可以是紫外線或高溫塑形之樹酯。藉由使用保 護層,設計一個具有所需特性的密封系統(如黏合劑,帽蓋 材料和保護層材料)是很有彈性的。 鲁 在OLED裝置封裝後,在活性區域外之聚合物部分可使 用例如濕式蝕刻技術而移除。因裝置之活性區域係爲密封, 化學作用不會對OLED裝置有不良影響。 在一實施例中,表面保護層係以既有製程之製造OLED 製程一部份而形成。例如,在銲墊和當作表面保護層之互 連部形成後,光阻層之一部份可保留在基板上。選用地, 用於形成成形墩柱之裝置層,可有利的圖樣化,以包括表 -19- 1231724 面保護層。 本發明之保護範圍,並不限於如上所述之實例。本發明 係在各新穎特性和各特性組合之具體化,其包括在申請專 利範圍中所述之任何特徵的各種組合,即使這些特徵的組 合並未在申請專利範圍中詳細敘述。 (五)、圖示簡單說明 第1圖顯示一習知OLED裝置; 弟2圖顯不本發明之一*實施例; 第3圖顯示本發明之一實施例; 第4〜9圖顯示顯示依照本發明之一實施例,製造OLE D裝 置之製程; 第10〜14圖顯示顯示依照本發明之另一實施例,製造〇LED 裝置之製程; 元件代表符號簡單說明: 100 電激發光裝置 102 基板
105 透明導電層 no 有機功能層 115 導電層 145 空腔 151 銲墊 161 帽蓋 185 主動區域 2〇〇 有機/電激發光裝置 1231724 20 1 基 板 205 第 一 電 極 210 有 機 層 2 15 第 二 電 極 245 空 腔 250 靜 墊 260 帽 蓋 275 同 質 層 285 主 動 區 域 301 基 板 305 第 一 電 極 372 裝 置 層 3 75 互 連 部 430 裝 置 層 475 表 面 保 護 層 5 10 功 能 性 有 機 層 575 同 質 層 585 主 動 域 610 功 能 性 有 機 層 615 第 二 導 電 層 5 84,685 成 形 墩 柱 715 第 二 導 電 層 860 帽蓋

Claims (1)

  1. —籍ΓΓ▼請專利範圍: 第92 1 1 2 1 28號「OLED裝置和電激發光裝置」專利案 (93年11月修正) 1 . 一種OLED裝置,包括: 一具有一活性(active)區域之基板; 一圍繞該活性區域之帽蓋連接區域; 一位於金屬化層之上之同質層,該同質層提升該基板上 有機層之塗覆的均勻性,且因此降低或防止金屬的不良 效應,及 一在該帽蓋連接區域連接至基板的帽蓋。 2 ·如申請專利範圍第1項之裝置,其中該同質層係包括一 非導電材料。 3 ·如申請專利範圍第1項之裝置,其中該同質層係包括提 升有機層均勻性之材料。 4 ·如申請專利範圍第1項之裝置,其中該同質層係包括一 光敏材料。 5 ·如申請專利範圍第4項之裝置,其中該光敏材料包括光 阻或聚硫亞胺(polyamide)。 6 ·如申請專利範圍第1項之裝置,其中該同質層係包括一 非光敏材料。 7 ·如申請專利範圍第6項之裝置,其中該非光敏材料包括 聚硫亞胺(polyamide)。 8·如申請專利範圍第1項之裝置,其中該同質層係同時作 爲一表面保護層。 其中該表面保護層允許
    9 ·如申請專利範圍第S項之裝置, 一卜 1231724 自OLED單胞中移除聚硫亞胺材料,而不會損壞裝置層 或保護層以下之各層。 如申請專利範圍第9項之裝置’其中一黏合劑係作爲連 接該帽蓋至該基板。 如申請專利範圍第10項之裝置,其中該帽蓋,該保護層 和黏合劑係形成一密封系統。 1 2 ·如申請專利範圍第11項之裝置,其中該密封系統之材料 係可選擇以提供所要的密封特性。
    1 3.如申請專利範圍第1 0項之裝置,其中該黏合劑包括一樹 M· —電激發光裝置,包括: 一具有一活性區域中含有0LED單胞之基板; 一圍繞該活性區域之帽蓋連接區域; 一位於該帽蓋連接區域中之保護層,該保護層允許自該 0LED單胞中移除聚硫亞胺材料,而不會損壞裝置層或保 護層以下之各層;及 一在該帽蓋連接區域連接至基板的帽蓋。
    -2-
TW092112128A 2002-05-07 2003-05-02 OLED device and EL device TWI231724B (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/142,208 US7423375B2 (en) 2002-05-07 2002-05-07 Encapsulation for electroluminescent devices
US10/249,533 US7148624B2 (en) 2002-05-07 2003-04-17 Uniform deposition of organic layer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200400773A TW200400773A (en) 2004-01-01
TWI231724B true TWI231724B (en) 2005-04-21

Family

ID=29423044

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW092112128A TWI231724B (en) 2002-05-07 2003-05-02 OLED device and EL device

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7148624B2 (zh)
EP (1) EP1502311B1 (zh)
JP (1) JP2005524946A (zh)
CN (1) CN1653626B (zh)
TW (1) TWI231724B (zh)
WO (1) WO2003096440A2 (zh)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7423375B2 (en) * 2002-05-07 2008-09-09 Osram Gmbh Encapsulation for electroluminescent devices
US7224116B2 (en) 2002-09-11 2007-05-29 Osram Opto Semiconductors Gmbh Encapsulation of active electronic devices
US7193364B2 (en) * 2002-09-12 2007-03-20 Osram Opto Semiconductors (Malaysia) Sdn. Bhd Encapsulation for organic devices
JP4255844B2 (ja) * 2003-02-24 2009-04-15 ソニー株式会社 有機発光表示装置およびその製造方法
US20050116245A1 (en) 2003-04-16 2005-06-02 Aitken Bruce G. Hermetically sealed glass package and method of fabrication
US7026660B2 (en) * 2003-04-25 2006-04-11 Osram Opto Semiconductors (Malaysia) Sdn. Bhd Interconnection for organic devices
JP4534064B2 (ja) * 2003-08-27 2010-09-01 奇美電子股▲ふん▼有限公司 有機elディスプレイの製造方法
GB0408569D0 (en) * 2004-04-16 2004-05-19 Exitech Ltd Method of patterning a functional material on to a substrate
US7151342B2 (en) * 2004-05-07 2006-12-19 E. I. Du Pont De Nemours And Company Processes for removing organic layers and organic electronic devices formed by the processes
KR100681022B1 (ko) * 2004-06-16 2007-02-09 엘지전자 주식회사 유기 전계발광표시소자 및 그 제조방법
EP1717877B1 (en) * 2005-04-26 2015-06-03 OSRAM Opto Semiconductors GmbH Laser process for reliable and low-resistance electrical contacts
JP4886540B2 (ja) * 2006-03-01 2012-02-29 キヤノン株式会社 有機el素子パネル
JP2008192426A (ja) * 2007-02-02 2008-08-21 Fujifilm Corp 発光装置
TWI438953B (zh) * 2008-01-30 2014-05-21 Osram Opto Semiconductors Gmbh 電子組件之製造方法及電子組件
JPWO2010004703A1 (ja) * 2008-07-08 2011-12-22 日東電工株式会社 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法
CN103081150A (zh) * 2010-09-02 2013-05-01 昭和电工株式会社 El元件、el元件的制造方法、显示装置以及照明装置
KR101922603B1 (ko) * 2011-03-04 2018-11-27 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치, 조명 장치, 기판, 기판의 제작 방법

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0632298B2 (ja) * 1987-08-31 1994-04-27 シャープ株式会社 薄膜el表示装置
US5059148A (en) * 1987-12-21 1991-10-22 Gte Products Corporation Thin film flat panel displays and method of manufacture
DE69129907T2 (de) * 1990-11-30 1998-12-10 Idemitsu Kosan Co. Ltd., Tokio/Tokyo Organische elektroluminszente vorrichtung
US5757127A (en) * 1994-06-10 1998-05-26 Nippondenso Co., Ltd. Transparent thin-film EL display apparatus with ambient light adaptation means
DE69524429T2 (de) * 1994-09-08 2002-05-23 Idemitsu Kosan Co. Ltd., Tokio/Tokyo Verfahren zur abdichtung eines organischen elektrolumineszenten elements und organisches elektrolumineszentes element
US6195142B1 (en) * 1995-12-28 2001-02-27 Matsushita Electrical Industrial Company, Ltd. Organic electroluminescence element, its manufacturing method, and display device using organic electroluminescence element
WO1997031508A1 (fr) * 1996-02-26 1997-08-28 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Element electroluminescent organique et procede de fabrication
WO1998053644A1 (en) 1997-05-22 1998-11-26 Koninklijke Philips Electronics N.V. Organic electroluminescent device
JP3758369B2 (ja) * 1998-05-15 2006-03-22 Tdk株式会社 有機el表示装置とその製造方法
TW411726B (en) * 1998-06-18 2000-11-11 Siemens Ag Manufacture of structurized electrodes
US6268695B1 (en) * 1998-12-16 2001-07-31 Battelle Memorial Institute Environmental barrier material for organic light emitting device and method of making
JP3423261B2 (ja) * 1999-09-29 2003-07-07 三洋電機株式会社 表示装置
US6624570B1 (en) * 1999-09-29 2003-09-23 Sanyo Electric Co., Ltd. Electroluminescent display device and method for its fabrication
EP1240808B1 (en) 1999-12-17 2003-05-21 Osram Opto Semiconductors GmbH Encapsulation for organic led device
EP1238306B1 (en) * 1999-12-17 2007-05-09 Osram Opto Semiconductors GmbH Improved organic led device
US7394153B2 (en) * 1999-12-17 2008-07-01 Osram Opto Semiconductors Gmbh Encapsulation of electronic devices
CN1264057C (zh) 1999-12-17 2006-07-12 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 有机发光二极管器件封装装置及方法
US6633121B2 (en) * 2000-01-31 2003-10-14 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Organic electroluminescence display device and method of manufacturing same
US6624572B1 (en) * 2000-02-17 2003-09-23 Lg Electronics, Inc. Organic electroluminescence display panel and method for sealing the same
US6583557B2 (en) * 2000-04-26 2003-06-24 Canon Kabushiki Kaisha Organic luminescent element
JP4581187B2 (ja) * 2000-06-13 2010-11-17 ソニー株式会社 表示装置の製造方法
US6605826B2 (en) * 2000-08-18 2003-08-12 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device and display device
DE60010531T2 (de) 2000-09-06 2005-05-12 Osram Opto Semiconductors Gmbh Strukturierung von elektroden in oled-bauelementen
US7026758B2 (en) * 2001-09-28 2006-04-11 Osram Opto Semiconductors Gmbh Reinforcement of glass substrates in flexible devices
US6844673B1 (en) * 2001-12-06 2005-01-18 Alien Technology Corporation Split-fabrication for light emitting display structures

Also Published As

Publication number Publication date
TW200400773A (en) 2004-01-01
US7148624B2 (en) 2006-12-12
JP2005524946A (ja) 2005-08-18
CN1653626B (zh) 2012-07-04
WO2003096440A3 (en) 2004-02-26
EP1502311B1 (en) 2014-12-03
CN1653626A (zh) 2005-08-10
EP1502311A2 (en) 2005-02-02
WO2003096440A2 (en) 2003-11-20
US20030214232A1 (en) 2003-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100983446B1 (ko) 유기 전계발광 장치, 그 제조 방법 및 형성 방법
TWI231724B (en) OLED device and EL device
US7423375B2 (en) Encapsulation for electroluminescent devices
TWI273701B (en) A method for forming an OLED device and an OLED device
EP1320862B1 (en) Encapsulation for oled devices
US7301277B2 (en) Electro-optical apparatus, manufacturing method thereof, and electronic instrument
KR100300151B1 (ko) 실록산또는실록산유도체를사용한유기발광장치의엔캡슐레이션
JP5485207B2 (ja) 有機電子デバイスにおける欠陥の影響を軽減する電極
JP5744022B2 (ja) 封止光電子デバイス及びその製造方法
EP1317874B1 (en) Patterning of electrodes in oled devices
US20070190682A1 (en) Patterning of electrodes in oled devices
US8029684B2 (en) Self-emission panel and method of manufacturing the same
US20040048033A1 (en) Oled devices with improved encapsulation
JP2006524886A (ja) 有機デバイスの相互接続
JP4449341B2 (ja) 封止構造
JP2004192813A (ja) 有機el表示装置
JP2008130312A (ja) エレクトロルミネッセンス素子パネルの製造方法及びエレクトロルミネッセンス素子パネル用封止基板
WO2003073526A2 (en) Method for preparing light emitting devices

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees