TWI229051B - Movable inclined reflector based signal processing device and its method - Google Patents

Description

1229051 --_案號91119074_年月 曰 γ各if_ 五、發明說明（1) 【發明領域】 本發明係為一種可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置及方 法’具有在光訊號傳輸路徑上控制光路徑上光訊號衰減程 度（0 %〜1 〇 〇 % )之功能。可由多組可動傾斜反射鏡光訊 號處理裝置組合成兼具有n X m個不同光訊號頻道之個別 光強度調變與交換功能之η X m頻道光開關。再者，本發 明所k出之可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置可針對經由多 工器處理後之不同波長頻道訊號，同時進行光訊號塞取功 能以及光訊號可調變衰減功能，再由解多工器輸出，整合 成為具有多頻道可調變衰減訊號功能之光訊號塞取 2 口 器。 【發明背景】 的網路 統，將 要求直 多頻道 訊主被 而不同 外，光 光訊號 波長之 能、低 件。 目别由於光纖通訊的 化，一種全光化， 要發展的趨 成為主 接處理 夂的光 動元件 光路之 通訊網 進行傳 訊號進 價位的 光信號本身 衰減器做一 的性能與安 間的切換則 路系統中， 播路徑的切 行取代、刪 光訊號處理 快速發 亦即， 勢。因 ，例如 動態且 全性， 仰賴多 於各節 換，或 除、或 裝置， 展， 不須 此在 光訊 適當 並達 頻道 點位 對一 新增 就成 經過光/電轉換的系 光纖通訊網路中，彳 號強度的大小則藉Έ 的控制，以維持光立 到系統簡化的目標 之光開關裝置；此 置常需要對各多波 夕波長光訊號中部4 的動作。故一種高，丨 為不可或缺的重要；

1229051 ---墓號川侧71 一發明說明（2) 傳統的光訊號處理裝切換之機構，但此種機丄/σ用！^械結構做為 產時的高成本ΐ::精度對位（allg_nt)及校準造成量 處理裝置，不彳= 而利用微機電技術來製作光訊號於半導體批文：：ί:縮小元件之體積，且可以利用相似度，減低生產ΐΐϊ 大量製作’可提供高製作精 五 修正 【習用技術之描述】 U機電式光訊號處理裝置應用於可調變光衰減器與光 開關之製作’纟先前巳有一些製作方法提出，分別描述如

如美國專利第6，1 3 7，9 41號R 〇 b i n s ο η等所開發之可調變 光衣減器（Variable optical attenuator)，如圖一 所示’該可調變光衰減器係包括一聚焦透鏡；一雙光 纖細管（2-fiber capillary)，包含有一輸入波導與一 輸出波導；一以微機電製程製作之反射鏡面及一使用 微機電製程製作之柩扭軸可支撐並可扭轉該反射鏡 面，該反射鏡面係可以靜電式或壓電式驅動，繞該樞 扭軸轉動。當反射鏡面設於一正常（平）位置111時，可 反射來自輸入波導，經聚焦透鏡折射後之一入射光 束，將之轉換為一反射光束；該反射光束經反射鏡面 反射，續經聚焦透鏡折射後，進入輸出波導，光訊號 於理想狀況下完全進入輸出端；而當反射鏡面藉由樞

扭軸轉動至一非正常（鏡面偏轉）位置11 2時，改變反

第6頁 1229051 〇 修正 曰 ---羞鋈—ill 19074 ^ Μ 五、發明說明（4) ί纖S，習-用技術專利中’如圖二所示，需就該輸人 件間之朵枚一球型透鏡123、124，及輸出光纖122各元 ΐιίίΐί作高精度對位及校準，不但校正困難，且 太菸明结二大’會造成量產之成本較高等缺點。其與 去^分f二較佳實施例中所描述之結構相比較，但兩 明τ結構、製程和驅動方式各方面皆不同，本發 E 之間相對精密定位次數，不論在單頻道 - ^頻道光訊號應用上皆僅需將一組光纖陣列單元 (匕3輸出光纖及輸入光纖）與一溯 爲^國專利，本發明第二較佳實施例相對具有組裝定 =間易，可提高製造良率、降低製造成本等優點。此 =本篇美國專利無法藉由其設計對光訊號傳輸耦合效 ;;做任何改善，而本發明實施例一到四中所描述之結 ，則可藉由移動可動傾斜反射鏡調整光訊號輸出路口 徑，補償光學元件之間的定位誤差，增加光訊 之耦合效率。 吁别 3)，如美國專利第6,1 73,1 0 5號Aksyuk等所開發之，光衰減 器（optical attenuator)，乃如圖三所示，為_可調 蜒光衰減器130，包括有一輸入光纖131及一輸出光纖 132，一光衰減器，其係包含一造型遮片133與一致動 器’該致動器更包括相互平行之一多晶矽（p〇ly — silicon)上電谷板134、一多晶石夕下電容板135，該造 型遮片133係以一懸臂136與上電容板134相連接；該光 衰減器係設於輸入光纖1 3 1及輸出光纖1 32之間，利用該

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致動器，可於輸入光纖131及輸出光纖丨μ ::::容板間之靜電力致動，透過上電容二連？二 才干⑽構，遮片133在輸入光纖131及輪出 、° Π :，藉由阻斷部分傳輸光訊號達變 a強垂 二:1:兩者在材料結構、製程和驅動方式各方= 5 ^此上5亥美國專利所造成之回復反射（back 二二：丄大/需於輸入光纖前端加裝光隔離器，增 加整體凡件插入損失與元件製造成本。此外本篇美^ 利無法精由其設計對光訊號傳輸耦合效率做任何改善， :Ϊ Ϊ明實施例一到四中所描述之結構則可藉由移；可 動傾斜反射鏡調整光訊號輸出路徑，增加光訊號傳輸之 柄合效率，補]賞光學元件之間較位誤差所造&之訊號 損失。 以上第1 )項至第3 )項所述美國專利係本發明與第一到 第四較佳實際例有關之習用技術，以下第4)項至第5)項所 述美國專利為與本發明第四與第五較佳實際例有關之習用 技術。 4 )又如美國專利第6，2 2 9，6 4 0號Zhang等所開發之，微機電 光開關及製造方法，（Microeiectromechanical optical switch and method of manufacture thereof)，如圖 四A及圖四B所示，為一光開關，其係包括一第一光訊號 輸入光纖141a、一第二光訊號輸入光纖“卜、一第一光 訊號輸出光纖141b、一第二光訊號輸出光纖丨41d及一光 含 一靜電式梳狀致動器143及 開關致動裝置1 4 2，其係包

第9頁 1229051 一 皇號 91119074 、發明說明（6) 年_3. a 修正 五 遮片144等，以致動器J43致動遮片144於水平方向前 後移動；如圖四A所示，當致動器1 4 3致動遮片1 4 4向後 移動，光線可通過，自第一光訊號輸入光纖141a輸入之 光A號及自苐二光訊號輸入光纖1 41 c輸入之光訊號可分 別通過光開關致動裝置142，並分別自第二光訊號輸出 光纖141d及第一光訊號輸出光纖1411)輸出，而如圖四b 所不’當遮片1 4 4向前移動，則可阻斷並反射二入射 光刀別改變其光路徑，自第一光訊號輸入光纖1 4 1 a輸 入之光訊號及自第二光訊號輸入光纖141(：輸入之光訊號 別由光開關致動裝置142之遮片144反射，並分別自U ，.光汛，輪出光纖141b及第二光訊號輸出光纖141(1輸 〜，故可藉控制光線之阻斷或通過，達到光開關的功 較於本發明第四較佳實施例，此習用技術美國專 二所，件定位較為困難，需將第一光訊號輸入光：專 14^ U訊號輸入光纖“1。、第-光訊號輸出光纖 之相對位ί ί Γ ί輸出光纖141d與遮片144五個元件間 實際例所扩述Ϊ之組裝定位，其與本發明第四較佳 操作方式；ΐ相；，ϊ =笛兩者不但在結構、製程和 斜反射鏡光訊號處理裝置之間U 之優點。此外本與成本’提高製造良率 功能，而本發明第4:=::只具有2x2光開關的 道擴充性之㈣光開關功之^構非但具有多頻 頻道分別進行光強度衰減之功处時可兼具對各個光訊號

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5)再如美國專利第6, 205, 267號A ksyuk等所開發之，光門 關’（Optical· switch)，為一光開關，請同^參閱圖开三 ，圖五，此習用技術光開關沿用前述第3項圖三光衰減 器130之基本結構’惟其控制遮片133之方式係完全<阻斷 或完全未阻斷一光路徑，且加裝有一環流器 (Circulator ) 151。藉一控制裝置155，令光開關關 閉，遮片133完全未阻斷光路徑，自輸入光纖l3i輸入一 光訊號進入環流器151之一第一埠i 52，再經_第二谭 153，自一輸出光纖132輸出，反之，藉控制裝置155， 令光開關開啟，遮片1 3 3完全阻斷光路徑，自輸入光纖 1 3 1輸入之一光訊號，經遮片j 3 3反射，進入環流器 151，再由一第三埠154導至一新光路徑輸出作為 一 1 X 2的光切換開關。其與本發明第三較佳實施例所描 述之、纟η構相比較’非但兩者在材料、結構、製程和驅動 方式各方面皆不同，習用技術光開關亦有以下缺失： 1 ·習用技術專利光開關需加裝環流器，造成整體元件 插入損失（insertion l〇ss)增加與製造成本負擔。 2 ·本習用技術美國專利僅具有1 χ 2之光開關的功能，而 本發明第四實施例所提出之結構非但具有多頻道擴 充性之nxm光開關功能，同時可兼具對各個光訊號頻 道分別進行光強度衰減之功能。 6)又如Grade及Jerman等發表於2000年美國光學學會 ( 20 0 0 Optical Society 〇f American )之習用技術論 文’應用於光開關之微機電靜電式致動器，（MEMs Electrostatic Actuators for Optical Switching

1229051 案號 91119074 年 月 曰 五、發明說明（8)

Appl ications )，如圖六所示，揭露可提供約12〇 # m線 性大位移量之一 1 x4光開關160，其前端採組合方式裝置 四平面鏡161b、162b、163b、164b，分別由四靜電式微 致動器161a、162a、163a、164a致動，並可分別將來自 一輸入光纖165並通過一準直透钂166之一入射光光訊號 167反射並分別通過四準直透鏡161c、162c、163c、 L 164c分別自四輸出光纖l61d、162d、163d、1 64d輸出； 圖六所示乃入射光光訊號1 6 7經靜電式微致動器i 62a致 動之平面鏡162b反射並通過準直透鏡i62c，自輸出光纖 162d輸出；該論文揭露之習用技術1χ4光開關與本發明 之相異點，可列述如下： 1·習用技術1x4光開關之四平面鏡161b、ι621)、！ 63b、 1 64b係採用組裝方式製作，製程較繁複，角度定位亦 困難；本發明之鏡面則可與致動器同時製作，一體成 型’可避免鏡面定位組襄的困難。 2.習用技術1x4光開關僅提出靜電式微致動之一1χ4光開 關結構，而本發明第四實施例所提出之可動傾斜反射 鏡光訊號處理裝置，除具光開關功能外，亦可以微調 定位方式提供多動可調變光衰減器的應用方式，且進 -步提出兼具可調可調變光衰減器功能之一刚光開 關結構及兼具可調變杏妄、、成突、丫丄^ , c f ^ Π I尤哀减為功能之一多波長光訊號 塞取多工器。 另外在多波長光訊號塞取器方面，於先前已有一些製 作方法提出，分別描述如下： 7)如美國專利第6，097，859辨t Λ卜上 ___疏之Ulav Solgaard等所開發

第12頁 1229051 _案號91119074_年月日__ 五、發明說明（9) 之，多波長光交換開關元件’ （Multi-Wavelength Cross-Connect Optical Switch )，如圖七A 所示，為 一習用技術多波長光訊號塞取多工機，其係使用第一光 柵171 (Grating，如圖七B)作為分波元件，將輸入端 光纖172a、172b、172c之多波長光訊號以其波長之不同 而分開，波長分開方向則與光纖一維陣列排列方向垂 直’續以一微光學振鏡陣列1 7 3改變各光纖各波長光訊 號之傳播路徑，進行重新排列組合，再以一第二光栅 174將其匯合進入輸出端之各光纖175a、175b、175c， 具有多波長光訊號塞取多工功能。 如圖七C所示，微光學振鏡陣列丨73係可包含複數個微 光學振鏡元件 176a、176b、176c 與 177a、177b、177c，其 ，能在於改變輸入端各光纖内個別波長λ k光訊號之傳播路 徑’如此可重新安排各光訊號至指定之輸出端光纖1 75a、 17=、1 75c(參閱圖七a)輸出。前述微光學振鏡陣列之元 件結構為平行於矽基板之鏡面結構，以F條光纖輸入端、 個^頻道之多波長光交換開關元件為例，於製作時，其 微光學振鏡陣列即由兩個W X F之鏡面陣列平面1 76、1 7 7 ^二，圖七C )組成；整個元件之光學系統設計複雜，製 1 知作控制皆不易。同時由於振鏡角度變化對於光訊1 ^ 技靈敏度過高，若要做到可調變光衰減器之高解

^Ϊ能需要複雜之控制設計，更造成製作上的困難。本 ^操作五較佳實際例則無上述缺失，兩者除在結構、製程 控^容I式皆不相同，本發明第五較佳實際例則具有操作 —~射訊號小，同時兼具光開關與光衰減器之功 II 一1 丨丨· _ 1229051 _案號 91119074___年月日_修正 五、發明說明（10) 能，元件整合性高等特點。8)另如美國專利第6, 148, 1 24 號之Vladimir A· Aksyuk等所開發之’多波長光訊號塞取 多工系統’（Wavelength Division Multiplexed Optical

Networks)，如圖八A與圖八B所示，為一習用技術多波長 光訊號塞取多工機’其係使用一陣列波導光柵元件1 8 1作 為分波元件，並以靜電驅動之微機電光開關丨82控制該波 長光訊號之通過或反射，並配合一環流器丨8 3以完成部分 特定波長光訊號取出的動作，而通過微機電光開關丨82之

訊號再經另一陣列波導光柵元件丨8 4匯合後輸出。惟本習 用技術專利有下列缺點： 1 ·需加裝環流器’增加成本負擔與整體元件插入訊號損失 (Insertion loss) ° 2·回復訊唬大（back reflection)，需額外搭配光隔離器 (1 so 1 at or )保護，以避免光源元件損壞。 3·新訊號加入的動作則使用耦合器丨85於輸出端再予耦合 加入”、、法直接防止相同波長訊號在未被取出前再行加 入另^一新&孔说之情形發生。 本發明第五最佳實施例中所描述之多波長光訊號塞取 夕工系統則無上述二點缺失，而且更可進一步針對各頻道 之光強度訊=作衰減調冑，將可調變衰減器功能整合在多 波長光訊號塞取多工系統之中。 【發明概述】 味考蓄之目的在提出一種可動傾斜反射鏡光訊 ^有製造容易、可以大量批次製

第14頁 案號 91119074 J:__3 曰 1229051 修正 五、發明說明（11) '" 造的特性，以降低定位成本，提高產品可靠度及穩定性。 依照本發明之此種可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置之可動 傾斜^射鏡單元可使在自由空間中之光訊號傳輸路徑改 k ’藉此依系統需求調變光訊號輸出強度；此可動傾斜反 射鏡光訊號處理裝置可由微機電技術或精密機械加工技 製作，其中之反射鏡單元則亦可以各式稜鏡、各式透浐L 反射鏡組成之各式光學元件或單元所組成。 見、 〇· 該反射鏡單元位於光傳輸路徑上，使得輸入光訊 二本或一次以上的反射後進入光訊號輸出端；又一 ^二 單兀與一獨立動作之微致動器連接，藉由一個別之= 動控制裝置，對微致動器施以可調變之定位㈣，：：： =t鏡面單元之位置，進而改變光訊號傳輪路徑，藉此 =正光汛號耦合進入輸出端之強度，達 減器或光開關之功能。 门欠先Λ #u哀 根據上述之可調變光衰減器或光開關之功能， ^可進-步藉由搭配一多工器，㈣由多工器 長讯唬错由進行光訊號塞取功能以波 能’最後再經過—解多工器輸出， 功 衰減功t之多波長光訊號塞取多工器：成兼具可調變光 及其in:可二：斜反射鏡光訊號處理裳置之詳細結構 得到完全的了解。 斤、、、田成明，即可 【發明簡要說明】

1229051 五 、發明說明（12) 棄號 91119074

結構簡單、驅動控制容易、具有可調變光衰減器功能之可 動傾斜反射鏡光訊號處理裝置及方法。 本發明之另一目的，係在於提供數種具有光開關功能 之可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置及方法。 本發明之另一目的，係在於提供一種具有多波長光訊 號塞取多工系統功能之可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置及 方法。 本發明之又一目的，係在於提供數種低反射損失之可 動傾斜反射鏡光訊號處理裝置及方法。 本發明之再一目的，係在於提供數種只需將光輸出陣· 列單元與可動傾斜反射鏡單元，僅經—單次定位步驟，即”響 可完成組裝定位之可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置及方 法〇 【較佳實施例詳細說明】 將於下文中說明本發明，請參考附圖，熟習本技術者 須瞭解下文中的說明僅係作為例證用，而不用於限制 明。 圖第 述。惟 光纖、 名之所 裝置為 訊號輸 訊號輸 敘 入 命 明 光 光 <»·

A、至圖七用技術已描述於上，此處不再重複 本說明書中所述之習用技術或本發明，類似以輸 輸出光纖、光訊號輸入元件、光訊號輸出元件等 有輸^ TL件或輸出元件，皆係以習用技術或本發 參考j的所得者。換言之，一輸入光纖係可將一 入至驾用技術或本發明裝置之一光纖；反之，一 Φ /件係、可將一光訊號自習用技術裝置或本發明 1229051 案號 91119074 年 Λ 曰 修正 五、發明說明（13) 裝置輸出之一元件 【第 反射 樣、 裝置 311a —入 射鏡 其係 元， 行、 夾角 反射 導） 訊5虎 能結 於入 反射 315b 進入 成苐 衰減 一較佳實施例】 圖九A、圖九B、圖九C及圖九&分別係本發明可動 鏡光訊號處理裝置第一較佳實施例第一態樣、第二綠 第三態樣及陣列示意圖。 “ 請參閱圖九A，第一態樣可動傾斜反射鏡光訊號處理 31包括一組平行光纖，由一輸入光纖（平面光波導） 及一輸出光纖（平面光波導）3Ub組成，可分別輸入 射光光訊號31 2及輸出一反射光光訊號313 ; 一固定反 單元，包含一第一平面314a、一第一反射鏡面3ι^， 與第一平面31 4a呈一 45。失角；一可動傾斜反射鏡單 包含一第二平面314b，其係與第一平面314a相互平 一第一反射鏡面315b ’其係與第二平面314b呈一 45。 ’且係由一微致動器3 1 6致動，沿pq方向移動，微調 光光汛號3 1 3位置，從而調變進入輸出光纖（平面光波 3 1 1 b之光訊號強度，達成第一態樣可動傾斜反射鏡光 處理裝置3 1之可調變光衰減功能。第一態樣之另一可 構為可動傾斜反射鏡單元與固定反射鏡單元係分別設 射光光訊號3 1 2處及反射光光訊號3 1 3處，該可動傾斜 鏡微機電反射單元係可藉由微致動器3丨6致動，微調 之鏡面從而改變入射光光訊號3 1 2位置，並因此調變 輸出光纖（平面光波導）311b之光訊號強度，亦可達 一態樣可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置3 1之可調變光 功能。

1229051 ___案號91119074_年月日 絛正_ 五、發明說明（14)

請參閱圖九B，第二態樣可動傾斜反射鏡光訊號處理 裝置32包括一組平行光纖，由一輸入光纖（平面光波導） 321a及一輸出光纖（平面光波導）321b組成，可分別輸入 一入射光光訊號322及輸出一反射光光訊號323 ; —第一可 動傾斜反射鏡單元，包含一第一平面324a、一第一反射鏡 面325a，其係與第一平面324a呈一 45。 夾角，且係由一第 一微致動器3 2 6 a致動，沿PQ方向移動；一第二可動傾斜反 射鏡單元，包含一第二平面3 24b，其係與第一平面324 a相 互平行、一第二反射鏡面325b，其係與第二平面32 4b呈一 4 5° 夾角，且係由一第二微致動器3 2 6 b致動，沿平行於第 一平面324a之PQ方向移動。第一反射鏡面325a與第二反射 鏡面3 2 5 b係可單獨、依次或同時由其對應之微致動器（即 3 2 6 a或3 2 6 b)致動，單獨、依次或同時微調入射光光訊號 3 2 2位置、反射光光訊號3 2 3位置或入射光光訊號3 2 2位置 及反射光光訊號3 2 3位置，達成第二態樣可動傾斜反射鏡 光訊號處理裝置32之可調變光衰減功能。

請參閱圖九C，第三態樣可動傾斜反射鏡光訊號處理 裝置33包括一組平行光纖，由一輸入光纖（平面光波導） 331a及一輸出光纖（平面光波導）331b組成，可分別輸入 一入射光光訊號332及輸出一反射光光訊號333 ; —可動傾 斜反射鏡單元，包含一第一平面334、一第一反射鏡面 335a、一第二反射鏡面335b。第一反射鏡面335a及第二反 射鏡面335b係相互垂直。第一反射鏡面335a與第二反射鏡 面3 35b係可共同由一微致動器33 6致動，沿任意方向移 動，同時微調入射光光訊號332位置及反射光光訊號33 3位

第18頁 1229051 修正 j號 9niQn7j_年 月 日 五、發明說明（15) mr 、各 '成第二態樣可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置3 3之可 調變光衰減功能。 /。以上第一較佳實施例第一態樣、第二態樣及第三態樣 係可分別為一單一可動傾斜反射鏡、一雙可動傾斜反射鏡 及一可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置。此三種態樣至少有 以下三點共同特徵： 第一共同特徵··第一反射鏡面與第二反射鏡面係相互 垂直。 第二共同特徵：僅需一單一組裝定位步驟，即可完成 一可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置之組裝定位。以圖九A 所不之第一態樣為例，該組裝定位步驟係將一對光纖細管 中心線（一平面波導中心線）3丨7設於垂直於第一平面 314a之方向’對準第一反射鏡面315a與第二反射鏡面315b 相父之一底線3 1 8，即可將入射光光訊號3 1 2以4 5。之入射 角’入射至第一反射鏡面3i5a，續以45。角反射，由於第 二反射鏡面3 15b與第一反射鏡面315a互相垂直，故可同樣 以45 °之入射角，入射至第二反射鏡面3 15b，續以45。角反 射後’形成一反射光光訊號3丨3，於理想狀況下，該反射 光光訊號3 1 3可以最佳耦合狀態自輸出光纖（平面光波導） 3 11 b輸出，完成一可動傾斜反射鏡光訊號處理過程。如圖 九β或圖九C所示之第二態樣或第三態樣，該一對光纖細管 中心線（或一對平面波導中心線）3 2 7、3 3 7設於垂直於第 一平面324a、334之方向，對準第一反射鏡面325a、335a 與第二反射鏡面315b、335b相交之一底線328、338。 輸入光纖（平面光波導）311a、321a、331a之輸入端及輸

第19頁 1229051 案號91119074_年月曰 鉻,下_ 五、發明說明（16) 出光纖（平面光波導）311b、321b、33 lb之輸出端，更可 分別接上一光源及一訊號檢視器（圖中未示），以辅助定 位。再者，上述單一組裝定位步驟並非唯一之方式，所有 可使光訊號由輸出光纖（平面光波導）輸出之定位方式皆 得適用，譬如一另一單一組裝定位步驟係將入射光光訊號 312、322、332及反射光光訊號313 、323、333所定義之 一平面設於垂直於第一平面314a、32 4a、334之方向，調 整該組平行光纖（平面光波導）與第一反射鏡面315a、 325a、335a及第二反射鏡面315b、325b、335b間之相對位

置，使入射光光訊號312、3 22、332與反射光光訊號313、 323、333間之垂直距離相等於輸入光纖（平面光波導） 311a、321a、331a及輸出光纖（平面光波導）311b、 3 2 1 b、3 3 1 b之中心軸間之垂直距離，即可完成另一單一組 裝定位步驟。 第三共同特徵：藉微調入射光光訊號位置（如第一態 樣或第二態樣）、微調反射光光訊號位置（如第一態樣或第 二態樣）、依次微調（如第二態樣）或同時微調（如第二態 樣或第三態樣）入射光光訊號位置及反射光光訊號位置，

&三種態樣皆可達成可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置之可 調變光衰減功能。 以上第一較佳實施例第一態樣、第二態樣及第三態樣 具有以下之優點： 1 ·如上述第二共同特徵所述，封裝前僅需進行一單一步 驟，即可完成組裝定位。 ^ ^封裝完成後，藉簡單施加固定偏壓推動微反射鏡作

第20頁 五、發明說明（17) 定位亡的微調，補償元件定位上因各種製程因素所造成 之的誤差，提高產品性能及良率。習用技術產品除反射 鏡式外’皆無法達成此封裝後微調定位誤差功能，且該 反射鏡式因其角度定位靈敏度高，必須使用昂貴的精密 定位控制器，方能完成微調定位功能。 3·具多頻道鬲擴充性。圖係本發明第一較佳實施例可 動傾斜反射鏡光訊號處理裝置陣列34示意圖，其第一列 341 ^第二列342與第三列343分別呈現多頻道之第一態 樣、第二態樣以及第三態樣。除此三種圖示態樣之外， 其他多頻道高擴充性之陣列亦可視實際需求，將多組單 一可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置以陣列或任意排列方 式組成多頻道具有可調變光衰減器功能之可動傾斜反射 鏡光吼號處理裝置通訊應用元件，且可應用於光通訊網 【第二較佳實施例】 可動傾斜反射 剖面圖及其陣 圖十A、圖十B、圖十C及圖十D為本發明 鏡光訊號處理裝置第二較佳實施例示意圖、 列示意圖。 ° 如圖十A所示，本發明第二較佳實施例可動傾斜反射 鏡光訊號處理裝置40包括一組平行光纖，由一輸入钭光纖身 (平、面光“皮導）4°2及-輸出光纖(平面光波導）403組成: 可刀別輸入一入射光光訊號404及一輪ψ ^ ? ? ^ …可動傾斜反射鏡單元43,包： = = =號 “、-!^鏡祕，其係-具有—高反第射率反表射面鏡材面質之 1229051 案號 91119074 年 月 曰 修正 五、發明說明（18) 單層或多層薄膜鏡面，其兩側分別固定於一第一平面451 及一第二平面4 5 2，兩側之間的中間部分係懸浮於一位於 其下方之一斜面453之上；第一反射鏡面44及第二反射鏡 面4 5係相互垂直’且相交於一底線4 0 7。當施加電壓+ v 時，該平面薄膜鏡面可藉靜電吸引力，產生變形，藉改變 薄膜鏡面平整度或薄膜鏡面位置，進而改變反射光路徑或 反射率，以控制進入輸出光纖（或平面光波導）4〇3的光訊 號強度，從而達成光訊號衰減（或光開關）的功能。 〇· 如圖十B及圖十C所示，係可利用薄膜與矽基材之間的 電位差產生之靜電吸引力致動，藉調整電壓+ v之大小，改 變薄膜變形量，進而改變反射光光訊號4〇5路徑（參閱圖 十A ) ’控制進入輸出光纖（平面光波導）40 3的反射光光 訊號4 0 5。亦可利用熱電致動，藉施加電流通過一薄膜材 質’利用溥膜之電阻效應，因產生熱變形使薄膜平面彎曲 變形，於調整電流之大小時，即可改變薄膜變形程度，控 制反射光光訊號40 5進入輸出光纖（平面光波導））40 3之強 度。

第22頁 薄膜變形可包含彎曲或位移等不同形式，故光訊號路 徑並不僅限於圖十A所表現之形式。因此，具單層或多層 薄膜鏡面之第二反射鏡面45，亦可設為入射光光訊號4〇4 之反射鏡面。再者，改變單反射鏡面（入射光光訊號4 〇4 或反射光光訊號405之反射鏡面）之反射曲率或改變雙反 射鏡面（入射光光訊號40 4及反射光光訊號405之反射鏡面） ，反射曲率，皆為本發明第二較佳實施例之可實施方式。 $ —車父佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置4 〇亦具有 1229051 91119074__年月 B 铬正___ 五、發明說明（19) 前述第一較佳實施例之三點特徵： 第一特徵：第一反射鏡面44與第二反射鏡面45係相互 垂直。 第二特徵：僅需一單一組裝定位步驟，即可完成一可 動傾斜反射鏡光訊號處理裝置之組裝定位。如圖十A所 示’該組裝定位步驟係將該已組裝固定之一對光纖細管中 心線（或一對平面光波導中心線）4 〇丨設於垂直於平面4 〇 6 之方向’對準第一反射鏡面44與第二反射鏡面45相交之一 底線40 7，即可將入射光光訊號4 〇4，依次由第一反射鏡面 44與第二反射鏡面45反射，於理想狀況下，該反射光光訊 號4 0 5可以最佳耦合狀態自輸出光纖（平面光波導）4 〇 3輸 出’完成一可動傾斜反射鏡光訊號處理過程。 第三特徵：藉微調入射光光訊號404位置（圖中未 示）、被调反射光光訊號位置4 〇 5 (如圖十A )、依次微調或 同時微調入射光光訊號4 0 4位置及反射光光訊號4 0 5位置， 皆可達成可調變光衰減功能。 第二較佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置4 〇亦 具有前述第一較佳實施例中所述之三項優點，在此僅於圖 十D中揭露第二較佳實施例之一可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝置陣列46，其一第一列461及一第二列462分別呈現多 頻道之第一態樣及第二態樣，其他多頻道高擴充性之陣列 亦可依貝際需求，組合成單一或複數的鏡面結構體陣列， 作為單一頻道與多頻道具有可調變光衰減器功能之可動傾 斜反射鏡光訊號處理裝置陣列通訊應用元件，且可應用於 光通訊網路架構中。再者，以上所述單一組裝定位步驟並

第23頁 1229051 案號 91119074 曰 修正 五、發明說明（20) 非唯一之方式，所有可使光訊號由輸出光纖（平面光波 導）輸出之定位方式皆得適用，於此不再重複其細節。 以上第一較佳實施例及第二較佳實施例中，入射光光 訊號與反射光光訊號係可相互平行，亦可不平行。 【第三較佳實施例】 圖十一 Α與圖十一 Β分別為本發明第三較佳實施例可動 傾斜反射鏡光訊號處理裝置第一態樣51與第二態樣52。圖 十一C為微機電反射單元5 24、輸入光纖（平面光波導）521a 及輸出光纖（平面光波導）521b間之相對角度示意圖。圖十 一 D為可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置中之反射鏡面第一 態樣55、第二態樣56與第三態樣57示意圖。 如圖十一 A所示，本發明第三較佳實施例第一態樣包 括一組平行光纖，由一輸入光纖（平面光波導）511a及一 輸出光纖（平面光波導）5 11 b組成，可分別輸入一入射光 光訊號512及輸出一反射光光訊號513 ; —微機電反射單元 514，包含一反射鏡面514a、一微致動器514b，其係以一 連桿514c沿連桿514c方向（PQ方向）致動反射鏡面514a，連 桿5 14c與反射鏡面5 14a間呈一 Θ夾角，該Θ夾角之範圍係 0°至90° ;具有聚焦功能之一光折射元件515，入射光光訊 號512先經光折射元件515折射、次經反射鏡面51 4a反射、 續經光折射元件5 1 5再折射，於理想狀況下，反射光光訊 號5 1 3可以最佳耦合狀態自輸出光纖（平面光波導）5 11 b輸 出，完成一可動傾斜反射鏡光訊號處理過程。以微致動器 514b致動反射鏡面514a，微調反射光光訊號位置513，可

画

第24頁 1229051 _案號91119074_年月日 倏正_ 五、發明說明（21) 達成第三較佳實施例5 1之可調變光衰減功能。 再者’如圖十一 B所示，本發明第三較佳實施例第二 態樣則包括來自一輸入光纖（平面光波導）5 2 1 a之一輸入 光光訊號，經一第一聚焦光學元件5 23a聚焦，成為一入射 光光訊號522a，次經一微機電反射單元524之一反射鏡面 525反射成為一反射光光訊號522b，續經一第二聚焦光學 元件523b聚焦後，由一輸出光纖（平面光波導）521b輸 出；該微機電反射單元524更包含一微致動器526及一連桿 527，反射鏡面525係經連桿527，由該微致動器526致動， 藉改變反射光光路徑，控制進入輸出光纖（平面光波導）鐵 5 2 1 b的光訊號強度衰減程度，達成光訊號衰減或光開關 的功能。 圖H C則為圖十一 a與圖Η--Β中之微機電光反射元 件5 14與524之說明圖。圖十一c中標有一x — y-z座標系統， 一反射鏡面5 25係設於一 y_z平面，一連桿527與反射鏡面 525 (y-z平面）間之一夾角為0(〇〇$0<9〇〇)，一入射光光 訊號5 2 2a之一入射角及一反射光光訊號522b之一反射角皆 為0(〇°$6><9〇〇)。當一微致動器526經由一連桿527在達 桿5 27轴向（PQ方向）移動反射鏡面52 5，執行第三較佳實施 例光訊號衰減或光開關的功能時，該入射角、反射角β與 失角0皆維持不變。 圖十一 D則為本發明第三較佳實施例中反射鏡面5丨4& 與525之第一態樣55、第二態樣56或第三態樣57，分別為 一平面鏡、一造型平面鏡或一曲面鏡。造型平面鏡係於一 + ¾鏡H I式低反射率之圖形、材質或開孔，使該區域

第25頁 1229051 案號 91119074 曰 修正 五、發明說明（22) 反射率的 反射鏡面 訊號，進 曲率梯度 ，光訊號 端的光強 射表面變 射平面的 面5 1 4 a僅可 第二態樣 發明第三 態樣5 1之 較佳實施 鏡光訊號 需求，組 之可調變 且可應用 之反射率降低，並可依圖形分佈密度的不同調整 梯度變化，或被覆著各式薄膜來調整反射率；當 移動時’可依不同反射率產生不同反射強度之光 而達到可調變光衰減器的功能。曲面鏡則以不同 變化造成不同反射方向變化；當反射鏡面移動時 反射方向亦跟著改變，進而調變進入傳輸線輪出 度’上述曲面鏡及造型曲面鏡亦可由具有不同反 化之光學反射單元或具有多個不同反射方向之反 反射單元替代之。當㊀與$同時為〇。時，反射鏡 沿其所本身所定義之平面往復移動，故須使用如 56造型平面鏡或第三態樣57曲面鏡，方可達成本 較佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置第一 可調變光衰減功能。 本發明中所述之所有反射鏡面皆可採用第三 例中之圖十一 D所示之任一種反射鏡面態樣。 複數個本發明第三較佳實施例可動傾斜反射 處理裝置第一態樣51與第二態樣52之陣列更可依 成一單一或一複數的鏡面結構體，可做為多頻道 光哀減器或一對多之光開關陣列通訊應用元件， 於光通訊網路架構中。 【第四較佳實施例】 如圖十二所示，利用本發明第三較佳實施例可動傾斜 反射鏡光訊號處理裝置52之陣列，可做為一兼具η χ m光 開關與可調變光衰減器功能之一兩層單反射式可動傾斜反 1229051 --Ά 91119074__年月 日 心_ 五、發明說明（23) " 射鏡陣列62係如圖十二所示，正執行下列之光開關功能·· A1 -^Bl, A2—B3，A3^B2 ^此外，各頻道亦可藉微調反射鏡面位置，達成光訊號 衰減功能。再者，第三較佳實施例所揭露之反射鏡面第一 怨樣5 5 (平面鏡）、第二態樣5 6 (造型平面鏡）或第三態樣 57 (曲面鏡）亦兼具光開關與可調變達成光訊號衰減功 能，完全可依實際需求，應用為第四較佳實施例反射鏡面 525之可實施態樣。 以上第四較佳實施例具有以下之優點：

高解析度 低回復訊號損失（Low back reflection i〇ss) 封裝後疋位微调簡單：其細節與第一較佳實施例揭露之 第二項優點相同 4 ·多頻道擴充性高：其細節與第一較佳實施例揭露之第三 項優點相同 5·可應用於η X in光開關且兼具多頻道可調變光衰減哭功 能。 < / ^ 【第五較佳實施例】

圖十二Α及圖十二Β、圖十四Α及圖十四β、圖十五a及 圖十五B分別為本發明第五較佳實施例可動傾斜反射鏡光 訊號處理裝置，作為兼具可調變光衰減器功能之一多^皮長 光塞取多工器（0ADM)之第一態樣Ή、第二態樣72、第/三能 樣73示意圖。 ^ ^ 第一態樣單反射式光訊號處理裝置71係如圖十三α及

1229051

圖十三B所示，分別為光訊號穿越模式與塞取模式。其架 構包括可自一輸入光纖（平面光波導）711a輸入之一輸入 光訊號71 2a及可自一輪出光纖（平面光波導）7Ub輸出之 一反射後之輸入光訊號7 12b(如圖十三A); 一支入側輸入 埠（TrivUtary Input) 7l3a，可塞入一支入光訊號^“ (如圖十三B)，一支入側輪出埠713 b (Trivutary

Output)，可取下一反射後之輸入光訊號71讣（如圖十三 B); —第一微致動器致動之一第一反射鏡面71“與一第二 微致動器致動之一第二反射鏡面714b，皆可分別沿pQ方向 移動。 第一態樣單反射式光訊號處理裝置71之主要操作模 式，可歸納如表一： ' ' 表一 ϋ示 揉作功能描述 #作棋式 十三A 712a M 714b反财成為712b ·自711b輪出 穿越梢式(ON) B十三B 715a自713a輸入後，自711b輸出； 712a自711a蝓入，經714b反财成為715b， 自713b輸出 塞取祺式 (Add and Drop) 第二態樣雙反射式光訊號處理裝置72係上门，A t 6 1恭如圖十四A與 圖十四B所示，分別為光訊號穿越模式與夷你 、 土 才美式。 里"^2. 構包括一可自一輸入光纖（平面光波導）' la輪入之一輪 入光訊號722a及可自一輸出光纖（平面光油道λ L t Λ /及導）721b輸出 之一反射後之支入光訊號7 2 2 b，一支入側私 J鞠入埠7 2 3 塞入一支入光訊號725a，一支入側輸出埠723 a，可 可取下

1229051 案號91119074__年 月 日修正 五、發明說明（25) 一反射後之輸出光訊號725b ; —第一微致動器致動之一第 一反射鏡面724a與一第二微致動器致動之一第二反射鏡面 724b，皆可分別沿PQ方向及RS方向移動。 第二態樣雙反射式光訊號處理裝置72之操作方式，可 歸納如表二： 表二 JS示 播作功能描述 播作褀式 £8十西A 722a恢次經724a，724b反射成為722b， 自721b輸出 穿越棋式(ON) 蒯十四B 725a自723a輸入，經724b反射成為722b， 自721b輸出； 722a自721a輪入，經724a反射成為725b， 自723b輪出 塞取褀式 (Add and Drop) 第三態樣雙反射對稱式光訊號處理裝置73係如圖十五 A與圖十五B所示，分別為光訊號穿越模式與塞取模式。其 架構包括一可自一輸入光纖（平面光波導）731&輸入之一 輸入光訊號732a及可自一輸出光纖（平面光波導）7311)輸 出之一反射後之光光訊號73 2b ; 一支入側輸入埠73 3&，可 塞入一支入光訊號735a，一支入側輸出埠733 b ,可取下 一輸入光訊號73 2a 第-微致動器致動之-第-反射鏡 面734a與第二微致動器致動之一第二反射鏡面73幼，皆可 分別沿PQ方向移動。 置73之操作方式，可 歸納：：；樣雙反射式光訊號處理裝 1229051 案號 91119074 年 月 曰 修正 五、發明說明（26) 表三 18示 桷作功能描述 拣作模式 ¢ +五A 732a 自 731a 輸入，恢次M 734a、734b 反 射成為732b，自731b輸出 穿越捎式(ON) ®十五B 735a自733a輪入後，自731b輪出； 732a自731a輸入後，改稱735b，自733b 輸出 塞取襪式 (Add and Drop)

以上表一、表二、表三分別列第一態樣7 1、第二態樣 72、第三態樣73皆各自具有一光塞取多工器之完整功能。 除揭露光塞取多工器光開關形態應用外，第一態樣7 1、第 二態樣72、第三態樣73中經至少一反射鏡面反射之光訊 號，藉與該至少一反射鏡面相對應之微致動器致動，可同 時兼具如本發明第四較佳實施例之可調變光衰減器之功 能。此外，圖十三B第一態樣71之塞取模式中，可藉由微 調一反射鏡面714a可遮斷一部、全部或不遮斷支入光訊號 7l5a，以達成衰減支入光訊號71 5a之功能。相較於前述習 用技術之7)美國專利第6, 1 4 8, 1 2 4號之Vladimir A·

Aksyuk等所開發之，多波長光訊號塞取多工系統’，本發明 第五較佳實施例之光塞取多工器全無習用技術之7 )所述之 -三項缺點。第五較佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝 _ 置，作為兼具可調變光衰減器功能光塞取多工器（0ADM)之 多頻道高擴充性之陣列，亦可依實際需求組合成單一或複 數的鏡面結構體陣列，作為單一頻道與多頻道具有玎調變

第30頁 1229051 案號 91119074 主月日___

五、發明說明（27) 光衰減器功能之可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置陣列通訊 應用元件，且可應用於光通訊網路架構中。 本發明所有可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置中所揭露 之微致動器，可係一微機熱電電致動器、一微機電靜電致 動器、一微機電電磁致動器、一微機電壓電致動器及其他 適用微致動器其中之一者，由於上述四種微機電致動器皆 為習用技術，可為熟習微機電技藝人士輕易掌握與實施， 為簡化說明書，本說明書不就習用技術微機電致動器逐一 以較佳實施例敘述之。 本發明所有較佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝 置中’任一入射光光訊號與其反射光光訊號所形成之任一 光§孔號路徑上’更可包含準直透鏡（c〇llimating lens)、聚光透鏡（c〇iiecting iens)、光學球形鏡 (ball lens)、柱形鏡（cylindrical lens)、折射式 微透鏡、如微弗烈司尼爾（Fresnel)透鏡之繞射式微透 鏡、其他非球面微透鏡及其他光學元件，以供提升可動傾 斜反射鏡光訊號處理裝置中光訊號之傳輸效率及耦合效、 率’且可提供平行光方式進行光訊號傳輸，亦可經適當折 射光路徑進行光訊號傳輸，減少光訊號在傳輸過程中的訊 號散失；此外，第一較佳實施例至第五較佳實施例中之反 射鏡片，可藉微調入射光光訊號、反射光光訊號位置、依 次微調或同時微調入射光光訊號及反射光光訊號位置，故 具有可調變光衰減功能；再者，本發明所揭露之任一反射 鏡面係可以矽微加工、電鍍、濺鍍等技術製作，亦可以其 他製程技術製造而具有反射功能之各式光學元件取代，包

1229051 曰 案號 91119074 、發明說明（28) 含所有以各式稜鏡、各式透鏡、反射鏡組成之各式光學組 成，且任一反射鏡面所使用之光學元件數目可由一至數件 不等。此外，任一可動傾斜反射鏡微機電反射單元及微致 動器係可使用晶圓級製程與封裝技術，將系統中所有^件 積體化製作於兩晶片上，或利用覆晶接合或晶粒接人 術，將個別製作之元件整合固定於兩晶片上；而二 :之d ΐ1接合技術將兩晶片接合在一起完成初級封 之後可,配合光纖定位與封止的過程，與外部封：：： 整：5:之製#。再者，本發明所有較佳實施例。動：斜 反射鏡光訊號處理裝置，可以陣 動傾斜 之可調變光衰诸罘·弋鼠.^ J万式、、且成早一或多頻道 之^^九衣減$，或早-或多頻道光開關陣列。 1上所述僅為本發明之較佳 =明範圍’凡根據本發明之内容；本 利要件，&爰法提出發明專利、LU性主」之發明專 允撥時間惠允審查並早賜與專利g。祈研貝審查委員 第32頁 1229051 ___案號91119074_ 年 a 修正 圖式簡單說明 【圖示說明】 圖一係習用技術美國專利第6,〗37, 941號之矸調變光 衰減器示意圖。 圖二係習用技術美國專利第6, 2 46, 826號具造型遮片 之可調變光衰減器示意圖。 圖三係習用技術美國專利第6,丨73, 1 05號光衰減器示 意圖’亦可為習用技術美國專利第6，2 〇 5，2 6 7號光開關示 意圖。

圖四A及圖四B係習用技術美國專利第6, 229, 64 〇號微 機電光開關及製造方法示意圖。 圖五係習用技術美國專利第6, 2〇5, 267號光開關示意 圖。 於光開關之微 圖六係發表於美國光學學會論文，應用 機電靜電式致動器之1 X 4光開關示意圖。 習用技術美國專利第 光柵分波元件及微光學 圖七A、圖七B及圖七C分別係 6, 0 97, 859號多波長光開關元件、 振鏡元件示意圖。 圖八A及圖八B分別係習用技術美國 號多波長光訊號塞取多工系統及遮斷哭-^b，148, 1 24 圖九A、圖九B、圖九C及圖九d分別 ％、圃。 反射鏡光訊號處理裝置第一較佳實施例第本，明可動傾斜 樣、第三態樣及陣列示意圖。 怒樣、第二態 圖十A、圖十Β、圖十C及圖十d分別/ 反射鏡光訊號處理裝置第二較佳實施例^ ^發明可動傾斜 其陣列示意圖。 $意圖、剖面圖及 案號 91119074__^ 1229051 圖式簡單說明 圖十一Α及圖十一β分別係本發明可動傾斜反射鏡光訊 號處理裝置第二較佳實施例第一態樣及第二態樣示意圖。 圖十一 C係本發明可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置第 三較佳實施例之微機電反射單元與輸入光纖、輸出光纖間 之相對角度示意圖。 圖十一 D係本發可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置第三 較佳實施例之反射鏡面第一態樣、第二態樣及第三態樣示 意圖。 圖十二係本發明可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置第四 較佳實施例η X m多頻道光開關光訊號衰減器陣列。 圖十三A至圖十三B、圖十四A至圖十四B、圖十五A至 圖十五B分別係本發明可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置第 五較佳實施例作為具可調變光衰減器功能之光塞取多功機 (OADM)之第一態樣、第二態樣、第三態樣示意圖。 【圖號說明】 習用技術圖號： 11卜正常（平）位置 112 -非正常（鏡面偏轉）位置 11 3、1 5 5 -控制裝置 121、 131、165 -輪入光纖 122、 132、161d、162d、163d、164d-輸出光纖 123、 124-光學球形鏡 125、 130、142-光衰減器 126、 143 -致動器

1229051 _案號91119074_年月日 修正 圖式簡單說明 127、1 33-造型遮片 144-遮片 1 3 4 -上電容板 1 3 5 -下電容板 136-懸臂 141a、201a-第一光訊號輸入光纖 141b、201b-第一光訊號輸出光纖 141c、201c-第二光訊號輸入光纖 141d、201d_第二光訊號輸出光纖 142-光開關致動裝置 151、183-環流器 152- 第一埠 153- 第二埠 154- 第三埠 1 6 0 - 1 X 4光開關 161a、162a、163a、164a-靜電式微致動器 161b 、 162b 、 163b 、 164b-平面鏡 161c、162c、163c、164c、166 -準直透鏡 1 6 7 _入射光光訊號 1 7 1 -第一光柵 172a、172b、172c -輸入端光纖 173- 微光學振鏡陣列 174- 第二光柵 175a、175b、175c-輸出端光纖 176、1 77-陣列平面

1229051 -91119074_年月日 倏正____ 圖式簡單說明 ^ 176a、176b、176C、177a、177b、177c—微光學振鏡元件 181、1 84-陣列波導光柵元件 1 8 2 -微機電光開關 1 8 5 -搞合器 本發明圖號： 31、32、33、40、71、72、73 -可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝置 311a、321a、331a、402、511a、711a、721a、731a -輸入 光纖（或平面光波導） 311b 、 321b 、 331b 、 403 、 511b 、 711b 、 721b 、 731b-輸出 光纖（或平面光波導） 312、 3 22、3 32、4 04、5 12、522 a-入射光光訊號 313、 3 23、3 33、4 05、513、522b-反射光光訊號 314a 、 324a 、 334 、451-第一平面 314b、324b、45 2-第二平面 315a、325a、335a、44、714a、724a、73 4a-第一反射鏡 面 315b > 32 5b ^ 33 5b、45、71 4b、724b、73 4b-第二反射鏡 面 316、336、514b、52 4b、526 -微致動器 326a-第一微致動器 326b -第二微致動器 3 1 7、3 2 7、3 3 7、4 0 1 -平行光纖之中心線 318、3 28、3 38、4 07-底線

1229051 -----案號 91119074 __年 月_g_修正_ 圖式簡單說明 34、4j-可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置陣列 3 41第一較佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝罝陣列 第一態樣 3 42-第一較佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝罝陣列 第二態樣 3 4 3-第一較佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝罝陣列 第三態樣 4 0 6 -平面

43-可動傾斜反射鏡單元 453-45〇斜面 4 6 1 -第一較佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝罝陣列 第一列 4 6 2 -第一車父佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝罝陣列 第二列 5 1 -第二較佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝罝第一 悲樣 5】樣第三較佳實施例可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置第二 514、524-微機電反射單元 514a、524a、52 5-反射鏡面

514c、527 -連桿 5 1 5 -光折射元件 523a-第一聚焦光學元件 523b-第二聚焦光學元件 5 5 -反射鏡面第一態樣

第37頁 1229051 案號 91119074 年月曰 修正 圖式簡單說明 5 6 -反射鏡面第二態樣 5 7 -反射鏡面第三態樣 712a、722a、732a -輸入光訊號 712b 713a 713b 715a 722b 715b、72 5b -反射後之輸入光訊號 723a、733a -支入側輸入埠 723 b、7 33b-支入側輸出埠 725a、735a -支入光訊號 7 3 2 b -反射後之光訊號 735a-支出光訊號 〇·

第38頁

Claims (1)

1229051 ---MM 91119074_年月 日 你 π： _ 六、申請專利範圍 1 · 一種可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置，包括一 $動傾斜 反射鏡微機電單元，其係包含一第一反射鏡面與一第二 反射鏡面，來自一光訊號輸入元件之一入射光，可依次 經第一反射鏡面、第二反射鏡面反射後，形成一反射 光’自一光訊號輸出元件輸出，該入射光與該反射光組 成一光訊號傳輸路徑； ^ 其中第一反射鏡面與第二反射鏡面可於相互垂直狀 悲下，藉移動兩反射鏡面中之至少一鏡面位置，調變反 射光傳輸路徑位置或方向，進而達到調變光訊號耦合進 入輸出端之強度。 2.如^請專利範圍第丨項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝置’其中反射光自光訊號輸出元件輸出強度之調變 範圍係可自〇%至1〇〇%。 3 ·如申請專利 理裝置，其 一光纖及一 4.如申請專利 理裝置，其 器，使之能 一鏡面至不 反射光自光 至100% ，包 為最大值， 為相對最低 範圍第1項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 中光訊號輸入元件與光訊號輸出元件係可為 光波導管之任-0 範圍第1項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 中該至少一鏡面，係可分別連接於一微致動 依—驅動控制裝置之控制訊號，微調該至少 同距離，且可靜止在一距離之一位置上，使 Λ號輸出元件輸出強度之調變範圍係可自〇 % 括一第一位置，使光訊號耦合進入輸出元件 與 第二位置，使光訊號麵合進入輸出元件 值。

1229051 曰 修正 六、申請專利範圍 5·如申請專利範圍第4項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝置，更可藉由該一驅動控制裝置，達成一可調變光 衰減器與光開關等功能，且可應用於光通訊網路架構 中 〇 6. 如申請專利範圍第4項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝ί，#中該至少一微致動器係可為一微機電式熱電 致動器、一微機電式靜電致動器、一微機電式電磁致動 器、一微機電式壓電致動器以及其他微致動器之任一。 7. 如申請專利範圍第4項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 輸人端及輸出端可連接至少一光訊號強度檢4· t偵測光汛號強度，藉由比對輸入輸出光訊號強度與 目標光訊號輪出強度，經過電路處理可提供一 ^ 及，訊號中至少一訊號予一控制電路，適J = 致動為來微调反射鏡面到達至所需位置，間接調整 號傳輸路徑，使其對應之光訊號輸出強度與目標光訊赛 輸出強度相同，達成所需之訊號衰減強度。 & 8. ΪΠ專：Ϊ圍第4項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 里裝1，可襞置一光訊號強度檢視器於該光訊 近’，分由至少一鏡面反射之光訊號強度強Π 供一則饋讯號及一迴授訊號中至少一訊號予—控 路，適當驅動微致動器來微調反射鏡面到達至^㊉朽 置，即間接調整光訊號傳輸路徑，使其對應之光= 出強度與一目標光訊號輸出強度相同，可達成所+ =: 號衰減強度。 叮而之说

1229051 —---案號 91119074 _ 年 月 q r ___ 六、申請專利範圍 夕 9 ·如申睛專利範圍第丨項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝置，其中該第一反射鏡面與第二反射鏡面之材質係 可包含所有不透光材質，且第一反射鏡面與第二反射鏡 面之結構可由一材質亦可由複數個材質組成，包含經由 靶加外在能量，促使材料性質自具有透光特性轉為具有 不透光特性之材質。 I 0 ·如申請專利範圍第1項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝置，其中該至少一鏡面位置之微調方向可為任意 方向。 II ·如申請專利範圍第1項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝置，其中輸入光纖之輸入端與輸出光纖之輸出 端，更可分別接上一光源與一訊號檢視器，可於組裝 過程中輔助定位。 1 2·如申請專利範圍第1項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝置，其中光訊號輸入元件與光訊號輸出元件係可 相互平行配置。

13 ·如申請專利範圍第1項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝置，其中第一反射鏡面及第二反射鏡面可共設於 一結構平台上，且可藉由至少一微致動器同時、依次 及分別微調兩反射鏡面位置。 1 4 ·如申請專利範圍第1項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝置，更包含一具有高反射率表面材質之薄膜鏡 面，其係平行懸浮於該炱少一鏡面上方，可藉靜電致 動與熱電致動等習知之微機電式致動懸浮薄板及懸浮

1229051 曰 --SS_^1U907£ 六、申請專利範圍 ϊ =制中之至少一種致動機制使產生變形，改變 入射先路徑及反射光路徑中之至少一支肜改文 射光自光訊號輸出元件輸出之強度。徑，調變反 1 5.如申請專利範圍第i項 X 理裝置，其中該光訊號路徑上了更動Λ斜人反身^^虎處 -聚光透鏡、一光學球形鏡、！直透；； 透鏡、如微弗烈司眉爾、番於 兄 折射式微 玻& η 、泰泣”、 爾透、見之一繞射式微透鏡、一非 球面u透鏡及其他光學元件 上之傳播效率及二提升光訊號路徑 損失。 《放率減〉、光訊號路徑上之訊號 16 if 專：入述之件可動傾斜反射鏡光訊號處 可分別Α2 ΐ 牛與光訊號輸出元件，更 」刀另j再連接一第一弁_元杜 ^ 1 7·如申請專利穸囹Μ 1纖件與一弟二光纖元件。 m M 項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 反射鏡面與第二反射鏡面更包含- 結構體可為-平面鏡鏡面、-造型 一。 面鏡鏡面、及其他光學元件之任

1 8理：；專2 :圍第3項所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 ϊίΓ ΐ::定位步驟係將光纖及光波導管之-者f第一反射鏡面及第二反射 1 9 ·如申請專利範圍箆〗馆私、+、> 1 π 疋 # @ f 3 i ΐ 所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 ’I作為一頻道及複數個頻道之一可調變光衰 減裔陣列及一光開關陣列。

ΙΗ 第42頁 1229051案號9111^_本月曰 修正_^ 六、申請專利範圍 2 0 ·如申請專利範圍第1 9項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，更包含一反射鏡面及複數個反射鏡面之一 者’供複數個頻道共用使用。 2 1 ·如申請專利範圍第1 9項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中組裝定位步驟係將光纖及光波導管之 一者與第一反射鏡面及第二反射鏡面之間作一定位。 2 2. 一種可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置，包括·· 一光折射元件；以及 一可動傾斜反射鏡微機電單元，至少包含一反射 鏡面及連接於反射鏡面之一微致動器，來自一光訊號❾^ 輸入元件之一入射光，可經反射鏡面反射後，形成一 反射光，自一光訊號輸出元件輸出，亦可將入射光經 光折射元件折射，並經反射鏡面反射後，再經該光折 射元件折射後，進入一光訊號輸出元件，該入射光與 該反射光組成一光訊號路徑； 其中微致動器可致動反射鏡面位置，調變反射光 輸出強度。

23·如申請專利範圍第22項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中光折射元件可為一光折射元件及複數 個光折射元件中之任一。 24·如申請專利範圍第22項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中第一反射鏡面及第二反射鏡面，更分 別包含一具有高反射率之薄獏鏡面，可藉靜電致動與 熱電致動之微機電式懸浮薄板及懸浮薄膜機制中之任

第43頁 I229〇5i ^—I §__修正_ 节叫專利範圍 ’使薄膜鏡面產生變形，改變反射光光路徑，調變 &反射光自光輪出元件輸出之強度。 •如申請專利範圍第22所述之可動傾斜反射鏡光訊號處 理裝置，其中光訊號輸入元件及光訊號輸出元件可為 26 一光纖及一光波導管之任/。 •如申請專利範圍第22項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 =理裝置’其中反射鏡面巧*為一平面鏡鏡面、一造型 平面鏡鏡面、一曲面鏡鏡面.、一其他反射元件中之住 如·〜 〇 2 7 •如申請專利範圍第22項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 ，理裝置，更包括一驅動控制裝置，可藉以達成一可 δ周變光衰減器及一光開關之功能，且可應用於光通訊 網路架構中。 2 g . •如申請專利範圍第2 2項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中光訊號輸入元件與光訊號輸出元件係 可相互平行配置。 2 9 ·如申請專利範圍第2 2項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中反射鏡面 < 藉一微致動器致動，沿任 意方向移動。 3 0 ·如申請專利範圍第2 9項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中微致動器^為微機電式之一熱電致動 器、一靜電致動器、一電磁致動器、一壓電致動器及 其他微機電式致動器之任/ ° 3 1 ·如申請專利範圍第22項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 1229051

處理裝置，其中該光訊號路徑上更可包含一 鏡、一聚光透鏡、一井學球形镑 兄 光子球形鏡一柱形鏡、一折射 二I ”兄 微弗烈司尼爾透鏡之一繞射式微透鏡、 ^非球面微透鏡及其⑽光學元件之任—，$升光訊號 徑上之傳播效率及耦合效率，減少光訊號路徑上之 訊號損失。 32.如申請專利範圍第22項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中該反射鏡面可包含—反射鏡面及複數 個反射鏡面之任一。 33·如申請專利範圍第22項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，可作為一頻道及複數個頻道之一可調變光 衰減器陣列及一光開關陣列。 34·如申請專利範圍第22項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，更可組成一多頻道具可調變光衰減功能及 、 nxm光開關功能之光通訊元件，可藉由對應之微機電制 動器調整反射鏡位置，使輸入光訊號經不同頻道之反 射鏡面反射後由光訊號輸出元件輸出，且可藉微調反 射鏡位置調變進入光訊號輸出元件之光訊號強度，達

成可調變光衰減器之功能。 35· —種可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置，可提供一多波 長光塞取功能，包括： 一光輸入元件，可輸入一輸入光訊號； 一支入側輸入埠，可輸入一支入光訊號； 一光輸出元件，可輸出輸入光訊號，亦可輸出支

第45頁 1229051 --案號91119074 年 月 曰 铬心___ 六、申請專利範圍 入光訊號； 一支入側輸出埠，可取下輸入光訊號；以及 一可動傾斜反射鏡微機電單元，包含一第一反射 鏡面及一第二反射鏡面，可由一第一微致動器及一第 二微致動器分別致動至一第一位置及一第二位置，第 一反射鏡面之第一位置係非介於支入側輸入埠與光輸 出元件之間，不阻礙塞入功能（add)之完成、第二位置 係介於支入側輸入埠與光輸出元件之間，阻斷支入光 訊號無法自光輸出元件輸出，致使塞入功能無以完 成’第一反射鏡面之第一位置係非介於支入側輸入埠 及光輸出元件之間，不阻礙塞入功能之完成，且恰可 將輸入光訊號反射，完全由支入側輸出埠輸出，提供 光訊號取下功能（drop)、第二位置係設於支入側輸入 埠及光輸出元件之間，且恰可將輸入光訊號反射，完 全由光輸出元件輸出，提供一穿越功能（〇n)，第一反 射鏡面二位置與支入側輸入埠相鄰，第二反射鏡面二 位置與光輸出元件及支入側輸出埠相鄰； 當第一反射鏡面及第二反射鏡面皆位於第二位置 時，第一反射鏡面無法提供塞入功能，第二反射鏡面 卻可提供穿越功能，屬穿越模式（〇n);以及 當第一反射鏡面及第二反射鏡面皆位於第一位置 時，第一反射鏡面及第二反射鏡面皆不構成阻礙，故 可提供塞入功能，第二反射鏡面更可完成一取下功 能，故可提供塞取功能，屬塞取模式（add and dr〇p)

1229051 ___案號 六、申請專利範圍 91119074 曰 修正 3 6 ·如申請專利範圍第3 5項中所述之可動傾斜反射鏡光訊 號處理裝置，其中位於第，位置及位於第二位置之第 二反射鏡面，可分別由第二微致動器微調定位，微調 光訊號路徑，改變光訊號進入輸出元件之強度，以同 時兼具可調變光衰減器之功能。 3 7 ·如申請專利範圍第3 5項中所述可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中位於第二位置之第一反射鏡面，可藉 第一微致動器微調定位，完成遮斷一部支入光訊號、 全部支入光訊號、及不遮斷支入光訊號中之至少一 者，達到可調變光衰減器之功能。 3 8 ·如申請專利範圍第3 5項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中第一反射鏡面及第二反射鏡面，更分 別包含一具有高反射率表面材質之薄膜鏡面，可藉靜 電致動與熱電致動之微機電式懸浮薄板及懸浮薄膜機 制中之至少一者，使薄膜鏡面產生變形，改變輸入光 訊號光路徑及支入光訊號光路徑中之至少一者，調變 輸入光訊號及支入光訊號自光輸出元件輸出之強度。

3 9 ·如申請專利範圍第μ項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中第一反射鏡面及第二反射鏡面，分別 可為一平面鏡、一造变肀面鏡、一曲面鏡鏡面及其他 光學反射元件中之至少 4〇·如申請專利範圍第35項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中輸入光訊號光路徑及支入光訊號光路

第47頁 1229051

上，更可包含一準直透鏡、一聚光透鏡、一光學球 2、-柱形鏡、一折射式微透豸、如微弗烈司尼爾 風、兄之一繞射式微透鏡、其他非球面微透鏡及其他光 千7L件中之至少一者，以增加其光訊號耦合效率。 一種可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置，可提供一多波 長光塞取功能，包括： 一光輸入元件’可輸入一輸入光訊號； —支入側輸入埠，可輸入一支入光訊號； 一光輸出元件，可輸出輸入光訊號，亦可輸出支 入光訊號； 反射，由支 第二位置係 二反射鏡面 光輸入元件 提供一塞入 輸入光訊號 ’可取下輪 鏡微機電單 動器致動至 射鏡面可由 反射鏡面之 入側輸出埠 可將輸入光 ;第二反射 之支入光訊 功能（add)， 由光輸出元 及第二反射 反射鏡面可 一支入側輸出埠 一可動傾斜反射 鏡面可由一第一微致 位置，以及一第二反 至一第一位置，第一 入光訊號 (dr op )-位置之第 可將來自 件輸出， 所反射之 功能（on); 當第一反射鏡面 置及第一位置，第一 入光訊號；以及 元，包含一第一反射 一第一位置、一第二 第一微致動器致動 第一位置係恰可將輸 輪出，提供取下功能 訊號反射至位於第一 鏡面之第一位置係恰 號反射，由光輸出元 亦可將第一反射鏡廷 件輪出，提供一穿越 鏡面分別位於第二位 將輪入光訊號反射至 1229051 修正 案號 91119074 六、申請專利範圍 故可提供 第二反射鏡面再反射，自光輸出元件輸出 穿越功能，屬穿越模式（on);以及 當第一反射鏡面及第二反射鏡面皆位於第一位 置’第-反射鏡面可提供取下功&，第二反射鏡面可 提供塞入功能，屬塞取模式（add and dr〇p)。 I 42. 如申請專利範圍第41項中所述之可動傾斜反射鏡光訊 號處理裝置，其中位於第一位置及位於第二位置之第 一反射鏡面，可分別由第一微致動器微調定位，位於 第一位置之第二反射鏡面，可由第二微致動器微調定 位，進而微調光訊號路徑，改變光訊號進入輸出元件 之強度，以同時兼具可調變光衰減器之功能。 43. =申請專利範圍第41項所述之可動傾_反射鏡光訊號 處理裝置’其中第一反射鏡面及第二反射鏡面，更分 f包含具有一高反射率之薄膜鏡面，可藉靜電致動與 …電致動之微機電式一懸浮薄板及—懸浮薄膜機制中 ^至夕一者，使薄膜鏡面產生變形，改變輸入光訊號 光路徑及支入光訊號光路徑中之至少一者，調變輸入 光訊號及支入光訊號自光輸出元件輸出之強度。 44. =申請專利範圍第41項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裳置，其中第一反射鏡面及第二反射鏡面，分別 可為一平面鏡、一造型平面鏡、一曲面鏡鏡面及其他 光學反射元件中之至少一者。 45·如申請專利範圍第41項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中輸入光訊號光路徑及支入光訊號光路 1229051

46. 徑上，更可包含-準直透鏡、一聚光透鏡、一光學球 形鏡、-柱形鏡、-折射式微透鏡、如微弗烈司尼爾 透鏡之一繞射式微透鏡、其他非球面微透鏡及豆他光 學元件中之至少一者，以增加其光訊號耦合效率。 一種可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置，可提供一多波 長光塞取功能，包括： 一光輸入元件’可輸入一輸入光訊號； 一支入側輸入埠，可輸入一支入光訊號；

一光輸出元件，可輸出輪入光訊號，亦可輸出支 入光訊號；

一支入側輸出埠，可取下輸入光訊號；以及 一可動傾斜反射鏡微機電單元，包含一第一反射 鏡面與一第二反射鏡面，可分別由一第一微致動器及 一第二微致動器致動至一第一位置及一第二位置，第 一反射鏡面之第一位置係介於支入側輸出埠與光輸入 元件之間，可阻斷輸入光訊號無法自支入側輸出埠輸 出，致使取下功能無以完成、第二位置係非介於支入 側輸出埠與光輸入元件之間，故可讓輸入光訊號自支 入側輸出埠輸出，提供取下功能（drop);第二反射鏡面 之第一位置係介於支入側輸入埠與光輸出元件之間， 可阻斷支入光訊號無法自光輸出元件輸出，致使塞入 功能無以完成、第二位置係非介於支入側輸入蟑與光 輸出元件之間，故可讓支入光说5虎自光輸出元件輸 出，提供塞入功能（add);

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當第一反射鏡面與第二反射鏡面皆位於第一位 置，第一反射鏡面恰可將輪入光訊號反射至第二反射 鏡面，經第二反射鏡面二次反射後，恰可自光輸出元 件輸出，提供穿越功能，屬穿越模式（〇n);以及 當第一反射鏡面與第二反射鏡面皆位於第二位 置，支入光訊號可直接由支入側輸入埠傳輸至光輸出 元件’提供光訊號塞入功能（a d d )，輸入訊號可直接由 ，輸出元件傳輸至支入側輸出埠，提供光訊號取出功 i (drop)，屬塞取模式（a(jd and drop) 〇

4 7 ·如申明專利範圍第4 6項中所述之可動傾斜反射鏡光訊 號處理裝置，其中位於第一位置及位於第二位置之第 一反射鏡面，可分別由第一微致動器微調定位，位於 第 位置及位於第二位置之第二反射鏡面，可分別由 ^二微致動器微調定位，微調光訊號路徑，改變光訊 號進入輸出元件之強度，以同時兼具可調變光衰減器 之功能。 48·如申請專利範圍第46項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中第一反射鏡面及第二反射鏡面，更分 別包含具有_高反射率之薄膜鏡面，可藉靜電致動與 熱電致動之微機電式一懸浮薄板及一懸浮薄膜機制中 ^至少一者，使薄膜鏡面產生變形，改變輸入光訊號 光路徑及支入光訊號光路徑中之至少一者，調變輸入 光δί1戒及支入光訊號自光輸出元件輸出之強度。 49·如申請專利範圍第46項所述之可動傾斜反射鏡光訊號

第51頁 1229051 案號 91119074 月 曰 修正 六、申請專利範圍 處理裝置，其中第一反射鏡面及第二反射鏡面，分別 可為一平面鏡、一造型平面鏡、一曲面鏡鏡面及其他 光學反射元件中之至少一者。 5 0.如申請專利範圍第4 6項所述之可動傾斜反射鏡光訊號 處理裝置，其中輸入光訊號光路徑及支入光訊號光路 徑上，更可包含一準直透鏡、一聚光透鏡、一光學球 形鏡、一柱形鏡、一折射式微透鏡、如微弗烈司尼爾 透鏡之一繞射式微透鏡、其他非球面微透鏡及其他光 學元件中之至少一者，以增加其光訊號耦合效率。

第52頁 公告本 1229051 τ%白期：1/一咕一 IPC 分類 一~_/一_ 申請案號：91119074 * ^\^ή〇〇 (以上各欄由本局填註） 發明專利說明書 中文 可動傾斜反射鏡光訊號處理裝置及方法 、 發明名稱 英文 姓名 (中文） 1. 陳志忠 2. 賴彥志 3. 李正國 姓名 (英文） 1. 2. 、 3. 發明人 (共3人） 國籍 (中英文) 1.中華民國R0C 2.中華民國R0C 3.中華民國R0C 住居所 (中文〕 1. 台北市合江街73巷10號3樓 2. 高雄市苓雅區建民路222巷11號 3. 台北市致遠一路2段70巷1弄10號 住居所 (英文〕 1. 2. 3. · 名稱或 姓名 (中文） 1.亞太優勢微系統股份有限公司 名稱或 姓名 (英文） 1. 國籍 (中英文） 1.中華民國ROC 申請人 (共1人） 住居所 (營業所） (t X) 1.新竹科學園區新竹縣研發六路二號（本地址與前向貴局申請者不同） 住居所 (營業所） (英文) 1. 代表人 (中文） 1.林敏雄 代表人 (英文） 1.

修正

射鏡面角度及反射光束光路徑，致使該反射光束中， 僅一部分可進入輸出波導，反射光進入輸出光纖的 度便會減少，從而達成光衰減器之可調變功能。此 外’該美國專利於並揭露一反射式數位微鏡元件 (hgital Mirror Device)，可用來取代圖一中之具 樞^軸之反射鏡面。惟該習用技術專利揭露，可調^ 光衰減器中之反射鏡面角度具有高靈敏度，其靈敏^ 係可於達到20db @ 0· 1。，4〇db @ 0. 35。或更高，^泰 以一高精密度（如PWM技術）之自動控制裝置11 3對反文需 射鏡面進行調變。其與本發明實施例一到四中所描述 之結構相比較，兩者不但在材料、結構、製程和操作 方式皆不相同，本發明不需針對精密的角度定位控制 作複雜高精密度之自動控制裝置設計，相較之下則具 有精密定位控制容易，可提高製造良率、降低製造成 本、操作穩定性較高之優點。 2)再如美國專利第6, 246 ,826號O’Keefe等所開發，具造型 遮片之可調變光衰減器’ （Var iable 〇ptical attenuator with profiled blade)，其乃如圖二所 示’為一可調變光衰減器，包括有一輸入光纖12i及一 輸出光纖1 22 ;二光學球形鏡（ba 1 1 lens ) 1 23、 124，一光哀減态125 ’其係包含一致動器126及一造型 遮片127;可設於該輸入光纖121及該輸出光纖122之 間’利用一梳狀微致動器（C 〇 m b d r i v e)或其他致動方 式，使固定於致動器的不同造型的遮片作平行推動， 藉阻斷部分傳輸光訊號，達成調變光訊號強度之功