TWD227270S - 用於基板處理腔室的互鎖處理套件用的支撐管 - Google Patents

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TWD227270S
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Taiwan
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substrate processing
processing chamber
support pipe
process kit
interlocking process
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TW111304540F
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English (en)
Inventor
薩希堤 納拉功達
強納森 賽門斯
黄昕暐
彼特 村岡
安德列亞斯 史密德
Original Assignee
美商應用材料股份有限公司
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Abstract

【物品用途】;本設計請求具有視覺效果之用於基板處理腔室的互鎖處理套件用的支撐管。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分,為本案不主張設計之部分。;剖面視圖為俯視圖中依據9-9之截線所擷取之剖面圖。

Description

用於基板處理腔室的互鎖處理套件用的支撐管
本設計請求具有視覺效果之用於基板處理腔室的互鎖處理套件用的支撐管。
圖式所揭露之虛線部分,為本案不主張設計之部分。
剖面視圖為俯視圖中依據9-9之截線所擷取之剖面圖。
TW111304540F 2022-03-18 2022-09-13 用於基板處理腔室的互鎖處理套件用的支撐管 TWD227270S (zh)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWD211387S (zh) 2019-08-28 2021-05-11 美商應用材料股份有限公司 用於基板處理腔室的下屏蔽件

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWD211387S (zh) 2019-08-28 2021-05-11 美商應用材料股份有限公司 用於基板處理腔室的下屏蔽件

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