TW555713B - Supporting member in an over for barking glass substrate - Google Patents

Description

555713 五、發明說明（1) 一、【發明所屬之技術領域】 本發明係為一種烘烤爐内之支撐架的結構，特別是有 關於一種應用在烘烤玻璃基板之烘烤爐内的支撐架結構， 以提高薄膜電晶體（Thin-Fi lm Transistor ; TFT)所採用 之玻璃基板的良率（yield)並提高玻璃基板在經過烘烤爐 之烘烤製程後的品質。 姐 一、【先前技術】 薄膜電晶體是一種液晶顯示器（Liquid Crystal Display ; LCD)的技術，這種螢幕在每一個圖點都放置一 個電晶體來控制顏色，如此一來可以在螢幕更新顯示的期 間保有螢幕上的顯示資訊，這種技術又稱為「主動矩陣」 fact 1 ve-matr lx)螢幕。現今筆記型電腦的顯示器多以 薄膜電晶體的液晶顯示器為主流，這種顯示器改進了以往 雙掃描液晶顯不器（Dual - Scan Twisted Nematic; DSTN) 在光線太強時不清楚及可顯示角度太小的問題。現在薄膜 電晶體的顯示器已經製成桌上型螢幕，有取代傳統陰極 射線管（Cathode Ray Tube; CRT)f 幕的趨勢。 所謂的液晶顯示器是利用桿狀水晶分子（r〇d — shaped crystal molecule)受到電流作用會改變方向的原理來顯 示資訊。通常液晶顯示器可見於數位錶（digital㈣忧㈦ 、筆記型電腦或是碼錶等儀器上，它的耗電量極低，所以 適合長時間顯不的設備。液晶顯示器的結構為在兩片平行

555713 五、發明說明（2) ----- 、 璃基板^中放置液態的晶體。而在這兩片破璃某板中 Ξ叙ϋ ΐ許多垂直和水平的細小電線’透過通電與；通電 的動作來控制液晶顯示器上所顯示的圖點。 在薄膜電晶體液晶顯示器的面板的製程中，用於黏著 ，1基板而形成液晶晶胞（ce丨丨）之框膠材（熱硬化型^氧 樹脂），需使用加熱的方式使其硬化。而通常所採用的加 熱方式為將玻璃基板送入烘烤爐中進行烘烤的製程，以 化框膠材。 參照第一圖所示，此為傳統烘烤玻璃基板之烘烤爐内 的俯視圖。傳統烘烤玻璃基板之烘烤爐丨〇内之結構均為層 狀之結構，以便於在一次烘烤的製程中同時烘烤多片破璃 基板。通常烘烤爐1 〇視設備設計之不同而有不同之層數， 通常一般之烘烤爐1 0内部大約分為四十層，以使熱量均勾 散佈在烘烤爐的每一層中。烘烤爐1 0内之每一層均可放^ 一塊玻璃基板進行烘烤之製程且其内部均包含多數支頂針 (p i η) 1 2，用以承載玻璃基板。依設備及產品需求之不同 而決定頂針的數量，通常在烘烤爐1 〇内之每一層中之頂針 1 2數目為八根’此些頂針1 2均以兩兩成對之方式分佈在供 烤爐内之兩側壁。 " 參照第二圖所示’此為在烘烤爐内部之單--層内放 置一塊玻璃基板之示意圖。參照第三圖所示，此為二塊破

555713 五、發明說明（3) '一'' " 璃基，玫置在烘烤爐内之頂針上時的缺陷示意圖。在烘烤 爐的，二層上均分佈著多數個頂針1 2用以承載玻璃基板1 6 辟而母〜頂針均藉由一頂針支撐架1 4而固定在烘烤爐的側 壁^ °為了要讓玻璃基板丨6能平穩地放置在頂針丨2上，通 #女ί f火、烤爐内之頂針12的排列方式為兩兩相互對應的 方式=裴在烘烤爐的側壁。通常玻璃基板丨6的體積相當大 且重量相當的重，當玻璃基板16放置在烘烤爐内之頂針12 上時$於頂針1 2與玻璃基板1 6之間的接觸面皆為點狀接 觸j而容易發生應力集中的缺陷，造成接觸點局部承受過 大壓力而壓傷玻璃基板内部的支樓材料（spacer)，使得玻 璃基板上之面板間的間係（gap)局部偏低，而導致在液晶 顯示器上顯示畫面時造成顯示不良的缺陷。此種顯示不良 的缺陷即為一般業界所謂的不良黑點（black gap)。此項 不良黑點的缺陷將會降低玻璃基板的良率，並且 、曰 顯示器之生產成本。 03 三、【發明内容】 鑑於上述的發明背景中，利用傳統的頂針方式支撐烘 烤爐内之玻璃基板，容易在玻璃基板上發生應力集中之現 象，而導致不良黑點之缺陷的發生，本發明提供了 一項在 烘烤爐内所使用的支撐架結構，利用在烘烤爐^爐壁上安 裝多數個第一桿狀支樓架與多數個第二桿狀支樓架用以承 載玻璃基板，且多數個第一桿狀支撐架與多數個第二桿 支撐架外部，均包覆一層柔軟且熱傳導係數較低之材^，

555713

烤製程後因為應力集中 本發明的第二個目的為利 數個第一桿狀支撐架與多數個第二=烤爐之爐壁上安裝多 璃基板，i多數個第-桿狀支撐；：f支撐架用以承載玻 架外部，均包覆一層柔軟且熱傳導^ f數個第二桿狀支撐 低玻璃基板之生產成本。 ’、數較低之材質，以降 本發明的第三個目的為剎 數個第-桿狀支撐架與多數 二：？之爐壁上安裝多 架外部，㈣包覆丄撐木與多數個第二桿狀支撐 ^ ^ ^, s 、人且熱傳導係數較低之材質，以提 间玻璃基板在經過烘烤爐之烘烤製程後之良率。 k 數個Πϊ再—個目的為利用在烘烤爐之爐壁上安裝多 數個第-卜狀支撐架與多妻“固第二桿&支撐 ^: 璃基板，且多數個第一桿狀支撐架與多數個第二^ Π!广覆一層柔軟且熱傳導係數較低之材ί， 加溥膜液晶顯示器之整體製程的運作效率。 、 曰 ::康以上所述之目@，本發明提供了一種應用在烘烤 ΐ:ίί之烘烤爐内的支撐架結#，以避免玻璃基板在經 k、、 V之烘烤製程後因為應力集中的效應所發生之不良

555713 五、發明說明（5) 黑點的缺陷。 一桿狀支撐架 其中每一第 對的方式安裝 對應於每一第 一第一桿狀支 層柔軟且熱傳 傷與傳熱不均 烤製程後的品 提高玻璃基板 更可增加薄膜 本發明為 在烘烤 第二桿 一桿狀支撐架與 之兩側 撐架以 與多數個 在烘烤爐 二桿狀支 撐架與任 導係數較 的缺陷， 質。本發 在經過烘 液晶顯示 一第二 低之材 並提南 明也可 烤爐之 器之整 爐管的 狀支撐 第二桿 壁上， 穩定地 桿狀支質，以 玻璃基 降低玻 烘烤製 體製程 爐壁上安裝 架用以承載 狀支撐架均 每一第一桿 多數個第 玻璃基板 以兩兩成 狀支撐架 承載玻璃基板，且任 撐架外部 避免玻璃基 板在經過烘 璃基板之生 程後之良率 的運作效率 均包覆一 板發生刮 烤爐之烘 產成本並 本發明 四、【實施方式】 ^本發明的一些實施例會詳細描述如下。然而，除了詳 :描述外，本發明還可以廣泛地在其他的實施例施行，且 t明的範圍不受限定，其以之後的專利範圍為準。 $發明提供一種應用在烘烤玻璃基板之烘烤爐内的支 二7^構’以避免玻璃基板在經過烘烤爐之烘烤製程後因 為應力集中的效應所發生之不良黑點的缺陷。參照第四圖 所示’此為本發明之支撐架結構安裝在烘烤玻璃基板之烘 $爐内之俯視圖。在烘烤玻璃基板之烘烤製程中所採用的 供烤爐1 0 0内之結構均為層狀之結構，以便於在一次烘烤 的製程中同時烘烤多片玻璃基板。通常烘烤爐1 0 0視設備 555713 五、發明說明（6) 設計之不同而有不同之層數，通常一般之烘烤爐1 〇 〇内部 大約分為四十層，以使熱量均勻散佈在烘烤爐的每一層中 。烘烤爐1 0 0内之每一層均可放置一塊玻璃基板進行烘烤 之装私'。在傳統之供烤爐的兩側爐壁上均安裝多數支頂針 以穩定地承載玻璃基板。但是利用傳統之頂針的方式承載 玻璃基板’容易在玻璃基板上發生不良黑點之缺陷，因此 本發明在烘烤爐1 〇 〇内之第一側壁上安裝多數個第一桿狀 支撐架11 0並在烘烤爐1 00内之第二側壁上安裝多數個第二 桿狀支撐架11 2用以承載玻璃基板，其中每一第一桿狀支 撐架Π 0與每一第二桿狀支撐架！丨2均以兩兩成對的方式安 裝在烘烤爐之兩側壁上，且每一第一桿狀支撐架丨丨〇之位 置均，應於每一第二桿狀支撐架丨12以穩定地承載玻璃基 板。在任一第一桿狀支撐架110與任一第二桿狀支撐芊112 的外部，更包覆-層柔軟且熱傳導係數較低之材質12、0， 以避免玻璃基板發生刮傷與傳熱不均的缺陷。 參照第五圖所示，此鼻尤垃田 烤^程中所採用的供烤爐 I撑架，任-第-桿狀支撐架 I狀支撑架_由多壁上’而任-第二桿 烤爐内之第二側壁上。任一第支挣架結構132固定於烘 1 任第一桿狀支撐架1 1 0的位置在

第10頁 555713 五、發明說明（7) 烘烤爐的水平方向上均對應於任一第二 且任一第一桿狀支撐架u 〇與任一第二 現平行的狀態。 •桿狀支撐架1 1 2， 桿狀支撐架1 1 2均呈 當欲烘烤玻璃基板14〇的時候，玻璃基板14〇以分片的 送進烘烤爐内進行烘烤。一片玻璃基板14〇放置在烘 11=内^之一層内，藉由烘烤爐内所安裝之第一桿狀支撐架 一 10胃與弟二桿狀支撐架112支撐。第一桿狀支撐架11〇與第 一桿狀支撐架112之形狀，可依製程之需求而設計為不同 之形=，可為圓管的形狀或是為多角管狀之之形狀。若是 第一桿狀支樓架Π 〇與第二桿狀支撐架u 2採用多角管狀的 形式，則第一桿狀支撐架i丨〇及第二桿狀支撐架（丨2與玻璃 基板1 4 0所接觸的部分必須為一平面，以穩定地承載玻璃 基板’並避免玻璃基板1 4 0在烘烤的過程中發生應力集中 的效應而產生不良黑點的缺陷。當玻璃基板1 4 〇藉由第一 支撑架1 1 0與第二支撐架1 1 2的承載放置在烘烤爐内時，玻 璃基板14 0與第一支撐架n〇及第二支撐架n2所接觸之方 式為平面的接觸方式，並非如傳統之點接觸方式，因此玻 璃基板之重量可均勻分散在第一支撐架n〇及第二支撐架 上11 2而避免應力集中的現象發生，因此可避免不良黑點 之缺陷。 的溫度較高，因 之材質大部分均 由於供烤爐在烘烤玻璃基板時所採 此第一支撐架1 1 0與第二支撐架π 2所採 555713 五、發明說明（8) 為不鏽鋼材質，以避免第一支撐架110及第二支撐架n 2在 高溫環境下發生變形之缺陷。但是由於不鏽鋼的硬度較玻 璃基板大，且不鏽鋼的熱傳導係數較空氣為高，因此若直 接將玻璃基板140放置於由不鏽鋼所製成之第一支撐架11〇 與第一支撐架11 2上，則玻璃基板1 4 0之表面將較容易發生 刮傷的缺陷，且玻璃基板1 4 0與第一支撐架1丨〇及第二支撐 架11 2所接觸之處的傳熱速度將會比玻璃基板1 4 〇上之其他 地方的傳熱速度快而發生在玻璃基板1 4 〇上溫度分佈不均 的情形。為了避免玻璃基板14〇發生刮傷的缺陷，並避免 玻璃基板1 40在加熱的過程中發生溫度分佈不均的情形， 因此必須在第一支撐架i 1 〇與第二支撐架i丨2外部包覆一層 柔軟且熱傳導係數較低之材質丨2〇，以避免玻璃基板發生 π與:專熱不均的缺陷。通常採用鐵氟龍作為此柔軟且熱 傳導係數較低之材質1 2 〇。

555713 五、發明說明（9) |縮小，但是此縮小的量在σ所 丨免在破璃基板上發生不良之::範圍之内’因此可避 綜合上述，本發明提 烘烤爐内的支撐架結構，以、 種應用在烘烤玻璃基板之 烘烤製程後因為鹿力隹由j避免破璃基板在經過烘烤爐之 。本發明為在烘烤爐管的燐J f f發生之不良黑點的缺陷 架與多數個第二桿狀支矜力Γ =女裝多數個第一桿狀支撐 苐-桿狀支撐架與第二桿狀 T玻璃基板’其中母- 裝在烘烤爐之兩側壁上，每__ ^木=兩兩成對的方式安 第二桿狀支撐架以穩定地；載支撐架對應於每-支撐架與任-第二桿狀支撐架外部，均包f任：第一桿狀 數較低之材質，以避免玻』基：軟且熱 均的缺陷，並提高玻璃基板在經 爐=傳熱不 板在經過烘烤爐之烘烤製程後之良率u明”玻璃基 膜液晶顯示器之整體製程的運作效率 ς 可增加薄 外，並且為前所未見之設計，具有功效性。效 ，故已符合專利法新型之要件，爰依法具文申二之t進 :，謹責·查委員詳予審4，並祈早日賜准二 德便。 吻准專利，至感 係

以上所述僅為本發明之較佳實施例而已， 用來說明而非用以限定本發明之申請專利範 此實施例僅 圍。在不脫

第13頁 555713 五、發明說明（ίο) 離本發明之實質内容的範疇内仍可予以便化而加以實施， 此等變化應仍屬本發明之範圍。因此，本發明之範疇係由 以下之申請專利範圍所界定。 Φ

第14頁 555713 圖式簡單說明 五、【圖式簡單說明】 第一圖為傳統烘烤玻璃基板之烘烤爐内的俯視圖； 第二圖為在烘烤爐内部之單——層内放置一塊玻璃基 板之示意圖； 第三圖為一塊玻璃基板放置在烘烤爐内之頂針上時的 缺陷示意圖； 第四圖為本發明之支撐架結構安裝在烘烤玻璃基板之 烘烤爐内之俯視圖； 第五圖為在採用本發明之支撐架結構的烘烤爐内部之 單——層内放置一塊玻璃基板之示意圖；及 第六圖為玻璃基板在利用本發明於烘烤爐内所安裝之 支撐結構與利用傳統之支撐結構後的品質比較圖。 主要部份之代表符號： 10 烘烤爐 11 頂針 1 4 頂針支撐架 16 玻璃基板 1 0 0 烘烤爐

第15頁 555713 圖式簡單說明 110 112 120 130 132 140 第一桿狀支撐架 第二桿狀支撐架 柔軟且熱傳導係數較低之材質 第一側壁支撐架 第二側壁支撐架 玻璃基板 ❿ <1

第16頁

Claims (1)

1. 555713 六、申請

   1. 一種|炽烤爐内…冬^撐架結構，其中該支撐架結構包含： 多數個第一桿狀支撐架，其中任一該第一桿狀支撐架 均固定於一烘烤爐内之一第一側壁上；及 多數個第二桿狀支撐架，其中任一該第二桿狀支撐架 均固定於該烘烤爐内之一第二側壁上且該第二桿狀支撐架 平行於該第一桿狀支撐架。 2 .如申請專利範圍第1項之烘烤爐内的支撙架結構，其中 上述之多數個第一桿狀支撐架為一圓桿型。 3. 如申請專利範圍第1項之烘烤爐内的支撐架結構，其中 上述之多數個第二桿狀支撐架為一圓桿型。 4. 如申請專利範圍第1項之烘烤爐内的支撐架結構，其中 上述之多數個第一桿狀支撐架為一多角管狀的形狀。 5. 如申請專利範圍第4項之烘烤爐内的支撐架結構，其中 上述之多數個第一桿狀支撐架與一玻璃基板接觸的部分為 一平面0 6. 如申請專利範圍第1項之烘烤爐内的支撐架結構，其中 上述之多數個第二桿狀支撐架為一多角管狀的形狀。 7. 如申請專利範圍第6項之烘烤爐内的支撐架結構，其中

   第17頁 555713 六、申請專利範圍 上述之多數個第二桿狀支撐架與一玻璃基板接觸的部分為 一平面。 ’ 8 .如申請專利範圍第1項之烘烤爐内的支撐架結構，其中 上述之多數個第一桿狀支撐架與該多數個第二桿狀支撐架 . 之一材質為不鏽鋼。 9.如申請專利範圍第8項之烘烤爐内的支撐架結構，其中 上述之多數個第一桿狀支撐架與該多數個第二桿狀支撐架 之一外部均包含一柔軟且熱傳導係數較低之材質。 1 0 .如申請專利範圍第9項之烘烤爐内的支撐架結構，其中 上述之柔軟且熱傳導係數較低之材質為一鐵氟龍。 11.如申請專利範圍第1項之烘烤爐内的支撐架結構，其中 上述之第一桿狀支撐架藉由一第一側壁支撐架固定於該第 一側壁上。 1 2 .如申請專利範圍第1項之烘烤爐内的支撐架結構，其中 上述之第二桿狀支撐架藉由一第二側壁支撐架固定於該第 ¥ 二側壁上。 1 3 .如申請專利範圍第1項之烘烤爐内的支撐架結構，其中 — 任一該第一桿狀支撐架之位置在該烘烤爐的一水平方向上

   第18頁 555713 六、申請專利範圍 均對應於任一該第二桿狀支撐架。 14·一種用來烘烤玻璃基板之烘烤爐内的支撐架結里 中該支撐架結構包含： ^ 多 均藉由 側壁上 熱傳導 多 均藉由 側壁上 熱傳導 行於該 之位置 狀支撐 數個第一桿狀支 多數個第一側壁 且任一該第一桿 係數較 數個第 多數個 且任一 係數較 多數個 在該供 架。 低之材質 二桿狀支 第二側壁 該第二桿 低之材質 第—桿狀 烤爐的— 撐架’其中任一該第一桿狀支撐架 支撐架固定於一烘烤爐内之一第一 狀支撐架之一外部均包含—柔軟且 ;及 ^ 撐架’其中任一該第二桿狀支撐架 支撐架固定於該烘烤爐内之一第二 狀支撐架之一外部均包含該柔軟且 其中該多數個第二桿狀支擇架平

   支撐架，且任一該第 桿狀支撐袭 水平方向上均對應於任一該第 1 5,如申請專利範圍第 的支撐架結構，其中 桿型。 1 4項之用來烘烤玻璃基板之烘烤爐内 上述之多數個第一桿狀支撐架為一圓 1 6 ·如申請專利範 内的支撐架結構 圓桿型。 圍第1 4項之用來烘烤玻璃基板之烘烤捧 其中上述之多數個第二桿狀支撐架為二

   第19頁 555713 六、申請專利範圍 1 7 ·如申請專利範圍第1 4項之用來烘烤玻璃基板之烘烤爐 内的支撐架結構，其中上述之多數個第一桿狀支撐架為一 多角管狀的形狀。 1 8 .如申請專利範圍第1 7項之用來烘烤玻璃基板之烘烤爐 内的支撐架結構，其中上述之多數個第一桿狀支撐架與一 玻璃基板接觸的部分為一平面。 1 9 .如申請專利範圍第1 4項之用來烘烤玻璃基板之烘烤爐 内的支撐架結構，其中上述之多數個第二桿狀支撐架為一 多角管狀的形狀。 2 0 .如申請專利範圍第1 9項之用來烘烤玻璃基板之烘烤爐 内的支撐架結構，其中上述之多數個第二桿狀支撐架與一 玻璃基板接觸的部分為一平面。 2 1.如申請專利範圍第1 4項之用來烘烤玻璃基板之烘烤爐 内的支撐架結構，其中上述之多數個第一桿狀支撐架與多 數個第二桿狀支撐架之一材質為不鏽鋼。 2 2 .如申請專利範圍第1 4項之用來烘烤玻璃基板之烘烤爐 内的支撐架結構，其中上述之柔軟且熱傳導係數較低之材 質為一鐵氟龍。

   第20頁