TW546876B - Improved fan for gas discharge laser - Google Patents

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五、發明説明（1 ) 本發明係請求於期時丨心日提㈣請之案號為 09/490’835號；2000年1〇月6曰提出申請之案號為 09/684,629號；2000年12月22日提出申請之案1為 〇9/748,316號；2001年5月u曰提出申請之案號為 09/854,〇97號以及2001年1〇月17曰提出申請之案號為 10/029,319號等之權益，並皆於此併入本文以為參考資 料。本發明係有關於氣體放電雷射，特定言之，係有關於 具有提供雷射氣體循環之切向風扇的氣體放電雷射 發明的背景 諸如激刀子y射之軋體放電雷射，在使用作為積體電 路微影蝕刻術之有用光源上係廣為熟知的。該等雷射典型 地包含二間隔約為3/4吋之伸長的電極（例如，長度約為5〇 公分）。一高電壓脈衝電源提供高電壓電氣脈衝用以在電極 間產生放電，在一循環雷射氣體中產生一增益區域。提供 切向風扇以產生足夠的雷射氣體流動，在下次接續的放電 之前，將大體上在每一放電所產生的所有碎屑從放電區域 去除。以下有關於說明習知技藝的切向風扇設計之四專利 係指定給申請者之雇主··美國專利第6,〇34,984， 6,061，376 , 6，195,378 B1 以及6，144,686號。該等專利於此 併入本文以為參考資料。 第la及lb圖係分別為橫截面之端視與側視圖，顯示在 一傳統式激分子雷射中一雷射室的内部構造（見Akins等人 之於1990年9月25日發布的美國專利第4,959,84〇號，並以 全文引用的方式於此併入本文以為參考資料）。一雷射封裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） 546876 A7 I------ B7 五、發明説明（2 ) 件102係提供介於一雷射室内部1〇5與外部ιι〇間的隔離。业 ㈣，封们02係由-對半封裝構件112及114所構成（見第 la圖），其係藉使用一〇型環密封件116沿著封裝件1〇2之周 圍延伸而結合在一起。雷射室内部⑻係以一雷射氣體⑽ 加以充填至一預定的壓力。在一放電區域122中藉由在一陰 極總成118與一陽極總成120之間施以一高電壓脈衝，產生 γ脈衝氣體放電。脈衝氣體放電典型地產生受激的氟化 氬、氟化氪或是貌分子’其係產生雷射脈衝輸出能量。脈 衝輸出能量自放電區域122傳播通過一光學輸出視窗總成 162 (見第lb圖）。定出放電區域122的陰極總成ιΐ8與陽極 總成120，沿著雷射室100之長度互相平行地延伸。 藉由一切向風扇140提供雷射氣體1〇8再循環，該風扇 相關於一軸142轉動，並包括複數之大體上平行平直的葉片 構件144在輪轂構件146間沿著雷射室100之長度延伸。對於 目前之切向風扇之典型的轉動速率係約為每分鐘38〇〇轉 (rpm)。如第ia圖中之箭頭所示，氣體1〇8之流動係向上 | 通過切向風扇140並藉由一葉片構件152引導橫向地穿過放 電區域122。已流經放電區域122的雷射氣體1〇8，係變成分 離並藉由脈衝氣體放電而相當程度地加熱。沿著雷射室之 長度延伸的一氣體轉液體的熱交換器158(第lb圖中並未顯 不）係配置在氣體再循環路徑中用以冷卻加熱的氣體。其 他的葉片構件，例如葉片構件j 6〇，引導氣體丨〇8流經熱交 換器158並於別處沿著氣體再循環路徑。再循環冷卻並再次 結合雷射氣體108，從而容許在2,〇〇〇至4,〇〇〇沿的速率範 本紙張尺度賴紳（_ A4祕（2歡297公爱) ΓΤ~：--~

-…1;…]·裝…： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) __線| 546876 、發明説明（ 圍下重複脈衝雷射作動。 由於雷射氣體108係經再循環並再利用，所以維持潔 /尹係為重要的並防止在雷射室内部105氣體環境受污染，為 使雷射氣體1 08之脈衝能量性能、穩定性以及工作壽命發揮 至最大。 於該等專利中所參考的激分子雷射型式中，放電產生 之聲波係可在與-後繼脈衝，特別是下一接續的脈衝，同 時發生㈣μ反射回放電區域。該等返回之衝擊波可干擾 由後繼脈衝所產生的增益區域，並對在增益ϋ域巾所產生 的雷射脈衝量造成不利的影響。由上述專利中所說明之風 扇所提供之其中之-4要的改良處，在於變化葉片的周 位置用以降低風扇葉片的圓柱狀對稱性。 口此，於其中之一設計中提供一螺旋狀的葉片形式 於另一設計中，風扇係分割成部分並且於每一部分中葉 係互相偏移。該等設計同時建議改良風扇葉片結^ 度。在該等專利中所說明之此與其他之改良之道，用以％ 免會降低承受壽命並對光束品質造成不利影響之空氣動力 學的衝擊影響。 在上述專利中所說明之改良，於包括光束品質之雷射 I·生月匕上提供實質的改良之道。然而，中請人發現即使在社 合上述說明之改良後，當雷射係在複數種特定的放電錢 率與蚊的風扇轉動速率之結合下操作時，亦使雷射光束 品質受到不利的影響。 所需要的是一較佳的切向風扇。 圍 片 勁 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ·、^τ— .線— 本紙張尺度適用中國國家標準（(^S) Α4規格（21〇χ297公爱） 546876 五 、發明説明 4 釐說明 本發明係提供一種放電雷射裝置，其係具有一雷射室 ^ s田射氣體與二縱向的電極定出一放電區域用以產生 電以及切向風扇用以循環雷射氣體，並具有葉片構 件係構形用以將產生與後繼之放電同時返回至放電區域之 衝擊波之放電反射的不利影響減至最小。 於較佳之具體實施例中，葉片係配置在該等部分中期 之形式係模擬雙螺旋。於其他較佳之具體實施例中，配置 在該等部分中之葉片係於每一部分中以非對稱形式配置。 於其他較佳之具體實施例中，於每一部分令葉片係佈置模 擬一雙螺旋，且同時相關於在其他部分中之葉片係非對稱 地配置。 於另一具體實施例中，所配置之葉片係模擬雙螺旋形 式，此外係相關於在相同部分中之葉片及/或在其他部分中 之葉片係以非對稱形式配置。 圖式之簡要說明 第1 a及1 b圖係為習知技藝之雷射室的圖式。 第2圖係為頻寬圖式以重複率為函數。 弟3A及3B圖係為室之橫截面以及衝擊的形式。 第4 A、4B及4C圖係為頻寬與脈衝數之變化。 第5、5A、5B、5C及50圖係圖示一第一較佳風扇葉片 第6、6 A及6B圖係圖示一第二較佳的風扇葉片結構。 第7 A及7B圖係為一軸總成之圖式。 結構

π裝- (請先閲讀背面之注意事頃再瞋窝衣罠) •、^τ· .線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 546876

本發明之較佔& s μ — 佳的具體貫施例相關於該等圖式作詳 的說明。 七、田 如此申請幸夕北旦立^丄 <月厅、早郎中所示，於四個所列出之專利 中說明的改良 >、苦 , 逼’在用於製造積體電路所用之氣體放電 激:子田射的性能上提供實質上的改良。然而，該等習知 一十並不元全忐消除在雷射放電與轉動的風扇間之互 相影響所造成之光束品質的問題。 #例如’根據美國專利第6,144,686號之第2Α圖的一風扇 葉片結構，已由申請人在複數之室形式中加以測試。第3 圖係為-複冑圖表圖示雷射頻寬係為放電重複的函數，針 對在第3A及3B圖中所示之二室形式，風扇速度係為3_ rPm。所®不之頻寬數值係代表在40個脈衝視窗中所測量 之隶大々I。如圖表上所示，在特定的重複率下，在頻寬 的測量上有較大的增量。申請人所決定的是大多數之頻寬 艾化係為重複率之函數，係為在約為奈秒之一後繼的脈 衝持續時間由先前脈衝反射回並通過放電區域所產生之衝 擊波所造成之音響衝擊效應之結果。 如同美國專利第5,978,405號中所說明，該等效應之大 部分係藉甴以反射物作為室壁板之内襯而減至最小，該反 射物將衝擊波反射離開放電區域，或是利用位在其他結構 上之擋板崩解衝擊波並將其分散。 在低於1000赫兹（Hz)之重複率下，該等衝擊波並非 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱）

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發明説明 為一實質上的問 , 馮在至中所有的結構特性係足夠地 接近放電，一衝擊波必需作 卞主v兩二人反射以與一後繼之放 ;-1…•裝…： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 電同日守地返回放電區域。扃番 仙、 Λ在重设率超過1500赫茲（Ηζ)的 訂— 、、况下’反射變為一顯著的電位問題因為來回於室壁板並 相所花費之時間間隔係與脈衝間的間隔相等。在較高之 重硬率下，至其他結構並返回至放電區域的來㈣間係盘 脈衝間的時間間隔相配合，其皆清楚地在第3錢3Β之橫截 面視圖中以同心圓顯示。於_些例子中，近接㈣性係可 產生該強烈的反射，二反射係成為一問題。例如，如第3Α 圖中所示，在試圖改良氣體流經放電區域時，中請人增加 一峰丘部分2至流動成形的陽極支撐棒。然而，產生雙重反 射的峰丘部分在約為3,7〇〇赫茲的重複率下係為一嚴重的 問題。如第3®中所示，第2圖中此大的頻寬擾動4在當將峰 丘部分如第3 Β圖中所示地移除時消失。 諸如在第3及4圖中所示之圖式係代表針對每一三個 200-脈衝爆發之160個40·脈衝之滑動視窗的每一視窗，所 作之160次平均頻寬測量的最大值。該等平均值之其中三平 均值係針對在圖式上所代表的每一重複率加以圖示。其幾 乎總是極為緊密地在一起，並且通常在所示之比例下係顯 現為一單一斑點。為了研究頻寬相關於重複率之變動的原 因’申請人執行了實驗其中所測量之頻寬係為在複數之固 定的重複率與鼓風機速度下為時間的函數。該三圖式係為 弟4Α、Β及C圖。弟4Α圖係為在3,950赫兹之重複率以及鼓 風機之速度為3 5 00 rpm狀況下頻寬對脈衝數目的圖式，其 546876

中所測量的最大頻寬係為窄的。第4B圖係圖示在3,874赫茲 之重複率以及鼓風機之速度為3500 rpn^^況下所取之資 料，其中所測量之最大頻寬在此重複率下係相對較高。= 4C圖係根據在2,750赫茲之重複率以及鼓風機之速度為 3500 rpm狀況下在另一相對高的最大頻寬區域處。所 資料。 在與窄的最大頻寬（亦即，第4Α圖）相對應的重複率 下，該貢料係顯示在從第一脈衝至最後脈衝之整個爆發中 穩定的窄頻寬數值。第4Β圖表係顯示針對一爆發之第一脈 衝的窄頻寬，但針對約為首先的3或4脈衝以約為每脈衝〇.5 皮米的等級增加，並接著在約高於平均值〇15皮米的等級 下相對穩定地增加。此圖表係由一固定的物件反射所導致 增加頻覓的代表圖式。第4C圖表係顯示頻寬與脈衝數（或 時間）的週期性變化，與約為71赫茲之頻率相對應在2,75〇 赫兹（或約為14毫秒）下約39脈衝之週期。週期之變化係 受風扇速度以及重複率影響，因此清楚地該等變化係藉由 轉動葉片與放電間的相互影響所造成。確切的相關性並不 清楚。此特別之變化的相關性係與下列的關係近似： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

F

LW 2Fbiade — Frf 於此例中’重複率係為2,750赫茲。風扇速度係為3500 rpm並有23個葉片；因此，葉片頻率係為1341.67赫兹，並 且上述的關係可預測在以下的關係下的一線寬振盪 Flw — 2 ( 1341.67赫兹）—2,750赫兹 FLW = 66.66 赫茲 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（21〇X297公釐） 546876 五、發明説明（8 係接近所觀察之約為71赫兹之線寬振盪的頻率。 的解決之道 4為了將來自風扇葉片之音響及射的影響降至最低，申 月人已改風扇葉片結構設計，因此在衝擊波中音塑处旦 係猎由葉片傳播，而不是在重複率與葉片頻率之特定的結 合下反射回放電區域。 … 第5及5A_DI|中所示係為—第—較佳的風扇葉片 設計。此設計係與美國專利第6,〇34,984號十所說明之^ 葉片之風扇具有相似的概念。於該專利中所示之螺旋葉 2構並未由申請人加以廣泛地利用，因為申請人確定螺 。又。十5在至中產生一並非所欲之縱向壓力梯度。第5圖中之設計係為_雙螺旋設計。第5a圖係為— 視圖以及第5 B、C及D圖係為橫截面視圖。葉片結構係 個部分所紅成，在間隔部分中之葉月係於相對方向成— 度。此葉片結構係由-實心銘管經機械加工而成。該單 之周長係為5.0吋。該單元之内徑為3·7ΐ2时。於此：體 施例中，如第5Β圖之橫截面圖中所示，23個葉片係環繞 周長成15.6 5度之角度均勾地間隔開。於第％圖中， 相關於風扇單元軸成—角度1〇。每一個別葉片係構成 弧度’該瓜度係由_〇_497叶之内半徑與_〇 529吁之 径所疋出’該二半徑具有一共同的直線原點。一較佳 隔葉片構体係藉由增加内徑但將原點（轉動令心）更j 步地移離^構件而製成。利用此方法，最終之構件係^ 元 實 著 係 本紙張尺度適用中關家標準公董) 11 旋 片 旋 側 18 角

-:1·…裝…： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •訂丨 .線— 546876 A7 ----------B7_ 五、發明説明（9 ) --一 香二幵y狀，其中位於前緣的一點基本上具有相同的橫戴 面積。 勺葉片設 ^第6及6A-D圖中所示係為一第二較佳的葉片設計。此 4係與’984號專利中所說明之葉片結構設計相似。如同 於刖述章節中所說明之上述的設計，於此設計中葉片係分 割為18個部分’但於此例中每一部分中的葉片係與葉片單 元之軸平行地對正。於此設計中所併入之重要的新特性， 係為在每一部分中葉片係有意地環繞著風扇葉片結構之周 長非對稱地配置，此外同時有意地避免在該等部份中之對 稱f生。例如，於每一部分中具有21個葉片ι〇β。於，3%號專 利中所說明之一對稱的形式中，葉片係與中心成17143度 之角度對稱地配置。於此例中取而代之地，葉片分割係任 意地在約為15度至19度的角度之間變化。從在一部分中的 葉片至在下一部分中之葉片，葉片的偏位係約從7度至12 度的角度間任意地變化。 於此示範單元中，係以21個葉片取代23個葉片。申請 人已確疋的疋23個葉片係為最佳化，而21個葉片在風扇效 率上導致些微的降低但是大體上消除了在共振頻率下的週 期性波長變化。較佳地，隨機的葉片法應使用23個葉片， 會使效率Ε7復至最佳效率。 具體實施例 一第三較佳的具體實施例係結合第一與第二具體實 施例之特性，因此雙螺旋具角度之葉片係如第二具體實施 本紙張尺度適用中國國家標準（哪）A4規格（21〇χ297公釐） 12 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 琴 -、\t— 546876 A7 -------B7_______ 五、發明說明（10 ) 例係為作任意排列。 加工的風扇蕓片結構 如，984號專利中所說明，製造一切向風扇總成之較佳 的方法包含由一單件材料將一整個風扇總成經機械加工成 一整體的單元。上述說明之具體實施例係由一6〇61之鋁合 *單管經機械加工而製成。 於第5A及6A圖中所示之輪轂構件12係提供葉片單元 結構剛度。特別地，切向葉片結構係經機械加工俾使加勁 片材係構成在角落中，連接葉片構件之端部以及輪轂構件 之環形表面與端部凸緣14。 第4D及4E圖係分別為一轉動軸總成45〇之一端視圖與 一橫截面視圖，根據一些具體實施例其係構形附裝至切向 風扇結構400之二端部。在一同心螺栓圓圈上的螺栓孔454 包合螺栓（未顯示）用以將轉動軸總成45〇牢固至風扇葉片 結構之端部凸緣14。一外軸直徑46〇係階梯式地推拔成一同 心的軸承軸462,其係裝配在一軸承（未顯示）内轉動。 如’376號專利中所示，風扇葉片結構同時係可使用一 鎢造方法或是一利用修葺式機械加工的運送-焊接法製成。 經機械加工的切向風扇之葉片構造係受電拋光，在所 有的表面上所獲得之表面拋光為〇.4//m至〇6/zm ( 15微吋 至25微吋）Ra，並接著接受無電極鎳塗布。 整體的機械加工、鑄造、或是鑄造_焊接的切向風扇， 諸如該等上述說明之風扇同時容許形成翼剖面形狀的葉片 構件，利用傳統的壓印處理方法生產係為困難或不切實 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公爱〇 13 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、^τ— .線， 546876 五、發明説明（11 際0然而，傳統的筆片 狀筆只播“ 體上厚度均勻，一翼剖面 緣、一力/、型地具有—，，淚滴，，斷面，包括-圓滑的前 、塞 的中央部分以及一推拔的後緣。翼剖面狀苹片 構件320之併入孫猫如m 承呉口J面狀葉片 效率。 ’u用以改良切向風扇之空氣動力學的 顯著之抵抗.彎曲力矩的勁度係由輪穀構件 二，不致像葉片構件_1GA太過具可撓性而無法 =1=^使㈣職’整“㈣風扇結構係 ;=的控制從輪穀構件至葉片構件以及從端部凸緣至 具半f的連接部分。此控制的片材係增加勁 :致較咼的彎曲模態頻率並相應地較高的容許操 ㈣5’_或mpme整體的經機械加二 的二風扇結構之較大的勁度’同時增加了該一切向風扇 以抵抗在雷射室中之，，空氣動力學的衝擊，，效應。 2地，所提供之本發明之具體實施例藉由最佳地選 中的；：:Γ以及縱向的配置，諸如在切向風扇結構 ，心增加風扇之勁度。該等研究所顯示當輪 數目增加時，第—彎曲振動模態的自㈣率增 加。切向風扇之不利的振動係發生在轉動速率約為第 曲振動模態的自然頻率的一半’因為風扇結構在每一轉動 的半週期下横向地扭曲。'然而於先前切向風扇的典型結構 中’如此限制了轉動頻率低於數百rpm，最佳地選擇輪較 構件讀目與縱向的配置，擴展轉動頻率之範圍至5，_ 或更高rpm。因此’藉由最佳地選擇輪轂構件之數目與縱 本紙張尺度適用中國國家標準（CNSU4規格⑵0X297公爱） 546876 A7 I-—------B1___ 五、發明説明（12) ' 一 向的配置’擴展轉動頻率之範圍至5，酬或更高啊，增加 彎曲振動模態的自然頻率。因此，藉由最佳地選擇輪 #構件之數目與縱向的配置增加第—彎曲振動模態的自然 頻率，改良切向風扇之性能。 | 枝械加工的整體切向風扇400之表面與尺寸的控 I 制係較以銅鋅合金焊接或是鑄造的切向風扇之表面與尺 彳的控制更為精確。由於葉片至葉片的一致性整體的經機 械加工的切向風扇僅需最小的平衡，並應賦予一較平順的 氣體流動。 儘官本發明之具體實施例已顯示並加以說明，對於該 等說明性的具體實施例所作之改變與修改，在廣泛之觀點 言之並不背離本發明。因此顯而易見的是本發明之其他的 具體實施例，未於上述中加以說明，係位在本發明之範疇 内。因此’應瞭解的是附加的申請專利範圍必需包含所有 該等的改變與修改係屬於經說明之發明的真實範疇；並且 進一步地此範疇並不僅限制在提出用以顯示該範鸯之所說 明的具體實施例上。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐) 15 #裝------------------訂--------------Φ4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 546876 A7 B7 五、發明説明（i3) 2.. .峰丘部分 4.. .大的頻寬干擾 10.. .角度/葉片構件 IOA. ..葉片構件 IOB. ..葉片 12.. .輪轂構件 14.. .端部凸緣/輪轂構件 100.. .雷射室 102…雷射封裝件 105.. .雷射室内部 108.. .雷射氣體 110.. .雷射室外部 112…半封裝構件 114…半封裝構件 116.. .0.環密封件 118.. .陰極總成 120…陽極總成 元件標號對照 12 2...放電區域 140.. .切向風扇 142···軸 144.. .葉片構件 146.. .輪轂構件 152.. .葉片構件 158…熱交換器 160.. .葉片構件 162.. .光學輸出視窗總成 314.. .傳統的葉片構件 320…翼剖面狀葉片構件 4 0 0...切向風扇結構 450.. .轉動軸總成 454.. .螺栓孔 460.. .外轴直線 462.. .同心的軸承軸 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐) 16

Claims (1)

1. 546876 A B c D (/ ^7 六、申請專利範圍 第09110969 7號專利申請案申請專利範圍修正本 修正日期·· 92年4月 1· 一種包括一切向風扇的放電雷射裝置，其係包含： A) —雷射室，其係包含： Ό一雷射氣體， 2) 至少一縱向的電極，其係構形用以產生放 電’在該氣體中定出一放電區域， 3) —切向風扇，係用於循環該雷射氣體，該風 扇定出一轉動軸以及一周長大體上係與該轉動軸同中 心，並包含一整體的風扇葉片結構，該結構包含： a) 複數之葉片構件，其係配置最接近該周長；以 及 b) 複數之輪轂構件支撐著該葉片並定出風扇葉片 部分； 該葉片構件係配置用以將在從該葉片構件放電產 生的音響衝擊波之反射的該放電區域中的不利影 響降至最低， B) —脈衝電源，用以提供高電壓電氣脈衝至該電 極，在該電極間產生放電。 2·如申請專利範圍第1項之裝置，其中位在該複數之部分 的每一部分中該葉片構件之數目係為一奇數。 3·如申請專利範圍第1項之裝置，其中該葉片構件具有一 翼剖面的橫截面形狀。 4 ·如申請專利範圍第1項之裝置，其中該輪轂構件大體上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（21〇Χ297公釐） 17 546876 A B c D cr 申凊專利摩爸圍 相對於該轉動軸橫向地配置，其中選定該輪轂構件之 數目與軸向的配置俾使控制該切向風扇之彎曲模態振 動的自然頻率。 5.如申請專利範圍第4項之裝置，其中選定該輪轂構件俾 使该切向風扇之彎曲模態振動的自然頻率係大於該切 向風扇之轉動頻率的二倍。 6·如申請專利範圍第1項之裝置，其中該切向風扇之材料 係為由6061銘、包含大體上由3·5_6.5%的銅以及〇·2 5 %的鎳所組成之添加金屬的一鋁合金、以及包含大體 上由3.5-6.5%的銅以及0-1.5%的銀所組成之添加金屬 的一銘合金所組成之群組中選定。 7·如申請專利範圍第！項之裝置，其中該葉片構件係配置 模擬一雙重螺旋。 &如申請專利範圍第7項之裝置，其中該複數之輪轂構件 係超過15個並低於25個。 9·如申請專利範圍第7項之裝置，其中該葉片構件的橫截 面係與一圓之弧度相對應。 10.如申請專利範圍第7項之裝置，其中該圓係藉由一小於 10吋之半徑所定出。 11·如申請專利範圍第旧之裝置，其中該葉片係非對稱地 配置在該複數部分之每一部分中。 12.如申請專利範圍第旧之裝置，其中在該複數部分之每 一部分中之該葉片構件，相對於在相鄰部分中的葉片 係非對稱地配置。

   18 546876 A B c D 圍 々巳 庫 利 、=-0-申 3·如申請專利範圍第！項之裝置，其中在該複數部分之每 σΡ刀中之δ亥葉片係配置俾便針對風扇葉片結構模擬 —雙重螺旋的形式，並且位在每一部分中之葉片同時 係非對稱地配置。 14· t申請專利範圍第13項之裝置，其中在該複數部分之 每一部分中之該葉片，相對於在相鄰部分中的葉片係 非對稱地配置。 15·如申請專利範圍第1項之裝置，其中該葉片構件的橫截 面係藉由一第一圓弧其之第一半徑定出一凸面的葉片 構件圓柱狀表面，以及一第二圓弧其之第二半徑定出 一凹面的圓柱狀表面所定出。 16·如申請專利範圍第15項之裝置，其中該第一半徑係大 於該第二半徑，並且該二半徑之每一半徑係具有一共 同的平直線原點。 17·如申請專利範圍第15項之裝置，其中該第二半經係大 於該第一半徑，以及該第二半徑的一原點係較該第一 半徑之該對應的原點更為遠離該葉片構件。 18·如申請專利範圍第17項之裝置，其中該葉片構件包含 二圓柱狀表面以及一尖銳的前緣。 19·如申請專利範圍第1項之裝置，其中該所有的或大體所 有的葉片構件包含二圓柱狀表面以及一尖銳的前緣。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）

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