TW544455B

TW544455B - Ether, polymer, resist composition and patterning process

Info

Publication number: TW544455B
Application number: TW091100622A
Authority: TW
Inventors: Seiichiro Tachibana; Mutsuo Nakashima; Tsunehiro Nishi
Original assignee: Shinetsu Chemical Co
Priority date: 2001-01-17
Filing date: 2002-01-16
Publication date: 2003-08-01
Also published as: KR20020062164A; US20040013973A1; US6624335B2; US6784268B2; US20020161150A1; KR100555287B1

Description

544455 A7 _B7___ 五、發明説明（^ 【發明之技術領域】本發明係有關（1)特定之醚化合物，（2)含有特定重複單位之高分子化合物，（3)使用此高分子化合物作爲基礎樹脂之光阻材料，及（4)使用此光阻材料之圖型形成方法的發明。【先前技術】近年來，隨著LSI之高集積化及高速度化，在尋求圖型線路微細化之中，號稱下一世紀之微細加工技術之遠紫外線蝕刻印刷術爲目前極有望之技術。其中極需實現以 KrF等離子雷射、ArF等離子雷射作爲光源之光蝕刻印刷術以進行0.3 # m以下之超微細加工的技術。經濟部智慈財產局員工消资合作社印紫

KrF等離子雷射用光阻材料，目前以兼具有具有實用性程度之透明性與耐蝕刻性之聚羥基苯乙烯作爲標準基礎樹脂使用。而ArF等離子雷射用光阻材料，目前係硏究使用含有聚丙烯酸或聚甲基丙烯酸之衍生物或脂肪族環狀化合物爲主鏈之高分子化合物，但目前仍分別具有優缺點，故目前仍屬尙未決定標準樹脂之狀態。即，使用聚丙烯酸或聚甲基丙烯酸之衍生物所得之光阻材料，因酸分解性基之反應性較高，故具有優良基板密著性之優點，且於感度與解像性上亦具有較佳之結果，但因樹脂主鏈較弱故蝕刻耐性極差，而不合實用。又，使用含有脂肪族環狀化合物爲主鏈之高分子化合物所得之光阻材料，因樹脂之主鏈極爲剛直，故於耐蝕刻性上雖可達實本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） -4- 544455 A7 B7 五、發明説明（2) 用程度，但酸分解性保護基之反應性較丙烯酸系化合物爲差，故其顯現出低感度與低解像性，且因樹脂之主鏈過於剛直，故與基板之密著性亦極差，而不合使用。因此，在尋求圖型更進一步微細化之中，極需開發出一種可發揮出優良之感度、解像性、蝕刻耐性等優良性能之光阻材料。【發明之目的】本發明鑑於上述情事，即以提出一種有關（1)可提供具有優良基板密著性高分子化合物之醚化合物；（2) 具有優良反應性、剛直性與基板密著性之高分子化合物； (3 )使用此高分子化合物作爲基礎樹脂，可得到較以往物品具有更佳解像性與耐蝕刻性之光阻材料，與（4 )使用此光阻材料的圖型形成方法等爲發明之目的。【發明之內容與發明之實施形態】經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本發明者們爲達上述之目的經過深入檢討結果，得知依後述方法所製得之含有下式（1 )所示新穎醚化合物作爲之具有優良基板密著性之高分子化合物之原料，使用此化合物所得之重量平均分子量1，000至500,000之高分子化合物，具有優良反應性、剛直性，使用此化合物作爲基礎樹脂使用的光阻材料兼具有高解像性與高蝕刻耐性，且此光阻材料極適合精密的微細之加工等事實。即，本發明提供一種下記之醚化合物。 [I]、一種下式（1 )所示之醚化合物，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 544455 A7 B7 五、發明説明（3)

⑴ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 環狀烷基；R2爲碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基 ;R3爲氫原子、或碳數1至15之醯基或烷氧羰基，其結構碳原子上氫原子之一部份或全部可被鹵素原子所取代； k爲0或i，m爲〇至3，11爲3至6之整數）。又，本發明提供下記高分子化合物。 [II]、一種重量平均分子量爲1，000至500,000之高分子化合物，其特徵爲，含有上記式（1)所示醚化合物爲原料之下記式（1-1)或（1-2)所示重複單位者，

(1-1) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(1-2) (式中，至R3具與上記相同之意義）。 [III]、如[II]之高分子化合物，其中，如上式（1-1 ) 所示重複單位以外，尙含有下記式（2·1)所示重複單位本紙展尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -6 - 544455 A7 B7 五、發明説明（4) 者；

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} (式中，k具有與上記相同之意義；R4爲氫原子、甲基或CH2C〇2R6 ; R5爲氫原子、甲基或CChR6 ; R6爲碳數1至 15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基；R7爲酸不穩定基；經濟部智慧財凌局8工消費合作Ti印奴 R8爲鹵素原子、羥基、碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧基、醯氧基、烷磺醯氧基，或碳數2至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀院氧羰氧基或燒氧焼氧基’其結構碳原子上之氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代；z 爲單鍵或碳數1至5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之（P + 2) 價烴基，爲烴基之情形中，其1個以上之伸甲基亦可被氧原子所取代而形成鏈狀或環狀之醚，同一碳原子上之2個氫原子亦可被氧原子取代而形成酮；P爲0、1或2)。 [IV]、如[II]之高分子化合物，其中，上式（1·1 )所示重複單位以外，尙含有下記式（2-1)與式（3)所示重複單位，本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 544455 A7 B7 五、發明説明（5)

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (式中，：Z、k、p、：R4至R8具有與上記相同之內容 ’ Ύ爲氧原子或NR9，R9爲碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基）。 [V]、如[II]之高分子化合物，其中，上式（卜丨）所示重複單位以外’尙含有下記式（4)所示重複單位，或下記式（4)所示重複單位與下記式（2-1)所示重複單位，及下記式（3 )所示重複單位，

經濟部智慧財產局員工消費合作社印紫 (式中，Y、Z、k、p、R4至R9具有與上記相同之內容）。 [VI]、如[II]之高分子化合物，其中，上式（1-2)所示重複單位以外’尙含有下記式（2-2)所示重複單位，本紙浪尺度適用中國國家樣率（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8- 544455 A7 B7 五、發明説明（6)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，Z、k、p、R4至R8具有與上記相同之內容 )〇又，本發明提供下記之光阻材料。 [VII] 、一種光阻材料，其特徵係含有[II]至[V]中任一項之高分子化合物者。又，本發明復提供下記圖型之形成方法。 [VIII] 、一種圖型之形成方法，其特徵係包含將上雪己 [VII]之光阻材料塗佈於基板上之步驟與，於加熱處理後介由光罩使用高能量線或電子線進行曝光之步驟與，必要時於加熱處理後使用顯影液進行顯影之步驟。上記式（1)之醚化合物，除醚結構以外，尙具有羥基或醯氧基或烷氧羰氧基故極性極高。因此，可使此化合物作爲原料所得之含有上記式（1-1)或（1-2)所示重複單位之高分子化合物具有優良之基板密著性。又此重複單位中，因含有具有交聯之脂環作爲主鏈，故具有極高之剛直性。又，因於醚結構與與剛直之主鏈間導入適當長度之碳鏈，可緩和以往過度之剛直性，且醚結構部分配置於離主鏈較遠之部位故可使極性基有效地動作，其結果可較以本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 544455 A7 __B7 _ 五、發明説明（7) 往產品大幅度地提昇與基板之密著性。又，以往形成較大問題之反應性較低之問題，可因導入碳鏈而提高發生酸的擴散性效果而得以改善，且可達到降低線路邊緣粗糙性之目的。因此，使用此高分子化合物作爲基礎材料所得之光阻材料，於感度、解像性及蝕刻耐性上皆具有優良之性能，故極適合形成微細圖型。以下，將對本發明作更詳細之說明。本發明之醚化合物，係爲下式（1)所示者， (請先閲讀背面之注意事 1· 項再填裝— :寫本頁)

訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製式中，R1爲氫原子、或碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，烷基之具體例如甲基、乙基、η-丙基、異丙基、η·丁基、異丁基、sec-丁基、tert-丁基、tert-戊基、 η-戊基、心己基、環戊基、環己基等；R2爲碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，其具體之內容例如與上記 R1所示烷基之具體例相同；R3爲氫原子、或爲碳數1至 15之醯基或烷氧羰基，其結構碳原子上之氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代，其具體之例示如甲醯基、乙醯基、丙醯基、三甲基乙醯基、甲氧羰基、乙氧羰基、 ter t· 丁氧羰基、三氟乙醯基、三氯乙醯基、3,3,3-三氟丙本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐）一 -10- 544455 Α7 Β7 五、發明説明（ 8 隨基等，1^爲〇或1，111爲〇至3，11爲3至6之整數。本發明之醚化合物的具體例係如下所示，但並不僅限定於此。又，下記式中，Ac係指乙醯基、t-Bu爲tert-丁基（以下相同）。

Q Q Q H )OCHO OCOCF3 OAc —τ

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OH DCO^t-Bu (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ~〇

HC \ DAc

經濟部智慧財凌局員工消費合作社印製本發明之醚化合物，例如可以下記步驟製得，但並不僅限定於此。

〇 R1~r-OH ⑷

R20 (Φ R:。’ (c) 其中，k、m、η、R1至R3具有與上記相同之意義。Xs 本纸浪尺度適用中國國家搮準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -11 · 544455 A7 B7 五、發明説明（9) 爲鹵素原子，L爲羥基、鹵素原子、醯氧基、烷氧羰氧基、p -硝苯基氧基等解離基。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A步驟，係對由鹵化醚（a)與鎂於使用格利雅試劑所製得之羰化合物（b )進行親核附加反應’以製得醇（c )之步驟。親核附加反應之具體例’此處係舉格利雅反應爲例示，但本步驟並不僅限定於此反應。反應可於公知之條件下進行，較佳爲於四氫呋喃、二乙基醚等溶媒中’將原料之鹵化醚（a)、羰化合物（b)、鎂進行混合，必要時亦可以加熱或冷卻等方式進行反應。 B步驟，係將醇（c )以酯化之方式，以製得對應之醯化物或烷氧羰化物（d )之步驟。酯化劑R3L例如蟻酸等羧酸類（L=〇H時），氯化乙醯、溴化乙醯、氯化丙醯等酸鹵化物類（L =鹵素原子時），無水醋酸、無水三氟乙酸、蟻酸乙酸混合酸酐、二碳酸二-t-丁酯等酸酐類（ L =醯氧基或烷氧羰氧基時），乙酸P-硝基苯、丙酸硝基苯等活性酯類（L = p-硝苯基氧基等解離基時）等。酯化劑捏隹除使用羧酸之情形，例如可使用三乙基胺、吡啶、4-二經濟部智慧財凌局g(工消費合作社印製甲基胺吡啶等鹼。反應可於公知條件下簡易地進行，較佳係於無溶媒、四氫呋喃、二乙基醚、η-己烷、甲苯等溶媒中，將原料之醇（c )、酯化劑之R3L、或必要時，將上言己之鹼共同混合，或必要時可再予加熱或冷卻下進行反應〇本發明之高分子化合物，係爲以上記式（1 )所示酯化合物爲原料，且含有下記式（卜丨）或式㈠-2)所示重本適用中國國家標¥ ( CNS ) ( 210X297公釐) - -12 - 544455 A7 B7

五、發明説明（1(J 複單位之重量平均分子量1，000至500,000之高分子化合物。

(1-2)

OR3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財1局員工消費合作社印製又，本發明之高分子化合物，更具體而言，係具有下記4種類。 1、如上式（1-1)所示重複單位以外，尙含有下記式 (2-1)所示重複單位者；

(M) (式中，k具有與上記相同之意義；R4爲氫原子、甲基或CH2C〇2R6 ; R5爲氫原子、甲基或C〇2R6 ; R6爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基；R7爲酸不穩定基；R8爲鹵素原子、羥基、碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧基、醯氧基、或烷磺醯氧基，或碳數2至本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 544455 A7 B7 五、發明説明（^ 15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧羰氧基、烷氧烷氧基，其結構碳原子上之氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代；Z爲單鍵或碳數1至5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之 (P + 2)價烴基，爲烴基之情形中，其1個以上之伸甲基亦可被氧原子所取代而形成鏈狀或環狀之醚，同一碳原子上之2個氫原子亦可被氧原子取代而形成酮；p爲0、1 或2) 〇 2、如上式（1-1 )所示重複單位以外，尙含有下記式 (2-1)與式（3)所示重複單位者；

(3)

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} (式中，Z、k、p、R4至R8具有與上記相同之內容經濟部智慧財產局員工消黃合作社印製，丫爲氧原子、或NR9，R9爲碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，R9之具體例如甲基、乙基、η-丙基、異两基、η-丁基、異丁基、sec-丁基、tert·丁基、tert-戊基、 η-戊基、η-己基、環戊基、環己基等）。 3、如上式（1-1)所示重複單位以外，尙含有下記式 (4)所示重複單位，或該下記式（4)所示重複單位與式 (2-1)所示重複單位，及再含有下記式（3)所示重複單位者；本纸展尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公董） -14- 544455 A7 B7 五、發明説明（d 容

(4) (式中，Y、Z、k、p、R4至R9具有與上記相同之內 )〇 4、如上式（1-2)所示重複單位以外，尙含有下記式 2-2 )所示重複單位者；

(2-2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印焚 (式中’ Z、k、p、R4至R8具有與上記相同之內容其中，R4爲氫原子、甲基或CH2C〇2R6 ; R5爲氫原子、甲基或C〇2R6;R6爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基，具體而言例如甲基、乙基、丙基、異丙基、 η · 丁基、s e c · 丁基、t e r t · 丁基、t e r t -戊基、η ·戊基、η -己基、環戊基、環己基、乙基環戊基、丁基環戊基、乙基環己基、丁基環己基、金剛烷基、乙基金剛烷基、丁基金剛焼本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） •15- 544455 經濟部智慧財產局8工消費合作社印¾ A7 B7___五、發明説明（^ 基等；R7爲酸不穩定基，其具體例係如後所述；R8爲鹵素原子、羥基、碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷氧基、醯氧基、或烷磺醯氧基，或碳數2至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷氧羰氧基或烷氧烷氧基’其結構碳原子上之氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代’具體而言，例如氟、氯、溴、甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、η-丁氧基、sec·丁氧基、tert-丁氧基、tert-戊氧基、η-戊氧基、η-己氧基、環戊氧基、環己氧基、乙基環戊氧基、丁基環戊氧基、乙基環己氧基、丁基環己氧基、金剛烷氧基、乙基金剛烷氧基、丁基金剛烷氧基、磺醯氧基、乙醯氧基、乙基羰氧基、三甲基乙醯基、甲氧羰氧基、乙氧羰氧基、tert-丁氧羰氧基、甲烷磺醯氧基、乙烷磺醯氧基、η-丁烷磺醯氧基、三氟乙醯氧基、三氯乙醯氧基、2,2,2-三氟乙基羰氧基、甲氧甲氧基、1-乙氧乙氧基、 1 -乙氧丙氧基、l-tert-丁氧乙氧基、卜環己氧乙氧基、2· 四氫呋喃氧基、2-四氫吡喃氧基等；Z爲單鍵或碳數1至 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之（p + 2)價烴基，爲烴基之情形中，其1個以上之伸甲基可被氧原子所取代而形成鏈狀或環狀之醚，同一碳原子上之2個氫原子亦可被氧原子取代而形成酮，例如P = 0時，具體而言例如伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸戊基、1，2·丙烷二基、1,3-丁烷二基、1-羰基-2·氧雜丙烷-1，3-二基、3-甲基-1-羰基-2-氧雜丁烷-1，4-二基等，p= 0以外之情形中，例如上記具體例中去除η個原子之（p + 2 )價基等。 I纸展尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X29*7公釐） — -16 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 544455 A7 B7

五、發明説明（U 又，R7之酸不穩定基’可作各種選擇，具體而言例如下記式（L1 )至（L4)所示之基，碳數4至20、較佳爲4至15之三級烷基，各烷基爲碳數1至6之三烷基矽院基，碳數4至20之羰烷基等。

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) r〇RL03 ••••(CH:)*C-ORLtw (LI) (L2) (L3) (L4) 式中，虛線爲連結鍵（以下相同）；RL()1、RL02爲氫原子或碳數1至18,較佳爲1至10之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，具體例如甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、sec-丁基、tert-丁基、環戊基、環己基、2-乙基己基、η-辛基等；RLQ3爲碳數1至18，較佳爲1至10之可含有氧原子等維原子之1價烴基、直鏈狀、支鏈狀或環狀垸基，或其氫原子之一部分可被羥基、烷氧基、羰基、胺基、烷胺基所取代者，其具體例如下記之經取代的烷基等。

經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ rl01 與 rL02、RL01 與 RL03、RL02 與 RL03 可相互鍵結形成環，形成環時，RL01、RL02、RL()3各自爲碳數本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17- 544455 A7 B7_ 五、發明説明（^ 1至18、較佳爲1至10之直鏈狀或支鏈狀之伸院基。 RL04爲碳數4至20、較佳爲4至15之三級烷基、各 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 烷基爲碳數1至6之三烷基矽烷基、碳數4至20之羰烷基或上記式（L1)所示之基；三級烷基之具體例如ten-丁基、tert-戊基、1，1-二乙基丙基、2·環戊基丙院-2-基、 2 -環己基丙烷-2·基、2-(二環[2_2·1]庚烷-2·基）丙烷- 2-基、2-(金剛烷-1-基）丙烷-2-基、卜乙基環戊基、1-丁基環戊基、卜乙基環己基、卜丁基環己基、卜乙基-2·環戊烯基、1-乙基·2-環己烯基、2-甲基-2-金剛烷基、2-乙基-2-金剛烷基等；三烷基矽烷基之具體例如三甲基矽烷基、三乙基矽烷基、二甲基- tert-丁矽烷基等；羰烷基之具體例如3·羰基環己基、4·甲基-2-羰基噁烷-4-基、5-甲基-2-二氧五圜環-4-基等。X爲0至6之整數。 RLQ5爲碳數1至8之可含有雜原子之1價烴基或碳經濟部智慧財1局S工消費合作社印髮數6至20之可被取代之芳基，可含有雜原子之1價烴基例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、 tert-丁基、tert-戊基、η·戊基、η-己基、環戊基、環己基等直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，其氫原子之一部份可被羥基、烷氧基、羧基、烷氧羰基、酮基、胺基、烷胺基、氰基、氫硫基、烷硫基、磺基等所取代之例示等；可被取代之芳基之具體例示如苯基、甲基苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等。y爲0或1，ζ爲0、1、2、3中之任一數，且爲滿足2y + z = 2或3之數目。 RLQ6爲碳數1至8之可含有雜原子之1價烴基或爲本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐) ^ -18- 544455 A7 B7_ 五、發明説明（β (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 碳數6至20之可被取代之芳基，其具體例如與RW相同內容者。1^°7至RU爲各自獨立之氫原子或碳數1至15 之可含有雜原子的1價烴基，例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、tert-丁基、tert·戊基、η·戊基、η-己基、η-辛基、η-壬基、η-癸基、環戊基、環己基、環戊甲基、環戊乙基、環戊丁基、環己甲基、環己乙基、環己丁基等直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，其氫原子之一部份可被羥基、烷氧基、羧基、烷氧羰基、酮基、胺基、院基胺基、氰基、氫硫基、烷硫基、磺基等所取代者； rL07至rL16可相互形成環（例如，rL07與、rL07 與 rL09、rLO8 與 rL 10、rL09 與 rL 10、rL 11 與 rL 1 2、 rL13與rLU等），此時，爲碳數1至15之可含有雜原子之2價烴基，具體之例示如上記1價烴基之例示中去除 1個氫原子所得者；又，RLQ7至16於相鄰接之碳進行鍵結時可無須夾有其他原子而鍵結，或形成雙鍵（例如 rL07 與 RL09、RL09 與 RL15、RL13 與 RL15 等）。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製上式（L1)所示酸不穩定基中，具有直鏈狀或支鏈狀之取代基之具體例如下記之基。本紙張尺度適用中國國家標车（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19- 544455 A7 B7 五、發明説明（Θ

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ••丄 0，^^ *,丄。〆^ .* 丄。〆••乂〇〆·乂 0，^ 上記式（L1)所示酸不穩定基中之環狀取代基之具體例如四氫呋喃-2-基、2-甲基四氫呋喃-2-基、四氫吡喃·2· 基、2-甲基四氫吡喃·2-基等。上記式（L2 )所示酸不穩定基中之具體例如tert-丁氧羰基、tert-丁氧羰甲基、tert-戊氧羰基、tert·戊氧羰甲基、1,1·二乙基丙氧羰基、1,1-二乙基丙氧羰甲基、1-乙基環戊基氧羰基、1-乙基環戊基氧羰甲基、1-乙基-2-環戊烯氧羰基、1-乙基·2-環戊烯氧羰甲基、1·乙氧乙氧羰甲基、2-四氫吡喃氧羰甲基、2-四氫呋喃氧羰甲基等。經濟部智慧財產局®工消費合作社印製上記式（L3)所示酸不穩定基之具體例示如1-甲基環戊基、1-乙基環戊基、1-η·丙基環戊基、卜異丙基環戊基、卜η-丁基環戊基、卜sec-丁基環戊基、1·甲基環己基、1-乙基環己基、3-甲基-1-環戊烯-3-基、3-乙基·1·環戊燦-3-基、3·甲基-1·環己烯-3-基、3-乙基-1-環己烯-3-基等〇上記式（L4 )所示酸不穩定基之具體例示如下記所示之基。本紙浪尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -20- 544455 A7 B7 五、發明説明（d

又，碳數4至20之三級烷基、各烷基各自爲碳數1 至6之三烷基矽烷基、碳數4至20之羰烷基之具體例示係與例示之內容相同。上記式（1 -1 )所示重複單位之具體例如下所示，但本發明並不僅限定於此。

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上記式（1 -2 )所示重複單位之具體例如下所示，但本紙張尺度適用中國國家標牟（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 544455 A7 B7 五、發明説明（^ 本發明並不僅限定於此。

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Oot-Bu (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印紫上記式（1 )所示重複單位之具體例如下所示’但本發明並不僅限定於此。本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 544455 A7 B7 五、發明説明（ S 又、Θr r r

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(~7~\~) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ^ Η 0、 (-7~Γ")

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上記式（2-2 )所示重複單位之具體例如下所示’但本發明並不僅限定於此。經濟部智慧財產局員工消費合作社印紫本紙展尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐） -23· 544455 A7 B7 五、發明説明（2)

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .·裝· 、11 上記式（4 )所示重複單位之具體例如下所示，但本發明並不僅限定於此。

經濟部智慧財產局員工消費合作社印災又，本發明之高分子化合物，於必要時，可再含有1 種或2種以上選自下記式（M1)至（M8-2)所示重複單本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） -24- 544455 A7 B7 五、發明説明（2^ 位亦可。

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消賁合作社印契 (式中，R〇〇l爲氫原子、甲基或CH2C〇2R〇〇3 ; R〇02爲氫原子、甲基或C02R003 ; R^3爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；RQQ4爲氫原子或碳數1至15之竣基或含羥基之1價烴基；RQQ5至RQQ8中至少1個爲碳數 1至15之羧基或含羥基之1價烴基，其他爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基； rO05至r008可相互形成環，此時r005至r008中至少1 個爲碳數1至15之羧基或含烴基之2價羥基，其他爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之本纸浪尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） -25- 544455 經濟部智慧財產局員工消費合作社印^ A7 B7 五、發明説明（2会伸烷基；R009爲碳數3至15之至少具有-CO”結構之1價烴基；R010至R013中至少1個爲碳數2至15之至少具有-c〇2-結構之1價烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R〇1〇至 R 0 13可相互鍵結形成環，此時R010至R013中至少1個爲碳數1至15之具有-C〇2-結構之2價烴基’其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；R0 14爲碳數7至15之多環式烴基或含多環式烴基之烷基；R015爲酸不穩定基；X爲CH2或氧原子；k 爲0或1 )。其中，R001爲氫原子、甲基或CH2C〇2R°°3 ; R°°3之具體例係如後所述；R°°2爲氫原子、甲基或CChR3 ; R°°3爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基，具體而言例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η· 丁基、sec -丁基、 tert-丁基、tert·戊基、η-戊基、η-己基、環戊基、環己基、乙基環戊基、丁基環戊基、乙基環己基、丁基環己基、金剛烷基、乙基金剛烷基、丁基金剛烷基等；R°°4爲氫原子或碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基，具體而言例如，羧乙基、羧丁基、羧環戊基、羧環己基、羧原菠院基、羧金剛烷基、羥乙基、羥丁基、羥環戊基、羥環己基、羥原菠烷基、羥金剛烷基等；R°°5至R°°8中至少1個爲碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基，其他爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基本紙展尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） — -26- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 544455 A7 ____B7_ 五、發明説明（2^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ，碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基之具體例如，羧基、羧甲基、羧乙基、羧丁基、羥甲基、羥乙基、羥丁基、2-羧乙氧羰基、4-羧丁氧羰基、2-羥乙氧羰基、4-羥丁氧羰基、羧環戊氧基羰基、羧環己氧基羰基、羧原菠烷氧基羰基、羧金剛烷氧基羰基、羥環戊氧基羰基、羥環己氧基羰基、羥原菠烷氧基羰基、羥金剛烷氧基羰基等；碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基之具體例如與 R°°3所示之內容相同；RQQ5至R^8可相互形成環，此時 R0(35至R〇〇8中至少1個爲碳數1至15之羧基或含羥基之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至15 之直鏈狀、支：鏈狀或環狀之伸烷基，碳數1至15之羧基或含羥基之2價烴基，具體之例如上記含有羧基或羥基之 1價烴基所例示之內容中去除1個氫原子者；碳數1至15 之直鏈狀、支：鏈狀或環狀伸院基之具體例如R0〇3所例示之內容中去除1個氫原子者。經濟部智慧財產局S貝工消費合作钍印製 R°°9之碳數3至15之至少具有-C〇2-結構之1價烴基 ’具體而司例如2·二氧五園環·3·基、4，4 -二甲基-2- —氧五圜環-3-基、4-甲基-2-羰基噁烷-4-基、2-羰基-1,3-二氧五圜環·4·基、5-甲基-2-二氧五圜環-5-基等；R010至 R013中至少1個爲碳數2至15之具有-C〇2-結構之1價烴基’其他爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環状烷基；碳數2至15之具有- CCh-結構之1價煙基，其具體例如2-二氧五圜環-3-基氧羰基、4，4-二甲本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -27- 544455 A7 ____ B7 ___ 五、發明説明（ (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 基-2-二氧五圜環·3·基氧羰基、4-甲基-2-羰基噁烷-4-基氧羰基、2-羰基-1，3·二氧五圜環-4·基甲基氧羰基、5-甲基-2-二氧五圜環-5·基氧羰基等；碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，其具體例示例如與R0(33所示之內容相同；R010至R013可相互形成環，此時R010至R013中至少1個爲碳數1至15之具有- CO 2-結構之2價烴基，其他爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；碳數1至15之具有-CCh-結構之2價烴基，其具體例如1-酮基-2·氧雜丙烷-1,3-二基、1，3·二酮基- 2-氧雜丙烷-1，3-二基、1-酮基-2-氧雜丁烷-1，4-二基、1，3·二嗣基-2-氧雜丁烷-1,4-二基等，及具有-C〇”結構之1價烴基中所例示之取代基中去除1個氫原子後所得之取代基等 ;碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基之具體例示例如與R003所示內容中去除1個氫原子之內容相同〇 R014爲碳數7至15之多環式烴基或含多環式烴基經濟部智慧財產局員工消費合作社印契之烷基，具體之例如原菠烷基、二環[3.3.1]壬基、三環 [5 ·2.1 ·02,6]癸基、金剛烷基、乙基金剛烷基、丁基金剛烷基、原菠烷基甲基、金剛烷基甲基等；R°15爲酸不穩定基，其具體例如與前述之內容相同；X爲CH2或氧原子，k 爲0或1。上記式（Ml )至（M8-2 )所示重複單位’係於作爲光阻材料時，可賦予顯像液親和性、基板密著性、蝕刻耐本紙ifc尺度適用中國國家橾车（CNS ) A4規格（210X297公釐） •28- 544455 A7 _B7_ 五、發明説明（性等各種特性，故可適度地調整前述重複單位之含量，以對光阻材料之性能進行微調整。又，本發明之高分子化合物之重量平均分子量爲 1，000至500,000，較佳爲3,000至100,000之範圍。超過此一範圍時，蝕刻耐性將極端降低，而未能確保曝光前後之溶解速度差，而會有造成解像性降低之情形。本發明之高分子化合物之製造方法，係將下記式（1 )所示化合物作爲第1單體，並配合1至3種選自下記式 (2a )至（4a )所示化合物作爲第2至4單體，或必要時，再配合1種或2種以上選自下記式（Mia)至（M8a) 所示化合物作爲其後之單體，再以共聚合反應方式製得。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ 內容）本紙張^尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29- 544455 經濟部智慈財產局員工消費合作社印災五、發明説明（ A7 ___B7

(式中，k、RQQ1至R°15、X具有與上記相同之內容）共聚合反應中，各單體之存在比例可進行適當之調節，以期於作爲光阻材料使用時可發揮出具有較佳性能之高分子化合物。本發明之高分子化合物，除 (i )上記式（1 a )所示單體， (ii) 上記式（2a)至（4a)所示單體 (iii) 上記式（Mia)至（M8a)所示單體以外，可再與 (iv) 上記式（i)至（iii)以外之含碳-碳雙鍵之單體，例如甲基丙烯酸甲酯、巴豆酸甲酯、馬來酸二甲酯、依康酸二甲酯等經取代丙烯酸酯類，馬來酸、富馬酸、依康酸等不飽和羧酸、原菠烯、原菠烯-5-羧酸甲酯等經取代原菠烯類，依康酸酐等不飽和酸酐或其他單體進行共聚合亦可。本發明之高分子化合物中，以各單體爲基礎之各重複單位較佳之比例，例如以下記範圍爲佳，但並不僅限定於本纸浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公f ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -30- 544455 A7 —____ 五、發明説明（此。又，其中所稱％皆爲莫耳％。 (I) 高分子化合物，係含有以上記式（1 -1)所示重複單位與（2-1)所示重複單位時，可各自含有 ①以式（la)之單體爲基礎之式（1-1)所示重複單位係含有1至90¾ ，較佳爲含有5至80% ，更佳爲含有10 至 70¾ ， ©以式（2a)之單體爲基礎之式（2-1)所示重複單位係含有1至90% ，較佳爲含有5至80¾ ，更佳爲含有10 至 70¾ ， ③ 以式（M5a)至（M8a)之單體爲基礎之式（M5-1 )至（M8-1)所示重複單位係含有0至50% ，較佳爲含有0至40% ，更佳爲含有0至30% ， ④ 以其他單體爲基礎之重複單位係含有〇至50¾ ，較佳爲含有0至40¾ ，更佳爲含有0至30%者。 (II) 高分子化合物，係含有以上記式（1-1 )所示重複單位與（2-1)所示重複單位與（3)所示重複單位時，可各自含有 ① 以式（la)之單體爲基礎之式（1-1)所示重複單位係含有1至49% ，較佳爲含有3至45¾ ，更佳爲含有5 至 40% ， ② 以式（2a)之單體爲基礎之式（2-1)所示重複單位係含有1至49% ，較佳爲含有3至45% ’更佳爲含有5 至 40¾， ③ 以式（3a)之單體爲基礎之式（3)所示重複單位本紙展尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印^ -31 - 544455 經濟部智慧財1局員工消費合作社印製 A7 B7_五、發明説明（2& 係含有50莫耳％， ④ 以式（M5a)至（M8a)之單體爲基礎之式（M5-1 )至（M8-1)所示重複單位係含有0至25¾ ，較佳爲含有0至20¾ ，更佳爲含有0至15% ， ⑤ 以其他單體爲基礎之重複單位係含有0至25% ，較佳爲含有〇至20¾ ，更佳爲含有0至15¾者。 (III)高分子化合物，係含有以上記式（1-1)所示重複單位與式（2-1)所示重複單位及/或（4)所示重複單位與（3)所示重複單位時，可各自含有 ① 以式（la)之單體爲基礎之式（1-1)所示重複單位係含有1至49¾ ，較佳爲含有3至45¾ ，更佳爲含有5 至 40%， ② 以式（2a)之單體爲基礎之式（2-1)所示重複單位係含有0至40% ，較佳爲含有0至35% ，更佳爲含有0 至 30% ， ③ 以式（4a)之單體爲基礎之式（4)所示重複單位係含有1至80% ，較佳爲含有1至70% ，更佳爲含有1 至 50% ， ④ 以式（3a)之單體爲基礎之式（3)所示重複單位係含有1至49% ，較佳爲含有5至45% ，更佳爲含有1〇至 40% ， ⑤ 以式（Mia)至（M8a)之單體爲基礎之式（Ml) 至（M8-1)所示重複單位係含有〇至25¾ ，較佳爲含有〇至20% ，更佳爲含有0至15¾ ，長尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-32 - 544455 A7 B7 五、發明説明（4 ⑥以其他單體爲基礎之重複單位係含有0至25% ’較佳爲含有0至20% ’更佳爲含有0至15¾者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (IV)高分子化合物，係含有以上記式（1-2)所示重複單位與（2-2)所示重複單位時’可各自含有 ① 以式（la)之單體爲基礎之式（1-2)所示重複單位係含有1至90¾ ’較佳爲含有5至80¾ ’更佳爲含有10 至 70%， ② 以式（2a)之單體爲基礎之式（2-2)所示重複單位係含有1至90% ’較佳爲含有5至80¾ ’更佳爲含有10 至 70¾ ， ③ 以式（M5a)至（M8a)之單體爲基礎之式（M5-2 )至（M8-2)所示重複單位係含有0至50¾ ，較佳爲含有0至40% ，更佳爲含有0至30% ， ④ 以其他單體爲基礎之重複單位係含有〇至50¾ ，較佳爲含有〇至40¾ ，更佳爲含有0至30¾者。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製製造本發明之高分子化合物之共聚合方法，可以各種彤式進行，較佳之方法例如自由基聚合、陰離子聚合或配位聚合反應等方法。自由基聚合反應之反應條件爲，（a)溶劑係使用苯等烴類、四氫呋喃等醚類、乙醇等醇類、甲基異丁酮等酮類，（b)聚合起始劑係使用2,2’-偶氮雙異丁腈等偶氮化合物，或過氧化苯甲醯、過氧化月桂醯等過氧化物，（c )反應溫度保持在0°C至100°C之範圍，（d)反應時間以在0.5小時至48小時間之範圍爲佳，但反應並不限定需本紙浪尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） -33 - 544455 kl — —_B7_ 五、發明説明（3¾ 在此範圍以內。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 陰離子聚合反應之反應條件爲，（a)溶劑係使用苯等烴類、四氫呋喃等醚類、或液態胺，（b)聚合起始劑係使用鈉、鉀等金屬，η-丁基鋰、sec·丁基鋰等鹼金屬，縮酮，或格和雅反應劑，（c)反應溫度保持在-78°C至0 °C之範圍，（d)反應時間以在0.5小時至48小時間之範圍，（e)停止劑使用甲醇等陽離子供應性化合物，碘化甲酯等鹵化物，或其他親電子性物質等爲佳，但反應條件並不僅限定在此範圍以內。配位聚合反應之反應條件爲，（a)溶劑係使用η-庚烷、甲苯等烴類，（b)觸媒係使用鈦等過渡金屬與烷基鋁所得之齊格勒觸媒、鉻與鎳化合物負載於金屬氧化物上之菲利浦斯觸媒、及以鎢與銶之混合觸媒爲代表之烯烴· 取代之混合觸媒等，（c)反應溫度保持在〇°C至100°C之範圍，（d )反應時間以在0.5小時至48小時間之範圍爲佳，但並非將此範圍以外之情形排除。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本發明之高分子化合物，極適合作爲光阻材料之基礎聚合物，本發明，並提供一種含有此高分子化合物之光阻材料，特別是增強化學性正型光阻材料。本發明之光阻材料，係含有可感應高能量線或電子線以產生酸之化合物（以下簡稱酸產生劑）、有機溶劑，必要時可再含有其他成分。本發明所使用之酸產生劑例如：下記式（Pla-1) 、（Pla-2)或（Plb)之鑰鹽，本紙長尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •34- 544455 A7 B7 五、發明説明（d 下記式（P2)之二偶氮甲烷衍生物，下記式（P3)之乙二肟衍生物，下記式（P4)之雙磺酸衍生物，下記式（P5 )之N-羥基醯亞胺化合物之磺酸酯， Θ -酮磺酸衍生物，二磺酸衍生物，硝基苄基磺酸酯衍生物，磺酸酯衍生物等。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

Pla-l Pln-2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R101a、R101b、R101c各自爲碳數1至12 之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基、烯基、羰烷基或羰烯基，碳數6至20之芳基，或碳數7至12之芳烷基或芳羰烷基等，此些基中氫原子之一部份或全部可被烷氧基等所取代。又，Rl〇lb與R101e可形成環，形成環時，Rl〇lb、 R1 (He各自爲碳數1至6之伸烷基。厂爲非親核性對向離子）。上記R101a、R101b、R101c可相互爲相同或不同，具體例中，烷基例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、 sec·丁基、tert·丁基、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、環庚基、環丙甲基、4·甲基環己基、環己甲基本紙展尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •35- 544455 A7 B7 五、發明説明（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、原菠烷基、金剛烷基等。烯基例如乙烯基、烯丙基、丙烯基、丁烯基、己烯基、環己烯基等。羰烷基例如2-羰基環戊基、2-羰基環己基等、2-羰基丙基、2-環戊基-2-羰基乙基、2-環己基-2-羰基乙基、2- (4-甲基環己基）-2-幾基乙基等；芳基例如苯基、萘基等或，P-甲氧基苯基、m-甲氧基苯基、〇·甲氧基苯基、乙氧基苯基、ρ· ten-丁氧基苯基、m-tert-丁氧苯基等烷氧苯基，2-甲基苯基、3-甲基苯基、4-甲基苯基、乙基苯基、4-tert-丁基苯基、4-丁基苯基、二甲基苯基等烷苯基，甲基萘基、乙基萘基等烷基萘基，甲氧基萘基、乙氧基萘基等烷氧基萘基，二甲基萘基、二乙基萘基等二烷基萘基，二甲氧基萘基、二乙氧基萘基等二烷基萘基；芳烷基例如苄基、苯基乙基、苯乙基等；芳羰烷基例如2-苯基-2-羰乙基、2- ( 1•萘基）-2-羰乙基、2· ( 2-萘基）-2-羰乙基等2-芳基-2-羰乙基等。K_ 經濟部智慧財產局員工消资合作社印製親核性對向離子，例如氯化物離子、溴化物離子等鹵化物離子，三氟甲酸鹽、1，1，1-三氟乙烷磺酸鹽、全氟丁烷磺酸鹽等氟烷基磺酸鹽，甲苯磺酸鹽、苯磺酸鹽、4-氟苯基磺酸鹽、1，2,3,4,5-五氟苯基磺酸鹽等芳基磺酸鹽，甲磺醯鹽、丁烷磺酸鹽等烷基磺酸鹽等。 n〇l〇2b K* K*

Plb (式中，R102a、R102b各自爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R103爲碳數1至10之直鏈狀、支鏈狀本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -36- 544455 A7 B7 五、發明説明（g 或環狀伸烷基；R104a、R104b各自爲碳數3至7之2-羰燒基；IT爲非親核性對向離子）。上記R1 G2a、R1Q2b之具體例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、tert·丁基、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、環丙甲基、4-甲基環己基、環己基甲基等。R103之具體例如伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸戊基、伸己基、伸庚基、伸辛基、伸壬基、：M-伸環己基、1，2-伸環己基、1，3-伸環戊基、1,4-伸環辛基、1,4-伸環己二甲基等。R104a、R104b例如2-羰基丙基、2_羰基環戊基、2-羰基環己基、2-羰基環庚基等。K· 與式（Pla-Ι )及（Pla-2)所說明之內容相同。 R〗〇5一 s〇:_I—SO；,—r^og P2 (式中，R105、R106爲碳數1至12之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基或鹵化烷基，碳數6至20之芳基或鹵化芳基或碳數7至12之芳烷基）。 R1Q5、R1Q6之烷基例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、tert·丁基、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、環庚基、原菠烷基、金剛烷基等；鹵化烷基例如三氟甲基、1，Μ·三氟乙基、1，1，卜三氯乙基、九氟丁基等；芳基例如苯基、Ρ-甲氧苯基、m-甲氧苯基、〇 -甲氧苯基、乙氧苯基、p-tert -丁氧苯基、m-tert-丁氧苯基等烷氧苯基；2-甲基苯基、3-甲基苯基、4-甲基苯基本紙浪尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -37- 544455 A7 B7_五、發明説明（3$ 、乙基苯基、4-ten-丁基苯基、4·丁基苯基、二甲基苯基等烷基苯基；鹵化芳基之氟苯基、氯苯基、1，2,3,4,5-五氟苯基等；芳烷基例如苄基、苯乙基等。

經濟部智慈財產局8工消費合作社印製 (式中，R1()7、R1()8、R109爲碳數1至12之直鏈狀、支鏈狀、環狀烷基或鹵化烷基，碳數6至20之芳基或鹵化芳基，或碳數7至12之芳烷基；R1 Q8、R109可相互鍵結形成環狀構造，形成環狀構造時，R108、R1Q9各自爲碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀之伸烷基）。 Rl〇7、r1〇8、r1G9之烷基、鹵化烷基、芳基、鹵化芳基、芳烷基之例示與R1Q5、R1Q6之說明內容相同；又，R1Q8、R109之伸烷基則如伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸己基等。 R,0,a—l-CHj—I_Ri〇ib P4 (式中，RlOla、RlOlb具有與上記相同之內容。）。

(式中，R110爲碳數6至10之伸芳基、碳數1至6 之伸烷基或碳數2至6之伸烯基，此些取代基中氫原子之本纸浪尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -38 - 544455 經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ A7 B7五、發明説明（一部份或全部可再被碳數1至4之直鏈狀或支鏈狀之烷基或烷氧基、硝基、乙醯基或苯基所取代；R111爲碳數1 至8之直鏈狀、支鏈狀或經取代之烷基、烯基或烷氧烷基、苯基、或萘基，此些取代基中氫原子之一部份或全部可再被碳數1至4之烷基或烷氧基；碳數1至4之烷基、烷氧基、硝基、乙醯基或苯基所取代之苯基；碳數3至5之雜芳基；或氯原子、氟原子所取代亦可）。其中，R11Q之伸芳基例如1，2-伸苯基、1，8-伸萘基等 ;伸烷基例如伸甲基、1，2·伸乙基、1，3·伸丙基、1，4-伸丁基、1-苯基·1，2·伸乙基、原菠烷-2,3·二基等；伸烯基例如 1，2-伸乙烯基、1-苯基-1，2-伸乙烯基、5·原菠烷-2,3-二基等。R111之烷基則與111()1&至111()1(：之內容相同，烯基例如乙烯基、卜丙烯基、烯丙基、1·丁烯基、3·丁烯基、異丁烯基、1-戊烯基、3-戊烯基、4-戊烯基、二甲基烯丙基、卜己烯基、3-己烯基、5-己烯基、1-庚烯基、3-庚烯基、6-庚烯基、7·辛烯基等；烷氧烷基例如、甲氧甲基、乙氧甲基、丙氧甲基、丁氧甲基、戊氧甲基、己氧甲基、庚氧甲基、甲氧乙基、乙氧乙基、丙氧乙基、丁氧乙基、戊氧乙基、己氧乙基、甲氧丙基、乙氧丙基、丙氧丙基、甲氧丁基、乙氧丁基、丙氧丁基、甲氧戊基、乙氧戊基、甲氧己基、甲氧庚基等。又，可再被取代之碳數1至4之烷基，例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η·丁基、異丁基、tert-丁基等，碳數 1至4之烷氧基，例如甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧本:ife尺度適用;國國家樣準（CNS )八4胁（210X297公釐)" ' -39- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 544455 A7 B7 五、發明説明（3) 基、η·丁氧基、異丁氧基、tert-丁氧基等；碳數1至4之烷基、烷氧基、硝基或乙醯基所取代之苯基，例如苯基、甲苯基、P· ter t-丁氧苯基、ρ·乙醯苯基、p-硝基苯基等；碳數3至5之雜芳基例如吡啶基、呋喃基等。具體而言，例如三氟甲烷磺酸二苯基碘鎗、三氟甲烷磺酸（p-tert-丁氧苯基）苯基碘鎗、ρ·甲苯磺酸二苯基碘鑰、P·甲苯磺酸（p-tert-丁氧苯基）苯基碘鎗、三氟甲烷磺酸三苯基銃、三氟甲烷磺酸（p-tert-丁氧苯基）二苯基銃、三氟甲烷磺酸雙（p-tert-丁氧苯基）苯基锍、三氟甲烷磺酸三（p-tert-丁氧苯基）銃、p-甲苯磺酸三苯基锍、 P-甲苯磺酸（p-tert-丁氧苯基）二苯基銃、p-甲苯磺酸雙 (p-tert-丁氧苯基）苯基銃、p-甲苯磺酸三（p-tert-丁氧苯基）锍、九氟丁烷磺酸三苯基銃、丁烷磺酸三苯基锍、三氟甲烷磺酸三甲基锍、P-甲苯磺酸三甲基銃、三氟甲烷磺酸環己甲基（2·羰基環己基）銃、p-甲苯磺酸環己甲基 (2-羰基環己基）銃、三氟甲烷磺酸二甲基苯基銃、p-甲苯磺酸二甲基苯基锍、三氟甲烷磺酸二環己基苯基銃、P-甲苯磺酸二環己基苯基銃、三氟甲烷磺三萘基銃、三氟甲烷磺酸環己甲基（2-羰基環己基）銃、三氟甲烷磺酸（2-原：菠烷基）甲基（2·羰基環己基）銃、乙烯雙〔甲基（2· 羰環戊基）銃三氟甲烷磺酸酯〕、1，2，-萘基羰甲基四氫硫鹽三聚物等鎗鹽；雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（P-甲笨磺醯基）二偶氮甲烷、雙（二甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環己磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環戊磺醯基）二偶本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消费合作社印¾ -40 - 544455 Α7 Β7 五、發明説明（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製氮甲烷、雙（η·丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丁基磺酶基）二偶氮甲烷、雙（sec-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（η·丙基擴酿基）二偶氮甲焼、雙（異丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（tert-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（^戊基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異戊基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（sec-戊基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（ter卜戊基磺醯基）二偶氮甲烷、1·環己基磺醯基-1-( tert-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、1-環己基磺醯基-1-( tert·戊基磺醯基）二偶氮甲烷、Ι-tert-戊基磺醯基-1- (tert· 丁基磺醯基）二偶氮甲院等一偶氮甲院衍生物；雙·〇·（ρ·甲苯擴酿基）-α-二甲基乙二肟、雙-〇·（ρ-甲苯磺醯基）-α-二苯基乙二肟、雙-〇·（ρ-甲苯磺醯基）-α-二環己基乙二肟、雙_〇-(卜甲苯磺醯基）·2,3·戊二醇乙二肟、雙-0-(Ρ-甲苯磺醯基 )。-甲基^-戊二酮乙二肟〜雙-⑴㈠-丁烷磺醯基）· α -二甲基乙二肟、雙-〇-(η-丁烷磺醯基）-α·二乙基乙二肟、雙·0· ( η·丁烷磺醯基）-α -二環己基乙二肟、雙· 〇-(η-丁烷磺醯基）·2,3·戊二醇乙二肟、雙-〇·（ η-丁烷磺醯基）-2-甲基，4·戊二醇乙二肟、雙-0-(甲烷磺醯基 )·α·二甲基乙二肟、雙-〇-(三氟甲烷磺醯基）-α-二甲基乙二肟、雙-0-(1,1，卜三氟乙烷磺醯基）-α·二甲基乙二肟、雙·〇·（ tert· 丁烷磺醯基）·α-二甲基乙二肟、雙· 〇 -(全氟辛烷磺醯基）-α-二甲基乙二肟、雙-0·(環己院磺醯基）二甲基乙二肟、雙-〇·（苯磺醯基）-α-二甲基乙二肟、雙-〇-(Ρ-氟基苯磺醯基）-α-二甲基乙二肟本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -41 - 544455 A7 B7 五、發明説明（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印髮、雙- 〇-(P-tert-丁基苯磺醯）·α.二甲基乙二肟、雙·〇· (二甲苯磺醯基）-α-二甲基乙二肟、雙-〇·（莰烷磺醯基）-α·二甲基乙二肟等乙二肟衍生物；雙萘基磺醯甲烷、雙三氟甲基磺醯甲烷、雙甲基磺醯甲烷、雙乙基磺醯甲院、雙丙基酿甲院、雙異丙基礦釀甲焼、雙·ρ -甲苯礦醯甲烷、雙苯磺醯甲烷等雙磺醯衍生物；2·環己基羰基-2- (ρ-甲苯磺醯）丙烷、2-異丙基磺醯基· 2- (ρ-甲苯磺醯基）丙烷等泠-酮碩衍生物；二苯基二碩、二環己基二碩等二碩衍生物；Ρ-甲苯磺酸2,6·二硝基苯酯、ρ·甲苯磺酸 2,4-二硝基苯_等硝基苯基磺酸酯衍生物；1，2,3-三（甲烷磺醯基氧）苯、1，2,3-三（三氟甲烷磺醯基氧）苯、 1，2,3-三（Ρ-甲苯磺醯氧基）苯等磺酸酯衍生物。Ν-羥基琥珀醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺乙烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺 1-丙烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺2-丙烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺1-戊烷磺酸酯、Ν·羥基琥珀醯亞胺1-辛烷磺駿酯、Ν·羥基琥珀醯亞胺ρ-甲苯磺酸酯、Ν·羥基琥珀醯亞胺Ρ-甲氧笨基磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺2-氯乙烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺苯基磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺-2,4,6-三甲基苯磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺1-萘磺酸酯、Ν•羥基琥珀醯亞胺2·萘磺酸酯、Ν·羥基-2-苯基琥珀醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν·羥基馬來醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν-羥基馬來醯亞胺乙烷磺酸酯、Ν·羥基·2·苯基馬來醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν-羥基谷氨醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν·羥基谷氨醯亞本紙展尺度適用中國國家標卑（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -42- 544455 A7 B7 五、發明説明（4(ί (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智惡財產局8工消費合作社印製胺苯磺酸酯、Ν-羥基鄰苯二甲醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν·羥基鄰苯二甲醯亞胺苯磺酸酯' Ν-羥基鄰苯二甲醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、Ν-羥基鄰苯二甲醯亞胺ρ-甲苯磺酸酯、Ν·羥基萘基醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν·羥基萘基醯亞胺苯磺酸酯、 Ν-羥基-5·原菠烷基-2,3-二羧基醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν-羥基-5-原菠烷基-2,3-二羧基醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、Ν-羥基-5-原菠烷基-2,3-二羧基醯亞胺ρ·甲苯磺酸酯等Ν-羥基醯亞胺之磺酸酯衍生物等；三氟甲烷磺酸三苯基銃、三氟甲烷磺酸（p-tert-丁氧苯基）二苯基銃、三氟甲烷磺酸三 (p-tert-丁氧苯基）銃、p -甲苯磺酸三苯基銃、p -甲苯磺酸（p-tert· 丁氧苯基）二苯基硫、p -甲苯磺酸三（p-tert-丁氧苯基）銃、三氟甲烷磺酸三萘基銃、三氟甲烷磺酸環己基甲基（2-羰基環己基）銃、三氟甲烷磺酸（2-原菠烷基）甲基（2-羰基環己基）銃、1，2’-萘羧甲基四氫硫苯鎗三氯甲烷等鎗鹽；雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（卜甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（η-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（sec-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（η-丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丙基磺醯基）二偶氮甲院、雙（tert-丁基磺醯基）二偶氮甲烷等二偶氮甲烷衍生物，雙-〇-(p -甲本礦釀基）·α·二甲基乙二^、雙-〇 ·( η-丁烷磺醯基）-α-二甲基乙二肟等乙二肟衍生物；雙萘基磺酸甲烷等雙磺酸衍生物等。又以Ν-羥基琥珀醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、Ν-羥基本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4说格（210Χ297公釐） -43- 544455 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 A7 B7_五、發明説明（4) 琥珀醯亞胺卜丙烷磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺2-丙烷磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺1-戊烷磺酸酯、N·羥基琥珀醯亞胺P-甲苯磺酸酯、N-羥基萘基醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基萘基醯亞胺苯磺酸酯等N-羥基醯亞胺化合物之磺酸酯衍生物爲較佳。又，上記酸產生劑可單獨1種或將2種以上組合使用。鎗鹽有提高矩形性之優良效果，二偶氮甲烷衍生物及乙二肟衍生物具有優良之降低定在波之效果，兩者之組合可對圖型外形進行微調整。酸產生劑之添加量，以對基礎樹脂100份（重量份，以下相同）較佳爲0.1〜15份，更佳爲0.5〜8份。若低於 0.1份時會有感度惡化之情形產生，高於15份時會使透明性降低而會產生解像性惡化之情形。本發明所使用之有機溶劑，只要是可以溶解基礎樹脂、酸產生劑、其他添加劑等之有機溶媒皆可以使用。此有機溶劑例如，環己酮、甲基-2-η·戊酮等酮類；3-甲氧基丁醇、3-甲基·3-甲氧基丁醇、1-甲氧基-2-丙醇、1-乙氧基-2 -丙醇等醇類；丙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚、丙二醇二甲基醚、二乙二醇二甲基醚等醚類；丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、乳酸乙酯、丙酮酸乙酯、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸ten-丁酯、丙酸 tert-丁酯、丙酸乙二醇-單-ten-丁醚乙酸酯等酯類，其可單獨使用1種或將2種以上混合使用，且不限定於上述化合物。本發明中，此些溶劑中對光阻成份中酸產生劑之溶本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -44 - 544455 A7 B7 五、發明説明（解性最優良的除二乙二醇二甲基醚或1-乙氧基-2-丙醇以外，其他如作爲安全溶劑之丙二醇單甲基醚乙酸酯及其他混合溶劑皆可以配合使用。有機溶劑之使用量，以對基礎樹脂100份爲200至 1,000份，又以400至800份爲更佳。本發明之光阻材料中，可再添加與含有上記式（1-1 )或（1-2)所示重複單位的高分子化合物不同之其他高分子化合物。上記其他高分子化合物的具體例，如具有下式（R1 )及/或下式（R2)所示之重量平均分子量1，〇〇〇〜500,000 ，較佳爲5,000〜100,000之高分子化合物，但並不受此內容所限制。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標率（CNS )八4規格（210><297公釐） -45· 544455 A7 B7 五、發明説明（β

：O：R0，s CO：R°，5

(Ri)

:o2r〇

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ：0：.R°〇4 002 P〇〇'

:0:R ⑽

經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ (R2) (式中，R001爲氫原子、甲基或CH2C02R003 ; R002爲氫原子、甲基或C02RM3 ; RQ()3爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；RQQ4爲氫原子或碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基；R005至R008中至少1個爲碳數 1至15之羧基或含羥基之1價烴基，其他爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基； RO05至r〇〇8可相互形成環，此時r005至r008中至少1 個爲碳數1至15之羧基或含烴基之2價羥基，其他爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；RGQ9爲碳數3至15之具有-C0”結構之1價烴基本紙展尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -46- 544455 A7 B7 五、發明説明（d ;R〇10至R〇13中至少i個爲碳數2至15之至少具有· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) C〇結構之1價烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；RQ1〇至RQ13 可相互鍵結形成環，此時RQ1〇至RQ13中至少1個爲碳數 1至15之具有-C〇2·結構之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；RQ14爲碳數7至15之多環式烴基或含多環式烴基之烷基；R01 5爲酸不穩定基；R016爲氫原子或甲基； R〇17爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；X爲 CH2或氧原子；Y爲氧原子、或NR°18，V18爲碳數1至6 之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；k爲0或l;al’、a2’、 a3 ’、bl，、b2，、b3,、cl，、c2,、c3,、dl，、d2,、d3,、e，爲 0 以上1以下之數，且滿足 a 1 ,+a2, + a3, + b r + b2, + b3, + cr + c2, + c3, + dl, + d2, + d3 + e, = 1 ； f’ 、2’、11’、厂、：!’爲0以上1以下之數，且滿足 f’+g’ + h’ + i’+j’ = 1 之數）。經濟部智惡財產局員工消費合作社印製又，其各自取代基之具體例如與先前之內容相同。上記含有式（1-1)與式（1-2)所示重複單位之高分子化合物與其他高分子化合物之配合比例，以100 : 0至 1 0 : 90，又以100 : 0至20 ·· 80之重量比的範圍爲最佳。上記含有式（1-1)與式（1-2)所示重複單位之高分子化合物之配合比例低於此範圍時，作爲光阻材料時並不能得較佳之性能。又，可以對上述配合比例作適當變更之方本錄尺度適用中國國家標準（CNS )八4胁（210X297公釐) · -47- 544455 A7 B7 五、發明説明（4会式，以對光阻材料之性能進行調整。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，上記其他高分子化合物並不僅限定添加1種，亦可添加2種以上。一般以使用多數種高分子化合物之方式即可對光阻林料之性能進行調整。本發明之光阻材料，可再添加溶解控制劑。溶解控制劑爲平均分子量100〜1，000，更佳爲150〜800之分子內具有2個以上苯酚性羥基之化合物，且該苯酚性羥基中之氫原子受酸不穩定基以全體平均之0〜100莫耳％的比例取代所得之化合物，或分子內具有羧基之化合物且其羧基中之氫原子受酸不穩定基以全體平均之50至100莫耳％之比例取代的化合物。又，苯酚性羥基中氫原子受酸不穩定基取代之取代率，平均而言係對苯酚性羥基全體爲〇莫耳％以上，較佳爲 30莫耳％以上，其上限爲1〇〇莫耳％，較佳爲80莫耳％ ;羧基中氫原子受酸不穩定基取代之取代率，平均而言係對羧基全體爲50莫耳％以上，較佳爲70莫耳％以上，且其上限爲100莫耳％。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製此時，上記具有2個以上苯酚性羥基之化合物或具有竣基之化合物，例如下式（D1)〜（D14)所示化合物。本紙張尺度適用中國國家標車（CNS )八4規格（210X297公董） -48- 544455 A7 B7 五、發明説明（d ?h3 \ Η〇π~^〇Η D1

(ΟΗ),、Rx (OHV R劢 •3D^G：" D3 D4

D6 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (〇H)r f~k} R^rk_J V=>R20W05). 〇206 (〇H)r R:0,s.

R20,,?^bH D8

、1T D7 % D9

4 經濟部智慧財產局員工消責合作社印¾

H：)hC〇〇H D13

COOH D12

本紙ffc尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -49- 544455 A7 B7 經濟部智慧財凌局員工消费合作社印災五、發明説明（47) (式中，R201、R202各自爲氫原子、或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基；R2G3爲氫原子、或碳數1至8 之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基、或-(R207) hCOOH ; R204爲-(CH2) i-(i = 2至10)、碳數6至10之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原子；R2Q5爲碳數1至10 之伸烷基、碳數6至10之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原子；R206爲氫原子、碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基、烯基、或各自受烴基所取代之苯基或萘基； R2 0)7爲碳數1至10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；R208爲氫原子或烴基；j爲0至5之整數；u、h爲0或1; s、t、s’ 、t’、s"、t’’爲各自滿足 s + t=8、s’ + t’ = 5、s’’ + t" = 4，且爲各苯酚骨架中至少具有一個羥基之數；α爲式（D8)、 (D9)之化合物之分子量爲100至1,000之數^ ) 上記式中，R201、R2G2例如氫原子、甲基、乙基、丁基、丙基、乙烯基、環己基；R203則例如與R201、 R202爲相同之化合物，或-COOH、-CH2C00H ; R204例如伸乙基、伸苯基、羰基、磺醯基、氧原子、硫原子等； R2()5例如伸甲基、或與R2Q4爲相同之化合物；R2Q6例如氫原子、甲基、乙基、丁基、丙基、乙烯基、環己基、各自受羥基取代之苯基、萘基等。其中，溶解控制劑之酸不穩定基，可作各種選擇，具體之例如下記式（L 1 )至（L4 )所示之取代基、碳數4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -50· 544455 A7 B7 五、發明说明（扃至20之三級烷基、各烷基之碳數爲1至6之三烷基矽烷基、碳數4至20之羰烷基等。

(Ll) (L2) (L3)

經濟部智慧財產局員工消资合作社印製 (式中，RL()1、RL〇2爲氫原子或碳數1至18之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R1^3爲碳數1至18之可含有氧原子等雜原子之1價烴基；RLQ1與RLQ2、rLGI與 rL03、rL02與rL03可形成環，形成環時，rL01、rL02 、RLQ3各自爲碳數1至18之直鏈狀或支鏈狀之伸烷基； RL04爲碳數4至20之三級烷基、各烷基爲碳數1至6之三烷基矽烷基、碳數4至20之羰烷基或上記式（L1)所示取代基；RLQ5爲碳數1至8之可含有雜原子之1價烴基或碳數6至20之可被取代之芳基；RLQ6爲碳數1至8 之可含有雜原子之1價烴基或碳數6至20之可被取代之芳基；RU7至R116爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之可含有雜原子之1價烴基；R1^7至RU6可相互形成環，此時，可爲碳數1至15之可含有雜原子之2價烴基；又，RLQ7至RL 16於相鄰接之碳進行鍵結時，可無須夾有其他原子而鍵結，或形成雙鍵；X爲〇至6之整數；y爲〇 ---------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂本纸浪尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） -51 - 544455 A7 B7 五、發明説明（或l，z爲0、1、2或3，且爲滿足2m + n= 2或3之數）〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，各収代基之具體例示係與前記之內容相同。上述溶解控制劑之添加量，以對基礎樹脂1 00份爲0 至50份，較佳爲0至40份，更佳爲0至30份，其可單獨或將2種以上混合使用。添加量超過50份時，會使圖型之膜產生衰減，而有使解像度降低之情形。又，上記溶解控制劑中，對具有苯酚性羥基或羧基之化合物，可以使用有機化學試劑以導入酸不穩定基之方式合成。此外，本發明之光阻材料可再添加鹼性化合物。鹼性化合物以可抑制因酸產生劑產生之酸在光阻膜內之擴散速度之化合物爲佳。添加鹼性化合物可抑制光阻膜中酸之擴散速度而使解像度提高，進而抑制曝光後之感度變化，降低基板或環境之依存性，而提昇曝光寬容度或圖里L之外形等。經濟部智慧財凌局員工消費合作社印¾ 此鹼性化合物例如可爲第1級、第2級、第3級脂肪族胺類，混合胺類、芳香族胺類、雜環胺類，具有羧基之含氮化合物、具有磺醯基之含氮化合物、具有羥基之含氮化合物、具有羥苯基之含氮化合物、醇性含氮化合物、_ 胺衍生物、醯亞胺衍生物等。具體而言，第1級脂肪胺例如尿素、甲基胺、乙基胺、η·丙基胺、異丙基胺、η-丁基胺、異丁基胺、sec-丁基胺、ten-丁基胺、戊基胺、ten·戊基胺、環戊基胺、己基本紙成尺度適用中國國家樣卑（CNS ) A4規格（210X297公釐） -52- 544455 A7 B7_ 五、發明説明（5么 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 胺、環己基胺、庚基胺、辛基胺、壬基胺、癸基胺、月桂基胺、十六烷基胺、伸甲基二胺、伸乙基二胺、四伸乙基戊胺等；第2級脂肪族胺類例如，二甲基胺、二乙基胺、二-η-丙基胺、二異丙基胺、二-η·丁基胺、二異丁基胺、二-sec·丁基胺、二戊基胺、二環戊基胺、二己基胺、二環己基胺、二庚基胺、二辛基胺、二壬基胺、二癸基胺、二月桂基胺、二鯨蠟基胺、Ν，Ν·二甲基伸甲基二胺、N，N-二甲基伸乙基二胺、N，N-二甲基四伸乙基戊胺等；第3級月旨肪族胺類例如，三甲基胺、三乙基胺、三-η -丙基胺、三異丙基胺、三-η-丁基胺、三異丁基胺、二· sec -丁基胺、三戊基胺、三環戊基胺、三己基胺、三環己基胺、三庚基胺、三辛基胺、三壬基胺、三癸基胺、三月桂基胺、三鯨蠟基胺、N，N，N’，N’ -四甲基伸甲基二胺、N，N，N’，N’ - 四甲基伸乙基二胺、N，N，N’，N’ -四甲基四伸乙基戊胺等。經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製又，混合胺類例如，二甲基乙基胺、甲基乙基丙基胺、戊基胺、苯乙基胺、苄基二甲基胺等。芳香族胺類及雜環胺類之具體例如，苯胺衍生物（例如苯胺、N-甲基苯胺、N-乙基苯胺、N -丙基苯胺、N，N ·二甲基苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、乙基苯胺、丙基苯胺、三甲基苯胺、二硝基苯胺、3-硝基苯胺、4-硝基苯胺、 2,4-二硝基苯胺、2,6-二硝基苯胺、3,5-二硝基苯胺、n， N-二甲基苯胺等）、二苯基（P-甲苯基）胺、甲基二苯基胺、三苯基胺、亞苯基二胺、萘基胺、二氨基萘、吡咯尺度適用中國國家樣準（CNS )八4胁（2!()χ297公釐） "" ' -53- 544455 Α7 Β7 五、發明説明（5ί (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製衍生物（例如吡咯、2 Η -π比咯、卜甲基吡咯、2,4·二甲基 ^:咯、2,5-二甲基吡咯、Ν·甲基吡咯等）、噁唑衍生物（例如噁唑、異噁唑等）、噻唑衍生物（例如噻唑、異噻唑等）、咪唑衍生物（例如咪唑、4-甲基咪唑、4-甲基-2-苯基咪唑等）、吡唑衍生物、呋喃衍生物、吡咯啉衍生物（例如吡咯啉、2-甲基·1·吡咯啉等）、吡咯烷衍生物（例如1〇比咯烷、Ν -甲基吡咯烷、吡咯烷酮、Ν -甲基吡咯烷酮等）、咪唑啉衍生物、咪唑並吡啶衍生物、吡啶衍生物（例如吡啶、甲基吡啶、乙基吡啶、丙基吡啶、丁基吡啶、 4-(卜丁基苄基）吡啶、二甲基吡啶、三甲基吡啶、三乙基吡啶、苯基吡啶、3-甲基-2·苯基吡啶、4-t-丁基吡啶、二苯基吡啶、戊基吡啶、甲氧基吡啶、丁氧基吡啶、二甲氧基吡啶、1·甲基-2·吡咯酮、4-吡咯烷酮吡啶、1·甲基-4-笨基吡啶、2- (1-乙基丙基）吡啶、氨基吡啶、二甲基氨基吡啶等）、噠嗪衍生物、嘧啶衍生物、吡嗪衍生物、吡哩啉衍生物、吡唑烷衍生物、哌啶衍生物、哌嗪衍生物、嗎啉衍生物、吲哚衍生物、異吲哚衍生物、1 Η -吲唑衍生物、吲哚啉衍生物、喹啉衍生物（例如喹啉、3-咱啉羧睛等）、異喹啉衍生物、噌啉衍生物、咱唑啉衍生物、ϋ奎喔啉衍生物、酞嗪衍生物、嘌呤衍生物、喋啶衍生物、咔嗤衍生物、菲繞啉衍生物、吖啶衍生物、吩嗪衍生物、 1，10-菲繞啉衍生物、腺嘌呤衍生物、腺苷衍生物、鳥嘌玲衍生物、鳥苷衍生物、尿嘧啶衍生物、尿嗪衍生物等等本紙浪尺度適用中國國家標率（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -54- 544455 A7 B7 五、發明説明（5全 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，具有羧基之含氮化合物，例如氨基苯甲酸 ' 吗丨〇朵羧酸、氨基酸衍生物（例如尼古丁酸、丙氨酸、精氨酸、天冬氨酸、枸椽酸、甘氨酸、組氨酸、異賴氨酸、甘氨_ 白氨酸、白氦酸、蛋氨酸、苯基丙氨酸、蘇氨酸、賴氨酸、3·氨基吡啶-2-羧酸、甲氧基丙氨基）等例；具有磺酸基之含氮化合物例如3·吡啶磺酸、P-甲苯磺酸吡啶鏺等；具有羥基之含氮化合物，具有羥苯基之含氮化合物、醇性含氮化合物等例如，2-羥基吡啶、氨基甲酚、2,4-哨啉二醇、3-吲哚甲醇氫化物、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、N，N-二乙基乙醇胺、三丙醇胺、 2,2、亞氨基二乙醇、2·氨基乙醇、3-氨基-卜丙醇、4-氨基-卜丁醇、4- ( 2-羥乙基）嗎啉、2- ( 2-羥乙基）吡啶、經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ 1 - ( 2-羥乙基）哌嗪、1-〔 2- ( 2-羥乙氧基）乙基〕哌嗪、哌嗪乙醇、1- ( 2-羥乙基）吡咯烷、1- ( 2-羥乙基）-2-α比咯烷酮、3-吡咯烷酮基-1，2-丙二醇、3-吡咯烷酮基·1，2· 丙二醇、8·涇久洛尼啶、3·喂啶醇、3-托品醇、1·甲基-2· α比啶乙醇、1-氮雜環丙烷乙醇、Ν - ( 2-羥乙基）肽醯亞月安、Ν - ( 2·經乙基）異尼古丁醯胺等等。醯胺衍生物例女口，甲醯胺、Ν -甲基醯胺、Ν，Ν -二甲基醯胺、乙醯胺、Ν-甲基乙醯胺、Ν，Ν-二甲基乙醯胺、三甲基乙醯胺、戊醯胺等。醯亞胺衍生物則例如酞醯亞胺、琥珀醯酵亞胺、馬來醯亞胺等。又，可再添加1種或2種以上選自下式（Β) -1所示之鹼性化合物。本紙展尺度適用中國國家樣卑（CNS ) A4規格（210X29*7公釐1 •55· 544455 A7 _B7_ 五、發明説明（5么 (X) η (Υ) (Β) -1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (式中，η=1、2或3;支鏈X可爲相同或不同，且对以下記式（X) -1至（X) ·3表示，支鏈Υ可爲相同或不同之氫原子或直鏈狀、支鏈狀或環狀之碳數1至20之嫁基，其可含有羥基或醚基；又，各X間可鍵結形成環 )0 R30〇^_R3〇1 (X)-1

• J r — __R302。Ϊ r304 (X)-2 ——R3〇aJ_〇_R306 (X)-3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製式中，R3()()、R3°2、R3”爲碳數1至4之直鏈狀或支鏈片犬之伸烷基；R3(M、R3°4爲氫原子、碳數1至20之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，且可含有1個或多數個羥基、醚基、酯基或內酯環等。 r3Q3可爲單鍵或碳數1至4之直鏈狀或支鏈狀伸烷基，爲碳數1至20之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，且可含有1個或多數個羥基、醚基、酯基或內酯環等。上述（B1)所示鹼性化合物之具體內容，例如，三 (2-甲氧甲氧基乙基）胺、三丨2- (2·甲氧乙氧基）乙基本紙浪尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •56· 544455 A7 B7____ 五、發明説明（j }胺、三{2· (2 -甲氧乙氧基甲氧基）乙基）胺、三丨2·( 1-甲氧乙氧基）乙基}胺、三{2-(卜乙氧乙氧基）乙基 }胺、三{2-(1-乙氧丙氧基）乙基丨胺 '三〔2·丨2-( 2·羥乙氧基）乙氧基丨乙基〕胺、4,7，13，16,21，24-六氧-1，10-二氮雜二環〔8,8,8〕二十六院 ’ 4,7,13,18·四氧-1,10· 二氮雜二環〔8,5,5〕二十烷，1，4，1〇，13-四氧-7，16-二氮雜二環十八烷，1·氮雜·12·冠_4，1-氮雜冠·5’卜氮雜-18·冠-6，三（2 -甲醯氧乙基）胺’三（2·乙醯氧乙基）胺，三（2-丙醯氧乙基）胺，三（2-丁醯氧乙基）胺’三（ 2 -異丁醯氧乙基）胺，三（2-戊醯氧乙基）胺’三（2-己釀氧乙基）胺，Ν，Ν·雙（2-乙醯氧乙基）2·(乙醯氧乙醯氧基）乙基瞭，三（2-甲氧羰氧乙基）胺，三（2-tert-丁氧羰氧乙基）胺，三[2- (2·羰丙氧基）乙基]胺，三[2-( 甲氧羰甲基）氧乙基]胺，三[2· ( tert-丁氧羰甲基氧基）乙基]胺，三[2-(環己基氧基羰甲基氧基）乙基]胺，三（ 2 -甲氧羰基乙基）胺，三（2-乙氧羰基乙基）胺，Ν，Ν·雙 (2-羥乙基）2·(甲氧羰基）乙基胺，Ν，Ν-雙（2·乙醯氧基乙基）2-(甲氧羰基）乙基胺，Ν，Ν-雙（2-羥乙基）2· (乙氧羰基）乙基胺，Ν，Ν-雙（2-乙醯氧乙基）2·(乙氧幾基）乙基胺，Ν，Ν-雙（2-羥乙基）2-(甲氧乙氧羰基）乙基胺，Ν，Ν-雙（2-羥乙基）2-(羥基乙氧羰基）乙基胺，Ν，Ν·雙（2·乙醯氧乙基）2·(乙醯氧乙氧羰基）乙基胺，Ν，Ν-雙（2-羥乙基）2-[(甲氧羰基）甲氧羰基]乙基胺，Ν，Ν-雙（2·乙醯氧乙基）2](甲氧羰基）甲氧羰基]乙本紙ife尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ -57- 544455 A7 B7 五、發明説明（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 基胺，N，N-雙（2-羥乙基）2-(羰丙氧羰基）乙基胺， N，N-雙（2-乙醯氧乙基）2-(羰丙氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2·羥乙基）2-(四氫氧茂甲氧羰基）乙基胺，N，N-雙 (2-羥乙基）2·[2·(羰基四氫呋喃-3-基）氧羰基]乙基胺，Ν，Ν-雙（2·乙醯氧乙基）2· [(2-羰基四氫呋喃-3-基）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製氧羰基]乙基胺，Ν，Ν-雙（2·羥乙基）2· ( 4·羥基丁氧羰基 )乙基胺，Ν，Ν-雙（2-甲醯氧乙基）2-(4-甲醯氧丁氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2·甲醯氧乙基）2·(甲醯氧乙氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2-甲氧乙基）2·(甲氧羰基）乙基胺，N· ( 2·羥乙基）雙[2·(甲氧羰基）乙基]胺，N· ( 2-乙醯氧乙基）雙[2-(甲氧羰基）乙基]胺，N-( 2-羥乙基 )雙[2-(乙氧羰基）乙基]胺，N- ( 2·乙醯氧乙基）雙[2· (乙氧羰基）乙基]胺，N· ( 3-羥基-1-丙基）雙[2-(甲氧羰基）乙基]胺，N- (3-乙醯氧基-1-丙基）雙[2-(甲氧羰基）乙基]胺，N-(甲氧乙基）雙[2-(甲氧羰基）乙基]胺，N-丁基雙[2-(2·甲氧乙氧羰基）乙基]胺，N-甲基雙（ 2-乙醯氧乙基）胺，N-乙基雙（2-乙醯氧乙基）胺，N-甲基雙（2-三甲基乙醯氧氧乙基）胺，N-乙基雙[2- ( tert-丁氧羰氧基）乙基]胺，三（甲氧羰甲基）胺，三（乙氧羰甲基）胺，N-丁基雙（甲氧羰甲基）胺，N-己基雙（甲氧展甲基）胺，冷·（二乙基胺）-5-戊內醯胺等。上記鹼性化合物之添加量以對酸產生劑1份爲0.001 至10份，較佳爲0.01至1份。添加量未達0.001份時添力口劑之效果未能充分發揮，超過10份時解像度或感度會本紙度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •58· 544455 A7 _ B7_ 五、發明説明（5^ 降低。又，本發明之光阻材料，可再添加分子內具有 C〇OH基之化合物。分子內具有Ξ C-COOH基之化合物，例如可使用1種或2種以上選自下記I群及II群中之化合物，但並不限定於此些物質。添加本成份後，可提高光阻之PED安定性，並可改善氮化膜基板上之邊緣粗糙等問題。〔I群〕下記式（A 1)至（A 10)所示化合物中苯酚性羥基中氫原子之一部份或全部受-R4()1-C〇〇H ( R4()1爲碳數1至 10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基）所取代，且分子中苯酚性羥基（C )與Ξ C-COOH所示之基（D)之莫耳比爲C/(C + D) = 0.1至1.0之化合物。〔II 群〕下記式（A 11)至（A 15)所示之化合物。 ----------衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智惡財產局S工消費合作社印製本紙長尺度適用中國國家搮準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -59- 544455 A7 B7 i、發明説明（IDO r402s〆 (OH)。， R403 A1 R403 --k R404 Λ2 <(〇H),2 ^〇：S2 f y/SSxj；(QH)t2 o R^/2'-(〇H)t2 (〇H)t：7 R402s A4

(OH^， R40V a (〇Η)ύ Λ V(R406)u r/^ Q" (〇H)t3 R'

A6 (〇H)t2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

^(〇H)t4 A10 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (其中，R4()8爲氫原子或甲基；R4D2、R4Q3各自爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基；R4°4爲氫原：子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基，或-( R4Q9) h-C〇〇R’基（R’爲氫原子或-R4°9-C〇〇H) ; R4°5爲-( CHO i-(i=2至10)、碳數6至10之伸芳基、羰基、購醯基、氧原子或硫原子；R4°6爲碳數1至10之伸烷基、碳數6至10之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60- 544455 A7 B7 i、發明説明（d 孓；R4°7爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基、烯基、各自受羥基取代之苯基或萘基；R 4”爲碳數1至 1〇之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；R41°爲氫原子或碳數1至8 之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基或-R411-COOH基；R411爲碳彀1至10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；j爲〇至5之整數； u、h 爲 0 或 1;51、11、52、12、83、13、54、14爲各自滿运 sl+tl=8、s2+t2=5、s3+t3=4、s4+t4=6，且爲各笨基骨架中至少具有1個羥基之數。/c爲式（A6)化合物中重量平均分子量爲1,000至5,000之數；又爲式（A7 ) 化合物中重量平均分子量爲1，〇〇〇至1〇,〇〇〇之數。） R403 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) R402 COOH All (〇H)t5>〇SR4n-C〇〇HR^sSky A12

COOH

H^h-COOH A14 經濟部智慧財產局員工消費合作社印楚 A13

(R4°2、R4。3、R411具有與前記相同之內容；R412爲氫廢子或羥基；s5、t5爲s5 20、t5$0，且爲滿足s5+t5 = S之數，h’爲0或1。）本成份之具體例如下記式AI-1至14及All-1至1〇所积化合物，但並不限定於此些化合物。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -61 - 544455 A7 B7 五、發明説明（g

AI-1 ^/=\ DR" ch3 ΛΙ-2

R..C COOR_ AI-3

AI-4 AI-5 AI-6 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) R**°O-*cHrO"-〇R** ΑΙ·7

OR· AI-10 經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾

OR** AMI

AI-12 :x獻 ch3w AI-13 R**0—^ CH^COOR* AI-14 本纸展尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -62· 544455 A7 _B7_五、發明説明（6(J (R’’爲氫原子或CH 2 COOH基，各化合物中R"之10至 1 00莫耳％爲CH 2 COOH基，a、/c具有與前述相同之內容。）

宁η2 CH^-COOH AII-2 AII-1

Ch2-cooh AII-4

：H3COOH ：h3cooh AII-5

AII-7

OOH AII-6

OOH

HnCOOH ΑΙΙ·9 AII-8

經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ 其中，上記分子內具有ξ C-COOH基之化合物，可單獨使用1種或將2種以上組合使用。上述分子內具有=C-COOH基之化合物的添加量，一般對基礎樹脂100份爲0至5份，較佳爲0.1至5份，更佳爲0.1至3份，最佳爲0.1至2份，超過5份時會使光阻材料之解像性降低。又，本發明之光阻材料，可再添加作爲添加劑成份之 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙ifc尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -63 544455 A7 _B7_ ______ 五、發明説明（炔醇衍生物，添加此衍生物可提高保存之安定性。炔醇衍生物以使用下式（SI)、（ S2)所示化合物爲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 佳。

(式中，R5。1、R5。2、R5。3、R5。4、R5。5 各自爲氫原子、或爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；X、Υ爲 0或正數，且爲滿足下記之數値，0SXS30, 0SYS30, 0 $ Χ+ YS 40 ) 〇炔醇衍生物較佳者爲過苯酚61，過苯酚82，過苯酚 1 04，過苯酚104Ε，過苯酚104Η，過苯酚104Α，過苯酚 TG，過苯酚PC，過苯酚440，過苯酚465，過苯酚485 ( 氣體製造及化學公司製）、過苯酚E1004 (日信化學工業 (株）製）等。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製上記炔醇衍生物之添加量，以對光阻材料1 〇〇重量％中爲0.01至2重量％，更佳爲0.02至1重量％。低於 0.01重量％時，則未能得到充份的塗布性及保存安定性之效果，超過2重量％時則會使光阻材料之解像性降低。本發明之光阻材料，可在爲提高塗佈性之目的上添加上記成份以外之任意慣用成份作爲界面活性劑。又，此任意成份之添加量爲在不妨礙本發明效果之範圍內之一般添力口量。其中，界面活性劑以非離子性者爲佳，例如全氟烷基本紙展尺度適用中國國家標準（〇奶）八4規格（210乂297公釐） -64- 544455 A7 _______B7_ 五、發明説明（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 聚氧乙炔醇、氟化烷酯、全氟烷基胺氧化物、全氟烷基 E〇附加物、含氟有機矽氧烷系化合物等。例如氟萊特「 FC-430」、「FC-431」（皆爲住友3M公司製）、沙氟隆「S-141」、「S-145」（皆爲旭硝子公司製）、優尼但r DS-401」、「DS-403」、「DS-451」（皆爲大金工業公司製）、美格氟「F-8151」（大日本油墨公司製）、「又· 70-092」、「X-70-093」（皆爲信越化學工業公司製）等等。其中較佳者爲氟萊特「FC-430」（住友3M公司製）、「X-70-093」（信越化學工業公司製）等等。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製使用本發明之光阻材料以圖型之形成方法，可採用公知之蝕刻印刷技術等，例如於晶圓等基板上以旋轉塗佈方式塗佈厚度0.2至2.0/zm之膜，將其於熱壓板上以60至 150°C、1至10分鐘、較佳爲80至130°C、1至5分鐘之預熱。其次在上記光阻膜上覆蓋欲形成目的圖型之光罩後，以遠紫外線、等離子雷射線、X線等高能量線或電子線在曝光量爲1至200m J / cm2左右，較佳爲5至100m J/ cm2下照射後，在熱壓板上以60至150 °C、1至5分鐘，較佳爲80至130°C、1至3分鐘之後照射熱培（PEB)。其後使用0.1至5¾ ，較佳爲2至3¾四甲基銨氫氧化物 (THAM)等鹼性水溶液之顯影液，以〇.1至3分鐘、較佳爲0.5至2分鐘間，以浸漬（dip)法、微粒（puddle) 法、噴撒法（spray)法等常用顯影方法於基板上形成目的之圖型。又，本發明之材料，最適合用於使用高能量線中 248至193nm之遠紫外線或等離子雷射線、X線及電子線本紙長尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -65- 544455 A7 __B7_ 五、發明説明（所進行之微細圖型描繪。又，超出上記範圍之上限或下限以外時，可能會有無法得到目的圖型之情形產生。 ------:---丨衣— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 【發明之效果】使用本發明之高分子化合物作爲基礎樹脂之光阻材料 ’可感應高能量線，且具有優良的感度、解像性、蝕刻耐性等，故極適合用於電子線或遠紫外線所進行之微細加工。特別是對ArF等離子雷射、KrF等離子雷射等曝光波長之吸收較少，故極適合形成微細且對基板爲垂直之圖型。【實施例】以下’將以合成例及實施例、比較例對本發明作更具體之說明，但本發明並不受下記實施例所限制。 [合成例] 本發明之醚化合物與使用其作爲原料所得之高分子化合物’係依以下所示配方予以合成者。經濟部智慧財產局S工消費合作社印契 [合成例1-1]5-(1·羥基·5-甲氧基戊基）-2-原菠烯（ Monomer 1 )之合成將122.6g之卜氯-4-甲氧基丁烷溶解於300g之四氫呋喃中。將此容易於60°C以下溫度，以2小時時間滴入 24.3g之金屬鎂中，於室溫下持續攪拌2小時後，再將 1 22.2g之5-原菠烯-2-胺基甲醛於50°C下以1小時時間滴本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -66- 544455 A7 B7 五、發明説明（6^ 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印¾ 入其中 0 於室溫下持續攪拌 1 小時丨丨使反應結束後 j 再加入 300g之水與 44g 之20¾ HC] [, 並予以，攪以500g己院萃取所得有機層經水洗 % 以無水硫酸鈉脫水、過濾後再予減壓濃縮C 所得油狀物質經減壓蒸 m ，得 158 .6g 之 5 - ( 1-羥基- 5-甲氧基戊基 ) -2 -原 :菠烯。產率爲 75.- 4¾ 〇 I R ( 薄膜 V 3 4 ] :5 (b r ) ，3 C )5 7 2 9 3 7 > 2 8 6 6 > 1 4 5 8 ，] L 4 5 0， 13 8 9， 1 1 2 0 7 ] L 9 C m -1 5 — ( 1 一羥基- 5 — 甲氧基戊基〕 1 一 2 -原疲烯 ( e X 0 體 ·· end 0 JiUfi 體 = 4 5 5 5) 之 1 Η - _ N ： Μ : R ( 3 0 0 Μ Η Z i η C D C 1 3 ) : δ : = 〇 • 4 6 一 0 5 2 ( 0 • 5 5 Η d d d， J = 1 1 • 6 9 4 7 2 • 5 Η z ) 〇 • 8 8 — 0 9 4 ( 0 • 4 5 Η d d d， J = 1 1 • 6 > 4 1 2 • 5 Η z ) 1 • 1 9 一 1 6 7 ( 9 Η ϊ m ) 1 • 7 0 — 1 7 8 ( 0 • 5 5 Η d d d， J = 1 1 • 6 9 9 4 j 3 • 9 Η z ) 1 • 8 1 — 1 8 9 ( 0 • 4 5 Η d d d， J = 1 1 • 6 > 8 8 3 • 9 Η z ) 1 • 9 6 一 2 0 9 ( 1 Η ϊ m ) 2 • 7 6 — 3 · • 0 4 ( 3 Η 9 m ) 3 3 0 _ 3 . • 4 1 ( 5 Η 9 m ) (含 3 .3 0 ( 本紙ife尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -67· 544455 A7 _B7_ 五、發明説明（6^ 1 .65H，s)，3.31(1.35H，s)， 5 .85 - 5.88(0.45H，m)，5.97- 6 ·00(〇·55Η，ιη)， 6 ·〇1 - 6.15(lH，m)0 [合成例1-2] 5· ( 1-乙醯氧基-5-甲氧基戊基）-2-原菠烯（ Monomer 2)之合成將5- ( 1-羥基-5-甲氧基戊基）-2-原菠烯（Monomer 1 )105.2g置入63.3g之吡啶中，於2g之4-二甲基胺吡啶之存在下，於室溫下使其與61.3g之無水醋酸反應10小時，加入30g水使反應停止後，以己烷萃取，所得有機層經水洗、以無水硫酸鈉脫水、過濾、減壓濃縮得油狀物質。再將其減壓蒸餾後，得122.4g之5-(1-乙醯氧基-5·甲氧基戊基）-2·原菠烯。產率爲97.0% 。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ -68- )44455 A7 B7 五、發明説明（^ 22 3 3 4 56 .7 10 9 8 0 5 15 7 6 2 9 3 0 2 9 8 5 11 m 3 5 Η，s 6 5 Η ， s (1 Η ，m ) (2 Η，b r · s )， (1 · 6 5 Η，s )， (1 · 3 5 Η，s )，一 4 · 4 6 ( 1 Η，m ) 一 5 · 9 0 ( 1 Η，m ) 一 6 · 1 8 ( 1 Η ，m ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) [合成例1-3] 5-{2- ( 2-羥基-6-甲氧基戊基）卜2·原菠烯（ M onomer 3 )之合成將5-原菠烯-2-胺基甲醛以5-乙醯基-2-原菠烯替代外，其他皆依合成例1-1相同方法，製得5-{ 2- ( 2-羥基-6-甲氧基戊基）卜2·原菠烯。產率爲74¾ 。經濟部智惡財產局員工消旁合作社印製

Γ b Γ\ 5 8 4 3 2 7 5 3 II V ο IX 7 IX 8 6 8 2 9 3 9 2 8 6 •. 9 )2 膜，薄 7 ( 5 R ο 13 2 8 6 9 6 3 7 ,m 8 c 3 9 CN1 1± 0 8 6 7 8 9 5 3 1 4 6 4 4 9 2 1 3 5 τ 5 , 3 2 2 114 f ， ^/n 1± ， 6 7 1 4 2 3 1± 1± A Ns c 標家國國中用適度尺 ¾ 一紙 ί本

I釐公 97 2 X 69 544455 A7 _B7 五、發明説明（6ί 5 — {2 -（2 -羥基一 6 —甲氧基戊基）一 2 -原菠烯 (exo 體：endo 體 — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (30〇MHz in C D C 1 3 ) ： 5 = 1 ·〇〇(1·44Η，〇 1 .05 - 1.16 (2.56H，m) (含 1·16 (1.56H’s)， 1 ·18 - 1.63(9H，m)， 1 .74 - 1.86 (lH，m)， 2 .18 - 2 ·25(1Η，ιη)， 2 .80(lH>br.s)， 2 .91(lH，br.s)， 3 .31 - 3·41(5Η，ιη) (含 3.31 (1.56H，s), 3 .32(1.44H，s)， 6 .06 - 6.10(lH，m)， 6 .20 - 6.24 (lH，m)0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 [合成例1-4] 5- (2 -乙酿氧基-5-甲氧基戊基）-2 -原疲燒（ M onomer 4 )之合成將5-原菠烯-2-胺基甲薛以（5-原菠烯-2-基）乙醛替代外，其他皆依合成例1-1相同方法，製得5_ ( 2-乙醯氧基-5 -甲氧基戊基）-2-原疲燒。產率爲73¾ 。將5· ( 1-羥基-5-甲氧基戊基）-2-原菠烯以5- ( 2-羥基-5·甲氧基戊基）-2-原菠烯替代外，其他皆依合成例本紙ifc尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -70- 544455 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 A7 B7__ 五、發明説明（相同方法，製得5- (2-乙醯氧基-5-甲氧基戊基）-2·原菠烯。產率95¾ 。 IR (薄膜）：^=3057，2958，2868’ 1 736，1448，1373，1244，1120 1 0 2 2 ^ 7 1 9 c m - 1 5 —（2 —乙醯氧基一 5 —甲氧基戊基）一 2-原菠烯之主要異構物（endo體）之 'H-NMR (270MHz in C D C la) : 5 = 0.46 — 0.57 (lH，m)， 1 .12- 1.63(8H，m)， 1 .78- 1.88(lH，m) 1 .93- 2.01(4H，m) (2.01 (3H’s )，2.73(lH，br.s)， 2 .78(lH，br.s)， 3 .28-3.34(5H，m)(含 3.30 (3H，s) ，4.89(lH，m)， 5 .85-5.94(lH，m)， 6 .07 — 6.11(lH，m)。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -71 - 544455 A7 B7 五、發明説明（6》 [合成例2-1] Polymer 1之合成將42.lg之Monomer 1與78.lg之5·原菠烯·2·羧酸2· 乙基·2·原菠烷基及49. Og之無水馬來酸溶解於150ml之四氫呋喃中，力□入1.8g之2,2、偶氮雙（2·甲基丁腈）。於 60 °C下攪拌1 5小時後，減壓下進行濃縮。所得殘留物溶解於600ml之四氫呋喃中，再滴入10公升之η·己烷中。濾取所產生之固形物，再以10公升之η·己烷洗淨，以40 °C進行6小時之真空乾燥，得86.7g之下記式Polymer 1 所示之高分子化合物。將經由此方式製得之聚合物以GPC 分析結果，得知其爲重量平均分子量（Mw)以聚苯乙烯換算爲8100，分散度（Mw/Mn)爲1.78之聚合物。又，經由13C-NMR測定結果，確認聚合物中之Monomer 1/ 5· 原菠烯-2·羧酸2·乙基·2-原菠烷基/無水馬來酸之比率爲 (Κ 2 /0.3 /0.5。 [合成例2〜15]Polymer2〜15之合成依上記相同方法，或公知之方法合成P〇lymei*2〜15。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印災本紙展尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •72- 544455 A7 B7 五、發明説明（ (Polymer 1) (x=0.20, d=0.30, ¢=0.50, Mw=9,800, Mw/Mn*1.75) (Polymer 2) (\·=0.20, (1=0.30, e=0.50, Mw=9,200, Mw/Mn=1.71)

(Ac o 乂少。

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (Polymer 3) (x=0.20, d=0.30, e=0.50,

Mw=7,500, Mw/Mil=1.77)

、1T (Polymer 4) (x=0.2O,d=OJO, ¢=0.50, Mw=7,400, Mw/Mn=1.81) e-7—( /卞 DAc

經濟部智慧財產局員工消費合作社印^ ix ("~7— (Polymer 5) (x*0.20, d=0.30, e=0.50, Mw=7,800, Mw/Mn*1.85)

-j-OH

本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4坑格（210X297公釐） -73- 544455 A7 B7 五、發明説明（ (Polymer 6) (x=0.20t d=0.30, e=0.50, Mw=9,100, Mw/Mn= 1.85)

(γ- X )d V

(Polymer 7) (\-0.20, d=0.30, e=0.50, Mw=9,000, Mw/Mn=1.77) (Polymer 8) (\-0.20, (1=0.30, e=0.50, Mw=12,300, Μλν/Μπ=1.82) ix ( / - r )d

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (Polymer 9) (.\-0.20, d=0.30, e=0.50, Mw=13,000, Mw/Mn=1.80)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ (Polymer 10) (x=0.50t d=0.50, Mw=23,100t Mw/Mn=1.95)

本紙展尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -74- 544455 A7 B7 五、發明説明（d (Polymer 11) (x=0.35, (1=0.30, e=0.35, M>v=ll,200. Mw/Mn=1.98) (Polymer 12) (x=0.35, d=0.30, e=0.35, Mw=l0,900, Mw/Mn=2.01) e-7~ Η H H J=Q b ----------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (Polymer 13) (x=0.35, d=0.30, e=0.35, Mw=l 1,800, Mw/Mn=2.10) ~rix

訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾

(Polymer 14) (x=0.50, d=0.50,

Mw=23,900, Nlw/Mn=1.48) (Polymer 15) (\=0.50, d=0.50,

Mw=22,600, Μ\ν/Μη=1.Ί2) 本紙展尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） -75- 544455 A7 B7 i、發明説明（ [實施例] [實施例I] 對本發明之高分子化合物，評估其以其作爲基礎樹脂所製得光阻材料時之基板密著性。 [實施例1-1〜5與比較例1、2] 使用上記所示聚合物（Polymerl〜5)與作爲比較使用之下記式所示聚合物（Polymer 16、17)作爲基礎樹脂，再將下記式所示酸產生劑（PAG1)、鹼性化合物與溶劑，依表1所示組成進行混合。隨後再其以鐵氟隆製過濾器 (孔徑：0.2 // m )過濾，以製得光阻材料。 (Polymer 16) (d=0.50, e=0.50,

Mw=8,800, Mw/Mn=1.80) 經濟部智总財產局8工消費合作社印製

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (Polymer 17) (a=0.20, d=0.30, e=0.50, Mw=9,700 M'v/IVln=1.8S)

OH 將光阻溶液以旋轉塗佈方式塗佈於經90°C、40秒間六甲基二矽胺烷噴霧處理所得之矽晶圓上，再將此矽晶圓進行110t、90秒之熱處理，使其形成厚度0.5// m之光阻膜。其後藉由KrF等離子雷射處理器（理光公司，本紙悵尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -76- 544455 A7 B7 五、發明説明（7) ΝΑ=0·5)進行曝光，再於110°C、90秒下進行熱處理後，於2.38¾之四甲基銨氫氧化物水溶液中進行60秒之浸漬顯影，以製得線路空間爲1 : 1之圖型。隨後對顯影後之晶圓以上空SEM (掃描型電子顯微鏡）觀察，以未能剝離而殘留之最小線寬（#m)爲評估光阻之密著界限。各光阻之組成及評估結果如表1所示。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慈財產局員工消费合作社印¾ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -77- 544455 A7 B7 五、發明説明（7土〔表1〕樹S旨酸產生劑碱性化合物溶劑密著界限 β m Μ Polymer 1 PAG 1 TBA PGMEA 0.24 實 (80) (1) (0.078) (480) 施 1-2 Polym er 2 PAG 1 TBA PGEMA 0.23 例 (80) (1) (0.078) (480) 1-3 Polym er 6 PAG 1 TBA PGEMA 0.24 (80) (1) (0.078) (480) 1-4 Polym er 8 PAG 1 TBA PGEMA 0.22 (80) (1) (0.078) (480) 1-5 Polym er 9 PAG 1 TBA PGEMA 0.23 (80) (1) (0.078) (480) t匕 1 Polymer 16 PAG 1 TBA PGEMA >0.50 較 (80) (1) (0.078) (480) 例 2 Polymer 1 7 PAG 1 TBA PGEMA >0.50 (80) (1) (0.078) (480) 括弧內爲添加量（重量份） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慈財產苟5N工消费合作社印^ 又，表1中，溶劑及鹼性化合物之說明則如下記內容。又，溶劑全部使用含有0.01重量％2FC-430(住友3M 公司製）者。 PGMEA :丙二醇甲基醚乙酸酯本纸張尺度適用中國國家標率（CNS)A4C格（210X297公釐） -78· 544455 A7 B7 五、發明説明（71 TBA :三丁基胺依表1所示結果得知，本發明之高分子化合物，具有極高之基板密著性。 [實施例II] 對本發明之光阻材料，評估其使用KrF等離子雷射曝光之解像性。 [實施例II -1〜21]光阻解像性之評估使用上記所示聚合物（Polymerl〜15)作爲基礎樹脂，再將下記式所示酸產生劑（PAG 1、2 )、下記式所示溶解控制劑（D RR1〜4 )、鹼性化合物、下記式所示分子內具有Ξ C-C〇〇H基之化合物（ACC1、2 )與溶劑，依表2 所示組成進行混合。隨後再其以鐵氟隆製過濾器（孔徑：〇 · 2 // m )過濾，以製得光阻材料。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印^

本纸浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -79- 544455 A7 B7 五、發明説明（ (DRR 1)

(DRR 3) (DRR 2)

【0 16 2】【化5 6】

-co2h (ACC 1)

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局w工消費合作社印製將所得光阻溶液以旋轉塗佈方式塗佈於經90°C、90 秒間六甲基二矽胺烷噴霧處理所得之矽晶圓上，再將此矽晶圓進行ll〇°C、90秒之熱處理’使其形成厚度0.5/z m 之光阻膜。其後藉由KrF等離子雷射處理器（理光公司， ΝΑ = 0·5)進行曝光，再於ll〇°C、90秒下進行熱處理，於 2 · 3 8¾之四甲基銨氫氧化物水溶液中進行6〇秒顯影，& 製得線路空間爲1 : 1之圖型。將顯影完成之晶圓切斷：，使用截面SEM (掃描型電子顯微鏡）進行觀察，以〇 3〇 // m線路空間爲1 : 1解像度的曝光量（最佳曝光量：E〇p ，ml/cm2)中所可分離之空間線路之最小線寬（# m)作爲評估光阻之解像度。各光阻之組成及評估結果如表2所$。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8〇· 544455

A 經濟部智惡財4局員工消費合作社印製五、發明説明（7^ [表2] *施冽射裔酸產生劑溶解控制劑碱性化合物溶劑 S適當曝光J mj/cra2 Ϊ urn II-1 Polymer 1 (30) PAG 1 (1) TEA (0. _ PQ,iEA (430) 26.0 0.20 矩形 II-2 Polymer 2 (30) PAG 1 ⑴- TEA (0. 063) PGMEA (430) 25.0 0.2L II-3 Polymer 3 (80) PAG 1 (i) TEA (0. 063) PGMEA (430) 23.0 0.22 矩B II-4 Polymer 4 (SO) PAG I (1) TEA CO. 063) PGMEA (480) 27.0 0.24 II-5 Polymer 5 (30) FAG i Cl) TEA (0. 063) PGMEA (430) 22. 0 0.25 II-6 Polymer 6 (SO) FAG i (1) TEA (0. 063) PGMEA (480) 24. 0 0.20 矩形 II-7 Polymer 7 (30) PAG i (1) TEA (0. 063) PGMEA (4S0) 23. 0 0. 22 矩形 II-8 Polymer 3 (SO) PAG 1 (1) TEA (0. 063) PGMEA (430) 22. 0 0. 20 矩形 II-9 Polymer 9 (30) PAG i (1) TEA (0. 063) PGMEA (4S0) 22.0 0.21 矩形 11-10 Polymer 10 (80) PAG 1 (1) TEA (0. 063) PGMEA (430) 19.0 0. 22 矩形 II 一 11 Polymer 11 (30) PAG 1 ⑴ TEA (0. 063) POIEA (4S0) 21.0 0.22 矩形 II 一 12 Polymer 12 (80) PAG 1 (1) TEA (0. 063) PaiEA (560) 22.0 0. 23 矩形 11-13 Polymer 13 (80) PAG 1 (1) TEA (0. 063) PGMEA (560) 22.0 0.24 矩« 11-14 Polymer 14 (80) PAG 1 (1) TEA (0. 063) POtEA (640) 21.0 0. 22 矩形 11-15 Polymer 15 (SO) PAG i (1) TEA (0. 063) PQ4EA (640) 32.0 0.21 矩形 11-16 Polymer 6 (30) PAG 2 (1) TEA (0. 063) PGWEA (430) 23. 0 0.20 矩形 11-17 Polymer 6 (30) PAG 2 (1) TMMEA (0. 118) PGMEA (430) 24.0 0. 20 矩肜 11-13 Polymer 6 (30) PAG 2 (1) TMEMEA (0. 173) PGMEA (480) 26. 0 0.21 矩形 11-19 Polymer 3 (70) PAG 2 (1) DRR i (10) TEA ' CO. 062) PGMEA (4S0) IS. 0 0.21 矩形 11-20 Polymer 3 (70) PAG 2 (1) DRR 2 (10) TEA (0. 063) PGMEA (430) 20. 0 0.22 矩髟 11-21 Polymer 3 (TO) PAG 2 (1) DRR 3 (10) TEA (0. 063) PGMEA (4S0) 22. 0 0.22 矩形 11-22 Polymer S (TO) PAG 2 ⑴ DRR 4 (10) TEA (0. 063) F-Q4EA (430) 22.0 0.20 矩形 11-22 Folymir 〇 (30) PAG 2 (1) ACC i (4) TEA (0. 063) PGMEA (4S0) 20.0 0.21 矩形 11-23 Polymtr 8 (30) PAG 2 (1) ACC 2 (4) TEA (0. 063) PGMEA (430) 22.0 0.21 矩形括弧內爲添加量（重量份） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙展尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210、X297公釐） -81 - 544455 A7 B7 五、發明説明（j

又，表2中，溶劑及鹼性化合物之說明則如下記內容。又，溶劑係使用含有0.01重量％之FC-430 (住友3M (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 公司製）者。 PGMEA :丙二醇甲基醚乙酸酯 TEA :三乙醇胺 TMMEA ··三甲氧基甲氧基乙基胺 TMEMEA :三甲氧基乙氧基甲氧基乙基胺由表2之結果得知，本發明之光阻材料對於KrF等離子雷射之曝光，具有更高之感度與解像度。 [實施例ΙΠ] 對本發明之光阻材料，評估其使用ArF等離子雷射曝光之解像性。 [實施例111-1、2]光阻解像性之評估與上記栢同方法般，依表3內容組成內容製作光阻材料。經濟部智慧財產局w工消費合作社印¾ 將所得光阻溶液以旋轉塗佈方式塗佈於經90°C、90 秒間六甲基二矽胺烷噴霧處理所得之矽晶圓上，再將此砂晶圓進行110 °C、90秒之熱處理，使其形成厚度0.5// m 之光阻膜。其後藉由ArF等離子雷射處理器（理光公司， NA = 0.55)進行曝光，再於110°C、90秒下進行熱處理後，於2.38%之四甲基銨氫氧化物水溶液中進行60秒顯影，以製得線路空間爲1 : 1之圖型。將顯影完成之晶圓切本纸張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） -82- 544455 A7 B7 五、發明説明（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 斷，使用截面SEM (掃描型電子顯微鏡）進行觀察，以 0.25//m線路空間爲1: 1解像度的曝光量（最佳曝光量 ·· Eop，mJ/cm2)中所可分離之空間線路之最小線寬（# m )作爲評估光阻之解像度。各光阻之組成及評估結果如表3所示。 [表3] 貢施例榭脂酸產生劑緘性化合物溶劑最適當曝光量 mj/cm2 解as μπ> 形状 III-1 Polymer 6 ⑽ PAG 1 ⑴ TEA (0. 063) PGWEA (480) 17.0 0.16 III-2 Polymer 6 (SO) PAG 2 ⑴ TMMEA (0. 113) PQ.1EA (4S0) 1S.0 0.15 括弧內爲添加量（重量份）經濟部智慧財產局員工消費合作社印^ 又，表3中，溶劑及鹼性化合物之說明則如下記內容。又，溶劑係使用含有0.01重量％之FC-430 (住友3M 公司製）者。 PGMEA :丙二醇甲基醚乙酸酯 TEA :三乙醇胺 TMMEA:三甲氧基甲氧基乙基胺由表3之結果得知，本發明之光阻材料對於ArF等離子雷射之曝光，具有更高之感度與解像度。本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) -83-

Claims

544455 1a ' 範圍種下式（1)所示之醚化合物，

~-r—or3 r2o’ 7^η (式中’ R1爲氫原子、或碳數i至6之直鏈狀、支鏈狀或環狀院基；R2爲碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基 ;R3爲氫原子、或碳數1至15之醯基或烷氧羰基，其結構碳原子上氫原子之一部份或全部可被鹵素原子所取代； k爲0或l，m爲〇至3，11爲3至6之整數）。 2' -種重量平均分子量爲1，〇〇〇至5 00,000之高分子化合物，其特徵爲，含有上記式（1)所示醚化合物爲原料之下記式（1·1)或（1-2)所示重複單位者， --------·裝-- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

r2o r2〇 (式中，k、m、R1至R3具與上記相同之意義）。 3、如申請專利範圍第2項之高分子化合物’其中’ 如上式（1 · 1 )所示重複單位以外，尙含有下記式（2-1 ) 本紙浪適用中國國家搮準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 544455 A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍所示重複單位者，

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (式中，k具有與上記相同之意義；R4爲氫原子、甲基或CihCChR6 ; R5爲氫原子、甲基或CChR6 ; R6爲碳數1至 15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基；R7爲酸不穩定基；經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R8爲鹵素原子、羥基、碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧基、醯氧基、烷磺醯氧基，或碳數2至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧羰氧基或烷氧烷氧基，其結構碳原子上之氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代；Z 爲單鍵或碳數1至5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之（P + 2) 價烴基，爲烴基之情形中，其1個以上之伸甲基亦可被氧原子所取代而形成鏈狀或環狀之醚，同一碳原子上之2個氫原子亦可被氧原子取代而形成酮；P爲〇、1或2)。 4、如申請專利範圍第2項之高分子化合物，其中，上式（1-1)所示重複單位以外，尙含有下記式（2-1)與式（3 )所示重複單位，本纸浪只LA速用中國國家梂準（CNS ) A4规格（210x297公兼） 544455

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (式中，2、1：、1)、1^至1^具有與上記相同之內容，丫爲氧原子或NR9 ’ R9爲碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基）。 5、如申請專利範圍第2項之高分子化合物，其中，上式（1-1)所示重複單位以外，尙含有下記式（4)所示重複單位’或下記式（4 )所示重複單位與下記式（2-1 ) 所示重複單位，及下記式（3 )所示重複單位，

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，Y、Z、k、p、R4至R9具有與上記相同之內容）〇 6、如申請專利範圍第2項之高分子化合物’其中，上式（1-2)所示重複單位以外，尙含有下記式（2·2)所示重複單位，本纸張只逍用中困國家梂率（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）一 86 " 544455 A8 B8 C8 D8 (2-2) 中請專利範圍 _!一 -(Re)〇 OR， (式中，Z、k、p、R4至R8具有與上記相同之內容）。 7、一種光阻材料，其特徵係含有申請專利範圍第2 至6項中任一項之高分子化合物者。 8、一種圖型之形成方法，其特徵係包含將申請專利範圔第7項之光阻材料塗佈於基板上之步驟與，於加熱處理後介由光罩使用高能量線或電子線進行曝光之步驟與，必要時於加热處理後使用顯影液進行顯影之步驟。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財1局員Η消費合作社印製