TW519712B - Correcting method of handler test arm and its adjustment fixture - Google Patents

Description

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五、發明說明（1) 本發明係有關於一種取置機測試手臂之校正 調整治具，尤指一種作為該測試手臂之水方法及其 Θ J卞才父正及盆射位 之調整治具，以及利用該調整治具之校正方法。八 按，取置機測試手臂（Handler Test Arm)係為一種 用以吸取積體電路（I C )至測試基板上作檢測之機具； 如第一圖及第二圖所示，習知的測試手臂1 a係具有一可 於平台2 a上作水平及垂直方向位移之基座1 〇 a ，及一 用以吸取積體電路（圖略）之取置頭1 1 a ，且該取置頭 1 1 a係藉由其上方兩側之扣具1 2 a扣合於基座1 〇 a 相對應之下方兩側處，以組成該測試手臂1 a之使用型態 另，為便於該基座1 〇 a與取置頭1 1 a的組裝，以 及使組裝後的測試手臂1 a更為穩固，該測試手臂1 a係 於其基座1 0 a與取置頭1 1 a之間至少設有兩組凹、凸 相配合之對位結構1 3 a，而每一組對位詰構1 3 a則包 含一凸設於基座1 〇 a底面之定位柱1 4 a與一凹設於取 置頭1 1 a頂面之定位孔1 5 a ，如此，當取置頭1 1 a 之扣具1 2 a尚未與基座1 〇 a扣合時，係可先利用該基 座1 0 a之定位柱1 4 a嵌入取置頭1 1 a之定位孔1 5 a中，以確認兩者之相對位置後，再行扣合組裝。 再者’上述習知的測試手臂1 a在檢驗積體電路（圖 略）時，係須先與鎖設於平台2 a上之測試基板2 0 a作 對位工作；如第二圖及第三圖所示，該測試基板2 0 a上 具有一座體2 1 a，座體2 1 a上設有一玎供積體電路（

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五、發明說明（2) 圖略）容置之力 a之兩相對的售 孔2 3 a内分另 手臂1 a之取] 於該框體1 6 3 a相對應的； 藉由操作者以 兩校正孔2 3 測試手臂1 a 以完成對位之 惟，由於 至測試基板2 a之底面1 8 該積體電路（ 錄之座標位置 至座體2 1 a 若該取置頭1 測試手臂1 a 損，故仍需調 置頭1 1 a之 積體電路（圖 上，皆僅依靠 量具或器具作 测試手臂1 a < Γ形置故空間2 2 a ，於近該置放空間2 2 ί角處上穿設有校正孔2 3 a ，又於兩杈正 4固設有—塑性護套2 4 a ，另，於該測試 I頭11 a下方外圍嵌固〆框體16a ，並 a上分別穿設有與座體21a之兩校正孔2 k正桿1 7 a ;如此，該測試手臂1 a係可 手動方式，將兩校正桿1 7 a調整至可穿入 a之護套2 4 a中的情況下，再藉由操控該 之控制系统（圖略）記錄此時的座標位置， 工作0 〇 月丄a在將積體電路i圖略）吸月 1上作檢測工作時，係利用其取置頭1 : 同二^體電路（圖略）相貼附後吸取，再另 圖略）移私P I* ， 勒主上述進行對位工作時電腦所1 之番二Γ移動以將該積體電路（圖略）下々 1 a ^ . d 2 a内，以進行測試；然而 水平狀態時，貝“ 整該測試手臂^ (圖略）~有可能因此而$ 底面1 “保持：J基座10 a使其能令耳 略），·但是，習A千，以避免損壞受檢測以 操作者以肉眼“：測：：：1 a在此調崔 為校正之依據，妙 而…、利用其它客觀的 ί乃有i?夕$ , 故M此種調整方式為之，令 (乃有或多或少的誤差 ：為之，該 牡對其是否能符合 仍有待商榷。 、是以，由上可知，上述習知調 式，在實際使用上，顯然不具客觀 度要求，而可待加以改善者。 緣是，本發明人有感上述缺失 究並配合學理之運用，終於提出一 五、發明說明（3) 較兩精確度之標準 上述缺失之本發明。 整取置機測試手臂的方 且不能達到較高之精確 之可改善，乃特潛心研 種設計合理且有效改善 本發明之主要 ^ J攸供一種取置機測續、主Μ 吸法及其調整治*，其係為解缺習知的測試；ί: =體電路時並無法確保其是否為-水平狀態，故 的”下，、ϊ免會損壞受檢測之積體電路因 哕測1丰辟里具或益具作為校正之依據，並同時完成 口系測蜮手臂之對位工作， 丁凡成 序。 咸車二才呆作者的負擔及繁複的程 、另，上述之步驟更可包括步驟（d 試手臂之控制系統記錄此時的座 之工作。 i 為了達成上述之目的， 手臂之校正方法，其步驟如 之調整治具置於測試手臂的 试手臂之基座與調整治具之 來量測兩者貼平時之密i度 ’以完成水平之校正工作。 本赉明係提供一種取置機測試 下· （a)提供一具有平整面 基座與平台之間；（b )使測 平整面貼平；（c )利用量規 ’直至基座完全與平整面密著 再藉由操控該測 以同時完成對位 為了達成上述之目的 本發明係提供一種取置機測試 519712 五、發明說明（4) 手臂之調整治具，其係用以校正測試手臂而使其得以保持 水平狀悲，並同叶與鎖設於平台上之測試基板作對位，該 調整治具係包括一本體及至少一第一對位結構；其中，該 本體之頂部呈一平整面，作為水平之校正，而該第一對位 結構則設於該平整面上，並與測試手臂基座之第二對位結 構相配合，以供該測試手臂對位，進而達成上述之目的者 了使 貴審查委 容，請參閱以下 圖式僅提供參考 〇 參閱第五圖及第 及置於測試手臂 一種取置機測試 其得以保 員能更進一步瞭解本發明之特徵及 有關本發明之詳細說明與附圖，然 與說明用，並非用來對本發明加以 板（圖略 少一第一 0可呈一 精密度， 整面3 2 可將該测 圍内；另 設孔3 3 以鎖設測 為 技術内 而所附 限制者 請 立體圖 係提供 試手臂 2上之 本體3 該 ，具有 言，若 差量， 之水平 設有多 (即平 1而使 測試基 0及至 本體3 較高之 將該平 通常都 誤差範 數個鎖 台2用 六圖， 與平台 手臂之 持水平 )作對 對位結 扁狀板 並可作 之真平 試手臂 ，該本 ，以將 試基板 係分別 之間之 調整治 狀態， 位；該 構3 1 體，其 為水平 度控制 1調整 體3 0 該本體 之位置 為本發明 分解示意 具，其係 並同時與 調整治具 ;其中： 頂部為^一 校正之基 在〇· 01 mm 至其檢測 上亦可配 3 0鎖設 處）；而 調整治具之 圖。本發明 用以校正測 鎖設於平台 3係包括一 平整面3 2 準，舉例而 或更小之誤 時所能容許 合平台2而 於平台2上 上述第一對

第7頁 519712 五、發明說明（5) 位結構3 1即設於該平整面3 2上，該第一對位結構3 係用以與測試手臂1之基座1 0上凸出的第二對位結構工 1相配合’以作為該测試手臂1之對位基準。 該第一對位結構3 1直少包含兩定位孔3 4，並可於 孔之外緣施以倒角，該兩定位孔3 4係分別與基座2 〇 / …（即凸出之第二對位結構1 1)相對】 增設為多數個，⑽，即可供ΐ; (圖略）時，使二正及對位，亚得以於檢驗積體電路 效率。…測試手臂1同時作檢驗，以提高工： 設一=以=可：兩；：孔34之間的中央處增 基座10底二處圖測 圓，1 3與圓形件3 5之配：：先，故 可順利嵌入定位孔^ i f基座^ 〇，以使其兩定位柱丄2 便利性；•而，若於該本操作者作對位工作時之 件3 5，則在製造上=%塑 平整面3 2凸起該圓形 不易加工或精宓 ^ ^整面3 2精密度而使其 形之螺栓，^ 形件3 5可為-栓頭呈圓 于、住以螺設於本體3 0上。 κ_ 又’如第五圖A所示，該兩定 ;橢圓形者，〜此，當測試手臂丄之==之-係可 具3作對位時，若定位孔3 4與定；該調整治 '议枉1 2配合之裕度尺 第8頁 519712 五、發明說明（6) __ =過:巧情況下，則仍可藉由呈 柱：】較7嵌入，故亦可提供操作者在對二^ = = 之精度係須相當精準，以避免ί 疋藉由上述之構造組成，即可得到本gg & 測試手臂之調整治具。 1』仟刻不毛明取置機 敕、A :罢閱第八圖、第七圖及第八圖，係分別為本笋B月1 整治具置於測試手臂與平台 毛月调 示意圖及組合示意圖。本發明係提機 之校正方*，其係利用上述 试手臂 試手臂i之目I該校正方法之二來達到权正該測 (a )將上述具有平整面3 2之調整治具3，由平台 2之：方向上頂入，並使該調整治具3上之該等鎖設孔3 3與平台2相配合’再藉由該等鎖設元件2 ◦分別穿入鎖 設Ί ^ ί穩固鎖設，以令該調整治具3置於該測試手臂 1的基座1 〇與平台2之間； (b)利用手動的方式移動該測試手臂丄，以令其基 座1 0上之兩定位柱1 2分別嵌入該調整治具3 位 ”二;並使該測試手臂1之基座1 〇與調整治且3之 平整面3 2貼平； /口 〃 〇 量 不之校正 ^ C ^ 一邊利用s規3 6來量測基座丄 2貼平時其外緣之密著I 邊調整該測試手臂工：誤差 ’直至基座10完全與平整面32密著為止 匕校正工作；另，該量規36係為厚薄規，而上：該基 五、發明說明（7) 座10與平整面32所謂之、 是否能插入基座1 〇鱼平敕^ ，係以該厚薄規之量測端 是否密著；舉例來說Ϊ若=旦2之間的細縫，來確認其 測，當厚薄規可插入時，自二’則端為〇 · 1 mm之厚薄規來量 呈密著狀態，反之，告户卩^不此細缝仍大於0. lmm而未 :與平整面3 2之密；；果以插入時，則表示基座1 有較佳之可信度； 仔知各觀之數據相較，顯然已具 (d )再藉由操控該測試 記錄此時的座標位w，+ ’ 1之控制糸統（圖略） 因此，藉由上述之步、：同ff成對位之工作。 到校正測試手臂1之目的，P可利用該調整治具3來達 平台2上之測試基板（圖略：：：”該測試手臂1與 以肉眼判斷且無客觀標準等之缺& I作’以改善習知僅 標準並減少被檢測之積體電、〇，進而符合較高之精度 再者，如第九圖(圖略> 的損壞。 、、么且另奋M " 圖所不’係分別為本發明調整 /口具另一貫施例之立體圖及晉 測狀態示意圖，其中，】臂與平台之間之量 並使平整面32形成於該=ΩοΠ; 一凸字型塊體， ♦篮d 〇呈凸字型之上方部位的 : 頁部，而該等鎖設孔33則設於本體30呈凸字=下方 =η’如此之設計’係為避免部份之平台2機種 因其檢驗位置較低’故不利於操作者以量規3 6校正之， 該本體3 0呈-凸字型者，以使其平整面3 2位於 較尚處，而可便於操作作進行校正工作。 (8) 明説明（8， 綜上所述，本發明確可達到預期之使用目的，而解決 習知之缺失，又因極具新穎性及進步性，完全符合發明專 利申請要件，爰依專利法提出申过 專Ί保障料者之權=申”，破料查並賜准本案 拘限本蘇上所述僅為本發明之較佳可行每浐4丨 内容i明之專利範圍，故舉凡運：：：非因此即 人:為之等效變化，均，本杳明說明書及圖式 〇予陳明。 白包含於本發明之範圍内， 519712 圖式簡單說明 第一圖 係習知測試手臂之分解示意圖。 第二圖 係習知測試手臂之使用狀態示意圖。 第三圖 係習知測試基板之俯視圖。 第四圖 係習知測試手臂之基座俯視圖。 第五圖 係本發明調整治具之立體圖。 第五圖A 係第五圖之A部份放大詳圖。 第六圖 係本發明調整治具置於測試手臂與平台之 間之分解示意圖。 第七圖 係本發明調整治具置於測試手臂與平台之

間之量測狀態示意圖。 第八圖 係本發明調整治具置於測試手臂與平台之 間之組合示意圖。 第九圖 係本發明調整治具另一實施例之立體圖。 第十圖 係本發明調整治具另一實施例置於測試手 臂與平台之間之量測狀態示意圖。 符號說明： 【習知】 la 測試手臂 l〇a 基座 12a 扣具 14a 定位柱 16a 框體 18a 底面 11a 取置頭 13a 對位結構 15a 定位孔 17a 校正桿

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Claims (1)

1. 519712 的 臂 :手 下試 如測 驟於 步置 其具，'Α/α 法整 方調 正之 校面 之整 臂平 手有 試具 測一 機供 置提 圍取 } ^a1J JnJ^ 專一 請 中、、1 六 a ;具 平治 貼整 面調 整與 平座 之基 具之 治臂 整手 調試 與測 •，座該 間基測 之之量 厶口臂來 平手規 與試量 座測用 基使利 x)y N)y be 平 與 全 完 座。 基作 至工 直正 ，校 度之 著平 密水 之成 時完 平以 貼， 面著 整密 平面 之整 正向 校方 之下 臂之 手台 試平 測由 機係 置具 取治 之整 述調 所之 項} T—Ia 第C 圍驟 範步 利中 專其 請， 申法 如方 正試 校測 之該 臂動 手移 試式 測方 機的 。置動 上取手 台之用 平述利 該所係 於項} 設1 b 鎖第C 固圍驟 穩範步 以利中 ，專其 入請， 頂申法 上如方 正 校 之 臂 手 試 測 機 置 。取 平之 ¾过 面所 整項 平1 與第 能圍 座範 基利 其專 使請 臂申 手如 4 }項 C 4 C第 驟圍 步範 中利 其專 ，請 法申 方如 )細 C的 C間 驟之 步面 中整 其平 ，與 法座 方基 之所之缝 正 校 之 臂 〇 手 規試 薄測 厚機 為置 係取 規之 量述 入整 插平 能與 否否 是是 端座 測基 量該 之認 規確 薄來 厚 ， 著基 密示 呈表 未Sc 示， 表中 即缝 ，細 中入 ttfTr 鏈插 細法 入無 插規 可薄 規厚 薄該 厚若 該， 若之 ;反 著， 密態 面狀 正 校 之 臂 手 試 測 機 置 取 之 。述 態所 狀項 著1 密第 呈圍 已範 面利 整專 平請 與申 座如 整 平 與 座 基 測 量 以 用 係 規 量 。 之度 }著 C密 C之 驟緣 步外 中其 其時 ，平 法貼 方面

   第14頁 519712 六、申請專利範圍 — 7、如申請專利範圍第丄項所述之取置機測試手臂之校正 方法其中更包括步驟（d )再藉由操控該測試手臂 之控制系統記錄此時的座標位置，以同時完成對位之 工作。 8 種取置機測試手臂之調整治具，用以置於測試手臂 基座與平台之間，包括： 本體’頂部呈平整面，作為水平之校正；及 一第一對位結構，設於該平整面上，並與測試手臂基 座之第二對位結構相配合，以供該測試手臂對位。 9、如申請專利範圍第8項所述之取置機測試手臂之調整 /σ具，其中該本體係呈一扁狀板體。 1 0、如申請專利範圍第8項所述之取置機測試手臂之調 正m具，其中該本體上係設有多數個鎖設孔。 1 1、如申睛專利範圍第8項所述之取置機測試手臂之調 具，其中該本體係呈一凸字型塊體，且該平整面 係形成於该本體呈凸字型之上方部位的頂部 1 2 :如申請專利範圍第1 1項所述之取置機測試手臂之 凋整治具，其中該本體呈凸字型之下方部位的邊緣處 係設有多數個鎖設孔。 1 3、如申請專利範圍第8項所述之取置機測試手臂之調 整治具’其中該本體之平整面係具有誤差值控制在 〇-〇lmm之真平度。 1 4、如申請專利範圍第8項所述之取置機測試手臂之調 整治具’其中該本體之平整面係具有誤差值較小於

   第15頁 519712 六、申請專利範圍 0 · 0 1 mm之真平度。 1 5、如申請專利範圍第8項所述之取置機測試手臂之調 整治具，其中該第一對位結構至少包含兩定位孔，且 測試手臂基座之第二對位結構亦至少為兩定位柱。 1 6、如申請專利範圍第1 5項所述之取置機測試手臂之 調整治具，其中該兩定位孔其中之一係呈橢圓形者。 1 7、如申請專利範圍第1 5項所述之取置機測試手臂之 調整治具，其中該兩定位孔之間的中央處係增設有一 凸出之圓形件。

   1 8、如申請專利範圍第1 7項所述之取置機測試手臂之 調整治具，其中該圓形件係為一栓頭呈圓形之螺栓， 以螺設於本體上。 1 9、如申請專利範圍第8項所述之取置機測試手臂之調 整治具，其中該第一對位結構係增設為多數個。 2 0、一種取置機測試手臂之調整治具，用以置於測試手 臂基座與平台之間，且該測試手臂基座之底面至少設 有兩定位柱，而該調整治具包括：

   一本體，頂部呈平整面，作為水平之校正；及 至少兩定位孔，設於該平整面上，並分別與測試手臂 基座之兩定位柱相嵌合，以供該測試手臂對位。 2 1、如申請專利範圍第2 0項所述之取置機測試手臂之 調整治具，其中該本體係呈一扁狀板體。 2 2、如申請專利範圍第2 0項所述之取置機測試手臂之 調整治具，其中該本體上係設有多數個鎖設孔。

   第16頁 519712 六 2 2 申凊專利範圍 3 :，申請專利範園第2 〇項所述之 。周正治具，其中該本體係呈—凸 ’滴J試手臂之 面係形成於該本體呈凸字型之上方邮/體，且該平整 4、如申請專利範圍第23項所述部。 :周整治具，其中該本體呈凸字斤夠試手臂之 係投有多數個鎖設孔。 #位的邊緣處 5 、如申請專利範圍第2 〇項 調整治具，I + 11之取置機：測試手臂之 ulmm^真體之平整面係具有誤差值控制在 調敕、、Λ二專利範圍第2 0項所述之取置機測試手臂之 η Π1 U ^ 其中該本體之平整面係具有誤差值較小於 O.Olnun之真平度。 7:t申請專利範圍第2 〇項所述之取置機測試手臂之 "周整治具’其中該兩定位孔其中之一係呈橢圓形者。 8 :如申請專利範圍第2 0項所述之取置機測試手臂之 "周整治具’其中該兩定位孔之間的中央處係增設有一 凸出之圓形件。 9、如申請專利範圍第2 8項所述之取置機測試手臂之 调整治具’其中該圓形件係為一栓頭呈圓形之螺栓， 以螺設於本體上。