TW477884B - Chemical liquid valve - Google Patents

Description

477884 五、發明說明（1) 發明所屬技術領域 本發明係有關於在半導體製造裝置使用之藥液閥，更 詳而言之係有關於可用純水沖洗殘留於藥液閥中之藥液之 藥液閥。 h 習知技術 習知在半導體製程使用之藥液上大量使用鹽酸、氟氫 酸、磷酸、氨等具有腐蝕性的，使用利用具有耐腐蝕性之 PTFE等樹脂所形成之藥液閥。 在此’為了半導體製程之維修作業，會拆下藥液閥。 那時’在維修之前需要預先排除殘留於藥液閥之内部之藥 液。因而’ 一度用氮氣等惰性氣體排除藥液後，再用純水 沖洗殘留附著於壁面之藥液。 具體而言，將藥液閥之輸出通口分支成2條流路後， 將和輸出側連接，將另一方經由純水閥和純水供給源 及氮氣供給源連接。然後，在藥液閥之供給完了而藥液閥 關閉後’首先打開純水閥，供給輸出通口側氮氣，接著打 開純水閥，使純水流向輸出通口側，用純水沖洗殘留附著 於壁面之藥液。 可是’因自純水閥所供給之純水由輸出通口自下游之 分支點再流向下游，有用純水無法沖走自分支點至藥液閥 之閥孔為止之間之殘留於流路壁面之藥液之問題。 在用以解決該問題之裝置上，自習知。 例如，在特開平10_29991 4號公報所提議的，如圖5所

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洗 :用直^線堪式之閥103，在輸出側流路101直接焊接 乎用閥5之輸出流路4。 叶接 改二，據之，因可使純水直接流向間1 〇 3之輸出側流 路’預料洗淨效果大。 發明要解決之課題 可是’在習知之特開平1 0 —299 9 1 4號公報記載之 有如下之問題。

(1) 為了用純水置換殘留於輸出流路内之藥液，不得 不以輸出流路為中心使閥丨〇 3和閥丨〇 5成為對稱之位置關 係。因而，閥1 〇 3、輸出流路以及閥丨〇 5直接連接，直線長 度變長，有需要大的空間之問題。 、 近年來在半導體製造裝置，隨著逐片處理化等，進行 半導體製造設備之小型化、氣體供應裝置之聚集化等。因 此，需要大的空間之該裝置有和該要求反其道而行之 題。 。 (2) 利用閥1 〇 5所供給之純水一般目的不僅要除去殘留

附著於閥1 0 3之輸出流路之壁面之藥液，而且也要沖洗殘 留於在下游所設置之配管之壁面之藥液。可是，在特開平 1 0-2999 1 4號公報記載之發明，因自閥1〇5供給之純水碰撞 1¾膜1 0 6 ’所供給純水之動能大為減少，有無法完全除去 殘留於下游配管之壁面之藥液之問題。又，雖可花長時間 用純水沖洗藥液，但是消耗額外的純水，有費用高丨張之問 題。 "

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五、發明說明（3) (3 )在半導體之製程設備之定期 ;:門：修擔當者在使氣氣流動時和 關純水手動間之作業很㈣，令維修之作業效率顯夸 水，ΐ::π:?在於提供一種藥液閥，使用少量之純 用、、、屯水迅速沖洗殘留於藥液閥内之藥液。 解決課題之手段 之構i 了解決上述之課題，本發明之藥液閥具有如下所示 切斷(ϋ具有形成了用以將輸人通σ和輸出通口連通· 和純水輸入通口、鱼、s . . ",J 、口、將輸出流路空間 之純水閥座，（2)呈1^之/ ^ jfL路以及設於該純水流路途中 體。 （）〃有和純水閥座碰觸或分開之純水閥 若依據具有上述構造雖 流入輸出流路空間，因純水自純水闕直接 路、iiir 於藥液閱内之藥液。又，因純水流 習知純水輸入通口和閥本體塊形成一體，和 樂二閥相比’可將藥液閥之尺寸小型化。 形’該輪出流路空間在該閥：之f卜：徵在於該閥體係圓筒 之外周圍形成，在該輸出通

HH $ 6頁 477884 五、發明說明（4) 口和該純水輸 因自在圓 一方供給之純 輸出，可高效 液。又’輸出 途中之障礙物 抑制成最低限 之藥液。因而 (3)在（1) 閥係引導閥， 該閥本體塊。 入通口相向之位置和該輪出空間連通。 筒形之閥體之外周所形成之輸出流路空間之 水自設於輪出流路空間之相向位置之連通孔 率的用純水沖洗殘留於輪出流路空間内之筚 通口和純水輸入通口位於相向之位置，因係 係圓筒形，可將所供給之純水之動能之減少 度，可在短時間沖洗殘留附著於下游配管壁 ’可降低消耗之純水量，可降低費用。 或（2 )所§己載之藥液閥’其特徵在於該藥液 用以驅動該純水閥體之純水引導閥直接裝在 因在閥本體之側面將純水引導閥和閥本體直接裝成一 體，可將藥液閥整體小型化。還因使用純水引導閥，在開 始維修半導體製程時，因作業員無進行個別作業之工作， 可提高維修之作業效率。 〃 ^(4)在（1)或（2)所記載之藥液閥，其特徵在於該藥液 渴係手動閥，用以驅動該純水閥體之純水手動閥直 該閥本體塊。 、 因在閥本體之側面將純水手動閥和閥本體 —體’可將藥液閥整體小型化。 ^ 發明之實施例 八每參照圖面詳細說明本發明之藥液閥之實施例。圖1表 不實施例1之藥液閥1之中央剖面圖，圖2表示圖i之平面

477884 五、發明說明（5) 圖0 藥液閥1大致由下部塊19、中央塊11以及手動閥部2構 成。其中中央塊11和下部塊丨9構成藥液閥1之閥本體。下 部塊19利用螺栓固定於基板32。在藥液閥1，設想鹽酸等 酸類，下部塊19、中央塊11之材質使用PET。使用光阻液 等時，可採用不銹鋼製。 在下部塊1 9形成藥液之輸入流路3 3。在中央塊11自下 面朝上並和輸入流路33連通的形成圓孔形之輸入流路18。 輸入流路1 8構成藥液用閥孔。

在輸入流路1 8之上有段差，形成係圓柱形之空間之輸 出流路空間14。在該段差部形成閥座17。輸出流路空間^ 在圖中左側和輸出流路16連通。又，輸出流路16之18〇度 反側和純水流路26連通。該純水流路26構成純水閥孔。夂在 純水流路26形成段差部，在段差部形成純水閥座28。 在輸出流路空間14之中心，保持成隔膜閥體15對於 座17碰觸或可分開。隔膜閥體15在中央具備圓筒形之 2，隔膜部之外周被中央塊丨丨及隔膜固定塊2〇夾住而固 定。在隔膜閥體15之上端面中心固設第一軸心21。又， 第一軸心21固設第二轴心22。 任

隔膜固定塊20利用手動閥下部塊12裝在中央塊u 手=:部塊12之上部之外周形成外螺紋。手動 =螺㈣合。利用手動閱調整紐13， ; ===縮彈簧24將隔膜閥體15向閥座17偏壓之狀離安; 在手動閥下部塊12及隔膜固定塊20形成排氣孔23.::

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在純水流路2 6之段差部 座28碰觸或可分開。。又， 入通口 27連通。純水輪入通 及氮氣供給源連接。 將純水閥體29保持成和純水閥 純水流路26之段差部和純水輸 口 2 7經由切換閥和純水供給源 又，在中央塊11固設隔膜固定塊3〇。在隔 孔形成，紋，和在外周形成了外螺紋之純水：心。 W螺合。又，在純水軸心31固定純水閥體29。 其次說明具有上述構造之藥液閥丨之作用。 藥液閥1在半導體生產線用作供給鹽酸等藥液之主

時斜亥樂液之情況，令手動閥調整鈕13朝z 向轉動，令壓縮彈簧24將隔膜閥體15向閥座17偏月 2 H然後，利用供給輸人流路18之藥液之壓力將& 二=15壓向上方，輸入流路18和輪出流路16就連通，^ 液自輸出流路1 6供給下游。 ^生產線不使用藥液之情況，令手動閥調整鈕13朝順 寺=方向轉動’令壓縮彈簧24將隔膜閥體15向閥座17偏壓 =力増加。然後，將隔膜閥體15壓向閥座，切斷輸入流路 1 8和輸出流路1 6之連通。

而，在維修半導體生產線時，當然利用手動閥調整鈕 設隔膜閥體15碰觸閥座17之狀態。在該狀態，令純水軸 、朝反時針方向轉動，令純水輸入通口 2 7和純水流路2 6連 通然後，利用圖上未不之切換閥將氮氣自氮氣供給源注 入輸出流路空間14内。因而，將輸出流路空間14内等之藥

第9頁 五 發明說明（7) 液自輸出流路1 6推出外部。 了疋在輸出流路空間1 4 Α γ 其次，利用切換闕供二殘9留7附著藥液。 之純水直接流入輸出流路空^輸純水。所供給 藥液。 了用純水迅速沖洗殘留於藥液閥i内之 又，自在圓筒形之隔膜閥體 路空間14之一方供給之绅k 之外周所形成之輸出流 相向位置之輪出法政丨β私/，因自設於輸出流路空間1 4之 於輸出流路空之華：出而的用純水沖洗殘留 形，可將戶二ί 中之障礙物之隔膜閥體15係圓筒 Ζ將所供a之純水之動能之減少抑制 在短時間沖，殘留附著於下游配管壁之藥液。- 如以上詳細之說明所示，若依據本實施例之藥液閥 1)在閥本體，在輸入流路i 8之輸出側附近所形成之 ^机路玉間1 4、純水流路2 6、將輸出流路空間1 4和純水 序j入通口 27連通之純水流路26以及設於純水流路26中途之 純水閥座28和係閥本體塊之中央塊丨丨形成一體，（2)因具 有和和純水閥座28碰觸或分開之純水閥體29，純水自純水 闕直接流入輸出流路空間丨4，因沖洗殘留於輸出流路空間 1 4之樂液’可用純水迅速沖洗殘留於藥液閥1内之藥浪。 又因在中央塊11形成純水流路2 6、純水閥座2 8以及純水 輸入通口 27，和習知之藥液閥相比，可將藥液閥之尺寸小 型化。

第10頁 477884 五、發明說明（8) 又’若依據本實施例之藥液阳’因隔膜閥體15係圓 肩形，在隔膜閥體15之外周圍形成輸出流路空間u，在纯 水流路2 6和輸出流路i 6相向之位置和輪出流路空間“連’ 通，自在圓筒形之隔膜閥體15之外周所形成之輸出流路空 間1 4之厂方供給之純水自設於輸出流路空間丨4之相向位置 之輸出流路1 6輸出’可高效率的用純水沖洗殘留於輸出流 路空間14之藥液，而且輸出流路16和純水流路⑼位於相向 之位置，因途中之障礙物係圓筒形，可將所供給之純水之 動能之減少抑制成最低限度，可在短時間沖洗殘留附著於 配管壁之藥液。因而，可降低消耗之純水量，可降低 又，若依據本實施例之藥液閥丨，因藥液閥丨係手動 闕’用α驅動純水閥體29之純水手動閥直接裝在係闕本體 塊之一部分之中央塊11，可將藥液閥i整體小型化。 其次說明本發明之實施例2之藥液閥3 ’因藥液閥3之 基本構造和藥液Pm目同’只說明相異，點’對於 省略說明。 第-才目異點係藥液閥3利用引導閥部4驅動隔膜閥體 1 5。第二個相異點係藥液閥3利用引導閥驅動純水 29 〇 說明引導閥部4之構造。在引導閥塊49之内側形成缸 室51，將活塞49保持成可滑動。在活塞49之下端固設隔膜 閥體15之上端。活塞49利用壓縮彈簧46向下方偏壓。在缸 室51之活塞49之兩側形成驅動空氣通口 47、48。 477884

抬其次說明純水閥之構造。在中央塊11之側面固設純水 鬼53。該純水塊53也構成閥本體之一部分。在純水塊之内 :!形成缸室52。在缸室52，將活塞41保持成可滑動。在活 ^之左端固设純水閥體2 9之右端。活塞41利用壓縮彈簧 向左方偏壓。在缸室5 2之活塞4 1之兩側形成驅動空氣通 σ 43、44。 一其次說明藥液閥3之作用效果。藥液閥3和藥液閥1不 同’藉著供給驅動空氣通口 47驅動空氣令活塞49移動，因 移動隔膜閥體1 5，作業貝不必進行逐一作業而便利。 又，維修時，藉著供給驅動空氣通口 44驅動空氣令活 塞4 1移動，因令純水閥體2 g移動，作業員不必進行逐一作 業而便利。 若依據藥液閥3，因用以驅動純水閥體2 9之純水引導 閥在係閥本體塊之中央塊11直接裝成一體，可將藥液閥3 整體小型化。此外，因使用純水引導閥，在開始進行半導 體製程之維修時，因無作業員進行個別作業之工作，可提 高維修之作業效率。 以上詳細說明了本發明之藥液閥，但是本發明未限定 為上述之實施例，可進行各種應用。

例如，在本實施例，將純水流路26及輸出流路1 6設於 比輸出 路空間1 4之中心下側，但是將兩者設於隔膜部之 附近也可。 又’在本實施例，因在和輸出流路1 6連接之接頭上設 想了多種尺寸之接頭，將隔膜閥體丨5之圓筒部之長度加

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鼠氣後 用 長，但是也可縮短隔膜閥體15之圓筒部之長度 又，在本實施例，在排除藥液時首先供二 水沖洗，但是一開始利用純水置換也可。 發明之 若 口和輸 開之閥 之該輸 將輸出 該純水 分開之 間，沖 殘留於 純水輸 比，可 又 流路空 通口相 外周所 流路空 洗殘留 入通口 將所供 依據本發明之 出通口連通之 體之藥液閥， 出通口附近形 流路空間和純 流路途中之純 純水閥體，因 洗殘留於輸出 藥液閥内之藥 入通口和閥本 將樂液閥之尺 ，若依據本發 間在該閥體之 向之位置和輸 形成之輸出流 間之相向位置 於輸出流路空 位於相向之位 給之純水之動 藥液閥，（1)係具有形成了將輸入通 閥座之閥本體塊及與該閥座碰觸或分 因（1)在閥本體塊一體形成在該閥座 成之輸出流路空間、純水輸入通口、 水輸入通口連通之純水流路以及設於 水閥座’（2)具有和純水閥座碰觸或 純水自純水閥直接流入輸出流路空 流路空間之藥液，可用純水迅速沖洗 液。又，因純水流路、純水閥座以及 體塊形成一體，和習知之藥液閥相 寸小型化。 明之藥液閥，因閥體係圓筒形，輸出 外周圍形成，在輸出通口和純水輸入 出空間連通，因自在圓筒形之閥體之 路空間之一方供給之純水自設於輪出 之連通孔輸出，可高效率的用純水沖 間内之藥液。又，輸出通口和純水輪 置，因係途中之障礙物係圓筒形，可 能之減少抑制成最低限度，可在短時

第13頁 477884 五、發明說明（11) 間沖洗殘留附著於下游配管壁之藥液。因而，可降低消耗 之純水量，可降低費用。 圖式簡單說明 圖1係表示本發明之實施例1之藥液閥1之構造之剖面 圖。 圖2係藥液閥1之平面圖。 圖3係表示本發明之實施例2之藥液閥3之構造之剖面 圖。 圖4係藥液閥3之平面圖。 圖5係表示習知之藥液閥之構造之剖面圖。 符號說明 1藥液閥 2 手動閥部 3藥液閥 4引導閥 11中央塊 1 4輸出流路空間 1 5隔膜閥體 1 6輸出流路 17 閥座 1 8輸入流路 2 6 純水流路

第14頁 477884 五、發明說明（12) 2 8 純水閥座

Bii 第15頁 參

Claims (1)

1. 477884 六、申請專利範圍 1 · 一種藥液閥，包括： 閥本體塊，形成了用以將輸入通口和輸出通口連通· 切斷之閥座；以及 閥體，與該閥座碰觸或分開， 其特徵在於： 在該閥本體塊一體形成有： 輸出流路空間，在該閥座之該輸出通口附近形成； 純水輸入通口； 純水流路，將該輸出流路空間和純水輸入通口連通；

   以及 純水閥座，設於該純水流路途中； 具有純水閥體’和該純水閥座碰觸或分開。 2 ·如申請專利範圍第1項之藥液閥，其中，該閥體係 形； 該輸出流路空間在該閥體之外周圍形成； 在該輸出通口和該純水輸入通口相向之位置和該輸出 連通。 3·如申請專利範圍第丨或2項之藥液閥，其中，該藥液 引導閥；

   用以驅動該純水閥體之純水引導閥直接裝在該閥本體 4·如申凊專利範圍第丨或2項之藥液閥，其中，該藥液 手動閥； 用以驅動該純水閥體之純水手動閥直接裝在該閥本體

   477884 六、申請專利範圍 塊0 (Hill 第17頁