TW418454B - Semiconductor device manufacturing apparatus having controller detecting function of filter - Google Patents
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Description
r 418454 A7 ___ B7 五、發明說明（/) 發明背景 發明之領域 本發明爲有關一種被用來製造半導體裝置，且特別有 關於擁有偵測濾器功能之控制器的半導體製造裝置。 2.相關習知技術的說明 . 大多數製造半導體裝置的處理需要化學溶液。特別是 ，化學及機械磨光(CMP)裝置利用黏漿做爲磨光媒介來將 局度積體半導體裝置平面化。用於此目的之黏發包括事先 決定尺寸的雜質，例如聚集雜質。包含於黏漿的雜質被濾 器過濾，以使用被過濾‘的黏漿做實質的處理。然而，當長 期使用濾器時，爐器的過濾功能就會被破壞。於是，將事 先決定的黏漿數量過濾需花費多時。 圖1爲傳統化學及機械磨光裝置的示意圖。在此，參 考部份a表示化學及機械磨光裝置被修理的服務區域，且 參考部份b表示實施實質處理的淸潔室區域。因此，服務 區域及淸潔室區域被分離，且同時每個區域的大氣微粒密 度也不同。 參考圖1，於服務區域a內有一個包含如黏發之化學 溶液CH的水槽TK，一個計算水槽TK中之化學溶液CH 的唧筒P，及一個過濾從唧筒P釋放出來之化學溶液中之 雜質的濾器。通常’一個主體E，亦即化學機械磨光裝置 ，被裝設在淸潔室區域b。濾器F之排出口被連接至主體e 以提供部份之被過濾化學溶液，亦即部份之被過濾黏漿至 主體E。當使用濾器P的期間增加時，濾器F的過濾功能 3 本紙張尺度適用中固國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------裝--- (請先閱讀背面之注意事填寫本頁) . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 B7 A7 五、發明說明（>) 就會被破壞。同時，當濾器F的功能變慢時，嘲筒的操作 循環就變長了。同時，在最糟的案例中，濾器F被阻塞使 得主體E的程序，亦即化學及機械磨光程序無法被實施。 在上述傳統化學及機械磨光裝置中’一個操作員必須 檢查被裝設於服務區域之濾器的操作週期以便找出更換濾 器的時間。然而，以目視及聽覺來檢查啷筒的操作週期存 在著準確性的問題。因此，使用濾器的最大期間爲事先預 定的，且當被使用的濾器達到設定之最大可使^期間時， 則應更換濾器。然而，全部濾器都有不同的生命週期’因 此要分辨每個濾器之最大可使用期間是很困難的。因此’ 要有效的使用濾器及避免濾器被阻塞產生的問題是很困難 的。 發明.槪要 本發明的目的是提供~~個可精確偵測是否濾器被破壞 之半導體裝置製造設備，其係藉由改變將化學溶液傳送f -電子脈讎號之賴之操作週期：且歸測重脈衝訊號 的週期。 本發明的另一個目的是提供一個可精確偵測出根據濾 器狀況而麵腿的關，師避顏賴間主體之突然 停止的半導體裝置製造設備。 > 本發明的又-個目的是提供一個擁有一個可自動^^貞測 水槽中化學溶液水準的控制器，避免因水槽中化學裕液短 缺造成意外的半導體裝置製造設備° 根據本發明欲達成這些及其他目的之觀點’被提供的 ^紙張尺度適用中國囤家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事填寫本頁) 裝 ----訂-----1 II I . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 , ______B7_____ 五、發明說明（今） ’ 半導體裝置製造設備包含：一個儲存化學溶液的水槽；一 個流通水槽中之化學溶液的唧筒；一個位於唧筒及水槽之 入口之間可過濾從傳送化學溶液中之雜質的濾器；至少一 主體，其被連接至濾器之排出口，做爲事先預定的功能； 一個可將唧筒的抽汲操作轉換至如脈衝訊號之電子訊號的 抽汲週期偵測器；及一個測量由抽汲週期偵測器產生之電 子訊號的週期時間以決定濾器之破壞水準的控制器。 唧筒可傳送水槽中’之化學溶液。較佳的是，至少一水 準偵測器被裝設在水槽的側壁上。至少一水準偵測器產生 的訊號被轉換至控制器。控制器將由至少一水準偵測器轉 換的訊號發出以偵測水槽中之化學溶液數量。較佳的是， 唧筒爲擁有一個進氣口及一個排氣口的隔板唧筒。無論水 槽中之化學溶液何時被轉換至濾器，隔板啷筒均以固定壓 力藉由排氣口釋出空氣。當化學溶液爲被用來化學機械磨 光的黏漿，至少一主體對應著化學機械磨光裝置。 抽汲週期偵測器包含一個無論由被裝設於主體中之彈 簧所支撐的按鈕何時被壓迫而可供應如直流電壓之電壓供 應至控制器的開關，及一個被裝設於按鈕及唧筒排氣口之 間的平板。平板的一端藉由鉸鍊被連接至開關的主體。因 此，當藉由啷筒排氣口來耗盡事先預定的氣壓·時，開關立 即導通以將脈衝訊號轉換至控制器。 . 控制器包含一個將交流電壓轉換至直流電壓的承接器 ，一個可儲存嘟筒之最大可容忍操作期間的抽汲週期設定 構件/一個可產生雙態訊號的抽汲週期訊號產生器，無論 5 本紙張尺度.適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 ο!!裝 (請先閱讀背面之注意事 ¥再填寫本頁) • n 11--訂---------· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 B7 五、發明說明（p) 脈衝訊號何時輸入，其數位狀態可從抽汲週期偵測器轉換 ，一個可測量從抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號停留 在狀態1之時間的抽汲週期測量構件，一個可決定儲存於 抽汲週期設定構件之最大容許操作期間是否相等於由抽汲 週期測量構件所測量之實際啷筒操作週期的比較器，一個 位於抽汲週期偵測器及抽汲週期訊號產生器之間的第一開 關，一個位於抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件之 間的第二開關，一個於被測量之抽汲週期相等於最大容許 操作期間時，可產生警報且關閉第一及第二開關以停止抽 汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件之運作的警報單元 ，及一個啓動抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件的 重置開關。 較佳的是，控制器更進一步包含一個於第一開關輸出 之脈衝訊號較事先預定之週期爲長時運作警報單元的多重 振動器，且此多重振動器爲可引起連鎖反應的多重振動器 • 根據本發明欲達成這些及其他目的的觀點，提供的半 導體裝置製造設備包含許多化學溶液供給單位，許多主體 及一個控制器。 許多化學溶液供給單位及許多的主體被——連接。每 個化學溶液供給單位包含一個擁有一個進口及一個出口的 水槽，一個位於水槽之進出口之間可傳送水槽中之化學溶 液的唧筒，一個位於唧筒出口及水槽之進口之間的濾器， 及一個可將啷筒的抽汲週期轉換至如脈衝訊號之電子訊號 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 閱 讀 背 意 |c 童▲ 本. 頁 I 一 I I I I I I 訂 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 418454 A7 •B7 五、發明說明（e) 的抽汲週期偵測器。濾器出口被連接至許多主體之一。較 佳的是，每個啷筒爲如上述實施例中之隔板啷筒。當化學 溶液爲黏漿時，則主體對應著化學機械磨光裝置。每個抽 汲週期偵測器擁有如上述實施例之抽汲週期偵測器相同的 結構及功能。 一個控制器接收由每個抽汲週期偵測器產生之脈衝訊 號序列，及依序測量每個啷筒的操作週期。當至少許多唧 筒之一擁有較事先預定之週期爲長之週期或無法操作時’ 控制器產生如警報般可被操作員察覺的訊號。同時’控制 器選擇性地輸出可控制被連接至擁有較事先預定之週期爲 長之操作週期之啷筒之主體的運作。 較佳的是，半導體裝置製造設備包含至少一個被裝設 在水槽的側壁上的水準偵測器。此水準偵測器偵測如上述 實施例之水槽中之化學溶液數量。 該控制器包含一個承接器，一個抽汲週期設定構件’ 一個開關構件，一個抽汲週期訊號產生器，一個抽汲週期 測量構件’ 一個比較器，一個第二開關，一個重置開關及 一個警報單元。在此，承接器，抽汲週期設定構件’抽汲 週期訊號產生器，抽汲週期測量構件，比較器及第二開關 擁有如第一實施例之相同的結構及功能。 同時，開關構件爲一個根據本_明第一實施例之半導 體裝置製造設備之第一開關的組件，且警報單元一個根據 本發明第一實施例之修改的警報單元.。同時，重置開關啓 動了抽汲週期訊號產生器，抽汲週期測量構件及開關構件 本紙張尺度適用_國國家標準（CNS)A4規格（2〗0 X 297公釐） (請先閲績背面之注意事項再填寫本頁) 裝 -----訂---------. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 , __ B7___ 五、發明說明（“） 〇 開關構件將抽汲週期偵測器產生之許多脈衝訊號序列 轉換至抽汲週期訊號產生器，且警報單元根據比較器之輸 出訊號輸出了開關構件及第二開關的關閉或打開控制訊號 。同時，當由抽汲週期測量構件測量之抽汲週期相等於儲 存於抽汲週期設定構件中之抽汲週期’警報卓兀輸出了弟 二開關及開關構件的關閉控制訊號，且立即產生如警報般 可被操作員察覺的訊號。 較佳的是，半導體裝置製造設備更進一步包含一個被 連接平行於與開關構件在一起之抽汲週期偵测器的抽汲狀 態偵測器。當至少許多唧筒之一擁有較事先預定之週期爲 長之週期或無法操作時，抽汲狀態偵測器可輸出運作警報 單元的訊號。 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 -----------y裝---- 厂； (請先閱讀背面之注意事現再填寫本頁) 如上所述，當唧筒操作週期相等於事先預定之時間時 ，根據本發明之半導體裝置製造設備就認定濾器的運作被 破壞了，因而產生警報。結果，其可能使操作員省卻連續 進入唧筒Ρ被裝設的服務區域及更換可被精確偵測之濾器' 之時間的麻煩。因此，濾器的使用可被有效的管理，可避 免過度消耗濾器及每個主體在運作中突然地短缺。 圖式簡單說明 本發明之上述目標及優點可藉由參考較佳實施例之圖 式的詳細說明而更加明瞭： 圖丨爲傳統半導體裝置製造設備的示意圖； 圖2爲根據本發明較佳實施例之半導體裝置製造設備 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2W X 297公釐） 418454 A7 B7 五、發明說明（7) 的示意圖； 圖3爲顯示圖2之抽汲週期偵測器及唧筒的示意圖； 圖4爲圖2之控制器之方塊圖； 圖5爲示於圖4之控制器的詳細電路圖； 圖6A爲圖3及5顯示之抽汲週期偵測器之輸出訊號 的波形； 圖6B至6E爲圖5中構成抽汲週期訊號產生器之計數 器之輸出訊號的波形； 圖6F至6H爲圖5中抽汲週期訊號產生器之解碼器之 輸出訊號的波形；· 圖61爲圖5中構成抽汲週期測量構件之第二振盪器之 輸出訊號的波形： 圖6】及6K爲說明示於圖5中之多重振動器之功能的 波形； 圖7爲根據本發明另一個實施例之半導體裝置製造設 備的示意圖； 圖8爲示於圖7之控制器的電路圖； 圖9A至9C爲圖7之每個抽汲週期偵測器之輸出訊號 的波形； 圖9D爲圖8中構成開關構件之第一解碼器之輸出訊 號的波形； 圖9_E至9G爲圖8中構成開關構件之第二解碼器之輸 出訊號的波形； 圖9H至9；[爲圖8中構成抽汲狀態之解碼器之輸出訊 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項#'填寫本頁) ΓΛ^· I 1 I i I I I I —III —
1 ^1 I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 * 418454 A7 , _ B7____ 五、發明說明（沪） 號的波形； 圖9K及9L爲說明圖8中構成抽汲狀態之多重振動器 .之功能的波形； 較佳實施例之說明 在下文將詳細說明本發明較佳實施例的a化學及機械 磨光.裝置。然而，本發明並不侷限於化學及機械磨光裝置 ，且利用化學溶液及濾器而被應用至所有的半導體裝置製 造設備。 圖2中，參考部份a表示服務區域，且參考部份b表 示淸潔室區域，其中服務區域及淸潔室區域彼此分開。 參考圖2，於服務區域a內有一個包含如黏漿之化學 溶液CH的水槽TK，一個傳送化學溶液CH的唧筒P，一 個過濾傳送中之化學溶液之雜質且位於唧筒P及水槽TK 的濾器，及一個鄰接於，唧筒P的抽汲週期偵測器(PCS)。同 時，至少有一個被連接至濾器F排出口的主體被裝設在淸 潔室區域b，亦即η化學及機械磨光裝置E卜E2，..及En +，及一個可產生控制至少一個根據抽汲週期偵測器產生之 電子訊號的主體Bl，E2，..，或En之運作之訊號ΦΡ(：的 控制器C。
較佳的是，嘟筒Ρ爲擁有一進氣口 I及一排氣口〇的 隔板唧筒。此隔板唧筒在每次抽汲運作中經由排氣口 0排 出固定的氣壓。因此，嘟筒Ρ之抽汲週期可經由在排氣口 0前面裝設抽汲週期偵測器而被偵測出。當氣體被啣筒Ρ 之排氣口 0排出時，抽汲週期偵測器就產生脈衝訊號(DPC 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮）
41845 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（y) 。因此’脈衝訊號ΦPC之週期對應著啷筒p之抽汲週期。 此時，當包含於水槽TK之一部份化學溶液在至少 —個主體El，E2，·.，或En之運作期間內被消耗時，包含 於水槽TK之化學溶液CH的水準因而降低。因此，較佳方 式爲在水槽TK側壁上裝設至少一水準偵測器。舉例而言 ，低水準偵測器LS可被裝設在水槽τκ的較低側壁上。當 水槽TK中之化學溶液CH的水準降至較低水準偵測器的水 準還低時’低水準偵測器LS產生了對應狀態丨的輸出訊號 ΦΙΧ。在此，控制器C產生如警報之可被操作員察覺的訊 號。 現在將參考圖3顯不之_筒Ρ及抽汲週期偵測器來詳 細說明圖2之抽汲週期偵測器。
參考圖3,抽汲週期偵測器被裝設在唧筒的排氣口〇 前面。啣筒Ρ，亦即隔板唧筒，經由排氣口 0排出固定的 '氣壓以便傳送化學溶液。因此，經由濾器F傳送化學溶液 的數量被增加.，濾器F的過濾功能被破壞了。結果，唧筒 Ρ的操作週期變得較長。抽汲週期偵測器包含兩條以事先 預定間隔分開而被裝設在盒子ΒΧ中的電線，一個以電子 連接或不連接兩條電線的按鈕ΒΤΝ，一條被固定至主體ΒΧ 以支撐按鈕ΒΤΝ的彈簧SP ’及一個被裝設在按鈕ΒΤΝ及 啷筒的排氣口 〇之間的面板PNL。商板PNL·的一端藉由鉸 鍊被連接至主體ΒΧ。因此’當事先預定:之氣壓經由圖3之 唧筒排氣口 〇被排出時，面板PNL以方向Α移動以推動按 鈕BTN，使得兩條電線被電子性相連接。同時，當啷筒P (請先閱讀背面之注意事項^:填寫本頁)
本紙張尺度適用中固國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 , ___B7___ 五、、發明說明（/Ο 停止運作時，事先預定之氣壓並不經由排氣口 0被排出， 使按鈕ΒΤΝ藉由彈簧SP的彈力回到最初狀態。結果，面 板PNL以方向Β移動以使兩條電線不被電子性相連。兩條 _電線之一被連接至產生直流電壓Vdc的電源。因此，無論 唧筒P何時運作，電源供應電壓Vdc瞬間被應用至兩條電 線之一使得抽汲週期偵測器產生脈衝訊號OPS。另一個面 對被應用電源供應電壓之電線的電線經由包含一個電阻R 及一個電容C並聯的電阻電容(RC)電路而被連接至地面。 當兩條電線被打開及消除當兩條電線被電子性相連接或不 相連時所產生的噪音時'，電阻電容(RC)電路可控制抽汲週 期偵測器的輸出以擁有穩定的接地電位。因此，抽汲週期 偵測器經由電阻電容(RC)電路產生穩定的脈衝訊號OPS。 圖4爲圖2之控制器之詳細塊狀圖。 參考圖4，控制器C包含一個將交流電壓Vac轉換至 直流電壓Vdc的承接器(ADT)，一個可儲存唧筒P之最大 可容忍操作期間的抽汲週期設定構件(PCSP)，一個可產生 雙態訊號的抽汲週期訊號產生器(PCSG)，其數位狀態在無 論脈衝訊號何時輸入時均可轉換，一個利用雙態訊號來測 量唧筒P之實際抽汲週期的.抽汲週期測量構件(PCMP)，一 個位於圖3之抽汲週期偵測器及抽汲週期訊號產生器之間 的第一開關(SW1)，一個位於抽汲週期訊號產生器及抽汲週 '期測量構件之間的第二開關（SW2)，一個可決定儲存於抽汲 週期設定構件之最大容許操作期間是否相等於由抽汲週期 測量構件所測量之被測量抽汲操作週期的比較器(CPT)，一 / 12 (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁)
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 ι ______B7__ 五、發明說明（/7 ) 個啓動抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件的重置開 關(RSS) ’ 一個利用從比較器CPT發出之訊號於更換圖2之 濾器F之時機時通知使用者且輸出可控制至少一圖2中之 主體主體El，E2，..，或En之運作之訊號OEC及控制第 一及第二開關之訊號的警報單元(ALM)。 同時，較佳的是將多重振動器置放在第一開關SW1及 警報單元之間。多重振動器，亦即可引起連鎖反應的多重 振動器，於一脈衝訊號被收到時立即在事先預定的期間內 經由兩個輸出埠產生對應狀態1的訊號及相反的訊號。因 此，若於抽汲週期偵測'器產生一脈衝訊號後沒有於事先預 定的期間內產生下一個脈衝訊號，多重振動器MV可產生 一個控制警報單元運作的訊號。也就是說，若啷筒P於抽 汲週期測量構件所測量之抽汲週期短於抽汲週期設定構件 所儲存之抽汲週期時突然停止運作，警報單元就不會產生 警報。因此，操作員無法識別唧筒· P是否處於正常或不正 常狀態。在此，在多重振動器被額外裝設的例子中，即使 '啷筒P突然停止，警報單元仍可操作使得操作員可辨識唧 筒P的狀態。 同時*承接器(ADT)包含一個將第一交流電壓Vac轉 換爲擁有預期値之第二交流電壓的轉換器TF，及一個將第 二交流電壓轉換爲直流電壓Vdc .的整流器RTC。稍後將說 明被用做每個控制器C組件之電源供應電壓而由承接器 ADT產生的直流電壓Vdc。 抽汲週期設定構件包含一個可重複產生事先預定期間 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） !vy,_ 裝----- i I--訂----- 二 (請先閱讀背面之注意事<再填寫本頁) 418454 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（/l) 之脈衝訊號的第一振盪器0SC1，一個可計算由第一振盪器 0SC1所產生之脈衝訊號數目的第一計數器CT1，一個可重 複產生事先預定期間之脈衝訊號的第一振饅器0SC1，一個 位於第一計數器CT1及第一振盪器0SC1之間且僅可轉換 如預期數量之脈衝訊號的計數器開關CTS，一個可將第一 計數器CT1輸出的訊號轉換爲適合顯示之二進位數之數碼 的第一解碼器DCD1 >及一個可以二進位數顯示第一解碼 器DCD1輸出之訊號的第一指示器D1。較佳的是，第一計 數器CT1爲一個上/下計數器且第一指示器D1包含至少一 個七段顯示器。舉例而言，若唧筒P的最大容許操作期間 爲10至99秒，則第一指示器D1可包含兩個七段顯示器。 同時，若嘟筒P的最大容許操作期間短於9秒，較佳的是 .第一指示器D1包含一個七段顯示器。 抽汲週期訊號產生器包含一個藉由以二進位數表示的 輸出訊號於無論由抽汲週期偵測器經由第一開關SW1產生 之脈衝訊號〇>PS何時被接收均可擴增的計數器CT，及一 個經由輸出頭輸出一個其邏輯狀態於無論計數器CT的輸 出訊號何時增加均會改變之雙態訊號的解碼器DCD。第一 開關SW1是由警報單元ALM所控制、同時，抽汲週期訊 號產生器也包含一個擁有每當警報單元ALM產生之脈衝訊 號OPS被輸入時就輸出雙態訊號之數位電路的晶片。 抽汲週期測量構件包含一個僅於抽汲週期訊號產生之 雙態訊號處於1或0之數位狀態時才重複產生擁有事先預 定週期之脈衝訊號的第二振盪器0SC2，一個可計算將第二 14 ^--------^---I-----. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公袭） A7 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 418454 __B7_ 五、發明說明（I j) 振盪器0SC2產生之脈衝訊號數量的第二計數器CT2，一 個可將第二計數器CT2輸出的訊號轉換爲適合顯示爲十進 位數之數碼的第二解碼器DCD2，及一個可以十進位數顯 示第二解碼器DCD2輸出之訊號的第二指示器D2。 重置開關RSS啓動抽汲週期訊號產生器的計數器CT 及抽汲週期測量構件的第二計數器CT2。較佳的是，延時 電路TD位於重置開關RSS及第二計數器CT2之間，可依 序啓動抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件使得控制 器C被穩定地啓動。同時，較佳的是由第二振盪器0SC2 所產生之脈衝訊號之事先預定的週期被調整以擁有精密至 足以精確偵測的時間標度，被拿來與第一解碼器D1顯示 之最大容許抽汲週期做比較。舉例而言，在儲存於抽汲週 期設定構件中之最大容許抽汲週期爲1至9秒的案例中， 由第二振盪器0SC2所產生之脈衝訊號之週期被表示爲每 單位0.1秒。 比較器CPT決定了第一計數器CT1輸出的訊號是否等 於第二計數器CT2輸出的訊號。舉例而言，當由第二計數 器CT2所測量之抽汲週期等於第一計數器CT1所儲存之抽 汲週期時，比較器CPT輸出狀態1的訊號。然而，當第一 計數器CT1及第二計數器CT2輸出的訊號不相等時，比較 器CPT輸吗狀態0的訊號。 當由第二計數器CT2所測量之抽汲週期等於第一計數 器CT1所設定之抽汲週期時，警報單元ALM產生了如警 報之可被操作員察覺的訊號，且輸出了可關閉第一開關 15 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐）
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4184 5 4 A7 B7 五、發明說明（/户 SW1及第二開關SW2的控制訊號。也就是說’當比較器 CPT輸出的訊號處於狀態1時’警報單元ALM產生了警報 可關閉第一開關SW1及第二開關SW2的控制訊號，藉以 中斷抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件的運作。同 時，操作員藉由打開重置開關RSS來啓動第二計數器CT2 及抽汲週期訊號產生器’藉以'停止警報及採取適當的步'驟 。舉例而言’端週期開關ECS被打開以輸出可控制主體E1 ，E2，..，及En之運作之端週期訊號OEC，且濾器F被更 新。當端週期訊號OEC被輸入主體E卜E2，··，及En時 ，運作下的晶圓可成功地被進行且接著主體El，E2 ’ ， 及En之運作停止了。因此，主體中之晶圓運作的損傷及不 正常可被避免。同時，當比較器CPT的輸出處於狀態1時 ，警報單元ALM可產生如警報之另一個可被操作員察覺的 訊號。舉例而言，警報單元ALM可經由第一發光二極體 LED1來產生光。 同時，警報單元ALM可利用至少一個由有關圖2說明 之水準偵測器，亦即低水準偵測器所產生之電子訊號OLS 來偵測水槽TK中之化學溶液CH數量。詳細地說，警報單 元ALM於水槽TK中之化學溶液CH水準低於低水準偵測 器高度時產生警報，並打開了第二發光二極體LED2。同時 ，警報單元ALM可利用多重振動器MV所產生之訊號於啷 筒P突然停止時產生警報，並打開了第三發光二極體LED3 。因此，當第二發光二極體LED2被打開時，額外的化學 溶液CH被補充於水槽TK中，得以避免化學溶液CH短缺 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -1 III If --------^---------_ (請先閱讀背面之注意事衝、再填寫本頁) 418454 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（/() 所造成的意外。同時’當第三發光二極體LED3被打開時 ，就完成了晶圓之化學及機械磨光且瞬間修理了_筒p ’ 藉以避免卿筒p的製造。結果’可能使得操作員省卻常常 進入嘟筒P及水槽TK被裝設的服務區域a之時間的不方 便。 圖5爲圖4.之控制器C的電路圖’其中最大容許操作 週期被設定爲1至9秒。圖5的電路圖爲說明根據本發明 較佳實施例之半導體裝置製造設備的控制器c。然而’本 發明並不侷限於圖5的電路圖。舉例而言，圖5的電路圖 可被修改爲不同的類型.，使得啷筒p的最大容許操作週期 可被設定爲10至99秒且可測量長至10至99秒的實際操 作週期。同時，利用其他沒有顯示於圖5之組件可建造根 據本發明之控制器C。在此’相同於圖4中那些的參考記 號表示了相同的組件。 根據本發明之控制器C將參考圖5及圖6A至圖61來 加以說明。 參考圖5，承接器ADT包含一個將第一交流電壓Vac 轉換爲擁有預期値之第二交流電壓的轉換器TF，及一個將 第二交流電壓轉換爲直流電壓Vdc的整流器RTC。由承接 器ADT產生之直流電壓Vdc被用做控制器C之每個組件的 電源供應電壓，其將稍後解釋。較佳的是，電源開關PSW 被串聯至轉換器TF且更進一步包含並聯於轉換器的電源 燈 PLMP。 抽汲週期設定構件包含一個可重複產生脈衝訊號的第 17 請 先 閱 讀 背 意 再' 填1 I裝 頁 I ^ I I I I I I 訂 ά 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） 418454 A7 B7 五、發明說明（/¾)
訂 一振盪器OSC卜及一個被連接至第一振盪器0SC1之輸出 針頭的第一計數器CT1，其可計算第一振盪器0SC1所產 生的脈衝訊號數量。第一計數器CT1包含一個擁有四輸出 針頭Ql ’ Q2，Q3及Q4的上/下計數器。一個位於第一振 盪器0SC1及第一計數器CT1之間的計數器CT，可藉其將 第一振盪器0SC1產生預期的脈衝訊號數量轉換至第一計 數器CT1。由第一振盪器0SC1產生的脈衝訊號期間可被 調整爲任意値。然而，第一電阻器R1，第一變阻器VR1及 第一電容器C1可被連接至第一振盪器0SC1且藉由控制第 一變阻器VR1可產生擁有預期期間之脈衝訊號。較佳的是 ，當第一計數器CT1爲上/下計數器時，則計數器開關CTS 包含一個用以計算向上順序的上按鈕UP及一個用以計算 向下順序的下按鈕DN。 經由第一計數器CT1之四輸出針頭Ql，Q2，Q3及Q4 的二進位數碼輸出經由擁有七輸出針頭之第一解碼器 DCD1被轉換至適合顯示爲十進位數之二進位數碼。同時 ，從第一解碼器DCD1輸出之訊號經由第一指示器D1，亦 即七段顯示器而被顯示爲十進位數‘。 經濟部智慧財產局員工消費.合作社印製 如上所述，操作員可利用計數器開關CTS將預期的抽 汲週期時間，亦即啷筒的最大容許操作期間儲存於抽汲週 期設定構件之中。 抽汲週期訊號產生器包含一個擁有四輸出針頭Q1，Q2 ，Q3及Q4的計數器CT及一個其中十六輸出針頭Q1，… 及Q16無論計數器CT之輸出訊號何時改變而能依序輸出 18 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 418454 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（/》 邏輯狀態1訊號的解碼器DCD。同時·，計數器CT的輸入 針頭經由開關電阻器RS而被接地。計數器CT的輸入針頭 經由開關電阻器Rs而被接地的原因是於第一開關SW1被 關閉時可應用穩定的地位能至計數器CT的輸入針頭。解 碼器DCD的第一輸入針頭經由第二開關SW2被連接至抽 汲週期測量構件之第二振盪器0SC2的輸入針頭。同時， 解碼器DCD的第二輸入針頭Q2及四至十六輸出針頭Q4 至Q16是處於浮動狀態且解碼器DCD的第三輸出針頭Q3 被連接至計數器CT的淸除針頭CL。同時，解碼器DCD的 第三輸出針頭Q3被連，接至抽汲週期測量構件中之第二計 數器CT2之重置開關RSS及的淸除針頭CL。 擁有上述結構之抽汲週期訊號產生器之運作將參考圖 6A至圖6H來加以說明。在此，水平軸表示時間⑴且垂直 軸表示每個輸入針頭的邏輯値。 當抽汲週期訊號產生器之計數器CT被啓動而第一開 關SW1及第二開關SW2被打開時，計數器CT的所有四輸 出針頭保持0的狀態。於是’僅有解碼器DCD的第一輸入 針頭Q1保持1的狀態。接著，當抽汲週期偵測器產生第 一脈衝訊號時’解碼器DCD的第四輸入針頭Q4立即顯示 狀態1直到抽汲週期偵測器產生第二個脈衝訊號爲止。也 就是說，計數器CT之第四輸入針頭Q4保持1狀態的期間 對應著第一週期時間T1。在此，僅有十六輸出針頭之解碼 器DCD的第二輸入針頭Q2顯示出狀態1。接著，當抽汲 週期偵測器產生第二脈衝訊號時，僅有四輸出針頭之計數 19 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) σ -裝---I---'-訂-----1---. 4^8454 a? B7 五、發明說明（/(f ) 器ct的第三輸入針頭Q3顯示出狀態1。同時，解碼器 DCD只有經由第三輸入針頭Q3來輸出邏輯狀態1的訊號 ，致使計數器CT被啓動。結果’計數器CT的所有輸入針 頭Q1，...，及Q4被轉換至狀態〇且僅有解碼器DCD的第 一輸入針頭Q1顯示出狀態1 °因此’當抽汲週期偵測器產 生第二脈衝訊號時，計數器CT的第三輸入針頭Q3及解碼 器DCD的第三輸入針頭Q3立刻產生狹窄寬度的脈衝訊號 。於是，無論解碼器DCD的第三輸入針頭Q3何時瞬間產 生脈衝訊號，計數器CT及第二計數器CT2均被啓動。同 時，解碼器DCD的第“輸入針頭Q1在第二週期時間T2時 保持1的狀態’也就是說’直到抽汲週期偵測器產生第三 脈衝訊號。. 接著，第三脈衝訊號及下列脈衝訊號依序被抽汲週期 偵測器所產生’且重複上述之抽汲週期訊號產生器的運作 。因此，解碼器DCD的第一輸入針頭Q1輸出了顯示偶數 週期T2，T4，…的狀態0及奇數週期ΤΙ，T3，T5...之狀態 _1的雙態訊號。 然而.，抽汲週期偵測器產生的每個脈衝訊號週期T1， T2，…因爲濾器F的功效被破壞而變得時間較.長。因此， .由抽汲週期訊號產生器產生之雙態訊號的脈衝寬度變得較 、時域爲寬。 當抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號經由第二開關 輸入如不穩定振盪器之第二振盪器時，第二振盪器0SC2 連續輸出於雙態訊號保持狀態1期間時擁有一事先預定之 2〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公袭） 裝--- (請先閱讀背面之注意^再填寫本頁) *IHOJ* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 濟 部 智 慧 財 產 局 貝 工 消 費 合 作 社 印 製. 418454 A7 ( ___B7____ 五、發明說明Ύ) 週期時間T(見圖61)的脈衝訊號°在此’第二電容器C2， 第二電阻器R2及第二變阻器VR2被連接至第二振盪器 〇SC2且藉由控制第二變阻薺VR2以連續產生擁有〇.丨秒之 週期時間T的脈衝訊號。因此，如圖61所示，擁有〇.1秒 之週期時間T的脈衝訊號被連續從第二振盪器OSC2之輸 出針頭產生出圖6A之偶數週期T2，T4，...。 然而，第二振盪器.OSC2於雙態訊號顯示狀態〇時不 再產生脈衝訊號。因此，被連接至第二振盪器〇SC2之輸 出針頭之第二計數器CT2保持先前圖.6A之奇數週期値T1 ’ T3，…。第二開關SW2之輸出針頭經由開關電阻器Rs 被接地，第一開關SW1之輸出針頭也以此方法接地。 第二振盪器OSC2之輸出針頭Q被連接至擁有八輸出 針頭Q1 ’…Q8之第二計數器CT2的輸入針頭，且第二計 數器CT2的八輸出針頭Ql，...q8被連接至擁有十四輸出 針頭之第一解碼器DCD2的輸入針頭。同時，第二解碼器 DCD2之十四輸出針頭之第一至第七輸出針頭qi，.· Q«y被 連接至兩建造第二指示器D2之七段顯示器D2,及D2”之一 的七段顯不器D2”，且第八至第十四輸出針頭Qg， 被連接至其他之七段顯示器D2,。由第二振盪器〇SC2之輸 出針頭Q產生之脈衝訊號數量經由第二計數器CT2的第— 至第四輸出針頭Q1 ’…，Q4而被輸出二進位數碼。接著 ，經由第一計數器CT2的第一至第四輸出針頭（^，...，Q4 而被輸出的二進位數碼藉由第二解碼器DCD2.被轉換爲適 於顯示爲十進位的二進位數碼。藉由第二解碼器DCD2輸 21 本紙張尺度ififfl"?"關家鮮（CNS)A4祕咖x 297^17 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ο _裝 « — — — — — — — I. ^ 8454^184 54 五、發明說明（的） A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 出適於顯示爲十進位的二進位數碼經由第二解碼器DCD2 的第一至第七輸出針頭Q1，…，Q7以十進位數碼方式被 顯示於七段顯示器D2”上。當對應1〇之整數倍順序的脈衝 訊號被應用至第二計數器CT2的第一至第四輸入針頭時， 第二計數器CT2的第五至第八輸出針頭Q5，...，Q8輸出 —由先前狀態1所擴增的二進位數碼且第二計數器CT2的 第一至第四輸入針頭Q1，...，Q4立刻被啓動。同時，經 由第二計數器CT2的第五至第八輸出針頭Q5，…，Q8的 二進位數碼藉由第二解碼器DCD2的第八至第十四輸出針 頭Q8，…’ Q14被轉換爲適於顯示爲十進位的二進位數碼 。從第二解碼器DCD2的第八至第十四輸出針頭Q8，...， Q14輸出之二進位數碼藉由七段顯示器D2,被顯示爲十進位 數碼。在此’較佳的是七段顯示器D2,在右方可顯示十進 位點且控制十進位點的輸入針頭經由電阻器R被連接至電 壓 Vdc。 如上述，圖6A的偶數週期時間T2，T4，…藉由包含 兩七段顯示器D2’及D2”之第二指示器D2被顯示爲十進位 數碼。 同時，當重置開關RSS被打開時，計數器CT及第二 計數器CT2均被啓動。較佳的是，一個包含一個電阻器Rd 及一個電容器Cd的時間延時電路TD被放置於重置開關 RSS之間以穩定第二計數器CT2的啓動。 比較器CPT比較第一計數器CT1.的輸入訊號及第二計 數器CT2的輸入訊號。在此，當儲存於第一計數器CT1的 22 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A^規格（210 X 297公釐） 請
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I裝 頁I I 訂 Α7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 ί8454 _ Β7__ 五、發明說明（Μ) 抽汲週期處於1至9秒的範圍時’第二計數器CT2的輸入 訊號必僅利用第五至第八輸出針頭Q5 ’…，Q8輸出的訊 號。比較器CPT可包含四個互斥NOR閘及一個AND閘。 詳細說，每個互斥NOR閘用做一個輸入訊號一個爲第一計 數器CT1的輸出針頭及第二計數器CT2的對應輸出針頭。 同時，每個 NOR閘的輸出針頭被連接至擁有四輸入針頭 的AND閘。於是，當第一計數器CT1的輸出訊號相等於 第二計數器CT2的輸出訊號時，比較器CPT的輸出針頭顯 示狀態1。然而.，當第一計數器CT1的輸出訊號不等於第 二計數器CT2的輸出訊號時，比較器CPT的輸出針頭顯示 狀態0。 警報單元ALM包含被串聯至比較器CPT之輸出針頭 的第一及第二轉換器，一個被連接至第二轉換器之輸出針 頭的繼電開關RLY，及一個被連接至繼電開關RLY的蜂鳴 器BZ。繼電開關RLY包含兩個開關及一個線圈，且兩開 關根據被感應至線圈的電流而瞬間.打開或關閉。也就是說 .，當第二轉換器之輸出針頭顯示狀態1時，電流通過線圏 且兩開關移向A且打開。結果，蜂鳴器BZ運作且端週期 訊號(DEC可經由端週期開關ECS被應用至主體El，E2，.. ，及En。然而，當第二轉換器之輸出針頭顯示狀態〇時， 兩開關立即移向B，所以蜂鳴器BZ並不運作。 然而，第二轉換器之輸出訊號控制第一及第二開關 SW1及SW2。因此，當啷筒P之抽汲週期到達儲存於第一 計數器CT1之抽汲週期時，第一及第二開關SW1及SW2 23 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮）
經濟部智慧財產局員工消費合作社印裂 r 418454 A7 ___B7__ 五、發明說明（P) 被關閉，使得抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件不 再運作且蜂鳴器BZ產生警報。在此，當端週期開關ECS 被打開且端週期訊號被轉換爲主體El，E2，..，及En 時，現行下的晶圓可成功地被實施於主體中且接著停止運 作。同時，當重置開關RSS被打開以改變比較器CPT的輸 入訊號至〇時，蜂鳴器BZ停止運作且更換濾器 同時，第一發光二極體LED1可被放置於第二轉換器 _及繼電開關RL_Y之間。在第一發光二極體LED1被額外裝 設的案例中，當啷筒P之實際操作週期等於儲存於第一計 數器之最大容許操作週期時，第一發光二極體LED1與蜂 鳴器BZ —起被打開。因此，操作員可確認更換淸潔室中 之濾器的時間。 同時，當一低水準偵測器LS被裝設在水槽TK的較低 側壁上時，一低水準偵測開關LSS被裝設在繼電開關RLY 及電壓Vdc之間。較佳的是，第二發光二極體LED2被裝 設在低水準偵測開關LSS及繼電開關RLY之間。於是，當 水槽TK中之如黏漿之化學溶液CH的水準降至較低水準偵 測器LS的水準還低時，BZ運作且第二發光二極體LED2 也被打開。因此，操作員可確認補充淸潔室中之化學溶液 CH的時間。 同時，在啣筒P突然停止運作的案例中，當抽汲週期 測量構件所測量之實際抽汲週期短於抽汲週期設定構件所 儲存之抽汲週期時，警報單元就不會產生警報。因此，操 作*員很難識別淸潔室中之唧筒P的不正常狀態。因此較佳 24 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1 I ^------訂--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I . ·〇 418454 A7 B7 經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 五、發明說明（y) 的是，多重振動器MV被裝設於第一開關SW1的輸出端及 警報單元ALM的繼電開關RLY之間，且更佳的是，多重 振動器MV爲可引起連鎖反應的多®振動器°可引起連鎖 反應的多重振動器擁有兩輸出埠Q及/Q。當脈衝訊號被應 用至可引起連鎖反應的多重振動器時，一事先預定時間之 邏輯狀態1之訊號經由輸出埠Q被輸出。同時，著不產生 下一脈衝訊號時，另一輸出埠/Q輸出事先預定時間的邏輯 狀態0之訊號。因此，當抽汲週期偵測器在事先預定時間 中產生一脈衝訊號且接著並不在事先預定時間中產生下一 個脈衝訊號時，可引起連鎖反應的多重振動器經由輸出埠 /Q將邏輯狀態1之訊號轉換至警報單元ALM。藉由控制被 連接至多重振動器，亦即可引起連鎖反應的多重振動器之 變阻器Rv可設定事先預定時間，其中多重振動器被連接 至電容器Cv及變阻器Rv。同時，事先預定時間必須被設 定使其較抽汲週期設定構件所儲存之抽汲週期爲長。 多重振動器MV之運作及功能將參考圖6A，6J1及6K 來加以詳細說明。 當抽汲週期偵測器產生第二脈衝訊號及_筒P的運作 於事先預定時間點Th時，多重振動器MV經由輸出埠Q 輸出了邏輯狀態1之訊號直到由電容器Cv及變阻器RV設 定之事先預定時間Tosc在第二脈衝訊號輸入後通過。在此 ’另一輸出埠/Q輸出相對於輸出針頭Q之訊號。也就是說 ’輸出針頭Q/於訊號經由輸出針頭Q從狀態1改變爲〇時 在時點處輸出邏輯狀態1之訊號。因此，當多重振動器 25 請 先 閱 讀 背 意 I s t 裝 訂 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 B7 五、發明說明d) MV之另一輸出針頭Q/被連接至警報單元ALM之繼電開關 RLY時，BZ可於唧筒P停止時產生警報，可使操作員 識別啷筒P的不正常狀態。同時，當第三發光二極體LED3 被裝設在多重振動器及繼電開關RLY之間時，操作員可以 目測唧筒P的不正常狀態。 圖7爲根據本發明另一個實施例之如化學及機械磨光 之半導體裝置製造設備的略圖。不像參考圖2說明的第一 實施例，許多唧筒運作的偵測是藉由一個控制器。在此* 參考部份a及b分別表示彼此分離的服務區域及淸潔室區 域。 參考圖7，包含許多唧筒，亦即η唧筒P1，..，pn，n 水槽TK1，..，TKn，η抽汲週期偵測器PCS1，..，PCSn， 及η濾器F_1，’ Fn的化學溶液補充單位被裝設在服務區 域a。在此，每個抽汲週期偵測器就如同上述實施例所說 明的，且每個唧筒就如同上述實施例所說明的隔板唧筒。 每個化學溶液補充單位，如第一化學溶液補充單位，包含 個擁有化學溶液CH1的第一水槽TK1，一個可傳送化學 溶液CH1且被裝設於第一水槽TK1的出入口之間的第一唧 筒P1，一被裝設於第一唧筒P1的出口及第一水槽TK1的 入口之間的第一濾器F1，一個被裝設於第一啣筒P1之排 氣口之前的第一抽汲週期偵測器PCS 1.。同時，一個控制器 C’及許多主體El，" En亦即η化學及機械磨光裝置被裝設 在清潔室區域b。控制器C ’利用被裝設在服務區域a之η 抽汲週期偵測器PCS1，·.，PCSn所輸出之η脈衝訊號Φ 26 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
A7 418454 ___ B7___ 五、發明說明（ PS1， ，（DPSn來偵測每個唧筒的表現狀況。同時’若有 需要，控制器cr可輸出控制每個主體運作之訊號ΦΕα， ，ΦΕ(：η。同時，控制器C’處理從η水準偵測器，亦即每 個被裝設在水槽並藉此偵測水槽ΤΚ中之化學溶液CH數量 的低水準偵測器LSI， ，LSn轉換而來之訊號0LS1， ，（DLSn。詳細說，當至少一水槽TK中之化學溶液CH， 如第一水槽TK中之化學溶液CH的水準降至較第一低水準 偵測器的水準還低時，控制器C’會產生如警報的訊號，可 使操作員在正確時間上確認補充淸潔室中之化學溶液的時 間。 圖8爲圖7顯示之控制器C’的詳細電路圖，其被用作 包含三個唧筒PI，P2及P3及三個主體El，E2及E3的半 導體裝置製造設備。在此唧筒及主體的數量並不受限且控 制器可被修改以Μ合包含四個或更多之唧筒及主體的半導 體裝置製造設備。圖8中，如被用在上述實施例中之參考 部份表示相同的組件。因此，上述實施例中說明之組件之 詳細解釋被刪除了。 參考圖8 ’控制器C’包含一個抽汲週期設定構件PCSP ’ 一個開關構件SWP，一個抽汲週期訊號產生器PCSG， —個第二開關SW2，一個抽汲週期測量構件pCMP，一個 比較器CPT ’ 一個警報單元ALM’，一個重置開關RSS，。 同時，控制器C’更進一步包含一個D卽筒狀態偵測器(pSS)。 在此’抽汲週期設定構件，抽汲週期訊號產生器，第二開 關’一個抽汲週期測量構件，比較器擁有如第一實施例中 27 、張尺^適用中國國家標準（CNS)A4 g (21〇 X 297公爱) 〜----- 1 ---------訂--------1. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 418454 A7 B7 五、發明說明（¥) 之相同功能及結構，且其連接關係也和第一實施例中之相 同。 開關構件SWP包含第一至第三開關SWT1，SWT2及 SWT3，第一及第二解碼器DCD8及DCD4，級三個AND閘 。第一開關SWT1被裝設於圖7之第一抽汲週期偵測器 1 PCS1及抽汲週期訊號產生器之間，且第二開關SW2被裝 設於圖7之第二抽汲週期偵測器PCS2及抽汲週期訊號產 生器之間。同時，第三開關SW3被裝設於圖7之第三抽汲 週期偵測器PCS3及抽汲週期訊號產生器之間。被連接至 抽汲週期訊號產生器之輸入璋之第一至第三開關SWT1， •SWT2及SWT3的輸出埠被連接至第一解碼器DCD8之輸入 埠’亦即時鐘針頭(CK)。同時，爲了豳免從第一至第三開 關SWT1，SWT2及SWT3之一之輸出訊號被輸入至其他開 關，較佳的是將二極體連接至第一至第三開關SWT1， SWT2及SWT3之每個輸出埠。 較佳的是，第一解碼器DCD8包含至少八個輸出針頭 Q1，·.，Q8。同時’第一解碼器DCD8之第八輸出針頭Q8 被連接至第一解碼器DCD8之淸除針頭CL以於第八輸出針 頭Q8輸出之訊號從狀態1改變至〇的時點來啓動第一解碼 益DCD8。桌一解碼器DCD8之第七輸出針頭Q7被連接至 擁有四個或更多之輸出針頭Q1，..，Q4之第二解碼器 DCD4之輸入針頭’亦即淸除針頭CL，且所有第一至第六 的輸出針頭均爲浮動的。第二解碼器DCD4之第四的輸出 針頭Q4被連接至淸除針頭CL以啓動第二解碼器DCD4。 28 本紙張尺度過用f國國豕摞準（CNS〉A4規格（210 X 297公髮 裝--------訂---------. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4184 5 4 A? _____B7__ 五、發明說明（1) 第二解碼器DCD4之第一的輸出針頭Q1被連接至AND閘 之輸入針頭且第二解碼器DCD4之第二的輸出針頭Q2被連 接至另一個AND閘之輸入針頭。以相同的方式，第二解碼 器DCD4之第三的輸出針頭Q3被連接至剩餘AND閘之輸 入針頭。每個AND閘之剩餘輸入針頭被連接至警報單，元 .ALM’之第一轉換器，亦即被直接連接至比較器CPT之輸出 埠之第一轉換器之輸出埠。於是，三個AND閘被第一轉換 器之輸出訊號所控制。三個AND閘之三個輸出針頭分別被 連接至第一，第二及第三開關SWT1.，SWT2及SWT3之控 制璋。 較佳的是，第一，第二及第三發光二極體LI，L2及 L3分別被裝設在三個AND閘及三個開關之間，使得操作 員目測處於打開狀態的開關。同時，重置開關RSS’被連接 .至包含於開關構件SWP中之第一及第二解碼器DCD8及 DCD4及抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件的淸除 針頭CLs。 同時，除了圖5中顯示之警報單元ALM之一個低水準 偵測開關及一個端週期開關之外，警報單元ALM’更進一 步包含兩個低水準偵測開關及兩個端週期開關。也就是說 ，警報單元ALM’包含第一至第三低水準偵測開關LSS1， LSS2及LSS3及第一至第三端週期開關ECS1，ECS2及 ECS3。第一至第三低水準偵測開關LSS1，LSS2及LSS3之 控制埠被連接至分別附著於圖7中之第一至第三水槽TK1 .，TK2及TK3的第一至第三低水準偵測器LS卜LS2及LS3 29 本紙張尺度適用t周國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事I填寫本頁) 裝 ----訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 ------:___B7___— 五、發明說明 。於是，第一低水準偵測開關LSS1被第一低水準偵測器 LSI輸出之訊號0LS1所控制且第二低水準偵測開關LSS2 被第二低水準偵測器LS2輸出之訊號0LS2所控制。同樣 .地，第三低水準偵測開關LSS3被第三低水準偵測器LS3 輸出之訊號0LS3所控制。 第一端週期開關ECS1之輸出訊號ΦΕ(：1控制了圖7中 顯示之第一主體Ε1的運作，且第二端週期開關ECS21之 輸出訊號(DEC2控制了第二主體Ε2的運作。同樣地，第三 端週期開關ECS3之輸出訊號ΦΕ(：3控制了第三主體Ε3的 運作。同時，警報單元_ ALM’可更進一步包含分別位於繼 電開關RLY及低水準偵測開關LSS1，LSS2及LSS3之間的 第二至第四發光二極體LED2，LED3及LED4可使操作員 目測水槽ΤΚ中之化學溶液CH的短少。 控制器C更進一步包含一個唧筒狀態偵測器PSS。唧 筒狀態偵測器PSS包含第一至第三開關SWT1，SWT2及 SWT3，一個解碼器DCD4及一個多重振動器。較佳的是， 多重振動器MV爲一個可引起連鎖反應的多重振動器，且 解碼器DCD4擁有至少四個輸出針頭。第一至第三開關 SWT1，SWT2及SWT3被連接至第一至第三抽汲週期偵測 器PCS1，PCS2及PCS.3分別如包含於開關構件SWP之中 的第一至第三開關SWT1，SWT2及SWT3。第一至第三開 關SWT1.，SWT2及SWT3的所有輸出針頭被連接至第二解 碼器DCD4之輸入針頭，亦即時鐘針頭(CK)及多重振動器 MV之輸入針頭，亦即時鐘針頭(CK)。解碼器DCD4之輸入 30 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 _____ B7_____ 五、發明說明（Y) 針頭Q4被連接至淸除針頭(CK)，且第一·至第二輸出針頭 Ql，Q2及Q3分別被連接至第一，第二及第三開關SWT1 ，SWT2及SWT3之控制璋。同時，較隹的是將二極體連接 至第一至第三開關SWT1，SWT2及SWT3之每個輸出針頭 ，使其避免三個開關之一的輸出訊號輸入其他的開關。同 時，第一至第三發光二極體LI，L2及L3可分別被連接至 解碼器DCD4之第一，第二及第三輸出針頭Ql，Q2及Q3 使得操作員可目測操作開關的狀態，亦即開關的打開狀態 〇 多重振動器MV包含如圖5顯示之多重振動器的 一個變阻器Rv及一個電容器Cv，以控制輸出訊號的脈衝 寬度。解碼器DCD4之淸除針頭被連接至重置開關RSS’。 包含於唧筒狀態偵測器PSS中之多重振動器MV之輸出針 頭/Q被連接至警報單元ALM’之繼電開關RLY。較佳的是 ，第五發光二極體LED5被裝設在多重振動器及繼電開關 RLY之間，使得第五發光二極體LED5除警報於狀態1之 訊號經由多重振動器MV之輸出針頭/Q輸出時產生響聲外 還可被打開。 . 擁有上述結構之控制器C’的運作將參考圖· 9A至9L來 加以詳細說明。圖9A至9C表示從第一至第三抽汲週期偵 測器PCS1，PCS2及PCS3輸出的訊號，且圖9D表示經由 包含於開關構件SWP中之第一解碼器DCD8之第七輸出針 頭Q7所輸出的訊號。同時，圖9E至9G表示經由包含於 開關構件SWP中之第二解碼器DCD4之輸出針頭所輸出的 31 owi ^--------^-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準CCNS)A4規格（2】0 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 __^B7__ ' 五、發明說明（$&) 訊號，圖9H至9；[表示經由包含於唧筒狀態偵測器PSS中 之解碼器PCD4之輸出針頭所輸出的訊號，及圖9K及9L 表示經由多重振動器MV之輸出針頭Q及/Q所輸出的訊號 。較佳的是，當輸入訊號從狀態1改變爲0時，從開關構 件SWP中之第一及第二解碼器DCD8及DCD4及啣筒狀態 偵測器PSS中之解碼器DCD4之輸出訊號的邏輯狀態被改 變了。 唧筒之最大容許操作期間被儲存於抽汲週期設定構件 中。接著，利用重置開關RSS’來啓動控制器C’之所有計數 器及解碼器，使得抽汲週期測量構件在第二指示器D2上 顯示”0.0”且開關構件SWP中之第一開關SWT1及啷筒狀態 偵測器PSS中之第一開關SWT1打開。於是，即使如第二 及第三啷筒P2及P3之與圖7之第一啷筒不同的嘟筒運作 時，第二及第三脈衝訊號OPS1及ΦΡ32並不會被輸入至抽 汲週期訊號產生器及第一解碼器DCD8中。當第六脈衝訊 號被鄰接第一唧筒裝設之第一抽汲週期偵測器PCS1所產 -生時，經由第一解碼器DCD8之第七輸出針頭Q7所輸出的 訊號從狀態1改變爲0。隨後，當第七脈衝訊號經由打開 狀態下之第一開關SWT1被輸入至第一解碼器DCD8時， 第一解碼器DCD8之第八輸出針頭Q8輸出狀態1的訊號瞬 間地啓動第一解碼器DCD8。因此，僅有第一解碼器DCD8 之第一輸出針頭Q1輸出狀態1的訊號且僅有第二解碼器 DCD4之第二輸出針頭Q2輸出狀態1的訊號。結果，第一 開關SWT1關閉且瞬間地僅有第二開關SWT2打開。在此 32 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱）
& Α7 Β7 五、發明說明（>w) ，僅有第二發光二極體L2被打開。 接著，第六脈衝訊號（由抽汲週期偵測器PCS2所產生 的脈衝訊號)經由打開狀態下之第二開關SWT2被輸入至第 一解碼器DCD8之輸入針頭，第一解碼器DCD8之第七輸 出針頭Q7.輸出狀態1的訊號。同時，當第七脈命訊號經 由第二開關SWT2被輸入至第一解碼器DCD8時，第一解 碼器DCD8被啓動且僅有第一解碼器DCD8之第三輸出針 頭Q3輸出狀態1的訊號。結果，第二開關SWT2被關閉且 僅有第三開關SWT3被打開。 同樣地，當從抽汲週期偵測器PCS3所產生的第七脈 衝訊號經由打開狀態下之箄三開關SWT3被輸入至第一解 碼器DCD8時，第二解碼器DCD4被啓動，使得第三開關 SWT3被關閉且第一開關SWT1瞬間被打開。如同開關構件 之第一，第二及第三開關SWT1，SWT2及SWT3依序被打 開，第一，第二及第三啷筒PI，Ρ2及Ρ3的實際抽汲週期 被抽汲週期測量構件依序顯示出。 同時，從抽汲週期偵測器成功所產生的第六脈衝訊號 經由開關構件SWP之開關被依序輸入至抽汲週期訊號產生 器。於是，抽汲週期測量構件連續測量每個唧筒的抽汲週 期時間三次。開關構件SWP之第一解碼器DCD8之輸出針 頭數量和啷筒之抽汲週期的連續測量數量有關。同時，第 二解碼器DCD4之輸出針頭數量視唧筒數量而定。因此， 開關構件SWP可被修改爲各種類型。 若許多唧筒之至少一個，如三個卿筒PI > Ρ2及Ρ3無 33 本紙張尺度適用尹國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） < I. T-'y* 裝--------訂---------. {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 A7 _____B7____ 五'發明說明（31) 法運作時，抽汲週期偵測器PSS就控制警報單元ALM’以 產生警報。詳細說'，當三個唧筒PI，P2及P3之一突然停 止時，抽汲週期測量構件PCMP會顯示最後被測量之抽汲 週期。在此，若最後之抽汲週期較儲存於抽汲週期設定構 件之抽汲週期爲短，則警報單元ALM’並不會產生警報。 因此，若操作員沒有仔細觀察顯示於抽汲週期測量構件之 第二顯示器D2上的抽汲週期，則檢査化學及機械磨光裝 置的運作是否爲正常會很困難。唧筒狀態偵測器PSS可解 決此問題。 啷筒狀態偵測器PSS的運作將參考圖6 >圖9A至9C 及圖9H至9L來加以詳細說明。 首先，當唧筒狀態偵測器PSS的解碼器DCD4藉由重 置開關RSS’被啓動時，僅有解碼器DCD4之第一輸出針頭 Q1輸出狀態1的訊號，所以僅有第一開關SWT1被打開。 當第一開關SWT1被打開時且第一抽汲週期偵測器PCS1產 生一脈衝訊號，僅有解碼器DCD4之第二輸出針頭Q2輸出 狀態1的訊號。結果，第一開關SWT1被關閉且第二開關 SWT2被打開。當第二開關SWT2被打開時且第二抽汲週期 偵測器PCS2產生一脈衝訊號，僅有解碼器DCD4之第三輸 出針頭Q3輸出狀態1的訊號。結果，第二開關SWT2被關 閉且第三開關SWT3被打開。隨後，當第三開關SWT3被 打開時且第三抽汲週期偵測器PCS3產生一脈衝訊號，解 碼器DCD4之第四輸出針頭Q4輸出狀態1的訊號，使得解 碼器DCD4被啓動。結果，僅有解碼器DCD4之第一輸出 34 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -裝--------訂----- (請先間讀背面之注項再填寫本頁) I； I； 經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 ------- " 五、發明說明（3)) 針頭Q1輸出狀態1的訊號，所以僅有第一開關SWT1被打 開。. 如上述，唧筒狀態偵測器PSS依序偵測唧筒PI，P2 及P3的運作。在此，無論三個抽汲週期偵測器PCS1 , PCS2及PCS3何時依序產生脈衝訊號，唧筒狀態偵測器 PSS之多重振動器於事先預定時間Tosc輸出邏輯狀態1的 訊號。事先預定時間Tosc可利用變阻器Hv來調整。在此 ，事先預定時間Tosc必須較儲存於抽汲週期設定構件之抽 汲週期爲長。因此，當每個嘟筒之操作週期較短於或相等 於事先預定時間Tosc時，多重振動器MV兩個輸出針頭Q 及/Q之一，例如輸出針頭Q顯示狀態1。然而，當每個啷 筒之一的操作週期較長於事先預定時間Tosc時，多重振動 器MV的輸出針頭Q就會輸出邏輯狀態〇的訊號。學例而 言’當由第一抽汲週期偵測器PCSh產生第三脈衝訊號P3 且第二唧筒P2停止於時點Th時，唧筒狀態偵測器PSS之 解碼器DCD4之第二輸出針頭Q2就會連續顯示狀態1。同 畤，若第二唧筒P2不再產生脈衝訊號直到事先預定時間 Tosc在第二輸出針頭Q2輸出邏輯狀態！的訊號，多重振 動器MV的輸出針頭Q就會輸出邏輯狀態〇的訊號。於是 ，當第二唧筒P2停止時，另一個輸出針頭/Q可輸出和輸 出針頭Q輸出邏輯狀態1訊號相反之邏輯狀態，使得警報 單元ALM’產生警報訊號。 如上述，根據本發明之半導體裝置製造設備可自動偵 測濾器的過濾功能及啷筒的操作狀態。因此·，操作者可有 ____35 中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱1--------— 「裝------ r\'·-- (請先閱讀背面之注意事項#填寫本頁) 訂--------- 418454 A7 B7 五 、發明說明（3^·) 效管理淸潔室區域中之濾器及唧筒而不需常常進出服務區 域。同時，其能精確地偵測出更換濾器的時機及避免處理 的突然停止。 而本發明已參考特定實施例而加以說明與敘述了，如 後附之申請專利範圍所界定的本發明之精神與範疇内更進 一步的修改及改變，熟悉本項技藝人士係易於想到的。 : Ί^ι裝------ Γν (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
Claims (1)
- 經濟部中央標率局i消费合作社印製 418454 鉍 C8 D8 、申請專利範圍 1. 一種半導體裝置製造設備’其包含： 一個擁有一進口及一出口並可儲存化學溶液的水槽； 一個位於水槽進口及出口之間可傳送包含於水槽中之 化學溶液的唧筒； —個位於唧筒出口及水槽進口的濾器； 至少一個被連接至濾器出口的主體； 一個可將啷筒之抽汲操作轉換爲脈衝訊號的抽汲週期 偵測器；及 一個控制器，其可測量抽汲週期偵測器所產生之脈衝 訊號的週期時間，以決定濾器破壞水準。 2. 如申請專利範圍第1項之半導體裝置製造設備’其 中化學溶液爲一黏漿。 3. 如申請專利範圍第1項之半導體裝置製造設備’其 中啷筒爲擁有一進氣口及一排氣口的隔板啷筒。 4. 如申請專利範圍第1項之半導體裝置製造設備’其 中至少一個主體爲化學及機械磨光裝置(CMP)。 5. 如申請專利範圍第3項之半導體裝置製造設備’其 中抽汲週期偵測器包含： 一個擁有被彈簧支撐而被裝設於唧筒排氣口前面的開 關；及 一個被裝設在開關按鈕及啷筒的排氣口之間的面板’ 面板的一端藉由鉸鍊被連接至開關的主體。 6. 如申請專利範圍第1項之半導體裝置製造設備，其 中控制器包含： t紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS ) A4規格（2I0X297公釐） 請 先 閱 背 SC 裝 訂鋰濟部中央梯牟局貝工消费合作社印氧 4184 5 4 as B8 C8 D8 、申請專利範圍 —個可儲存JI卩筒之最大可容忍操作期間的抽汲週期設 定構件； 一個可輸出雙態訊號的抽汲週期訊號產生器，其雙態 訊號無論脈衝訊號何時被抽汲週期偵測器產生時均可轉換 I 一個利用抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號當做輸 入訊號來測量啷筒之操作週期的抽汲週期測量構件； —個可比較抽汲週期設定構件輸出之訊號與抽汲週期 測量構件輸出之訊號的比較器； 一個位於抽汲週期偵測器及抽汲週期訊號產生器之間 的第一開關； 一個位於抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件之 間的第二開關： 一個於啷筒之被測量抽汲操作週期等於儲存於抽汲週 期設定構件之最大容許操作期間時可產生警報且立即關閉 第一及第二開關，以停止抽汲週期訊號產生器及抽汲週期 測量構件之運作的警報單元；及 —個可啓動抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件 的重置開關。 7. 如申請專利範圍第6項之半導體裝置製造設備’更 進一步包含一個被連接至第一開關之輸出填的多重振動器 ，多重振動器運作於啷筒之操作週期較事先預定時間爲長 時。 8. 如申請專利範圍第7項之半導體裝置製造設備’其 表紙張尺度逍用中國国家操準（CNS ) Λ4规格（210X297公釐） ABCD 418454 六、申請專利範圍 中多重振動器爲一種可引起連鎖反應的多重振動器。 9. 如申請專利範圍第6項之半導體裝置製造設備，其 .中抽汲週期設定構件包含：· 一個可產生連續脈衝訊號的第一振盪器； 一個可計算由第一振盪器產生之脈衝訊號數量的第一 計數器；. 一個可將第一計數器輸出之訊號轉換至適合顯示爲十 進位數之數碼的第一解碼器： 一個可將第一解碼器輸出之訊號顯示爲十進位數之數 碼的第一指示器；及_ . 至少一個位於第一振盪器及第一計數器之間的計數器 開關，可藉其將第一振盪器所產生之預期脈衝訊號數量轉 換至第一計數器。 10. 如申請專利範圍第9項之半導體裝置製造設備，其 中第一計數器爲一種上/下計數器。 11. 如申請專利範圍第9項之半導體裝置製造設備，其 .中第一指示器包含至少一個七段顯示器。 經濟部中央揉串局貝工消費合作社印策 ..---/-.-:-^' :· ' . 1.· 二 12. 如申請專利範圍第6項之半導體裝置製造設備，其 中抽汲週期測量構件包含： 一個於抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號處於狀態 1時產生擁有事先預定週期時間之連續脈衝訊號，且於抽 汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號處於狀態0時產生邏輯 狀態0之訊號的第二振盪器； 一個可計算由第二振盪器產生之脈衝訊號數量的第二 »國國家梯準（CNS ) A4规格（210X297公釐） A8 B8 C8 D8 418454 Γ、申請專利範圍 計數器； 一個可將第二計數器輸出之訊號轉換至適合顯示爲十 進位數之數碼的第二解碼器； 一個可將第二解碼器輸出之訊號顯示爲十進位數之數 碼的第二指示器。 13. 如申請專利範圍第12項之半導體裝置製造設備， 其中第二指示器包含至少一個七段顯示器。 14. 如申請專利範圍第12項之半導體裝置製造設備1 更進一步包含一個位於重置開關及第二計數器之間的時間 延時電路。 · 15. 如申請專利範圍第6項之半.導體裝置製造設備，其 中比較器於抽汲週期設定構件輸出之訊號與抽汲週期測量 構件輸出之訊號相等時，輸出邏輯狀態1之訊號，且於抽 汲週期設定構件輸出之訊號與抽汲週期測量構件輸出之訊 號不相等時輸出邏輯狀態0之訊號^ 16. 如申請專利範圍第6項之半導體裝置製造設備，其 中警報單元包含： 一個被連接至比較器之輸出埠，可輸出訊號來控制第 一及第二開關之開/關狀態的第一轉換器； .一個被連接至第一轉換器之輸出埠的第二轉換器： 一個被連接至第二轉換器之輸出埠針頭的繼電開關， 繼電開關擁有兩個可同時操作的開關； .一個被連接至構成繼電開關的兩開關之一的蜂鳴器； 一個位於兩開關之另一個及至少一個主體之間的端週 用中邮.家縣（CNS)Α4祕（21GX297公釐） 7-·—裝-- (請先聞讀背面之注意事項^^寫本頁) 訂· 經濟部中央揉準扃貞工消費合作社印装 4 8 1— 4 ABCD 經濟部中央標準局貝工消费合作社印策 .-1-' ..';n^®lr 六、申請專利範圍 期開關。 17，如申請專利範圍第16項之半導體裝置製造設備’ 更進一步包含二個位於第二轉換器及繼電開關之間的抽汲 週期偵測燈。 18. 如申請專利範圍第1項之半導體裝置製造設備’更 進一步包含至少一個被裝設在水槽側壁上的水準偵測器， 水準偵測器用來偵測水槽中之化學溶液水準。 19. 如申請專利範圍第18項之半導體裝置製造設備’ 其中水準偵測器爲一種被裝設在水槽較低側壁上的低水準 偵測器。 20. 如申請專利範圍第18項之半導體裝置製造設備’ 其中控制器包含： 一個可儲存唧筒之最大可容忍操作期間的抽汲週期設 定構件； 一個可輸出雙態訊號的抽汲週期訊號產生器’其雙態 訊號無論脈衝訊號何時被抽汲週期偵測器產生時均可轉換 一個利用抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號當做輸 入訊號來測量啷筒之操作週期的抽汲週期測量構件； 一個可比較抽汲週期設定構件輸出之訊號與抽汲週期 測量構件輸出之訊號的比較器； 一個位於抽汲週期偵測器及抽汲週期訊號產生器之間 的第一開關； 一個位於抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件之 表板張:欠皮迫用中國國家捸率（〇阳）八4規格（210父297公嫠） wmm''"ΐί^^ώ" 經濟部中央標率局to：工消费合侏j印衷‘ 418454 |8 D8 六、申請專利範圍 間的第二開關：及 一値於唧筒之被測量抽汲操作週期等於儲存於抽汲週 期設定構件之最大容許操作期間時可產生警報且立即關閉 第一及第二開關’以停止抽汲週期訊號產生器及抽汲週期 測量構件之運作的警報單元，且於水槽中之化學溶液水準 低於低水準偵測器高度時產生警報的警報單元。 21. 如申請專利範圍第20項之半導體裝置製造設備， 更進一步包含一個被連接至第一開關之輸出璋的多重振動 器，多重振動器運作於啷筒之操作週期較事先預定時間爲 長時。 22. 如申請專利範圍第21項之半導體裝置製造設備， 其中多重振動器爲一種可引起連鎖反應的多重振動器。 23. 如申請專利範圍第20項之半導體裝置製造設備， 其中警報單元包含： 一個被連接至比較器之輸出埠，可輸出訊號來控制第 一及第二開關之開/關狀態的第一轉換器； 一個被連接至第一轉換器之輸出埠的第二轉換器； 一個被連接至第二轉換器之輸出埠針頭的繼電開關， 繼電開關擁有兩個可同時操作的開關； 一個被連接至構成繼電開關的兩開關之一的蜂鳴器開 關； .一個位於兩開關之另一個及至少一個主體之間的端週 期開關。 , I ' 至少一個並聯位於繼電開關及電源的低水準偵測開關 ：'·_ 6 iij§ 張1 讀ABCD 418454 六、申請專利範圍 ，低水準偵測開關被至少低水準偵測器之一所轉換的訊號 所控制著。 24. 如申請專利範圍第23項之半導體裝置製造設備， 更進一步包含一個位於第二轉換器及繼電開關之間的抽汲 週期偵測燈。 25. 如申請專利範圍第24項之半導體裝置製造設備， 更進一步包含至少一個並聯位於至少低水準偵測開關及繼 電開關之一的化學溶液偵測燈。 26. —種半導體裝置製造設備，其包含： 複數個儲存化學ί容液且每個均擁有一進口及一出口的 水槽； 複數個位於每個水槽進口及出口之間可傳送包含於永 槽中之化學溶液的唧筒； 複數個位於每個啷筒出口及每個水槽進口的濾器； 複數個被連接至每個濾器出口的主體； 複數個可將每個啷筒之抽汲操作轉換爲脈衝訊號的抽 汲週期偵測器；及 一個可測量由複數個抽汲週期偵測器所產生之脈衝訊 號的週期時間以決定許多濾器破壞水準的控制器。 27. 如申請專利範圍第26項之半導體裝置製造設備’ 其中化學溶液爲一黏漿。 .28.如申請專利範圍第26項之半導體裝置製造設備， 养中複數個唧筒的每個爲擁有一進氣口及一排氣口的隔板 唧筒。 本轉^度埤用中《网家樣率（。猫）八4規格（210><；297公釐）A8 B8 C8 D8 418^54. •、申請專利範圍 29. 如申請專利範圍第26項之半導體裝置製造設備， 其中每個主體爲化學及機械磨光裝置(CMP)。 30. 如申請專利範圍第28項之半導體裝置製造設備， 其中每個抽汲週期偵測器包含： 一個擁有被彈簧支撐而被裝設於唧筒排氣口前面的開 關；及 一個被裝設在開關按鈕及啷筒的排氣口之間的面板， 面板的一端藉由鉸鍊被連接至開關的主體。 31. 如申請專利範圍第26項之半導體裝置製造設備， 其中控制器包含i 一個可儲存每個啷筒之最大可容忍操作期間的抽汲週 期設定構件； 一個可依序輸出由許多抽汲週期偵測器所產生之許多 脈衝訊號的開關構件/ 一個可輸出雙態訊號的抽汲週期訊號產生器，其雙態 訊號無論脈衝訊號何時被抽汲週期偵測器產生時均可轉換 ； 一個利用抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號當做輸 入訊號來測量卿筒之操作週期的抽汲週期測量構件； 一個可比較抽汲週期設定構件輸出之訊號與抽汲週期 測量構件輸出之訊號的比較器； 一個位於抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件之 間的苐二開關； 一個可啓動開關構件，抽汲週期訊號產生器及抽汲週 (請先閲讀背面之注意事視^^-寫本頁) -裝. 訂_ 鯉濟部中央揉準局貝工消費合作社印東 418454 C8 . D8 六、申請專利範園 期測量構件的重置開關；及 一個於唧筒之被測量抽汲操作週期等於儲存於抽汲週 期設定構件之最大容許操作期間時可產生警報且立即關閉 第一及第二開關，以停止袖汲週期訊號產生器及抽汲週期 測量構件之運作的警報單元。 32. 如申請專利範圍第31項之半導體裝置製造設備’ 更進一步包含一個於從複數個抽汲週期偵測器輸出之至少 一個脈衝訊號擁有較事先預定時間爲長之週期時間時可運 作警報的啷筒狀態偵測器。 33. 如申請專利範圍第32項之半導體裝置製造設備’ 其中唧筒狀態偵測器被重置開關啓動。· 34. 如申請專利範圍第32項之半導體裝置製造設備’ 其中啷筒狀態偵測器更進—步包含： 複數個一一相連至每個唧筒狀態偵測器的開關； 一個利用經由複數個開關中之打開狀態下的開關之脈 衝訊號輸出當做輸入訊號來關閉打開狀態下的開關且立即 .打開另一個開關以依序打開所有眾多開關的解碼器； 一個於從複數個開關之一接收之脈衝訊號擁有較事先 預定時間爲長之週期時間時可輸出訊號來運作警報的可引 起連鎖反應的多重振動器 35. 如申請專利範圍第31項之半導體裝置製造設備’ 其中開關構件包含： .簿數個一一相連至每個唧筒狀態偵測器的開關； 1 一i無論經由複數個開關中之打開狀態下之開關之脈 本紙張逋用中H0家揉率（CNS ) A4规格（210X297公釐） --1裝— (請先聞讀背面之注意事項填寫本頁) 訂 經濟部中央揉率局βς工消費合作社印1ί.Λ8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 衝訊號輸出何時被輸入兩次均輸出脈衝訊號的第一解碼器 一個藉由從第一解碼器輸出之脈衝訊號當做輸入訊號 來關閉打開狀態下的開闞且立即打開另一個開關以輸出控 制訊號而依序打開所有複數個開關的第二解碼器； 36.如申請專利範圍第35項之半導體裝置製造設備’ 其中複數個開關構件之開關，於儲存於抽汲週期設定構件 中之最大容許操作期間等於抽汲週期測量構件所測量之被 測量抽汲操作週期時，爲完全關閉、. 請 先 聞 讀 背 意 事 % 再 本 裝 订 經濟部中央樑丰局属工消費合作社印«.· --¾ :i:is 鳴. Μ 釐一祕 9 2
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GD4A | Issue of patent certificate for granted invention patent | ||
| MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |