TW418454B - Semiconductor device manufacturing apparatus having controller detecting function of filter - Google Patents
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Description
r 418454 A7 ___ B7 五、發明說明(/) 發明背景 發明之領域 本發明爲有關一種被用來製造半導體裝置,且特別有 關於擁有偵測濾器功能之控制器的半導體製造裝置。 2.相關習知技術的說明 . 大多數製造半導體裝置的處理需要化學溶液。特別是 ,化學及機械磨光(CMP)裝置利用黏漿做爲磨光媒介來將 局度積體半導體裝置平面化。用於此目的之黏發包括事先 決定尺寸的雜質,例如聚集雜質。包含於黏漿的雜質被濾 器過濾,以使用被過濾‘的黏漿做實質的處理。然而,當長 期使用濾器時,爐器的過濾功能就會被破壞。於是,將事 先決定的黏漿數量過濾需花費多時。 圖1爲傳統化學及機械磨光裝置的示意圖。在此,參 考部份a表示化學及機械磨光裝置被修理的服務區域,且 參考部份b表示實施實質處理的淸潔室區域。因此,服務 區域及淸潔室區域被分離,且同時每個區域的大氣微粒密 度也不同。 參考圖1,於服務區域a內有一個包含如黏發之化學 溶液CH的水槽TK,一個計算水槽TK中之化學溶液CH 的唧筒P,及一個過濾從唧筒P釋放出來之化學溶液中之 雜質的濾器。通常’一個主體E,亦即化學機械磨光裝置 ,被裝設在淸潔室區域b。濾器F之排出口被連接至主體e 以提供部份之被過濾化學溶液,亦即部份之被過濾黏漿至 主體E。當使用濾器P的期間增加時,濾器F的過濾功能 3 本紙張尺度適用中固國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -------------裝--- (請先閱讀背面之注意事填寫本頁) . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 B7 A7 五、發明說明(>) 就會被破壞。同時,當濾器F的功能變慢時,嘲筒的操作 循環就變長了。同時,在最糟的案例中,濾器F被阻塞使 得主體E的程序,亦即化學及機械磨光程序無法被實施。 在上述傳統化學及機械磨光裝置中’一個操作員必須 檢查被裝設於服務區域之濾器的操作週期以便找出更換濾 器的時間。然而,以目視及聽覺來檢查啷筒的操作週期存 在著準確性的問題。因此,使用濾器的最大期間爲事先預 定的,且當被使用的濾器達到設定之最大可使^期間時, 則應更換濾器。然而,全部濾器都有不同的生命週期’因 此要分辨每個濾器之最大可使用期間是很困難的。因此’ 要有效的使用濾器及避免濾器被阻塞產生的問題是很困難 的。 發明.槪要 本發明的目的是提供~~個可精確偵測是否濾器被破壞 之半導體裝置製造設備,其係藉由改變將化學溶液傳送f -電子脈讎號之賴之操作週期:且歸測重脈衝訊號 的週期。 本發明的另一個目的是提供一個可精確偵測出根據濾 器狀況而麵腿的關,師避顏賴間主體之突然 停止的半導體裝置製造設備。 > 本發明的又-個目的是提供一個擁有一個可自動^^貞測 水槽中化學溶液水準的控制器,避免因水槽中化學裕液短 缺造成意外的半導體裝置製造設備° 根據本發明欲達成這些及其他目的之觀點’被提供的 ^紙張尺度適用中國囤家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事填寫本頁) 裝 ----訂-----1 II I . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 , ______B7_____ 五、發明說明(今) ’ 半導體裝置製造設備包含:一個儲存化學溶液的水槽;一 個流通水槽中之化學溶液的唧筒;一個位於唧筒及水槽之 入口之間可過濾從傳送化學溶液中之雜質的濾器;至少一 主體,其被連接至濾器之排出口,做爲事先預定的功能; 一個可將唧筒的抽汲操作轉換至如脈衝訊號之電子訊號的 抽汲週期偵測器;及一個測量由抽汲週期偵測器產生之電 子訊號的週期時間以決定濾器之破壞水準的控制器。 唧筒可傳送水槽中’之化學溶液。較佳的是,至少一水 準偵測器被裝設在水槽的側壁上。至少一水準偵測器產生 的訊號被轉換至控制器。控制器將由至少一水準偵測器轉 換的訊號發出以偵測水槽中之化學溶液數量。較佳的是, 唧筒爲擁有一個進氣口及一個排氣口的隔板唧筒。無論水 槽中之化學溶液何時被轉換至濾器,隔板啷筒均以固定壓 力藉由排氣口釋出空氣。當化學溶液爲被用來化學機械磨 光的黏漿,至少一主體對應著化學機械磨光裝置。 抽汲週期偵測器包含一個無論由被裝設於主體中之彈 簧所支撐的按鈕何時被壓迫而可供應如直流電壓之電壓供 應至控制器的開關,及一個被裝設於按鈕及唧筒排氣口之 間的平板。平板的一端藉由鉸鍊被連接至開關的主體。因 此,當藉由啷筒排氣口來耗盡事先預定的氣壓·時,開關立 即導通以將脈衝訊號轉換至控制器。 . 控制器包含一個將交流電壓轉換至直流電壓的承接器 ,一個可儲存嘟筒之最大可容忍操作期間的抽汲週期設定 構件/一個可產生雙態訊號的抽汲週期訊號產生器,無論 5 本紙張尺度.適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐〉 ο!!裝 (請先閱讀背面之注意事 ¥再填寫本頁) • n 11--訂---------· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 B7 五、發明說明(p) 脈衝訊號何時輸入,其數位狀態可從抽汲週期偵測器轉換 ,一個可測量從抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號停留 在狀態1之時間的抽汲週期測量構件,一個可決定儲存於 抽汲週期設定構件之最大容許操作期間是否相等於由抽汲 週期測量構件所測量之實際啷筒操作週期的比較器,一個 位於抽汲週期偵測器及抽汲週期訊號產生器之間的第一開 關,一個位於抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件之 間的第二開關,一個於被測量之抽汲週期相等於最大容許 操作期間時,可產生警報且關閉第一及第二開關以停止抽 汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件之運作的警報單元 ,及一個啓動抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件的 重置開關。 較佳的是,控制器更進一步包含一個於第一開關輸出 之脈衝訊號較事先預定之週期爲長時運作警報單元的多重 振動器,且此多重振動器爲可引起連鎖反應的多重振動器 • 根據本發明欲達成這些及其他目的的觀點,提供的半 導體裝置製造設備包含許多化學溶液供給單位,許多主體 及一個控制器。 許多化學溶液供給單位及許多的主體被——連接。每 個化學溶液供給單位包含一個擁有一個進口及一個出口的 水槽,一個位於水槽之進出口之間可傳送水槽中之化學溶 液的唧筒,一個位於唧筒出口及水槽之進口之間的濾器, 及一個可將啷筒的抽汲週期轉換至如脈衝訊號之電子訊號 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 閱 讀 背 意 |c 童▲ 本. 頁 I 一 I I I I I I 訂 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 418454 A7 •B7 五、發明說明(e) 的抽汲週期偵測器。濾器出口被連接至許多主體之一。較 佳的是,每個啷筒爲如上述實施例中之隔板啷筒。當化學 溶液爲黏漿時,則主體對應著化學機械磨光裝置。每個抽 汲週期偵測器擁有如上述實施例之抽汲週期偵測器相同的 結構及功能。 一個控制器接收由每個抽汲週期偵測器產生之脈衝訊 號序列,及依序測量每個啷筒的操作週期。當至少許多唧 筒之一擁有較事先預定之週期爲長之週期或無法操作時’ 控制器產生如警報般可被操作員察覺的訊號。同時’控制 器選擇性地輸出可控制被連接至擁有較事先預定之週期爲 長之操作週期之啷筒之主體的運作。 較佳的是,半導體裝置製造設備包含至少一個被裝設 在水槽的側壁上的水準偵測器。此水準偵測器偵測如上述 實施例之水槽中之化學溶液數量。 該控制器包含一個承接器,一個抽汲週期設定構件’ 一個開關構件,一個抽汲週期訊號產生器,一個抽汲週期 測量構件’ 一個比較器,一個第二開關,一個重置開關及 一個警報單元。在此,承接器,抽汲週期設定構件’抽汲 週期訊號產生器,抽汲週期測量構件,比較器及第二開關 擁有如第一實施例之相同的結構及功能。 同時,開關構件爲一個根據本_明第一實施例之半導 體裝置製造設備之第一開關的組件,且警報單元一個根據 本發明第一實施例之修改的警報單元.。同時,重置開關啓 動了抽汲週期訊號產生器,抽汲週期測量構件及開關構件 本紙張尺度適用_國國家標準(CNS)A4規格(2〗0 X 297公釐) (請先閲績背面之注意事項再填寫本頁) 裝 -----訂---------. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 , __ B7___ 五、發明說明(“) 〇 開關構件將抽汲週期偵測器產生之許多脈衝訊號序列 轉換至抽汲週期訊號產生器,且警報單元根據比較器之輸 出訊號輸出了開關構件及第二開關的關閉或打開控制訊號 。同時,當由抽汲週期測量構件測量之抽汲週期相等於儲 存於抽汲週期設定構件中之抽汲週期’警報卓兀輸出了弟 二開關及開關構件的關閉控制訊號,且立即產生如警報般 可被操作員察覺的訊號。 較佳的是,半導體裝置製造設備更進一步包含一個被 連接平行於與開關構件在一起之抽汲週期偵测器的抽汲狀 態偵測器。當至少許多唧筒之一擁有較事先預定之週期爲 長之週期或無法操作時,抽汲狀態偵測器可輸出運作警報 單元的訊號。 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 -----------y裝---- 厂; (請先閱讀背面之注意事現再填寫本頁) 如上所述,當唧筒操作週期相等於事先預定之時間時 ,根據本發明之半導體裝置製造設備就認定濾器的運作被 破壞了,因而產生警報。結果,其可能使操作員省卻連續 進入唧筒Ρ被裝設的服務區域及更換可被精確偵測之濾器' 之時間的麻煩。因此,濾器的使用可被有效的管理,可避 免過度消耗濾器及每個主體在運作中突然地短缺。 圖式簡單說明 本發明之上述目標及優點可藉由參考較佳實施例之圖 式的詳細說明而更加明瞭: 圖丨爲傳統半導體裝置製造設備的示意圖; 圖2爲根據本發明較佳實施例之半導體裝置製造設備 8 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(2W X 297公釐) 418454 A7 B7 五、發明說明(7) 的示意圖; 圖3爲顯示圖2之抽汲週期偵測器及唧筒的示意圖; 圖4爲圖2之控制器之方塊圖; 圖5爲示於圖4之控制器的詳細電路圖; 圖6A爲圖3及5顯示之抽汲週期偵測器之輸出訊號 的波形; 圖6B至6E爲圖5中構成抽汲週期訊號產生器之計數 器之輸出訊號的波形; 圖6F至6H爲圖5中抽汲週期訊號產生器之解碼器之 輸出訊號的波形;· 圖61爲圖5中構成抽汲週期測量構件之第二振盪器之 輸出訊號的波形: 圖6】及6K爲說明示於圖5中之多重振動器之功能的 波形; 圖7爲根據本發明另一個實施例之半導體裝置製造設 備的示意圖; 圖8爲示於圖7之控制器的電路圖; 圖9A至9C爲圖7之每個抽汲週期偵測器之輸出訊號 的波形; 圖9D爲圖8中構成開關構件之第一解碼器之輸出訊 號的波形; 圖9_E至9G爲圖8中構成開關構件之第二解碼器之輸 出訊號的波形; 圖9H至9;[爲圖8中構成抽汲狀態之解碼器之輸出訊 9 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項#'填寫本頁) ΓΛ^· I 1 I i I I I I —III —
1 ^1 I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 * 418454 A7 , _ B7____ 五、發明說明(沪) 號的波形; 圖9K及9L爲說明圖8中構成抽汲狀態之多重振動器 .之功能的波形; 較佳實施例之說明 在下文將詳細說明本發明較佳實施例的a化學及機械 磨光.裝置。然而,本發明並不侷限於化學及機械磨光裝置 ,且利用化學溶液及濾器而被應用至所有的半導體裝置製 造設備。 圖2中,參考部份a表示服務區域,且參考部份b表 示淸潔室區域,其中服務區域及淸潔室區域彼此分開。 參考圖2,於服務區域a內有一個包含如黏漿之化學 溶液CH的水槽TK,一個傳送化學溶液CH的唧筒P,一 個過濾傳送中之化學溶液之雜質且位於唧筒P及水槽TK 的濾器,及一個鄰接於,唧筒P的抽汲週期偵測器(PCS)。同 時,至少有一個被連接至濾器F排出口的主體被裝設在淸 潔室區域b,亦即η化學及機械磨光裝置E卜E2,..及En +,及一個可產生控制至少一個根據抽汲週期偵測器產生之 電子訊號的主體Bl,E2,..,或En之運作之訊號ΦΡ(:的 控制器C。
較佳的是,嘟筒Ρ爲擁有一進氣口 I及一排氣口〇的 隔板唧筒。此隔板唧筒在每次抽汲運作中經由排氣口 0排 出固定的氣壓。因此,嘟筒Ρ之抽汲週期可經由在排氣口 0前面裝設抽汲週期偵測器而被偵測出。當氣體被啣筒Ρ 之排氣口 0排出時,抽汲週期偵測器就產生脈衝訊號(DPC 10 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公髮)
41845 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明(y) 。因此’脈衝訊號ΦPC之週期對應著啷筒p之抽汲週期。 此時,當包含於水槽TK之一部份化學溶液在至少 —個主體El,E2,·.,或En之運作期間內被消耗時,包含 於水槽TK之化學溶液CH的水準因而降低。因此,較佳方 式爲在水槽TK側壁上裝設至少一水準偵測器。舉例而言 ,低水準偵測器LS可被裝設在水槽τκ的較低側壁上。當 水槽TK中之化學溶液CH的水準降至較低水準偵測器的水 準還低時’低水準偵測器LS產生了對應狀態丨的輸出訊號 ΦΙΧ。在此,控制器C產生如警報之可被操作員察覺的訊 號。 現在將參考圖3顯不之_筒Ρ及抽汲週期偵測器來詳 細說明圖2之抽汲週期偵測器。
參考圖3,抽汲週期偵測器被裝設在唧筒的排氣口〇 前面。啣筒Ρ,亦即隔板唧筒,經由排氣口 0排出固定的 '氣壓以便傳送化學溶液。因此,經由濾器F傳送化學溶液 的數量被增加.,濾器F的過濾功能被破壞了。結果,唧筒 Ρ的操作週期變得較長。抽汲週期偵測器包含兩條以事先 預定間隔分開而被裝設在盒子ΒΧ中的電線,一個以電子 連接或不連接兩條電線的按鈕ΒΤΝ,一條被固定至主體ΒΧ 以支撐按鈕ΒΤΝ的彈簧SP ’及一個被裝設在按鈕ΒΤΝ及 啷筒的排氣口 〇之間的面板PNL。商板PNL·的一端藉由鉸 鍊被連接至主體ΒΧ。因此’當事先預定:之氣壓經由圖3之 唧筒排氣口 〇被排出時,面板PNL以方向Α移動以推動按 鈕BTN,使得兩條電線被電子性相連接。同時,當啷筒P (請先閱讀背面之注意事項^:填寫本頁)
本紙張尺度適用中固國家標準(CNS)A4規格(210 x 297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 , ___B7___ 五、、發明說明(/Ο 停止運作時,事先預定之氣壓並不經由排氣口 0被排出, 使按鈕ΒΤΝ藉由彈簧SP的彈力回到最初狀態。結果,面 板PNL以方向Β移動以使兩條電線不被電子性相連。兩條 _電線之一被連接至產生直流電壓Vdc的電源。因此,無論 唧筒P何時運作,電源供應電壓Vdc瞬間被應用至兩條電 線之一使得抽汲週期偵測器產生脈衝訊號OPS。另一個面 對被應用電源供應電壓之電線的電線經由包含一個電阻R 及一個電容C並聯的電阻電容(RC)電路而被連接至地面。 當兩條電線被打開及消除當兩條電線被電子性相連接或不 相連時所產生的噪音時',電阻電容(RC)電路可控制抽汲週 期偵測器的輸出以擁有穩定的接地電位。因此,抽汲週期 偵測器經由電阻電容(RC)電路產生穩定的脈衝訊號OPS。 圖4爲圖2之控制器之詳細塊狀圖。 參考圖4,控制器C包含一個將交流電壓Vac轉換至 直流電壓Vdc的承接器(ADT),一個可儲存唧筒P之最大 可容忍操作期間的抽汲週期設定構件(PCSP),一個可產生 雙態訊號的抽汲週期訊號產生器(PCSG),其數位狀態在無 論脈衝訊號何時輸入時均可轉換,一個利用雙態訊號來測 量唧筒P之實際抽汲週期的.抽汲週期測量構件(PCMP),一 個位於圖3之抽汲週期偵測器及抽汲週期訊號產生器之間 的第一開關(SW1),一個位於抽汲週期訊號產生器及抽汲週 '期測量構件之間的第二開關(SW2),一個可決定儲存於抽汲 週期設定構件之最大容許操作期間是否相等於由抽汲週期 測量構件所測量之被測量抽汲操作週期的比較器(CPT),一 / 12 (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁)
本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 ι ______B7__ 五、發明說明(/7 ) 個啓動抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件的重置開 關(RSS) ’ 一個利用從比較器CPT發出之訊號於更換圖2之 濾器F之時機時通知使用者且輸出可控制至少一圖2中之 主體主體El,E2,..,或En之運作之訊號OEC及控制第 一及第二開關之訊號的警報單元(ALM)。 同時,較佳的是將多重振動器置放在第一開關SW1及 警報單元之間。多重振動器,亦即可引起連鎖反應的多重 振動器,於一脈衝訊號被收到時立即在事先預定的期間內 經由兩個輸出埠產生對應狀態1的訊號及相反的訊號。因 此,若於抽汲週期偵測'器產生一脈衝訊號後沒有於事先預 定的期間內產生下一個脈衝訊號,多重振動器MV可產生 一個控制警報單元運作的訊號。也就是說,若啷筒P於抽 汲週期測量構件所測量之抽汲週期短於抽汲週期設定構件 所儲存之抽汲週期時突然停止運作,警報單元就不會產生 警報。因此,操作員無法識別唧筒· P是否處於正常或不正 常狀態。在此,在多重振動器被額外裝設的例子中,即使 '啷筒P突然停止,警報單元仍可操作使得操作員可辨識唧 筒P的狀態。 同時*承接器(ADT)包含一個將第一交流電壓Vac轉 換爲擁有預期値之第二交流電壓的轉換器TF,及一個將第 二交流電壓轉換爲直流電壓Vdc .的整流器RTC。稍後將說 明被用做每個控制器C組件之電源供應電壓而由承接器 ADT產生的直流電壓Vdc。 抽汲週期設定構件包含一個可重複產生事先預定期間 13 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) !vy,_ 裝----- i I--訂----- 二 (請先閱讀背面之注意事<再填寫本頁) 418454 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明(/l) 之脈衝訊號的第一振盪器0SC1,一個可計算由第一振盪器 0SC1所產生之脈衝訊號數目的第一計數器CT1,一個可重 複產生事先預定期間之脈衝訊號的第一振饅器0SC1,一個 位於第一計數器CT1及第一振盪器0SC1之間且僅可轉換 如預期數量之脈衝訊號的計數器開關CTS,一個可將第一 計數器CT1輸出的訊號轉換爲適合顯示之二進位數之數碼 的第一解碼器DCD1 >及一個可以二進位數顯示第一解碼 器DCD1輸出之訊號的第一指示器D1。較佳的是,第一計 數器CT1爲一個上/下計數器且第一指示器D1包含至少一 個七段顯示器。舉例而言,若唧筒P的最大容許操作期間 爲10至99秒,則第一指示器D1可包含兩個七段顯示器。 同時,若嘟筒P的最大容許操作期間短於9秒,較佳的是 .第一指示器D1包含一個七段顯示器。 抽汲週期訊號產生器包含一個藉由以二進位數表示的 輸出訊號於無論由抽汲週期偵測器經由第一開關SW1產生 之脈衝訊號〇>PS何時被接收均可擴增的計數器CT,及一 個經由輸出頭輸出一個其邏輯狀態於無論計數器CT的輸 出訊號何時增加均會改變之雙態訊號的解碼器DCD。第一 開關SW1是由警報單元ALM所控制、同時,抽汲週期訊 號產生器也包含一個擁有每當警報單元ALM產生之脈衝訊 號OPS被輸入時就輸出雙態訊號之數位電路的晶片。 抽汲週期測量構件包含一個僅於抽汲週期訊號產生之 雙態訊號處於1或0之數位狀態時才重複產生擁有事先預 定週期之脈衝訊號的第二振盪器0SC2,一個可計算將第二 14 ^--------^---I-----. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公袭) A7 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 418454 __B7_ 五、發明說明(I j) 振盪器0SC2產生之脈衝訊號數量的第二計數器CT2,一 個可將第二計數器CT2輸出的訊號轉換爲適合顯示爲十進 位數之數碼的第二解碼器DCD2,及一個可以十進位數顯 示第二解碼器DCD2輸出之訊號的第二指示器D2。 重置開關RSS啓動抽汲週期訊號產生器的計數器CT 及抽汲週期測量構件的第二計數器CT2。較佳的是,延時 電路TD位於重置開關RSS及第二計數器CT2之間,可依 序啓動抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件使得控制 器C被穩定地啓動。同時,較佳的是由第二振盪器0SC2 所產生之脈衝訊號之事先預定的週期被調整以擁有精密至 足以精確偵測的時間標度,被拿來與第一解碼器D1顯示 之最大容許抽汲週期做比較。舉例而言,在儲存於抽汲週 期設定構件中之最大容許抽汲週期爲1至9秒的案例中, 由第二振盪器0SC2所產生之脈衝訊號之週期被表示爲每 單位0.1秒。 比較器CPT決定了第一計數器CT1輸出的訊號是否等 於第二計數器CT2輸出的訊號。舉例而言,當由第二計數 器CT2所測量之抽汲週期等於第一計數器CT1所儲存之抽 汲週期時,比較器CPT輸出狀態1的訊號。然而,當第一 計數器CT1及第二計數器CT2輸出的訊號不相等時,比較 器CPT輸吗狀態0的訊號。 當由第二計數器CT2所測量之抽汲週期等於第一計數 器CT1所設定之抽汲週期時,警報單元ALM產生了如警 報之可被操作員察覺的訊號,且輸出了可關閉第一開關 15 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS>A4規格(210 X 297公釐)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4184 5 4 A7 B7 五、發明說明(/户 SW1及第二開關SW2的控制訊號。也就是說’當比較器 CPT輸出的訊號處於狀態1時’警報單元ALM產生了警報 可關閉第一開關SW1及第二開關SW2的控制訊號,藉以 中斷抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件的運作。同 時,操作員藉由打開重置開關RSS來啓動第二計數器CT2 及抽汲週期訊號產生器’藉以'停止警報及採取適當的步'驟 。舉例而言’端週期開關ECS被打開以輸出可控制主體E1 ,E2,..,及En之運作之端週期訊號OEC,且濾器F被更 新。當端週期訊號OEC被輸入主體E卜E2,··,及En時 ,運作下的晶圓可成功地被進行且接著主體El,E2 ’ , 及En之運作停止了。因此,主體中之晶圓運作的損傷及不 正常可被避免。同時,當比較器CPT的輸出處於狀態1時 ,警報單元ALM可產生如警報之另一個可被操作員察覺的 訊號。舉例而言,警報單元ALM可經由第一發光二極體 LED1來產生光。 同時,警報單元ALM可利用至少一個由有關圖2說明 之水準偵測器,亦即低水準偵測器所產生之電子訊號OLS 來偵測水槽TK中之化學溶液CH數量。詳細地說,警報單 元ALM於水槽TK中之化學溶液CH水準低於低水準偵測 器高度時產生警報,並打開了第二發光二極體LED2。同時 ,警報單元ALM可利用多重振動器MV所產生之訊號於啷 筒P突然停止時產生警報,並打開了第三發光二極體LED3 。因此,當第二發光二極體LED2被打開時,額外的化學 溶液CH被補充於水槽TK中,得以避免化學溶液CH短缺 16 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -1 III If --------^---------_ (請先閱讀背面之注意事衝、再填寫本頁) 418454 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明(/() 所造成的意外。同時’當第三發光二極體LED3被打開時 ,就完成了晶圓之化學及機械磨光且瞬間修理了_筒p ’ 藉以避免卿筒p的製造。結果’可能使得操作員省卻常常 進入嘟筒P及水槽TK被裝設的服務區域a之時間的不方 便。 圖5爲圖4.之控制器C的電路圖’其中最大容許操作 週期被設定爲1至9秒。圖5的電路圖爲說明根據本發明 較佳實施例之半導體裝置製造設備的控制器c。然而’本 發明並不侷限於圖5的電路圖。舉例而言,圖5的電路圖 可被修改爲不同的類型.,使得啷筒p的最大容許操作週期 可被設定爲10至99秒且可測量長至10至99秒的實際操 作週期。同時,利用其他沒有顯示於圖5之組件可建造根 據本發明之控制器C。在此’相同於圖4中那些的參考記 號表示了相同的組件。 根據本發明之控制器C將參考圖5及圖6A至圖61來 加以說明。 參考圖5,承接器ADT包含一個將第一交流電壓Vac 轉換爲擁有預期値之第二交流電壓的轉換器TF,及一個將 第二交流電壓轉換爲直流電壓Vdc的整流器RTC。由承接 器ADT產生之直流電壓Vdc被用做控制器C之每個組件的 電源供應電壓,其將稍後解釋。較佳的是,電源開關PSW 被串聯至轉換器TF且更進一步包含並聯於轉換器的電源 燈 PLMP。 抽汲週期設定構件包含一個可重複產生脈衝訊號的第 17 請 先 閱 讀 背 意 再' 填1 I裝 頁 I ^ I I I I I I 訂 ά 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS>A4規格(210 X 297公釐) 418454 A7 B7 五、發明說明(/¾)
訂 一振盪器OSC卜及一個被連接至第一振盪器0SC1之輸出 針頭的第一計數器CT1,其可計算第一振盪器0SC1所產 生的脈衝訊號數量。第一計數器CT1包含一個擁有四輸出 針頭Ql ’ Q2,Q3及Q4的上/下計數器。一個位於第一振 盪器0SC1及第一計數器CT1之間的計數器CT,可藉其將 第一振盪器0SC1產生預期的脈衝訊號數量轉換至第一計 數器CT1。由第一振盪器0SC1產生的脈衝訊號期間可被 調整爲任意値。然而,第一電阻器R1,第一變阻器VR1及 第一電容器C1可被連接至第一振盪器0SC1且藉由控制第 一變阻器VR1可產生擁有預期期間之脈衝訊號。較佳的是 ,當第一計數器CT1爲上/下計數器時,則計數器開關CTS 包含一個用以計算向上順序的上按鈕UP及一個用以計算 向下順序的下按鈕DN。 經由第一計數器CT1之四輸出針頭Ql,Q2,Q3及Q4 的二進位數碼輸出經由擁有七輸出針頭之第一解碼器 DCD1被轉換至適合顯示爲十進位數之二進位數碼。同時 ,從第一解碼器DCD1輸出之訊號經由第一指示器D1,亦 即七段顯示器而被顯示爲十進位數‘。 經濟部智慧財產局員工消費.合作社印製 如上所述,操作員可利用計數器開關CTS將預期的抽 汲週期時間,亦即啷筒的最大容許操作期間儲存於抽汲週 期設定構件之中。 抽汲週期訊號產生器包含一個擁有四輸出針頭Q1,Q2 ,Q3及Q4的計數器CT及一個其中十六輸出針頭Q1,… 及Q16無論計數器CT之輸出訊號何時改變而能依序輸出 18 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 418454 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明(/》 邏輯狀態1訊號的解碼器DCD。同時·,計數器CT的輸入 針頭經由開關電阻器RS而被接地。計數器CT的輸入針頭 經由開關電阻器Rs而被接地的原因是於第一開關SW1被 關閉時可應用穩定的地位能至計數器CT的輸入針頭。解 碼器DCD的第一輸入針頭經由第二開關SW2被連接至抽 汲週期測量構件之第二振盪器0SC2的輸入針頭。同時, 解碼器DCD的第二輸入針頭Q2及四至十六輸出針頭Q4 至Q16是處於浮動狀態且解碼器DCD的第三輸出針頭Q3 被連接至計數器CT的淸除針頭CL。同時,解碼器DCD的 第三輸出針頭Q3被連,接至抽汲週期測量構件中之第二計 數器CT2之重置開關RSS及的淸除針頭CL。 擁有上述結構之抽汲週期訊號產生器之運作將參考圖 6A至圖6H來加以說明。在此,水平軸表示時間⑴且垂直 軸表示每個輸入針頭的邏輯値。 當抽汲週期訊號產生器之計數器CT被啓動而第一開 關SW1及第二開關SW2被打開時,計數器CT的所有四輸 出針頭保持0的狀態。於是’僅有解碼器DCD的第一輸入 針頭Q1保持1的狀態。接著,當抽汲週期偵測器產生第 一脈衝訊號時’解碼器DCD的第四輸入針頭Q4立即顯示 狀態1直到抽汲週期偵測器產生第二個脈衝訊號爲止。也 就是說,計數器CT之第四輸入針頭Q4保持1狀態的期間 對應著第一週期時間T1。在此,僅有十六輸出針頭之解碼 器DCD的第二輸入針頭Q2顯示出狀態1。接著,當抽汲 週期偵測器產生第二脈衝訊號時,僅有四輸出針頭之計數 19 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) σ -裝---I---'-訂-----1---. 4^8454 a? B7 五、發明說明(/(f ) 器ct的第三輸入針頭Q3顯示出狀態1。同時,解碼器 DCD只有經由第三輸入針頭Q3來輸出邏輯狀態1的訊號 ,致使計數器CT被啓動。結果’計數器CT的所有輸入針 頭Q1,...,及Q4被轉換至狀態〇且僅有解碼器DCD的第 一輸入針頭Q1顯示出狀態1 °因此’當抽汲週期偵測器產 生第二脈衝訊號時,計數器CT的第三輸入針頭Q3及解碼 器DCD的第三輸入針頭Q3立刻產生狹窄寬度的脈衝訊號 。於是,無論解碼器DCD的第三輸入針頭Q3何時瞬間產 生脈衝訊號,計數器CT及第二計數器CT2均被啓動。同 時,解碼器DCD的第“輸入針頭Q1在第二週期時間T2時 保持1的狀態’也就是說’直到抽汲週期偵測器產生第三 脈衝訊號。. 接著,第三脈衝訊號及下列脈衝訊號依序被抽汲週期 偵測器所產生’且重複上述之抽汲週期訊號產生器的運作 。因此,解碼器DCD的第一輸入針頭Q1輸出了顯示偶數 週期T2,T4,…的狀態0及奇數週期ΤΙ,T3,T5...之狀態 _1的雙態訊號。 然而.,抽汲週期偵測器產生的每個脈衝訊號週期T1, T2,…因爲濾器F的功效被破壞而變得時間較.長。因此, .由抽汲週期訊號產生器產生之雙態訊號的脈衝寬度變得較 、時域爲寬。 當抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號經由第二開關 輸入如不穩定振盪器之第二振盪器時,第二振盪器0SC2 連續輸出於雙態訊號保持狀態1期間時擁有一事先預定之 2〇 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公袭) 裝--- (請先閱讀背面之注意^再填寫本頁) *IHOJ* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 濟 部 智 慧 財 產 局 貝 工 消 費 合 作 社 印 製. 418454 A7 ( ___B7____ 五、發明說明Ύ) 週期時間T(見圖61)的脈衝訊號°在此’第二電容器C2, 第二電阻器R2及第二變阻器VR2被連接至第二振盪器 〇SC2且藉由控制第二變阻薺VR2以連續產生擁有〇.丨秒之 週期時間T的脈衝訊號。因此,如圖61所示,擁有〇.1秒 之週期時間T的脈衝訊號被連續從第二振盪器OSC2之輸 出針頭產生出圖6A之偶數週期T2,T4,...。 然而,第二振盪器.OSC2於雙態訊號顯示狀態〇時不 再產生脈衝訊號。因此,被連接至第二振盪器〇SC2之輸 出針頭之第二計數器CT2保持先前圖.6A之奇數週期値T1 ’ T3,…。第二開關SW2之輸出針頭經由開關電阻器Rs 被接地,第一開關SW1之輸出針頭也以此方法接地。 第二振盪器OSC2之輸出針頭Q被連接至擁有八輸出 針頭Q1 ’…Q8之第二計數器CT2的輸入針頭,且第二計 數器CT2的八輸出針頭Ql,...q8被連接至擁有十四輸出 針頭之第一解碼器DCD2的輸入針頭。同時,第二解碼器 DCD2之十四輸出針頭之第一至第七輸出針頭qi,.· Q«y被 連接至兩建造第二指示器D2之七段顯示器D2,及D2”之一 的七段顯不器D2”,且第八至第十四輸出針頭Qg, 被連接至其他之七段顯示器D2,。由第二振盪器〇SC2之輸 出針頭Q產生之脈衝訊號數量經由第二計數器CT2的第— 至第四輸出針頭Q1 ’…,Q4而被輸出二進位數碼。接著 ,經由第一計數器CT2的第一至第四輸出針頭(^,...,Q4 而被輸出的二進位數碼藉由第二解碼器DCD2.被轉換爲適 於顯示爲十進位的二進位數碼。藉由第二解碼器DCD2輸 21 本紙張尺度ififfl"?"關家鮮(CNS)A4祕咖x 297^17 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ο _裝 « — — — — — — — I. ^ 8454^184 54 五、發明說明(的) A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 出適於顯示爲十進位的二進位數碼經由第二解碼器DCD2 的第一至第七輸出針頭Q1,…,Q7以十進位數碼方式被 顯示於七段顯示器D2”上。當對應1〇之整數倍順序的脈衝 訊號被應用至第二計數器CT2的第一至第四輸入針頭時, 第二計數器CT2的第五至第八輸出針頭Q5,...,Q8輸出 —由先前狀態1所擴增的二進位數碼且第二計數器CT2的 第一至第四輸入針頭Q1,...,Q4立刻被啓動。同時,經 由第二計數器CT2的第五至第八輸出針頭Q5,…,Q8的 二進位數碼藉由第二解碼器DCD2的第八至第十四輸出針 頭Q8,…’ Q14被轉換爲適於顯示爲十進位的二進位數碼 。從第二解碼器DCD2的第八至第十四輸出針頭Q8,..., Q14輸出之二進位數碼藉由七段顯示器D2,被顯示爲十進位 數碼。在此’較佳的是七段顯示器D2,在右方可顯示十進 位點且控制十進位點的輸入針頭經由電阻器R被連接至電 壓 Vdc。 如上述,圖6A的偶數週期時間T2,T4,…藉由包含 兩七段顯示器D2’及D2”之第二指示器D2被顯示爲十進位 數碼。 同時,當重置開關RSS被打開時,計數器CT及第二 計數器CT2均被啓動。較佳的是,一個包含一個電阻器Rd 及一個電容器Cd的時間延時電路TD被放置於重置開關 RSS之間以穩定第二計數器CT2的啓動。 比較器CPT比較第一計數器CT1.的輸入訊號及第二計 數器CT2的輸入訊號。在此,當儲存於第一計數器CT1的 22 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A^規格(210 X 297公釐) 請
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I裝 頁I I 訂 Α7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 ί8454 _ Β7__ 五、發明說明(Μ) 抽汲週期處於1至9秒的範圍時’第二計數器CT2的輸入 訊號必僅利用第五至第八輸出針頭Q5 ’…,Q8輸出的訊 號。比較器CPT可包含四個互斥NOR閘及一個AND閘。 詳細說,每個互斥NOR閘用做一個輸入訊號一個爲第一計 數器CT1的輸出針頭及第二計數器CT2的對應輸出針頭。 同時,每個 NOR閘的輸出針頭被連接至擁有四輸入針頭 的AND閘。於是,當第一計數器CT1的輸出訊號相等於 第二計數器CT2的輸出訊號時,比較器CPT的輸出針頭顯 示狀態1。然而.,當第一計數器CT1的輸出訊號不等於第 二計數器CT2的輸出訊號時,比較器CPT的輸出針頭顯示 狀態0。 警報單元ALM包含被串聯至比較器CPT之輸出針頭 的第一及第二轉換器,一個被連接至第二轉換器之輸出針 頭的繼電開關RLY,及一個被連接至繼電開關RLY的蜂鳴 器BZ。繼電開關RLY包含兩個開關及一個線圈,且兩開 關根據被感應至線圈的電流而瞬間.打開或關閉。也就是說 .,當第二轉換器之輸出針頭顯示狀態1時,電流通過線圏 且兩開關移向A且打開。結果,蜂鳴器BZ運作且端週期 訊號(DEC可經由端週期開關ECS被應用至主體El,E2,.. ,及En。然而,當第二轉換器之輸出針頭顯示狀態〇時, 兩開關立即移向B,所以蜂鳴器BZ並不運作。 然而,第二轉換器之輸出訊號控制第一及第二開關 SW1及SW2。因此,當啷筒P之抽汲週期到達儲存於第一 計數器CT1之抽汲週期時,第一及第二開關SW1及SW2 23 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公髮)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印裂 r 418454 A7 ___B7__ 五、發明說明(P) 被關閉,使得抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件不 再運作且蜂鳴器BZ產生警報。在此,當端週期開關ECS 被打開且端週期訊號被轉換爲主體El,E2,..,及En 時,現行下的晶圓可成功地被實施於主體中且接著停止運 作。同時,當重置開關RSS被打開以改變比較器CPT的輸 入訊號至〇時,蜂鳴器BZ停止運作且更換濾器 同時,第一發光二極體LED1可被放置於第二轉換器 _及繼電開關RL_Y之間。在第一發光二極體LED1被額外裝 設的案例中,當啷筒P之實際操作週期等於儲存於第一計 數器之最大容許操作週期時,第一發光二極體LED1與蜂 鳴器BZ —起被打開。因此,操作員可確認更換淸潔室中 之濾器的時間。 同時,當一低水準偵測器LS被裝設在水槽TK的較低 側壁上時,一低水準偵測開關LSS被裝設在繼電開關RLY 及電壓Vdc之間。較佳的是,第二發光二極體LED2被裝 設在低水準偵測開關LSS及繼電開關RLY之間。於是,當 水槽TK中之如黏漿之化學溶液CH的水準降至較低水準偵 測器LS的水準還低時,BZ運作且第二發光二極體LED2 也被打開。因此,操作員可確認補充淸潔室中之化學溶液 CH的時間。 同時,在啣筒P突然停止運作的案例中,當抽汲週期 測量構件所測量之實際抽汲週期短於抽汲週期設定構件所 儲存之抽汲週期時,警報單元就不會產生警報。因此,操 作*員很難識別淸潔室中之唧筒P的不正常狀態。因此較佳 24 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 1 I ^------訂--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I . ·〇 418454 A7 B7 經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 五、發明說明(y) 的是,多重振動器MV被裝設於第一開關SW1的輸出端及 警報單元ALM的繼電開關RLY之間,且更佳的是,多重 振動器MV爲可引起連鎖反應的多®振動器°可引起連鎖 反應的多重振動器擁有兩輸出埠Q及/Q。當脈衝訊號被應 用至可引起連鎖反應的多重振動器時,一事先預定時間之 邏輯狀態1之訊號經由輸出埠Q被輸出。同時,著不產生 下一脈衝訊號時,另一輸出埠/Q輸出事先預定時間的邏輯 狀態0之訊號。因此,當抽汲週期偵測器在事先預定時間 中產生一脈衝訊號且接著並不在事先預定時間中產生下一 個脈衝訊號時,可引起連鎖反應的多重振動器經由輸出埠 /Q將邏輯狀態1之訊號轉換至警報單元ALM。藉由控制被 連接至多重振動器,亦即可引起連鎖反應的多重振動器之 變阻器Rv可設定事先預定時間,其中多重振動器被連接 至電容器Cv及變阻器Rv。同時,事先預定時間必須被設 定使其較抽汲週期設定構件所儲存之抽汲週期爲長。 多重振動器MV之運作及功能將參考圖6A,6J1及6K 來加以詳細說明。 當抽汲週期偵測器產生第二脈衝訊號及_筒P的運作 於事先預定時間點Th時,多重振動器MV經由輸出埠Q 輸出了邏輯狀態1之訊號直到由電容器Cv及變阻器RV設 定之事先預定時間Tosc在第二脈衝訊號輸入後通過。在此 ’另一輸出埠/Q輸出相對於輸出針頭Q之訊號。也就是說 ’輸出針頭Q/於訊號經由輸出針頭Q從狀態1改變爲〇時 在時點處輸出邏輯狀態1之訊號。因此,當多重振動器 25 請 先 閱 讀 背 意 I s t 裝 訂 本紙張尺度通用中國國家標準(CNS)A4規格(21〇 x 297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 B7 五、發明說明d) MV之另一輸出針頭Q/被連接至警報單元ALM之繼電開關 RLY時,BZ可於唧筒P停止時產生警報,可使操作員 識別啷筒P的不正常狀態。同時,當第三發光二極體LED3 被裝設在多重振動器及繼電開關RLY之間時,操作員可以 目測唧筒P的不正常狀態。 圖7爲根據本發明另一個實施例之如化學及機械磨光 之半導體裝置製造設備的略圖。不像參考圖2說明的第一 實施例,許多唧筒運作的偵測是藉由一個控制器。在此* 參考部份a及b分別表示彼此分離的服務區域及淸潔室區 域。 參考圖7,包含許多唧筒,亦即η唧筒P1,..,pn,n 水槽TK1,..,TKn,η抽汲週期偵測器PCS1,..,PCSn, 及η濾器F_1,’ Fn的化學溶液補充單位被裝設在服務區 域a。在此,每個抽汲週期偵測器就如同上述實施例所說 明的,且每個唧筒就如同上述實施例所說明的隔板唧筒。 每個化學溶液補充單位,如第一化學溶液補充單位,包含 個擁有化學溶液CH1的第一水槽TK1,一個可傳送化學 溶液CH1且被裝設於第一水槽TK1的出入口之間的第一唧 筒P1,一被裝設於第一唧筒P1的出口及第一水槽TK1的 入口之間的第一濾器F1,一個被裝設於第一啣筒P1之排 氣口之前的第一抽汲週期偵測器PCS 1.。同時,一個控制器 C’及許多主體El," En亦即η化學及機械磨光裝置被裝設 在清潔室區域b。控制器C ’利用被裝設在服務區域a之η 抽汲週期偵測器PCS1,·.,PCSn所輸出之η脈衝訊號Φ 26 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
A7 418454 ___ B7___ 五、發明說明( PS1, ,(DPSn來偵測每個唧筒的表現狀況。同時’若有 需要,控制器cr可輸出控制每個主體運作之訊號ΦΕα, ,ΦΕ(:η。同時,控制器C’處理從η水準偵測器,亦即每 個被裝設在水槽並藉此偵測水槽ΤΚ中之化學溶液CH數量 的低水準偵測器LSI, ,LSn轉換而來之訊號0LS1, ,(DLSn。詳細說,當至少一水槽TK中之化學溶液CH, 如第一水槽TK中之化學溶液CH的水準降至較第一低水準 偵測器的水準還低時,控制器C’會產生如警報的訊號,可 使操作員在正確時間上確認補充淸潔室中之化學溶液的時 間。 圖8爲圖7顯示之控制器C’的詳細電路圖,其被用作 包含三個唧筒PI,P2及P3及三個主體El,E2及E3的半 導體裝置製造設備。在此唧筒及主體的數量並不受限且控 制器可被修改以Μ合包含四個或更多之唧筒及主體的半導 體裝置製造設備。圖8中,如被用在上述實施例中之參考 部份表示相同的組件。因此,上述實施例中說明之組件之 詳細解釋被刪除了。 參考圖8 ’控制器C’包含一個抽汲週期設定構件PCSP ’ 一個開關構件SWP,一個抽汲週期訊號產生器PCSG, —個第二開關SW2,一個抽汲週期測量構件pCMP,一個 比較器CPT ’ 一個警報單元ALM’,一個重置開關RSS,。 同時,控制器C’更進一步包含一個D卽筒狀態偵測器(pSS)。 在此’抽汲週期設定構件,抽汲週期訊號產生器,第二開 關’一個抽汲週期測量構件,比較器擁有如第一實施例中 27 、張尺^適用中國國家標準(CNS)A4 g (21〇 X 297公爱) 〜----- 1 ---------訂--------1. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 418454 A7 B7 五、發明說明(¥) 之相同功能及結構,且其連接關係也和第一實施例中之相 同。 開關構件SWP包含第一至第三開關SWT1,SWT2及 SWT3,第一及第二解碼器DCD8及DCD4,級三個AND閘 。第一開關SWT1被裝設於圖7之第一抽汲週期偵測器 1 PCS1及抽汲週期訊號產生器之間,且第二開關SW2被裝 設於圖7之第二抽汲週期偵測器PCS2及抽汲週期訊號產 生器之間。同時,第三開關SW3被裝設於圖7之第三抽汲 週期偵測器PCS3及抽汲週期訊號產生器之間。被連接至 抽汲週期訊號產生器之輸入璋之第一至第三開關SWT1, •SWT2及SWT3的輸出埠被連接至第一解碼器DCD8之輸入 埠’亦即時鐘針頭(CK)。同時,爲了豳免從第一至第三開 關SWT1,SWT2及SWT3之一之輸出訊號被輸入至其他開 關,較佳的是將二極體連接至第一至第三開關SWT1, SWT2及SWT3之每個輸出埠。 較佳的是,第一解碼器DCD8包含至少八個輸出針頭 Q1,·.,Q8。同時’第一解碼器DCD8之第八輸出針頭Q8 被連接至第一解碼器DCD8之淸除針頭CL以於第八輸出針 頭Q8輸出之訊號從狀態1改變至〇的時點來啓動第一解碼 益DCD8。桌一解碼器DCD8之第七輸出針頭Q7被連接至 擁有四個或更多之輸出針頭Q1,..,Q4之第二解碼器 DCD4之輸入針頭’亦即淸除針頭CL,且所有第一至第六 的輸出針頭均爲浮動的。第二解碼器DCD4之第四的輸出 針頭Q4被連接至淸除針頭CL以啓動第二解碼器DCD4。 28 本紙張尺度過用f國國豕摞準(CNS〉A4規格(210 X 297公髮 裝--------訂---------. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4184 5 4 A? _____B7__ 五、發明說明(1) 第二解碼器DCD4之第一的輸出針頭Q1被連接至AND閘 之輸入針頭且第二解碼器DCD4之第二的輸出針頭Q2被連 接至另一個AND閘之輸入針頭。以相同的方式,第二解碼 器DCD4之第三的輸出針頭Q3被連接至剩餘AND閘之輸 入針頭。每個AND閘之剩餘輸入針頭被連接至警報單,元 .ALM’之第一轉換器,亦即被直接連接至比較器CPT之輸出 埠之第一轉換器之輸出埠。於是,三個AND閘被第一轉換 器之輸出訊號所控制。三個AND閘之三個輸出針頭分別被 連接至第一,第二及第三開關SWT1.,SWT2及SWT3之控 制璋。 較佳的是,第一,第二及第三發光二極體LI,L2及 L3分別被裝設在三個AND閘及三個開關之間,使得操作 員目測處於打開狀態的開關。同時,重置開關RSS’被連接 .至包含於開關構件SWP中之第一及第二解碼器DCD8及 DCD4及抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件的淸除 針頭CLs。 同時,除了圖5中顯示之警報單元ALM之一個低水準 偵測開關及一個端週期開關之外,警報單元ALM’更進一 步包含兩個低水準偵測開關及兩個端週期開關。也就是說 ,警報單元ALM’包含第一至第三低水準偵測開關LSS1, LSS2及LSS3及第一至第三端週期開關ECS1,ECS2及 ECS3。第一至第三低水準偵測開關LSS1,LSS2及LSS3之 控制埠被連接至分別附著於圖7中之第一至第三水槽TK1 .,TK2及TK3的第一至第三低水準偵測器LS卜LS2及LS3 29 本紙張尺度適用t周國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事I填寫本頁) 裝 ----訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 ------:___B7___— 五、發明說明 。於是,第一低水準偵測開關LSS1被第一低水準偵測器 LSI輸出之訊號0LS1所控制且第二低水準偵測開關LSS2 被第二低水準偵測器LS2輸出之訊號0LS2所控制。同樣 .地,第三低水準偵測開關LSS3被第三低水準偵測器LS3 輸出之訊號0LS3所控制。 第一端週期開關ECS1之輸出訊號ΦΕ(:1控制了圖7中 顯示之第一主體Ε1的運作,且第二端週期開關ECS21之 輸出訊號(DEC2控制了第二主體Ε2的運作。同樣地,第三 端週期開關ECS3之輸出訊號ΦΕ(:3控制了第三主體Ε3的 運作。同時,警報單元_ ALM’可更進一步包含分別位於繼 電開關RLY及低水準偵測開關LSS1,LSS2及LSS3之間的 第二至第四發光二極體LED2,LED3及LED4可使操作員 目測水槽ΤΚ中之化學溶液CH的短少。 控制器C更進一步包含一個唧筒狀態偵測器PSS。唧 筒狀態偵測器PSS包含第一至第三開關SWT1,SWT2及 SWT3,一個解碼器DCD4及一個多重振動器。較佳的是, 多重振動器MV爲一個可引起連鎖反應的多重振動器,且 解碼器DCD4擁有至少四個輸出針頭。第一至第三開關 SWT1,SWT2及SWT3被連接至第一至第三抽汲週期偵測 器PCS1,PCS2及PCS.3分別如包含於開關構件SWP之中 的第一至第三開關SWT1,SWT2及SWT3。第一至第三開 關SWT1.,SWT2及SWT3的所有輸出針頭被連接至第二解 碼器DCD4之輸入針頭,亦即時鐘針頭(CK)及多重振動器 MV之輸入針頭,亦即時鐘針頭(CK)。解碼器DCD4之輸入 30 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 _____ B7_____ 五、發明說明(Y) 針頭Q4被連接至淸除針頭(CK),且第一·至第二輸出針頭 Ql,Q2及Q3分別被連接至第一,第二及第三開關SWT1 ,SWT2及SWT3之控制璋。同時,較隹的是將二極體連接 至第一至第三開關SWT1,SWT2及SWT3之每個輸出針頭 ,使其避免三個開關之一的輸出訊號輸入其他的開關。同 時,第一至第三發光二極體LI,L2及L3可分別被連接至 解碼器DCD4之第一,第二及第三輸出針頭Ql,Q2及Q3 使得操作員可目測操作開關的狀態,亦即開關的打開狀態 〇 多重振動器MV包含如圖5顯示之多重振動器的 一個變阻器Rv及一個電容器Cv,以控制輸出訊號的脈衝 寬度。解碼器DCD4之淸除針頭被連接至重置開關RSS’。 包含於唧筒狀態偵測器PSS中之多重振動器MV之輸出針 頭/Q被連接至警報單元ALM’之繼電開關RLY。較佳的是 ,第五發光二極體LED5被裝設在多重振動器及繼電開關 RLY之間,使得第五發光二極體LED5除警報於狀態1之 訊號經由多重振動器MV之輸出針頭/Q輸出時產生響聲外 還可被打開。 . 擁有上述結構之控制器C’的運作將參考圖· 9A至9L來 加以詳細說明。圖9A至9C表示從第一至第三抽汲週期偵 測器PCS1,PCS2及PCS3輸出的訊號,且圖9D表示經由 包含於開關構件SWP中之第一解碼器DCD8之第七輸出針 頭Q7所輸出的訊號。同時,圖9E至9G表示經由包含於 開關構件SWP中之第二解碼器DCD4之輸出針頭所輸出的 31 owi ^--------^-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準CCNS)A4規格(2】0 X 297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 418454 A7 __^B7__ ' 五、發明說明($&) 訊號,圖9H至9;[表示經由包含於唧筒狀態偵測器PSS中 之解碼器PCD4之輸出針頭所輸出的訊號,及圖9K及9L 表示經由多重振動器MV之輸出針頭Q及/Q所輸出的訊號 。較佳的是,當輸入訊號從狀態1改變爲0時,從開關構 件SWP中之第一及第二解碼器DCD8及DCD4及啣筒狀態 偵測器PSS中之解碼器DCD4之輸出訊號的邏輯狀態被改 變了。 唧筒之最大容許操作期間被儲存於抽汲週期設定構件 中。接著,利用重置開關RSS’來啓動控制器C’之所有計數 器及解碼器,使得抽汲週期測量構件在第二指示器D2上 顯示”0.0”且開關構件SWP中之第一開關SWT1及啷筒狀態 偵測器PSS中之第一開關SWT1打開。於是,即使如第二 及第三啷筒P2及P3之與圖7之第一啷筒不同的嘟筒運作 時,第二及第三脈衝訊號OPS1及ΦΡ32並不會被輸入至抽 汲週期訊號產生器及第一解碼器DCD8中。當第六脈衝訊 號被鄰接第一唧筒裝設之第一抽汲週期偵測器PCS1所產 -生時,經由第一解碼器DCD8之第七輸出針頭Q7所輸出的 訊號從狀態1改變爲0。隨後,當第七脈衝訊號經由打開 狀態下之第一開關SWT1被輸入至第一解碼器DCD8時, 第一解碼器DCD8之第八輸出針頭Q8輸出狀態1的訊號瞬 間地啓動第一解碼器DCD8。因此,僅有第一解碼器DCD8 之第一輸出針頭Q1輸出狀態1的訊號且僅有第二解碼器 DCD4之第二輸出針頭Q2輸出狀態1的訊號。結果,第一 開關SWT1關閉且瞬間地僅有第二開關SWT2打開。在此 32 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公爱)
& Α7 Β7 五、發明說明(>w) ,僅有第二發光二極體L2被打開。 接著,第六脈衝訊號(由抽汲週期偵測器PCS2所產生 的脈衝訊號)經由打開狀態下之第二開關SWT2被輸入至第 一解碼器DCD8之輸入針頭,第一解碼器DCD8之第七輸 出針頭Q7.輸出狀態1的訊號。同時,當第七脈命訊號經 由第二開關SWT2被輸入至第一解碼器DCD8時,第一解 碼器DCD8被啓動且僅有第一解碼器DCD8之第三輸出針 頭Q3輸出狀態1的訊號。結果,第二開關SWT2被關閉且 僅有第三開關SWT3被打開。 同樣地,當從抽汲週期偵測器PCS3所產生的第七脈 衝訊號經由打開狀態下之箄三開關SWT3被輸入至第一解 碼器DCD8時,第二解碼器DCD4被啓動,使得第三開關 SWT3被關閉且第一開關SWT1瞬間被打開。如同開關構件 之第一,第二及第三開關SWT1,SWT2及SWT3依序被打 開,第一,第二及第三啷筒PI,Ρ2及Ρ3的實際抽汲週期 被抽汲週期測量構件依序顯示出。 同時,從抽汲週期偵測器成功所產生的第六脈衝訊號 經由開關構件SWP之開關被依序輸入至抽汲週期訊號產生 器。於是,抽汲週期測量構件連續測量每個唧筒的抽汲週 期時間三次。開關構件SWP之第一解碼器DCD8之輸出針 頭數量和啷筒之抽汲週期的連續測量數量有關。同時,第 二解碼器DCD4之輸出針頭數量視唧筒數量而定。因此, 開關構件SWP可被修改爲各種類型。 若許多唧筒之至少一個,如三個卿筒PI > Ρ2及Ρ3無 33 本紙張尺度適用尹國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) < I. T-'y* 裝--------訂---------. {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 A7 _____B7____ 五'發明說明(31) 法運作時,抽汲週期偵測器PSS就控制警報單元ALM’以 產生警報。詳細說',當三個唧筒PI,P2及P3之一突然停 止時,抽汲週期測量構件PCMP會顯示最後被測量之抽汲 週期。在此,若最後之抽汲週期較儲存於抽汲週期設定構 件之抽汲週期爲短,則警報單元ALM’並不會產生警報。 因此,若操作員沒有仔細觀察顯示於抽汲週期測量構件之 第二顯示器D2上的抽汲週期,則檢査化學及機械磨光裝 置的運作是否爲正常會很困難。唧筒狀態偵測器PSS可解 決此問題。 啷筒狀態偵測器PSS的運作將參考圖6 >圖9A至9C 及圖9H至9L來加以詳細說明。 首先,當唧筒狀態偵測器PSS的解碼器DCD4藉由重 置開關RSS’被啓動時,僅有解碼器DCD4之第一輸出針頭 Q1輸出狀態1的訊號,所以僅有第一開關SWT1被打開。 當第一開關SWT1被打開時且第一抽汲週期偵測器PCS1產 生一脈衝訊號,僅有解碼器DCD4之第二輸出針頭Q2輸出 狀態1的訊號。結果,第一開關SWT1被關閉且第二開關 SWT2被打開。當第二開關SWT2被打開時且第二抽汲週期 偵測器PCS2產生一脈衝訊號,僅有解碼器DCD4之第三輸 出針頭Q3輸出狀態1的訊號。結果,第二開關SWT2被關 閉且第三開關SWT3被打開。隨後,當第三開關SWT3被 打開時且第三抽汲週期偵測器PCS3產生一脈衝訊號,解 碼器DCD4之第四輸出針頭Q4輸出狀態1的訊號,使得解 碼器DCD4被啓動。結果,僅有解碼器DCD4之第一輸出 34 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -裝--------訂----- (請先間讀背面之注項再填寫本頁) I; I; 經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 ------- " 五、發明說明(3)) 針頭Q1輸出狀態1的訊號,所以僅有第一開關SWT1被打 開。. 如上述,唧筒狀態偵測器PSS依序偵測唧筒PI,P2 及P3的運作。在此,無論三個抽汲週期偵測器PCS1 , PCS2及PCS3何時依序產生脈衝訊號,唧筒狀態偵測器 PSS之多重振動器於事先預定時間Tosc輸出邏輯狀態1的 訊號。事先預定時間Tosc可利用變阻器Hv來調整。在此 ,事先預定時間Tosc必須較儲存於抽汲週期設定構件之抽 汲週期爲長。因此,當每個嘟筒之操作週期較短於或相等 於事先預定時間Tosc時,多重振動器MV兩個輸出針頭Q 及/Q之一,例如輸出針頭Q顯示狀態1。然而,當每個啷 筒之一的操作週期較長於事先預定時間Tosc時,多重振動 器MV的輸出針頭Q就會輸出邏輯狀態〇的訊號。學例而 言’當由第一抽汲週期偵測器PCSh產生第三脈衝訊號P3 且第二唧筒P2停止於時點Th時,唧筒狀態偵測器PSS之 解碼器DCD4之第二輸出針頭Q2就會連續顯示狀態1。同 畤,若第二唧筒P2不再產生脈衝訊號直到事先預定時間 Tosc在第二輸出針頭Q2輸出邏輯狀態!的訊號,多重振 動器MV的輸出針頭Q就會輸出邏輯狀態〇的訊號。於是 ,當第二唧筒P2停止時,另一個輸出針頭/Q可輸出和輸 出針頭Q輸出邏輯狀態1訊號相反之邏輯狀態,使得警報 單元ALM’產生警報訊號。 如上述,根據本發明之半導體裝置製造設備可自動偵 測濾器的過濾功能及啷筒的操作狀態。因此·,操作者可有 ____35 中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公爱1--------— 「裝------ r\'·-- (請先閱讀背面之注意事項#填寫本頁) 訂--------- 418454 A7 B7 五 、發明說明(3^·) 效管理淸潔室區域中之濾器及唧筒而不需常常進出服務區 域。同時,其能精確地偵測出更換濾器的時機及避免處理 的突然停止。 而本發明已參考特定實施例而加以說明與敘述了,如 後附之申請專利範圍所界定的本發明之精神與範疇内更進 一步的修改及改變,熟悉本項技藝人士係易於想到的。 : Ί^ι裝------ Γν (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 3 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
Claims (1)
- 經濟部中央標率局i消费合作社印製 418454 鉍 C8 D8 、申請專利範圍 1. 一種半導體裝置製造設備’其包含: 一個擁有一進口及一出口並可儲存化學溶液的水槽; 一個位於水槽進口及出口之間可傳送包含於水槽中之 化學溶液的唧筒; —個位於唧筒出口及水槽進口的濾器; 至少一個被連接至濾器出口的主體; 一個可將啷筒之抽汲操作轉換爲脈衝訊號的抽汲週期 偵測器;及 一個控制器,其可測量抽汲週期偵測器所產生之脈衝 訊號的週期時間,以決定濾器破壞水準。 2. 如申請專利範圍第1項之半導體裝置製造設備’其 中化學溶液爲一黏漿。 3. 如申請專利範圍第1項之半導體裝置製造設備’其 中啷筒爲擁有一進氣口及一排氣口的隔板啷筒。 4. 如申請專利範圍第1項之半導體裝置製造設備’其 中至少一個主體爲化學及機械磨光裝置(CMP)。 5. 如申請專利範圍第3項之半導體裝置製造設備’其 中抽汲週期偵測器包含: 一個擁有被彈簧支撐而被裝設於唧筒排氣口前面的開 關;及 一個被裝設在開關按鈕及啷筒的排氣口之間的面板’ 面板的一端藉由鉸鍊被連接至開關的主體。 6. 如申請專利範圍第1項之半導體裝置製造設備,其 中控制器包含: t紙張尺度逍用中國國家揉準(CNS ) A4規格(2I0X297公釐) 請 先 閱 背 SC 裝 訂鋰濟部中央梯牟局貝工消费合作社印氧 4184 5 4 as B8 C8 D8 、申請專利範圍 —個可儲存JI卩筒之最大可容忍操作期間的抽汲週期設 定構件; 一個可輸出雙態訊號的抽汲週期訊號產生器,其雙態 訊號無論脈衝訊號何時被抽汲週期偵測器產生時均可轉換 I 一個利用抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號當做輸 入訊號來測量啷筒之操作週期的抽汲週期測量構件; —個可比較抽汲週期設定構件輸出之訊號與抽汲週期 測量構件輸出之訊號的比較器; 一個位於抽汲週期偵測器及抽汲週期訊號產生器之間 的第一開關; 一個位於抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件之 間的第二開關: 一個於啷筒之被測量抽汲操作週期等於儲存於抽汲週 期設定構件之最大容許操作期間時可產生警報且立即關閉 第一及第二開關,以停止抽汲週期訊號產生器及抽汲週期 測量構件之運作的警報單元;及 —個可啓動抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件 的重置開關。 7. 如申請專利範圍第6項之半導體裝置製造設備’更 進一步包含一個被連接至第一開關之輸出填的多重振動器 ,多重振動器運作於啷筒之操作週期較事先預定時間爲長 時。 8. 如申請專利範圍第7項之半導體裝置製造設備’其 表紙張尺度逍用中國国家操準(CNS ) Λ4规格(210X297公釐) ABCD 418454 六、申請專利範圍 中多重振動器爲一種可引起連鎖反應的多重振動器。 9. 如申請專利範圍第6項之半導體裝置製造設備,其 .中抽汲週期設定構件包含:· 一個可產生連續脈衝訊號的第一振盪器; 一個可計算由第一振盪器產生之脈衝訊號數量的第一 計數器;. 一個可將第一計數器輸出之訊號轉換至適合顯示爲十 進位數之數碼的第一解碼器: 一個可將第一解碼器輸出之訊號顯示爲十進位數之數 碼的第一指示器;及_ . 至少一個位於第一振盪器及第一計數器之間的計數器 開關,可藉其將第一振盪器所產生之預期脈衝訊號數量轉 換至第一計數器。 10. 如申請專利範圍第9項之半導體裝置製造設備,其 中第一計數器爲一種上/下計數器。 11. 如申請專利範圍第9項之半導體裝置製造設備,其 .中第一指示器包含至少一個七段顯示器。 經濟部中央揉串局貝工消費合作社印策 ..---/-.-:-^' :· ' . 1.· 二 12. 如申請專利範圍第6項之半導體裝置製造設備,其 中抽汲週期測量構件包含: 一個於抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號處於狀態 1時產生擁有事先預定週期時間之連續脈衝訊號,且於抽 汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號處於狀態0時產生邏輯 狀態0之訊號的第二振盪器; 一個可計算由第二振盪器產生之脈衝訊號數量的第二 »國國家梯準(CNS ) A4规格(210X297公釐) A8 B8 C8 D8 418454 Γ、申請專利範圍 計數器; 一個可將第二計數器輸出之訊號轉換至適合顯示爲十 進位數之數碼的第二解碼器; 一個可將第二解碼器輸出之訊號顯示爲十進位數之數 碼的第二指示器。 13. 如申請專利範圍第12項之半導體裝置製造設備, 其中第二指示器包含至少一個七段顯示器。 14. 如申請專利範圍第12項之半導體裝置製造設備1 更進一步包含一個位於重置開關及第二計數器之間的時間 延時電路。 · 15. 如申請專利範圍第6項之半.導體裝置製造設備,其 中比較器於抽汲週期設定構件輸出之訊號與抽汲週期測量 構件輸出之訊號相等時,輸出邏輯狀態1之訊號,且於抽 汲週期設定構件輸出之訊號與抽汲週期測量構件輸出之訊 號不相等時輸出邏輯狀態0之訊號^ 16. 如申請專利範圍第6項之半導體裝置製造設備,其 中警報單元包含: 一個被連接至比較器之輸出埠,可輸出訊號來控制第 一及第二開關之開/關狀態的第一轉換器; .一個被連接至第一轉換器之輸出埠的第二轉換器: 一個被連接至第二轉換器之輸出埠針頭的繼電開關, 繼電開關擁有兩個可同時操作的開關; .一個被連接至構成繼電開關的兩開關之一的蜂鳴器; 一個位於兩開關之另一個及至少一個主體之間的端週 用中邮.家縣(CNS)Α4祕(21GX297公釐) 7-·—裝-- (請先聞讀背面之注意事項^^寫本頁) 訂· 經濟部中央揉準扃貞工消費合作社印装 4 8 1— 4 ABCD 經濟部中央標準局貝工消费合作社印策 .-1-' ..';n^®lr 六、申請專利範圍 期開關。 17,如申請專利範圍第16項之半導體裝置製造設備’ 更進一步包含二個位於第二轉換器及繼電開關之間的抽汲 週期偵測燈。 18. 如申請專利範圍第1項之半導體裝置製造設備’更 進一步包含至少一個被裝設在水槽側壁上的水準偵測器, 水準偵測器用來偵測水槽中之化學溶液水準。 19. 如申請專利範圍第18項之半導體裝置製造設備’ 其中水準偵測器爲一種被裝設在水槽較低側壁上的低水準 偵測器。 20. 如申請專利範圍第18項之半導體裝置製造設備’ 其中控制器包含: 一個可儲存唧筒之最大可容忍操作期間的抽汲週期設 定構件; 一個可輸出雙態訊號的抽汲週期訊號產生器’其雙態 訊號無論脈衝訊號何時被抽汲週期偵測器產生時均可轉換 一個利用抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號當做輸 入訊號來測量啷筒之操作週期的抽汲週期測量構件; 一個可比較抽汲週期設定構件輸出之訊號與抽汲週期 測量構件輸出之訊號的比較器; 一個位於抽汲週期偵測器及抽汲週期訊號產生器之間 的第一開關; 一個位於抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件之 表板張:欠皮迫用中國國家捸率(〇阳)八4規格(210父297公嫠) wmm''"ΐί^^ώ" 經濟部中央標率局to:工消费合侏j印衷‘ 418454 |8 D8 六、申請專利範圍 間的第二開關:及 一値於唧筒之被測量抽汲操作週期等於儲存於抽汲週 期設定構件之最大容許操作期間時可產生警報且立即關閉 第一及第二開關’以停止抽汲週期訊號產生器及抽汲週期 測量構件之運作的警報單元,且於水槽中之化學溶液水準 低於低水準偵測器高度時產生警報的警報單元。 21. 如申請專利範圍第20項之半導體裝置製造設備, 更進一步包含一個被連接至第一開關之輸出璋的多重振動 器,多重振動器運作於啷筒之操作週期較事先預定時間爲 長時。 22. 如申請專利範圍第21項之半導體裝置製造設備, 其中多重振動器爲一種可引起連鎖反應的多重振動器。 23. 如申請專利範圍第20項之半導體裝置製造設備, 其中警報單元包含: 一個被連接至比較器之輸出埠,可輸出訊號來控制第 一及第二開關之開/關狀態的第一轉換器; 一個被連接至第一轉換器之輸出埠的第二轉換器; 一個被連接至第二轉換器之輸出埠針頭的繼電開關, 繼電開關擁有兩個可同時操作的開關; 一個被連接至構成繼電開關的兩開關之一的蜂鳴器開 關; .一個位於兩開關之另一個及至少一個主體之間的端週 期開關。 , I ' 至少一個並聯位於繼電開關及電源的低水準偵測開關 :'·_ 6 iij§ 張1 讀ABCD 418454 六、申請專利範圍 ,低水準偵測開關被至少低水準偵測器之一所轉換的訊號 所控制著。 24. 如申請專利範圍第23項之半導體裝置製造設備, 更進一步包含一個位於第二轉換器及繼電開關之間的抽汲 週期偵測燈。 25. 如申請專利範圍第24項之半導體裝置製造設備, 更進一步包含至少一個並聯位於至少低水準偵測開關及繼 電開關之一的化學溶液偵測燈。 26. —種半導體裝置製造設備,其包含: 複數個儲存化學ί容液且每個均擁有一進口及一出口的 水槽; 複數個位於每個水槽進口及出口之間可傳送包含於永 槽中之化學溶液的唧筒; 複數個位於每個啷筒出口及每個水槽進口的濾器; 複數個被連接至每個濾器出口的主體; 複數個可將每個啷筒之抽汲操作轉換爲脈衝訊號的抽 汲週期偵測器;及 一個可測量由複數個抽汲週期偵測器所產生之脈衝訊 號的週期時間以決定許多濾器破壞水準的控制器。 27. 如申請專利範圍第26項之半導體裝置製造設備’ 其中化學溶液爲一黏漿。 .28.如申請專利範圍第26項之半導體裝置製造設備, 养中複數個唧筒的每個爲擁有一進氣口及一排氣口的隔板 唧筒。 本轉^度埤用中《网家樣率(。猫)八4規格(210><;297公釐)A8 B8 C8 D8 418^54. •、申請專利範圍 29. 如申請專利範圍第26項之半導體裝置製造設備, 其中每個主體爲化學及機械磨光裝置(CMP)。 30. 如申請專利範圍第28項之半導體裝置製造設備, 其中每個抽汲週期偵測器包含: 一個擁有被彈簧支撐而被裝設於唧筒排氣口前面的開 關;及 一個被裝設在開關按鈕及啷筒的排氣口之間的面板, 面板的一端藉由鉸鍊被連接至開關的主體。 31. 如申請專利範圍第26項之半導體裝置製造設備, 其中控制器包含i 一個可儲存每個啷筒之最大可容忍操作期間的抽汲週 期設定構件; 一個可依序輸出由許多抽汲週期偵測器所產生之許多 脈衝訊號的開關構件/ 一個可輸出雙態訊號的抽汲週期訊號產生器,其雙態 訊號無論脈衝訊號何時被抽汲週期偵測器產生時均可轉換 ; 一個利用抽汲週期訊號產生器輸出之雙態訊號當做輸 入訊號來測量卿筒之操作週期的抽汲週期測量構件; 一個可比較抽汲週期設定構件輸出之訊號與抽汲週期 測量構件輸出之訊號的比較器; 一個位於抽汲週期訊號產生器及抽汲週期測量構件之 間的苐二開關; 一個可啓動開關構件,抽汲週期訊號產生器及抽汲週 (請先閲讀背面之注意事視^^-寫本頁) -裝. 訂_ 鯉濟部中央揉準局貝工消費合作社印東 418454 C8 . D8 六、申請專利範園 期測量構件的重置開關;及 一個於唧筒之被測量抽汲操作週期等於儲存於抽汲週 期設定構件之最大容許操作期間時可產生警報且立即關閉 第一及第二開關,以停止袖汲週期訊號產生器及抽汲週期 測量構件之運作的警報單元。 32. 如申請專利範圍第31項之半導體裝置製造設備’ 更進一步包含一個於從複數個抽汲週期偵測器輸出之至少 一個脈衝訊號擁有較事先預定時間爲長之週期時間時可運 作警報的啷筒狀態偵測器。 33. 如申請專利範圍第32項之半導體裝置製造設備’ 其中唧筒狀態偵測器被重置開關啓動。· 34. 如申請專利範圍第32項之半導體裝置製造設備’ 其中啷筒狀態偵測器更進—步包含: 複數個一一相連至每個唧筒狀態偵測器的開關; 一個利用經由複數個開關中之打開狀態下的開關之脈 衝訊號輸出當做輸入訊號來關閉打開狀態下的開關且立即 .打開另一個開關以依序打開所有眾多開關的解碼器; 一個於從複數個開關之一接收之脈衝訊號擁有較事先 預定時間爲長之週期時間時可輸出訊號來運作警報的可引 起連鎖反應的多重振動器 35. 如申請專利範圍第31項之半導體裝置製造設備’ 其中開關構件包含: .簿數個一一相連至每個唧筒狀態偵測器的開關; 1 一i無論經由複數個開關中之打開狀態下之開關之脈 本紙張逋用中H0家揉率(CNS ) A4规格(210X297公釐) --1裝— (請先聞讀背面之注意事項填寫本頁) 訂 經濟部中央揉率局βς工消費合作社印1ί.Λ8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 衝訊號輸出何時被輸入兩次均輸出脈衝訊號的第一解碼器 一個藉由從第一解碼器輸出之脈衝訊號當做輸入訊號 來關閉打開狀態下的開闞且立即打開另一個開關以輸出控 制訊號而依序打開所有複數個開關的第二解碼器; 36.如申請專利範圍第35項之半導體裝置製造設備’ 其中複數個開關構件之開關,於儲存於抽汲週期設定構件 中之最大容許操作期間等於抽汲週期測量構件所測量之被 測量抽汲操作週期時,爲完全關閉、. 請 先 聞 讀 背 意 事 % 再 本 裝 订 經濟部中央樑丰局属工消費合作社印«.· --¾ :i:is 鳴. Μ 釐一祕 9 2
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Date | Code | Title | Description |
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GD4A | Issue of patent certificate for granted invention patent | ||
MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |