TW403988B - Hinge mechanism for supporting the open-close cover of a vacuum-process apparatus - Google Patents

Description

Λ7 403988 五、發明説明（丨） 本發明係關於一種鉸鏈機構，乃被設計用來樞裝-加 工物件(例如液晶顯示板與半導體晶圓)之真空處理裝置的 啟閉蓋趙，並使该蓋體能在—開啟位置及一關閉位置之間 旋動者。 通常，諸如LCD基板及半導體晶圓等加工物件之真空 處理裝置係包含-承載閉鎖室及一處理室。該承載閉鎖室 具有-傳送臂。該處理室被設於靠近該承載閉鎖室。在該 二腔室中係皆保持真空。該傳送臂乃將工件逐—地從承載 閉鎖室傳送至該處理室。在該處理室中，該等工件係受到 -特定的處理。嗣，該傳送臂會將處理過的工件從該處理 室送回該承載閉鎖室。 .該處理室包含一主體（以下稱為“腔體，，）。該腔體具 有-入/出口於其—侧。經由該出入口’該等工件乃被移 入或送出該處理室。該處理室更包含一閘閥及一氣缸。該 閘閥係被設在該人/出口處。該氣缸則被設在該腔體前述 之一側，而位於該閘閥的上方並與閘閥連接。當該問間被 該氣缸向上驅動時會開啟該入/出口，而被氣缸向下驅動 時會關閉該入/出口》 該腔體頂部具有一維修孔。該維修孔可藉一蓋體（以 下稱為啟閉蓋”）來開啟或關閉。該啟閉蓋可在一開啟 位置與一關閉位置之間旋動，而藉一固裝於該腔體上祕 鏈機構來樞裝。該啟閉蓋通常係封閉該維修孔，俾使該處 理室保持真空。但該處理室内部必須定時清理（例如，每 月一次或兩次），而且裝在該處理室内的加熱器經長期使 Λ4規桔（210X 297公犮） (销先間讀背而之注意事項存填寫本茛) 裝-

’1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 R7 403988 五、發明説明（2 用後亦必須被換新。若不打開該維修孔，則該腔室内部將 不能清理或者加熱器不能被換新。為了開啟該維修孔，該 鉸鏈機構乃被操作，俾將啟閉蓋向上旋動至開啟位置。 該鉸鏈機構具有一軸。該軸係樞裝該啟閉蓋，該蓋重 枚5公斤。由於如此重，該啟閉蓋乃可能由於意外而向下 旋動，從開啟位置掉到關閉位置。有見於此，故期望該啟 閉蓋從關閉位置至開啟位置係能大於9〇。，最好約為丨⑼。 來旋轉，以開啟該維修孔。但若該啟閉蓋以大於9〇。的角 度來旋動，則其將會轉過該腔體的側邊，而與向上延伸至 "玄腔體頂部上方的氣虹互#目干擾。此係由於該腔體與保護 該腔趙的中空圓筒蓋之間的空隙很窄，故該较鍵機構乃無 可避免地必須被設在靠近氣缸處。因此，該啟閉蓋不能向 上旋轉超過90。〇 本發明之目的係在提供一種鉸鏈機構，其可使一真空 處理裝置之啟閉蓋旋轉一大於9〇。的角度，而不會轉過該 裝置之腔體的側邊。 ° #Β濟部中央標^局員工消費合作社印製 為達到本發明之目的，乃提供一鉸鍵機構可使用於一 真工處理裝置’該裝置包含一腔室具有一頂壁而有一孔設 在其上，並容許-通道進入該腔室中，另更含有一蓋可啟 閉該孔。該鉸鍵機構乃被絲樞裝該蓋，並使該蓋能在一 打開該孔的開啟位置與一封閉該孔的關閉位置之間旋轉一 =於9,角度。該敍鏈機構乃包含·· __抽被固接於該腔 室；一支撐件具有-第-部份被該軸可旋動地樞裝，及一 第二部份與該第-部份間隔相離；—旋轉件固接於該蓋， 本纸張尺韻财關家縣 ^403983 A7 一-*-—____.. B7 五、發明説明（3 ) —— 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製

該旋轉件被該支樓件之第二部份可旋動地枢裝 ，當該蓋旋轉時其會繞該支撑件旋轉；及一旋轉傳動機構被該支樓件 所樞裝，而將該旋轉件連接於該轴，俾當㈣轉件以相反 於第-方向之第二方向旋轉時，能使該支撑件以第一方向旋轉。當該㈣機構被設於該真空處理裝置，而該轴與旋 轉件刀別固接於該腔室與蓋，該支樓件乃能以相反於該蓋 繞該旋轉件旋轉於_位置與開啟位置之間的方向來旋轉 0 本發明之其它目的與優點將於以下說明述出，而其中 部份將可由說明中顯而易見，或者可由本發明的實施t得 知。本發明之目的及優點乃可利用特別於下指出的手段及 組合來實現與獲得。圖式之簡單說明： 所附圖式乃併於並構成本說明書的一部份，示出本發 明之較佳實施例，並與前述概括說明及以下對較佳實施例 之詳細說明，一起用以解說本發明之主要原理。 第1圖係為一真空處理裝置之側視圖，表示一啟閉蓋 向下旋動以封閉該裝置腔體的維修孔，而被本發明第一實 施例之鉸鏈機構所樞裝； 第2圖係為一真空處理裝置之側視圖，表示該啟閉蓋 向上旋轉超過9〇。以打開該維修孔，而被該鉸鏈機構所撐 持； 第3A至3H圖係為該真空處理裝置之側視圖，用以說 明該鉸鏈機構如何運作以在該啟閉蓋從一關閉位置向上旋 本紙張尺度適用中國國家榡率（CNS ) Λ4規格（210X297公漦） ---------裝-- .. ~ _ (請先閱讀背而之注意事項#填寫本頁)

、1T 線--- .I- I I . Λ7 403988 -------------- 五、發明説明（4 ) 轉至一開啟位置時來撐持該啟閉蓋； 第4圖係為第1圖所示之鉸鏈機構的剖視圖； 第5圖係為第4圖中之鉸鏈機構沿著截線5_5的剖視圖 :及 第ό圖係為本發明第二實施例之鉸鏈機構的側、視示意 圖。 本發明之實施例將配合所附圖式說明如下。 第1及2圖示出一真空處理裝置之處理室，其具有一依 據本發明第一實施例之鉸鏈機構7。如第1、2圖所示，該 真空處理裝置包含一承載閉鎖室Β及一處理室Α。該承載 閉鎖室B具有一傳送臂（未示出）。該處理室a被設靠近於 該承載閉鎖室B。在該二腔室a及B中係保持真空。該傳送 臂會將諸如半導體晶圓等之工件，逐一地從該承載閉鎖室 B傳送至處理室A。在該處理室a中，該等工件會受特定 的處理。然後，該傳送臂會再將已處理過的工件從處理室 A送回承載閉鎖室β中。 該處理室A包含一腔體1，該腔體1具有一出入口 2設 在其一侧’該出入口 2係水平延伸，經由該出入口 2，工件 可被移入及移出該處理室A，該處理室A更包含一氣缸3及 一閘閥4。該閘閥4乃被設於出入口 2處。該氣缸3則被設在 該腔體1的前述一側之閘閥4上方。該氣缸3乃沿著腔體1旁 側垂直延伸，而使其頂部位於腔體1之頂部5的上方。該氣 缸3具有一缸桿連接於該閘閥4。該閘閥4在被氣缸3之缸桿 往上拉時，即會開啟該出入口2，而當被氣缸3之缸桿下壓 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公势） ---------裝------訂 -- (請先Μ讀背而之注意事項#填寫本莧) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ^03988 A7 ~~~___H7 五、發明説明（5 ) 時，即會關閉該出入口 2。 該腔體1有一維修孔6設於頂部5，該維修孔6係呈圓形 ’該孔ό可被一啟閉蓋8所開啟與關閉，該啟閉蓋8可繞著 一軸18在一開啟位置與一關閉位置之間旋轉，而被一對固 設於該腔體1相反兩側的鉸鏈機構7所樞裝。在處理操作中 ，該啟閉蓋8乃保持旋轉至關閉位置（如第1圖），以關閉該 維修孔6，並使該處理室Α中維持真空。當有需要時，該 啟閉蓋8會旋轉超過90。’俾從關閉位置移至開啟位置（如 第2圖）’而被該等较鏈機構7所樓持。在本例中，該啟閉 蓋8打開該維修孔，俾使該腔室a内部得以被清理，或使 設於該腔室A内的加熱器可被換新。由於鉸鏈機構7係設 於靠近該閘閥4處’而撐持著該啟閉蓋8的一端，故該啟閉 蓋8乃可向上及向下旋動。 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 如第1、2及3圖所示’各鉸鏈機構7具有一第一連接件 ，一殼體（支撐件）14 ’及一第二連接件（旋轉件）19。該 第一連接件10的近端（即在第1、2圊所示的底端）係被螺絲 11固鎖於腔體1之側壁上靠近該閘閥4的部份。該第一連接 件10的遠端部份（即在第1、2圊所示的頂端）則向上延伸， 而使其頂端位於該腔體1的頂部5上方稍高處。 該對鉸鏈機構7之構造皆為相同，但係各互為鏡像構 造。該機構7之一者將被參考第4、5圖來詳細說明。 如第4圖所示，有一軸12乃橫伸穿設於該第一連接件 的遠端部份。該抽12係被一銷13所固定而不能在該第一連 接件10中旋轉。該殼體14則可旋動地樞裝在該軸12上。該 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4坭格（210X297公势） a? -----—______Ε 五、發明説明（6 ) I I; I - - I »-- - I - .1 - ! m 11--. (誚先閱站背而之注意事項再填艿本頁} 殼體14含有—第一齒輪15, 一中間齒輪16,及一第二齒輪 17。該第一齒輪15係被裝設在該軸12上而一點也不能旋轉 该中間齒輪16係可轉動地嚙合於第一齒輪15與第二齒輪 17。該第二齒輪17係被固裝於一軸18(旋轉件）上。該軸18 乃。!5伤橫伸於殼體14中而部份在該殼體μ外。不同於軸12 ’ s玄袖18係可旋轉的。 3玄第二連接件19的一端乃被螺絲20固定於該轴18伸出 殼體外的伤。該第二連接件19的另—端則被固接於該 啟閉蓋8。請注意該第一齒輪15有32齒，中間齒輪“有以 齒第一齒輪17有16齒。第一齒輪15與第二齒輪17之齒數 比係為2:1。 I 當該啟閉蓋8向上旋轉而開啟維修孔6時，該軸18係順 時針旋轉（如第5圖），因為該第二連接件19之〜端被㈣ 在啟閉蓋8而另-端被固接於轴18。該第二齒輪17因被固 , 定在軸18上故會順時針旋轉。該中間齒輪16則繞其轴㈣ | 針旋轉，並在第-齒輪15之圓周上反時針滾動。此係由於 |

該中間齒輪16與第二齒輪17及第一齒輪15喃合。結果使固 R 裝該第二齒輪Π的殼體14會繞著轴12而反時針旋轉。因此 | ’該第-齒輪15、第二齒輪17及中間齒輪16即構成一綠 [ 12與18連結在—起的旋轉傳動機構，而可在軸_時_ |

轉時使該殼體14繞著軸12反時針旋轉。 I 如前所述，另一錢鏈機構係為上述之鉸鏈機構7的鏡 !

像構造。因此，該另-鉸鍵機構之殼體14、齒輪15至17， I

及卸18等在田啟閉蓋8旋轉時，係以該鉸鏈機構7之對# I 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) 經满部中央標準扃負工消費合作社印製 403988 —-^— ·_____ ni _ 五、發明説明（7 ) — 構件的相反方向來旋動。 如第1、2圖中所示，有一輔助機構21被設在一鉸鏈機 構7的旁邊’俾使其可緩和順利地旋動該啟閉蓋8 ^該鉸鏈 機構包含一氣體彈簧（即偏壓裝置）22及二連桿23、24。該 乳體彈簧22有一端可旋動地連接於該腔體1的側面。該連 桿23有一端可旋動地連接於該腔體1的側面並位於氣體彈 著22的上方。該第二連桿24有一端以一托架25可旋動地連 接於該啟閉蓋8的側面。而該各氣體彈簧22、第一連桿23 與第二連桿24等之另一端（即自由端）乃以一銷26可旋動地 互相連接在一起。 當啟閉蓋8向上旋動以開啟維修孔6時，該氣體彈簧22 會由於其内所產生的氣體壓力而伸長，來幫助啟閉蓋8向 上移動。只要該啟閉蓋8保持於完全水平位置並關閉該孔6 如第1圖所示，在該氣體彈簧22内的氣體壓力卿不會運作 以旋轉啟閉蓋8，此係由於該啟閉蓋8之重量的關係。是即 ’該氣體彈簧22乃被抑制而不會伸展。當該啟閉蓋8從其 關閉位置向上旋轉一點點，氣體壓力即開始運作以旋動該 啟閉蓋，或者伸展該氣體彈簧22。換而言之，在彈簧22内 的耽體壓力乃轉換成一種力量，其經由連桿23與24之傳送 ，而使該啟閉蓋8繞著該二鉸鏈機構7的軸12向上旋轉。該 輔助機構21可使一操作者很容易打開該啟閉蓋8，只要他 或者她以一很小之力拉開該啟閉蓋8即可。 有一柄27附裝於該啟閉蓋8的末端，乃相反於該鉸鏈 機構7撐持啟閉蓋8的一端。操作者可執持該柄27向上拉起 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現;1¾ ( 2丨0X297公釐） I I I I I I— I I I I 1 n . . - (誚先間讀背而之注意市項再填寫本頁) A7 m 五 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 403988 發明説明（ 該啟閉蓋8。有一抵桿28固裝於該啟閉蓋8頂部。當該啟閉 蓋8向上旋轉超過90。而從關閉位置移至開啟位置如第二圖 所示，該抵桿28將會頂抵於設在一基座3〇上的扣鎖機構29 ,而該扣鎖機構29會固持著該抵桿28。因此該啟閉蓋8乃 被扣鎖而固定於開啟位置（第2圖卜該扣辯機構”有一解 扣件3 1，其乃連接於一槓捍32。當該槓桿32作動時，該解 扣件31會從該扣鎖機構29釋放該抵桿28。 有多數的螺栓33被設在該啟閉蓋8的邊緣，以將啟閉 蓋8固鎖於該腔體！。當該等螺栓33被旋入在腔體】頂部5的 螺孔中時’該啟閉蓋8即會牢固而完全地關閉維修孔6。 該啟閉蓋8如何旋動將說明如下； ^為了進行該處理室A之定期清理或更換加熱器，該啟 閉蓋8必須被從關閉位置（第3圖）向上旋動。於此時，在該 啟閉蓋8周緣的螺栓33乃被旋動而從設在該腔體^頂部$的 螺孔中褪出。該啟閉蓋8即不再固鎖於該腔體L。然後， 操作者可握持該柄27向上（順時針）旋動該啟閉蓋8。 在各鉸鏈機構7中，該軸18係將啟閉蓋8的轉動傳送給 第二齒輪η ’使其順時針旋轉。該中間齒輪16由於口齒合於 第二齒輪17而反時針旋轉。同時’該t間齒輪16會以反時 針方向在第-齒輪15的圓周上滾動。當該第二齒㈣繞其 轴填時針方疋轉a夺’會繞著第一齒輪15而反時針移動，因為 合於該第-齒輪15及中間齒輪16。結果會使該殼體 ，"者轴12反時針旋轉，如第3A至3H圖中所示。當該殼 體14反時針旋轉而啟閉蓋8繞著軸18順時針旋動時，其乃 本紙張尺度適用中國國家梯準 .裝- (誚先閱讀背而之注意事項再功寫本頁) 訂 線 12 經濟部中央標準局員工消f合作社印掣 一 403988___— ；；7 五、發明説明（9 ) 將該啟閉蓋8從該氣缸3移離。 請參考第3A至3H圖，其乃說明各鉸鏈機構7如何運作 ，以促成該啟閉蓋8的旋動。 當該啟閉蓋8從關閉位置以一小於9〇。的角度繞其軸18 逐漸旋轉時，在連接軸12與18的軸心線a，與從軸18中心 沿該啟閉蓋8之縱長方向的延伸線間的角度將會逐漸增 加，此可從第3A至3F圖中看出。由於該啟閉蓋8係如此轉 動，一等腰三角形會繼續形成，其相等的兩邊即為軸心線 a與延伸線b(見第3D圖）。 只要該啟閉蓋8維持於關閉位置如3A圖所示，該輔助 機構21即不會發生作用。更精確地說，該氣體彈簧22由於 啟閉蓋8的重量而不能伸展來旋動該啟閉蓋8，儘管有氣體 壓力產生於該氣體彈簧22中。當該啟閉蓋8如3B圖中所示 順時針旋轉一點點時，該連桿23與24即開始揚升。換而言 之，該氣體彈簧22乃開始伸展。此即意味著在彈簧22中的 氣體壓力開始作用來旋動該啟閉蓋8。簡單地說，該輔助 機構21會促成啟閉蓋8的旋轉。因此，操作者可使用相對 較小的力量來打開該啟閉蓋8。 到最後’該啟閉蓋8係旋轉90。而向上直立如第3G圊 所示β於此狀態下’在殼體14或较鏈機構7中的各齒輪15 、16、17等之軸心係皆在一垂線上。當該啟閉蓋8順時針 旋轉超過90。如3Η圖所示時，該頂桿28將會頂抵於扣鎖機

I 構29。因此該啟閉蓋8即被鎖定於開啟位置，在其旋轉超 過90。之後。一旦如此鎖住，該啟閉蓋8將不會由於意外而 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現格（210Χ297公势） (誚先間讀背而之注意事項再填寫本頁) ’裝· '1Τ 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 403988 Α7 _ Η 7 五、發明説明（10) 反時針旋動。於該處理室A之維修工作，如清理該腔體1 内部，或者更換加熱器等，皆得以安全地完全。 當如第3H圖所示保持著旋轉超過90。時，該啟閉蓋8 將不會與氣體缸3互相干擾。此係因為當該殼體14與啟閉 蓋8反時針旋轉而啟閉蓋8順時針繞其軸18轉動時，殼體14 會將啟閉蓋8移離該氣缸3。即是，當該啟閉蓋8繞軸18順 時針旋轉時，該二鉸鏈機構7乃繞軸12反時針旋轉，因而 將啟閉蓋8移離該氣缸3。當該啟閉蓋8被鉸鏈機構7所撐持 時係以順時針旋轉，其中心乃沿一橢圓軌跡C來移動，如 3 Η圖所示。 在完成維修工作之後’該啟閉蓋8為了關閉該維修孔6 ’乃以如下之方法來反時針旋轉。首先，該槓桿32作動推 壓解扣件3 1。該解扣件31由於被推迫而使抵桿28釋離該扣 鎖機構29。然後，啟閉蓋8向下或反時針旋轉，而被該氣 體彈簧22所緩衝。該二鉸鏈機構7則繞軸12逐漸順時針旋 轉，如第3G至3Β圖所示。到最後，該啟閉蓋8乃靠抵於該 腔體1的頂部5上如第3Α圖所示，而關閉該維修孔6。各螺 栓則被鎖入設在腔體1頂部5之螺孔中，故使該啟閉蓋8被 固裝於腔體1上，而完全關閉該維修孔6。 如以上所述，該等鉸鏈機構7可使該啟閉蓋8從關閉位 置旋轉超過90°，而不會懸掛偏過該腔體1的側邊。因此， 該啟閉蓋8乃不會與氣缸3互相干擾，該氣缸係向上延伸至 超過該腔體1頂部上方某一程度，而被用來啟閉該閘閱4者 。此外，一旦從關閉位置旋轉超過90。，該啟閉蓋8將不會 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4現格（210Χ297公犮） ' ~一~ ---------裝------訂------涑 (邻先閱讀背而之注意f項再^巧本頁) A7 A7 157 五、發明説明（u 因意外而向下旋動。 第6圖乃示出本發明之第二實施例的鉸鏈機構4〇。該 鉸鏈機構40具有一第—齒式皮帶輪41，一第二齒式皮帶輪 及疋時皮帶43，乃取代第一實施例中所設的各齒輪 。如同第一實施例，該第二實施例亦包含一第一連接件10 及軸12與18等。該第一皮帶輪41係被裝在固設於第一連接 件1〇的軸12上而全然不能轉動。該第二皮帶輪42被裝在軸 18上亦全然不能轉動。該軸18係被固接於一與第1、2圖所 示的處理室A同型者之啟閉蓋上。該定時皮帶43，或一無 端頭皮帶’乃套繞著該等皮帶輪41與42。 該第一皮帶輪41與第二皮帶輪42之圓周比係為2:1。 由於啟閉蓋係順時針旋轉從關閉位置移至開啟位置，故第 一皮帶輪42係繞著第一皮帶輪41移動《同時，該定時皮帶 43乃持續地運行。因此，軸12及18的連心線與從軸以中心 朝啟閉蓋縱長方向的延伸線之間的角度乃逐漸增加與第 一實施例相同。由於該啟閉蓋如此旋動，故有一等腰三角 形會被持續形成，而其相等的兩邊即為該等連心線及延伸 線。藉著被該鉸鏈機構40所撐持，該處理室之啟閉蓋乃得 以旋轉，而其中心係以一垂直細長的橢圓軌跡來移動類 似於第3H圖所示之軌跡c。 該等皮帶輪41與42乃可被以鏈輪來取代，而定時皮帶 43則可用一無端頭鏈條來替代。假若如此，亦可得到相同 的效益》 如以上所述，本發明乃可提供一種鉸鏈機構，其能使 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公f ------1T------^ - m (誚先閱讀开而之注意事項存填寫本萸) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 15 、忽3988 五、發明説明（12 ) —真空處理裝置之啟閉蓋更容易而妥順地旋轉，並且不會 與任何設在該腔體侧邊的構件發生干擾，例如用以啟閉一 間閥之氣缸；又其可避免該啟閉蓋因意外而從開啟位置旋 轉至關閉位置，因此對該真空處理裝置之維修工作乃可安 全地完成。 其它的優點及變化對專業人士將可很容易做到。因此 ’本發明在其更廣泛的觀點上，並不受限於以上所示之代 表性實施例的詳細說明。爰是，可能的變化修飾乃不超出 如申請專利範圍及其等效結構所界定之整體發明概念的精 神和範疇。 ---------装------訂------線 • «- . (請先閱讀背而之注意事項异頊涔本茛) 經濟部中央標挲局貝工消费合作社印裂 本紙張尺度適用中國國家標準（〇~5)/\4規梢（210'/297公梦） 經滴部中央標隼局员工消費合作社印製 __403988____ 五、發明説明（13 ) 元件標號對照 1…腔體 2 0…螺絲 2…出入口 21…輔助機構 3…氣缸 22…氣體彈簧 4…閘閥 23、24···連桿 5···腔體頂部 25…托架 6…維修孔 26…銷 7···鉸鏈機構 27…柄 8…啟閉蓋 28…抵桿 10…第一連接件 29…扣鎖機構 11…螺絲 30…基座 12…轴 3 1…解扣件 13…銷 32…槓桿 14…殼體 3 3…螺栓 15…第一齒輪 40…鉸鏈機構 16…中間齒輪 41、42…齒式皮帶輪 17…第二齒輪 43···定時皮帶 18…轴 A…處理室 19…第二連接件 B…承載閉鎖室 1· - I I I - n - - 4.^ - - n >n n n T 0¾ '-° • * (誚先閱讀背而之注^事項再填'rc?本s ) - 本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) A4«L#，（ 210Χ2«^；Μ;)

Claims (1)

1. 口 403988 A8 D8 C8 D8 1. 申請專利範圍 -種鉸鏈機構，供使用於一真空處理裝置，該裝置包含 一腔室具有一頂壁及有一孔設於該頂壁並容許一通道 進入該腔室’更包含一蓋可啟閉該孔；該鉸鏈機構乃 被用來樞裝該蓋’而使該蓋能在一打開該孔的開啟位 置與一封閉該孔的關閉位置之間旋轉一大於9〇。的角度 ;該欽鍵機構乃包含： 一軸被固接於該腔室； 一支撐件具有一第一部份乃可旋動地被該軸所樞 裝’及一第二部份與該第一部份間隔相離； 一旋轉件被固接於該蓋，該旋轉件乃可旋動地被 該支撐件之第二部份所枢裝，並在該蓋旋轉時能繞該 支撐件旋轉；及 一旋轉傳動機構乃被該支撑件所樞裝，而將該旋 轉件連接於該軸，當該旋轉件以相反於第一方向之第 二方向旋轉時，可使該支撐件繞該軸以第一方向旋轉 9 當該鉸鏈機構被設於該真空處理裝置，而該軸與 旋轉件分別固接於該腔室與蓋時，其中該支撐件之旋 轉方向係減於該蓋繞該旋轉件旋轉於關閉位置與開 啟位置之間的方向。 2.如申請專利範圍第i項之欽鏈機構，其中該旋轉傳動機 構乃包含-第-齒輪固裝於該軸而與之同轴列設，一 中間齒輪可旋動地裝設在該支推件上並與該第一齒輪 嚙合，及一第二齒輪固裝於該旋轉件上並與該中間齒 • · ( CNS ΓΑ4«^ ( 210X1^· — — — — — — — — — n n n I I -- T l ^ 、T (請先閲讀背面之注^^項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 18 A8 B8 C8 m 403988 i__ 77、申請專利範圍 輪嚙合。 3 . •如申請專利範圍第1項之鉸鏈機構，其中該旋轉傳動機 構包含一第—皮帶輪固裝於該軸而與之同軸列設，一 第一皮帶輪固裝於該旋轉件’及一無端頭皮帶套繞於 該第一與第二皮帶輪上。 4·如申請專利範圍第1項之鉸鏈機構，其中該旋轉件具有 一軸固接於該蓋》 5.如申請專利範圍第1項之鉸鏈機構，其中該支撐件包含 —殼體’而該旋轉傳動機構係被設在該殼體内。 6·如申請專利範圍第1項之鉸鏈機構’更包含一輔助機構 被設於該蓋與腔室之間，可對該蓋施力使之旋轉。 7·如申請專利範圍第6項之鉸鏈機構，其中該辅助機構包 含—連桿機構被設在該蓋與腔室之間，而能對該蓋與 腔室旋動，及偏壓裝置連接於該連桿機構，可經由該 連桿機構施力於該蓋，而使該蓋朝開啟位置旋轉。 8. 如申請專利範圍第7項之鉸鏈機構，其中該偏壓裝置包 含一氣體彈簧具有一桿可藉氣體壓力而伸展。 9. 如申請專利範圍第1項之鉸鍵機構’更包含一固定機構 可將該蓋固持於其開啟位置。 瓜如申請專利範圍第1項之鉸鏈機構，其中該固定機構包 含一抵桿被固接於該蓋，及一扣鎖機構可在該蓋轉至 開啟位置時扣住該抵桿。 11.如申請專利範圍第1〇項之鉸鏈機構，更包含一裝置可 將該抵桿從該扣鎖機構釋放》 1·^— rn^lt HI r J. n^i (^1 n^— UK 一£aJ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部申央榣隼局肩工消費合作社印裝

   經濟部中央梂準局負工消费合作社印製 403988 、申請專利範圍 12· 一種真空處理裝置，包含： 一腔室具有一頂壁及一孔設於該頂壁，並容許— 通道進入該腔室； 一蓋可供啟閉該孔； 一鉸鏈機構樞裝著該蓋，能使該蓋在一打開該孔 的開啟位置與一封閉該孔的關閉位置之間旋轉—超過 90°的角度；該鉸鏈機構包括： —軸固接於該腔室； 一支撐件具有一第一部份被該軸可旋動地樞裝， 及一第二部份與該第一部份間隔相離； 一旋轉件固接於該蓋，被該支撐件之第二部份可 旋動地樞裝，而當該蓋旋轉時可繞該支撐件旋轉；及 一旋轉傳動機構被該支撐件所樞裝並將該旋轉件 連接於該軸，當該旋轉件以相反於第一方向之第二方 向旋轉時，能使該支料以第—方向繞該轴旋轉； 其中當該蓋繞該旋轉件旋轉於關閉位置與開啟位 置時，該支擇件會以相反於該蓋旋轉之方向來旋轉。 13 ^申請專利範圍第12項之真空處理裝置其中該旋轉 動機構包含一第一齒輪固裝於該軸而與之同軸列設 ，—中間齒輪乃可旋轉地裝設在該支料上並與第一 嚙合’及一第二齒輪固裝於該旋轉件並與該中間 齒輪嚙合。 14.如申請專利範圍第〗2項之 僂動她娃“ 具二處理裝置，其中該旋轉 3 一第一皮帶輪固裝於該軸而與之同軸列 本紙崎適用中^ I — I---n i^i m If I- f. I In m m _ —、^T (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 20 403988 --—77、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8· 經濟部中央棣準局貝工消費合作社印製 設，一第二皮帶輪固裝於 、孩釦轉件，及一皮帶套繞於 該第一與第二皮帶輪。 15.如申請專利範圍第12項之吉_ + 之真空處理裝置，其中該旋轉 件具有一軸固接於該蓋。 μ.如申請專利範圍第12項之真空處理m中該支樓 件包含-殼體，而該旋轉傳動機構係被設於該殼體内 〇 如申請專利範圍第12項之真空處理裝置，更包含有一 輔助機構設於該蓋與腔室之間，可對該蓋施力以旋轉 該蓋。 18. 如申請專利範圍第17項之真空處理裝置，其中該輔助 機構包含一連桿機構設於該蓋與腔室之間，而能對該 蓋與腔室旋動，及偏壓裝置連接於該連桿機構，可經 由該連桿機構對該蓋施力，而使該蓋朝開啟位置旋轉 〇 19. 如申請專利範圍第18項之真空處理裝置，其中該偏壓 裝置包含一氣體彈簧具有一桿可藉氣體壓力而伸展。 20. 如申請專利範圍第12項之真空處理裝置，更包含一固 定裝置可將該蓋固持於其開啟位置。 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 21 ί - I s I - - - . m - , 文本-I —i - 1 I 1 HI-"aJ (請先聞讀背面之注項再填寫本頁)