TW401510B - Measurement method for electromagnetic radiation - Google Patents

Description

401510 笫87丨2〇318號專利案修正本 μ ---------- B7 五、發明說明(1.) 本發明係關於一種測量電磁輻射之

Km 補充 由-物件麵,=== :上的無射源所放射出來的電购射所照射著， ，由輻射源所放射出來的籍射，至少是一筮 … 閲 =偵:，而由被照射的物件所放射出^ y疋由個用來_其鱗的第二偵測器來加_測的。

舉例來說’從US-5 490 728 A中，卽可俨& L 即可件知此類和半 裝 =基板献應讀加功。由翻源所放射出 來的電磁她，將會自然而朗和其他的㈣_在_起 ’這些波動是㈣源電壓的肋、或是由於相位切除控制 的緣故’而意外出現的。我們對於這些波動束手無策，其 也無法有意識的被加以選擇W此，若要有意的利用這些 波動’來做為#射_釋放_的—姆性時，即使其& :源的確會把這個特性放出來，也只有在某些條件下適 此外要參考的是DE-A-26 27 753，其展示了一種裝置 ’此種裝置能夠在真空鍍層裝置内，在製造一層具光化作 用的薄層時，用來測量及控制其厚度。此種測量和控制的 方式’是透過折射部份元件間的反射及穿透比例之測量來 完成’之後其將會和我們所採用的、基本上為單色光的測 量光線，再進行多次比較。當其到達一個預定的厚度時， 再中止其覆膜的程序。此種裝置是由一個用來聚焦的測量 光束之測量光源、一個斬波器裝置、一個在測量光線的軸 上以45度角來放置的分光器、一個前面設有單色光轉換器 本紙張尺度適用·?^家標準（CNS)A4規格咖χ挪公餐）_ -7- 401510 笫87丨2〇318號專利案修正本 μ ---------- B7 五、發明說明(1.) 本發明係關於一種測量電磁輻射之

Km 補充 由-物件麵,=== :上的無射源所放射出來的電购射所照射著， ，由輻射源所放射出來的籍射，至少是一筮 … 閲 =偵:，而由被照射的物件所放射出^ y疋由個用來_其鱗的第二偵測器來加_測的。

舉例來說’從US-5 490 728 A中，卽可俨& L 即可件知此類和半 裝 =基板献應讀加功。由翻源所放射出 來的電磁她，將會自然而朗和其他的㈣_在_起 ’這些波動是㈣源電壓的肋、或是由於相位切除控制 的緣故’而意外出現的。我們對於這些波動束手無策，其 也無法有意識的被加以選擇W此，若要有意的利用這些 波動’來做為#射_釋放_的—姆性時，即使其& :源的確會把這個特性放出來，也只有在某些條件下適 此外要參考的是DE-A-26 27 753，其展示了一種裝置 ’此種裝置能夠在真空鍍層裝置内，在製造一層具光化作 用的薄層時，用來測量及控制其厚度。此種測量和控制的 方式’是透過折射部份元件間的反射及穿透比例之測量來 完成’之後其將會和我們所採用的、基本上為單色光的測 量光線，再進行多次比較。當其到達一個預定的厚度時， 再中止其覆膜的程序。此種裝置是由一個用來聚焦的測量 光束之測量光源、一個斬波器裝置、一個在測量光線的軸 上以45度角來放置的分光器、一個前面設有單色光轉換器 本紙張尺度適用·?^家標準（CNS)A4規格咖χ挪公餐）_ -7- loisio

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂-

lOlSJO A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（3. 的特:有意的、主動的’因此也是以-個已知 射線所叫物件本身所放射出來的輕 精確的和軸經由物件所反射】=::加 以區别。經由此種方式，秭了 ” ；丨汉辦W术的福射線加 物件的特性，例如溫卢、更精確、即時的測量一些 覆在物件上-崎質鑛件讀顯覆縣度或特性 射出ίΐϋ個特別優艮的實施形式中’將輻射源所放 的她加以主_整，係於第二綱器所測得的輻 心進行修正時，用來彰顯其特徵。賴射騎放射出來的 ，射加以主軸整之後，絲徵、以及其和物件所放射出 來、原先所要測量的购之差異，就變得特別的簡單、可 靠且數量上十分的精確。 由輻射源所放射出來的輻射，最好是以振輕、鮮及/ 或相位來加以調整。其調整的方式，可以根據環境及需求 來加以選擇’其中，調整的方式’也必須特別根據其調整 方法，以及計算方法和檢測方法的簡易性及可靠性來加以 選擇。其中的振輻的調整，，係指其振輻的調整。最好的工 作方式，則是強度的調整，其振輻並不會被調整，只是偶 爾會有缓慢的變化而已。 除了調整方式之外’其調整也可以採用任何一種訊號 形式。有一種特別優良的方式為，在振輻調整時，採用一 個訊號之變化儘可能為恆定不變的訊號形式。其好處在於 -n n I . I--------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

tSJ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9-

401510 五、發明說明（4. ，高頻基本上並不會出現，即使是在做傅立葉轉換時亦然 ，因此，當我們在為偵测到的訊號做檢測或處理時，每一 單位時間内的取樣數量’就可以保持一個很小的值，而使 一個良好而且精確的測量，能夠以簡單的計算方式來進行 -般說來’其特徵參數的調整，可以利用_個週期性 的、或是非週期性的訊號來完成。非週期性的調整，舉 而言’可以利用如下的方式來獲得：經由一個隨機機辦 f生的、具有正或負增量的特性參數，係經由一個連結運 算(例如：加法、乘法、或是和一個對照表連結），來蒋 之連結在一起。在經過了一定的時間區間之後，其增量将 重新由一個隨機機制來決定。時間區間本身可以是一個常 數，其可以根據-個預定的函數、或是再利用一個隨機機 制來決定。赫週雛調整中很重要的—點，是那些由隨 機機麟決定的參數（增量及/或_關)係為習知之， 且旎夠被應用在一個用來分析訊號的計算裝置、或計算方 法中。經由隨機機制所決定的參（增量及/或時間區間）數 (增量及/或可以是-任意預定的分配函數。舉 例來說其了為平均分布、向斯分布㈣伽如说）、或是卜 松分布{p〇iSSOnverteilt)，而其參數的個別期望值，分別也都 是預定好的。非週期性調整的優點，是其可以塵制週期性 的干擾。 、本發月另種優良的實施形式為，其籍射源係由許多 獨立的輻射源所構成’例如由許多燈管所構成，而其可以 本紙張尺錢

——.—111 — 丨！ .i 間讀背面之注意事項再填寫本頁) -tr- ~ ·1 I 1 · -/ I I _ -10、

401510 :合=-傭或多個燈架。在一個由許多燈管所構成的輻射 ^優良實施形式中，至少有—個燈管，會將其鑛加以 § 軸僅來自於-瓣管的機s f ^限制之下，麵果權義，但是燈 ，，本身即足以達到本發_方法之優點。如果有兩個以

Jit ’或是所有的燈管均以相_方式來將其輻射加 WB ，其燈管就可以利甩一個猶立的功率開關，以特 別簡單的方式來加以控制。此處的優點，是其輕射的調整 縣自於—個或少贿管而已，這樣我舰可峨止不必 要的反射發生。 隨著應用情況及環境的不同，而以不同的方式來將燈 管的縣加喃整’例如燈管的輻射，傾管的位置 之不同而有所區別’或是會隨著燈管對面的另-個特殊燈 管之鱗而有賊變’歧-支不同於其他燈管的燈管時 ’這樣的調整也是有好處的〇 時硌上為不同步妁調整，雖然在某些特定的應用情形 下有其優點，但是各個燈管或輻射源的輻射調整，仍是以 |些為時間同步、或是彼此間有一個固定的時間分布，會 I 比較好。 曰 | 雖說從一個籍射源到另一個輕射源所放射出來的輻射 | ，有時也不盡相同，不過在本發明一個特別優良的組態中 鸟 ，由輻射源所放射出來的輻射之調整程度，尤其是指調整 | 冰度’係與放射出來的燈管強度無關。這種所謂的絕對調 | 整，係與那些用來控制籍射源或燈管的基礎位準或直流訊 印 “ 製丨— 本紙張尺度適时_家標準（CNS)A4規格（21ϋ x 297公愛 -------—. -11 - ίιιιι — lm — Mnjl -11 (請先閱讀背面之注意事項再填窩本頁) 訂. 401510 五、發明說明（6·) 號無關。本發明此種實施形式，具有—娜點，μ 做凡全的控制’無須受限於其強度過大的調整。卜健_雜或機較m鱗放射出來 的減強度有_另—種實娜式中，本發_形式，依 糊整，例如交流控制訊號 的電流強度，和輻射源之直流控制訊號的電流強度，是呈 相關或成比例的此種其具有—個優點：其調整程产 是恒定不變的’或是說僅有一微小的變化而已，如此一ς ，其調整的檢測和計算’就可以很簡單的，利用比較便宜 的儀益來完成。 根據本發㈣-種實麵式巾，其键程度或雛深 度，係採用操控方式，或是主動的來加以調節。 根據本發明另-個非常数的設計中，燈管的強度、 及/或凋整，本身就是採用脈衝寬度來加以調整的。根據本 發明個有變化的、或是附加的實施形式巾，其輻射源的 輻射’係採用-個鱗的值，和_個資料處理程式來加以 調整。在本發明另—種非常優良的輯巾，其輻射也是 由脈衝寬度調整產生器計數頻率之改變，來加以調整 燈管的功率會經由脈衝寬度的調整而產生變化。 ，輻射強度便是燈絲溫度的函數，然而其在怪定的、 的狀態下，卻是直接和燈管的功率相一致。 輕射源的輻射，最好是透過控制訊號的調整、或是運 過輕射源或燈管的控制訊號來加以調整。在訊號產生器内 意 訂 % 經 因此 休止 透 本紙張尺度過❿_冢標準(CNS)A4規格(2107^j7 -12 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

4MS1Q 五、發明說明（7·) 的控制訊號’其之調整位置，可以隨需求及環境的不同來 加以選擇，其隨後我們會進一步對此詳加說明。特別優良 的情形則是其控制訊號被產生出來之後，直接在其被輸入 到輻射源或燈管之前加以調整。 ....... . . .... 本發明極大的優點在於’其可以應用在物件的溫度、 反射性、及/或放性的測量上，例如其可以和一個差不多 像是爐子的裝置配合’來為基板進行熱處理，其中，基板 可以利用一個儘可能精確、預定的溫度變化過程，快速地 來將其加熱或冷卻。 在本發明中，其將測量至少由一個輻射源所放射出來 的輻射，例如一個加熱燈管，以及測量被加熱的物件所放 射出來的輻射，後者是由物件所放射出來的輻射，以及物 件所反射回來的輻射所组合而成。經由這兩個數值的測量 ，我們就可以將輻射源從物件所反射回來的輻射，加以修 並用來測量其輻射量，即物件的熱輻射，通常的物件 白不為黑體輻射，晶圓亦然。在得知一個物件的放射性之 後，即可推算出物件的黑體輻射。 、在本發明中’由專為物件而設的輕射偵測器，以及專 為籍射騎設的補細m者賴魏整分量之振輕 嚴係，成比例，這些分量也稱之為交流電流，或交流電 坚uc)分量4振輻比例所算出來的數值，盆第一階近 反射性成比例，例如晶圓。這個數值將會被 元使㈣次。首先，制來續物件所放射 來的切’亦_件義簡，赖_經由物件所反 I - 1 ! π請先間讀f.面么涞意事瑣存填寫本貧> '.. r --樂

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Q A7 -—；—**—— -μ._____________ 五、發明說明（8.) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 射回來的輻射^這個數值在第二次則是用來衡量物件所放 射出來的輻射大小，亦即推算出一個溫度枏等的黑體所輻 射出來的熱輻射。把這裡所獲得、推算出來的溫度^： ’代 入蒲朗克的反輕射公式，就可以得到一個很明確的溫度。 由於所謂的調整振輻比，也被用來做兩次計算，所以其之 測量，忒必須要儘可能的準確，以便在計算及测量物件的 溫度時，能夠獲得一個更準確的值。本發明的方法，可以 明顯的使此種振輻比的測量，變得更加準確，因為在每一 種加熱狀態下的調整參數，都能被設定到一個最佳的值， 而且不飾整變得更解，連同其計算也變得簡單很多。 在本發明一個優良的實施形式中，其第一偵測器是一 健射偵測器’此綱器可以以一個簡單、可靠的方式， 來測量籍射源所放射出來的輻射。其中，由顧源所放射 ώ來贿射，可財獅核經姑導管或絲道，來被 導引到籍射偵測器上。輻射源和光導管或光通道之間，係 «如下來的方縣料，以雜有-鋪確綱量結果： 其第-輻射偵測器將產生一個訊號，而這個訊號並不受燈 絲的支撐裝置所影響，或是受其他會影響到輕射線、或是 I 輕射源之輕射溫度的物質所影響。 在本發明的另一種實施形式中，其第一铜器可以是 -個溫度感應器，例如電熱元件’利用此元件，即可測量 燈管的溫度，以及其所輻射出來的強度。 在本發明另-種實娜式中，其第—細器係用來測 量任何-姉糖源所鱗岭的键有關姻參數。例 本紙張尺度適射目_轉（CNS)A4祕（21G X297ϋ1---—- -14- 401510 五、發明說明（9. > 可以經由一個能夠測量燈絲之阻抗(例如電阻 」，几絲的阻抗測量裝置來測得。透過一個合適的處理單 :由哉們對於輻射源’例如加熱燈管之阻抗-強度關 、之，我們就可以獲知其所放射出來的強度、或是一 個和其成比例的參數了。 虹下文中”本發明將參照圖示，以一種半導體晶圓的加 …、裝置為例來加以說明。圖上所示為： 一個用來處理半導體晶圓的快速加熱 =裝置，其縱抽切面的示意圖；. 圖一 沿著圖一所示之虛線Π-Π切開的截面 圖， 圖三a及三b用來說明與輻射源之基礎強度有關或 播關的調整程度或調整深度之示意圖 以及 圖四 應用本發明的方法，來控制一個輻射 源或燈管的方塊圖之示意圖。 圖及圖一所示之實施形式，是一種甩來處理半導體 晶圓2的快速加熱爐，其所展示者為一種主要由石英玻璃 =構成的反應室1 ’以及置於其内部的半導體晶圓2。反應 室1由一層外殼3包圍住，其分別設有上下兩燈管4、5， 而輻射線則是指向反應室1乂 基本上，反應室1最好是由一種對燈管之輻射線為透 明的材料所製成，對於高溫計或是所採用的輻射偵測器而 5，此種材料在其測量波長、或是測量波長的頻譜上，也 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -15- 消 401S10 五、發明說明(1Q· ) . ... ........... ... .'；.. 必須是透明的。採用石英玻璃及/或藍寶石，就可以為快速 加熱系統建立一偭合適的反應室，因為其在燈管的頻譜上 - ..... . . . 所測得的吸收係數，約在0.1 1/公分至0.001 1/公分之間， 其中，反應室的壁厚’可以在1公釐至數公分之間，例如 5公分。我們可以根據反應室之壁厚，來選擇不同吸收係 數的材料。 若反應室1需要產生一低壓（至超高真空為止）或是 要產生一高壓時，其反應室外壁的厚度，就必須到達公分 的範圍。例如反應室之直徑為300公釐左右時，就需要一 個厚度約為12至20公釐的石英玻璃，才能使反應室被抽 成真空時’能具有一個足夠的機械強度》反應室1壁厚之 尺寸，必須相應於外壁的材料、反應室的大小及所需承受 的壓力來加以設計。 一個以示意圖來表示、插入角度很大的高溫計6 (參 見圖二），其將測量半導體晶圓2所放射出來的輻射、以 及從半導體晶圓2反射回來的燈管5之輻射線，在所示的 應用實例中，其構造為一棒形的燈。此種形式之組合眾所 周知’例如在DE 44 37 361 C及同一申請人尚未公開的DE 197 37 802 A中，便已有說明，因此我們將以其為參考， 並截取目前為止所提的文件，窝到本發明的說明文中，以 免重覆。 棒形燈管最好採用鹵素燈，而且至少一部分的榉絲要 具有螺旋結構。經由至少一部分為螺旋狀的結構，便可使 燈管達成某種預定的幾何形狀及特定頻譜的輻射斷面分布 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公愛 -16- -------------f-裝· — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .SJ·

結構。此處，燈管的燈絲包括了—種例如交纽# 及沒有螺旋的燈絲段落。在此種情形下，红=旋、以 結構（包括幾何上及麵上），基本上是 決定。另一種用來定義燈管齡二 刀布結構的万式，舉例而言’是以如下的方式來完成：使 燈絲結構贩（例如職雜蚊）·燈騎改變。 如果燈管_分布、轉是可_的，聰管—尤立3 指燈管，就可以裝設許多_分別加以控制的燈ς 。特別疋在麟大麵絲之域理的贿減裝置中， 具有可控_燈管斷齡布結構有其優點，因為 燈管及一種合適的燈管控制裝置，就可以沿著基板表 得到非常均補溫度分布。將各健、_铺斷面分布結 構疊合在-起，就可以得到大範關為可調節的整體輕射 斷面分布結構。最簡單的情形，是一種例如含有兩條燈絲 的鹵素燈。例如’其分別為螺旋結構，或至少一部分為螺 旋的結構。其中，第一燈絲的螺旋密度，及/或其具有螺旋 的燈絲段落間的間距，將從燈管的第一末端至第二末端逐 漸增加，而第二燈絲的螺旋密度、及/或其具有螺旋的燈絲 段落間的間距，則是相反的，從燈管的第一末端至第二末 ^&逐漸減低。整體的輕射斷面分布結構’便可以經由兩條 燈絲内電流大小的選擇，而在一個大範園内變化。具有可 控制之輻射斷面分布結構的燈管，有另一種可行的構造方 式：燈管的燈絲至少含有三個通電的接點，而接點之間， 則是施加不同的操作電壓。經由此種方式，就可使燈絲的 本紙張尺度通用中國國豕標準（CNS)A4規袼（210 X 297公髮） _ 17 · ------------I-裝.. (諝先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -SJ. -fe. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 401510 . · . · . . - 1 A7： . -^_________ . B? 五、發明說明(12·) 溫度及燈管的輻射特性，沿著燈絲的方向，分段的來加以 控制。 除了截至目前所述的燈管之外’還可以採用電漿燈管 或是電弧燈管’且其兩者的輻射斷面分布結構，也是可以 調整的。例如燈管的頻譜，便可以經由電流密度，將其從 紫外線的範圍，調節到近紅外線的範圍。在主動調整這方 面’電弧燈管具有一個優點，即其可以利用一個較高的調 整頻率來運作。這樣一來，連同訊號處理的電子電路，以 及計算的方法’都可以被簡化。 另一種高溫計7，其是利用光導管或是光的通道8，直 接將燈管5所輻射出來的光線導引進來。在此種情況下， 輻射源及/或光的通道，最好以如下的方式來配置—也就是 將燈管的高溫訊號，從某一小段燈管或燈絲中取出，而在 廷一小段裡，其並不含燈絲的支撐裝置及其他會影響到輻 射線、或影響到我們經由光通道來觀察這一小段燈絲或燈 管乏溫度的物質。在燈管高溫計7方面，以及利甩燈管5 的光線來照紐管碰計7的設計方面，為避免重覆起見 ’我們將參照同一個申請人、同日申請之DE 197 54 385， 而其在此也構成了本案的内·容.。 高溫計6和7的輸出訊號，將傳送到一個圖上並沒有 繪出的計算電路去’其可以利用以下的方式，來測知半導 體晶圓2巧射ώ來喃縣，其會將隸冑溫計6上面 的輕射’和商溫计7上面所測得的輕射加以比較，並因此 而測得半導體晶® 2所放射出來醜練。其能夠成功的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4^~^_x ^--- -18- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 40151° A7 *-：----------- B7 五、發明說明（13.) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 原因’是因為燈管5所放射出來的輻射線，係為主動且為 以一個預定的方式來加以調整的。由於晶圓、高溫計6上 面所接收到的輻射’同樣也含有此些調整，所以將高溫計 6和7上面所收到的輻射，加以比較或比對其調整程度或 調整深度之後，就可以在晶圓高溫計6所接收到的輻射上 面’為半導體晶圓2所反射的燈管輻射做出補償，並因此 而能夠精確的測量出半導體晶圓2所放射出的輻射，以及 其溫度、反射率、穿透率及/或放射率。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在另一個實施形式中，有另一種類似的燈管高溫計， 如圖一及圖二所示及前述那般：其也可以在外殼3的另一 侧設置一些適當的光導管、或是光隧道，用來測量上燈管 4的燈管輻射。在功能上，上方的燈管高溫計與下方的燈 管高溫計7相同’只不過上方的燈管高溫計是甩來測量上 燈管4的輻射及強度而已。如果上方燈架上的燈管，其調 整的方式或調整程度，與下方燈架上的調整程度或調整方 式不同，則又特別有其優點。在一圖上沒有繪出的計算單 元上’將晶圓高溫計6上面所接收到的光線、或其調整方 式、或調整程度，和上方的燈管高溫計所測得的強度之調 整方式或調整程度加以比較‘後，還能進一步測知半導體晶 圓2的穿透率’並因此推算出晶圓的溫度、放射率及/或反 射率。 n 1 n n . 圖三a及三b所示的，分別是其輻射源的強度〗和時 間的關係。如圖三a所示，其調整程度或調整深度，基本 上是不變的’且和輻射源所放射出來的輻射強度無關，然 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）-------- -19- 401510 A7 "：------- - B7 五、發明說明(14.) 而在圖三b中所示的實施例中，其調整程度或是調整深度 ’則是與輕射源所放射出來的強度、或是其控制訊號的大 小有關，甚至與其成正比。 在圖三a中，所謂的絕對-調整具有一個優點—也就是 當半導體晶圓2或反應室1在高溫狀態時，其經由調整而 產生的加熱效能，實際上並不明顯，所以其全部的強度， 就可以完全被用來做為快速加熱。相反的，在圖三七上所 謂的相對-調整，則具有如下的優點：當輻射源的輻射效能 .越高，.調整程度或調整深度就會越強。調整深度的控制或 主動調節，也是同樣能辦得到的。 圖四是一個用來控制輻射源或燈管的電路示意圖。其 在一個特定晶圓溫度、或是特定晶圓溫度變化的前提下， 用來產生一輻射、或是產生一輻射的變化，晶圓2將透過 其來加熱，而適當的關掉燈管，或是減少其強度，也可讓 晶圓冷卻。 在比較器11上’透過晶圓高溫計6間接測到的晶圓溫 度（接點13)，將分別和一個設定-溫度14相比較，此比 較訊號將輸入到一個調節器15上’而其輸出端將會根據調 節元件16、17，來把控制訊號分配到兩個燈管或是燈架上 。然後，控制訊號將透過分配器18、19 ’來分配到燈架的 每一個燈管4、5上，其中’為了清晰起見’我們只明確繪 出一個分配器18、19 ’其會把控制訊號輸送給燈管4和5 〇 一個特別優良的方式，是讓控制訊號在到達燈管4、5 本紙張尺度適用中國國家標準_越格咖 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 t) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 0 40151

五、發明說明（is.) 前才加以調整，因為此種方式可以避免燈管控制電路所引 起的訊號變形^在此種情形下，其調整可以設在電路的端 點20、21上’以一個沒有緣出來的調整裝置來完成，例如 可以程式控制的曲線、振輻、及/或頻率的調整。 不過調整也可以設置在圖四所示的控制電路内部的其 他t置，例如设置在凋節器23之前或之後的端點22或端 點20。但是在這種情形下’分別為每一個燈管的控制訊號 來加以調整，是不可能的，因為其共同的控制訊號，只能 統一的來加以調整。 其調整可以很簡單，利用一個資料處理程式來完成。 利用軟體的表單，就可以很實甩、自由的來為整個曲線的 形狀和頻率設計程式，表單的長度決定了頻率，因為表單 可以利在一固定的時間基準下工作（例如1 ms)，且到達 表單末端時，還可以再重覆任意次數。例如表單可以以一 個28=256的基數來設計’而其調整的演算次數，舉例而言 ，則為： ctaod 、 τ(η) ^DC * 2Basis 閱 讀 背 項 再 填丄 寫裝 本5 頁 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中，cm()d是調整程度’ cDC是沒有調整過的、或是基 礎強度或振輻的值，而T(n)則是個別的表單數值。 經由此種方式，就可以很簡單的為任意的調整程度或 深度、曲線形狀、及頻率設計程式， 例如在125Hz之下做100%的調整時，個別的表單數 值則為 256, 435, 512, 435, 256, 76, 0, 76。 木纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -21 - 40151° A7 ---—-- B7 __ 五、發明說明（16·> 表單數值的平均值，必須等於其分母，以便使其所產 生的整體效能保持不變「 在125Hz之下做1〇%的調整時，其表單數值為 . . 256, 274,282, 274, 256, 238, 230,238。 當我們採甩其他的基時，其解析度，也就是說其每 一單位時間内的表單數值的數目，也會改變。 此種控制或調整的方法’有一個好處，那就是當分母 是一個基底2的整數時，其只需位移，或是乘法的指令而 已。 在前文中，本發明係經由優良的實施例來加以說明。 專業人員可以在本發明的思維範_内，加以設計和應用。 如同如文所述一般’本發明的方法，也可以極佳的應用在 其他裝置，或測量方法上，以便使我們能以一個簡單的方 式’來獲彳牙可靠、能重覆出現的測量結果，並以一個高精 確度’從中測量出物件的溫度、穿透性、放射性及/或反射 性。本發明的方法，也可以應用在那些與於我們所示的、 以及所描述的燈管高溫計相異的其他偵測器上。這樣一來 ，我們就可以利用一個比如說溫度計的溫度感應器，來測 1燈管所放射出來的輻射’而不是利用一偭例如燈管高溫 計。此外，我們還可以經由燈絲的阻抗測量，及後續的測 量資料處理，來測量燈絲所放射出來的輻射。根據燈管的 阻抗-強度_曲線’就可以得出燈f所放射出來的強度了 〇 本紙張尺度適用中關家標準（CNS)X^^咖x 297公冗——-- -22- 401510 Α7 Β7 五、發明說明(17.) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 元件符號表 1 反應室 2 半導體晶圓 3 外殼 4,5 燈管 6,7 向溫計 8 光的通道 11 比較器 13 接點 14 設定-溫度 15 調節器 16?17 調節元件 18,19 分配器 20,21,22 電路的端點 23 調節器 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紐H賴亂國认準(CNS)A4規格(210 χ_2!7公,)

Claims (1)

1. 4 01 § J ο 頜: _— g 丨^---- 六、ΐ料娜® ~~ — — III - I 1 (請先聞讀背®'之注意事項再填寫本頁). 量電磁輻射之方法，其甩來測量一個由物件表面 所械出來的電萄射，场件則是被-個以上的輻射 ’該由輻射源所放^ .出來的籍射，至少是由一個第一偵測器來加以偵測，而 由被照射的物件所放射出來哺射，則至少是由一個用 來_其鱗的第二細絲加以細的，其特徵為， 由-個以上的籍射源所放射&來的籍射，至少將以一個 特f生參數’主動的來加以調整，而由第二偵測器所測得 的輻射’則是經由第一偵測器所測得的輻射來加以修正 ’以補償輕射源經由物件所反射回來的輻射量。 2.根據申請專利範圍第丨項所述之方法，其特徵為，將輻 射源所放射出來的輻射加以主動調整，係於第二偵測器 所測得的輕射進行修正時，用來彰顯其特徵。 -線· 3·根據申請專利範園第1項所述之方法，其特徵為，至少 由一個輻射源所放射出來的輻射，最好是以振輻、頻率 及/或相位來加以調整。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4. 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，在振 輻調整時，其訊號之變化為恆定不變的訊號形式。 5. 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，其輻 射源係由至少一燈管所構成。 6. 根據申請專利範園第5項所述之方法，其特徵為，燈管 至少是利用一條至少部分為螺旋狀燈絲結構的燈絲，來 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -24- 401510 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 放射出輕射。 7. 根據申請專利範園第6項所述之方法，其特徵為，經由 燈管的燈絲結構，就可以讓燈管達成某種預定幾何形狀 、以及特定的頻譜分布的輻射斷面分布結構。 8. 根據申請專利範園第6項或第7項所述之方法，其特歡 為，燈管的輻射係由交互為螺旋、以及沒有螺旋的燈絲 結構之燈絲段落所輻射出來。 9. 根據申請專利範園第6項所述之方法，其特徵為，燈管 輻射是由兩條可以分別加以控制的燈絲所放射出來。 10.根據申請專利範園第6項所述之方法，其特徵為，燈管 輕射是由一條至少含有三値以上通電接點的燈絲所放射 出來。 11 根據申請專利範圍第6項所述之方法，其特徵為，燈絲 結構的密度，將延著燈絲的方向來改變。 12.根據申請專利範園第5項所述之方法，其特徵為，輻射 是由一個鹵素燈所放射出來。 13-根據申請專利範園第1項所述之方法，其特徵為，至少 有一部分的輻射，是由一個電弧燈所放射出來。 14.根據申請專利範園第5項或第13項所述之方法，其特 徵為’至少有一個燈管將其輕射加以調整。 根據申請專利範圍第5項或第13項所述之方法，其特 徵為，所有的燈管都具有相同的輻射調整。 根據申請專利範園第5項或第13項所述之方法，其特 徵為，燈管具有不同的輻射調整/ 297公釐） -25 C請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂· --線_ ο 5 ο 4 8S88 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製· 六、申請專利範圍. 17. 根據申請專利範圍第丨4項所述之方法，其特徵為，至 少有一部分燈管的輻射調整，其在時間上是同步的。 18. 根據申請專利範園第5項或第13項所述之方法，其特 歡為’由輻射源所放射出來的赛射之調整程度或調整深 度，係與放射出來的燈管-強度無關、 19. 粮據申請專利範圍第5項或第13項所述之方法，其特 歡為’由輻射源所放射出來的輻射之調整程度或調整深 度，輿放射出來的燈管強度有關。 20·根據申請專利範圍第1项所述之方法，其特徵為，其調 整程度或調整深度是受到控制的。 21. 根據申請專利範圍第5項或第13項所述之方法，其特 歡為，其燈管強度係以脈衝寬度來加以調整。 22. 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，其輕 射係採用一個表單的值和一個資料處理程式，來加以調 整。 23. 根據申請專利範園第1項所述之方法，其特徵為，其輻 射係經由脈衝寬度調整產生器的計數頻率之改變，來加 以調整。 24. 根據申凊專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，由輻 射源所放射出來的輻射，係經由輻射源的控制訊號：^調 整，來加以調整的。 25. 根據申請專利範圍第！項所述之方法，其特徵為，應甩 其來測量一個物件的溫度、反射性、穿透性及/或放射 性。 本^張尺度適用中國國家標準（CNS)A$格(21〇 X 297公愛)---：--- -26- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --裝 訂· i線· 401510^、申請專利範圍 A8B8C8D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 跹根據申請專利範圍第丨項所述之方法，其特徵為，配合 半導體基板熱處理之應用。 27.根據申請專利範圍第26項所述之方法，其特徵為，半 導aa基板的熱處理，是在一個反應室内完成的，其基本 上疋由種對輻射源之電磁輻射、以及對偵測器之測量 波長為透明的材料所製成。 說根據申請專利範圍第27項所述之方法，其特徵為，透 明材料係指石英玻璃及/或藍寶石。 攻根據申請專利範圍第27項或第28項所述之方法，其特 徵為’材料在燈管的頻譜上所測得的吸收係數，約在 0.001 1/公分至0.1 1/公分之間。 3〇.根據申請專利範園第27項所述之方法，其特徵為，轉 射源的輻射’可以穿透過一個壁厚在1公釐至5公分之 間的反應室。 31·根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，第一 偵測器是一個輻射偵測器。 32·根據申請專利範園第31項所述之方法，其特徵為，第 一偵測器係經由光導管或光通道，來接收輻射源所放射 出來的輻射。 33.根據申請專利範圜第32項所述之方法，其特徵為，輻 射源和光導管或光通道之間，經過設計_^後，其第一輻 射偵測器將產生一個訊號，而此訊號並不受燈絲的支撐 裝置所影響，或是受其他會影響到輻射線、或是輻射源 之輻射溫度的物質之影響。 用中國國·家標準（CNS〉A4規格（210 X 297公釐)" '~~ -27- (請先閱讀背面之注音Ρ事項再填寫本頁) ρ 奸· --線〕 4WS1Q. as ， B8 C8 D8 六、申請專利範圍 34. 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，第一 偵測器是一個溫度感應器。 35. 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，第一 偵測器將測量一個與輻射源所放射出來的輻射為相關的 參數。 36. 根據申請專利範圍第35項所述之方法，其特徵為，第 一偵測器所測量的是輻射源的阻抗。 37. 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，特徵 參數係週期性的來加以調整。 38. 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，特徵 參數係採用非週期性的調整。 ----------------- (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 訂· 線 Θ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -28 -