TW387103B - Alarming system of semiconductor device fabrication facility - Google Patents

Description

五、發明説明（1 A7 B7 經7"'·•部中央"-4,-^只-7消於"作社印^ ^明領域 本發明偽關於半導體元件製造設備之一種警示条統， 並更特別地關於用以藉由以安裝可從一距離辨識的一燈塔 之光來確認如離子植入設備的一特殊半導體元件製造設備 之操作狀態。 知枝術描_ 一般上，用於連續實施一對應製程的毎一半導體元件 製造設備具有至少多於一個已設定的各種製程情況.曰據 此，某些層被連續形成在一半導體晶圓上，而電氣特性在 某一層之已選取部分中有改變，或如測試等的各樓製程在 它們對應設備中被實施。 因為一個小製程意外事件可導致在半導體元件製造中 的大問題，故設備之製程情況或操作狀態經常被檢査，且 檢查結果的倍號經由連線被傳送到一監視条统，使得在設 備上的製程狀態或設備狀態可在一中央監視位置被監視。 然而，連線監視条統具有優點在於從一距離監視製程 狀態或設備狀態，及同時在中央位置監視多値設備，郤有 一難題在於迅速地在設備位置處理緊急狀況。 為了解決這些間題，各種警示条統被提出，例如在各 個半導體元件製造設備中提供聽覺警示裝置，但很難從一 遠處辨識它們，並在設備間作辨認，因而降低效率。 因此，需要一種警示条統，用一簡單結構而允許從一 遠處以裸眼容易地監視設備之操作狀態。 龙發明少概惡 ~~----------ZU 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） L· 先閣頷背面之注·意事項再填寫本萸 訂 綵、 經浐部中呔"^-^η·-'-"'消费合竹社印" A7 B7 五、發明説明（2 ) 本發明傺提供半導體元件製造設備的一種警示条統， 用於從一距離以裸眼而容易地決定一特殊設備之操作狀態 ,或設備之狀態，其大致避免因習知技術之限制和缺點引 起的一或更多問題。 為了達成此和其它利益並根據本發明之目的，半導體 元件製造設備之該警示糸統包含有：一邏輯加總裝置，用 於處理在接收對至少一設備之狀態的信號上的邏輯加總； 一驅動裝置，用於輸出至少一驅動信號以驅動在接收該邏 輯加總結果上的一燈具；及一燈塔，其包含具用於至少一 値輸出驅動信號的一對一對應數目之燈具，且依賴於各驅 動信號和設備之一特殊狀態而燈具之發光狀態有所不同。 該邏輯加總裝置藉由邏輯地加總多於一個之下列信號 而輸出對至少一個邏輯加總的結果之一信號：指出該設備 之操作開始及操作上的一開始信號輸出；指出該設備已備 妥正常操作的一備妥信號輸出；指出在該設備完成操作後 .可實施次一製程的一驅動信號輸出；及指出在錯誤情形中 操作應再被實施的一待用信號輸出。 另外，來自該邏輯加總裝置的該等翰出信號之數目， 及該驅動裝置之該驅動零件之數目偽等於在該燈塔中分別 —對一對應的該等燈具之數目。 該邏輯加總裝置將輸出結果與具至少一頻率的一脈波 信號加總，並將結果輸出至該驅動裝置使得該對應燈具做 一遮蔽操作。 請瞭解前面一般描述和下面詳細描述都是例示的和解 ____________________________ ______ — . — ^ — ___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4現格（210X297公釐） (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線' 經浐部中呔"^^m-T;ii贽合作私卬如 A7 B7 五、發明説明（3 ) _說的並意圖提供如申請專利範圍的本發明之進一步解説。 _~式夕簡蜇描诛 在伴隨之圖式中： 第1圖偽根據本發明之一實施例的半導體元件製造設 備之警示糸統的一方塊圖。 龄祛窨掄例夕_細描妹 現在將詳細參考於本發明之較佳實施例，其例子在伴 隨圖示中被說明。 . 根據本發明，提供一燈塔使操作者能夠用裸眼從一特 殊操作發生的一遠處辨識半導體元件製造設備之操作狀態 ，並且本發明建立邏輯電路使得依賴於設備之操作狀態該 燈塔之發光可被做得不周。 作為本發明之一實施例，第1圖顯示本發明之警示条 統被施用在半導體元件製造設備中的一離子植入条統上。 請參考第1圖，離子植入条統可根據操作狀態和設備 .狀態而被檢査，且響應於其的感測信號可供用於警示；在 本發明之實施例中，提供：指出操作開始及操作上的一開 始信號（A);指出設備已備妥正常操作的一備妥信號（B); 指出在該設備完成操作後可實施次一製程的一驅動信號（C) :及指出在錯誤發生的一待用信號（D)。 •各上逑信號U- D)被輸入一邏輯加總單元1 〇,而邏輯 加總單元10邏輯地加總該等信號以決定目前操作狀態。 在邏輯加總單元10中決定的目前操作狀態被分為例如 六値型式，其被顯示如下面之表一中；亦即，一第一狀態 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線、 經ΤΚ部中呔樣卑>TJ「‘;<T.消赀合作扣印纪 S87103 at ________________ _B7 _^ 五、發明説明（4 ) (無卡匣，卸載）、一第二狀態（卡匣裝載）、一第s狀 態（裝載）、一第四狀態（離子植入）、一第五狀態（_ 子植人錯誤）、及一第六狀態（離子植入固持）；邏輯加 總單元10將對各狀態的一對一對應結果輸出至各動簞元 12、 14、 160 另外，驅動單元12將根據從邏輯加總單元10輸出的_ 輯加總結果的一驅動信號施加至對於紅光的一燈具18，藤 動單元14將樺據從邏輯加總單元1Q輸出的邏輯加總結果的 一驅動信號施加至對於綠光的一燈具20 ,及驅動單元16將 根據從邏輯加總單元1(3輸出的邏輯加總結果的一驅動信號 施加至對於黃光的一燈具22;另外，燈具18、20、22被組 構成一塔形組成，亦即燈塔24使得它們各個可從一遠處辨 識。 另外，設置一加總單元34使得從離子植入条統供應的 各個信號（A-D)以非反相狀態（A1-D1)和透過反相器26、2β .、30、及32的反相狀態（A2-D2)而施於其上，並實施邏輯 加總以達成在表一中所示之結果。 表 一 燈具 沒有 卡匣 卸載 卡匣 裝載 裝載 離子 植入 離子 植入 錯誤 離子 植入 待用 紅 關 開 關 關 開 關 綠 關 關 開 開 開 開 Μ 開 開 關 開 關 關 加總單元3 4具有輸出端子Ql、Q2、及Q3,並輸出一低 _ -7- 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ).,Α4規格（210X297公釐） —考丨 广讀先關讀背凉幺泣意事續爲填寫本寅) ,1Τ 線 3阶复03 。 五、發明説明（5 ) 位準信號以打開各燈具18、2G、22，並相反的，輸出一高 位準信號以關掉各燈具18、20、22;另外，輪出端子Q3具 有一 0R閛36以將具某一頻率的一脈波信號（BLK)與輸出信 號加總。 在本發明之實施例中，信號從離子植入以各反相的或 非反相的被施於一加總單元34,其中信號為指出該設備之 操作開始及操作上的一開始信號（A)輸出；指出該設備已 備妥正常操作的一備妥信號（B)輸出；指出在該設備完成 操作後可實施次一製程的一驅動信號（C)輸出；及指出在 錯誤情形中操作應再被實施的一待用信號（D)輸出；然後 ，該等信號被邏輯加總，且燈塔24之各燈18、2G、22根據 邏輯加總之結果被視覺顯示開/闋。 如果離子植入設備之狀態被信號之加總顯示為一第四 狀態，其中晶圓被裝載且離子植入被實施，加總單元34之 各輸出端子Q1、8 2、Q3被決定為高、低、高位準以獲得如 .在表一中所示之開燈和關燈的結果，各輸出倍號Ql、Q2、 Q3被施加於驅動單元12、14、16上。 此時，輸出信號Q3與某一脈波信號BLK在0R閛36中被 加總，並被施於驅動單元16上作為遮蔽信號。 有一高位準信號施於一驅動單元12上，驅動單元12將 一低位準驅動信號施於燈具.18以關掉燈光；有一低位準信 號施於一驅動單元14、16上，驅動單元14、1S將一高位準 驅動信號施於燈具2G、22以打開燈光；燈具22藉由從0R閘 3 6輸出的遮蔽信號而遮蔽燈具22。 _____ 一务____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X M7公釐） (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本貢) 、1T. 線 S87i〇:B b； 五、發明説明（6 ) 同時，如果離子植入之狀態像一第一狀態（無卡匣，

I 卸載）、一第二狀態（卡匣裝載）、一第三狀態（裝載） 、一第五狀態（離子植入錯誤）、及一第六狀態（離子植 入待用）之一，則響應於其的一信號（A-D)在邏輯加總單 元10中被加總，且各驅動單元12、14、16根據上逑結果而 操作以顯示如在表一中所示的開和關燈之結果。 紅、緣、及黃色的燈分別被安裝在離子植入条統之較 上部分上的燈塔24中，使得一操作者可既使從一遠處以裸 眼發覺對應設備之操作狀態，使得操作者既使與在視覺範 圍内的對應設備有一距離仍可處理一緊急狀況而不需取用 該設備或連線監視。 因此，在搡作中可做設備之維修和管理，並在異常操 作之倩形中可容易做出操作狀態和適當動作之偵測，又因 而迅速増進操作效率和把産能最大化。 因此，根據本發明，各設備之操作狀態可以裸眼偵測 .，並且可達到製程之穩定性因而改善製程效率。 又，當本發明已被詳述了，應瞭解到可對其做各種改 變、替換和變更而不致偏離如被所附申請專利範圍界定的 本發明之精神和範疇。 元件編號對照表 10邏輯加總單元 34加總單元 12、14、16驅動單元 26、28、3G、32反相器 18、20、22 燈具 36 0R閘 24燈塔 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4规格（2丨0X297公釐) (讀先閱讀背面-之注，意事項再填寫本頁) 訂 線、

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 AS B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一種半導體元件製造設備之警示条統，包含有： 一邏輯加總裝置，用於在收到針對至少一設備之狀 態的信號時處理邏輯加總； 一驅動裝置，用於在收到該邏輯加總結果時輸出至 少一驅動倍號以驅動一燈具；及 一燈塔，其包含具相對於至少一個輸出驅動信號的 —對一對應數目之燈具，且燈具之發光狀態視各驅動信 號和設·備之一特定狀態而有所不同C 2. 依據申請專利範圍第1項之半導體元件製造設備之警示 条統，其中該邏輯加總裝置藉由邏輯地加總下列信號當 中一値以上的信號而為至少一痼邏輯加總的結果輸出一 信號：指出該設備之操作開始及操作持續的一開始信號 輸出；指出該設備已備妥供正常操作的一備妥信號輸出 ;指出在該設備完成操作後可實施次一製程的一驅動信 號輸出；及指出在錯誤情形中操作應再次被實施的一待 • 用信號輸出。 3. 依據申請專利範圍第1項之半導體元件褽造設備之警示 条統，其中，來自該邏輯加總裝置的該等輸出信號之數 目，及該驅動裝置之驅動零件之數目，偽分別一對一對 應地等於在該燈塔中的該等燈具之數目。 4. 依據申請專利範圍第1項之半導體元件製造設備乏警示 条統，其中該邏輯加總裝置將該輸出結果與具至少一頻 率的一脈波信號加總，並將結果輸出至該驅動裝置使得 該對應燈具做一遮没操作。 —__ -10-__ 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)