TW378166B - Headstock of a polishing machine - Google Patents

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附件h第86104788號專利申請案 中文說明書修正頁 A7 B7 民國88年？月呈 修正7^kiL· 五、發明說明（1 ) 〔發明領域〕 本發明係關於一種使用在拋光平板基材，如半導體基 材、磁碟及玻璃基材的表面之一抛光機的主軸台結構。 〔發明背景〕 一傳統的拋光機的主軸台的結構被顯示於第1 5圖 中〇 一拋光墊7被黏接於一轉台6的一上表面。該主軸台 1 0係位在該轉台6上以面向它。該主軸台1 〇主要是由 一心軸4及一夾持板3所構成。該夾持板3係連接至該心 軸4的下端。一薄盤狀的工件2係附著於板子3的下表面 且有一軟的墊子5置於它們之間。 當該主軸台1 0及該轉台6被分別地轉動時，工件2 的表面藉由將工件2頂著該拋光墊7壓下而被硏磨，一拋 光媒介或泥水從一噴嘴8被噴出至置於該轉台6上之拋光 墊上。 如果該拋光墊7的表面（下文中被稱爲"墊片表面V )是完全平的話，則所獲得之工件的硏磨表面亦將會是完 全平的。然而，事實上，該拋光墊在本質上其厚度是不均 勻的。例如，一市面上可獲得之拋光墊即使是在同一墊片 上其厚度亦會有幾十微米的差異。爲了要提升該拋光墊的 平坦性，在拋光之前會加入添加劑。然而，即使加了添加 劑，在厚度上仍會有約1 0微米的差異。再者，該拋光墊 會因爲摩擦熱及壓力的影響而變形。其結果爲，該工件2 <請先W讀背面之>i意事項再填寫本頁) 我· — —— I — II — — — — — — — I . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -4- 附件h第86104788號專利申請案 中文說明書修正頁 A7 B7 民國88年？月呈 修正7^kiL· 五、發明說明（1 ) 〔發明領域〕 本發明係關於一種使用在拋光平板基材，如半導體基 材、磁碟及玻璃基材的表面之一抛光機的主軸台結構。 〔發明背景〕 一傳統的拋光機的主軸台的結構被顯示於第1 5圖 中〇 一拋光墊7被黏接於一轉台6的一上表面。該主軸台 1 0係位在該轉台6上以面向它。該主軸台1 〇主要是由 一心軸4及一夾持板3所構成。該夾持板3係連接至該心 軸4的下端。一薄盤狀的工件2係附著於板子3的下表面 且有一軟的墊子5置於它們之間。 當該主軸台1 0及該轉台6被分別地轉動時，工件2 的表面藉由將工件2頂著該拋光墊7壓下而被硏磨，一拋 光媒介或泥水從一噴嘴8被噴出至置於該轉台6上之拋光 墊上。 如果該拋光墊7的表面（下文中被稱爲"墊片表面V )是完全平的話，則所獲得之工件的硏磨表面亦將會是完 全平的。然而，事實上，該拋光墊在本質上其厚度是不均 勻的。例如，一市面上可獲得之拋光墊即使是在同一墊片 上其厚度亦會有幾十微米的差異。爲了要提升該拋光墊的 平坦性，在拋光之前會加入添加劑。然而，即使加了添加 劑，在厚度上仍會有約1 0微米的差異。再者，該拋光墊 會因爲摩擦熱及壓力的影響而變形。其結果爲，該工件2 <請先W讀背面之>i意事項再填寫本頁) 我· — —— I — II — — — — — — — I . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -4- ,,Ύ — A7 B7 五、發明說明έ ) 傾斜，其結果爲該墊片表面無法理想地被追蹤。離心力的 影響在要求高度平坦的硏磨表面時是無法被忽視的。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔發明槪要〕 本發明是爲了要克服前述的問題而被作成的。本發明 目的爲提供一種抛光機的主軸台其能夠將（於一滑動部分 中產生的）磨擦力的影響降至最小並在追蹤一拋光墊表面 上是很優越的。 本發明之一種用來夾持並轉動一平板工件之拋光機 的主軸台包括： 一心軸，其連接至一轉動驅動機制； 一支撐板，其連接至該心軸的下端； 一夾持板’其以與該支撐板平行的方式被安排在該支 撐板的底側，並將該工件置於該夾持板的底側；及 連接機構，用以將該夾持板連接至該支撐板，該連接 機構在該心軸的轉動方向上具有一剛性並能在與該工件的 表面相垂直的方向上能夠彈性地變形。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 依據本發明的該主軸台，該連接機構不只具有將轉動 力矩從該支撐板傳送至該夾持板的功能，其更具有藉由在 與該工件的表面相垂直的方向彈性地變形而將該夾持板傾 斜的功能。 因爲本發明之主軸台沒有因滑動而傾斜，所以與一傳 統的主軸台比較起來可達成一平順的傾斜。這在追蹤該電; 片表面上是很優越的。因此，本發明之主軸台可獲得高精 本紙張瓦度適用中國國家標準（CNS)A.l規格（210 X 297公釐） 6 經濟部中央標準局員工消費合作社印袋 A7 __B7 五、發明説明（2 ) — 工件2不會與該墊片表面均勻地接觸。所獲得之工件2的 硏磨表面在平坦度上即不足。 爲了要降低前述工件與墊片表面間不均勻的接觸，有 下面的結構被提出。在此結構中，該夾持板並沒有直接固 定於該心軸的下端。其是經由一傾斜機構而被固定於該心 軸的下端，藉此讓該主軸台能夠追蹤不均勻的墊片表面。 此一結構（見第9 A圖）係揭示於，例如，日本專利申請 公開第 61 — 25767，61 — 25768，及 61— 4662 號中。 一在其底側具有一球形座的凸緣7 8係設在一心軸4 的一下端。一沿著該球形座移動之半球形本體7 9被置於 該凸緣底下。一夾持板1 2被附著於該半球形本體1 9的 底側。爲了要將轉動力矩從心軸4傳到該夾持板1 2，它 們彼此經由一歐丹聯結器（Oldham’s coupling )(日本 專利申請公開第61—25767)，風箱式摺疊件，或 三個連結件（日本專利申請公開第6 1 — 4 6 6 2 )而被 連接。 .然而’在前述的主軸台中，壓力是從該心軸4經由滑 動面傳到該夾持板1 2 ’該滑動面是介於該球形座與該半 球形本體7 9之間。這表不該夾持板的傾斜運動可能會受 到在該滑動表面的磨擦力所干擾。此外，該（由該夾持板 1 2及一半球形本體7 9所構成之）傾斜部分的重心離在 此形式的主軸台上之傾斜中心很遠。因此，如果該主軸台 被轉動的話，一離心力會作用於該夾持板1 2上且加速其 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公t ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明4 ) 確性的表面拋光。 該連接機構是由，例如，多塊板片彈簧所構成的。這 些板片彈簧以等距的方式被安排在—圓圈的圓周上，該圓 圈具有一在該心軸的轉動軸上的中心。每一板片彈簧的長 軸方向與該圓圈的切線相平行。每一板片彈簧的厚度方向 與該工件的咬面相垂直。板片彈簧的一端是固定於該支撐 板上，而該板片彈簧的另一端則是固定於該夾持板上。 或者該連接機構可由多個複合元件所構成。每一複合 元件是由一剛性元件及設在該剛性元件的兩端上之彈性體 所構成。該等複合元件是以等距的方式被安排在一圓圈的 圓周上，該圓圈具有一在該心軸的轉動軸上的中心。該剛 性元件的一端是經由一彈性體連接至該支撐板上，而該剛 性元件的另一端則是透過另一彈性體而連接至該夾持板上 0 或者該連接機構可以是由一環形的板片彈簧所構成。 該彈簧的某些部分係固定於該支撐板上，該等部分是以等 距的方式被安排在一圓圈的圚周上，該圓圈具有一在該心 軸的轉動軸上的中心。該板片彈簧亦在某些部分固定於該 夾持板上’該等部分係以與前述的部分相隔一預定的距離 的形式被安排於圓周方向上。 依據本發明前述所建構的主軸台，用來將該工件頂著 一被置於轉台上的拋光墊的壓力是經由該連接機構傳到該 夾持板的。如果壽要一大壓力的話，則必需使用具有較大 的彈簧係數之連接機構。然而，彈簧係數愈大，傾斜的阻 本纸張尺度適用中國國家標準（C7<S)A1規格（210 X 297公釐） I ---I L--<11! — 1 β·!--I---^ . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,,Ύ — A7 B7 五、發明說明έ ) 傾斜，其結果爲該墊片表面無法理想地被追蹤。離心力的 影響在要求高度平坦的硏磨表面時是無法被忽視的。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔發明槪要〕 本發明是爲了要克服前述的問題而被作成的。本發明 目的爲提供一種抛光機的主軸台其能夠將（於一滑動部分 中產生的）磨擦力的影響降至最小並在追蹤一拋光墊表面 上是很優越的。 本發明之一種用來夾持並轉動一平板工件之拋光機 的主軸台包括： 一心軸，其連接至一轉動驅動機制； 一支撐板，其連接至該心軸的下端； 一夾持板’其以與該支撐板平行的方式被安排在該支 撐板的底側，並將該工件置於該夾持板的底側；及 連接機構，用以將該夾持板連接至該支撐板，該連接 機構在該心軸的轉動方向上具有一剛性並能在與該工件的 表面相垂直的方向上能夠彈性地變形。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 依據本發明的該主軸台，該連接機構不只具有將轉動 力矩從該支撐板傳送至該夾持板的功能，其更具有藉由在 與該工件的表面相垂直的方向彈性地變形而將該夾持板傾 斜的功能。 因爲本發明之主軸台沒有因滑動而傾斜，所以與一傳 統的主軸台比較起來可達成一平順的傾斜。這在追蹤該電; 片表面上是很優越的。因此，本發明之主軸台可獲得高精 本紙張瓦度適用中國國家標準（CNS)A.l規格（210 X 297公釐） 6 A? j%· fp 1 "v：r； B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明έ ) 力就愈大。其結果爲，該主軸台追蹤該墊片表面的能力就 會降低。因此，如果需要一較大的壓力的話，則需要將一 壓力傳輸塊（用來將壓力從該支撐板傳送至該夾持板）置 於該支撐板與該夾持板之間。藉由此結構’ 一較大的壓力 可被施加於該工件上而無需使用具有一較大的彈簧係數的 彈性體。在此同時’平順的傾斜亦可獲得確保。 該壓力傳輸塊是由一例如像是橡膠的彈性體所構成的 。該傳輸塊是被安排在該心軸的一轉動軸的一延伸線上。 該壓力傳輸塊最好是由一剛性球，如一鋼球，所構成，及 亦被安排在該心軸的一轉動軸的一延伸線上。球形座係形 成在該支撑板的一下表面的中心及在該夾持板的一上表面 的中心處。該剛性球係位在一由該等球形座所環繞的空間 中。 再者’該夾持板的重心最好是藉由提供一平衡板於該 夾持板上而與該球的中心一致。因有該平衡板的存在，所 以能夠在該夾持板傾斜時，消除作用於該夾持板上之離心 力的作用。 在本發明的另一態樣中，一用來夾直及轉動一平板工 件的拋光機的主軸台包括： 一心軸，其連接至一轉動驅動機制； 一球形軸承’其連接至該心軸的一下端並具有一位在 該心軸的一轉動軸上的傾斜中心： 一夾持板’其透過該球形軸承連接至該心軸並使該工 件位在該夾持板的該下表面上； 本纸献㈣中國國家標4(CNS)A4規格（2】〇 X 297公复） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝--------訂---------線· -8 -

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明4 ) 確性的表面拋光。 該連接機構是由，例如，多塊板片彈簧所構成的。這 些板片彈簧以等距的方式被安排在—圓圈的圓周上，該圓 圈具有一在該心軸的轉動軸上的中心。每一板片彈簧的長 軸方向與該圓圈的切線相平行。每一板片彈簧的厚度方向 與該工件的咬面相垂直。板片彈簧的一端是固定於該支撐 板上，而該板片彈簧的另一端則是固定於該夾持板上。 或者該連接機構可由多個複合元件所構成。每一複合 元件是由一剛性元件及設在該剛性元件的兩端上之彈性體 所構成。該等複合元件是以等距的方式被安排在一圓圈的 圓周上，該圓圈具有一在該心軸的轉動軸上的中心。該剛 性元件的一端是經由一彈性體連接至該支撐板上，而該剛 性元件的另一端則是透過另一彈性體而連接至該夾持板上 0 或者該連接機構可以是由一環形的板片彈簧所構成。 該彈簧的某些部分係固定於該支撐板上，該等部分是以等 距的方式被安排在一圓圈的圚周上，該圓圈具有一在該心 軸的轉動軸上的中心。該板片彈簧亦在某些部分固定於該 夾持板上’該等部分係以與前述的部分相隔一預定的距離 的形式被安排於圓周方向上。 依據本發明前述所建構的主軸台，用來將該工件頂著 一被置於轉台上的拋光墊的壓力是經由該連接機構傳到該 夾持板的。如果壽要一大壓力的話，則必需使用具有較大 的彈簧係數之連接機構。然而，彈簧係數愈大，傾斜的阻 本纸張尺度適用中國國家標準（C7<S)A1規格（210 X 297公釐） I ---I L--<11! — 1 β·!--I---^ . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 . r _— 五、發明說明έ ) 的上部。該夾持板（圓盤狀）係固定於該支撐板1 1的下 表面且板片彈簧13係置於它們之間。一工件2(薄圓盤 狀）係被吸附於該夾持板的下表面上。應注意的是，支撐 板1 1及夾持板1 2的中心是位在心軸4的轉動軸的延伸 線上。 工件2係藉由使用一真空吸盤而被吸附於該夾持板 1 2的下表面上。多個吸附孔1 6被形成於該夾持板1 2 的下表面中。該等吸附孔1 6經由一（形成於該夾持板 1 2內部的）路徑2 0而連接至一管子1 9及一連結件 1 8。該管子1 9通過該心軸4的中心部。工件2藉由該 管子1 9將該等吸附孔1 6抽真空而被吸附於該夾持板 1 2上，而工件2是藉由將壓縮空氣經由該管子1 9送至 該等吸附孔1 6而被取下的。應被瞭解的是，一可撓曲的 管子被用作爲該管子1 9藉以防止夾持板1 2之傾斜運動 。一導件21形成於該夾持板12的下表面上並沿著該工 件2的周圍。該工件的水平位置受到該導件2 1的局限。 該被吸附之工件2的中心與心軸4的中心一致。 在此實施例中，夾持板1 2是藉由四片板片彈簧1 3 而附著於該支撐板1 1上。更特定地，每一板片彈簧的一 端係固定於形成在該支撐板11的下表面上之座14上。 而，每一板片彈簧的另一端則固定於形成在該夾持板1 2 的上表面上之座1 5上。來自於心軸4的轉動力矩經由板 片彈簧1 3而被傳到夾持板1 2。藉由這些被可撓曲地彎 折於垂直方向上的板片彈簧1 3，該夾持板1 2會傾斜使 1---„--政----I I--訂！-----線、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（G\'S)A.l規烙（210 X 297公t ) -11 - A? j%· fp 1 "v：r； B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明έ ) 力就愈大。其結果爲，該主軸台追蹤該墊片表面的能力就 會降低。因此，如果需要一較大的壓力的話，則需要將一 壓力傳輸塊（用來將壓力從該支撐板傳送至該夾持板）置 於該支撐板與該夾持板之間。藉由此結構’ 一較大的壓力 可被施加於該工件上而無需使用具有一較大的彈簧係數的 彈性體。在此同時’平順的傾斜亦可獲得確保。 該壓力傳輸塊是由一例如像是橡膠的彈性體所構成的 。該傳輸塊是被安排在該心軸的一轉動軸的一延伸線上。 該壓力傳輸塊最好是由一剛性球，如一鋼球，所構成，及 亦被安排在該心軸的一轉動軸的一延伸線上。球形座係形 成在該支撑板的一下表面的中心及在該夾持板的一上表面 的中心處。該剛性球係位在一由該等球形座所環繞的空間 中。 再者’該夾持板的重心最好是藉由提供一平衡板於該 夾持板上而與該球的中心一致。因有該平衡板的存在，所 以能夠在該夾持板傾斜時，消除作用於該夾持板上之離心 力的作用。 在本發明的另一態樣中，一用來夾直及轉動一平板工 件的拋光機的主軸台包括： 一心軸，其連接至一轉動驅動機制； 一球形軸承’其連接至該心軸的一下端並具有一位在 該心軸的一轉動軸上的傾斜中心： 一夾持板’其透過該球形軸承連接至該心軸並使該工 件位在該夾持板的該下表面上； 本纸献㈣中國國家標4(CNS)A4規格（2】〇 X 297公复） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝--------訂---------線· -8 - 修止丨 W年f月^二 五、發明說明6 ) 得該主軸台能夠追蹤該墊片表面。 第2圖係沿著第1圖的線A _ A所取的剖面圖。 四片板片彈簧1 3係以等距的方式安排在包圍柱該心 軸4的一圓圈的圓周上。每一板片彈簧1 3的長軸方向與 該圓圈的切線相一致。每一板片彈簧1 3的厚度方向與該 夾持板1 2的該表面相垂直。該板片彈簧1 3的一端係固 定於形成於該支撐板1 1的該側上之座1 4處，而另一端 則固定於形成在該夾持板1 2的該側上之座1 5處。以此 方式，夾持板1 2係透過板片彈簧1 3而固定於該支撐板 1 1上。當沒有壓力施加於該夾持板1 2上時’夾持板1 2是位在與該支撐板1 1平行的狀態。 雖然在前述的例子中使用四片板片彈簧1 3，但任何 多於三片的數目皆可被使用。在考慮安排它們所需要的空 間時，板片彈簧的適當數目會落在3至8片的範圍之內。 沿著第2圖的線B — B所取之剖面圖係示於第3圖中 。板片彈簧1 3的功能現將參照第3圖來說明。 板片彈簧1 3在長軸方向（及平行於夾持板1 2的表 面）之剛性是蠻大的。因此，板片彈簧1 3將轉動力矩從 該支撐板1 1傳送至該夾持板1 2。然而，該板片彈簧 1 3在厚度方向（即與夾持板1 2的表面垂直）上的剛性 則較小。因此，板片彈簧1 3可於厚度方向上作可撓曲的 彎折。在彎折該板片彈簧1 3時，夾持板1 2會傾斜以追 蹤該墊片表面。 在第3圖中’當該墊片表面具有一所需要的平坦平面 本纸張叉度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】u X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---- -----線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ____ B7 五、發明説明（6 ) 一板片彈簧，其具有一被安排在一第一圓圏的圓周上 之第一嵌合孔，該第一圓圈具有一位在該心軸的一轉動軸 上的傾斜中心，及一被安排在一第二圓圈的圓周上之第二 嵌合孔，第二嵌合孔的直徑大於第一嵌合孔的直徑。該板 片彈簧係經由該第一嵌合孔連接至該心軸'’。其亦經由該第 二嵌合孔連接至該夾持板。 依據以上所述而建構之本發明的主軸台，該夾持板係 經由該球形軸承及該板片彈簧而連接至該心軸。因此，該 夾持板傾斜於該球形座的傾斜中心的周圍。在此同時，轉 動力矩是從該心軸經由該板片彈簧傳送至該夾除板。 如果該心軸至該板片彈簧的連接部分及該板片彈簧至 該夾持板的連接部分是藉由使用如上所述而建構的板片彈 簧而安排成一軸對稱的形狀的話，則由該板片彈簧及該球 形軸承所形成的耦合部可被簡化。 經由該板片彈簧所傳輸之轉動力矩是受到限制的。如 果該主軸台於拋光時的轉速係設定在與該轉台的速度相同 的話，則該轉動力矩亦從該轉台經由工件傳送至該夾持板 。因此，將從該心軸被傳輸至該夾持板之轉動力矩可被降 低。這表示一薄的板片彈簧（或具有一小的截面積）可被 使用。以此方式，可很容易地用小的外力而能夠傾斜及追 蹤該墊片表面。 最好是，一平衡板被提供於該夾持板上用以將包括該 平衡板在內之該夾持板的重心設定在由該球型軸承的球形 座所包圍的一空間內。如果如此的話，則能夠降低則能夠 -----1- I II 1-— i *1 ....... —士_衣 I- - --I— n ill I ^ . - - (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -9- / 又；.V. A7 B7 五、發明說明（1〇 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 時，該板片彈簧1 3會採取由標號1 3 a所表示的位置。 當該墊片表面從該所需要的平坦平面突出時，該板片彈簧 1 3會被移動至由標號1 3 b所標示的位置，因爲該夾持 板1 2被該突起向上推動之故。相反地，當該墊片表面與 該所需要的平坦平面比較爲凹下時，該板片彈簧1 3會被 移動至由標號1 3 c所標示的位置，因爲該夾持板1 2會 因爲自身的重量而落下之故。相同地，夾持板1 2受該板 片彈簧1 3之助會根據該墊片表面的起伏而被傾斜。因此 ’（附著於該夾持板12的下表面之）工件被允許追蹤該 墊片表面。 在第1圖所示的主軸台中，夾持板1 2可藉由該板片 彈簧1 3之彈性變形的使用而被傾斜。此滑動操作並不需 要。因爲該夾持板1 2並不會遭受到滑動操作的摩擦力， 其可平順地傾斜。然而，因爲板片彈簧i 3在該夾持板 1 2的轉動方向上具有一剛性，所以轉動力矩被成功地從 支撐板1 1被傳送至夾持板1 2，即使是在夾持板1 2被 傾斜時亦然。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上所解釋的’夾持板1 2是透過板片彈簧1 3而固 定於支撐板1 1上。因此，轉動力矩能從支撐板1 1被傳 送至夾持板1 2 ;在此同時，夾持板1 2相對於支撐板 1 1傾斜。因爲第1圖所示的主軸台與使用傳統傾斜機制 之主軸台相較，具有一較單純的結構，所以其在製造，尺 寸及成本上具有較優的特性。 -13- 卜紙張反度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 五、發明説明（7 ) 降低因爲該夾持板傾斜時其重量所產生之離心力或回復力 。其結果爲，當該夾持板傾斜時會發生作用之阻力就可有 效地被降低，讓該主軸台能更有效地追蹤該墊片表面。特 別是’最大的效果可在該重心與該球形軸承的傾斜中心相 一致時產生。 依據本發明之主軸台具有一相當簡單的結構。因此， 該主軸台可被最小化及減輕重量。因此而獲得之該主軸台 可展現絕律的傾斜運動。其結果爲，可獲得一最小化且重 量輕的拋光機。 本發明之額外的目的及優點將在下面的說明中被舉出 。本發明之目的及優點可藉由特別於申請專利範圍中點出 的結構及組合而被瞭解。 構成此說明書的一部分之附圖舉出本發明目前之最佳 實施例，且與前面所述的一般敘述及下面所述之較佳實施 例的詳細說明一起來解釋本發明的原理。 〔最佳實施例詳細說明〕 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ，現在，依據本發明的一拋光機的主軸台的實施例將参 照附圖被詳細說明。 (實施例1 ) 一主軸台1主要包括一心軸4，一支撐板1 1 ，一夾 持板1 2 ’及板片彈簧χ 3。板片彈簧1 3將這些構件彼 此連接起來。該支撐板1 1 (圓盤狀）係固定於該心軸4 -10- ---.----士衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐）

五、發明說明彳2 ) 的主軸台的一第三實施例並對應於由第2圖沿B - B線所 取的剖面。 在此實施例中’複雜結構的連接件2 5被使用以取代 第1圖中之板片彈簧1 3。連接件2 5是由一剛性的連接 板2 6及彈性體2 7 a — 2 7 d所構成。彈性體2 7 a ~ 2 7 d是由橡膠所製成且固定於連接板2 6的兩端上。 四個座1 4分別設在支撐板1 1的下側的四個位置上 。四個座1 5分別設在夾持板1 2的上側的四個位置上。 連接板2 6的一端係透過分別設在連接板的該端的上側及 下側上之彈性體2 7 a及2 7 b而固定於座1 4上。換言 之，該彈性體2 7 a ，連接板2 6的該端，彈性體2 7 a 及一壓板2 8依所提到的順序向下地位在該座1 4的下表 面上。這些元件係透過一銷3 0而被固定於座1 4上。相 似地，連接板2 6的另一端係透過分別設在連接板的該端 的上側及下側上之彈性體2 7 c及2 7 d而固定於座1 5 上。 轉動力矩係經由連接板2 6而從支撐板1 1傳送至夾 持板1 2。夾持板1 2可因彈性體2 7 a - 2 7 d的彈性 變形而被傾斜。因爲連接件2 6是由一剛性元件與該等彈 性體所構成，所以與使用板片彈簧1 3作爲連接件的情形 相較，其可傳送一較大的轉動力矩。 銷3 0所穿過的孔3 2係設在連接板2 6的兩端。在 每一孔3 2中，有一充分的空間形成於銷3 0的周圍因而 不會妨礙夾持板1 2的傾斜。再者，該空間亦可塡入彈性 ~-靖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，裝--------訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)Al規格（210 X 297公釐） -15- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 . r _— 五、發明說明έ ) 的上部。該夾持板（圓盤狀）係固定於該支撐板1 1的下 表面且板片彈簧13係置於它們之間。一工件2(薄圓盤 狀）係被吸附於該夾持板的下表面上。應注意的是，支撐 板1 1及夾持板1 2的中心是位在心軸4的轉動軸的延伸 線上。 工件2係藉由使用一真空吸盤而被吸附於該夾持板 1 2的下表面上。多個吸附孔1 6被形成於該夾持板1 2 的下表面中。該等吸附孔1 6經由一（形成於該夾持板 1 2內部的）路徑2 0而連接至一管子1 9及一連結件 1 8。該管子1 9通過該心軸4的中心部。工件2藉由該 管子1 9將該等吸附孔1 6抽真空而被吸附於該夾持板 1 2上，而工件2是藉由將壓縮空氣經由該管子1 9送至 該等吸附孔1 6而被取下的。應被瞭解的是，一可撓曲的 管子被用作爲該管子1 9藉以防止夾持板1 2之傾斜運動 。一導件21形成於該夾持板12的下表面上並沿著該工 件2的周圍。該工件的水平位置受到該導件2 1的局限。 該被吸附之工件2的中心與心軸4的中心一致。 在此實施例中，夾持板1 2是藉由四片板片彈簧1 3 而附著於該支撐板1 1上。更特定地，每一板片彈簧的一 端係固定於形成在該支撐板11的下表面上之座14上。 而，每一板片彈簧的另一端則固定於形成在該夾持板1 2 的上表面上之座1 5上。來自於心軸4的轉動力矩經由板 片彈簧1 3而被傳到夾持板1 2。藉由這些被可撓曲地彎 折於垂直方向上的板片彈簧1 3，該夾持板1 2會傾斜使 1---„--政----I I--訂！-----線、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（G\'S)A.l規烙（210 X 297公t ) -11 - A7 B7 /多年广月日 五、發明說明彳3 ) 元件（未示出）。 .(實施例4 ) 現在，吾人將說明依據本發明之一拋光機主軸台的一 第四實施例。在第6 A圖中其顯示使用於此實施例中之連 接件的平面圖。 第6 A圖中的連接件是由單一的板片彈簧4 0所形成 。該環形板片彈簧4 0是由一沿著其內周邊形成的連接部 44及四個由其外周邊突出的臂（43a ，b，c ，d) 所構成的。四個臂（4 3 a ’ b，c，d )是以轉動對稱 相隔9 0度的方式安排在該連接部4 4的外周邊上。每一 臂沿著該環形部的外周邊從位在該連接部4 4的外周邊側 上的基部突伸出。在每一臂部的內周邊側與環形部4 4的 外周邊側之間形成有四個弧形切除部（4 2 a ，b ，c ， d)。臂（43a ，b，c ，d)係固定於（形成在第1 圖所示之支撐板11的下表面上之）座14之接近該基部 的位置（46a ’ b ’ c ’ d)處。它們係固定於（形成 在第1圖所示之夾持板1 2的上表面上之）座1 5之接近 每一臂之個別的遠端附近的位置（4 7 a ，b，c ，d ) 處。 轉動力矩從支撐板1 1經由臂部（4 3 a ，b，c， d )以與第一實施例相同的方式傳送至夾持板1 2。夾持 板12在臂部（i3a ’ b，c ’ d)於厚度方向上被彎 折時會傾斜。 本紙張尺度適用中國國家標準（C』\’S)A.l規格（210 X 297公釐） , 裝------- 訂-----I -線 . . . 、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16- 修止丨 W年f月^二 五、發明說明6 ) 得該主軸台能夠追蹤該墊片表面。 第2圖係沿著第1圖的線A _ A所取的剖面圖。 四片板片彈簧1 3係以等距的方式安排在包圍柱該心 軸4的一圓圈的圓周上。每一板片彈簧1 3的長軸方向與 該圓圈的切線相一致。每一板片彈簧1 3的厚度方向與該 夾持板1 2的該表面相垂直。該板片彈簧1 3的一端係固 定於形成於該支撐板1 1的該側上之座1 4處，而另一端 則固定於形成在該夾持板1 2的該側上之座1 5處。以此 方式，夾持板1 2係透過板片彈簧1 3而固定於該支撐板 1 1上。當沒有壓力施加於該夾持板1 2上時’夾持板1 2是位在與該支撐板1 1平行的狀態。 雖然在前述的例子中使用四片板片彈簧1 3，但任何 多於三片的數目皆可被使用。在考慮安排它們所需要的空 間時，板片彈簧的適當數目會落在3至8片的範圍之內。 沿著第2圖的線B — B所取之剖面圖係示於第3圖中 。板片彈簧1 3的功能現將參照第3圖來說明。 板片彈簧1 3在長軸方向（及平行於夾持板1 2的表 面）之剛性是蠻大的。因此，板片彈簧1 3將轉動力矩從 該支撐板1 1傳送至該夾持板1 2。然而，該板片彈簧 1 3在厚度方向（即與夾持板1 2的表面垂直）上的剛性 則較小。因此，板片彈簧1 3可於厚度方向上作可撓曲的 彎折。在彎折該板片彈簧1 3時，夾持板1 2會傾斜以追 蹤該墊片表面。 在第3圖中’當該墊片表面具有一所需要的平坦平面 本纸張叉度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】u X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---- -----線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12-

五、發明說明<5 ) 第6 B圖中所示的連接件與第6 A圖所示者相較要較 爲簡單。第6 B圖中的連接件適合使用在轉動力矩很小及 傾斜程度很低的情形中。 (實施例5 ) . 第7圖爲依據本發明之一拋光機主軸台的第五實施例 〇 當工件2被第1圖中之機器拋光時，將該工件2頂在 該墊片表面上之拋光壓力從支撐板經由板片彈簧13被傳 送至夾持板1 2。因此，需要大的壓力時，板片彈簧的截 面積必需被增加。 然而，如果板片彈簧的截面積增加的話，則板片彈簧 的彈性係數會增加，其結果爲夾持板傾斜的阻力亦隨之提 高。因此之故，增加板片彈簧的截面積並不是吾人所想要 的。 因此，在此實施例中支撐板1 1不只是經由板片彈簧 1 3其亦經由一壓力傳輸塊而連接至該夾持板1 2。壓力 實質上是經由壓力傳輸快來傳輸的。一由橡膠所製成之短 圓柱形彈性體6 2在此處被使用作爲該壓力傳輸快。該彈 性體6 2被插入到該支撐板1 1之下表面的中心部與該夾 持板1 2之上表面的中心部之間。彈性體6 2因此是位在 心軸4的轉動軸E - E上。壓力是從支撐板1 1經由該彈 性體6 2傳輸到該夾持板1 2。當夾持板1 2傾斜時，彈 性體6 2會於傾斜的方向上變形但仍爲持該壓力。 本紙張&度適闬中國國家標準（CNS)A.丨規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18- / 又；.V. A7 B7 五、發明說明（1〇 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 時，該板片彈簧1 3會採取由標號1 3 a所表示的位置。 當該墊片表面從該所需要的平坦平面突出時，該板片彈簧 1 3會被移動至由標號1 3 b所標示的位置，因爲該夾持 板1 2被該突起向上推動之故。相反地，當該墊片表面與 該所需要的平坦平面比較爲凹下時，該板片彈簧1 3會被 移動至由標號1 3 c所標示的位置，因爲該夾持板1 2會 因爲自身的重量而落下之故。相同地，夾持板1 2受該板 片彈簧1 3之助會根據該墊片表面的起伏而被傾斜。因此 ’（附著於該夾持板12的下表面之）工件被允許追蹤該 墊片表面。 在第1圖所示的主軸台中，夾持板1 2可藉由該板片 彈簧1 3之彈性變形的使用而被傾斜。此滑動操作並不需 要。因爲該夾持板1 2並不會遭受到滑動操作的摩擦力， 其可平順地傾斜。然而，因爲板片彈簧i 3在該夾持板 1 2的轉動方向上具有一剛性，所以轉動力矩被成功地從 支撐板1 1被傳送至夾持板1 2，即使是在夾持板1 2被 傾斜時亦然。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上所解釋的’夾持板1 2是透過板片彈簧1 3而固 定於支撐板1 1上。因此，轉動力矩能從支撐板1 1被傳 送至夾持板1 2 ;在此同時，夾持板1 2相對於支撐板 1 1傾斜。因爲第1圖所示的主軸台與使用傳統傾斜機制 之主軸台相較，具有一較單純的結構，所以其在製造，尺 寸及成本上具有較優的特性。 -13- 卜紙張反度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 五、發明說明紅 ) 之傾斜部分的影響的圖式； 第1 1圖爲依據本發明的另—主軸台的—剖面圖，其 中該夾持板的重心與該夾持板的傾斜中心—致； 第1 2圖爲依據本發明的另一主軸台的—剖面圖，其 中一鋼球及一板片彈簧被用作爲一連接元件 第1 3 Α圖將被用在該依據本發明的主軸台中之一板 盤彈簧的平面圖； 第1 3 B圖爲另一被用在該依據本發明的主軸台中之 一板盤彈簧的平面圖； 弟1 3 C圖爲另一被用在該依據本發明的主軸台中之 一板盤彈簧的平面圖； 第1 3 D圖仍爲另一被用在該依據本發明的主軸台中 之一板盤彈簧的平面圖； 第1 3 E圖爲第1 3 D圖中之板片彈簧的一剖面圖； 第1 4圖爲本發明之另一主軸台的一剖面圖，其中該 夾持板被提供一平衡板；及 第1 5圖爲一傳統主軸台的一剖面圖。 ：--------^---I ^--------^——.------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 符號說明 2 _. ·· ••工件 3 .· ·· ••夾持板 4 ·· ·. .·心軸 5 ·· ·· ••軟墊 6 ·· · 7 .. .· 8 ·. .· ••噴嘴 10·· 11·· • · · ·支撐板 12·. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A-l規格（210x 297公坌） -31 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（·Π ) (實施例2 ) 第4 A圖爲一部分剖面圖其顯示依據本發明之—抛光 機的主軸台的一第二實施例並對應於由第2圖沿B — B線 所取的剖面。第4 B圖爲板片彈簧1 3的一部分上視圖。 此實施例除了將板片彈簧1 3附著於支撐板1丨及夾 持板1 2上的方法與第一實施例不同之外，其於皆相同。 支撐板1 1在其周邊設有四個切除部2 4。座2 2係設在 支撐板1 1的上表面側，其對應於與切除部2 4相鄰的部 分。座2 3係設在夾持板1 2的上表面側，其對應於與切 除部24下側。座23的上端部從支撐板11向上突出。 板片彈簧1 3係位在支撐板1 1之上並與其平行。支撐板 1 3的一端係透過座2 2而固定於支撐板1 1上，而其另 一端則是透過座2 3而固定於夾持板1 2上。 以此方式，板片彈簧1 3可輕易地固定於支撐板1丄 及夾持板1 2上。此外，介於支撐板1 1與夾持板1 2之 間的距離G (第4A圖）可被降低。再者，主軸台1 〇的 總高度亦可被降低。 +第4 A圖所示的結構可被修改爲：（a )板片彈簧 1 3可直接固定於支撐板1 1上而不需使用座2 2或（b )在支撐板11的上表面形成有下凹的部分且板片彈簧 13係固定於該等下凹的部分中。 (實施例3 ) 第5圖爲一部分剖面圖其顯示依據本發明之一拋光機 本紙涞尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ------------------_訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -14 -

五、發明說明彳2 ) 的主軸台的一第三實施例並對應於由第2圖沿B - B線所 取的剖面。 在此實施例中’複雜結構的連接件2 5被使用以取代 第1圖中之板片彈簧1 3。連接件2 5是由一剛性的連接 板2 6及彈性體2 7 a — 2 7 d所構成。彈性體2 7 a ~ 2 7 d是由橡膠所製成且固定於連接板2 6的兩端上。 四個座1 4分別設在支撐板1 1的下側的四個位置上 。四個座1 5分別設在夾持板1 2的上側的四個位置上。 連接板2 6的一端係透過分別設在連接板的該端的上側及 下側上之彈性體2 7 a及2 7 b而固定於座1 4上。換言 之，該彈性體2 7 a ，連接板2 6的該端，彈性體2 7 a 及一壓板2 8依所提到的順序向下地位在該座1 4的下表 面上。這些元件係透過一銷3 0而被固定於座1 4上。相 似地，連接板2 6的另一端係透過分別設在連接板的該端 的上側及下側上之彈性體2 7 c及2 7 d而固定於座1 5 上。 轉動力矩係經由連接板2 6而從支撐板1 1傳送至夾 持板1 2。夾持板1 2可因彈性體2 7 a - 2 7 d的彈性 變形而被傾斜。因爲連接件2 6是由一剛性元件與該等彈 性體所構成，所以與使用板片彈簧1 3作爲連接件的情形 相較，其可傳送一較大的轉動力矩。 銷3 0所穿過的孔3 2係設在連接板2 6的兩端。在 每一孔3 2中，有一充分的空間形成於銷3 0的周圍因而 不會妨礙夾持板1 2的傾斜。再者，該空間亦可塡入彈性 ~-靖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，裝--------訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)Al規格（210 X 297公釐） -15- A7 B7 /多年广月日 五、發明說明彳3 ) 元件（未示出）。 .(實施例4 ) 現在，吾人將說明依據本發明之一拋光機主軸台的一 第四實施例。在第6 A圖中其顯示使用於此實施例中之連 接件的平面圖。 第6 A圖中的連接件是由單一的板片彈簧4 0所形成 。該環形板片彈簧4 0是由一沿著其內周邊形成的連接部 44及四個由其外周邊突出的臂（43a ，b，c ，d) 所構成的。四個臂（4 3 a ’ b，c，d )是以轉動對稱 相隔9 0度的方式安排在該連接部4 4的外周邊上。每一 臂沿著該環形部的外周邊從位在該連接部4 4的外周邊側 上的基部突伸出。在每一臂部的內周邊側與環形部4 4的 外周邊側之間形成有四個弧形切除部（4 2 a ，b ，c ， d)。臂（43a ，b，c ，d)係固定於（形成在第1 圖所示之支撐板11的下表面上之）座14之接近該基部 的位置（46a ’ b ’ c ’ d)處。它們係固定於（形成 在第1圖所示之夾持板1 2的上表面上之）座1 5之接近 每一臂之個別的遠端附近的位置（4 7 a ，b，c ，d ) 處。 轉動力矩從支撐板1 1經由臂部（4 3 a ，b，c， d )以與第一實施例相同的方式傳送至夾持板1 2。夾持 板12在臂部（i3a ’ b，c ’ d)於厚度方向上被彎 折時會傾斜。 本紙張尺度適用中國國家標準（C』\’S)A.l規格（210 X 297公釐） , 裝------- 訂-----I -線 . . . 、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _____B7 五、發明説明（14 ) 因爲連接件是由單一的含形板片彈簧所形成，所以組 裝該主軸台的工作性可獲得改善。最好是，中心部被提供 於支撐板1 1的座1 4及夾持板1 2的座1 5以分別對應 臂部（43a，b ’ c，d)及連接部44。座14及座 1 5可藉由使用該等中心部而輕易地被對齊。 在第6 B圖中，其顯示的另一實施例，該實施例中的 連接件是由單一的含形板片彈簧所構成。 在此竇施例中，一環形板片彈簧4 8直接固定於該支 撐板1 1及夾持板1 2上而沒有形成上述的臂部。 該環形板片彈簧4 8係以9 0度的間隔固定於（形成 在第1圖所示之支撐板1 1的下表面上之）座1 4之圓周 的位置（49a，b，c，d)處。彈簧48亦係固定於 (形成在第1圖所示之夾持板1 2的上表面上之）座1 5 之相鄰位置（4 9 a ’ b，c，d )的中間位置（5 0 a ，b ，c ，d )處。 轉動力矩係經由位在固定位置4 9 a，b，c，d與 5〇a ，b ，c ，ci 之間的連接部（51a — 5ld， 5 2 a — 5 2 d)而從支撐板1 1被傳送至夾持板1 2。 夾持板12在連接部（5 1a — 51d ’ 52a — 52d )於厚度方向上彎折時會相對於支撐板1 1傾斜。 當連接部5 1 a — 5 1 d及5 2 a — 5 2 d的間隔增 加時，夾持板1 2會更加傾斜。因此’並不希望固定部 4 9 a — 4 9 d與5 0 a — 5 0 d間的距離被過度地降低 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） ^^^^1 —^ϋ* -1' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -17-

五、發明說明<5 ) 第6 B圖中所示的連接件與第6 A圖所示者相較要較 爲簡單。第6 B圖中的連接件適合使用在轉動力矩很小及 傾斜程度很低的情形中。 (實施例5 ) . 第7圖爲依據本發明之一拋光機主軸台的第五實施例 〇 當工件2被第1圖中之機器拋光時，將該工件2頂在 該墊片表面上之拋光壓力從支撐板經由板片彈簧13被傳 送至夾持板1 2。因此，需要大的壓力時，板片彈簧的截 面積必需被增加。 然而，如果板片彈簧的截面積增加的話，則板片彈簧 的彈性係數會增加，其結果爲夾持板傾斜的阻力亦隨之提 高。因此之故，增加板片彈簧的截面積並不是吾人所想要 的。 因此，在此實施例中支撐板1 1不只是經由板片彈簧 1 3其亦經由一壓力傳輸塊而連接至該夾持板1 2。壓力 實質上是經由壓力傳輸快來傳輸的。一由橡膠所製成之短 圓柱形彈性體6 2在此處被使用作爲該壓力傳輸快。該彈 性體6 2被插入到該支撐板1 1之下表面的中心部與該夾 持板1 2之上表面的中心部之間。彈性體6 2因此是位在 心軸4的轉動軸E - E上。壓力是從支撐板1 1經由該彈 性體6 2傳輸到該夾持板1 2。當夾持板1 2傾斜時，彈 性體6 2會於傾斜的方向上變形但仍爲持該壓力。 本紙張&度適闬中國國家標準（CNS)A.丨規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Μ ___Β7 五、發明説明（16) 因此結構之故，高壓力可被傳輸。在此同時，該板片 彈簧的彈性係數可被降低。因此，可確保夾持板的平順傾 斜。 如果彈性體6 2是位在支撐板1 1的中心的話，則一 用來吸柱該工件2之真空管子就無法如第1圖所示的經由 該心軸4的中心部被安裝。形成於該心軸的遠端中一路徑 6 3因而依序地穿過一連結件6 4，一管子6 6及一連結 件6 5被導引至外周邊之接近該心軸4的遠端部分，並被 連接至形成於該夾持板1 2中的路徑6 7。 如果該板片彈簧1 3的彈性係數很小的話，則當該主 軸台6 0從一轉台（未示出）取下時，該板片彈簧1 3會 因爲該夾持板1 2的重量而變形超過其彈性極限。因而， 在此實施例中具有L形截面之鉤6 8被附著於夾持板1 2 上。該板片彈簧1 3過度的彎折可獲得防止，因爲當該主 軸台6 0從該轉台上被取下時，該支撐板1 1的上表面會 接觸到該鉤6 8的水平部分。 根據第7圖所示的主軸台6 0，將該工件2壓抵於該 拋光墊上所需之壓力實質上可被該彈性體6 2所傳送。因 此，該板片彈簧可以在只考慮轉動力矩的傳輸能力及傾斜_ 特性下被設計。 (實施例6 ) 第8圖顯不依據本發明之一拋光機主軸台的一第六實 施例。 本焱張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ' ' ----- --- n n m - n I - 士^―- - 1 - , II ϋ τ J3. -、νβ (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（17 ) 在此實施例中，一鋼球7 2被用來取代彈性體6 2作 爲該壓力傳輸塊。該鋼球7 2以與第7圖中的彈性體6 2 相同的方式被插入到該支撐板11之下表面的中心部與該 夾持板1 2之上表面的中心部之間。亦即，該鋼球7 2是 位在心軸4的轉動軸E—E上。壓力是從該支撐板11經 由該鋼球7 2被傳輸到該夾查板1 2。當該夾持板1 2傾 斜時，該球7 2沿著設在該支撐板1 1與該夾持板1 2之 中心部上之球形座滑動。應注意·的是，該球形座藉由加入 潤滑劑來保持平滑。 當該球2被用作爲壓力傳輸塊時，一摩擦力會產生於 支撐板1 1與該夾持板1 2之間的滑動部。該摩擦力會干 擾夾持板傾斜。然而，因爲球7 2是在心軸4的轉動軸的 延伸線E - E上，所以該摩擦力是施加於一非常靠近該傾 斜中心的部位上。該摩擦力的矩臂因而很小。其結果爲， (產生於滑動部的）摩擦力對於傾斜運動的影響很小。 一軟墊7 4被用來取代該真空盤以將該工件2附著於 該夾持板1 2的下表面上。更特定地，該軟墊7 4是附著 於該夾持板1 2的下表面上。然後，該工件2被吸附至該 軟墊7 4的下表面上。 因爲第六實施例的其它結構與前一實施例（第7圖） 的結構相同’所以它們的說明將被省略。 依據第8圖所示的主軸台7 0，將該工件2壓在該拋 光墊上之壓力可實質上地由該鋼球7 2來傳輸。因此，板 片彈簧1 3可如前~實施例（第7圖）般地在只考慮轉動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ^^1. ______ I— I mu 1 - - - - - I 士.....1----- 1 ,-- ^n. 1 - - * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -20- A7 ________B7_ 五、發明説明（18) 力矩的傳輸能力及傾斜特性下被設計。 示於第7及第8圖中之主軸台在相同的拋光條件之下 來比較其移除率（每單位時間所移除的厚度）。其結果爲 ’第7圖之（使用彈性體作爲壓力傳輸塊）的主軸台其移 除率比第8圖之（使用鋼球作爲壓力傳輸塊）的主軸台的 移除率低2 0%。這可能是因爲拋光性能因爲由拋光力量 所產生之暫時的彈性體6 2變形而降低。因此，當第7圖 中的彈性體被用作爲壓力傳輸塊時，需要施加夠高的壓力 以補償在移除率上的降低。 爲了要提升抛光處理的產出，在最近幾年被廣泛使用 的是一種於拋光期間提高該主軸台及該轉台的轉速的方法 。然而，當轉速提高時，作用於夾持板1 2上的離心力即 會提高。因此，必需考慮轉速被提高時降低離心力的影響 之設計。 首先，吾人將藉由參照第9 A及9 B圖來解釋離心力 對傳統主軸台的影響。 經濟部中央梯準局貝工消費合作社印製 I----：-----r 衣-- 1 , (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第9 A圖顯示如何傾斜在傳統主軸台中之夾持板。一 凸緣部7 8形成於該心軸4的遠端上。一（半徑r )的球 形座形成於該凸緣部7 8的下表面中。在此球形座中，一 半球形體7 9被置入其中。該半球形體7 9沿著該球形座 滑動。夾持板1 2係附箸於該半球形體7 9的下表面。 在此一主軸台中，該球形座是該心軸的轉動軸E-E 與該墊片表面的交叉點◦。在自然的狀態下，該夾持板 1 2的重心G是在該心軸的轉動軸E - E上，如圖9 A所 本紙掁又度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -21 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 ___ B7_____ 五、發明説明（19) 示的就在點◦的頂上。當該夾持板1 2傾斜一 Θ角度時（ 如第9B圖所示），重心G移至一在水平方向上離開該轉 動軸E — E — 0G · s i ηθ的距離。當夾持板1 2轉動 時，離心力F會施加於（夾持板1 2與—半球形體7 9的 )該傾斜部的水平方向上。離心力F的力矩作用於傾斜部 部上以增加該β角度。傾斜的程度愈大’轉動軸Ε - Ε與 該重心G之間的距離就愈大。因爲離心力F是與轉動軸Ε 一 Ε與該霉心G之間的距離成正比’所以力矩會增加。其 結果爲，夾持板更加傾斜。因爲由離心力F所造成的力矩 作用於傾斜部上以傾斜該夾持板，所以一但傾斜於拋光處 理期間發生，該夾持板會逐漸地傾斜及最後即無法追蹤該 墊片表面。 接下來，吾人將將藉由參照第1 0A及1 0B圖來解 釋離心力對第第8圖中所示之本發明的主軸台的影響。 在自然的狀態下，夾持板1 2的重心G是在轉動軸E 一 E上，就在該傾斜中心的底下。在此狀態中’個別的 連接件1 3 (板片彈簧）的變形係相同的。因此’來自於 連接件之作用於夾持板1 2上的力矩彼此被抵消。當夾持 板1 2如第1 Ο B圖所示的傾斜一 Θ角度時，重心G水平 地移動至離開該轉動軸E — E — 0G · s i ηθ的距離。 其結果爲，離心力F在水平方向上作用於夾持板1 2上。 自此同時，來自於連接件之作用於夾持板1 2上的力矩失 去其平衡並產生一回復力。該回復力是要將該夾持板1 2 恢復至其原來的狀態的力量。在第1 〇 Β圖中該回復力被 . U----士衣-- * (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0X 297公釐） -22 - A7 B7 五、發明説明（2〇 ) 標記爲F 1及F 2 (彈簧力）°力F 1向下作用於該夾持 板1 2的一側上’在該側上該支撐板1 1及該夾持板因爲 該夾持板傾斜的結果而間隔一較窄的距離。而’力F 2則 向上作用於另一側上，在該側中它們的間隔一較大的距離 〇 如上所述的，施加於該夾持板1 2上的該離心力F如 加速傾斜的力矩般地作用。而’由該連接件的變形所造成 之回復力如回復力矩般地作用用以將該夾持板恢復至其自 然的狀態。整體而言，離心力的影響相對地被降低。然後 ，如果具有較大的彈性係數之板片彈簧13被用來讓回復 力（F 1及F 2 )大於該離心力F的話，則離心力F表面 上似乎對夾持板沒有影響。然而，如果彈性係數過大的話 ，則該夾持板不會平順地傾斜。 如第1 Ο B圖中所示的，如果傾斜中心旦_沒有與夾持 板1 2的重心G —致的話，則離心力F所造成的力矩是由 夾持板的傾斜所造成的。換言之，如果傾斜中心與夾持 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -----^----A------•訂 * - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 板1 2的重心g —致的話，則夾持板1 2即可免於離心力 F的影響。 (實施例7 ) 第11圖顯示依據本發明之一拋光機主軸台的一第七 實施例。 第1 1圖中所示的主軸台8 〇爲先前於第8圖中所示 之主軸台的一變化’夾持板1 2的傾斜中心0被允許與重 本紙狀度適用中國^^1^^脆297公釐） -23- 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A 7 _____ B7 五、發明説明（21 ) 心一致。 兩個面向彼此之球形座係分別形成於該支撐板1 1的 下表面的中心及該夾持板1 2的上表面的中心。一鋼球 7 2係置於由該二球形座所環繞成的空間中。該球7 2的 中心是在該心軸4的轉動軸的延伸線上且對應於夾持板 1 2的傾斜中心。 —圓柱部分8 2形成於該夾持板1 2的周邊部上。一 平衡板84係附著於該圓柱形部82的上端。（包括該平 衡板8 4在內之該夾持板1 2之）該傾斜部的重心藉由控 制該平衡板8 4的形狀及重量而能與該傾斜中心◦一致。 因爲重心與傾斜中心旦_一致，所以離心力對於傾斜部 的影響即可被消除。其結果爲，夾持板1 2可平順地傾斜 (實施例8 ) 第12圖顯示依據本發明之一拋光機主軸台的一第八 實施例。 一心軸4連接至一固接於該拋光機上之轉動驅動機制 (未示出）。一支撐板1 1係固定於該心軸4的下端部。 該夾持板1 2係透過一鋼球1 2 1及一板片彈簧1 2 3而 附接於該支撐板1 1的下声面。 此實施例的一平板工件2 2係透過一真空吸盤而附著 於該夾持板1 2的下表面。因此’真空吸附孔1 3 1係形 成於該夾持板1 2的內部。該等真空吸附孔1 3 1係經由 n --- m I I - - - - -I m I 士良-.I J - -I - I I ^ -、va . - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -24- 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 ______B7 五、發明説明（22) 一連結件1 3 5及一（形成於該夾持板1 2的外面之）管 子1 3 6而被連接至一（形成於該心軸4中之）路徑。應 注意，該管子1 3 6是由一可撓曲的材料所製成，因爲當 該夾持板12傾斜時其必需與該夾持板12—起移動。該 夾持板1 2的下表面是有一導件1 3 3用以將該工件2嵌 設於一正確的位置。 兩個球形座分別設在該支撐板1 1的下表面的中心及 該夾持板1_ 2的上表面的中心處。一鋼球1 2 1置於由該 二球形座所圍繞成的空間中。該鋼球1 2 1的中心是在該 心軸4的轉動軸上。該夾持板1 2的傾斜中心與該球 1 2 1的重心一致。 該夾持板12及該支撐板11彼此相連接而鋼球 1 2 1及板片彈簧1 2 3係置於它們之間。該板片彈簧 1 2 3爲一軸對稱形狀。其在中心處具有一開口部1 2 7 及在外周邊處具有臂1 24。臂1 24沿著直徑伸出。多 個奄澈孔1 2 5係沿著該板片彈簧1 2 1的內周邊被形成 。該板片彈簧1 2 3係藉由將一螺栓插入到該嵌合孔 1 2 5中而被固定於該支撐板1 1的下表面。每一臂 1 2 4的遠端部亦設有一嵌合孔1 2 6。該板片彈簧 1 2 3係藉由將一螺栓插入到該嵌合孔1 2 6中而被固定 於該夾持板11的上表面。 嵌合孔1 2 6及嵌合孔1 2 5係分別被安排於一大直 徑圓圈及一小直徑圓圈上。兩個圓圈都是同心地被安排在 該心軸4的轉動軸周圍。該夾持板1 2可同等地傾斜於與 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .丨士衣. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（23) 該轉動軸垂直的兩個軸周圍。 夾持板1 2可因爲有球形軸承1 2 1的存在而傾斜於 與該轉動軸垂直的兩個軸周圍。來自於該心軸4的壓力經 由該支撐板1 1而傳輸至該夾持板1 2。在此同時，轉動 力矩從心軸4經由板片彈簧1 2 3而被傳輸至該夾持板 12。 因此，如果該板片彈簧1 2 3的剛性於被控制而轉動 力矩維持在預定的範圍之內的話，就能夠防止工件2與墊 片表面不均勻的接觸。其結果爲工件的平坦性可獲得提升 〇 在此主軸台1 2 0中，夾持板1 2藉由使用鋼球 1 2 1及板片彈簧1 2 3而透過支撐板1 1來連接於至該 心軸4。在此處被使用的板片彈簧1 2 3是軸對稱的。因 此，不只是支撐板1 1 ，連同形成於該支撐板1 1及該夾 持板1 2的上的座都可以簡單的形狀來形成。因此，該主 軸台可被最小化且作得既小且輕。特別是，重量輕的傾斜· 機制在改善傾斜運動上是很有效的。 使用於本發明中之板片彈簧1 2 3將（以不同的形狀 )顯示於第13A至13D圖中。 顯示於第13A圖中的板片彈簧如顯示於第12圖中 者，具有相同的軸對稱形狀。其在中心具有一開口 1 2 7 及在外周邊具有四臂124。臂124沿著徑向延伸。四 個嵌合孔1 2 5係沿著該板片彈簧1 2 3的內周邊被形成 。每一臂1 2 3的遠端部設有一嵌合孔1 2 6嵌合孔 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0X297公釐） —— — — — ------ I -, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-、1T -26- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ___ B7五、發明説明（24) 1 2 5及1 2 6分別被用來將支撐板1 1連接至該夾持板 1 2上。該臂1 2 4的數目是在考慮對稱性，所傳輸的轉 動力矩，及抵抗傾斜的回復力等因素下所選定的。通常最 佳的數目是三至八個臂。 顯示於第1 3 B圖中之板片彈簧爲一碟形的板片彈簧 其在中心處具有一開口 1 2 7及六條細縫1 2 8。該等細 縫1 2 8沿著直徑方向從外周邊延伸至中心。介於相鄰細 縫1 2 8之間的部分對應於一臂1 2 4。該碟形板片彈簧 是相當容易形成。 在本發明的主軸台中，該板片彈簧1 2 3的剛性愈低 ，該夾持板1 2傾斜所需的力量愈小。其結果爲，該夾持 板1 2的傾斜特性可充分地獲得提升用以追蹤該墊片表面 。臂1 2 4的形狀可加以改變以改善傾斜運動。其形狀的 幾個例子被顯示於第1 3 C至1 3 D圖中。 在第1 3 C圖中，每一臂1 2 4是由兩個相關於半徑 方向延伸的部分所形成的。這兩個部分在個別的遠端部分 相連結，藉以在每一臂1 2 4的中心形成一開口部1 3 0 。顯示於第1 3 D圖中之板片彈簧其特徵在於每一臂 1 24具有一上及下彎折部1 29。第1 3E圖爲該板片 彈簧1 2 4的剖面圖。當第1 3 C或1 3D圖中的板片彈 簧被使用且經由形成於與第13A圖所示之相同位置上的 嵌合孔1 2 5及1 2 6來加以嵌合時’臂1 2 4的實際長 度是比第1 3 A圖中所示的長度來得長。在此例子中，假 設臂1 24 (第1 3C及1 3D圖）具有與第1 3A圖所 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

r1T 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（2丨0X 297公釐） -27- 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 A7 __-_____ B7 五、發明説明（25 ) 示之相同的寬度的話’則夾持板可在一比第1 3 A圖小的 力量下傾斜。更特定地，傾斜運動可在不降低於圓周方向 上的扭轉強度下被改進。 (實施例9 ) 第14圖顯示依據本發明之一拋光機主軸台的一第八 實施例。 在此實施例中，一球形軸承1 4 3被用來取代第1 2 圖中之支撐板1 1。該球形軸承1 4 3係直接連接至該心 軸4的下端部。（沿著該板片彈簧1 2 3的內周邊所設之 )嵌合孔1 2 5亦直接連接至該心軸4的下端部。使用於 此處之工件2是經由一軟墊1 4 7而附著於該夾持板1 2 上。 該夾持板1 2的上表面設有一環形平衡板1 4 1以包 圍柱該心軸4。（包括該平衡板1 4 1在內之）該夾持板 1 2的重心因該平衡板的存在而向上移動。如果該平衡板 1 4 1的形狀及重量被適當地選取的話，則該夾持板i 2 的重心可與該球形軸承1 4 3的傾斜中心一致。 如果該夾持板1 2的重心沒有與該球形軸承1 4 3的 傾斜中心一致的話，則離心力會在該夾持板1 2於一相當 高的轉速下被轉動而相對於該心軸4傾斜時被產生。該離 心力的大小是與夾持板1 2的重量，介於該夾持板1 2的 轉動軸與重心間的距離，及轉動速度成正比的。傾斜的角 度會隨著如此所產生的離心力而增加。其結果爲，傾斜運 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐）

In ^^1 m - - I - Ϊ . -I I - 11. n I ml - ί 二 m ^^1 ^Ir 4e -» (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 28 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印袋 A7 _______B7 五、發明説明（26 ) 動沒有被適當地實施。在另一方面，當夾持板1 2於一相 對低的速度下轉動而相對於該心軸4傾斜時，一回復力會 因爲該夾持板1 2的重量而被產生。因爲回復力會減低傾 斜的程度’所以傾斜運動亦無法適當地被實施。 如果該夾持板12的重心如第14圖所示地因使用平 衡板1 4 1而與該球形軸承1 4 3的傾斜中心一致的話， 或如果介於該夾持板1 2與該球形軸承1 4 3之間的距離 被降低的話，則可能抑制離心力及回復力的產生。如果是 如此的話，則該夾持板1 2的傾斜運動可獲得充分的改善 而能追蹤該墊片表面。 第1 4圖中之主軸台具有一相當簡單的結構。因此， 該主軸台可被最小化及減輕重量。在此同時，該主軸台因 而可獲得絕佳的傾斜性能。因而能夠獲得一最小化及重量 輕的拋光機。 . 本發明之其它的優點及變化對於熟悉此技藝者而言將 可輕易的想到。因此，本發明之最大可能的態樣並不局限 於在本文中所展示及說明之特定的細節及代表性的實施例 。不同的變化可在不偏離由隨附之申請專利範圍及其等同 物所界定之本發明之精神及範圍之下被達成。 〔圖式簡要說明〕 第1圖爲依據本發明之一主軸台的一剖面圖； 第2圖爲沿著第1圖之線A—A所取之剖面圖並顯示 如何安排連接元件（板片彈簧）： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

In n m I n I - n n I n n I T · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -29- 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 A7 ___B7 五、發明説明（27 ) 第3圖爲從第2圖的箭頭C所指的方向看時沿著第2 圖中之線B — B所取的剖面圖，並顯示出一板片彈簧如何 連接至一支撐板及一夾持板及如何移動該板片彈簧； 第4 A圖爲一將被使用於另一依據本發明之主軸台中 的連接元件的剖面圖，其對應於沿著第2圖中之線B - B 所取的剖面圖； 第4 B圖爲顯示於第4 A圖中之連接元件的上視圖； 第5圖圖爲一將被使用於另一依據本發明之主軸台中 的連接元件的剖面圖，其對應於沿著第2圖中之線B - B 所取的剖面圖； 第6 A圖爲將於一依據本發明的主軸台的另一實施例 中被用作爲連接元件之環形板片彈簧的平面圖； 第6 B圖爲另一環形板片彈簧的的平面圖； 第7圖爲使用一彈性本體來傳送壓力之依據本發明的 另一主軸台的一剖面圖； 第8圖爲使用一鋼球來傳送壓力之依據本發明的另一 主軸台的一剖面圖； 第9A圖爲一解釋離心力對於在一傳統的主軸台中之 傾斜部分的影響的圖式； .第9 B圖爲一解釋離心力對於在一傳統的主軸台中之 傾斜部分的影響的圖式； 第1 Ο A圖爲一解釋離心力對於在本發明的主軸台中 之傾斜部分的影響的圖式； 第1 Ο B圖爲一解釋離心力對於在本發明的主軸台中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21〇χ297公釐） I Hi I n I Γ— n I I - -- n n I I T I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -30- A7 B7 五、發明說明紅 ) 之傾斜部分的影響的圖式； 第1 1圖爲依據本發明的另—主軸台的—剖面圖，其 中該夾持板的重心與該夾持板的傾斜中心—致； 第1 2圖爲依據本發明的另一主軸台的—剖面圖，其 中一鋼球及一板片彈簧被用作爲一連接元件 第1 3 Α圖將被用在該依據本發明的主軸台中之一板 盤彈簧的平面圖； 第1 3 B圖爲另一被用在該依據本發明的主軸台中之 一板盤彈簧的平面圖； 弟1 3 C圖爲另一被用在該依據本發明的主軸台中之 一板盤彈簧的平面圖； 第1 3 D圖仍爲另一被用在該依據本發明的主軸台中 之一板盤彈簧的平面圖； 第1 3 E圖爲第1 3 D圖中之板片彈簧的一剖面圖； 第1 4圖爲本發明之另一主軸台的一剖面圖，其中該 夾持板被提供一平衡板；及 第1 5圖爲一傳統主軸台的一剖面圖。 ：--------^---I ^--------^——.------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 符號說明 2 _. ·· ••工件 3 .· ·· ••夾持板 4 ·· ·. .·心軸 5 ·· ·· ••軟墊 6 ·· · 7 .. .· 8 ·. .· ••噴嘴 10·· 11·· • · · ·支撐板 12·. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A-l規格（210x 297公坌） -31 - A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（29 ) 13......板片彈簧 4， 15 ，2 2，2 3 . ..... 1 6 .. 吸附孔 18..... •連結件 1 9 ·· 管子 2 1..... •導件 2 4 .. 切除部 2 5..... •連結件 2 2 6 ·_ 7 a 一 2 連接板 7 d ·· •彈性體 2 8 ·· 壓板 3 0..... •銷 3 2 .· 孔 4 0..... •板片彈簧 4 3 a ，b J c ， d . .....臂 4 4 4.. 2 a ，b 連接部 5 C ' d . .....切除部 4 6 a ，b 5 c » d . .....基部 4 7 a ，b ，C J d · .....述端 4 4 8 ·· 9 a ，b 板片彈簧 ，c ，d · .....相鄰位置 5 0 a ，b J C J d · .....中間位置 5 la ，b J C J d · .....連接部 52a ，b，c，d......連接部 6 Ο......主軸台 62......彈性體 6 3,6 7 ......路徑 6 4，6 5......連結件 66......管子 68......鉤 7 2......鋼球 7 4......軟墊 78......凸緣部 79......半球形體 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） ------ n n H — Η.衣--11 - I . ,、1τ • V (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -32 - A7 B7 五、發明説明（3〇 ) 8 0......主軸台 8 4......平衡板 12 3......板片彈 1 2 5 ， 1 2 6 .· ·· 12 7......開口部 12 9......彎折部 13 1......吸附孔 13 6......管子 14 3......球形軸 --------- - Ή 衣-------、1τ__， f * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 8 2 -·圓柱 部 分 1 2 1 ·· -·..鋼 球 1 2 4 ·· ....臂 嵌合 孔 1 2 8 ·· • _ · ·細 縫 1 3 0 .· • · . ·開 □ 部 1 3 5 ·. 連 結 件 1 4 1 ·. .· ·平 衡 板 1 4 7 .· ....軟 墊 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -33-

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 . 一種用來夾持並轉動一平板工件之拋光機的主軸 台包括： 一心軸，其連接至一轉動驅動機制； 一支撐板，其連接至該心軸的下端； 一夾持板，其以與該支撐板平行的方式被安排在該支 撐板的底側，並將該工件置於該夾持板的底側；及 連接機構，用以將該夾持板連接至該支撐板，該連接 機構在該心軸的轉動方向上具有一剛性並能在與該工件的 表面相垂直的方向上能夠彈性地變形。 2 .如申請專利範圍第1項所述之主軸台，其中： 該連接機構是由多塊板片彈簧所構成的，這些板片彈 簧以等距的方式被安排在一圓圈的圓周上，該圓圈具有一 在該心軸的轉動軸上的中心； 每一板片彈簧的長軸方向與該圓圈的切線相平行，每 一板片彈簧的厚度方向與該工件的咬面相垂直，板片彈簧 的一端是固定於該支撐板上，而該板片彈簧的另一端則是 固定於該夾持板上。 3 .如申請專利範圍第1項所述之主軸台，其中該連 接機構可由多個連接元件所構成，每一連接元件是由一剛 性元件及設在該剛性元件的兩端上之彈性體所構成，該等 連接元件是以等距的方式被安排在一圓圈的圓周上，該圓 圈具有一在該心軸的轉動軸上的中心； 該剛性元件的一端是經由一彈性體連接至該支撐板上 ，而該剛性元件的另一端則是透過另一彈性體而連接至該 1^1 nl· · ^--Z--^-- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) >βτ 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -34 - 六、申請專利範圍 夾持板上。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 ·如申請專利範圍第丨項所述之主軸台，其中該連 接機構可以是由一環形的板片彈簧所構成，該彈簧的某些 部分係固定於該支撐板上，該等部分是以等距的方式被安 排在一圓圈的圓周上’該圓圈具有一在該心軸的轉動軸上 的中心’該板片彈簧亦在某些部分固定於該夾持板上，該 等部分係以與前述的部分相隔一預定的距離的形式被安排 於圓周方向上。 5 .如申請專利範圍第1至4項中任一項所述之主軸 台’其更包括一壓力傳輸塊，用來將壓力從該支撐板傳送 至該夾持板，該壓力傳輸塊係是被安排在該心軸的一轉動 軸的一延伸線上並介於該支撐板與該夾持板之間。 6 .如申請專利範圍第5項所述之主軸台，其中該壓 力傳輸塊是由一彈性體所構成的。 7 .如申請專利範圍第5項所述之主軸台，其中： 該壓力傳輸塊爲一剛性球，及 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 球形座係形成在該支撐板的一下表面的中心及在該夾 持板的一上表面的中心處用以承接該剛性球。 8 .如申請專利範圍第7項所述之主軸台，其中該夾 持板的重心與該剛球的中心一致。 9 . 一種用來夾直及轉動一平板工件的拋光機的主軸 台包括： 一心軸，其連接至一轉動驅動機制； 一球形軸承，其連接至該心軸的一下端並具有一位在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公廣- 35 - A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 該心軸的一轉動軸上的傾斜中心： 一夾持板，其透過該球形軸承連接至該心軸並使該工 件位在該夾持板的該下表面上； 一板片彈簧，其具有一被安排在一第一圓圏的圓周上 之第一嵌合孔，該第一圓圏具有一位在該心軸的一轉動軸 上的傾斜中心，及一被安排在一第二圓圈的圓周上之第二 嵌合孔’第二嵌合孔的直徑大於第一嵌合孔的直徑，該板 片彈簧係經由該第一嵌合孔連接至該心軸且其亦經由該第 二嵌合孔連接至該夾持板》 1 0 .如申請專利範圍第9項所述之主軸台，其中： '該夾持板在其上表面具有一平衡板，及 該包含平衡板在內之夾持板的重心是位在由該球形軸 承的球形座所環繞的一空間內。 1 1 .如申請專利範圍第9或1 0項所述之主軸台， 其中該夾持板的重心與該球形軸承的球形座的中心一致。 n m - I- - I - -1 -- HI —i HI I ^^1 ，. l 03-a (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央梯準局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -36 -