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五、發明説明（ A7 B7 經濟部中央橾準局負工消费合作杜印製 .I::Ρ :: . 醱方缺止面缺過法種另報磨圓力力 液法中凡出子組 液項層防正層。方一。中在晶壓壓 懸方程，會電整 種一叠夠圓·'')的，過號置腥性的 浮該遇具都造致 一 的起能晶的應害露試23放導彈部 種。的工，製導 於陷引，體發效傷披苜,3地半種局 一 面化械話面會 懸缺為力導引氣成的被64性是一成 將背楢機的正們 浮層的能半被聚欲號曾,1斷法由造 是的粗用面的它 用叠目氣的陷("所62法-5間方藉此 ，圓以使背國 ， 使發的聚件缺定生,1方US圓種是由 示晶加是此晶粒 面引害有元狀固産05的案晶一力， 掲體面或于鼸顆 背以傷具子點並面,9面利匾有壓生 法導背，加導有 圓害意心霣的開背-3背專導另此而 方半圖粒地半欲 晶傷故中造擾離圇US圓國半者，作 的向晶細直於不 醱成作諝製干引晶案晶美將或式動 "指醱的垂後的 導造部所以子吸匾利髅在是，方的 砂地導合是随加 半粒背為用原面導專導曾法中的性 噴直半聚力在增 在細的作在來正半國半亦方浴壓蝕 濕垂於或的。斷 於散囫陷生外的於美刮法種沐加腐全，散用點不 蘭鬆晶缺I.括圓匾據輕方一的種無態為完法鬆施缺現 乃的體種 I.包晶企依地的有液一作狀稱乎方用所的出 :明料導這缺也讎種。统傷如和著髏布被幾何使中重會 景發材半為狀些導各世集損例拌受介分種流任是作鼗 ， 背本硬對因點這半有於有些。粒承送勻一射有論製些時 明 刚。，些。自 Λ 開如一 S 细面傳均 噴所無在一件 發 中法陷一上陷去公例外告籲背的不 的和，是現元 ----------Γ"---·*ι——訂------磚 — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) . 本紙伕尺度逍用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） A7 B7 317011 五、發明説明（2) 元件的失敗。在使用上述方法將半 時，許多顆粒會從背面分離。在有 傷害十分鼗重，以致使半導《晶國 晶國的正面作電子元件的積合需要 能的平滑。除此之外，當半導匾晶 上未被介定的劝度舆方向之間B偽 ，也就不可避免地所得到的引發叠 ，而霄子元件也因為在這些不適宜 的不當行為而失敗了。 發明的詳细説明： 本發明乃提供一項在半導匾晶 陷的傷害方法，它使該缺陷均勻分 導體晶圜又能避免産生不欲有的顆 導膿晶圓的背面粗梃化 些方法中，背面的槻械 陷落。然而，於半導釀 半導體晶画的_面盡可 圓的背面是被一種事實 的力量加以損傷的時候 靥缺陷會不均勻地分布 環境中所生的聚氣效應 圈背面産生引發叠層缺 布，而這種粗糙化的半 粒。除此之外，以本方 請 先 •閲 讀 背 ft 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 經濟部中央揉準局貝工消费合作杜印製 細陷面細於 害”層之 料缺背料加，。傷的*蝕 材層圔材，力槭度的腐 硬·晶硬下分/機糙發步 隨發醴II之的的粗引初 。散引導該況咚上面些和 狀鬆能半引狀方面表那驗 形的生使驅排fe 背示。試 滑中産括並安切該顯到化 平體面包，種有，以看氧 的液背法液這僅後用法用 有於該方懸在上之門無面 原懸使該浮 \本理專亦背 其浮，。的皤基處用 '察將 持以面成粒接力此使觀能 保用背達細面用如至鏡只 能採圔而料背作被甚微， 並以晶法材該的H，頭箸 圓可醱方硬舆面晶到的布 晶的導種阐向背 «察下分 的目半一有方國導觀光地 遇項理的含線晶半被”勻 理本處害到切體在法燈均 處 來傷碰自導 無霧陷 法 粒的》粒半 是煙缺 本紙張又皮適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装 A 7 __B7_ 五、發明説明（3 ) 後才變成看得見。經過精心擘劃的電子元件，在使用依據 本發明的方法處理遇的半導體晶圓的正面上積合，才能免 除自半導蘐晶画背面上分離的污染顆粒。 本方法的成功乃基於事實上那主要為垂直地指向半導· 體晶圔背面的機械力之作用已被清除，取而代之的是使用 一種主要為導，半導體晶鬮背面切線方向的作用力。與習 知的方法相反，半導體晶鬮背面的傷害完全由於小量的剪 力而産生。造種剪力是由加入其中的浮懸液内含有剛硬材 料細粒由液髏傅送而作用於半導匾晶圓背面的平面上。因 此該半導體晶鬮背面上的傷害僅限於一種機械應力作用所 産生，它不會在表面上有宏觀的破壞伴隨而生。 該_硬材料細粒浮懸於液體中（”稠漿M)被施加於半導 體晶圓的背面上有如薄膜，並以切線方向被驅引涵蓋整傾 晶圓表面。發生在浮懸的阐硬材料細粒與半導體晶圚背面 之間的相互作用最好由一種滾輪裝置來施行。這種滾輪装 置包括至少一倨具有彈性表面的滾輪。由於滾輪轉動的结 果，該浮懸的阐硬材料细粒會被傅送到滾翰與半導釀晶圓 的背面之間。與此同時，該半導腥晶圓在幾乎無力狀態下 被输入通遇轉動滾輪。在此過程當中，順著切線方向的剪 刀被浮懸液傳送到阐硬材料細粒上，就在滾輪與半導體晶 圔的背面之間建立起來。因為滾輪具有彈性的表面，所以 若是全無供應浮懸的阐硬材料细粒至半導®晶圓的背面上 的話，滾輪本身不可能造成引發叠層缺陷的傷害。 本發明可以參閲下面兩附圖作較詳盡的説明： 本纸張尺度遑用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填k本頁) 裝. 訂 317011 A7 B7 五、 發明説明（ 4 ) 圏 1 以 示 意 方 式 顯 示 滾 η 裝 置 的 一 種 可 行 範 例 0 此 裝 置 有 兩 層 彼 此 相 對 的 滾 輪 组 > 毎 組 各 有 三 雇 滾 輅 (1 )0 半 導 醴 晶 圓 (2)以其背面（3) 向 上 被 送 入 在 兩 靥 滾 輪 组 之 間 的 間 除 (4 ) 之 中 0 在 液 儒 中 浮 懸 的 ΚΜ m 硬 材 料 細 粒 以 一 種 均 勻 分 布 的 方 式 加 在 上 層 滾 輪 组 上 (如垂直方向箭頭所示） » 並 因 滾 轅 轉 動 之龙 順 流 入 半 導 醱 晶 圓 (2)的背面（ 3) 之 上 0 在 此 狀 態 下 1 該 稠 漿 在 半 導 腥 晶 圓 的 背 面 造 成 一 層 薄 膜 9 由 由 滾 轅 (1)及半導醱晶國（2) 互 相 移 動 的 結 果 9 於 薄 膜 中 建 立 了 基 本 上 與 晶 圓 成 切 線 方 向 的 剪 力 〇 傳 送 該 剪 力 的 阐 硬 材 料 细 粒 最 後 在 半 導 體 晶 圓 的. 背 面 上 産 生 了 期 盼 中 的 能 引 發 叠 層 缺 陷 的 傷 害 0 圖 2 所 示 示 意 圔 代 表 麵 圈 1 中 所 示 該 器 具 中 沿 Α- A線段的截面狀^。 位于間隙（4 ) 中 9 在 半 導 醴 晶 國 背 面 (2 )舆相對的滾輪（1 )之間有- -層由液體（ 5) 與 m 硬 材 料 细 粒 (6)合成的稠漿薄膜。 下 層 滾 輪 組 的 功 能 僅 為 當 作 蓮 输 滾 輪 之 用 » 因 此 > 它 們 可 以 被 例 如 一 條 输 送 帶 所 取 代 0 就 將 半 導 體 晶 圓 的 正 面 覆 置 在 输 送 帶 上 〇 至 少 f 那 組 將 晒 硬 材 料 細 粒 帶 下 至 半 導 體 晶 圓 背 面 的 3 镳 滾 輪 必 須 使 用 彈 性 材 料 來 做 成 表 面 $ 才 能 使 剛 硬 材 料 細 粒 如 所 構 思 的 方 式 發 生 作 用 0 如 此 可 以 避 免 實 質 上 由 滾 η 傳 送 予 刚 硬 材 料 细 粒 垂 直 地 指 向 半 導 醱 晶 圖 背 部 的 Μ 力 〇 所 以 9 滾 轅 材 料 應 該 最 好 由 一 種 揮 性 塑 騵 组 成 » 例 如 聚 氛 基 甲 酸 乙 脂 材 料 (PU) » 或 者 聚 醑 酸 乙 烯 材 料 (PVA)等 0 原 則 上 任 何 有 彈 性 的 塑 材 料 6 都 適 合 使 用 〇 本紙張尺度遑用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 閲 S 背 * 之 注 意 事 項 再 填 本 頁 五、發明説明（5 ) A7 B7 經濟部中央標準局工消費合作社印装 氣好該包 幾以中速用驗調05方鋁浮。勻速。 未 、最。邇 、受數液動作試地1 的二的8X均轉套 均 砂徑用外 乃參懸轉上期速 X 明化外4.量的外 下 化直喜之 度項浮的面初迅 1 發氣額的流回性 鏡 联均受水 密數在輪背過，有 本三入積的 0彈 微 、平特了 。的或粒滾圓透數約 據為加醱升10的 顯 英的為除液積項細時晶好變分 依漿並液公鐘成 的 石粒間是溶面一料動體最參公 ，稠中懸10分製 光 、細之者水位變材蓮導可的方 圓的水浮鐘每烯 燈 鋁。米或合軍改硬輪半法述平 晶用於於分以乙 霧 化成撤，混其地剛滾在方上毎 矽所懸對毎组酸 煙 «而40中的陷统括在粒本變為 醴。浮相以輪贿 在 由合至水劑缺条包，細，改度。 導面^)為液滾聚 面 好混 2 在化層有別度料此地密譜 半表 度懸此用 背 最質以ft活«以特性材因化積之 的其，5 濃浮，以 圓 則物，浮面的可中彈硬。統面陷 厘刻 W 的輪包。晶 粒類間是界成而數的阐等条位缺‘公蝕 粒中滾面厘體 細該之好和造故參面的等以單層25以h 細間層表公導 料或米最劑屈，些表懸短是的叠 理 ，時上的 3半 材成黴粒助方制這輪浮長就陷值 處 液理部輪為的 硬做50細懸本控。滾讓間，缺δ1@示¥溶處全滾徑過 剛類II料浮用的度，及時善靥10: „所纟的的在。直理 Jr! *ιπ^ 該之21材些採數密度以理完叠 X 例 圈丨劑秒布動的處 貉在硬一 參變濃，處以到 1 施 如粒助10分轉轅 化是 ® 含 項改的度的予節到實 法細懸在地來滾 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） i' 經濟部中央梂準局負工消费合作社印簟 317011 a7 B7五、發明説明（6 ) 害 1 傷分 械公 機方 的平 顯毎 明為 何度 任密 示有 顯出 現觖 則層 試叠 澜發 陷引 缺的 層布 叠分 的勻 行均 隹 约 5 後10 随

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Claims (1)

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