TW305923B - - Google Patents

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TW305923B TW084113824A TW84113824A TW305923B TW 305923 B TW305923 B TW 305923B TW 084113824 A TW084113824 A TW 084113824A TW 84113824 A TW84113824 A TW 84113824A TW 305923 B TW305923 B TW 305923B
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/14Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
    • F27B9/20Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098Apparatus for thermal treatment

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Description

A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 五、發明説明(1 ) 1 1 技 術 領 域 1 I 本 發 明 有 蘭 適 用 於 烘 焙 板 狀 子 組 件 諸 如 » LCD(液晶 1 I 顯示器)面板, 稹豔霣路板, 以及半導匾基Μ的烘焙爐。 /«-V 請 1 1 發 明 背 景 先 閱 讀 1 f I 習 用 工 業 用 烘 焙 爐 典 型 地 係 在 其 前 m 於 狡 鍵 上 設 有 雙 背 1 I 之 1· 扇 門 以 便 打 開 此 門 就 能 出 入 爐 内 的 所 有 部 分 % 而製品諸 注 意 古 1 如 » LCD (液晶顯示器 )面板, 稹體電路板, 以 及 半 導 體 基 事 項 再 1 Η 可 經 由 此 門 送 •入 及 送 出 爐 〇 然 而 $ 每 次 打 開 門 時 t 爐 填 寫 本 頁 ^ 1 内 的 溫 度 都 會 降 低 很 多 f 會 使 能 量 大 大 地 流 失 〇 而 且 • 1 1 , 此 溫 度 的 變 化 會 嚴 重 地 影 m 烘 焙 程 序 〇 1 1 發 明 概 要 1 I 鑒 於 先 -J-A. 刖 技 術 的 這 種 問 題 1 本 發 明 主 要 巨 的 偽 提 供 在 1 訂 製 品 送 入 及 送 出 爐 時 不 會 有 任 何 巨 大 能 量 損 失 的 烘 焙 鳒。 1 1 本 發 明 第 二 i 的 提 供 能 維 持 爐 内 溫 度 於 比 較 固 定 的 1 1 準 位 的 烘 焙 爐 〇 1 I 本 發 明 第 三 巨 的 像 提 供 適 用 於 高 效 率 地 烘 焙 眾 多 製 品 而 能 提 供 高 生 産 董 的 烘 焙 爐 〇 1 本 發 明 第 四 i 的 偽 提 供 適 用 於 高 效 率 烘 焙 眾 多 製 品 而 1 能 量 消 耗 最 少 的 烘 焙 爐 〇 1 I 依 本 發 明 的 作 法 t 這 些 百 的 能 以 提 供 用 來 烘 焙 板 狀 製 1 1 1 品 的 烘 焙 爐 來 速 成 > 包 含 : 界 定 上 表 面 的 基 架 » 支 持 於 1 1 基 架 的 上 表 面 上 而 具 備 供 出 入 的 開 放 前 端 的 爐 本 體 關 1 閉 爐 本 醱 的 開 放 前 端 而 配 置 於 嫌 本 體 上 以 便 能 沿 箸 爐 本 1 1 - 3 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4規格(210X297公釐) A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 五、發明説明(工) 1 1 腥 的 前 端 垂 直 地 移 動 的 遮 播 門 t 遮 播 門 裏 两 設 著 尺 寸 足 1 I 可 使 各 裂 品 通 遇 的 長 孔 放 置 於 m 本 齷 内 並 具 備 多 數 m 1 I 擱 板 而 當 遮 播 門 位 於 對 應 垂 直 位 置 時 各 钃 板 會 對 準 長 孔 <0—V 請 1 1 I 的 架 子 用 來 垂 直 地 移 動 遮 播 門 的 致 動 裝 置 • 以 及 將 裂 先 閲 讀 1 £ 經 由 長 孔 送 入 各 擱 板 9 並 將 製 品 經 由 長 孔 從 各 撋 板 取 背 1 1 之 1 出 的 送 入 / 取 出 裝 置 〇 1 事 如 此 $ 爐 本 體 的 出 入 開 Ρ 的 面 稹 即 至 少 化 * 因 此 » 項 再 1 I 能 量 的 損 失 即 變 為 最 少 〇 再 者 $ 爐 本 鎌 的 内 部 溫 度 的 不 4 % 本 1 at 利 的 起 伏 也 變 為 最 小 〇 因 此 1 即 使 製 品 不 斷 地 送 入 及 送 頁 1 1 出 Μ 也 能 速 成 理 想 的 烘 焙 效 果 〇 1 I 依 本 發 明 的 較 優 實 施 例 的 作 法 • 該 送 入 / 取 出 裝 置 偽 1 1 包 含 放 置 於 遮 播 門 前 方 的 操 作 臂 9 用 來 支 持 新 的 未 加 工 1 訂 製 品 的 輸 入 抬 * 以 及 用 來 支 持 已 加 工 製 m 的 输 出 枱 〇 大 1 1 致上操作臂包含能垂直移動被支持於基架上的基端 参 以 1 I 及 設 置 於 操 作 臂 中 間 部 分 的 中 間 期 節 接 頭 • » 而 送 入 / 取 1 I 出 装 置 更 包 含 可 樞 轉 地 相 連 於 操 作 臂 白 由 端 的 操 作 手 〇 1 迻 以 此 配 置 簡 單 及 經 濟 而 有 效 率 地 m 動 製 品 〇 尤 其 適 酋 1 地 安 排 製 品 在 爐 裏 的 時 間 表 1 就 能 使 該 爐 經 常 充 滿 製 品 1 9 以 有 效 地 使 用 該 爐 〇 1 I 圓 式 說 明 1 1 現 參 閲 附 鼷 說 明 本 發 明 於 下 〇 1 1 匾 1 傜 本 發 明 烘 焙 爐 的 較 優 資 施 例 之 正 面 晒 ; 1 國 2 偽 圖 1 烘 焙 爐 的 部 4 分 破 斷 平 面 國 1 1 1 3059^3 A7 B7 五、發明説明(5 ) _3偽圖1烘焙爐的部分破撕側面醒: 圖4偽圖1烘焐爐的部分破斷側面圓更詳細地鍮示遮 播門; 圈5傺示遮播門的期(面斷面圃;以及 圈6你正面斷面圈示爐内部。 較佳實施例詳述 圖1所示的烘焐tt包含:基架1,以及正中地放置於 基架1上表面上的爐本醱2。爐本體2具備一如後述之 出入開口於前端,而在内部提供具備用來支持從出入開 口送入之製品的眾多擱板的架子3 。架子3各擱板包含 用來支持各製品二側緣的一對側突縐3a(圖6),而附著 於侧突緣的架子3侧板提供用於使熱空氣在爐裏自由循 琛的開口。 如圖6所示,爐本讎2内提供用來産生熱氣的鎧裝加 熱器A,高效率撖粒空氣過濾器B,以及多葉送風機C, 被鎧裝加熱器A所加熱的空氣通過高效率撤粒空氣過濾 器B而沖到收容於架子3的製品上。然後,熱空氣即被 抽入多葉送風機C褢,而再沿著上述通路循琛。在圖3 裏,D字代表多葉送風機C所用的驅動馬逹。 爐本體2前端偽由放置於開放的爐本體2前端以垂直 方式移動的遮擂門4所關閉。遮擂門4設有尺寸足以讓 至少一傾製品通過的橫向細長切口或橫向细長長孔5。 長孔5像提供於遮播門4上使當遮播門4在最高位置時 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4規格(210X297公釐) 1 龙 訂 線( (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 :气) 1 1 與 架 子 3 的 最 离 擱 板 一 致 , 而 當 遮 播 門 4 在 最 低 位 置 時 1 I 與 架 子 3 的 最 低 撕 板 — 致 的 位 置 〇 « 1 I 遮 播 門 4 的 垂 直 移 動 由 包 含 如 圔 3 及 4 所 示 電 動 機 6 y—v 請 1 1 1 » 承 接 得 能 依 驅 動 馬 達 6 的 轉 向 而 前 後 移 動 的 it 動 器 7 先 閲 1 I I 1 以 及 一 端 可 樞 轉 地 相 連 於 遮 播 門 4 的 下端 而 另 一 端 相 背 1 I 之 1 連 於 滑 動 器 7 的 連 桿 8 所 作 用 〇 電 動 機 6 % 控 制 遮 播 門 1 事 4 能 步 進 地 垂 直 移 動 而 長 孔 5 能 在 每 一 連 鑛 步 琢 與 架 子 項 再. 1 填 1 3 的 各 個 擱 板 致 〇 寫 本 裝 參 閲 IbH 圖 1 及 2, 號碼1 a及lb傜分別表示對稱地配置於 頁 ·>〆 1 1 爐 本 體 2 前 端 兩 邊 的 輸 入 抬 以 及 输 出 枱 〇 該 等 枱 1 a 及 lb 1 | 偽 承 接 以 放 置 製 品 於 桌 上 » 輸 入 枱 1 a 傜支持即將被加 1 | X 的 各 製 品 > 而 輸 出 枱 lb則 支 持 已 加 工 的製 品 〇 數 字 9 1 訂 1 表 示 用 來 從 輸 入 枱 1 a 摘 取 各 製 品 並 將 它 放 置 在 提 供 於 爐 1 1 本 醱 2 裏 的 架 子 3 的 擱 板 之 一 上 的 送 入 / 送 出 臂 〇 此 臂 1 1 9 也 用 來 經 由 長 孔 9 從 架 子 3 的 相 闢 的 擱 板 摘 取 各 已 加 1 I 工 製 品 並 將 它 放 置 於 輸 出 果 1 b上 〇 此 臂 9 可 包 含 適 當 的 線 習 用 機 器 人 臂 或 此 類 東 西 〇 1 較 明 確 地 說 « 該 臂 9 於 其 中 黏 具 備 榴 _ 臑 節 接 頭 1 9 a t 而 手 9 b則 經 由 另 一 樞 軸 關 節 接 頭 附 著 於 臂 的 白 由 端 1 » 使 手 9b能 繞 著 瞀 9 的 基 端 9 c 旋 轉 1 也 能 徑 向 伸 向 及 縮 1 1 1 離 臂 9 的 基 端 9c • 如 圈 2 所 示 〇 甚 而 • 臂 9 的 基 端 9c 能 1 1 被 連 接 於 基 架 1 的 致 動 機 構 9d而 垂 直 地 移 動 t 因 此 9 當 i 遮 擋 門 4 垂 直 移 動 時 手 9b能 6 - 在 各 垂 直 位 置 對 準 長 孔 5c 1 I 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS )八4規格(210X297公釐) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(s) 输出枱lb偽從上面由被軍10所覆蓋以便將冷卻空氣吹 到放置於输出枱lb上的已知加工製品上。一對管道11向 输出枱lb的前與後開口以便抽吸被输出枱lb上已加工製 品所加熱的空氣,因此,熱空氣不會不當地加熱工作匾。 各掴別地提供有閥的進氣管道12和排氣管道13僳與爐本 % 體的内部連通,因此,藉適當操作這些閥就能調節爐本 體的内部溫度。 現就此爐条統·的操作說明於下。 參閲6,爐内空氣像由m流通過鎧裝加熱器a而加熱 ,,而已加熱的空氣即靠著多葉送風機c經由高效率撖粒 空氣過濾器被引向架子。如此放置於架子的擱板裏的製 品W邸被加熱。己加熱的空氣即在爐内循環,如圖6中 以箭頭所指示。 製品如下所述送入爐本體中。開始時,遮播門4僳放 置於最低位置。很快地會瞭解,以遮擋門4在最高位置 條件下開始也是可行的。不過,為了便於說明,即假設 開始時遮指門4是在最低位置。遮擋門4的長孔5俗對 準架子3的最低擱板《因此,臂9是被用來將放置於輸 入枱la上的製品0上來放到手9b的上表面,而如此地被 提上來的製品卽被送入長孔5中,然後放到架子3的最 低擱板上。 然後,遮擋門4邸被提上來逹相當於架子3的第一與 第二擱板之間的距離的一段行程,並重複臂9的同樣動 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) I 身 訂 線( (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 305323 A7 B7 五、發明説明(右) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 作以便第二製品從輪入枱la被提上來放到架子3的第二 最低搁板上。此程序重複直到遮播門4被提上來到最髙 位置以使長孔5對準架子3的最高«板,並使製品得以 被放置到最高拥板上。 如圃3與4所示遮播門4的垂直移動是以霣動檐6使 滑動器7前進以舉起具備自由端可植轉地附著於遮播門 4下端的連桿8來促成。 從嫌本體2取出製品的工作能以倒行上述程序來逢成 。更明確地言之,當將裂品送入爐本《2的工作完畢時 ,遮播門4的長孔5是在最离位置,在此狀態中開始取 出製品係可行的。但是會造成製品加工時間不均。所以 ,最好是先將遮指門4降下到最低位置,然後依送入顧 序取出製品。各籲製品使用手9b從架子3的對匾钃板目 起,並放置於輪出枱lb上。然後以供自冷卻單10的空氣 來冷卻製品。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 此外,遮播門4即被提上來逹相當於架子3鄰接二拥 板之間的距離的行程,並重複上述程序。當遮擋門4最 後被提上來到最离位置時,卽取出在架子3最离擱板裏 的製品,取出製品的步《即完成。 依上述程序,下一批製品只能在本批製品己完全從嫌 本醱2取出之後才能送入爐本《2。所以,爐本醱2内部 的一部是空著逹相當一段時間。基於此一認知,於架子 3的各拥板裹的製品被取出之後随即將新製品送入對應 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 五、發明説明(1 ) A7 B7 會應鎗 將。因意取佔 精改 板供未 而化,滿與所 ,修 擱 源也 ,小了 成入品 是與 有來中 ‘化最化達.送製 但更 所 C 部少著小能來被 ,變 的 了外以 至跟最也用全 的的 子效從地 即即地匾及完 明種。 架有置樣 口失樣本以常 說種述 ,最裝同 開損同爐門經 以以所 而達送即。入置也出擋部 加加之 從爐輸品出出能化取遮内 例可中 0用當裂取的的變與化爐。施明圍 II使適的抬醱時之入活使鲅實發範 用能的工出本體度送地能用優本利 使就示加輪嫌本溫品笛就使較,專 地此繪已從,爐部製適,式據解誚 效如未而置明出·«將著臂方依理申 有,中,裝發取的地藉的的已會的 更滿圖上送本及體斷。關率明將帶 能佔以la输依以本不果相效發者附 就金品枱當-入爐使效的高本術出 板完製入適此送,即焙品而然技超 攧常新輸的如品時,烘製,雖此不 的經 到示 製同此的出滿 於而 ^訂 务叫 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2丨OX297公釐)

Claims (1)

  1. A8 Βδ C8 D8 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 第 84 1 1 3824號 厂 一 種 用 來 烘 焙 板 狀 工 作 件 之 烘 焙 瀘 J 1 1 專 利 案 (85年 11月4曰 修 正) 1 1 杰申請 專 利範 圍 : 請 1 先 1 . 一 種 用 來 烘 焙 板 狀 工 作 件 之 烘 焙 爐 其 特 擻 包 含 % « 閲 讀 背 1 界 定 上 表 面 之 —* 基 架 > 之 1 支 持 於 該 基 架 之 該 上 表 面 上 » 且 具 備 容 許 出 入 其 内 注 意 事 之 開 放 JkU. 刖 端 之 一 爐 本 體 > 項 再 1 唪 1 M- 關 閉 該 & 本 體 之 該 開 放 前 端 t 並 配 置 於 該 爐 本 醱 上 窝 本 頁 « 以 便 能 沿 著 該 鲅 本 醱 之 該 前 端 垂 直 移 動 之 一 遮 播 門 1 1 1 該 遮 檔 門 裹 界 定 足 以 使 各 製 品 通 過 之 水 平 長 孔 之 尺 寸; 1 1 放 置 於 爐 本 醱 内 » 並 提 供 多 數 個 拥 板 之 一 架 子 , 當 1 1 該 遮 檔 門 置 於 一 對 應 之 垂 直 位 置 時 9 各 擱 板 會 對 準 該 訂 1 長 孔 1 1 I 用 來 垂 直 移 動 該 遮 播 門 之 致 動 裝 置 以 及 1 1 用 來 將 製 品 經 由 該 長 孔 送 入 各 該 拥 板 » 並 經 由 該 長 1 1 孔 從 各 該 擱 板 取 出 製 品 之 送 人 / 取 出 裝 置 〇 線 2 .如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 烘 焙 壚 » 其 中 該 送 入 / 取 出 1 I 裝 置 包 含 * — 置 於 該 遮 擋 門 刖 之 操 作 臂 > 一 支 持 新 而 1 1 未 加 工 製 品 之 輸 入 枱 * 以 及 一 用 來 支 持 已 加 工 製 品 之 1 1 輸 出 抬 Ο 1 I 3 .如 申 請 專 利 範 圍 第 2 項 之 烘 焙 爐 其 中 9 該 操 作 臂 包 1 1 含 ; 以 垂 直 移動 方 式 支 持 於 該 基 架 上 之 一 基 端 » 以 及 1 • I 設 置 於 該 操 作 臂 之 中 間 -1 部 分 之 中 間 關 節 接 頭 1 而 該 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4规格(210Χ297公釐) 六、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 自 枱 之 出 暂 输 作 .該 操 與 該 含 於 包 著 尚 附 , 地 爐 轉 焙 樞 烘 可 之 含 項 包 2 尚 第 置 。團 裝手範 出作利 取操專 \ 之請 入端申 送由如 氣 之 品 裂 各 之 上 枱 出 输 該 於 置 放 卻 冷 以 置 放 地 〇 合置 結裝 相冷 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線γ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐)
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