TW273068B - - Google Patents
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- TW
- Taiwan
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Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5284209A JP3045443B2 (ja) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | プラズマ処理装置 |
JP5284210A JP3045444B2 (ja) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | プラズマ処理装置およびその制御方法 |
JP28420693A JP3294690B2 (ja) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | プラズマエッチング装置の制御方法 |
JP33876493A JP3172759B2 (ja) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP6023992A JP3043215B2 (ja) | 1994-02-22 | 1994-02-22 | プラズマ発生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW273068B true TW273068B (zh) | 1996-03-21 |
Family
ID=51397150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW83109725A TW273068B (zh) | 1993-10-20 | 1994-10-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
TW (1) | TW273068B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI817229B (zh) * | 2020-11-23 | 2023-10-01 | 大陸商中微半導體設備(上海)股份有限公司 | 下電極元件、等離子體處理裝置和更換聚焦環的方法 |
-
1994
- 1994-10-20 TW TW83109725A patent/TW273068B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI817229B (zh) * | 2020-11-23 | 2023-10-01 | 大陸商中微半導體設備(上海)股份有限公司 | 下電極元件、等離子體處理裝置和更換聚焦環的方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MK4A | Expiration of patent term of an invention patent |