TW209330B - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- TW209330B TW209330B TW081104997A TW81104997A TW209330B TW 209330 B TW209330 B TW 209330B TW 081104997 A TW081104997 A TW 081104997A TW 81104997 A TW81104997 A TW 81104997A TW 209330 B TW209330 B TW 209330B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- temperature
- control
- lamp
- output
- controlled
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/27—Control of temperature characterised by the use of electric means with sensing element responsive to radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/0033—Heating devices using lamps
- H05B3/0038—Heating devices using lamps for industrial applications
- H05B3/0047—Heating devices using lamps for industrial applications for semiconductor manufacture
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Description
209330 A6 B6 五、發明説明(1 ) 〔發明之背景] (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明偽鼷於燈退火爐之溫度控制裝置。 燈退火鱸傜將放入例如石英製處理管内之被加熱物以 鹵素燈之光照射加熱者,用於半導體晶圄之退火等。 以退火艟實行晶圖之退火時,需要控制晶圔之溫度使 之與預先設定之目標溫度控制圖型一致。第5圖偽表示 晶圖退火時之目標溫度控制圖型之一例。依照此例,晶 圖之溫度在加熱開始後約8秒鐘就達到目標溫度1000C 之穩定溫度領域,加熱開始後約30秒鐘時施行徐冷。施 行此種晶画退火時,在定溫領域特別要求士 以内之高 精度之溫度控制。 符合如上述目標溫度控制圖型之溫度控制方法有根據 實驗而依照預先設定之燈輸出控制圔型來控制燈輸出之 開琿控制,和一邊以溫度感測器檢測晶圃之溫度,一面 控制燈输出使所測定之溫度與目樣溫度控制圖型一致之 閉琿控制.但是迪些方法均有如下之間題。 經濟部中央櫟準局R工消费合作社印製 就開琿控制而言,晶圖之溫度雖取決於來自燈之能董 ,但若處理管或處理瓦斯之初期溫度,晶圓之初期溫度 或吸收率等之條件不相同時,即使施加之能置相同,溫 度上升之情況亦會有所不同,因此無法施行使晶國之溫 度符合目榡溫度控制型之再現性良好的控制。 另一方面.就閉琿控制而言•猫要在無時間延®狀態 下檢測涵蓋於廣範的晶圓®度,但以習用之如熱霣偶 -3 - 本紙張尺度遘用中國國家襻準(CNS)甲4现格(210 X 297公釐) 209330 A6 B6 五、發明説明(2 ) 或輻射溫度計等之溫度感測器*則雞以施行此種檢測, 無法將晶圖之溫度控制以符合目標溫度控制圖型。詳言 之,晶圓之退火時,晶圖之溫度在短時間就上升,但熱電 偶升溫到與晶圓熱平衡之狀態需要較長時間,故在熱電 偶未達與晶圖熱平衡之前,晶圖溫度持獷領先上升。由 於熱電偶對晶圓之溫度變化,在時間上之遲延量大,所 以難使實際之晶圖溫度與目標溫度控制圖型一致。以輻 射溫度計而言,雖然時間遲延小,但測置範圍有限度, 無法檢測300 以下之溫度。因此使用輻射溫度施行閉 環控制也困難。 為了解決此問題,有人提供一種燈退火爐之溫度控制 裝置(參閲特開昭6 2 -98 7 2號公報),其傜使用輻射溫度 請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 經濟部中央標準局SC工消費合作杜印製 預上控 溫上射 之檢目 丨 依到度 射度輻 時之與at 行達溫 輻溫達制時 ,νί 實在樣 達述到 控此時 4 前 ,目 未所當 環果大 Ρ-之制與 在上 ,閉如差at 圍控度 ,如此為 。相St 範琿溫 時 ,因換同 度y-度開測 置中 。切不梯a(J 溫之檢 裝制同制而之。 測出使 制控不 控態型(S 可輸出 控琛 而琿狀圖差 計燈輸 度開等開之制偏 度制燈。溫 之態自 圚控態 溫控制制之 前狀而晶度定 射來控控嫌 域之域依溫生 賴型行環火領圖領也檫産 逵圖 施閉退 度晶度 度目間 未制後的燈 溫依 溫梯與 之 在控圍致種 之會測之度度 便出範一此測 況可度梯溫 以 輸度型 用可倩 計溫度 達 , 燈溫圖採計 之度測 溫到 計定述制 度升 溫檢 測標 -ΤΓ· 本紙張尺度適用中國醺家標準(CNS)甲4规格(210 X 297 X* )
A6 BC 209330 五、發明説明(3 ) ,無法達成高精度之控制。 〔發明之目的] 本發明之目的偽提供消除定態偏差,以提高控制精度 之燈退火爐之溫度控制裝置。 依據本發明,燈退火爐之溫度控制裝置具備用以加熱 待加熱物之煊群,檢測待加熱物之溫度之輻射溫度計, 及依據輻射溫度計之輸出控制燈輸出之燈輸出控制裝置 ,燈輸出控制裝置偽預先存有目標溫度控制圖型,並於 輻射溫度計之輸出未達輻射溫度計可測之最低溫度以上 之預定閉琛控制溫度範圍以前,施行依預定燈輸出控制 圖型控制燈輸出之開環控制,當輻射溫度計之輸出到逹 上述閉琿控制溫度範圍後,則將輻射溫度計所測溫度之 梯度與目標溫度控制圖型之梯度加以比較,若前者與後 者之梯度比,較所定之控制切換基準值小時,則繼鑣施 行開環控制,若上述梯度比達至控制切換基準值以上, 則進行控制燈輸出使_定溫度和目標溫度控制圖型一致 之閉環控制。 輻射溫度計之輸出雖己到達輻射溫度計可測之最低溫 度以上之閉琿控制可行之溫度範圍,但倘若在輻射溫度 計所测溫度之梯度和目標溫度控制圖型之梯度之比,仍 小於控制切換基準值的期間.刖繼纗施行依預定燈輸出 控制圏型控制燈輪出之開琿控制,待比梯度之比大於控 制切換基準值後才施行控制燈蝓出使測量溫度與目檩溫 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)甲4規_格(210 X M7公货) ---------------?------——裝l·-----.玎----線 v請先閲讀背面之注意項再填寫本頁) 經濟部中央櫟準局S工消费合作杜印製 Α6 時 制 説制控 W控揮 #度閉 五 為之 換度 切梯 制型 控圖 琿制 開控 自 度 , 溫 此標 因目 , 和 制 度 控梯 琛度 閉溫 之測 致檢 } 1 之 4 , 溫度溫控 小 之溫射環 變 行榡輻閉 差 可 目要行 偏 制和只進 態 控度 ,則 定 琛梯值, 之 閉之準時 度 逹 度基度 溫 到溫換溫 標 C 出測切速 目制輸所制到 達控之計控檫 到度計度於目 對溫度 溫小之 , 之溫射比定 此度射輻之預 因精輻使度至 . 高當即 梯逹 小成 , ,之出 變達是後型輸 差可好圍圖之 之而最範制計 比 從 度控度 制 之 置 裝 制 控 度 溫 之 〇 爐 圖火 面退 剖燈 縱之 之明 1 爐發 明火本 說退示 單燈表 簡偽傲 之圖圖 式 1 2 圖第第 圖 塊 方 之 置 裝 算 演 之 置 裝 制 控 度 。溫 圖偽 塊圖 方 3 之第 例 圖 程 〇 流圖 之線 例之 1 例 之 一 作之 動型 腦圖 鼋制 撤控 置度 裝溫 箄標 演目 示示 表表 俱偽 圖圖 4 5 第第 例 施 實 之 3 明 明發 說本 細明 詳說 之式 例圖 施閲 實參 佳 面 較 r (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝I- 訂 .線. 經濟部中央棣準局wr工消費合作杜印製 例 管 理 處 1 製 之英 部石 要之 主狀 之筒 爐角 火平 退偏 燈有 示具 表係 偽燼 圖火 1 退 第燈 蓋數具 之多於 绱置容 1 配 收 另下体 , 上 ) .) ΙΛ 2 之 { /V ) 3 1 燈 口 (. 些 给管 — 虐 供理 斯 ®)o 瓦在(6 有 α 群 設m 0 部π(成 端 構 一 ®以 排 Γ), (1瓦(5 管有燈 理設 素 0)0 在(3之 本紙張尺度遇用中國國家標準(CNS) f 4規格(210 X四7公釐)
A6 經濟部中央標爭局8工消費合作杜印K B6_ Urn 五、發明説明(5 ) 有反射板(7 )之燈室(8 )。半導體晶圖(9 )俱配置於被收 容在遘理管(ί >内之中央部之石英製承受器(1 0 )上,在 此狀態下藉燈(5 )之照射加熱晶圖(9 )。 下側燈室(8 )之下面中央部經由裝設器具(1 ])裝設輻 射溫度計(1 2 ),在裝設器具(1 1 )和處理管(1 )之下壁中 央部之間設有上下穿過燈室(3 )之中空管(1 3 ) η輻射溫 度計(12)接受自晶圓(9)通過中空営(13)而來之輻射光 ,輸出對應於晶圓(9 )溫度之信號,ϋ以檢測晶圓(9 > 之溫度。 第2圖傜上述燈退火爐之溫度控制裝置之構成之一例 溫度控制裝置僳由燈群(6 )及輻射溫度計(1 2 )以及燈 輸出控制裝置(:1 4 )所構成。 燈輸出控制裝置(1 4 )對燈群(6 )輸出之控制方式如下 。加熱後,在輻射溫度計(1 2 )之輸出未逹預定之閉環控 制可行溫度範圍之前,施行依預定燈輸出圖型控制燈群 (6 >輸出之開環控制。當到逹閉環控制可行溫度範圍時 ,則求出輻射溫度計(1 2 >所測溫度之梯度(檢測溫度梯 度)和目標溫度控制圖型之梯度(目標溫度梯度)之tb (溫 度梯度比)。在溫度梯度比小於預定控制切換基準值之 期間,繼鐮拖行開琛控制,溫度梯度bb到達控制切換基 灌比到逹控制切換基準值以上時,則施Π閉课控制,以 控制燈輪出,使測量溫度與目檁溫度控制圖型-·致。 可施行閉琿控制之溫度範圍之下限為用糴射溫度計可 (請先閲讀背面之注意事項再埸寫本頁) -裝. .?r. —線. 衣紙張尺度適用中國國家律準(CNS)甲4規格(210 X 297公货) 經濟部中央櫟準局β工滴费合作杜印製 A6 B6 五、發明説明(6 ) 測之最低溫度以上.例如設定在3 0 0 X:。 開琛控制時之輸出控制圖型,有將燈輸出維持一定者 及,依時間將燈輸出階梯式地變化者等。 燈輸出控制裝置(14)涤由演算裝置(15)及燈驅動裝置 (1 6 )所構成。 演算裝置U 5 )偽用以施行如上述控制所需之演算及指 令〇 燈驅動裝置(16)偽依據來自演算裝置(15)之指令而控 制燈群(6)之輸出者,例如藉閘流體或雙向三極體控制 燈(5 )之電流。 第3圖傜表示演算装置(15)構成之一例。 演算裝置U 5 )倭由微電腦(1 7 ),放大器(1 8 ) , A / D轉 換器(1 9 ) . D / A轉換器(2 0 ),輸人裝置(2 1 )及顯示裝置 (22 )所構成。 放大器(1 8 )將輻射溫度計U 2 )之輸出放大送至A / D轉 換器(1 9 )。 A / D轉換器U 9 )偽將由放大器(1 8 )所放大之輻射溫度 計(12)輸出予以A/D轉換送至撇霄腦(17)。 D / A轉換器(2 0 >偽將微電腦U 7 )之輪出予以|) / A轉換 送至燈驅動裝置(16)。 輸入装置(2 1 >俱用以施行燈輸出控制圖型,目檩溫度 本紙張又度適用中國國家樣準(CNS)甲4規格(21() X 297公货) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨裝-· 訂. 經濟部中央櫟準局S工消费合作杜印製 A6 B6 五、發明説明(7 ) 控制圖型,控制參數之設定及1擇等。 顯示装置(2 2 >偽用以顯示自輸入裝置(2 )輸入資料時之 狀況或撇霣腦U7)之内部狀態。 徹電腦U 7 )之記憶醱儲存有輸入装置(2 1 )所設定之燈 輪出控制圖型,目檫溫度控制圖型,控制參數等。這些 資料可分別設定多痼,並可利用輸入装置(21)逐一選擇 使用。拥1¾腦U7)偽使用這些資料,依據輻射溫度計 (1 2 )之輸出控制燈驅動裝置(1 6 )。 下面參照第4圖,卽表示演算裝置(17)之動作之流程 圖,説明溫度控制動作之一例。 在演算裝置(15)執行燈輸出圖型,目榡溫度控制圖型 及控制參數等之設定,選擇等之後,按壓加熱開始鈕時 ,則開始進行依循燈輸出控制圖型的開琛控制(步驟1) 。接著讀輻射溫度計之蝓出而檢測晶圖(a)之溫度(步驟 2)觀察其是否已進入可閉環控制之溫度範圍(300它以上) (步翳 3 )。在步驟3若未到達可閉琛控制溫度範圍,則 進入步驟4以執行讓預定控制週期經過之定時器處理後 ,回到步驟2。如此一邊按控制週期檢測溫度 > —邊進行 開環控制,直到所檢測之溫度達至可施行閉课控制之溫 度範圍為止。 在步驟3所測溫度到逵可閉琿控制溫度範圍時.則進 入步》5 ,«察溫度是否到逹目檫溫度(如1 000 t:)之80% 以上。在步驟5若未到連目棟到速溫度之80%以上時. 衣紙張尺度適用中國國家樣準(CNS)甲4规格(21(J X 297公爹) ---------------^-------^—裝------訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局8工消费合作社印« A6 B(; 五、發明説明(8 > 進入步驟6 .而從檢測溫度梯度和目榡梯度求溫度梯度 比。檢測溫度梯度可由測得溫度求得。目標溫度梯度可 藉從目標溫度控制匾型中求出最接近檢測溫度之部份的 梯度之方式而求得。溫度梯度比乃為此檢测溫梯度和目 標溫度梯度之比<3 接著,觀察溫度梯度比是否在預定控制切換基準值( 如0.9)以上(步驟7)。在步驟7若非控制切換基準值以上 ,則進人步驟4以行讓控制週期經過之定時器處理後, 回到步驟 2。如此,卽使已到達可閉路控制溫度範圍. 亦仍一邊按控制週期檢测溫度,一遴進行開琛控制,直 至溫度梯度比達到控制切換基準值時為止。 在步驟7若溫度梯度比逵至控制切換基準值以上時. 則進入步驟8,而施行如下的閉環控制。首先,從儲存在 記億體之目標溫度控制圖型之資料中,找出最接近於其 時之檢測溫度之地點,以此做為閉琿控制之起始溫度, 從此以後施行燈輸出控制,以使檢測溫度與該起始溫度 以後之目標溫度控制圖型一致。此閉琿控制可沿用前述 之恃開昭62 -9 8722號之方式。閉琛控制進行到溫度控制 圖型之终點時刖结束處理。 到逹可閉琿控制溫度範園後,即使溫度梯度比未達控 制切換基準值,只要在步驟5檢測溫度邃目檫到達溫度 之8 0 %以上時.則進入步驟8 ,以行閉琛控制。舉例而言 ,初期之燈輸出少時,有溫度上升之梯度小,而達不到 -10- 本紙張尺度適用中團國家標準(CNS)甲4現格(21<> X 297公货) ---------------C------,--裝.------訂----ί —線 ν請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) CIV S 3 0 可 述 上 如 時 況 倩 此 遇 0 況 情 之 上 以 值 準 基 明替 說切 明和 發制 、控 五 圍制 範控 度環 0 溫開 制之纗 控制繼 琿控仍 閉琛時 為閉小 換可值 切逵準 行已基 逕度換 而溫切 , 測 制 8 檢控 驟使較 步即比 入 ,度 谁述梯 5 上度 撖如溫 步 若 琛梯 閉之 行度 施溫 才测 後檢 上之 以時 值制 準控 基琛 替閉 切為 制換 控切 逵制 到控 fch琿 度開 梯 自 度故 溫 , 至制 迄控 對控 少度 減溫 可之 此度 因楢 , 高 小成 變達 差可 之而 度從 梯, 之差 型褊 圖態 制定 控之 度 度 溫溫 榡達 百到 與標 度目 (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 制。 經濟部中央櫺準局3工消费合作杜印製 半導體晶画之退火時,對熱處理有意義之溫度偽自目 標到逹溫度至目標到達溫度減 (100〜200) °C之範圍, 如以上述實施例而言,最大也在1000〜800 t之範圍。 在1000〜800 X)領域内所發生之溫度變化差對熱處理有 影逛,但在此以下之溫度領域之溫度變化差對熱處理不 會有影缠。在上述實施例中,雖然在進行開琛控制之期 間會依晶圃之狀態等而在溫度變化之狀態上産生差異, 但切換為閉琛控制後即可受循目榡溫度控制圈型之控制 ,因而溫度變化不致發生偏差。由於檢測溫度未逹800 t:以前必定由開琛控制切換為閉琿控制,不致因開環控 制時之溫度變化之差而彩W到熱處理,從而可達成期望 之正確熱處理效果。 -1 1 - 本紙張尺度通用中S®家標準(CNS)甲4现恪(2U) X '297公货)
Claims (1)
- 20 六'申访專刊苑圊 A7 B7 C7 D7 第81104997號「燈退火爐之溫度控制装置」專利案 (8 2年2月修正) 一種燈退火嫌之溫度控制裝置.偽具有用以加熱待加 熱物之燈群,用以檢測待加熱物之溫度的翱射溫度計 ,及根據輻射溫度計之輸出以控制燈輪出之燈输出控 制裝置,該燈輪出控制装置預先記億有目榡溫度控制 圖型,以便在輻射溫度計之输出未逹輻射溫度計測所 經濟祁中央榣準局貝工消费合作杜印製 領開可與者進切標 輻輻度出控 度之制度後鏞制目 當使梯輸琛 溫出控梯與繼控與 .即之之閉 行输琿之者 .該度 中,型計行 可燈閉度前間於溫 其後圖度施 制制述溫於期大測 ,域制溫則 控控上測俾之比檢 置領控射, 琿 而至檢 ,值之使 裝度度輻上 閉型達之較準度出 制溫溫要以 之 圖出計tb基梯輸 。控行標只值 定制輸度以換述燈制 度可目,設 預控之溫加 切上制控溫制與值預 的出計射度制於控琿之控度準之 上輪度輻梯控但行閉項瓌梯基定 以燈溫將之設,施的 1 閉之換而 度循射則型預制則致第 逹度切度 溫依輻 .圖於控, 一 圍出溫制溫 低行於後制小琿後型範輸 _ 控連 最施而域控比開之圖利之檢該到 之, ,領度 之之值制專計計於檫 测前制度 溫度述準控諳度度小目 檢以控溫標梯上基度申溫溫比對 C 能域環行目之行換溫如射射之逹制 本紙ft尺度遘用中國國家樣毕(CNS) T4規格(210x297公釐)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03158495A JP3096743B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | ランプアニール炉の温度制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW209330B true TW209330B (zh) | 1993-07-11 |
Family
ID=15672990
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW081104997A TW209330B (zh) | 1991-06-28 | 1992-06-25 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5332883A (zh) |
EP (1) | EP0520417B1 (zh) |
JP (1) | JP3096743B2 (zh) |
KR (1) | KR100210741B1 (zh) |
DE (1) | DE69213356T2 (zh) |
TW (1) | TW209330B (zh) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2283583B (en) * | 1993-10-15 | 1998-06-24 | Seiko Epson Corp | Temperature control in a fixing device for an image forming apparatus |
US5960158A (en) | 1997-07-11 | 1999-09-28 | Ag Associates | Apparatus and method for filtering light in a thermal processing chamber |
US6064799A (en) * | 1998-04-30 | 2000-05-16 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for controlling the radial temperature gradient of a wafer while ramping the wafer temperature |
US5970214A (en) | 1998-05-14 | 1999-10-19 | Ag Associates | Heating device for semiconductor wafers |
US5930456A (en) | 1998-05-14 | 1999-07-27 | Ag Associates | Heating device for semiconductor wafers |
US6210484B1 (en) | 1998-09-09 | 2001-04-03 | Steag Rtp Systems, Inc. | Heating device containing a multi-lamp cone for heating semiconductor wafers |
US6771895B2 (en) | 1999-01-06 | 2004-08-03 | Mattson Technology, Inc. | Heating device for heating semiconductor wafers in thermal processing chambers |
JP2000286200A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Kokusai Electric Co Ltd | 熱処理方法および熱処理装置 |
KR100432135B1 (ko) * | 2001-06-30 | 2004-05-17 | 동부전자 주식회사 | 급속 열처리 장치 |
US20070179677A1 (en) * | 2003-11-25 | 2007-08-02 | Polymer Innovation, Llc | Self contained bench top enclosure temperature control system |
KR102049814B1 (ko) * | 2018-07-09 | 2019-11-28 | (주)하이비젼시스템 | 램프를 활용한 비접촉식 급속 온도 제어 장치 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3803386A (en) * | 1972-10-13 | 1974-04-09 | Kerdon Corp | Aquarium heater |
US3796858A (en) * | 1972-12-05 | 1974-03-12 | J Cohn | Decorative aquarium heater |
US3890486A (en) * | 1973-05-01 | 1975-06-17 | Equipment Dev Corp | Aquarium-tank heating control |
US3895217A (en) * | 1974-01-14 | 1975-07-15 | Odell Mfg Inc | Thermostatically controlled safety heater for aquariums |
US3896289A (en) * | 1974-11-13 | 1975-07-22 | Renna Edmond F Di | Aquarium water heater |
US4149067A (en) * | 1976-11-15 | 1979-04-10 | Erhard Boettger | Aquarium heater |
US4163145A (en) * | 1978-05-30 | 1979-07-31 | Neff Paul C | Aquarium heater |
US4379220A (en) * | 1979-05-11 | 1983-04-05 | Raychem Corporation | Method of heating liquid |
US4276466A (en) * | 1979-05-11 | 1981-06-30 | Raychem Corporation | Heater with distributed heating element |
FR2474802A1 (fr) * | 1980-01-29 | 1981-07-31 | Gloria Sa | Resistances chauffantes et thermostats pour aquariophilie |
DE3021390C2 (de) * | 1980-06-06 | 1984-06-07 | Eugen Jäger GmbH, 7156 Wüstenrot | Aquarientauchheizkörper |
JPS6298722A (ja) * | 1985-10-25 | 1987-05-08 | Koyo Seiko Co Ltd | 光加熱装置の温度制御装置 |
KR910002596B1 (ko) * | 1985-11-21 | 1991-04-27 | 다이닛뽕 스크린 세이조오 가부시기가이샤 | 온도제어방법 및 그 장치 |
JP2530124B2 (ja) * | 1986-05-12 | 1996-09-04 | 光洋精工株式会社 | ランプアニ−ル炉の温度制御装置 |
JP2729283B2 (ja) * | 1986-05-12 | 1998-03-18 | 光洋精工株式会社 | ランプアニール炉の温度制御装置 |
DE3642181C1 (de) * | 1986-12-10 | 1988-04-14 | Wolf & Co Kg Kurt | Anordnung zum Beeinflussen der Gar- bzw. Kochzeit bei einem Kochgefaess |
KR900008978B1 (ko) * | 1987-01-22 | 1990-12-15 | 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤 | 가열조리장치 |
FR2633481B1 (fr) * | 1988-06-22 | 1996-04-26 | Seb Sa | Procede de regulation thermique d'un appareil chauffant, dispositif pour sa mise en oeuvre et appareil chauffant comportant ce dispositif |
US4889973A (en) * | 1988-10-12 | 1989-12-26 | Farinacci Michael F | Aquarium heater |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP03158495A patent/JP3096743B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-06-24 EP EP92110656A patent/EP0520417B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-06-24 DE DE69213356T patent/DE69213356T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-06-25 TW TW081104997A patent/TW209330B/zh active
- 1992-06-26 KR KR1019920011199A patent/KR100210741B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1992-06-29 US US07/905,433 patent/US5332883A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH055588A (ja) | 1993-01-14 |
EP0520417A1 (en) | 1992-12-30 |
DE69213356T2 (de) | 1997-04-10 |
EP0520417B1 (en) | 1996-09-04 |
US5332883A (en) | 1994-07-26 |
KR100210741B1 (ko) | 1999-07-15 |
KR930001034A (ko) | 1993-01-16 |
DE69213356D1 (de) | 1996-10-10 |
JP3096743B2 (ja) | 2000-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW209330B (zh) | ||
CA2098867A1 (en) | Method and Apparatus for Measuring Fluid Thermal Conductivity | |
CN105675142A (zh) | 一种基于三腔黑体辐射源的红外耳温计校准装置及方法 | |
HUP0102222A2 (hu) | Készülék és eljárás éghető gázok fűtőenergia tartalmának közvetlen méréséhez | |
JPS61130834A (ja) | 光加熱装置における温度測定方法 | |
JP2000088247A (ja) | 取鍋の予熱表示システム | |
JPS6111366B2 (zh) | ||
US2788175A (en) | Furnace control system | |
JPH01163552A (ja) | 浴槽給湯装置の時間表示方法 | |
JPH0367137A (ja) | 表面温度制御装置 | |
KR100689153B1 (ko) | 가열로에서의 슬라브 온도 예측 방법. | |
JPS61190243A (ja) | 電気温水器 | |
CN210052066U (zh) | 一种应用于顺磁氧传感器的恒温控制装置 | |
JPH0239244Y2 (zh) | ||
CN101251438B (zh) | 一种测试全玻璃真空太阳集热管半球发射比的方法 | |
Davis | The pyrolysis of methyl chlorocarbonate | |
JPH04177049A (ja) | 貯湯式温水器 | |
JPS5855742A (ja) | ダイレクトカロリ−メ−タ | |
JPS6222089B2 (zh) | ||
SU374532A1 (ru) | ВСЕСОЮЗНАЯ п;.11ктно-тгкни«{г ;• ^й | |
DE50112114D1 (de) | Gaszähler | |
JPH04353339A (ja) | 浴槽装置 | |
JPS5589464A (en) | Diffusion furnace temperature controller | |
JPS55128177A (en) | Measurement of thermofluorescent ray | |
Li et al. | Calorimetric measurement of epsilon-> gamma transformation on Fe-Mn-Si-Cr-Ni shape memory alloy |