TW202429092A - 電性接觸子、電性連接構造及電性連接裝置 - Google Patents

Abstract

[課題] 可抑制接觸時特定的臂的磨損，可在縮短電性接觸子的全長而維持頻率特性的狀況下，調整臂的撓曲量。 [解決手段] 本發明係垂直型的電性接觸子，其特徵為：具備：第1基部，其係具有對被檢查體的電極端子作電性接觸的第1接觸部；第2基部，其係具有對電極部作電性接觸的第2接觸部；及複數彈性構件，其係包含使與第1基部與第2基部的各個相連結的板狀構件作分歧的複數臂部，朝第1基部及第2基部的厚度方向排列設有複數彈性構件的各個。

Description

電性接觸子、電性連接構造及電性連接裝置

本發明係關於電性接觸子、電性連接構造及電性連接裝置，可適用於例如被使用在形成在晶圓上的各半導體積體電路的通電試驗等電性檢查的電性連接裝置者。

在晶圓上的各半導體積體電路(被檢查體)的電性檢查中，係使用在測試頭安裝有具有複數探針的探針卡(電性連接裝置)的檢查裝置(測試器(tester))。檢查時，使探針卡的探針與半導體積體電路的電極端子作電性接觸。接著，測試器本體部透過探針對半導體積體電路供給電性訊號，而且測試器本體部透過探針解析來自半導體積體電路的電性訊號，藉此進行電性檢查。

在專利文獻1中係揭示被裝載在垂直型探針卡的垂直型探針。垂直型探針係具備：第1接觸部分、第2接觸部分、及分歧部分，分歧部分具備環形狀的穿孔。垂直型探針被安置在探針卡時，在第1探針基板的第1貫穿孔插入垂直型探針的第1接觸部分與分歧部分，在第1探針基板與第2探針基板之間保持分歧部分。如上所示，因具有環形狀的穿孔的分歧部分被保持在探針卡本體內，接觸時無偏置，垂直型探針可發揮彈性。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]美國專利公開2019/0212367號公報

(發明所欲解決之問題)

但是，近年來，探針窄間距化的期望不斷提高，處於探針基板中收容垂直型探針的貫穿孔(若為上述之例為第1探針基板的第1貫穿孔)的直徑變小的傾向。此外，期望縮短探針的全長，俾以改善透過垂直型探針被傳達的檢查訊號的頻率特性而使檢查裝置的檢查精度提升。

但是，有依形成探針時的加工誤差，垂直型探針的分歧部分中的2支臂的各個的寬幅不同的情形。如此一來，接觸時，任一臂大幅撓曲，強力抵碰到貫穿孔的壁面，可能發生臂磨損的問題。

此外，為了將臂的撓曲量調整較少，亦考慮控制臂中的荷重。但是，由於處於縮短垂直探針的全長的傾向，因此可控制荷重的部位少，難以調整撓曲量。另一方面，若加長垂直型探針的全長，而新設置可控制荷重的部位時，亦可能發生頻率特性降低的問題。

因此，圖求可抑制接觸時特定的臂的磨損，可在縮短電性接觸子的全長而維持頻率特性的狀況下，調整臂的撓曲量的電性接觸子、電性連接構造及電性連接裝置。 (解決問題之技術手段)

為解決該課題，第1之本發明係一種電性接觸子，其係垂直型的電性接觸子，其特徵為：具備：第1基部，其係具有對被檢查體的電極端子作電性接觸的第1接觸部；第2基部，其係具有對電極部作電性接觸的第2接觸部；及複數彈性構件，其係包含使與第1基部與第2基部的各個相連結的板狀構件作分歧的複數臂部，朝第1基部及第2基部的厚度方向排列設有複數彈性構件的各個。

第2之本發明係一種電性連接構造，其特徵為：具備：貫穿孔，其係形成在支持基板；及電性接觸子，其係插通在貫穿孔，其中一方前端接觸電極部，另一方前端接觸被檢查體的電極端子，電性接觸子具有：第1基部，其係具有對被檢查體的電極端子作電性接觸的第1接觸部；第2基部，其係具有對電極部作電性接觸的第2接觸部；及複數彈性構件，其係具有使與第1基部與第2基部的各個相連結的板狀構件作分歧的複數臂部、及開口部，朝第1基部及第2基部的厚度方向排列設有複數彈性構件的各個。

第3之本發明係一種電性連接裝置，其係具備支持複數電性接觸子的支持基板，且將被檢查體與檢查裝置之間作電性連接的電性連接裝置，其係具有第1之本發明之電性接觸子的電性接觸構造。 (發明效果)

藉由本發明，可抑制接觸時特定的臂的磨損，可在縮短電性接觸子的全長而維持頻率特性的狀況下，調整臂的撓曲量。

(A)主要實施形態

以下一邊參照圖面一邊詳細說明本發明之電性接觸子、電性連接構造及電性連接裝置的實施形態。

在該實施形態中，例示利用本發明，適用在被安裝在進行形成在半導體晶圓上的複數半導體積體電路的電性特性的檢查(例如通電檢查等)的檢查裝置(以下亦稱為「測試器」)的電性連接裝置的情形。

「電性連接裝置」係具有與被檢查體的各電極作電性接觸的複數電性接觸子，將被檢查體與檢查裝置(測試器)的測試器本體部作電性連接。電性連接裝置係例如探針卡等，在該實施形態中係例示為垂直型探針卡的情形，且例示電性接觸子為垂直型探針的情形。

「被檢查體」係檢查裝置檢查電性特性的對象物，表示例如積體電路、半導體晶圓等。「半導體晶圓」係具有在晶圓形成有電路圖案的複數積體電路，假想探測前的狀態。

(A-1-1)電性連接裝置的構成 圖5係顯示實施形態之電性連接裝置的主要構成的平面圖。圖6係顯示實施形態之電性連接裝置的主要構成的正面圖。

在圖5及圖6中，實施形態之電性連接裝置1係具有：配線基板2、連接基板3、及探針組裝體5。

其中，圖5及圖6的電性連接裝置1係圖示主要的構成構件，惟並非為限定於該等構成構件者，實際上亦具備未圖示的構成構件。此外，以下著重在圖6中的上下方向，提及「上」、「下」。

電性連接裝置1係裝設在未圖示的檢查裝置(測試器)的測試頭，檢查時，對被檢查體15的各電極端子16，使對應的電性接觸子21作電性接觸，而使未圖示的測試器本體部與被檢查體15之間作電性連接。

電性連接裝置1係在檢查時，將來自測試器本體部的電性訊號，透過電性接觸子21供給至被檢查體15的電極端子16，而且透過電性接觸子21將來自被檢查體15的電性訊號供予至測試器本體部。如上所示，電性連接裝置1將被檢查體15與測試器本體部之間作電性連接，藉此測試器本體部可檢查被檢查體15的電性特性。

被檢查體15係例如置放在與多軸載台等檢查載台相連接的吸盤的上表面，藉由檢查載台的驅動，可調整吸盤上的被檢查體15的位置。例如，檢查時，將吸盤上的被檢查體15、與電性連接裝置1的配線基板2的下表面相對接近，被檢查體15的各電極端子16、與對應的電性接觸子21的接觸部作電性接觸。

[配線基板2] 配線基板2係例如由聚醯亞胺等樹脂材料所形成者，例如形成為大致圓形板狀的印刷基板等。在配線基板2的其中一面(例如上表面)的中央部係形成有矩形的開口7。矩形的開口7係貫穿配線基板2的板厚方向(Z軸方向)的開口，在開口7安裝有連接基板3。此外，在配線基板2的其中一面，整列形成有多數連接部(未圖示)。

此外，在配線基板2的外緣部係形成有與測試器本體部的電性電路相連接的複數測試器連接部8。配線基板2的其中一面中的各連接部係經由配線基板2的導電路(未圖示)作電性連接。

[連接基板3] 連接基板3係藉由電性絕緣材料所形成的基板，被安裝在配線基板2的開口7。連接基板3係具有：被收容在開口7內的矩形板狀的矩形部11、及在矩形部11的其中一面(例如上表面)朝矩形部11的外緣部突出的矩形的環狀凸緣12。

矩形部11係收容在配線基板2的開口7內，在環狀凸緣12被載置於開口7的緣部的狀態下，藉由複數螺絲構件13，環狀凸緣12被安裝在配線基板2。

矩形部11係在基板的厚度方向(Z軸方向、板厚方向)形成有複數貫穿孔14。各個貫穿孔14係與被檢查體15的電極端子16的位置對應形成。

各個配線的一端係被插入至連接基板3的各貫穿孔14，透過配線基板2的另一面(例如下表面)的配線圖案，與對應的電性接觸子21作電性連接。此外，各個配線的另一端係與對應的連接部相連接。因此，各個電性接觸子21係透過配線與連接部相連接，且經由連接部及測試器連接部8而與測試器本體部的電性電路相連接。

其中，被插入在各貫穿孔14的各配線的一端的前端若可與對應的各電性接觸子21作電性連接即可，例如上述，透過配線基板2的配線圖案，配線的一端與電性接觸子21相連接。此外，以其他方法而言，配線的一端亦可直接與對應的各電性接觸子21相連接。此外，以其他方法而言，亦可透過設在配線基板2(或連接基板3)的導電路及連接端子，配線的一端間接地與各電性接觸子21相連接。

[探針組裝體5] 探針組裝體5係保持複數電性接觸子21的構件。探針組裝體5係具備有支持複數電性接觸子21的支持基板，支持基板係在與被檢查體15的複數電極端子16的各個的位置相對應的位置具備有貫穿孔71。

在設在支持基板的複數貫穿孔71的各個，收容電性接觸子21，探針組裝體5係保持複數電性接觸子21。

其中，探針組裝體5係由電性絕緣性的材料所形成的板狀構件。各個電性接觸子21的前端部可對對應的被檢查體15的電極端子16作電性接觸，因此探針組裝體5係安裝在連接基板3的另一面(例如下表面)。

(A-1-2)電性接觸子21的詳細構成 圖1係顯示實施形態之電性接觸子21的構成的斜視圖。圖2係電性接觸子21的正面圖，圖3係電性接觸子21的平面圖，圖4係電性接觸子21的側面圖。

其中，為方便說明，圖1~圖4所例示的電性接觸子21的尺寸、線徑、長度、寬幅長、厚度等係作強調顯示，並非限定於圖示者。

在圖1~圖4中，電性接觸子21係具有：第1接觸部56、第2接觸部57、第1連結部(亦稱為「第1基部」)55、第2連結部(亦稱為「第2基部」)62、第1臂部51、第2臂部52、第3臂部53、第4臂部54。

電性接觸子21係全體由導電性材料所形成，且朝上下方向(Z軸方向)具有彈性的垂直型探針。電性接觸子21係使被檢查體15的電極端子16、與測試器本體部之間作電性連接，因此檢查時，電性接觸於被檢查體15的電極端子16、與形成在配線基板2的下表面的配線圖案。

在電性接觸子21中，第1接觸部56係與被檢查體15的電極端子16作電性接觸的部分，第2接觸部57係與配線基板2的配線圖案作電性接觸的部分。

第1連結部55係與第1接觸部56一體相連而形成的部分。第1連結部55係其剖面為大致四角形的角柱形狀，存在有第1接觸部56的端部的相反側的端部(例如，電性接觸子21安置時的第1連結部55的上端部)係與第1臂部51、第2臂部52、第3臂部53、第4臂部54的各個相連結。其中，第1連結部55的形狀並非限定於角柱，亦可為圓柱狀、圓錐狀、多角錐、四角以外的多角柱。

第2連結部62係與第2接觸部57一體相連而形成的部分，作為設置第2接觸部57的基座部分來發揮功能。此外，第2連結部62係作為與第1臂部51、第2臂部52、第3臂部53、第4臂部54相連結的部分來發揮功能。

由第1連結部55朝向第2連結部62(或由第2連結部62朝向第1連結部55)，構件一體連續作分歧。該分歧的構件為第1臂部51、第2臂部52、第3臂部53、第4臂部54。

第1臂部51、第2臂部52、第3臂部53、第4臂部54分別為寬幅細、厚度薄的板狀構件。

如圖2及圖3所示，第1臂部51與第3臂部53係相對電性接觸子21的軸L設在右側，朝電性接觸子21的厚度方向T(例如Y軸方向)排列設置。

另一方面，第2臂部52與第4臂部54係相對軸L設在左側，朝電性接觸子21的厚度方向T(例如Y軸方向)排列設置。

如圖1~圖4所示，若著重在第1臂部51與第2臂部52，第1臂部51及第2臂部52係設在電性接觸子21的其中一方表面側且對該其中一方表面無段差地平坦(亦即同一平面)設置。

亦即，在與板狀的電性接觸子21的其中一方表面為相同平面上，第1臂部51與第2臂部52成為1組，形成具有開口部60的環狀構件。

具有第1臂部51與第2臂部52、及藉由第1臂部51與第2臂部52所形成的開口部60的環狀構件係當受到接觸荷重時，第1臂部51與第2臂部52蓄能而發揮上下方向的彈性。因此，將環狀構件亦稱為彈性構件。

其中，開口部60係形成為例如長孔的開口，惟若為兩方的臂部具有彈性的構造，開口部60亦可為開縫、穿孔等。

同樣地，若著重在第3臂部53與第4臂部54，第3臂部53及第4臂部54係設在電性接觸子21的另一方表面側且對該另一方表面無段差且平坦(亦即同一平面)設置。亦即，在與板狀的電性接觸子21的另一方表面為同一平面上，第3臂部53與第4臂部54成為1組，形成具有開口部60的環狀構件。

換言之，第1臂部51、第2臂部52、第3臂部53、第4臂部54係分別在第1連結部55與第2連結部62之間，相對電性接觸子21的軸L為左右(例如X軸方向)分歧的板狀構件，位於同側的臂部(例如第1臂部51與第3臂部53)係設在電性接觸子21的厚度方向T。

此外，第1臂部51、第2臂部52、第3臂部53、第4臂部54係相對包含電性接觸子21的厚度方向T的面呈垂直方向設置。

此外，第1臂部51與第2臂部52係分別在電性接觸子21的其中一方表面側呈分歧，第1臂部51與第2臂部52形成具有開口部60的環狀。同樣地，第3臂部53與第4臂部54各個在電性接觸子21的另一方表面側呈分歧，第3臂部53與第4臂部54形成具有開口部60的環狀。

一般而言，若使用垂直型探針，不易使垂直型探針發揮上下方向的彈性。以往，為了使垂直型探針發揮上下方向的彈性的功能，若為例如針型的探針，必須使其傾斜、或撓曲。

相對於此，實施形態的電性接觸子21係藉由例如第1臂部51與第2臂部52形成環狀(或穿孔)，可使其發揮上下方向的彈性。

此外，垂直型探針的電性接觸子21係被檢查體15對電極端子16的對位變得簡單，可提升檢查精度。

如圖4所示，第1臂部51、第2臂部52、第3臂部53、第4臂部54分別為厚度薄的板狀構件，因此例如第1臂部51與第3臂部53般，在存在於同側的臂部之間有間隙61，電性接觸子21係朝左右方向(例如X軸方向)貫穿。

在此，設在厚度方向T且支持第1臂部51、第2臂部52、第3臂部53、第4臂部54的第1連結部55與第2連結部62係具備進行電性接觸子21的厚度調整的功能。

例如，藉由使第1連結部55與第2連結部62的厚度變薄，可縮短間隙61的長度。因此，由於對應被檢查體15的電極端子16的窄間距化，即使在減小設在探針組裝體5的基板的貫穿孔的直徑的情形下亦可對應。此外，相反地，可加厚第1連結部55與第2連結部62的厚度，且可加長例如臂部的間隙61、或使臂部的數量增加。

(A-2)電性接觸子21的電性連接構造

(A-2-1)接觸前的電性接觸子21的構成 接著，說明被保持在探針組裝體5的電性接觸子21的電性連接構造。

圖7(A)係顯示被保持在探針組裝體5的接觸前的電性接觸子21的構成的構成圖，圖7(B)係顯示接觸時的電性接觸子21的構成的構成圖。

首先，使用圖7(A)，說明被保持在探針組裝體5的接觸前的電性接觸子21的構成。

在圖7(A)中，探針組裝體5係具備：第1支持基板(亦稱為「頂板」或「上段板」)72、及第2支持基板(亦稱為「底板」或「下段板」)74。此外，探針組裝體5係具有複數貫穿孔71，俾以收容複數電性接觸子21的各個。

在探針組裝體5中，貫穿孔71係形成在對應被檢查體15的電極端子16的位置的位置，以與被檢查體15的電極端子16的數量相同的數量形成貫穿孔71。

探針組裝體5的貫穿孔71係形成在第1支持基板72與第2支持基板74的厚度方向，由第1支持基板72的第1支持孔711朝向第2支持基板74的第2支持孔712貫穿。此外，將貫穿孔71的內壁面稱為壁面73。

在此，若可一邊確保板狀的電性接觸子21的上下方向的彈性，一邊收容電性接觸子21，貫穿孔71的孔形狀係可例如在平面視野下形成為圓形、長孔、橢圓形、四角形等。

換言之，配合貫穿孔71的孔形狀，第1支持基板72的第1支持孔711的孔形狀亦可例如在平面視野下形成為圓形、長孔、橢圓形、四角形等。

第1支持基板72的第1支持孔711的大小係可形成為電性接觸子21可插入的大小。例如，第1支持孔711的平面視野的孔形狀為圓形時，第1支持孔711的直徑係可形成為與電性接觸子21的寬幅長為相同程度、或稍大。

另一方面，第2支持基板74的第2支持孔712的孔形狀係形成為配合電性接觸子21的第1連結部55的剖面形狀的形狀，可形成為例如在平面視野下為圓形、長孔、橢圓形、四角形等。

第2支持基板74的第2支持孔712的大小係可形成為電性接觸子21的第1連結部55可插入的大小。例如，第2支持孔712的平面視野的孔形狀為圓形時，第2支持孔712的直徑係可形成為與電性接觸子21的第1連結部55的寬幅長為相同程度、或稍大。

接著，例示探針組裝體5對貫穿孔71插通電性接觸子21的插通方法。對貫穿孔71插通電性接觸子21的插通方法並非為以下限定者。

例如，可由第1支持基板72的第1支持孔711側插通電性接觸子21。此時，將電性接觸子21的第1接觸部56插入至第1支持基板72的第1支持孔711，之後，將電性接觸子21的第1臂部51~第4臂部54插入至第1支持孔711。

接著，若電性接觸子21被充分插入至貫穿孔71，將電性接觸子21的第1接觸部56及第1連結部55插通在第2支持基板74的第2支持孔712。如上所示，可將電性接觸子21插通在貫穿孔71，且在貫穿孔71的內部保持電性接觸子21。

在此，為了順利將電性接觸子21插入至貫穿孔71，電性接觸子21的第1臂部51~第4臂部54係分別在與第1連結部55的交界附近具有斜面部592。

例如，若使用同一組的第1臂部51與第2臂部52來作說明，第1臂部51的斜面部592與第2臂部52的斜面部592係形成為隨著愈接近第1連結部55，前端愈細的斜面。

關於第3臂部53與第4臂部54，亦同樣地具有斜面部592，在第1支持基板72的第1支持孔711插入電性接觸子21時，即使第1臂部51~第4臂部54的斜面部592接觸第1支持孔711的緣部，斜面部592亦在第1支持孔711的緣部滑動，可順利地插入。

此外，電性接觸子21的第1臂部51~第4臂部54係分別在與第2連結部62的交界附近亦具有斜面部581。

例如，若為同一組的第1臂部51與第2臂部52，第1臂部51的斜面部581與第2臂部52的斜面部581係形成為隨著愈接近第2連結部62，前端愈細的斜面。此時亦可順利進行電性接觸子21的插入。

如圖1~圖4所示，為了防止電性接觸子21脫落，貫穿孔71內的第2支持基板74係在第2支持孔712的周緣具備支持電性接觸子21的支持部741。

另一方面，電性接觸子21的第1臂部51~第4臂部54係分別在貫穿孔71內具有藉由第2支持基板74的支持部741所支持的被支持部591。

亦即，若電性接觸子21被插通至貫穿孔71內，第1臂部51~第4臂部54的被支持部591作為止動器發揮功能，且第1臂部51~第4臂部54的被支持部591卡在第2支持基板74的支持部741，可防止電性接觸子21脫落。

(A-2-2)接觸時的電性接觸子21的構成 接著，使用圖7(B)，說明接觸時的電性接觸子21的構成。

如圖7(B)所例示，檢查時，在電性接觸子21被收容在探針組裝體5的貫穿孔71的狀態下，按壓電性接觸子21。如此一來，電性接觸子21的第1接觸部56接觸被檢查體15的電極端子16，且電性接觸子21的第2接觸部57接觸配線基板2的配線圖案。

若接觸荷重施加至電性接觸子21，對第1臂部51~第4臂部54的各個施加荷重。如此一來，第1臂部51~第4臂部54係分別以凸向外側的方式變形(例如撓曲等)而蓄能。此時，獨立發揮彈性的第1臂部51~第4臂部54係分別一邊接觸貫穿孔71的壁面73一邊變形。

以往特定的1支臂部強力抵碰在壁面，僅該特定的臂部發生磨損。但是，藉由該實施形態，複數臂部(第1臂部51~第4臂部54)係可抑制對壁面73接觸，此外可藉由朝厚度方向排列配置臂部來分散摩擦力，因此可抑制電性接觸子21磨損。

此外，近年來，為改善頻率特性，要求全長短的電性接觸子，難以控制施加於臂部的荷重。但是，具備複數臂部的電性接觸子21係可使荷重分散至第1臂部51~第4臂部54，因此容易控制對臂部的荷重，且容易調整臂部的撓曲量。

以調整臂部的撓曲量的方法而言，可適用按每個臂、或每個環狀構件改變臂部的剖面形狀的方法。例如，可加大臂部的寬幅、或厚度等，將臂部的撓曲量調整較少。此時，由於作為荷重調整對象的臂部存在複數(例如第1臂部51~第4臂部54)，因此比以往更容易調整撓曲量。此外，例如可按每個臂部或按每個環狀構件調整臂部的剖面形狀(寬幅、厚度)。

此外，亦可環狀構件中的開口部60的上端的形狀與下端的形狀分別不同。此時亦可調整形成有該開口部60的臂部的撓曲量。例如，以開口部60的上端、下端的形狀而言，在正面視野下，可形成為橢圓形、圓形、角部變圓的角形等，惟可使上端、下端的形狀不同。此外，例如，可使開口部60的上端的寬幅(X軸方向的長度)、與下端的寬幅成為不同的長度。

(A-3)實施形態的效果 如以上所示，藉由該實施形態，相對電性接觸子21的軸L在左右兩側，朝厚度方向設置作為分歧構件的複數臂部(第1臂部51~第4臂部54)，藉此在接觸時，複數臂部抵碰貫穿孔的壁面73，因此可分散摩擦力。結果，可抑制僅特定的臂部發生磨損的情形。

此外，藉由該實施形態，即使縮短全長，亦可調整施加於臂部的荷重，因此可在維持頻率特性的狀況下，調整臂部的撓曲量。

(B)其他實施形態 在上述實施形態中亦提及各種變形實施形態，惟本發明亦可適用於以下的變形實施形態。

(B-1)在上述實施形態中係例示電性接觸子21具備4個臂部(第1臂部51~第4臂部54)的情形。但是，電性接觸子21的構成並非限定於此，亦可具備如以下所示之構成。

(B-1-1)圖8(A)係顯示變形實施形態的電性接觸子21A的構成的斜視圖，圖8(B)係電性接觸子21A的平面圖。

圖8(A)、圖8(B)所例示的電性接觸子21A係加厚第1連結部55及第2連結部62的厚度，在電性接觸子21A的左側朝厚度方向設置4個臂部81、83、85、87，在右側朝厚度方向設置4個臂部82、84、86、88。亦即，電性接觸子21A係具備4組環狀構件。

如上所示，本發明之電性接觸子若為在左側及右側的各個中，朝厚度方向具備複數臂部者，其數量並未特別限定。換言之，電性接觸子亦可具備複數組將2個臂部設為1組所形成的環狀構件。

此外，朝厚度方向設置複數環狀構件時，與鄰接的環狀構件之間的距離係設為一定。此外，以其變形例而言，亦可使與鄰接的環狀構件之間的距離不同。

(B-1-2)圖9(A)係顯示變形實施形態的電性接觸子21B的構成的斜視圖，圖9(B)係電性接觸子21B的平面圖。圖10係說明電性接觸子21B接觸時的臂部的撓曲的說明圖。

圖9(A)、圖9(B)所例示的電性接觸子21B係與上述實施形態的圖1的電性接觸子21同樣地，具備4個第1臂部51~第4臂部54，除此之外，具備：在第1臂部51與第2臂部52之間，連結於第1連結部55及第2連結部62的第5臂部91；及在第3臂部53與第4臂部54之間，連結於第1連結部55及第2連結部62的第6臂部92。

第5臂部91及第6臂部92係由導電性材料所形成的板狀構件。接觸時，如圖10所例示，第5臂部91及第6臂部92係以相對電性接觸子21B的中心軸成為凸向外側的方式進行撓曲蓄能。

如上所示，本發明之電性接觸子係在由2個臂部所形成的環狀構件的開口部60上，具備第5臂部91及第6臂部92，藉此可調整臂部的撓曲量。

在此，如圖9(A)及圖9(B)所例示，在第1臂部51及第2臂部52的平坦的表面上未設置第5臂部91，第5臂部91係放置在第1連結部55及第2連結部62的表面上。換言之，第5臂部91係在對第1臂部51及第2臂部52的平坦的表面(平面)呈突出的狀態下作配置。

其中，第6臂部92亦同樣地，在對第3臂部53及第4臂部54的平坦的表面(平面)呈突出的狀態下作配置。

如上所示，藉由在突出的狀態下配置第5臂部91及第6臂部92，在接觸時，即使在對各臂部(第1臂部51~第4臂部54、第5臂部91、第6臂部92的各個)施加了荷重的情形下，第5臂部91及第6臂部92亦可使第1臂部51~第4臂部54的彈簧性不會阻礙而有效發揮。此外，第5臂部91及第6臂部92亦可分別獨立使彈性發揮。

其中，圖9(A)的電性接觸子係對各組的環狀構件設置第5臂部91及第6臂部92，惟亦可對全部組的環狀構件未設置臂部，而設在任一組的環狀構件。

(B-2)本發明之電性接觸子亦可使3個以上的臂部分歧，而具備具有2個以上的開口部的環狀構件。此係圖9(A)~圖9(B)的另外變形例。此時亦可調整臂部的撓曲量。

(B-3)在上述實施形態中提及為了調整接觸荷重時的臂部的變化量(撓曲量)，可按每個臂部或按每個環狀構件調整臂部的剖面形狀，使用圖9及圖11，說明其一例。

例如，在圖9(A)及圖9(B)中，若將第5臂部91與第1臂部51等的各剖面相比，第5臂部91與第1臂部51等的剖面形狀分別為矩形，惟第5臂部91的剖面的高度的長度與寬幅長與第1臂部51等的剖面的高度的長度與寬幅長相比，可分別為較短。如上所示，亦可藉由使第5臂部91的剖面積小於第1臂部51等的剖面積，在接觸荷重時，進行改變第5臂部91與第1臂部51等各個的變化量的調整。

此外，使用圖11，說明其他例。如圖11所例示，第1臂部51的下部511的寬幅長係可比相同的第1臂部51的上部的寬幅長小，寬幅長較大的上部的剖面形狀、與寬幅長較小的下部的剖面形狀不同。藉此，即使為相同的第1臂部51，亦可調整接觸荷重時的變化量。如上所示，亦可注目在1支臂部而剖面形狀不同。其中，關於另一方的第2臂部52，亦可謂為相同。

(B-4)在上述實施形態中，提及環狀構件中的開口部60的上端側的形狀、與下端側的形狀亦可分別不同，使用圖面來說明其一例。

例如，如圖2所示，環狀構件的開口部60係大致矩形，惟開口部60的上端係形成為角部具有圓部的形狀，惟開口部60的下端係形成愈朝向下方，開口的寬幅長愈小的錐狀。如上所示，藉由開口部60的上端形狀、與下端形狀不同，可調整形成有開口部60的臂部(在例如圖2之例中為第1臂部51與第2臂部52)的變化量。

此外以其他例而言，如圖12所例示，環狀構件的開口部60為大致倒三角形的形狀，開口部60的上端係形成為角部有圓部的形狀。此外，形成為由開口部60的上端的角部愈朝向下方，開口部60的寬幅長愈小的錐狀，開口部60的下端係成為寬幅長較窄的邊。如圖12所示，環狀構件的開口部60形成為倒三角形的形狀，藉此可在接觸荷重時，調整臂部(例如在圖12之例中為第1臂部51與第2臂部52)的變化量。

此外，藉由形成為圖12所例示之大致倒三角形的環狀構件，亦可獲得可順利探針組裝體5對貫穿孔71插通電性接觸子21D的效果。

1:電性連接裝置 2:配線基板 3:連接基板 5:探針組裝體 7:開口 8:測試器連接部 11:矩形部 12:環狀凸緣 13:螺絲構件 14:貫穿孔 15:被檢查體 16:電極端子 17:貫穿孔 21,21A,21B,21C,21D:電性接觸子 51~54:第1臂部~第4臂部 91:第5臂部 92:第6臂部 81~88:臂部 55:第1連結部(第1基部) 56:第1接觸部 57:第2接觸部 60:開口部 61:間隙 62:第2連結部(第2基部) 71:貫穿孔 72:第1支持基板 73:壁面 74:第2支持基板 581:斜面部 591:被支持部 592:斜面部 711:第1支持孔 712:第2支持孔 741:支持部 T:電性接觸子21的厚度方向

[圖1]係顯示實施形態的電性接觸子的構成的斜視圖。 [圖2]係實施形態的電性接觸子的正面圖。 [圖3]係實施形態的電性接觸子的平面圖。 [圖4]係實施形態的電性接觸子的側面圖。 [圖5]係顯示實施形態之電性連接裝置的主要構成的平面圖。 [圖6]係顯示實施形態之電性連接裝置的主要構成的正面圖。 [圖7]係顯示實施形態之被保持在探針組裝體的接觸前與接觸時的電性接觸子的構成的構成圖。 [圖8(A)]係顯示變形實施形態之電性接觸子的構成的斜視圖，[圖8(B)]係電性接觸子的平面圖。 [圖9(A)]係顯示變形實施形態之電性接觸子的構成的斜視圖，[圖9(B)]係電性接觸子的平面圖。 [圖10]係說明圖9的電性接觸子接觸時的臂部的撓曲的說明圖。 [圖11]係變形實施形態之電性接觸子的正面圖(其1)。 [圖12]係變形實施形態之電性接觸子的正面圖(其2)。

21:電性接觸子

51~53:第1臂部~第3臂部

55:第1連結部(第1基部)

56:第1接觸部

57:第2接觸部

62:第2連結部(第2基部)

581:斜面部

591:被支持部

592:斜面部

Claims (6)

1. 一種電性接觸子，其係垂直型的電性接觸子，其特徵為： 具備： 第1基部，其係具有對被檢查體的電極端子作電性接觸的第1接觸部； 第2基部，其係具有對電極部作電性接觸的第2接觸部；及 複數彈性構件，其係包含使與前述第1基部與前述第2基部的各個相連結的板狀構件作分歧的複數臂部， 朝前述第1基部及前述第2基部的厚度方向排列設有前述複數彈性構件的各個。
2. 如請求項1之電性接觸子，其中，前述複數彈性構件的各個係具有藉由前述複數臂部所形成的開口部的環狀構件。
3. 如請求項2之電性接觸子，其中，各個的前述臂部的剖面形狀形成為可按每個前述臂部、或按每個前述環狀構件，調整受到接觸荷重而變形的變形量。
4. 如請求項2之電性接觸子，其中，前述開口部的上端的開口形狀與下端的開口形狀為不同的形狀。
5. 一種電性連接構造，其特徵為： 具備： 貫穿孔，其係形成在支持基板；及 電性接觸子，其係插通在前述貫穿孔，其中一方前端接觸電極部，另一方前端接觸被檢查體的電極端子， 前述電性接觸子具有： 第1基部，其係具有對前述被檢查體的前述電極端子作電性接觸的第1接觸部； 第2基部，其係具有對前述電極部作電性接觸的第2接觸部；及 複數彈性構件，其係具有使與前述第1基部與前述第2基部的各個相連結的板狀構件作分歧的複數臂部、及開口部， 朝前述第1基部及前述第2基部的厚度方向排列設有前述複數彈性構件的各個。
6. 一種電性連接裝置，其係具備支持複數電性接觸子的支持基板，且將被檢查體與檢查裝置之間作電性連接的電性連接裝置， 其係具有如請求項1至4中任一項之電性接觸子的電性接觸構造。

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