TW202422472A - 影像處理方法及影像處理裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種技術，當在自時間序列的影像資料對特定物體進行檢測之影像處理中，其可削減運算量。 此影像處理方法係自定期取得之拍攝影像對檢測對象的位置進行檢測之影像處理方法，其複數次重複下述步驟：a)對前述拍攝影像的解析對象區域進行解析，求出前述檢測對象的位置及檢測誤差之步驟(S103)；及b)根據前述檢測誤差的大小對前述解析對象區域進行變更之步驟(S104～S107)。藉此，其可將檢測誤差抑制在既定的範圍內且縮小解析對象區域。因此，其可不增大檢測誤差而削減運算量。

Description

影像處理方法及影像處理裝置

本發明係關於一種用以對自外部定期輸入之拍攝影像進行解析的技術。

在以印刷裝置或雷射繪圖裝置為首的各種產業機器中，有自拍攝影像資料，檢測對準標記等特定物體的位置，並根據其檢測結果進行裝置的位置控制之情形。

在此一裝置中，每次拍攝影像被輸入時，如對拍攝影像的全部範圍進行影像處理而進行位置檢測，則運算量變多，而效率低。針對此一問題，削減運算量之方法係例如專利文獻1所記載者。

在專利文獻1中，使影像低解析度化，而對低解析度資料進行解析而判斷物體的有無。然後，使用以下方法，即僅在判斷為有物體之情形下，藉由使用高解析度的原影像進行再次運算而削減運算量。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2020-52647號公報

(發明所欲解決之問題)

專利文獻1的方法係若應檢測物體不存在於拍攝影像內之時機(timing)，則為有效。然而，在進行對準標記的位置檢測時，應檢測物體一直在拍攝範圍內，並追隨其位置變化。在此一目的中，即使使用專利文獻1的方法，亦無法削減運算量。

本發明係鑒於此一情事所完成者，其目的在於提供一種技術，其在自時間序列的影像資料對特定物體進行檢測之影像處理中，可削減運算量。 (解決問題之技術手段)

為了解決上述問題，本發明之第1態樣係自定期取得之拍攝影像對檢測對象的位置進行檢測之影像處理方法，其包含：a)對前述拍攝影像的解析對象區域進行解析，求出前述檢測對象的位置及檢測誤差之步驟；及b)根據前述檢測誤差的大小，對前述解析對象區域進行變更之步驟，且複數次重複前述步驟a)及前述步驟b)。

本發明之第2態樣係如第1態樣的影像處理方法，在前述步驟b)中，當前述檢測誤差為較既定的第1臨限值更小之情形時，則縮小前述解析對象區域。

本發明之第3態樣係如第2態樣的影像處理方法，在前述步驟b)中，當縮小前述解析對象區域之情形時，其至少設為既定的最小範圍以上的大小。

本發明之第4態樣係如第2態樣或第3態樣的影像處理方法，在前述步驟b)中，當前述檢測誤差為較既定之第2臨限值更大之情形時，則擴大前述解析對象區域。

本發明之第5態樣係如第1態樣至第4態樣中任一態樣之影像處理方法，其進而具有：c)在前述步驟a)及前述步驟b)之後，當前述檢測對象的位移為較基準值更大之情形時，則擴大前述解析對象區域之步驟。

本發明之第6態樣係自定期取得之拍攝影像對檢測對象的位置進行檢測之影像處理裝置，其具有：解析區域擷取部，其自外部輸入之前述拍攝影像擷取解析對象區域，生成解析用影像；標記位置解析部，其對前述解析用影像進行解析，求出前述檢測影像的位置及檢測誤差；及解析區域決定部，其根據前述檢測誤差，對前述解析對象區域進行變更。 (對照先前技術之功效)

根據本發明之第1態樣至第6態樣，可將檢測誤差抑制在既定的範圍內且縮小解析對象區域。因此，其可抑制檢測精度的減少且削減運算量。

特別是，根據本發明之第2態樣，其可抑制檢測精度的降低且削減運算量。

特別是，根據本發明之第4態樣，當檢測誤差增大之情形時，藉由擴大解析對象區域而減少檢測誤差，其可將檢測誤差抑制在既定的範圍內。

以下，針對本發明之實施形態，參照圖式進行說明。

＜1.繪圖裝置之構成＞ 以下，針對具備有本發明一實施形態的影像處理裝置、即位置檢測部90的繪圖裝置1，參照圖1及圖2進行說明。圖1係繪圖裝置1的立體圖。圖2係表示具備有位置檢測部90之控制部10與繪圖裝置內各部的電性連接之方塊圖。

該繪圖裝置1係在塗佈有感光材料之半導體基板或玻璃基板等基板W的上表面，照射經空間調變後的光，而在基板W的上表面描繪曝光圖案的裝置。如圖1及圖2所示，繪圖裝置1具備有搬送機構20、框架30、繪圖處理部40、照相機50、及控制部10。

搬送機構20係在基台21的上表面，以大致一定之姿勢沿水平方向搬送平板狀之載台22的裝置。搬送機構20具有主掃描機構23、副掃描機構24、及旋轉機構25(參照圖2)。主掃描機構23係用以沿水平方向之一方向、即主掃描方向搬送載台22之機構。副掃描機構24係用以沿水平方向中與主掃描方向正交之副掃描方向搬送載台22之機構。基板W被以水平姿勢保持於載台22的上表面，且與載台22一起沿主掃描方向及副掃描方向移動。旋轉機構25可調整相對於基台21之載台22的繞鉛直軸的角度。

框架30係用以在基台21的上方保持繪圖處理部40的構造。框架30具有一對支柱部31及架橋部32。一對支柱部31沿副掃描方向空開間隔而直立設置。各支柱部31自基台21的上表面向上方延伸。架橋部32在2根支柱部31的上端部之間，沿副掃描方向延伸。保持基板W之載台22通過一對支柱部31之間且架橋部32的下方。

繪圖處理部40具有2個光學頭41。2個光學頭41沿副掃描方向空開間隔而固定於架橋部32。又，繪圖處理部40具有未圖示之照明光學系統、未圖示之雷射振盪器、及雷射驅動部42(參照圖2)。照明光學系統、雷射振盪器及雷射驅動部42例如被收容於架橋部32的內部空間。雷射驅動部42與雷射振盪器電性連接。當使雷射驅動部42動作，則自雷射振盪器發射脈衝光。然後，自雷射振盪器發射之脈衝光經由照明光學系統向光學頭41導入。

在光學頭41的內部，設置有包含空間調變器的光學系統。向光學頭41導入之脈衝光藉由空間調變器調變為既定的圖案，且照射至基板W的上表面。藉此，使塗佈於基板W上表面的抗蝕劑等感光材料曝光。

照相機50(參照圖2)未被圖示於圖1中。照相機50例如被安裝於框架30的架橋部32下表面。照相機50對載置於載台22上之基板W的上表面進行拍攝，並將所獲得之拍攝影像Di向控制部10輸入。在控制部10中，自照相機50的拍攝影像Di，對設置於基板W上表面之對準標記M的位置進行檢測。藉此，控制部10可檢測基板W的位置或姿勢。

控制部10係用以控制繪圖裝置1各部動作的手段。如圖1中概念性地所示，控制部10由具有CPU等處理器101、RAM等記憶體102、及硬碟驅動等儲存部103之電腦所構成。在儲存部103，儲存有用以動作控制繪圖裝置1的電腦程式P。

又，如圖2所示，控制部10係與繪圖處理部40(包含光學頭41及雷射驅動部42)、主掃描機構23、副掃描機構24、旋轉機構25、及照相機50電性連接。控制部10將儲存於儲存部103之電腦程式P或資料D讀出至記憶體102，根據該電腦程式P及資料D，藉由處理器101進行運算處理，而控制繪圖裝置1內的上述各部動作。藉此，進行繪圖裝置1之繪圖處理。

控制部10具有位置檢測部90、搬送控制部91、及繪圖控制部92。位置檢測部90、搬送控制部91、及繪圖控制部92的各機能藉由構成控制部10之電腦的處理器101依照電腦程式P進行動作而實現。

位置檢測部90自照相機50定期地輸入拍攝影像Di。位置檢測部90藉由解析拍攝影像Di檢測對準標記M的位置、大小、角度等，而檢測基板W的位置及姿勢。位置檢測部90向搬送控制部91提交藉由解析而獲得之資訊、即檢測結果Do。

搬送控制部91控制搬送裝置20的各部。搬送控制部91為了如預先所決定方式搬送基板W，一邊根據自位置檢測部90所輸入之檢測結果Do對基板W的位置進行校正一邊進行搬送。

繪圖控制部92控制繪圖處理部40的各部。在繪圖裝置1運行時，由搬送控制部91控制之搬送機構20的動作與由繪圖控制部92控制之繪圖處理部40的動作係聯動地進行。具體而言，由光學頭41進行之曝光與由搬送裝置20進行之基板W的搬送係重複地執行。更具體而言，藉由副掃描機構24沿副掃描方向搬送載台22並且進行自光學頭41之脈衝光的照射，而對沿副掃描方向延伸之帶狀的區域(條帶swath)進行曝光。其後，藉由主掃描機構23將載台22沿主掃描方向僅搬送1條帶之份量。繪圖裝置1藉由重複如此副掃描方向的曝光及主掃描方向之載台22的搬送，而在基板W的上表面整體描繪圖案。

在進行此一繪圖處理的期間，位置檢測部90根據來自照相機50輸入之拍攝影像Di，解析對準標記M的位置、大小、角度等，並將其檢測結果Do(參照圖3)向搬送控制部91輸入。藉此，搬送控制部91確認基板W的位置是否自所期望之位置偏離，並且當已產生偏離之情形時則進行基板W位置的校正。藉此，其可在基板W的上表面高精度地描繪圖案。

＜2.影像處理裝置之構成＞ 接著，針對作為本發明一實施形態的影像處理裝置之位置檢測部90，參照圖3進行說明。如上述般，位置檢測部90係藉由控制部10而實現之影像處理裝置，根據由照相機50定期地取得之拍攝影像Di對檢測對象、即對準標記M的位置進行檢測。如圖3所示，位置檢測部90具有：解析區域擷取部81、標記位置解析部82、及解析區域決定部83。

解析區域擷取部81自位置檢測部90的外部所輸入之拍攝影像Di擷取解析對象區域，生成解析用影像D1。具體而言，解析區域擷取部81根據自解析區域決定部83所輸入之區域資訊D3，自照相機50拍攝之拍攝影像Di切出影像的一部分，而生成解析用影像D1。然後，對標記位置解析部82提交解析用影像D1、及解析用影像D1之位置資訊、即區域資訊D3。

標記位置解析部82對解析用影像D1進行解析，求出包含對準標記M的位置、大小及角度之檢測結果Do及檢測誤差D2。然後，標記位置解析部82對搬送控制部91提交檢測結果Do，並且對解析區域決定部83提交檢測結果Do及檢測誤差D2。

標記位置解析部82對解析用影像D1的全部區域，進行卷積運算(convolution operation)之推論，而進行對準標記M的位置之檢測。此時，與位置檢測同時地，求出表示結果之確定性的推定誤差。標記位置解析部82將該推定誤差作為檢測誤差D2。由於根據解析用影像D1的大小而運算量增減，因此解析用影像D1之大小越小，運算量越少，而可進行運算的高速化。

解析區域決定部83根據檢測結果Do及檢測誤差D2變更解析對象區域，對解析區域擷取部81提交解析對象區域的座標資訊、即區域資訊D3。具體而言，解析區域決定部83根據檢測結果Do及檢測誤差D2，決定解析對象區域的大小及位置。然後，解析區域決定部83對解析區域擷取部81提交包含解析對象的大小及位置之區域資訊D3。

本實施形態之解析區域決定部83，具體而言，當檢測誤差D2為較既定的第1臨限值更小之情形時，則縮小解析對象區域。再者，即使檢測誤差D2較第1臨限值更小，換言之，即使在解析區域決定部83縮小解析對象區域之情形時，亦將解析對象區域設為既定的最小範圍以上的大小。

又，本實施形態之解析區域決定部83當檢測誤差D2為既定的第2臨限值以上之情形時，則擴大解析對象區域。又，解析區域決定部83在檢測誤差D2為第1臨限值以上未滿第2臨限值之情形時，則不變更解析對象區域的大小。

再者，解析區域決定部83亦可在以檢測誤差D2變更解析對象區域的大小後，根據對準標記M的位移量擴大解析對象區域。本實施形態之解析區域決定部83在對準標記M的位移量為較既定的基準值更多之情形時，則擴大解析對象區域。

再者，解析區域決定部83依照檢測結果Do中對準標記M之位置的位移，對解析對象區域的位置進行變更。例如，解析區域決定部83對解析對象區域的位置進行變更，以使解析對象區域的中心位置儘量接近最新之對準標記M的中心位置。

＜3.影像處理之流程＞ 接著，針對位置檢測部90之影像處理流程，參照圖4至圖6進行說明。圖4係表示位置檢測部90之影像處理流程的流程圖。圖5至圖8係表示拍攝影像Di與解析對象區域的關係之示意圖。以下，參照圖5至圖8之示例，說明影像處理流程。

在圖5至圖8之例中，拍攝影像Di為正方形狀，縱像素數與橫像素數相同，但本發明不受限於此。拍攝影像Di亦可為縱像素數與橫像素數不同之長方形狀。又，在圖5至圖8之例中，對準標記M為十字形狀，將其交點稱為中心位置。再者，對準標記M亦可為其他任意形狀。又，對準標記M的中心位置例如可為對準標記M存在之長方形的2維座標範圍的中心，亦可為重心位置。

在繪圖裝置1中，圖4所示之影像處理係與基板W之搬送開始同時地開始。在影像處理中，首先，位置檢測部90取得第1個拍攝影像Di。具體而言，開始照相機50之定期攝像，第1個拍攝影像Di被輸入至位置檢測部90(步驟S101)。

解析區域擷取部81擷取所輸入之拍攝影像Di的解析對象區域，生成解析用影像D1(步驟S102)。再者，在第1次的步驟S102中，由於未設定解析對象區域，影像處理開始時的區域資訊D3被設定為拍攝影像Di的全部範圍。因此，解析區域擷取部81將拍攝影像Di原封未動地作為解析用影像D1。

接著，標記位置解析部82對解析用影像D1進行解析，檢測對準標記M的位置、角度、大小等(步驟S103)。此時，標記位置解析部82同時算出推定誤差、即檢測誤差D2。標記位置解析部82對解析區域決定部83提交包含對準標記M之位置、角度及大小之檢測結果Do及檢測誤差D2。

接著，解析區域決定部83將檢測誤差D2的值與既定的第1臨限值及第2臨限值進行比較(步驟S104)。然後，解析區域決定部83根據檢測誤差D2的值大小，對解析對象區域的大小進行變更(步驟S105～S111)。再者，第2臨限值具有較第1臨限值為更大之值。

在步驟S104中，當判斷檢測誤差D2較第1臨限值更小時(步驟S104：未滿第1臨限值)，則解析區域決定部83縮小解析對象區域的大小(步驟S105)。具體而言，例如，將解析對象區域的大小縱橫分別各縮小p像素。即，在該時間點之解析對象區域的大小為m像素×n像素之情形時，設為(m-p)像素×(n-p)像素。

又，解析區域決定部83對解析對象區域的位置進行變更，以使解析對象區域的中心位置儘量地與對準標記M的中心位置一致。

如此，解析區域決定部83在檢測誤差D2比較小之情形下，縮小解析對象區域。藉此，其可抑制檢測精度降低且削減接下來的影像解析步驟(步驟S103)中的運算量。

接續步驟S105，解析區域決定部83判斷縮小後的大小是否為既定的最小區域尺寸以上(步驟S106)。最小區域尺寸可為預先決定之固定值，亦可為根據檢測結果Do而變動者。例如，最小區域尺寸亦可根據檢測結果Do中之對準標記M的大小進行變動。在此情形下，例如，當對準標記M的大小為大致x像素四邊之情形時，則可將解析對象區域的大小設為(x+q)像素四邊，亦可設定為x像素的常數倍四邊。

在步驟S104中，當判斷檢測誤差D2為第1臨限值以上未滿第2臨限值時(步驟S104：第1臨限值以上未滿第2臨限值)，則解析區域決定部83不變更解析對象區域的大小(步驟S108)。此時，解析區域決定部83對解析對象區域的位置進行變更，以使解析對象區域的中心位置儘量地與對準標記M的中心位置一致。

在步驟S104中，當判斷檢測誤差D2為第2臨限值以上(步驟S104：第2臨限值以上)，則解析區域決定部83擴大解析對象區域的大小(步驟S109)。具體而言，例如，將解析對象區域的大小縱橫分別各擴大r像素。即，當該時間點之解析對象區域的大小為m像素×n像素時，則設為(m+r)像素×(n+r)像素。

如此，解析區域決定部83在檢測誤差D2比較大之情形時，換言之，在檢測誤差D2增大之情形時，則擴大解析對象區域。藉此，其可減少接下來的影像解析步驟(步驟S103)中之檢測誤差D2，且抑制檢測精度降低。

在步驟S104之判斷後，且結束步驟S105～S107、步驟S108或步驟S109之後，解析區域決定部83判斷對準標記M的位移是否較基準值更大(步驟S110)。對準標記M的位移例如為，算出最新之對準標記M的中心位置、與1次前之對準標記M的中心位置之差值。再者，亦可將對準標記M的位移例如設為，算出最新之對準標記M的中心位置、與既定的k次前之對準標記M的中心位置之差值，亦可不僅考量中心位置的差值亦考量對準標記M的角度。

在步驟S110中，當對準標記M的位移較既定的基準值為更大之情形時(步驟S110：是)，則擴大解析對象區域的大小(步驟S111)。具體而言，例如，將解析對象區域的大小縱橫分別各擴大s像素。即，在該時間點之解析對象區域的大小為m像素×n像素之情形時，設為(m+s)像素×(n+s)像素。其後，解析區域決定部83對解析區域擷取部81提交包含解析對象區域的大小及位置之區域資訊D3，且返回步驟S101。

另一方面，在步驟S110中，當對準標記M的位移為既定的基準值以下之情形時(步驟S110：否)，則將該時間點之解析對象區域的大小及位置作為區域資訊D3對解析區域擷取部81提交，並返回步驟S101。

如此，每當取得及解析拍攝影像Di時，根據檢測誤差的值，調整解析對象區域的大小。藉此，其可在檢測誤差不較既定的第2臨限值更大之範圍，縮小解析對象區域。即，可將對準標記M的檢測精度保持為一定以上且削減解析之運算量。

此處，圖5至圖8表示本實施形態之影像處理中解析對象區域的變化之例。在圖5至圖8中，表示十字狀對準標記M的位置及角度不動(無位移)，且在第1次～第7次的步驟S104中，檢測誤差未滿第1臨限值且在第1次～第7次的步驟S110中對準標記M的位移為基準值以下之情形。

在圖5至圖8中，拍攝影像Di的範圍被以實線表示。又，第1次解析對象區域A1、第2次解析對象區域A2、第3次解析對象區域A3、第4次解析對象區域A4、第5次解析對象區域A5、第6次解析對象區域A6、第7次解析對象區域A7及第8次解析對象區域A8被以虛線表示。再者，第1次解析對象區域A1的範圍係表示於實線的稍微內側，該實線係表示拍攝影像Di。實際的A1係與Di相同之範圍，但由於如實線與虛線重合則範圍不明確，因此特別將其分開表示。

在圖5至圖8之例中，拍攝影像Di及第1次解析對象區域A1的範圍為200像素四邊。在第1次的步驟S104中，由於檢測誤差未滿第1臨限值，因此在步驟S105中，將解析對象區域的大小各縮小20像素，設定為180像素四邊。此處，如圖5所示，當對解析對象區域進行設定以使解析對象區域的中心與對準標記M的中心一致之情形時，圖5之A2’所示之區域係解析對象區域。由於區域A2’具有不與拍攝影像Di相重合之區域，因此在圖5至圖8之例中，校正解析對象區域的位置，在拍攝影像Di內，將其中心最接近對準標記M的中心之區域A2設定為解析對象區域，而區域A2為180像素四邊。

接著，在第2次的步驟S104中，由於檢測誤差未滿第1臨限值，因此在步驟S105中，將解析對象區域的大小各縮小20像素，設定為160像素四邊。此處，如圖6所示，當對解析對象區域進行設定以使解析對象區域的中心與對準標記M的中心一致之情形時，圖6之A3’所示之區域係解析對象區域。由於區域A3’具有不與拍攝影像Di相重合之區域，因此校正解析對象區域的位置，在拍攝影像Di內，將其中心最接近對準標記M的中心之區域A3設定為解析對象區域，而區域A3為160像素四邊。

在第3次的步驟S104中，亦同樣地將解析對象區域的大小各縮小20像素，設定為140像素四邊。此處，如圖7所示，當對解析對象區域進行設定以使解析對象區域的中心與對準標記M的中心一致之情形時，圖7之A4’所示之區域係解析對象區域。由於區域A4’具有不與拍攝影像Di重合之區域，因此校正解析對象區域的位置，在拍攝影像Di內，將其中心最接近對準標記M之中心的區域A4設定為解析對象區域，而區域A4為140像素四邊。

在第4次至第7次的步驟S104中，亦同樣地將解析對象區域的大小各縮小20像素，依序設定為120像素四邊、100像素四邊、80像素四邊。如圖8所示，在該等之情形下，當對解析對象區域進行設定以使解析對象區域的中心與對準標記M的中心一致之情形時，由於圖8所示之解析對象區域A5～A8任一者均進入拍攝影像Di內，因此其無需校正位置。

如圖5至圖8之示例，藉由將解析對象區域縮小至對準標記M的一部分區域，達到檢測誤差收束於既定的範圍之程度，其可適當地削減影像解析之運算量。在實際的影像處理中，對準標記M的位置會變動。然後，解析對象區域亦根據對準標記M的變動而進行追隨，以使包含對準標記M及其周邊區域。此時，適當地將解析對象區域縮小至對準標記M的檢測誤差收束於既定的範圍之程度。

＜4.變化例＞ 以上，已針對本發明之實施形態進行說明，但本發明不受限於上述實施形態。

在上述實施形態中，其具有影像處理裝置、即位置檢測部90之控制部10的控制對象為繪圖裝置1。因此，該位置檢測部90係為了檢測設置於基板W之對準標記M的位置及角度而適當調整解析對象區域者。然而，藉由本發明之影像處理裝置所檢測之物體並不受限於此。例如，其可適用於量測裝置中檢測設置於量測對象的對準標記、檢測設置於基板檢查裝置之基板的對準標記等各種用途。

又，在上述實施形態中，依據檢測誤差之值，區分為未滿第1臨限值、第1臨限值以上未滿第2臨限值、第2臨限值以上之範圍，而選擇將解析對象區域縮小、無變更、擴大之3步驟。然而，本發明不受限於此。

例如，第1臨限值與第2臨限值可為相同之1個臨限值。並且，亦可設為當檢測誤差未滿該臨限值之情形時，縮小解析對象區域，當檢測誤差為該臨限值以上之情形時，則擴大解析對象區域。

又，例如，亦可藉由第1臨限值、第2臨限值、第3臨限值之3個臨限值，在檢測誤差設定4個範圍，設為在檢測誤差未滿第1臨限值之情形時2階段縮小解析對象區域，在檢測誤差為第1臨限值以上未滿第2臨限值之情形時1階段縮小解析對象區域，在檢測誤差為第2臨限值以上未滿第3臨限值之情形時1階段擴大解析對象區域，在檢測誤差為第3臨限值以上之情形時2階段擴大解析對象區域。

又，在上述實施形態或變化例出現之各要件在不產生矛盾之範圍其可被適當地組合。

1:繪圖裝置 10:控制部 20:搬送機構 21:基台 22:載台 23:主掃描機構 24:副掃描機構 25:旋轉機構 30:框架 31:支柱部 32:架橋部 40:繪圖處理部 41:光學頭 42:雷射驅動部 50:照相機 81:解析區域擷取部 82:標記位置解析部 83:解析區域決定部 90:位置檢測部 91:搬送控制部 92:繪圖控制部 101:處理器 102:記憶體 103:儲存部 A1～A8、A2’～A4’:區域 D:資料 D1:解析用影像 D2:檢測誤差 D3:區域資訊 Di:拍攝影像 Do:檢測結果 M:對準標記 P:電腦程式 W:基板

圖1係具備有影像處理裝置之繪圖裝置的立體圖。 圖2係表示控制部與繪圖裝置內各部的電性連接之方塊圖。 圖3係作為影像處理裝置之位置檢測部的控制方塊圖。 圖4係表示位置檢測部之影像處理流程之流程圖。 圖5係表示拍攝影像與解析對象區域的關係之示意圖。 圖6係表示拍攝影像與解析對象區域的關係之示意圖。 圖7係表示拍攝影像與解析對象區域的關係之示意圖。 圖8係表示拍攝影像與解析對象區域的關係之示意圖。

Claims (6)

1. 一種影像處理方法，其係自定期取得之拍攝影像對檢測對象的位置進行檢測之影像處理方法；其包含有： a)對前述拍攝影像的解析對象區域進行解析，求出前述檢測對象的位置及檢測誤差之步驟；及 b)根據前述檢測誤差的大小，對前述解析對象區域進行變更之步驟； 且複數次重複前述步驟a)及前述步驟b)。
2. 如請求項1之影像處理方法，其中， 在前述步驟b)中，當前述檢測誤差較既定的第1臨限值為更小之情形時，則縮小前述解析對象區域。
3. 如請求項2之影像處理方法，其中， 在前述步驟b)中，當縮小前述解析對象區域之情形時，至少設為既定的最小範圍以上的大小。
4. 如請求項2之影像處理方法，其中， 在前述步驟b)中，當前述檢測誤差較既定之第2臨限值為更大之情形時，則擴大前述解析對象區域。
5. 如請求項1至4中任一項之影像處理方法，其進而包含有： c)在前述步驟a)及前述步驟b)之後，當前述檢測對象的位移較基準值為更大之情形時，則擴大前述解析對象區域之步驟。
6. 一種影像處理裝置，其係自定期取得之拍攝影像對檢測對象的位置進行檢測之影像處理裝置；其包含有： 解析區域擷取部，其自外部輸入之前述拍攝影像擷取解析對象區域，以生成解析用影像； 標記位置解析部，其對前述解析用影像進行解析，以求出前述檢測對象的位置及檢測誤差；及 解析區域決定部，其根據前述檢測誤差，以對前述解析對象區域進行變更。