TW202417794A - 空氣分離裝置及空氣分離方法 - Google Patents

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Kenji Hirose
阿德里安 德拉薩爾
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法商液態空氣喬治斯克勞帝方法研究開發股份有限公司
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Abstract

提供一種較上述現有構成而言，可增加高純度氮及高純度氧之製造量的空氣分離方法。一種應用於空氣分離裝置A1之方法，上述空氣分離裝置A1包括：導入原料空氣之主熱交換器1；導入原料空氣之氮精餾塔2；將從氮精餾塔中導出之氮氣進行冷凝之至少1個氮冷凝器3、4；導入從氮精餾塔2中導出之含氧液之高純度氧精餾塔5；將由高純度氧精餾塔5所精餾之高純度氧液進行蒸發之氧蒸發器6；以及過冷卻器7；上述方法包括如下步驟：將從上述氮精餾塔2中導出之富氧液之一部分於上述氧蒸發器6中冷卻後，向上述氮冷凝器3、4中供給，以及將富氧液之殘部，於將從上述氮精餾塔2中供給之氮氣以及從上述氮冷凝器3、4之冷媒側供給之氣體作為冷媒之過冷卻器7中冷卻後，向上述氮冷凝器3、4中供給。

Description

空氣分離裝置及空氣分離方法
本發明係關於一種將空氣分離來製造高純度氮及高純度氧之方法及分離裝置。
由於高純度氮之需求，存在藉由深冷空氣分離來製造氮之製程，包括主熱交換器、氮精餾塔及氮冷凝器，為了供給所需之寒冷而配置膨脹渦輪，或為了增加氮之回收量而配置循環氣體之壓縮機（例如參照專利文獻1。） 同時存在高純度氧之需求，已知將從氮精餾塔中導出之含氧液於氧精餾塔中進行精餾。作為已知之方法，將含氧液供給至精餾塔之上部，藉由與由精餾塔下部之氧蒸發器所供給之蒸氣流之精餾操作，而於氧精餾塔下部儲留高純度氧液。作為氧蒸發器之熱媒，有時使用原料空氣之一部分或含氧液（例如參照專利文獻2）、從氮精餾塔下部導出之富氧液（例如參照專利文獻3）。 從氮精餾塔中導出之液、即含氧液或者富氧液於從氮精餾塔中導出之時間點為飽和液，因此若被減壓，則一部分蒸發，成為製程上之損耗。因此，理想為於減壓前冷卻，來降低減壓時之蒸發量。富氧液有時藉由從氮精餾塔中導出之氮、或於氮冷凝器中蒸發之廢氣等來冷卻（例如參照專利文獻1），亦存在由氧蒸發器來冷卻之情形（例如參照專利文獻2、3）。
於製造高純度氧時，決定其製造量之一個重要因素為氧蒸發器中之蒸發能力。專利文獻2中，由於向氧蒸發器中供給原料空氣之一部分，故而乍看之下認為蒸發能力可自由設定，但對氧蒸發器供給原料空氣，由於使對於氮精餾塔之原料空氣供給相對減少，因此就氮製造之觀點而言並不理想。 專利文獻3中，富氧液係藉由氧蒸發器來冷卻，但於氧蒸發器中之熱需求減少之情形時，有時未經充分冷卻而供給至下游，減壓時液之一部分蒸發而產生熱損耗。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]美國專利第5711167號 [專利文獻2]美國專利公開第2010/0242537號公報 [專利文獻3]國際專利公開WO2014/173496號公報
[發明所欲解決之問題]
本揭示提供一種較上述現有構成而言，可增加高純度氮及高純度氧之製造量的空氣分離裝置及空氣分離方法。 [解決問題之手段]
本揭示之第一之空氣分離方法係應用於如下空氣分離裝置之方法，上述空氣分離裝置包括： 導入原料空氣之主熱交換器（1）、導入原料空氣之氮精餾塔（2）、將從氮精餾塔（2）之塔頂部導出之氮氣進行冷凝之至少1個氮冷凝器（3、4）、從氮精餾塔（2）中導出之含氧液向塔頂部導入之高純度氧精餾塔（5）、將於高純度氧精餾塔（5）中精餾之高純度氧液進行蒸發之氧蒸發器（6）、以及過冷卻器（7）； 上述空氣分離方法包括如下步驟（2種冷卻步驟）： 將從氮精餾塔（2）之底部導出之富氧液之一部分於氧蒸發器（6）中冷卻後，向上述氮冷凝器（3、4）供給，以及將富氧液之其殘部，於將從氮精餾塔（2）之塔頂部供給之氮氣以及將從上述氮冷凝器（3、4）之冷媒側供給之氣體中之至少一個作為冷媒之過冷卻器（7）中冷卻後，向上述氮冷凝器（4）中供給。 上述方法亦可包括如下步驟（第二熱交換步驟）： 將從上述氮精餾塔（2）之精餾部導出之含氧液，與從上述高純度氧精餾塔（5）之塔頂部導出之氣體進行熱交換後，向上述高純度氧精餾塔之塔頂供給。 上述方法亦可包括如下步驟（含氧液冷卻・供給步驟）： 將從上述氮精餾塔（2）之精餾部導出之含氧液，於上述氧蒸發器（6）中冷卻後，向上述高純度氧精餾塔（5）之塔頂部供給。 上述方法包括如下步驟（含氧液冷卻・熱交換・供給步驟）： 將從上述氮精餾塔（2）之精餾部導出之含氧液，於上述氧蒸發器（6）中冷卻，與從上述高純度氧精餾塔（5）之塔頂部導出之氣體進行熱交換後，向上述高純度氧精餾塔（5）之塔頂供給。 上述方法亦可包括如下步驟（加壓步驟）： 將從上述氧精餾塔（5）之底部導出之高純度氧液加壓後，向上述主熱交換器（1）輸送。
本揭示之第二空氣分離方法係應用於如下空氣分離裝置之方法，上述空氣分離裝置包括：導入原料空氣之主熱交換器（1）、導入原料空氣之氮精餾塔（2）、將從氮精餾塔（2）之塔頂導出之氮氣進行冷凝之至少1個氮冷凝器（3、4）、從氮精餾塔（2）中導出之含氧液向塔頂部導入之高純度氧精餾塔（5）、將於高純度氧精餾塔（5）中精餾之高純度氧液進行蒸發之氧蒸發器（6）、以及過冷卻器（7）； 上述方法空氣分離方法包括如下步驟（2階段冷卻步驟）： 將從氮精餾塔（2）之底部導出之富氧液，於將從氮精餾塔（2）之塔頂部供給之氮氣以及從上述氮冷凝器（3、4）之冷媒側供給之氣體中之至少一個作為冷媒之過冷卻器（7）中冷卻，且於氧蒸發器（6）中冷卻後，向上述氮冷凝器（3、4）中供給。 上述方法亦可包括如下步驟（第二熱交換步驟）： 將從上述氮精餾塔（2）之精餾部導出之含氧液，與從上述高純度氧精餾塔（5）之塔頂導出之氣體進行熱交後，向上述高純度氧精餾塔之塔頂供給。 上述方法亦可包括如下步驟（加壓步驟）： 將從上述高純度氧精餾塔（5）之底部導出之高純度氧液加壓後，向上述主熱交換器（1）中輸送。
本揭示之第一之空氣分離裝置（A1）包括： 主熱交換器（1），將原料空氣進行熱交換； 過冷卻器（7），係與上述主熱交換器（1）不同之熱交換功能； （具有中間或下部精餾部之）氮精餾塔（2），導入於上述主熱交換器（1）中通過之原料空氣； 至少1個氮冷凝器（第一、第二冷凝器（3、4）），導入從上述氮精餾塔（2）之塔頂（23）導出之氮氣（蒸發氣體）而進行冷凝（冷卻），向上述塔頂部（23）返回； 膨脹渦輪（92），從上述至少一個氮冷凝器（第一冷凝器（3）之塔頂部（31））導出，於上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）（之一部分）中通過後，將氣體膨脹； 壓縮機（91），將從上述至少一個氮冷凝器（上述第二冷凝器（4）之塔頂部（41））導出而壓縮後，於上述主熱交換器（1）中部分性通過，然後向上述氮精餾塔（2）中返回之循環氣體進行壓縮； （具有氧精餾部或塔頂之）高純度氧精餾塔（5），供給從上述氮精餾塔（2）（之中間或者上部精餾部）導出之含氧液（包含氣體狀及液狀）； 氧蒸發器（6），設置於上述高純度氧精餾塔（5）之（氧精餾部之）下部，用以產生氧氣之蒸氣流； 配管線（L100a），用以將從上述氮精餾塔（2）之底部導出之富氧液（之一部分）向上述過冷卻器（7）輸送，且向上述氮冷凝器（第二冷凝器（4））輸送； 配管線（L100b），將從上述氮精餾塔（2）之底部導出之富氧液（其殘部）作為上述氧蒸發器（6）之熱源而輸送，且向上述氮冷凝器（第二冷凝器（4））輸送； 氮氣導出配管線（L23），用以將從上述氮精餾塔（2）之塔頂部（23）導出之氮氣（蒸發氣體）向上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）中輸送； 廢氣導出配管線（L31），用以使從上述至少一個氮冷凝器（第一冷凝器（3）之塔頂部（31））導出之氣體，於上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）（之一部分）中通過，將上述膨脹渦輪（92）中使用之氣體向上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）中輸送；以及 循環氣體配管線（L41），用以將從上述至少一個氮冷凝器（上述第二冷凝器（4）之塔頂部（41））導出之循環氣體，於上述壓縮機（91）中壓縮，使其於上述主熱交換器（1）中部分性通過而向上述氮精餾塔（2）中返回。 上述裝置（A1）亦可包括： 旁路配管線（L100b1），從上述配管線（L100b）分支，且不通過上述氧蒸發器（6）。 上述裝置（A1）亦可包括： 配管線（L22），用以將從上述氮精餾塔（2）中導出之上述含氧液向上述高純度氧精餾塔（5）之塔頂部輸送。 上述裝置（A1）亦可包括： 第二熱交換器（8），將從上述氮精餾塔（2）中導出之上述含氧液，與從上述高純度氧精餾塔（5）之塔頂部導出之氣體進行熱交換；以及 配管線（L101），用以將從上述氮精餾塔（2）中導出之上述含氧液經由上述第二熱交換器（8）而向上述高純度氧精餾塔（5）中輸送。 上述裝置（A1）亦可包括： 加壓裝置（65），將從上述高純度氧精餾塔（5）之底部導出之高純度氧液進行加壓；以及 取出配管線（L51），從上述高純度氧精餾塔（5）之底部導出之高純度氧液經由上述加壓裝置（65）而向上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）中輸送。
本揭示之第二空氣分離裝置（A2）包括： 主熱交換器（1），將原料空氣進行熱交換； 過冷卻器（7），係與上述主熱交換器（1）不同之熱交換功能； （具有中間或下部精餾部之）氮精餾塔（2），導入於上述主熱交換器（1）中通過之原料空氣； 至少1個氮冷凝器（第一、第二冷凝器（3、4）），導入從上述氮精餾塔（2）之塔頂（23）導出之氮氣（蒸發氣體）而進行冷凝（冷卻），向上述塔頂（23）返回； 膨脹渦輪（92），從上述至少一個氮冷凝器（第一冷凝器（3）之塔頂部（31））導出，於上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）（之一部分）中通過後，將氣體膨脹； 壓縮機（91），將從上述至少一個氮冷凝器（上述第二冷凝器（4）之塔頂部（41））導出而壓縮後，於上述主熱交換器（1）中部分性通過後，向上述氮精餾塔（2）中返回之循環氣體進行壓縮； （具有氧精餾部或塔頂之）高純度氧精餾塔（5），供給從上述氮精餾塔（2）（之中間或者上部精餾部）中導出之含氧液（包含氣體狀及液狀）； 氧蒸發器（6），設置於上述高純度氧精餾塔（5）之（氧精餾部之）下部，用以產生氧氣之蒸氣流； 配管線（L100c），用以將從上述氮精餾塔（2）之底部導出之富氧液向上述過冷卻器（7）中輸送，作為上述氧蒸發器（6）之熱源而輸送，且向上述氮冷凝器（第二冷凝器（4））中輸送； 廢氣導出配管線（L31），用以使從上述至少一個氮冷凝器（第一冷凝器（3）之塔頂部（31））中導出之氣體，於上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）（之一部分）中通過，將上述膨脹渦輪（92）中使用之氣體向上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）中輸送；以及 循環氣體配管線（L41），用以將從上述至少一個氮冷凝器（上述第二冷凝器（4）之塔頂部（41））導出之循環氣體，於上述壓縮機（91）中壓縮，使其於上述主熱交換器（1）中部分性通過而向上述氮精餾塔（2）中返回。 上述裝置（A2）亦可包括： 旁路配管線（L100c1），從上述配管線（L100c）分支，且不通過上述氧蒸發器（6）。 上述裝置（A2）亦可包括： 配管線（L22），用以將從上述氮精餾塔（2）中導出之上述含氧液向上述高純度氧精餾塔（5）之塔頂部輸送。 上述裝置（A2）亦可包括： 第二熱交換器（8），將從上述氮精餾塔（2）中導出之上述含氧液，與從上述高純度氧精餾塔（5）之塔頂部導出之廢氣進行熱交換（冷卻）；以及 配管線L101，用以將從上述氮精餾塔（2）中導出之上述含氧液，經由上述第二熱交換器（8）而向上述高純度氧精餾塔（5）中輸送。 上述裝置（A2）亦可包括： 加壓裝置（65），將從上述高純度氧精餾塔（5）之底部導出之高純度氧液進行加壓；以及 取出配管線（L51），從上述高純度氧精餾塔（5）之底部導出之高純度氧液經由上述加壓裝置（65）而向上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）中輸送。
本揭示之第三之空氣分離裝置（A3）包括： 主熱交換器（1），將原料空氣進行熱交換； 過冷卻器（7），係與上述主熱交換器（1）不同之熱交換功能； （具有中間或下部精餾部之）氮精餾塔（2），導入於上述主熱交換器（1）中通過之原料空氣； 至少1個氮冷凝器（第一、第二冷凝器（3、4）），導入從上述氮精餾塔（2）之塔頂（23）導出之氮氣（蒸發氣體）而進行冷凝（冷卻），向上述塔頂（23）返回； 膨脹渦輪（92），從上述至少一個氮冷凝器（第一冷凝器（3）之塔頂部（31））導出，於上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）（之一部分）中通過後，將氣體膨脹； 壓縮機（91），將從上述至少一個氮冷凝器（上述第二冷凝器（4）之塔頂部（41））導出而壓縮後，於上述主熱交換器（1）中部分性通過後，向上述氮精餾塔（2）中返回之循環氣體進行壓縮； （具有氧精餾部或塔頂之）高純度氧精餾塔（5），供給從上述氮精餾塔（2）（之中間或者上部精餾部）中導出之含氧液（包含氣體狀及液狀）； 氧蒸發器（6），設置於上述高純度氧精餾塔（5）之（氧精餾部之）下部，用以產生氧氣之蒸氣流； 配管線（L100a），用以將從上述氮精餾塔（2）之底部導出之富氧液（之一部分）向上述過冷卻器（7）中輸送，且向上述氮冷凝器（第二冷凝器（4））中輸送； 配管線（L100b），用以將從上述氮精餾塔（2）之底部導出之富氧液（之其殘部）作為上述氧蒸發器（6）之熱源而輸送，且向上述氮冷凝器（第二冷凝器（4））中輸送； 配管線（L103），用以將從上述氮精餾塔（2）中導出之上述含氧液作為上述氧蒸發器（6）之熱源而輸送，且向上述高純度氧精餾塔（5）之塔頂輸送； 氮氣導出配管線（L23），用以將從上述氮精餾塔（2）之塔頂部（23）導出之氮氣（蒸發氣體）向上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）中輸送； 廢氣導出配管線（L31），用以使從上述至少一個氮冷凝器（第一冷凝器（3）之塔頂部（31））導出之氣體，於上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）（之一部分）中通過，將上述膨脹渦輪（92）中使用之氣體向上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）中輸送；以及 循環氣體配管線（L41），用以將從上述至少一個氮冷凝器（上述第二冷凝器（4）之塔頂部（41））導出之循環氣體於上述壓縮機（91）中壓縮，於上述主熱交換器（1）中部分性通過而向上述氮精餾塔（2）中返回。 上述裝置（A3）亦可包括： 旁路配管線（L100b1），從上述配管線（L100b）分支，且不通過上述氧蒸發器（6）。 上述裝置（A3）亦可代替配管線（L103）而包括： 第二熱交換器（8），用以將由上述氧蒸發器（6）進行熱交換之上述含氧液，與從上述高純度氧精餾塔（5）之塔頂部導出之廢氣進行熱交換；以及 配管線（L104），用以將從上述氮精餾塔（2）中導出之上述含氧液，經由上述氧蒸發器（6）及上述第二熱交換器（8）而向上述高純度氧精餾塔（5）中輸送。 上述裝置（A3）亦可包括： 加壓裝置（65），將從上述高純度氧精餾塔（5）之底部導出之高純度氧液進行加壓； 以及取出配管線（L51），從上述高純度氧精餾塔（5）之底部導出之高純度氧液經由上述加壓裝置（65）而向上述過冷卻器（7）及上述主熱交換器（1）中輸送。 由上述取出配管線（L51）所取出之高純度氧液亦可於上述主熱交換器（1）中通過（蒸發）而成為氧氣後，向需求點輸送。
上述空氣分離裝置（A1、A2、A3）亦可包括： 流量測量器、壓力測定器、溫度測定器、液位測定器等各種計測器； 控制閥、閘閥等各種閥；以及 將各要素間連結之配管。
上述空氣分離裝置（A1、A2、A3）亦可包括： 具有上述膨脹渦輪（91）及上述壓縮機（92）之壓縮機膨脹器（9）。藉由將由膨脹渦輪（91）所獲得之動力之至少一部分用於壓縮機（92）之動力，可高效地利用可由膨脹渦輪（91）所回收之動力。
「高純度氧」係指具有例如99.99%以上之純度之氧。 「高純度氮」係指具有例如99.99%以上之純度之氮。
（作用效果） （1）可增加高純度氮及高純度氧之製造量。 （2）將從氮精餾塔中導出之富氧液於氧蒸發器中冷卻，同時，於將從氮精餾塔中供給之氮氣、從氮冷凝器之冷媒側供給之廢氣作為冷媒之過冷卻器中冷卻，藉此，即便氧蒸發器之熱需求變化，亦可將富氧液充分冷卻，來改善熱效率。 （3）含氧液藉由與從氧精餾塔中導出之氧精餾塔之廢氣進行熱交換而進一步冷卻，藉此，可進而減少由減壓所引起之蒸發損耗。 （4）藉由將含氧液作為氧蒸發器中之熱媒來利用，同時冷卻，可減少由於含氧液導入至氧精餾塔中時之減壓而產生之蒸發損耗，且增加氧蒸發器之蒸發量，因此亦有助於高純度氧之製造量之增量。
以下對本揭示之若干實施方式進行說明。以下所說明之實施方式係對本揭示之一例進行說明者。本揭示不受以下之實施方式之任何限定，亦包括於不變更本揭示之主旨之範圍內實施之各種變形形態。此外，以下所說明之構成全部僅為本揭示之必須構成。上游或下游係以氣體流之流動方向為基準。
（實施方式1） 使用圖1A，對實施方式1之空氣分離裝置A1進行說明。 主熱交換器1導入原料空氣來進行熱交換。 過冷卻器7係與主熱交換器1不同之熱交換功能。圖1A中，示出主熱交換器1與過冷卻器7連結，但彼此之熱交換功能各不相同。本實施方式中，過冷卻器7之冷媒至少為從氮精餾塔2之塔頂部23供給之氮氣、以及從第一冷凝器3之塔頂部31（冷媒側）供給之氣體。 氮精餾塔2導入於主熱交換器1中通過之原料空氣。氮精餾塔2包括底部21、精餾部22、塔頂部23。原料空氣配管線L1使原料空氣通過主熱交換器1，向氮精餾塔2之下部精餾部221導入。從氮精餾塔2之塔頂23中導出之氮氣（富化氮氣）經由氮氣配管線L23，而於過冷卻器7及主熱交換器1中通過，作為製品氮而導出。
第一冷凝器3導入從氮精餾塔2之塔頂部23中導出之氮氣（蒸發氣體）而進行冷凝（冷卻）。氮氣藉由配管線L231而從塔頂部23向第一冷凝器3輸送，冷卻而向塔頂部23返回。 第二冷凝器4導入從氮精餾塔2之塔頂部23中導出之氮氣（蒸發氣體）而進行冷凝（冷卻）。氮氣藉由配管線L232而從塔頂部23向第二冷凝器4輸送，冷卻而向塔頂部23返回。 第一冷凝器3之冷媒側之壓力低於第二冷凝器4之冷媒側之壓力。由第二冷凝器4所濃縮之高壓富氧液利用減壓閥來減壓後，作為低壓冷媒而向第一冷凝器3輸送。
壓縮機91及膨脹渦輪92作為壓縮機膨脹器9而發揮功能。膨脹渦輪92從第一冷凝器3之塔頂部31中導出，於過冷卻器7及主熱交換器1之一部分中通過後，將氣體膨脹。經膨脹之氣體通過過冷卻器7及主熱交換器1，作為廢氣來處理。廢氣配管線L31使從第一冷凝器3之塔頂部31中導出之氣體，於過冷卻器7及主熱交換器1之一部分中通過，利用膨脹渦輪92使其膨脹後，於過冷卻器7及主熱交換器1中通過而導出。 壓縮機91將從第二冷凝器4之塔頂部41中導出之氣體進行壓縮。所壓縮之氣體通過主熱交換器1之一部分而向氮精餾塔2之底部21之氣相導入。循環氣體配管線L41使從第二冷凝器4之塔頂部41中導出之氣體，於壓縮機91中壓縮，通過主熱交換器1之一部分，作為循環氣體而向氮精餾塔2之底部21之氣相導入。
高純度氧精餾塔5供給從氮精餾塔2之中間精餾部222中導出之含氧液（包含氣體狀及液狀）。高純度氧精餾塔5包括下部51、精餾部52、塔頂部53。氧蒸發器6設置於高純度氧精餾塔5之下部51，產生氧氣之蒸氣流。配管線L22從氮精餾塔2之中間精餾部222中導出含氧液，向純度氧精餾塔5之塔頂部51輸送。配管線L53從高純度氧精餾塔5之塔頂部53導出氣體，與較主熱交換器1更上游側之廢氣配管線L31合流。取出配管線L51係用以從高純度氧精餾塔5之底部51中導出高純度氧液的配管線。 此外，作為其他實施方式，取出配管線L51可為將高純度氧液僅向過冷卻器7或者主熱交換器1中之任一者輸送之配管線，或者亦可為向該等兩者輸送之配管線，亦可作為以高純度氧氣製品來供給之配管線而發揮功能。於上述情形時，亦可設置於向過冷卻器7或者主熱交換器1中輸送之前將高純度氧液之壓力提高之手段。
（富氧液之2種冷卻步驟） 富氧液之2種冷卻步驟為：將從氮精餾塔2之底部211中導出之富氧液之一部分，於氧蒸發器6中冷卻後向第二冷凝器4中供給；以及將富氧液之殘部，於將從氮精餾塔2之塔頂部23中供給之氮氣以及從第一冷凝器3之塔頂部31（冷媒側）中供給之氣體作為冷媒之過冷卻器7中冷卻後，向第二冷凝器4供給。本實施方式1中，從高純度氧精餾塔5中導出之高純度氧液亦作為冷媒而發揮功能。 配管線L100a係用以利用配管L100，將從氮精餾塔2之底部21中導出之富氧液之一部分向過冷卻器7輸送，且向第二冷凝器4輸送之配管線。 配管線L100b係用以將利用配管L100而從氮精餾塔2之底部21中導出之富氧液之其殘部作為氧蒸發器6之熱源來輸送，且向第二冷凝器4輸送的配管線。 氮氣導出配管線L23係用以將從氮精餾塔2之塔頂部23中導出之氮氣（蒸發氣體）向過冷卻器7及主熱交換器1中輸送之配管線。
控制部110係以供給與氧蒸發器6中之目標蒸發量相當之熱量之方式，來決定向氧蒸發器6輸送之富氧液之流量，控制富氧液之流量。此外，目標蒸發量係根據製品高純度氧之製造量、氮精餾塔2及高純度氧精餾塔5之製程平衡來設定。 氧蒸發器6中之蒸發量可根據高純度氧精餾塔5之壓力、儲留於底部51中之製品高純度氧之製造量、或者製品高純度氧之純度來求出。高純度氧精餾塔5之壓力可於其塔頂部53、精餾部（中間部）52、或者下部51中測定。製品高純度氧之製造量可利用配置於將製品高純度氧導出之取出配管線L51上之流量計來測定，亦可由高純度氧精餾塔5之下部51之液面計來算出。製品高純度氧之純度可測定蓄積於高純度氧精餾塔5之下部51中之氧液之純度，亦可從下部51之氣相部導出氧氣來測定。 富氧液之流量可藉由富氧液之熱容量、以及氧蒸發器6中之入口溫度（利用溫度計來計測）與出口溫度（利用溫度計來計測）之差來求出。富氧液之熱容量可根據溫度壓力組成來推算，亦可將所假定之運用範圍中之平均值作為常數來使用。本實施方式中，向氧蒸發器6輸送之富氧液之流量係利用設置於配管線L100b上之流量計F1來計測。流量計F1例如可為差壓式流量計、渦流量計、質量流量計等。又，富氧液之流量亦可根據含氧液之流量計（設置於配管L22上之流量計）之指示值與高純度氧精餾塔5之廢氣流量計（設置於配管L53上之流量計）之指示值之差來算出。 控制部110係以流量計F1之測定結果（流量）可供給與目標蒸發量相當之熱量之方式，調整設置於配管線L100b上之第一控制閥V1，調整流量、即供給熱量來控制蒸發量。 控制部100除了控制第一控制閥V1以外，亦可調整設置於配管線L100a上之第二控制閥V2，來控制於配管線L100a中流通之富氧液之流量。
本實施方式中，使於氧蒸發器6中流通之富氧液之入口溫度與出口溫度穩定後，控制富氧液之流量。富氧液之氧蒸發器6之入口溫度與氮精餾塔2之底部21中之飽和溫度相等，不受過冷卻器7中之富氧液之影響。因此，可一面維持氧蒸發器6之運用性，一面將從氮精餾塔2之底部21中導出之富氧液中未供給至氧蒸發器6中之殘留之富氧液向過冷卻器7中輸送而冷卻。
（實施方式1之其他實施方式） 使用圖1B，對實施方式1之其他實施方式之空氣分離裝置A1進行說明。 其他實施方式中，包括旁路配管線L100b1。 旁路配管線L100b1於較氧蒸發器6更上游從配管線L100b分支，不通過氧蒸發器6，而是於較氧蒸發器6更下游之配管線L100b中合流。於較氧蒸發器6更上游，於配管線L100b上設置控制閥V11，且於旁路配管線L100b1上設置控制閥V12。 控制部110進行實施方式1之控制。又，控制部110係以關閉控制閥11且打開控制閥12之方式來控制，向旁路配管線L100b1中輸送富氧液。藉此，於氧蒸發器6中之蒸發量過剩之情形時，亦可一面穩定地進行過冷卻器7中之富氧液之冷卻，一面於旁路配管線L100b1中流通富氧液之一部分，藉此可將氧蒸發器6之蒸發量調節為適當量。
（實施方式2） 使用圖2，對實施方式2之空氣分離裝置A1進行說明。實施方式2之空氣分離裝置A1作為與實施方式1之空氣分離裝置A1不同之構成，包括第二熱交換器8。與實施方式1相同之構成省略說明或者簡單說明。
第二熱交換器8將從氮精餾塔2之中間精餾部222中導出之含氧液，與從高純度氧精餾塔5之塔頂部53中導出之氣體進行熱交換。 配管線L101係用以將從氮精餾塔2中導出之含氧液，經由第二熱交換器8而向高純度氧精餾塔5之頭頂部53輸送之配管線。 藉由利用第二熱交換器8來將含氧液進而冷卻，可減少由減壓所引起之蒸發損耗。
（實施方式3） 使用圖3A，對實施方式3之空氣分離裝置A2進行說明。實施方式3之空氣分離裝置A2作為與實施方式1之空氣分離裝置A1不同之構成，不包括配管線L100a、L100b，而包括配管線L100c。與實施方式1相同之構成省略說明或者簡單說明。 配管線L100c係用以將從氮精餾塔2之底部21中導出之富氧液向過冷卻器7輸送，繼而作為氧蒸發器6之熱源而輸送，接著向第二冷凝器4中輸送之配管線。
（富氧液之2階段冷卻步驟） 富氧液之2階段冷卻步驟將從氮精餾塔2之底部21中導出之富氧液，於將從氮精餾塔2之塔頂部23中供給之氮氣以及從氮冷凝器3之塔頂部31（冷媒側）供給之氣體作為冷媒之過冷卻器7中冷卻，繼而於氧蒸發器6中冷卻後，向第二冷凝器4中供給。
控制部120係以供給與氧蒸發器6中之目標蒸發量相當之熱量之方式，決定向氧蒸發器6中輸送之富氧液之流量，控制富氧液之流量。此外，目標蒸發量係根據製品高純度氧之製造量、氮精餾塔2及高純度氧精餾塔5之製程平衡來設定。 控制部120係為了使氧蒸發器6之入口之富氧液之溫度穩定，而控制富氧液之流量。為了使氧蒸發器6之入口之富氧液之溫度穩定，以使由過冷卻器7所冷卻之富氧液量一定之方式來控制。 供給至氧蒸發器6中之富氧液之流量係利用設置於配管線L100c上之流量計F2來計測。 控制部120係以流量計F2之測定結果（流量）可供給與目標蒸發量相當之熱量之方式，來調整設置於配管線L100c上之控制閥V3，調整流量、即供給熱量來控制蒸發量。
（實施方式3之其他實施方式） 使用圖3B，對實施方式3之其他實施方式之空氣分離裝置A2進行說明。 其他實施方式中，包括旁路配管線L100c1。 旁路配管線L100c1於較氧蒸發器6更上游從配管線L100c分支，不通過氧蒸發器6，而是於較氧蒸發器6更下游之配管線L100c中合流。於較氧蒸發器6更上游，於配管線L100c上設置閥V4，於旁路配管線L100c1上設置閥V5。 控制部120進行實施方式3之控制。又，控制部120係以關閉閥4且打開閥5之方式來控制，向旁路配管線L100c1中輸送富氧液。藉此，於氧蒸發器6中之蒸發量過剩之情形時，亦可一面穩定地進行過冷卻器7中之富氧液之冷卻，一面於旁路配管線L100c1中流通富氧液，藉此可將氧蒸發器6之蒸發量調節為適當量。
（實施方式4） 使用圖4，對實施方式4之空氣分離裝置A3進行說明。實施方式4之空氣分離裝置A3作為與實施方式1之空氣分離裝置A1不同之構成，不包括配管線L22，而是包括配管線L103。與實施方式1相同之構成省略說明或者簡單說明。 配管線L103係用以從氮精餾塔2之中間精餾部222中導出含氧液，作為氧蒸發器6之熱源來輸送，繼而向高純度氧精餾塔5之塔頂部53中輸送之配管線。係利用富氧液及含氧液之2種來作為氧冷凝部6之熱源之構成。 藉此，藉由將含氧液於氧蒸發器6中作為熱媒來利用而冷卻，可減少由含氧液導入至高純度氧精餾塔5中時之減壓所產生之蒸發損耗。即，由於增加氧蒸發器6之蒸發量，故而有助於高純度氧之製造量之增量。
（實施方式5） 使用圖5，對實施方式5之空氣分離裝置A3進行說明。實施方式5之空氣分離裝置A3作為與實施方式4之空氣分離裝置A3不同之構成，不包括配管線L103，而是包括配管線L104及第二熱交換器8。與實施方式4相同之構成省略說明或者簡單說明。
第二熱交換器8將從氮精餾塔2之中間精餾部222中導出且於氧蒸發器6中作為熱媒來利用之含氧液，與從高純度氧精餾塔5之塔頂部53中導出之氣體進行熱交換。 配管線L104係用以將從氮精餾塔2中導出之含氧液向氧蒸發器6中輸送，繼而，經由第二熱交換器8而向高純度氧精餾塔5之塔頂部53中輸送之配管線。 藉由利用第二熱交換器8，將含氧液進而冷卻，可減少由減壓所引起之蒸發損耗。
（實施方式6） 使用圖6，對實施方式6之空氣分離裝置A3進行說明。實施方式6之空氣分離裝置A3作為與實施方式5之空氣分離裝置A3不同之構成，包括加壓裝置65。與實施方式5相同之構成省略說明或者簡單說明。 加壓裝置65將從高純度氧精餾塔5之下部51之底部導出之高純度氧液進行加壓。 經加壓之高純度氧液可經由取出配管線L51，向過冷卻器7及主熱交換器1輸送，作為高壓之高純度氧氣而取出。
（實施方式1、圖1之實施例） 示出上述實施方式1之模擬例。 原料空氣以10.86 barA、溫度55℃、流量1065 Nm 3/h供給至主熱交換器1之溫端，冷卻至-162℃後供給至氮精餾塔2中。 從氮精餾塔2之塔頂部23中，氮氣以575 Nm 3/h導出，於過冷卻器7及主熱交換器1中加溫後導出。 從氮精餾塔2之底部21中，以836 Nm 3/h導出包含氧39%之富氧液，其中621 Nm 3/h向過冷卻器7中輸送，冷卻至-171℃後，供給至第二冷凝器4中。其他之215 Nm 3/h於氧蒸發器6中冷卻至-177℃後，供給至第二冷凝器4中。 第二冷凝器4中，循環空氣以6.5 barA、417 Nm 3/h來產生，於壓縮機92中升壓至10.8 barA後，於主熱交換器1中冷卻後，返回至氮精餾塔2中而循環。 第一冷凝器3中，廢氣以5.1 barA、419 Nm 3/h來產生，於過冷卻器7及主熱交換器1中加溫至-137℃後，於膨脹渦輪91中膨脹，同時冷卻，再次於過冷卻器7及主熱交換器1中加溫後，作為廢氣來處理。 為了製造高純度氧，包含氧19%之含氧液以71 Nm 3/h來導出，減壓至1.5 barA後，供給至高純度氧精餾塔5之塔頂部53中。從高純度氧精餾塔5之下部51之底部，以4.3 Nm 3/h導出高純度氧液。從塔頂部53，以66.7 Nm 3/h導出廢氣，與從膨脹渦輪91中供給之廢氣混合後，於過冷卻器7及主熱交換器1中加溫，然後作為廢氣來處理。 作為比較例，於實施方式1中，設為如下構成：不包括過冷卻器7，將從氮精餾塔2之底部導出之富氧液向氧蒸發器6中輸送，然後向第二冷凝器4中輸送。為不存在配管線L100a而僅存在L100b之構成。 實施例之高純度氧精餾塔中製造之高純度氧液之量可確認較比較例之高純度氧液之量而言成為1.1至1.3倍。
（其他實施方式） （1）上述本實施方式中，過冷卻器7之冷媒至少為從氮精餾塔2之塔頂部23中供給之氮氣、以及從第一冷凝器3之塔頂部31（冷媒側）中供給之氣體，但作為其他實施方式，配管線L31亦可進而設置：不通過過冷卻器7而向主熱交換器1中輸送之配管線、或者用以不通過過冷卻器7而向主熱交換器1輸送之旁路配管。又，作為其他實施方式，氮氣配管線L23亦可進而設置：不通過過冷卻器7而向主熱交換器1輸送之配管線、或者用以不通過過冷卻器7而向主熱交換器1輸送之旁路配管。 （2）於實施方式6中設置有加壓裝置65，但於其他實施方式1至5中亦可設置加壓裝置。 （3）實施方式5至6中，亦可具備實施方式1之旁路配管線。 （4）雖未特別明示，但亦可於各配管線上設置壓力調整裝置、流量控制裝置等，來進行壓力調整或者流量調整。 （5）雖未特別明示，但亦可於各線上設置控制閥、閘閥等。 （6）雖未特別明示，但亦可於各塔上設置壓力調整裝置、溫度測定裝置等，來進行壓力調整或者溫度調整。
1:主熱交換器 2:氮精餾塔 3:第一冷凝器 4:第二冷凝器 5:高純度氧精餾塔 6:氧蒸發器 7:過冷卻器 8:第二熱交換器 9:壓縮機膨脹器 21:底部 22:精餾部 23:塔頂部 31:塔頂部 41:塔頂部 51:下部 52:精餾部 53:塔頂部 65:加壓裝置 91:壓縮機 92:膨脹渦輪 110:控制部 120:控制部 221:下部精餾部 222:中間精餾部 A1:空氣分離裝置 A2:空氣分離裝置 A3:空氣分離裝置 F1:流量計 F2:流量計 L1:原料空氣配管線 L22:配管線 L23:氮氣配管線 L31:廢氣導出配管線 L41:循環氣體配管線 L51:取出配管線 L53:配管線 L100:配管 L100a:配管線 L100b:配管線 L100b1:旁路配管線 L100c:配管線 L100c1:旁路配管線 L101:配管線 L103:配管線 L104:配管線 L231:配管線 L232:配管線 V1:第一控制閥 V2:第二控制閥 V3:控制閥 V4:閥 V5:閥 V11:控制閥 V12:控制閥
[圖1A]係表示實施方式1之空氣分離裝置的圖。 [圖1B]係表示實施方式1之其他實施方式之空氣分離裝置的圖。 [圖2]係表示實施方式2之空氣分離裝置的圖。 [圖3A]係表示實施方式3之空氣分離裝置的圖。 [圖3B]係表示實施方式3之其他實施方式之空氣分離裝置的圖。 [圖4]係表示實施方式4之空氣分離裝置的圖。 [圖5]係表示實施方式5之空氣分離裝置的圖。 [圖6]係表示實施方式6之空氣分離裝置的圖。
1:主熱交換器
2:氮精餾塔
3:第一冷凝器
4:第二冷凝器
5:高純度氧精餾塔
6:氧蒸發器
7:過冷卻器
9:壓縮機膨脹器
21:底部
22:精餾部
23:塔頂部
31:塔頂部
41:塔頂部
51:下部
52:精餾部
53:塔頂部
91:壓縮機
92:膨脹渦輪
110:控制部
221:下部精餾部
222:中間精餾部
A1:空氣分離裝置
F1:流量計
L1:原料空氣配管線
L22:配管線
L23:氮氣配管線
L31:廢氣導出配管線
L41:循環氣體配管線
L51:取出配管線
L53:配管線
L100:配管
L100a:配管線
L100b:配管線
L231:配管線
L232:配管線
V1:第一控制閥
V2:第二控制閥

Claims (11)

  1. 一種空氣分離方法，其係應用於如下空氣分離裝置之方法，上述空氣分離裝置包括：導入原料空氣之主熱交換器、導入原料空氣之氮精餾塔、將從氮精餾塔中導出之氮氣進行冷凝之至少1個氮冷凝器、導入從氮精餾塔中導出之含氧液之高純度氧精餾塔、將由高純度氧精餾塔所精餾之高純度氧液進行蒸發之氧蒸發器、以及過冷卻器； 上述空氣分離方法包括如下步驟：將從上述氮精餾塔中導出之富氧液之一部分於上述氧蒸發器中冷卻後，向上述氮冷凝器中供給，以及將富氧液之殘部，於將從上述氮精餾塔中供給之氮氣以及從上述氮冷凝器之冷媒側供給之氣體中之至少一種作為冷媒之過冷卻器中進行冷卻之後，向上述氮冷凝器中供給。
  2. 如請求項1之空氣分離方法，其中 上述方法包括如下步驟： 將從上述氮精餾塔中導出之含氧液與從上述高純度氧精餾塔中導出之氣體進行熱交換後，向上述高純度氧精餾塔中供給。
  3. 如請求項1之空氣分離方法，其中 上述方法包括如下步驟： 將從上述氮精餾塔中導出之含氧液於上述氧蒸發器中冷卻後，向上述高純度氧精餾塔中供給。
  4. 如請求項1之空氣分離方法，其中 上述方法包括如下步驟： 將從上述氮精餾塔中導出之含氧液於上述氧蒸發器中冷卻，與從上述高純度氧精餾塔中導出之氣體進行熱交換後，向上述高純度氧精餾塔中供給。
  5. 一種空氣分離方法，其係應用於如下空氣分離裝置之方法，上述空氣分離裝置包括：導入原料空氣之主熱交換器、導入原料空氣之氮精餾塔、將從氮精餾塔中導出之氮氣進行冷凝之至少1個氮冷凝器、導入從氮精餾塔中導出之含氧液之高純度氧精餾塔、將由高純度氧精餾塔所精餾之高純度氧液進行蒸發之氧蒸發器、以及過冷卻器； 上述空氣分離方法包括如下方法： 將從上述氮精餾塔中導出之富氧液，於將從上述氮精餾塔中供給之氮氣以及從上述氮冷凝器之冷媒側供給之氣體中之至少一種作為冷媒之過冷卻器中冷卻，且於上述氧蒸發器中冷卻後向上述氮冷凝器中供給。
  6. 一種空氣分離裝置，其包括： 主熱交換器，將原料空氣進行熱交換； 過冷卻器，係與上述主熱交換器不同之熱交換功能； 氮精餾塔，導入於上述主熱交換器中通過之原料空氣； 至少1個氮冷凝器，導入從上述氮精餾塔中導出之氮氣而進行冷凝； 膨脹渦輪，從上述至少一個氮冷凝器中導出，於上述過冷卻器及上述主熱交換器中通過後，將氣體膨脹； 壓縮機，將從上述至少一個氮冷凝器中導出而壓縮後，於上述主熱交換器中通過，然後向上述氮精餾塔中返回之循環氣體進行壓縮； 高純度氧精餾塔，供給從上述氮精餾塔中導出之含氧液； 氧蒸發器，設置於上述高純度氧精餾塔之下部，用以產生氧氣之蒸氣流； 配管線，用以將從上述氮精餾塔中導出之富氧液向上述過冷卻器中輸送，且向上述氮冷凝器中輸送； 配管線，用以將從上述氮精餾塔中導出之富氧液作為上述氧蒸發器之熱源而輸送，且向上述氮冷凝器中輸送； 氮氣導出配管線，用以將從上述氮精餾塔中導出之氮氣向上述過冷卻器及上述主熱交換器中輸送； 廢氣導出配管線，用以使從上述至少一個氮冷凝器中導出之氣體於上述過冷卻器及上述主熱交換器中通過，將上述膨脹渦輪中使用之氣體向上述過冷卻器及上述主熱交換器中輸送；以及 循環氣體配管線，用以將從上述至少一個氮冷凝器中導出之循環氣體於上述壓縮機中進行壓縮，使其於上述主熱交換器中通過而向上述氮精餾塔中返回。
  7. 如請求項6之空氣分離裝置，其中包括： 第二熱交換器，將從上述氮精餾塔中導出之上述含氧液與從上述高純度氧精餾塔中導出之氣體進行熱交換；以及 配管線，用以將從上述氮精餾塔中導出之上述含氧液經由上述第二熱交換器而向上述高純度氧精餾塔中輸送。
  8. 一種空氣分離裝置，其包括： 主熱交換器，將原料空氣進行熱交換； 過冷卻器，係與上述主熱交換器不同之熱交換功能； 氮精餾塔，導入於上述主熱交換器中通過之原料空氣； 至少1個氮冷凝器，導入從上述氮精餾塔中導出之氮氣而進行冷凝； 膨脹渦輪，從上述至少一個氮冷凝器中導出，於上述過冷卻器及上述主熱交換器中通過後將氣體膨脹； 壓縮機，將從上述至少一個氮冷凝器中導出而壓縮後，於上述主熱交換器中通過，然後向上述氮精餾塔中返回之循環氣體進行壓縮； 高純度氧精餾塔，供給從上述氮精餾塔中導出之含氧液； 氧蒸發器，設置於上述高純度氧精餾塔之下部，用以產生氧氣之蒸氣流； 配管線，用以將從上述氮精餾塔之底部導出之富氧液向上述過冷卻器中輸送，且作為上述氧蒸發器之熱源而輸送，向上述氮冷凝器中輸送； 廢氣導出配管線，用以使從上述至少一個氮冷凝器中導出之氣體於上述過冷卻器及上述主熱交換器中通過，將上述膨脹渦輪中使用之氣體向上述過冷卻器及上述主熱交換器中輸送；以及 循環氣體配管線，用以將從上述至少一個氮冷凝器中導出之循環氣體於上述壓縮機中進行壓縮，使其於上述主熱交換器中通過而向上述氮精餾塔中返回。
  9. 如請求項8之空氣分離裝置，其中包括： 旁路配管線，自用以將從上述氮精餾塔之底部導出之富氧液向上述過冷卻器中輸送，且作為上述氧蒸發器之熱源而輸送，向上述氮冷凝器中輸送之上述配管線上分支，不通過上述氧蒸發器。
  10. 一種空氣分離裝置，包括： 主熱交換器，將原料空氣進行熱交換； 過冷卻器，係與上述主熱交換器不同之熱交換功能； 氮精餾塔，導入於上述主熱交換器中通過之原料空氣； 至少1個氮冷凝器，導入從上述氮精餾塔中導出之氮氣而進行冷凝； 膨脹渦輪，從上述至少一個氮冷凝器中導出，於上述過冷卻器及上述主熱交換器中通過後將氣體膨脹； 壓縮機，將從上述至少一個氮冷凝器中導出而壓縮後，於上述主熱交換器中通過，然後向上述氮精餾塔中返回之循環氣體進行壓縮； 高純度氧精餾塔，供給從上述氮精餾塔中導出之含氧液； 氧蒸發器，設置於上述高純度氧精餾塔之下部，用以產生氧氣之蒸氣流； 配管線，用以將從上述氮精餾塔中導出之富氧液向上述過冷卻器中輸送，且向上述氮冷凝器中輸送； 配管線，用以將從上述氮精餾塔之底部導出之富氧液作為上述氧蒸發器之熱源而輸送，向上述氮冷凝器中輸送； 配管線，用以將從上述氮精餾塔中導出之上述含氧液作為上述氧蒸發器之熱源而輸送，且向上述高純度氧精餾塔中輸送； 氮氣導出配管線，用以將從上述氮精餾塔中導出之氮氣向上述過冷卻器及上述主熱交換器中輸送； 廢氣導出配管線，用以使從上述至少一個氮冷凝器中導出之氣體於上述過冷卻器及上述主熱交換器中通過，將上述膨脹渦輪中使用之氣體向上述過冷卻器及上述主熱交換器中輸送；以及 循環氣體配管線，將從上述至少一個氮冷凝器中導出之循環氣體於上述壓縮機中進行壓縮，使其於上述主熱交換器中通過而向上述氮精餾塔中返回。
  11. 一種空氣分離裝置，其包括： 主熱交換器，將原料空氣進行熱交換； 過冷卻器，係與上述主熱交換器不同之熱交換功能； 氮精餾塔，導入於上述主熱交換器中通過之原料空氣； 至少1個氮冷凝器，導入從上述氮精餾塔中導出之氮氣而進行冷凝； 膨脹渦輪，從上述至少一個氮冷凝器中導出，於上述過冷卻器及上述主熱交換器中通過後將氣體膨脹； 壓縮機，將從上述至少一個氮冷凝器中導出而壓縮後，於上述主熱交換器中通過，然後向上述氮精餾塔中返回之循環氣體進行壓縮； 高純度氧精餾塔，供給從上述氮精餾塔中導出之含氧液； 氧蒸發器，設置於上述高純度氧精餾塔之下部，用以產生氧氣之蒸氣流； 配管線，用以將從上述氮精餾塔中導出之富氧液向上述過冷卻器中輸送，且向上述氮冷凝器中輸送； 配管線，用以將從上述氮精餾塔之底部導出之富氧液作為上述氧蒸發器之熱源而輸送，向上述氮冷凝器中輸送； 第二熱交換器，將由上述氧蒸發器進行了熱交換之上述含氧液與從上述高純度氧精餾塔中導出之廢氣進行熱交換； 配管線，用以將從上述氮精餾塔中導出之上述含氧液經由上述氧蒸發器及上述第二熱交換器而向上述高純度氧精餾塔中輸送； 氮氣導出配管線，用以將從上述氮精餾塔中導出之氮氣向上述過冷卻器及上述主熱交換器中輸送； 廢氣導出配管線，用以使從上述至少一個氮冷凝器中導出之氣體於上述過冷卻器及上述主熱交換器中通過，將上述膨脹渦輪中使用之氣體向上述過冷卻器及上述主熱交換器中輸送；以及 循環氣體配管線，用以將從上述至少一個氮冷凝器中導出之循環氣體於上述壓縮機中進行壓縮，使其於上述主熱交換器中通過而向上述氮精餾塔中返回。
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