TW202406286A

TW202406286A - 諧波抑制電路、射頻電源及半導體製程設備

Info

Publication number: TW202406286A
Application number: TW112125837A
Authority: TW
Inventors: 李冠軍
Original assignee: 大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司
Priority date: 2022-07-29
Filing date: 2023-07-11
Publication date: 2024-02-01
Also published as: CN115242064A

Abstract

一種諧波抑制電路、射頻電源及半導體製程設備。諧波抑制電路包括第一電路、第二電路、第三電路和第四電路；第一電路傳輸處於預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號，射頻信號分別由第一電路的信號輸入端和信號輸出端輸入和輸出；第二電路連接信號輸入端與第三電路之間以阻止射頻信號通過，並使頻率為預設諧振通帶寬度範圍之外的頻率的第一預設頻率的諧波信號通過；第三電路另一端接地以傳輸第一預設頻率的諧波信號；第四電路連接信號輸出端和接地端之間，以傳輸第二預設頻率的諧波信號，第二預設頻率高於預設諧振通帶寬度範圍中的最高頻率。

Description

諧波抑制電路、射頻電源及半導體製程設備

本申請屬於射頻電路技術領域，具體涉及一種諧波抑制電路、射頻電源及半導體製程設備。

射頻電源是半導體製程設備的核心部件，功率放大器(Power Amplifier)作為射頻電源的主要組成部分，主要負責將前級送來的驅動信號進行放大以提供射頻功率的穩定輸出，其指標要求包括線性度、效率、穩定性、頻寬、功率精度、諧波抑制等。功率放大器的性能優劣，直接決定了射頻電源的品質和製程設備的製程性能。傳統的功率放大器為了提高其工作效率，都使得放大器的末級工作於飽和或開關狀態，由於功率放大管的寄生參數，其工作過程中會產生非線性失真，產生大量的諧波成分。如果不對這些諧波能量進行處理，將會造成能量的浪費，降低了功率放大器的工作效率，同時這些諧波分量將會對基頻信號產生干擾，造成半導體製程的不可控進程。一般基波與高次諧波的差值達到40dBc，可以認為諧波分量對基頻信號無影響。由於諧波分量對產品的危害，因此，對功率放大器產生的諧波分量進行抑制，對提高其性能具有重要意義。

本申請實施例提供一種諧波抑制電路、射頻電源及半導體製程設備，以對射頻電源中的諧波進行抑制。

第一方面，本申請實施例提供了一種諧波抑制電路，包括第一電路、第二電路、第三電路和第四電路；其中，該第一電路用於傳輸處於預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號，且該射頻信號由該第一電路的信號輸入端輸入且由該第一電路的信號輸出端輸出；該第二電路的一端與該第一電路的信號輸入端連接，該第二電路的另一端與該第三電路的一端連接，用於阻止該射頻信號通過，並使第一預設頻率的諧波信號通過，該第一預設頻率為該預設諧振通帶寬度範圍之外的頻率；該第三電路的另一端接地，用於傳輸該第一預設頻率的諧波信號；該第四電路的一端與該第一電路的信號輸出端連接，該第四電路的另一端接地，用於傳輸第二預設頻率的諧波信號，其中該第二預設頻率高於該預設諧振通帶寬度範圍中的最高頻率。

第二方面，本申請實施例另提供了一種射頻電源，該射頻電源包括第一方面所述的諧波抑制電路。

第三方面，本申請實施例另提供一種了半導體製程設備，包括反應腔室和為該反應腔室提供射頻信號的射頻電源，該射頻電源為第二方面所述的射頻電源。

在本申請實施例中，諧波抑制電路包括第一電路、第二電路、第三電路和第四電路，其中，該第一電路用於傳輸處於預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號，且該射頻信號由該第一電路的信號輸入端輸入且由該第一電路的信號輸出端輸出；該第二電路的一端與該第一電路的信號輸入端連接，該第二電路的另一端與該第三電路的一端連接，用於阻止該射頻信號通過，並使第一預設頻率的諧波信號通過，該第一預設頻率為該預設諧振通帶寬度範圍之外的頻率；該第三電路的另一端接地，用於傳輸該第一預設頻率的諧波信號；該第四電路的一端與該第一電路的信號輸出端連接，該第四電路的另一端接地，用於傳輸第二預設頻率的諧波信號，其中該第二預設頻率高於該預設諧振通帶寬度範圍中的最高頻率。

這樣，第一電路能夠傳輸處於預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號，且在輸出射頻信號的過程中，第二電路能夠阻止預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號通過，並使預設諧振通帶寬度範圍之外的第一預設頻率的諧波信號通過，實現了通過第二電路讓無用的諧波信號通過且射頻信號被抑制，第三電路能夠傳輸第一預設頻率的諧波信號並能夠通過地吸收，進一步實現了對諧波信號進行處理，第四電路能夠傳輸高於預設諧振通帶寬度範圍中的最高頻率的諧波信號，實現了通過第四電路讓頻率較高的諧波信號對地吸收，從而進一步實現了對諧波信號進行處理；通過第一電路、第二電路、第三電路和第四電路的組合設計，實現了射頻電源在較寬頻率範圍內的較高的諧波抑制能力。

以下揭露提供用於實施本揭露之不同構件之許多不同實施例或實例。下文描述組件及配置之特定實例以簡化本揭露。當然，此等僅為實例且非意欲限制。舉例而言，在以下描述中之一第一構件形成於一第二構件上方或上可包含其中該第一構件及該第二構件經形成為直接接觸之實施例，且亦可包含其中額外構件可形成在該第一構件與該第二構件之間，使得該第一構件及該第二構件可不直接接觸之實施例。另外，本揭露可在各個實例中重複參考數字及/或字母。此重複出於簡化及清楚之目的且本身不指示所論述之各個實施例及/或組態之間的關係。

此外，為便於描述，諸如「下面」、「下方」、「下」、「上方」、「上」及類似者之空間相對術語可在本文中用於描述一個元件或構件與另一(些)元件或構件之關係，如圖中圖解說明。空間相對術語意欲涵蓋除在圖中描繪之定向以外之使用或操作中之裝置之不同定向。設備可以其他方式定向(旋轉90度或按其他定向)且因此可同樣解釋本文中使用之空間相對描述詞。

儘管陳述本揭露之寬泛範疇之數值範圍及參數係近似值，然儘可能精確地報告特定實例中陳述之數值。然而，任何數值固有地含有必然由於見於各自測試量測中之標準偏差所致之某些誤差。再者，如本文中使用，術語「大約」通常意謂在一給定值或範圍之10%、5%、1%或0.5%內。替代地，術語「大約」意謂在由此項技術之一般技術者考量時處於平均值之一可接受標準誤差內。除在操作/工作實例中以外，或除非以其他方式明確指定，否則諸如針對本文中揭露之材料之數量、時間之持續時間、溫度、操作條件、數量之比率及其類似者之全部數值範圍、數量、值及百分比應被理解為在全部例項中由術語「大約」修飾。相應地，除非相反地指示，否則本揭露及隨附發明申請專利範圍中陳述之數值參數係可根據需要變化之近似值。至少，應至少鑑於所報告有效數位之數目且藉由應用普通捨入技術解釋各數值參數。範圍可在本文中表達為從一個端點至另一端點或在兩個端點之間。本文中揭露之全部範圍包含端點，除非另有指定。

下面結合附圖，通過具體的實施例及其應用場景對本申請實施例提供的道具的產出方法進行詳細地說明。

具體的，在相關技術中的諧波抑制電路包括第一諧振電路和與第一諧振電路連接的第二諧振電路；該第一諧振電路包括三個並聯的電容器C1、C2、C3和第一電感L1；該第二諧振電路包括兩個並聯的電容C4、C5和第二電感L2；該第一電感L1和第二電感L2均為螺線圈電感。該諧波抑制電路由兩組並聯諧振電路串聯而成，由並聯諧振電路的特性可以知道，在並聯諧振頻率點呈高阻（輸入輸出阻抗大），諧振頻率點以外呈低阻（輸入輸出阻抗小），即並聯諧振電路對該諧振頻率點呈現抑制特性，在串聯諧振頻率點呈低阻，諧振頻率點以外呈高阻；此外，由兩組並聯諧振網路串聯，相當於兩個並聯諧振網路疊加，電路仍表現為並聯諧振網路在諧振頻率點的高阻特性，每組諧振網路分別對應二次諧波、三次諧波不同的頻率點，因此該串聯網路在二次諧波、三次諧波諧振頻率點處呈高阻，在其它頻率點處呈低阻，即該諧振網路對二次諧波、三次諧波頻率點呈現抑制特性，而對其它頻率點無抑制作用。

這樣，單組諧振電路只能對諧振中心頻率點附近有抑制作用，對並聯諧振頻率點以外的頻率點基本無抑制能力，因此該電路諧波抑制範圍窄。

綜上，相關技術中的諧波抑制電路諧振頻點易受電感值和電容值的影響，特定頻率點諧波抑制較敏感；此外，諧波抑制電路射頻通帶範圍窄，一般為點頻；該諧波抑制電路無法抑制其它頻點電源，例如2MHz、60MHz射頻電源的干擾。

針對此，本實施例提供了一種諧波抑制電路，以實現射頻電源在較寬頻率範圍內的較高的諧波抑制能力。

具體的，圖1示出了本發明的一個實施例提供的諧波抑制電路，該諧波抑制電路包括：第一電路11、第二電路12、第三電路13和第四電路14；其中，該第一電路11用於傳輸處於預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號，且該射頻信號由該第一電路11的信號輸入端輸入且由該第一電路11的信號輸出端輸出；該第二電路12的一端與該第一電路11的信號輸入端連接，該第二電路12的另一端與該第三電路13的一端連接，用於阻止該射頻信號通過，並使第一預設頻率的諧波信號通過，該第一預設頻率為該預設諧振通帶寬度範圍之外的頻率；該第三電路13的另一端接地，用於傳輸該第一預設頻率的諧波信號；該第四電路14的一端與該第一電路11的信號輸出端連接，該第四電路14的另一端接地，用於傳輸第二預設頻率的諧波信號，其中該第二預設頻率高於該預設諧振通帶寬度範圍中的最高頻率。

具體的，預設諧振通帶寬度範圍可以根據實際情況進行設定，例如可以為2MHz-4MHz。第一電路用於傳輸處於預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號，使得通過第一電路實現了讓需要的射頻信號（即處於預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號）通過，而抑制不需要的射頻信號（即未處於預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號），保證了射頻功率的穩定輸出。

此外，具體的，第一預設頻率為預設諧振通帶寬度範圍之外的頻率。例如，作為一個示例，假設預設諧振通帶寬度範圍為2MHz-4MHz，則第一預設頻率可以為小於2MHz或大於4MHz的頻率。其中，第二電路12的一端與第一電路11的信號輸入端連接，用於阻止預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號通過，並使第一預設頻率的諧波信號通過，這使得能夠通過第二電路抑制預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號從該條線路輸出，即阻止了有用的射頻信號（即處於預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號）通過，並實現了讓無用的諧波信號（即第一預設頻率的諧波信號）通過，從而實現了對諧波信號的處理，避免了諧波信號對射頻信號的影響。

此外，具體的，第二電路12的另一端與第三電路13的一端連接，第三電路的另一端接地，第三電路13用於傳輸第一預設頻率的諧波信號，實現了通過第三電路13讓無用的諧波信號（即第一預設頻率的諧波信號）通過並接地，進一步實現了對諧波信號的處理，抑制了諧波對主路信號的影響。

另外，具體的，第二預設頻率高於該預設諧振通帶寬度範圍中的最高頻率；例如，作為一個示例，假設預設諧振通帶寬度範圍為2MHz-4MHz，則第二預設頻率可以為大於4MHz的頻率。其中，第四電路14的一端與第一電路11的信號輸出端連接，第四電路14的另一端接地，用於傳輸第二預設頻率的諧波信號，這使得能夠通過第四電路14對通過第一電路11的高頻率的諧波信號進行處理，即通過第四電路14實現對地吸收，減少了高頻率的諧波信號對第一電路11輸出的射頻信號的影響。

這樣，本實施例通過上述第一電路、第二電路、第三電路和第四電路的組合連接方式，第一電路傳輸處於預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號，第二電路阻止預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號通過，並使預設諧振通帶寬度範圍之外的頻率的諧波信號通過，第三電路傳輸預設諧振通帶寬度範圍之外的頻率的諧波信號並接地，第四電路傳輸高於預設諧振通帶寬度範圍中的最高頻率的諧波信號並接地，實現了對預設諧振通帶寬度範圍之外的頻率的諧波的抑制，從而實現了射頻電源在較寬頻率範圍內的較高的諧波抑制能力。

在一種實現方式中，如圖2所示，第一電路包括相串聯的第一電感L1和第一電容C1。

可選的，第一電感的電感值可以為524nH，第一電容的電容值可以為360pF。當然，在此還可以根據預設諧振通帶寬度範圍的大小來適應調整第一電感和第一電容的值。

具體的，第一電路包括相串聯的第一電感L1和第一電容C1，即第一電路為串聯諧振電路，由串聯諧振特性的特點可知，在串聯諧振頻率點處為低阻，串聯諧振頻率點外為高阻，即通過串聯諧振能夠讓需要的信號通過，不需要的信號被抑制，且串聯諧振有一定的諧振通帶寬度，從而實現了能夠通過第一電路，使得預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號通過，預設諧振通帶寬度範圍外的信號被抑制。

在一種實現方式中，繼續參見圖2，該第二電路包括相並聯的第二電感L2和第二電容C2。

可選的，第二電感的電感值可以為220nH，第二電容的電容值可以為600pF。當然，在此還可以根據預設諧振通帶寬度範圍的大小來適應調整第二電感和第二電容的值。

具體的，第二電路包括相並聯的第二電感和第二電容，即第二電路為並聯諧振，其諧振頻率點為基波頻率（即與第一電路對應的諧振頻率點相同），由並聯諧振的特性可知，在諧振頻率點處為高阻，此並聯諧振的作用是讓無用的諧波信號通過，阻止有用的基波信號通過，在本實施例中有用的基波信號為射頻信號，無用的諧波信號為第一預設頻率的諧波信號，從而實現了能夠通過第二電路，使得阻止預設諧振通帶寬度範圍內的射頻信號通過，預設諧振通帶寬度範圍外的信號通過，從而實現了抑制諧波信號通過第一電路。

在一種實現方式中，繼續參見圖2，該第三電路包括電阻R和與該電阻R並聯的諧振單元，該諧振單元包括相串聯的第三電感L3和第三電容C3。

可選的，電阻值可以為20Ω，第三電感的電感值可以為140nH，第三電容的電容值可以為610pF。當然，在此還可以根據預設諧振通帶寬度範圍的大小來適應調整電阻、第三電感和第三電容的值。

具體的，第三電路中第三電感和第三電容組成串聯諧振，在諧振頻率點處呈現低阻特性，能夠讓無用的諧波信號通過並接地（GND），在本實施例中無用的諧波信號為第一預設頻率的諧波信號，這實現了能夠通過第三電感和第三電容組成的諧振單元，讓預設諧振通帶寬度範圍外的諧波通過並接地，從而進一步實現了抑制諧波信號通過第一電路。此外，與諧振單元並聯的電阻用於拓展阻帶寬度，同時在較寬頻帶範圍衰減信號幅值，從而使得第三電路對較寬頻率範圍內諧波信號抑制作用大，從而使得整個諧波抑制電路對較寬頻率範圍內諧波信號的抑制作用大，避免了諧波信號對第一電路輸出的射頻信號的影響。

在一種實現方式中，繼續參見圖2，該第四電路包括相串聯的第四電感L4和第四電容C4。

可選的，第四電感的電感值可以為160nH，第四電容的電容值可以為90pF。當然，在此還可以根據預設諧振通帶寬度範圍的大小來適應調整第四電感和第四電容的值。

具體的，第四電路中第四電感和第四電容是串聯諧振，第四電路接地（GND），在諧振頻率點處呈現低阻特性，在射頻電源的等離子體未啟輝時，等離子體狀態是高阻抗狀態，射頻電源反射功率較大，反射串擾諧波差，通過對地接入第四電感L4和第四電容C4串聯諧振，使得對地呈低阻特性，能夠在諧振頻點處讓反射串擾諧波通過對地吸收，從而能夠減小高於預設諧振通帶寬度範圍中的最高頻率的諧波信號，進而減少對主路信號（即第一電路信號）的影響。

在一種實現方式中，該第二電容為一個預設電容值的電容；或者，該第二電容包括並聯的高壓電容和平行板電容。

具體的，如圖2所示，第二電容可以為一個預設電容值的電容，例如為一個電容值為600pF的電容。

此外，為了節約成本，如圖3所示，第二電容可以包括並聯的高壓電容C6和平行板電容Cp5。即可以由圖3中的高壓電容C6和平行板電容Cp5代替圖2中的C2。由於一般電容值越大，耐壓越高，器件價格越貴，此時第二電容包括並聯的高壓電容和平行板電容，降低了生產成本。

在一種實現方式中，該高壓電容和平行板電容的電容和值與該預設電容值相等，且該平行板電容的電容值大於該高壓電容的電容值。

可選的，作為一個示例，預設電容值為600pF，平行板電容的電容值為550~600pF，高壓電容的電容值為0~50pF。

具體的，平行板電容是一種平行板電容器，使用之前需經過模擬設計，根據目標容值計算出平行板電容的相對面積及間距，採用多層板混壓製程，加工製作時需控制黏膠劑量和制板壓力，以保證批次加工的一致性和模擬設計的正確性。

具體的，因高壓電容和平行板電容組成並聯諧振網路，該並聯諧振網路對應的諧振頻點是射頻電源的基頻信號，為防止基頻信號通過並損耗，因此此處對諧振頻點的精准度有一定要求，需儘量對準基頻諧振頻點，需要動態調試第二電感L2或第二電容C2的容值，第二電感L2使用硬銅線製作，成型後不易調整，因此調整第二電容C2的值更容易實現。而單個的電容一般電容值越大，耐壓越高，器件價格越貴，因此通過並聯的高壓電容和平行板電容代替第二電容，實現了將原本需要採購的價格較高的第二電容間接用價值較低的高壓電容和平行板電容代替，有效降低了生產成本。

此外，高壓電容和平行板電容的電容和值與預設電容值相等，且平行板電容的電容值大於該高壓電容的電容值，使得在降低了生成成本的同時，保證了並聯的高壓電容和平行板電容與第二電容為一個預設電容值的電容時作用相同。

另外，在一種實現方式中，參見圖4，該第四電路包括第五電容C5。

具體的，第四電路包括第五電容C5，實現了諧波信號的對地吸收，實現了對諧波信號的抑制。

下面通過具體示例對本申請進行說明。

具體的，作為一個示例，以13.56MHz射頻電源為例，假設第一電感的電感值為524nH，第一電容的電容值為360pF，第二電感的電感值為220nH，第二電容的電容值為600pF，電阻值為20Ω，第三電感的電感值為140nH，第三電容的電容值為610pF，第四電感的電感值為160nH，第四電容的電容值為90pF，以此參數進行模擬，得到如圖5所示的該諧波抑制電路的頻率響應曲線圖。

從圖5中的諧波抑制電路頻率響應曲線可以看出，13.56MHz射頻電源的二次諧波抑制度（對應圖中m2資料）達到-16.07dB，三次諧波抑制度（對應圖中m3資料）達到-43.9dB，四次諧波抑制度（對應圖中m4資料）達到-25.3dB，五次至十次諧波抑制度（對應圖中m1資料）均在-20dB以下。

具體的，經過實際測量，基頻與二次至十次諧波抑制度在不同的射頻輸出功率下的差值均可以達到50dBc，遠高於一般40dBc的需求指標。

此外，半導體製程制程中，一般13.56MHz射頻電源與其它頻率射頻電源（例如2MHz、60MHz）分別作為上、下電極功率源使用，本實施例諧波抑制電路可以實現對2MHz射頻電源約-12dB的抑制效果，對60MHz射頻電源約-24dB的抑制效果，能夠有效抑制其它頻率射頻電源（例如2MHz、60MHz）的干擾。

此外，本實施例還提供一種射頻電源，該射頻電源包括上述實施例中的諧波抑制電路。

這樣，本實施例中的射頻電源配置上述諧波抑制電路後，作為一個示例，射頻電源的諧波抑制範圍從三次至十次諧波範圍即40MHz至150MHz範圍內，諧波抑制度均達到30dB，相比相關技術中僅能抑制二次，三次諧波，對四次以上諧波抑制能力為零，在射頻電源系統中，通過配置本諧波抑制電路，可以大大拓寬頻率抑制範圍，且諧波抑制能力提升約30dB。

此外，使用相關技術中諧波抑制電路的射頻電源，在500W射頻功率輸出功率下，射頻效率可以提升1.3%，降低直流功耗0.34%；使用配置有本實施例諧波抑制電路的射頻電源，在500W射頻功率輸出下，射頻效率能夠提升6.8%，降低直流功耗4.6%；對比發現，在射頻電源系統中，通過配置本諧波抑制電路可以提高射頻電源效率，降低功耗。

此外，實際生產中，電感的加工誤差一般為20%左右，當相關技術中電感的製程加工誤差20%時，27.12MHz頻點的變化從-47.03dB變化到-0.63dB，變化率為98.6%，通過本實施例電感製作製程誤差20%的範圍內，27.12MHz頻點的變化從-16.08dB變化到-15.22dB，變化率為5.3%，在射頻電源系統中，通過配置本射頻電源諧波抑制電路，射頻電源的特定頻率下的諧波抑制敏感度下降93.3%，從而實現了降低特定頻率諧波抑制敏感度。

另外，相關技術中的諧波抑制電路對射頻電源的諧振通帶無影響，從本實施例射頻電源諧波抑制電路頻率響應曲線能夠看出，射頻通帶範圍可達到1.4MHz，在射頻電源系統中，通過配置本射頻電源諧波抑制電路及方法，大大提升了射頻電源的通帶範圍。

另外，從諧波抑制電路頻率響應曲線能夠看出，該諧波抑制電路可以實現對2MHz射頻電源約-12dB的抑制效果，對60MHz射頻電源約-24dB的抑制效果，遠遠大於相關技術中諧波抑制電路對2MHz射頻電源、60MHz射頻電源約-0.5dB的抑制效果。在射頻電源系統中，通過配置本射頻電源諧波抑制電路，能夠抑制其它頻點射頻電源，例如2MHz、60MHz射頻電源的干擾。

此外，本實施例還提供一種半導體製程設備，包括反應腔室和為該反應腔室提供射頻信號的射頻電源，該射頻電源為上述實施例所述的射頻電源。

前述內容概括數項實施例之特徵，使得熟習此項技術者可更佳地理解本揭露之態樣。熟習此項技術者應瞭解，其等可容易地使用本揭露作為用於設計或修改用於實行本文仲介紹之實施例之相同目的及/或達成相同優點之其他製程及結構之一基礎。熟習此項技術者亦應瞭解，此等等效構造不背離本揭露之精神及範疇，且其等可在不背離本揭露之精神及範疇之情況下在本文中作出各種改變、置換及更改。

11:第一電路 12:第二電路 13:第三電路 14:第四電路 C1:第一電容 C2:第二電容 C3:第三電容 C4:第四電容 C6:高壓電容 Cp5:平行板電容 L1:第一電感 L2:第二電感 L3:第三電感 L4:第四電感 R:電阻

當結合附圖閱讀時，從以下詳細描述最佳理解本揭露之態樣。應注意，根據產業中之標準實踐，各種構件未按比例繪製。事實上，為了論述的清楚起見可任意增大或減小各種構件之尺寸。圖1是本申請實施例中諧波抑制電路的模組示意圖；圖2是本申請實施例中諧波抑制電路的示意圖；圖3是本申請實施例中另一諧波抑制電路的示意圖；圖4是本申請實施例中又一諧波抑制電路的示意圖；圖5是本申請實施例中諧波抑制電路頻率響應曲線的示意圖。

11:第一電路

12:第二電路

13:第三電路

14:第四電路

Claims

一種諧波抑制電路，包括一第一電路、一第二電路、一第三電路和一第四電路；其中，該第一電路用於傳輸處於一預設諧振通帶寬度範圍內的一射頻信號，且該射頻信號由該第一電路的一信號輸入端輸入且由該第一電路的一信號輸出端輸出；該第二電路的一端與該第一電路的該信號輸入端連接，該第二電路的另一端與該第三電路的一端連接，用於阻止該射頻信號通過，並使一第一預設頻率的一諧波信號通過，該第一預設頻率為該預設諧振通帶寬度範圍之外的頻率；該第三電路的另一端接地，用於傳輸該第一預設頻率的該諧波信號；該第四電路的一端與該第一電路的信號輸出端連接，該第四電路的另一端接地，用於傳輸一第二預設頻率的一諧波信號，其中該第二預設頻率高於該預設諧振通帶寬度範圍中的最高頻率。
如請求項1所述的諧波抑制電路，其中，該第一電路包括相串聯的一第一電感和一第一電容。
如請求項1所述的諧波抑制電路，其中，該第二電路包括相並聯的一第二電感和一第二電容。
如請求項1所述的諧波抑制電路，其中，該第三電路包括一電阻和與該電阻並聯的一諧振單元，該諧振單元包括相串聯的一第三電感和一第三電容。
如請求項1所述的諧波抑制電路，其中，該第四電路包括相串聯的一第四電感和一第四電容。
如請求項1所述的諧波抑制電路，其中，該第四電路包括一第五電容。
如請求項3所述的諧波抑制電路，其中，該第二電容為一個預設電容值的電容；或者，該第二電容包括並聯的一高壓電容和一平行板電容。
如請求項7所述的諧波抑制電路，其中，該高壓電容和平行板電容的電容和值與該預設電容值相等，且該平行板電容的電容值大於該高壓電容的電容值。
一種射頻電源，其中，該射頻電源包括如請求項1至8任一項所述的諧波抑制電路。
一種半導體製程設備，包括一反應腔室和為該反應腔室提供射頻信號的一射頻電源，其中，該射頻電源為請求項9所述的射頻電源。