TW202400931A - 高壓氣體設備監視系統及高壓氣體設備監視方法 - Google Patents

Abstract

本發明之課題為縮短要解析在利用高壓氣體的設施內發生事故時的原因所需的時間。高壓氣體設備監視系統係具備有：一個以上的收納庫，該收納庫係收納充填有高壓氣體的氣體容器；攝影機，係對於收納庫的內部進行錄影；錄影伺服器，係將藉由攝影機所錄影到的收納庫的內部的錄影資料予以保存；以及顯示裝置，係按照輸入的指示而顯示保存於錄影伺服器的錄影資料。

Description

高壓氣體設備監視系統及高壓氣體設備監視方法

本發明係關於高壓氣體設備監視系統及高壓氣體設備監視方法。

在氣體供給設備中所利用的高壓氣體，因為帶有危險性所以處理時要十分注意安全。充填有高壓氣體之容器(以下稱為「氣體容器」)係收納於氣缸櫃(cylinder cabinet)以供利用(參照例如專利文獻1)。在氣缸櫃中，氣體容器的設置、要利用的氣體容器的變更及氣體容器的取出，基本上都是由作業員進行。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1] 日本特許第2501913號公報

如上述，氣體容器的設置、要利用的氣體容器的變更及氣體容器的取出等是靠人力進行，所以會有在容器更換作業中發生事故(trouble)之情況。另外，也會有在氣體供給設備發生氣體洩漏等事故之情況。過去，為了解析發生如此的事故之際的原因，係進行作業程序的再確認、設備的老舊化、有沒有實施維護保養等的確認。因此，會有需要花很多時間來解析事故發生之際的原因之問題。

有鑑於上述情事，本發明以提供可縮短要解析在利用高壓氣體的設施內發生事故時的原因所需的時間之技術為目的。

本發明的態樣1係為一種高壓氣體設備監視系統，係具備有：一個以上的收納庫，該收納庫係收納充填有高壓氣體的氣體容器；攝影機，係對於收納庫的內部進行錄影；錄影伺服器，係將藉由前述攝影機所錄影到的收納庫的內部的錄影資料予以保存；以及顯示裝置，係按照輸入的指示而顯示保存於前述錄影伺服器的錄影資料。

本發明的態樣2係為態樣1之高壓氣體設備監視系統，更具備有：賦予部，係以在前述一個以上的收納庫內部的事件的發生作為觸發條件(trigger)而對錄影資料賦予時間戳記；並且，前述攝影機係將包含被前述賦予部賦予時間戳記的錄影資料之預定期間份的錄影資料作為事件錄影資料而發送到前述錄影伺服器；前述錄影伺服器係將從前述攝影機發送來的前述事件錄影資料予以保存而作為前述錄影資料。

本發明的態樣3係為態樣2之高壓氣體設備監視系統，其中，前述一個以上的收納庫係將事件發生的相關的事件資訊通知給前述顯示裝置；前述 顯示裝置係顯示被通知的前述事件資訊，並顯示以被選擇到的前述事件資訊所表示的事件所對應的前述事件錄影資料。

本發明的態樣4係為態樣3之高壓氣體設備監視系統，其中，前述顯示裝置係在對前述錄影伺服器要求以被選擇到的前述事件資訊所表示的事件所對應的前述事件錄影資料之際，將至少包含錄影到前述事件錄影資料之攝影機的識別資訊及前述事件發生的時刻資訊之要求訊號發送到前述錄影伺服器；前述錄影伺服器係從所保存的事件錄影資料之中，將藉由以前述要求訊號所包含的攝影機的識別資訊具體指定的攝影機所錄影到的事件錄影資料，且為以前述事件發生的時刻資訊所表示的時刻與以被賦予的時間戳記所表示的時刻為一致之事件錄影資料，提供給前述顯示裝置。

本發明的態樣5係為態樣1至4中任一項所述之高壓氣體設備監視系統，其中，前述攝影機係具有移動體檢知功能，且藉由前述移動體檢知功能而檢測在收納庫內部進行的作業有沒有異常；前述一個以上的收納庫係於藉由前述攝影機檢測到異常之情況發布警報(alert)。

本發明的態樣6係為態樣1至5中任一項所述之高壓氣體設備監視系統，其中，前述攝影機係具有藉由將與收納庫內部的熱相關的資訊合成到所拍攝的影像而在影像上顯示溫度分佈之功能，或是檢知熱之功能，且根據藉由任一功能所得到的結果而檢測收納庫內部有沒有著火，其中，前述收納庫內部的熱係藉由檢知熱的熱感知感測器所得到者；前述一個以上的收納庫係於藉由前述攝影機檢測到有著火之情況發布警報。

本發明的態樣7係為態樣1至6中任一項所述之高壓氣體設備監視系統，更具備有：氣瓶(bombe)搬送用台車，係搬送前述氣體容器；並且，前述 一個以上的收納庫係為氣缸櫃；前述攝影機係具有移動體檢知功能，且藉由前述移動體檢知功能而檢測前述氣瓶搬送用台車與前述氣缸櫃是否已連接；前述氣缸櫃在藉由前述攝影機判斷為前述氣瓶搬送用台車與前述氣缸櫃未連接時發布警報。

本發明的態樣8係為態樣1至7中任一項所述之高壓氣體設備監視系統，更具備有：氣瓶搬送用台車，係搬送前述氣體容器；並且，前述一個以上的收納庫係為氣缸櫃；前述攝影機係具有移動體檢知功能，且藉由前述移動體檢知功能而檢測前述氣瓶搬送用台車是否位於前述氣缸櫃之前；前述氣缸櫃在判斷為前述氣瓶搬送用台車位於前述氣缸櫃之前之情況，將門打開。

本發明的態樣9係為態樣1至8中任一項所述之高壓氣體設備監視系統，其中，前述攝影機係具有移動體檢知功能，且藉由前述移動體檢知功能而檢測使用者的動作；並且，前述一個以上的收納庫係執行對應於所檢測到的前述使用者的動作的處理。

本發明的一態樣係為一種高壓氣體設備監視方法，係包含：對於收納充填有高壓氣體的氣體容器之一個以上的收納庫的內部進行錄影；將所錄影到的收納庫的內部的錄影資料予以保存；按照輸入的指示而顯示所保存的錄影資料。

根據本發明，可縮短要解析在利用高壓氣體的設施內發生事故時的原因所需的時間。

1:高壓氣體設備監視系統

10:氣缸櫃

12:控制盒

15:攝影機

20:錄影伺服器

21:通訊部

22:記憶部

23:控制部

30:管理伺服器

31:通訊部

32:記憶部

33:控制部

34:操作部

35:顯示部

40:網路

221:常時錄影資料

222:事件錄影資料

231:記錄部

232:提供部

321:監視應用程式

322:容器表

323:管理表

324:顯示用資訊

331:取得部

332:顯示控制部

333:要求部

B:氣體容器

IM1:顯示影像

IM2:顯示影像

IM3:顯示影像

inf1:顯示影像

inf2:顯示影像

R1:區域

R2:區域

S101,S102,S103,S104,S105,S106,S107,S108,S109:步驟

S201,S202,S203,S204,S205,S206:步驟

圖1係顯示實施型態之高壓氣體設備監視系統的構成例之圖。

圖2係顯示實施型態之錄影伺服器的構成的一例之圖。

圖3係顯示實施型態之管理伺服器的構成的一例之圖。

圖4係顯示實施型態之容器表的一例之圖。

圖5係顯示實施型態之管理表的一例之圖。

圖6係顯示監視應用程式的啟動時顯示的顯示影像的一例之圖。

圖7係顯示用來實時(real time)地監視氣缸櫃內的狀態之顯示影像的一例之圖。

圖8係顯示用來監視事件發生時的氣缸櫃內的狀態之顯示影像的一例之圖。

圖9係顯示實施型態之高壓氣體設備監視系統的錄影資料的保存處理的流程之順序圖。

圖10係顯示實施型態之高壓氣體設備監視系統的處理的流程之順序圖。

以下，參照圖式來說明本發明的一實施型態。

圖1係顯示實施型態之高壓氣體設備監視系統1的構成例之圖。高壓氣體設備監視系統1係進行氣體供給設備等之利用高壓氣體的設施內的監視之系統。高壓氣體設備監視系統1具備有複數個氣缸櫃10、錄影伺服器20及管理伺服器30。複數個氣缸櫃10、錄影伺服器20及管理伺服器30係經由網路40而連接成可相通訊。網路40係為LAN(Local Area Network：區域網路)。

在以下的說明中，係假設複數個氣缸櫃10、錄影伺服器20及管理伺服器30為設於一個顧客的一個工廠等設施內者而進行說明。亦即，在以下的說明中，係針對高壓氣體設備監視系統1進行一個設施內的異常的監視之情況進行說明。

氣缸櫃10係將充填於氣體容器B內的高壓氣體供給到半導體製造裝置之設備，且為以一個氣缸櫃10收納複數個氣體容器B之收納庫。氣缸櫃10係使門開閉，且在其內側的儲藏空間將一對氣體容器B儲藏成在寬度方向並列的狀態。氣缸櫃10係藉由在從其中任一方的氣體容器B供給氣體的期間進行其中另一方的氣體容器B的更換，而能夠不中斷地進行氣體的供給。

除了上述之外，在氣缸櫃10還例如設有與氣體容器B連接的配管、控制盒12及配管用盒(未圖示)等，該控制盒12係收納有用來進行門的開閉、閥的開閉及壓力的監視、氣體洩漏的監視等的機器，該配管用盒係收納有用來連接到半導體製造裝置等的配管。在控制盒12配備有PLC(Programmable Logic Controller，可程式邏輯控制器)之類的控制裝置、以及用來與管理伺服器30進行通訊之通訊部，且藉由通訊部將門的開閉的資訊、閥的開閉的資訊、壓力的監視結果、氣體洩漏的監視結果及氣體容器B的剩餘量的資訊等之容器資訊發送到管理伺服器30。

另外，氣缸櫃10以事件(event)的發生作為觸發條件(trigger)，將表示有事件發生之事件資訊通知給管理伺服器30。此處，所謂的事件，係包含：在設施內進行的作業(例如，氣體容器B的更換作業的開始)、作業中發生的事故(例如，氣體容器B的更換錯誤)、有可能在作業後發生或有可能與作業無關而發生的事故(例如，氣體洩漏或著火)等。事件資訊中包含氣缸櫃10的識別資訊、事件發 生的時刻資訊、發生的事件的內容、安裝於氣體容器B的標籤(tag)、裝置名稱等的資訊。

氣缸櫃10具有一個以上的攝影機15。攝影機15對於氣缸櫃10的內部進行錄影。攝影機15為例如網路攝影機(network camera)。氣缸櫃10因為收納具有可燃性的高壓氣體，故以儘量沒有電氣部件露出較佳。因此，希望攝影機15為圓頂(dome)式的網路攝影機，且設置成只有鏡頭部份突出於氣缸櫃10內。攝影機15係利用PoE(Power over Ethernet(註冊商標))供給電力。

攝影機15將對於氣缸櫃10的內部進行常時拍攝而得到的時間序列的錄影資料(以下稱為「實時錄影資料」)經由網路40而發送到錄影伺服器20。另外，攝影機15以氣缸櫃10的控制裝置或自身的裝置所檢測到之事件的發生作為觸發條件，對錄影資料賦予時間戳記。作為時間戳記所賦予的時刻，係氣缸櫃10以事件資訊所包含的事件發生的時刻資訊所表示的時刻。因此，可使被通知給管理伺服器30之事件發生的時刻與事件發生時的錄影資料建立對應關係。如此，攝影機15至少具備有：拍攝氣缸櫃10內部之拍攝部、賦予時間戳記之賦予部、發送錄影資料之通訊部、以及控制攝影機15之控制部。

攝影機15將包含有已賦予時間戳記的錄影資料之預定期間份的錄影資料(以下稱為「事件錄影資料」)，經由網路40而發送到錄影伺服器20。此處，事件錄影資料為包含事件發生時的前後的視頻的錄影資料。亦即，事件錄影資料不僅包含事件發生時的錄影資料，也包含從事件發生的預定時間前(例如，事件發生的數秒前)到事件發生時為止的錄影資料、以及從事件發生的時點起到預定時間後(例如，從事件發生的時點起到數秒後)為止的錄影資料。再者，就事 件錄影資料而言，事件發生前的期間及事件發生之後的期間的保存期間要設為多長係預先設定。

攝影機15亦可具備有移動體檢知功能、收音功能、聲音輸出功能及檢知熱的功能之任一者。攝影機15具備有移動體檢知功能之情況，攝影機15藉由移動體檢知功能而檢測在氣缸櫃10內部進行的作業有沒有異常。所謂的在氣缸櫃10內部進行的作業的異常，係指例如作業員想用手觸碰與應更換的氣體容器B不同的氣體容器B(例如，正在供給高壓氣體的氣體容器B)之情況、或檢測到與作業無關係的工具之情況等。氣缸櫃10對於正在以所收納的氣體容器B中的哪個氣體容器B供給高壓氣體有所掌握。因此，係於根據藉由移動體檢知功能而檢測到的作業員的手、及來自氣缸櫃10的資訊(表示正在以哪個氣體容器B供給高壓氣體之資訊)，而在攝影機15判斷為作業員用手觸碰與應更換的氣體容器B不同的氣體容器B之情況，就判斷為發生了在氣缸櫃10內部進行的作業的異常。於藉由攝影機15判斷為發生了在氣缸櫃10內部進行的作業的異常之情況，氣缸櫃10發布警報。因此，可在誤作業前促使作業員注意。在此情況，攝影機15亦可將事件錄影資料發送到錄影伺服器20。

於攝影機15具備檢知熱的功能(攝影機的熱成像(thermography)功能)之情況，攝影機15係根據所檢知到的熱，檢測氣缸櫃10內部有沒有著火。於藉由攝影機15判斷為在氣缸櫃10內部有著火發生之情況，氣缸櫃10發布警報。在此情況，攝影機15可將事件錄影資料發送到錄影伺服器20。

在氣缸櫃10內部具備有檢知熱的熱感知感測器(例如，與攝影機15一起設置)之情況，攝影機15亦可構成為：藉由將藉由熱感知感測器所得到的氣缸櫃10內部的熱的相關的資訊合成到所拍攝的影像而在影像上顯示溫度分佈。 熱感知感測器係檢測屬於熱源之物體或生物發出的遠紅外線，且解析遠紅外線的強度而產生溫度分佈。溫度分佈係顯示按照遠紅外線的強度而以顏色區分所成之分佈。攝影機15取得溫度分佈，以作為藉由熱感知感測器所得到的氣缸櫃10內部的熱的相關的資訊。攝影機15藉由將取得的溫度分佈合成到所拍攝的影像而在影像上顯示溫度分佈。然後，攝影機15根據在影像上顯示溫度分佈的結果，檢測氣缸櫃10內部有沒有著火。於藉由攝影機15判斷為氣缸櫃10內部有著火發生之情況，氣缸櫃10發布警報。

錄影伺服器20為保存從攝影機15發送來的錄影資料(實時錄影資料及事件錄影資料)之伺服器。錄影伺服器20具備有大容量的記憶裝置，按每個攝影機15將從設置於各氣缸櫃10的各攝影機15發送來的錄影資料進行分類而予以保存於記憶裝置。錄影伺服器20係按照來自管理伺服器30的要求，從保存於記憶裝置的錄影資料之中，將所要求的錄影資料提供給管理伺服器30。

管理伺服器30係進行設備內的監視之裝置。管理伺服器30從氣缸櫃10接收各種資訊(例如，壓力的監視結果、氣體洩漏的監視結果、氣體容器B的剩餘量的資訊及事件資訊)。另外，管理伺服器30將從氣缸櫃10通知過來的事件資訊作為警報一覽而顯示於畫面上。管理伺服器30係於顯示於畫面上的警報一覽之中，顯示以被選擇到的事件資訊所表示的事件所對應的錄影資料。管理伺服器30係使用個人電腦等之資訊處理裝置而構成。管理伺服器30為顯示裝置的一態樣。

再者，高壓氣體設備監視系統1亦可具備有使用者可隨身攜帶的可攜式的通訊裝置。可攜式的通訊裝置為例如智慧手機、平板終端機及筆記型電 腦等。可攜式的通訊裝置具備有與管理伺服器30同樣的功能，進行同樣的處理。可攜式的通訊裝置為顯示裝置的一態樣。

圖2係顯示實施型態之錄影伺服器20的構成的一例之圖。錄影伺服器20係具備有通訊部21、記憶部22及控制部23。

通訊部21係與攝影機15及管理伺服器30之間進行通訊。例如，通訊部21接收從各攝影機15發送來的錄影資料。例如，通訊部21將錄影資料發送到管理伺服器30。

記憶部22中係記憶常時錄影資料221及事件錄影資料222。常時錄影資料221係從攝影機15發送來的實時錄影資料，且係例如藉由各攝影機15進行常時錄影而成的時間序列的錄影資料。事件錄影資料222係從攝影機15發送來的事件錄影資料，且係例如在事件發生時所錄影到的錄影資料。記憶部22係使用磁性記憶裝置、半導體記憶裝置等之大容量的記憶裝置而構成。

控制部23係控制錄影伺服器20全體。控制部23係使用CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)等之處理器及記憶體而構成。控制部23係藉由執行程式而實現記錄部231及提供部232的功能。

記錄部231及提供部232之中的一部分或全部，係可藉由ASIC(Application Specific Integrated Circuit，特殊應用積體電路)或PLD(Programmable Logic Device，可程式邏輯裝置)、FPGA(Field Programmable Gate Array，場域可程式閘陣列)等硬體(包含電路部；circuitry)而實現，亦可藉由軟體及硬體的協同動作而實現。程式可記錄於電腦可讀取的記錄媒體。電腦可讀取的記錄媒體係指例如軟碟(flexible disk)、光磁碟、ROM、CD-ROM等之可攜式 媒體、裝在電腦系統內的硬碟等的記憶裝置等之非暫時性的記憶媒體。程式亦可經由電信線路而發送。

記錄部231及提供部232的功能的一部分，並非一定要預先搭載於錄影伺服器20，亦可藉由將追加的應用程式(application program)安裝到錄影伺服器20而實現。

記錄部231係將藉由通訊部21而接收到的錄影資料記錄於記憶部22。例如，記錄部231在藉由通訊部21而接收到實時錄影資料之情況，係將其按每個攝影機15進行分類而記錄於記憶部22的常時錄影資料221。例如，記錄部231在藉由通訊部21而接收到事件錄影資料之情況，係將其按每個攝影機15進行分類而記錄於記憶部22的事件錄影資料222。

提供部232係按照來自管理伺服器30的要求，將所要求的錄影資料提供給管理伺服器30。具體而言，提供部232在從管理伺服器30要求實時錄影資料之情況，係將藉由指定的攝影機15所錄影到的實時錄影資料提供給管理伺服器30。此時，提供部232係將藉由指定的攝影機15所錄影到的最新的錄影資料實時地提供給管理伺服器30。提供部232在從管理伺服器30要求事件錄影資料之情況，係將所要求的事件錄影資料提供給管理伺服器30。提供部232在檢索所要求的事件錄影資料之際，係參照來自管理伺服器30的要求所包含的攝影機15的識別資訊及時刻資訊，以具體指定所要求的事件錄影資料的拍攝來源的攝影機15，並比較以時刻資訊所表示的時刻與時間戳記，藉此，具體指定所要求的事件錄影資料。

圖3係顯示實施型態之管理伺服器30的構成的一例之圖。管理伺服器30係具備有通訊部31、記憶部32、控制部33、操作部34及顯示部35。

通訊部31係與氣缸櫃10及錄影伺服器20之間進行通訊。例如，通訊部31從氣缸櫃10接收各種資訊及事件資訊。例如，通訊部31接收從錄影伺服器20發送來的錄影資料。

記憶部32中係記憶監視應用程式321、容器表322、管理表323及顯示用資訊324。監視應用程式321係用來在管理伺服器30進行高壓氣體設備監視系統1的監視之應用程式。當監視應用程式321啟動，就使專用的應用程式畫面顯示於顯示部35的畫面上。容器表322係為登錄有氣體容器B的相關的資訊之表(table)。管理表323係為登錄有用來管理氣體容器B的資訊之表。顯示用資訊324係從氣缸櫃10得到的資訊(例如，各種資訊及事件資訊)、從錄影伺服器20得到的錄影資料等之用來顯示於顯示部35的資訊。記憶部32係使用磁性硬碟裝置、半導體記憶裝置等之記憶裝置而構成。

控制部33係控制管理伺服器30全體。控制部33係使用CPU等之處理器及記憶體而構成。控制部33係藉由執行程式而實現取得部331、顯示控制部332及要求部333的功能。

取得部331、顯示控制部332及要求部333之中的一部分或全部，係可藉由ASIC或PLD、FPGA等硬體(包含電路部；circuitry)而實現，亦可藉由軟體及硬體的協同動作而實現。程式可記錄於電腦可讀取的記錄媒體。電腦可讀取的記錄媒體係指例如軟碟、光磁碟、ROM、CD-ROM等之可攜式媒體、裝在電腦系統內的硬碟等的記憶裝置等之非暫時性的記憶媒體。程式亦可經由電信線路而發送。

取得部331、顯示控制部332及要求部333的功能的一部分，並非一定要預先搭載於管理伺服器30，亦可藉由將追加的應用程式安裝到管理伺服器30而實現。

取得部331係取得各種資訊。例如，取得部331取得從氣缸櫃10得到的資訊(例如，各種資訊及事件資訊)、從錄影伺服器20得到的錄影資料。

顯示控制部332係使監視應用程式321啟動而控制顯示部35的顯示畫面。

要求部333係按照經由操作部34輸入的要求，對錄影伺服器20要求錄影資料。

操作部34係使用鍵盤、指向裝置(滑鼠、平板等)、觸控面板、按鈕等既有的輸入裝置而構成。操作部34係供使用者在要將使用者的指示輸入至管理伺服器30之際加以操作。例如，操作部34接受錄影資料的要求指示、畫面的切換指示等。

顯示部35係為液晶顯示器、有機EL顯示器等之影像顯示裝置。顯示部35顯示各種資訊。顯示部35亦可為用來將影像顯示裝置連接到管理伺服器30之介面。在此情況，顯示部35係產生用來顯示資訊的視頻訊號，並將視頻訊號輸出至與自身連接的影像顯示裝置。

圖4係顯示實施型態之容器表322的一例之圖。

容器表322中，係與容器編號建立對應關係而登錄有氣體名、濃度、品質保證期限、初始充填量、製造日期及剩餘量的資訊。容器編號係表示用來識別氣體容器B之識別資訊。氣體名係表示充填於氣體容器B的氣體的名稱。濃度係表示充填於氣體容器B的氣體的濃度。品質保證期限係表示充填於氣體容器B的氣體 的品質得到保證的期限。初始充填量係表示交貨時充填於氣體容器B的氣體的量。初始充填量係相當於容器資訊當中的充填量。製造日期係表示氣體充填於氣體容器B的日期。剩餘量係表示氣體容器B中所剩餘的氣體的量。剩餘量的資訊係從氣缸櫃10以預定的時序(timing)發送。

圖5係顯示實施型態之管理表323的一例之圖。

管理表323中，係與收納庫資訊建立對應關係而登錄有標籤識別資訊、搬入日期及搬出日期的資訊。收納庫資訊係表示氣缸櫃10的相關的資訊。在圖5中，登錄有收納庫識別資訊、攝影機識別資訊、收納庫名稱、設置位置資訊，以作為收納庫資訊。收納庫識別資訊係表示用來識別氣缸櫃10之識別資訊。攝影機識別資訊係表示用來識別氣缸櫃10所具備的攝影機15之識別資訊。收納庫名稱係表示氣缸櫃10的名稱。設置位置資訊係表示設置氣缸櫃10的位置資訊。設置位置資訊可用緯度經度表示。

標籤識別資訊係表示用來識別安裝於氣體容器B的電子標籤之識別資訊。藉由將電子標籤安裝於氣體容器B，即使氣體容器B的設置場所有所變更，也可根據電子標籤的資訊而管理氣體容器B的位置。氣缸櫃10具備有從電子標籤讀取資訊之讀取裝置(未圖示)。搬入日期係表示氣體容器B被搬入收納庫(氣缸櫃10)的日期。搬出日期係表示氣體容器B被搬出收納庫的日期。再者，管理表323中並非一定要登錄所有的資訊。

接著，說明使用者操作管理伺服器30而啟動了監視應用程式321，且與此對應而顯示於管理伺服器30的顯示部35之資訊。圖6係顯示監視應用程式321的啟動時顯示的顯示影像IM1的一例之圖。顯示影像IM1係為例如GUI(Graphical User Interface：圖形化使用者介面)。圖6所示的顯示影像IM1中， 係例如分別在區域R1及在區域R2顯示不同的資訊。在顯示影像IM1的區域R1，係顯示用來切換顯示於顯示部35的顯示影像之複數個項目。例如，圖6中，係在區域R1顯示儀表板(dashboard)、攝影機等項目。再者，這些只是一例，亦可在區域R1顯示其他的項目(例如，設定的項目、維護的項目等)。

儀表板之項目係用來使儀表板畫面的影像顯示於顯示部35的區域R2之項目。再者，圖6中係顯示儀表板畫面的影像。攝影機之項目係用來使所選擇的攝影機15的實時錄影資料顯示於顯示部35的畫面上之項目。攝影機之項目係使用者在欲實時地監視氣缸櫃10內的狀態之情況所選擇者。例如，當使用者選擇區域R1中顯示的攝影機之項目且選擇具體指定的攝影機15，就使圖7之顯示影像IM2顯示於管理伺服器30的顯示部35。

圖7係顯示用來實時地監視氣缸櫃10內的狀態之顯示影像IM2的一例之圖。顯示影像IM2係為例如GUI。將例如顯示影像inf1重疊於圖7所示的顯示影像IM2而顯示。顯示影像inf1係藉由所選擇的攝影機15進行錄影而從錄影伺服器20提供來的實時錄影資料。使用者可藉由觀看顯示影像inf1而實時地監視氣缸櫃10的內部的狀態。

回到圖6繼續進行說明。顯示影像IM1的區域R2中，係顯示以管理伺服器30的記憶部32中記憶的資訊為根據之內容。例如，區域R2中顯示：表示目前警報件數、剩餘量過低資訊及本日的工作(task)等的件數之資訊；供給設備的相關的資訊；警報一覽；日曆(calendar)；其他的狀態資訊；以及工作日程表(task calendar)等。目前警報件數的件數係表示事件資訊的數目。剩餘量過低資訊的件數係表示從氣缸櫃10通知過來的剩餘量資訊之中之剩餘量未達閾值的氣體容器B的數目。本日的工作的件數係表示作業者於當日預定要進行而登錄的工 作的數目。本日的工作的件數係根據事前登錄於工作日程表(顯示於警報一覽的右側)之資訊而顯示。

供給設備的相關的資訊係為設置於高壓氣體設備監視系統1之設備的相關的資訊。圖6中，係顯示複數個氣缸櫃10(圖6中為XX_C/C、X1_C/C、...、XZ_C/C)作為設置於高壓氣體設備監視系統1的設備的一例。再者，雖然圖6中未顯示，但亦可根據氣缸櫃10的剩餘量資訊而變更各氣缸櫃10的顯示。例如，亦可用可得知剩餘量為100之顯示型態來顯示剩餘量為100之氣缸櫃10。

警報一覽中，係顯示從氣缸櫃10通知過來的事件資訊。警報一覽中顯示的事件資訊亦可為當使用者的確認完成就從警報一覽刪除。此處的「使用者的確認完成」，係可為未圖示的確認完成按鈕被選擇就確認完成，亦可為警報一覽中顯示的事件資訊一旦被選擇就確認完成。警報一覽中，係顯示發生日期時間、標籤、場所、裝置名、氣體名、狀態等級(level)及影片(video)之項目。發生日期時間之項目中，係顯示事件發生的日期時間的資訊。標籤之項目中，係顯示電子標籤的識別資訊，該電子標籤係安裝於屬於事件發生的對象之氣體容器B。再者，在事件發生的原因為氣體容器B以外的原因之情況，可不於標籤之項目顯示資訊。

場所之項目中，係顯示事件發生的場所的資訊。裝置名之項目中，係顯示事件發生的裝置(設備)的名稱。氣體名之項目中，係顯示保存於事件發生的裝置的氣體名。狀態等級之項目中，係顯示發生的事件的內容(例如，氣體洩漏、檢測到著火、誤作業等)。影片之項目中，所顯示之資訊係顯示可確認事件發生之際的錄影資料。

當使用者選擇警報一覽中顯示的事件資訊當中的影片按鈕(video button)，就使圖8之顯示影像IM3顯示於管理伺服器30的顯示部35。圖8係顯示用來監視事件發生時的氣缸櫃10內的狀態之顯示影像的一例之圖。顯示影像IM3係為例如GUI。將例如顯示影像inf2重疊於圖8所示的顯示影像IM3而顯示。顯示影像inf2係使用者所選擇的事件資訊的相關的事件錄影資料。使用者可藉由觀看顯示影像inf2而監視事件發生時的氣缸櫃10的內部的狀態。

顯示影像inf2中，除了事件錄影資料之外，還顯示時刻資訊及各種按鈕。例如，顯示影像inf2中的“20XX/Y1/ZZ”係表示事件錄影資料的時間。顯示按鈕係用來顯示指定日期時間的錄影資料之按鈕。實況開始按鈕係用來使實時錄影資料的顯示再次開始之按鈕。當實況開始按鈕被使用者選擇，就使圖7之顯示影像IM2顯示於管理伺服器30的顯示部35。再者，在實況開始按鈕被選擇之情況所顯示的顯示影像IM2，係藉由錄影到事件錄影資料之攝影機15實時地所錄影的實時錄影資料。

停止按鈕係用來使視頻播放停止之按鈕。逐格播放按鈕係用來使錄影資料以逐格播放的方式播放之按鈕。播放按鈕係用來使錄影資料播放之按鈕。快轉按鈕係用來使錄影資料快轉播放之按鈕。10秒倒轉按鈕係用來顯示10秒前的錄影資料之按鈕。10秒快轉按鈕係用來顯示10秒後的錄影資料之按鈕。如此，藉由操作各種按鈕，使用者亦可掌握事件發生之前後的氣缸櫃10內的狀態。

回到圖6繼續進行說明。其他的狀態資訊中，係顯示例如表示氣體的訂貨的狀況之資訊等。工作日程表詳細內容中，係顯示登錄於工作日程表之工作的詳細內容。

圖9係顯示實施型態之高壓氣體設備監視系統1的錄影資料的保存處理的流程之順序圖。

氣缸櫃10的攝影機15對於氣缸櫃10內進行常時錄影(步驟S101)。攝影機15將藉由進行常時錄影而得到的實時錄影資料經由網路40而實時地發送到錄影伺服器20(步驟S102)。再者，在攝影機15與錄影伺服器20之間，亦可設置一個以上的中繼裝置。

錄影伺服器20的通訊部21接收從攝影機15發送來的實時錄影資料。記錄部231將藉由通訊部21而接收到的實時錄影資料以攝影機15的識別資訊進行分類而予以保存於記憶部22(步驟S103)。藉由各氣缸櫃10的各攝影機15進行常時錄影。記錄部231將藉由各攝影機15實時地所錄影到的實時錄影資料依照時間序列順序且按每個攝影機15進行分類而予以保存於記憶部22。

假設氣缸櫃10檢測到事件的發生(步驟S104)。例如，在氣缸櫃10中檢測到氣體洩漏。氣缸櫃10將檢測到事件的發生的時刻的資訊通知給攝影機15。攝影機15根據被通知的時刻的資訊而具體指定要賦予時間戳記的錄影資料，對具體指定的錄影資料賦予時間戳記(步驟S105)。具體而言，攝影機15係具體指定在以被通知的時刻的資訊所表示的時刻所錄影到的錄影資料，對具體指定的錄影資料賦予時間戳記。對錄影資料所賦予的時間戳記，係為從氣缸櫃10通知過來的時刻的資訊。攝影機15係產生以被賦予時間戳記的錄影資料為基準而包含有前後預定期間份的錄影資料之事件錄影資料，且將產生的事件錄影資料經由網路40而發送到錄影伺服器20(步驟S106)。

再者，亦可藉由攝影機15來檢測事件的發生。在此情況，攝影機15將事件的發生、事件的發生之檢測時刻通知給氣缸櫃10的控制裝置。攝影機15 根據事件的發生之檢測時刻而具體指定要賦予時間戳記的錄影資料，且對具體指定的錄影資料賦予時間戳記。攝影機15係產生以被賦予時間戳記的錄影資料為基準而包含有前後預定期間份的錄影資料之事件錄影資料，且將產生的事件錄影資料經由網路40而發送到錄影伺服器20。

錄影伺服器20的通訊部21接收從攝影機15發送來的事件錄影資料。記錄部231將藉由通訊部21而接收到的事件錄影資料以攝影機15的識別資訊進行分類而予以保存於記憶部22(步驟S107)。

氣缸櫃10在檢測到事件的發生之後，或從攝影機15收到事件的發生之通知之後，係將事件資訊發送到管理伺服器30(步驟S108)。管理伺服器30的通訊部31接收從氣缸櫃10發送來的事件資訊。取得部331將藉由通訊部31而接收到的事件資訊作為顯示用資訊324而予以保存於記憶部32(步驟S109)。

以上的處理為高壓氣體設備監視系統1的錄影資料的保存處理的流程，但在未檢測到事件的期間，並不執行步驟S104至步驟S109的處理。

圖10係顯示實施型態之管理伺服器30的錄影資料顯示處理的流程之順序圖。

顯示控制部332按照使用者的操作，啟動監視應用程式321(步驟S201)。當監視應用程式321啟動，顯示控制部332就使顯示影像IM1(儀表板)顯示於顯示部35的畫面上(步驟S202)。然後，顯示控制部332使與使用者的操作對應的影像顯示於顯示部35(步驟S203)。此處，假設警報一覽的影片按鈕被使用者選擇。

要求部333係對錄影伺服器20要求提供與被使用者選擇到的影片按鈕對應的事件資訊的相關的事件錄影資料(步驟S204)。具體而言，首先，要求部333根據已與被使用者選擇到的影片按鈕建立對應關係的標籤、場所及裝置名 等而具體指定攝影機15。接著，要求部333產生包含具體指定的攝影機15的識別資訊及事件發生的時刻資訊之要求訊號。然後，要求部333經由通訊部31而將產生的要求訊號發送到錄影伺服器20。

錄影伺服器20的通訊部21接收從管理伺服器30發送來的要求訊號。提供部232根據要求訊號所包含的攝影機15的識別資訊及事件發生的時刻資訊，從事件錄影資料222之中取得所要求的事件錄影資料。具體而言，提供部232係從事件錄影資料222之中，取得藉由以攝影機15的識別資訊具體指定的攝影機15所錄影到的事件錄影資料，亦即以事件發生的時刻資訊所表示的時刻與以被賦予的時間戳記所表示的時刻為一致之事件錄影資料，以作為所要求的事件錄影資料。提供部232經由通訊部21而將所取得的事件錄影資料發送到管理伺服器30(步驟S205)。

管理伺服器30的通訊部31接收從錄影伺服器20發送來的事件錄影資料。顯示控制部332使接收到的事件錄影資料顯示於顯示部35(步驟S206)。

根據如上述構成的高壓氣體設備監視系統1，可縮短要解析在利用高壓氣體的設施內發生事故時的原因所需的時間。具體而言，高壓氣體設備監視系統1係具備有：一個以上的氣缸櫃10，該氣缸櫃10係收納氣體容器B；攝影機15，係對於氣缸櫃10的內部進行錄影；錄影伺服器20，係將藉由攝影機15所錄影到的氣缸櫃10的內部的錄影資料予以保存；以及管理伺服器30，係按照輸入的指示而顯示保存於錄影伺服器20的錄影資料。因此，使用者可觀看錄影到氣缸櫃10的內部的狀態之視頻。因而，可容易地掌握在事故發生之際進行了什麼樣的作業、氣缸櫃10的內部的狀態是什麼樣的狀態。其結果，可在短時間內進行確認作 業。因此，可縮短要解析在利用高壓氣體的設施內發生事故時的原因所需的時間。

另外，高壓氣體設備監視系統1係在攝影機15中，以在氣缸櫃10內部的事件的發生作為觸發條件而對錄影資料賦予時間戳記，並將包含被賦予時間戳記的錄影資料之預定期間份的錄影資料作為事件錄影資料而發送到錄影伺服器20。錄影伺服器20係將從攝影機15發送來的事件錄影資料予以保存。因此，可保存包含事件發生時的預定期間份的錄影資料。因而，使用者可藉由觀看事件錄影資料而掌握事件發生前後的氣缸櫃10內部的狀態。因此，可縮短要解析在利用高壓氣體的設施內發生事故時的原因所需的時間。

以下，說明高壓氣體設備監視系統1的變化例。

(變化例1)

在攝影機15具備有移動體檢知功能之情況，亦可構成為：在高壓氣體設備監視系統1中，將攝影機15的移動體檢知功能用於以自動運轉方式進行氣體容器B的搬送之氣瓶搬送用台車與氣缸櫃10之連接。此處，氣瓶搬送用台車係由以自走方式進行氣體容器B的搬送之搬送車輛、及自動進行氣體容器B的搬入及搬出之搬出搬入用機器人(robot)所構成。搬送車輛係被稱為AGV(Automated Guided Vehicle)之無人搬送車，且以自動運轉方式進行氣體容器B的搬送。搬出搬入用機器人係設置於搬送車輛的上部，自動進行氣體容器B的搬入及搬出。如此的氣瓶搬送用台車可於使立起狀態的氣體容器B滑動的同時，在其與氣缸櫃10之間自動進行氣體容器B的搬入及搬出。因此，在氣瓶搬送用台車與氣缸櫃10未連接時，就無法進行氣體容器B的搬入及搬出。為此，高壓氣體設備監視系統1亦可構成為：利用攝影機15的移動體檢知功能，檢測氣瓶搬送用台車與氣缸櫃10是否已連 接。在判斷為氣瓶搬送用台車與氣缸櫃10未連接時，氣缸櫃10發布警報，或是對管理伺服器30通知警報。

(變化例2)

在攝影機15具備有移動體檢知功能之情況，亦可構成為：在高壓氣體設備監視系統1中，將攝影機15的移動體檢知功能用於氣缸櫃10的自動門的開閉。過去，係構成為：在藉由感測器等檢知到氣瓶搬送用台車靠近到氣缸櫃10之際，氣缸櫃10將自動門打開，在檢知到氣瓶搬送用台車離開了氣缸櫃10之際，氣缸櫃10將自動門關閉。在此情況，也可想像到會有因為感測器的誤檢知而進行氣缸櫃10的自動門的開閉之情況。為此，高壓氣體設備監視系統1亦可構成為：利用攝影機15的移動體檢知功能，檢測氣瓶搬送用台車是否位於氣缸櫃10之前。在藉由攝影機15判斷為氣瓶搬送用台車已停止在氣缸櫃10之前之情況，氣缸櫃10進行將自動門打開之控制。另一方面，於氣缸櫃10的自動門為已打開的狀態下，在藉由攝影機15判斷為氣瓶搬送用台車未停止在氣缸櫃10之前之情況，氣缸櫃10進行將自動門關閉之控制。

(變化例3)

在攝影機15具備有移動體檢知功能之情況，亦可構成為：在高壓氣體設備監視系統1中，進行對應於使用者的手勢(gesture)的處理。假設使用者的手勢與對應於手勢之處理係預先記憶於攝影機15。就對應於手勢之處理而言，係有例如使氣瓶搬送用台車移動之處理、解除設於氣缸櫃10的平板終端機的認證之處理、氣缸櫃10的自動門的打開或關閉之處理等。再者，對應於手勢之處理並不限定於上述之處理。當攝影機15檢測到用來執行使氣瓶搬送用台車移動的處理之預定的手勢訊號(sign)，攝影機15就經由氣缸櫃10而將對應於手勢之處理的資訊通知給管 理伺服器30。管理伺服器30按照被通知的資訊，將移動指示發送到氣瓶搬送用台車，使氣瓶搬送用台車移動到使用者的位置(例如，具備檢測到預定的手勢訊號之攝影機15的氣缸櫃10的位置)。

(變化例4)

高壓氣體設備監視系統1亦可構成為：位於遠地的使用者可於觀看藉由攝影機15所錄影的錄影資料的同時下達作業指示。在此情況，錄影伺服器20係以實時的方式對要求錄影資料之使用者所操作的通訊裝置提供所要求的錄影資料。因此，即使是在遠地的使用者，也能夠以實時的方式觀看所期望的氣缸櫃10內的視頻。然後，在遠地的使用者使用通訊裝置或其他的手段對於在現場進行作業的作業員下達指示，因此，即使在遠地，也可下達作業指示。

(變化例5)

在攝影機15具備有收音功能及聲音輸出功能之情況，亦可構成為：在高壓氣體設備監視系統1中進行藉由聲音辨識而進行的操作、維護程序的讀出、應答(answer back)或發生異音時的警報發布等。在攝影機15具備有收音功能(麥克風)之情況，可在氣缸櫃10內集音。攝影機15亦可根據收音所得的聲音而檢測有沒有異音，並在發生異音之情況發布警報。

(變化例6)

上述的實施型態揭示了與氣缸櫃10內的事件的發生對應而進行事件錄影資料的保存之構成，但亦可構成為：與在其他的設備的事件的發生對應而進行事件錄影資料的保存。例如，高壓氣體設備監視系統1可構成為：與在用於氣體容器B的保管之氣瓶儲藏庫(bombe stocker)之類的收納庫的事件的發生對應，而進行 事件錄影資料的保存；亦可構成為：與在設置於氣體供給設備的其他的設備的事件的發生對應，而進行事件錄影資料的保存。

(變化例7)

上述的實施型態揭示了在攝影機15對錄影資料賦予時間戳記而發送到錄影伺服器20之構成，但亦可為在氣缸櫃10的控制裝置對錄影資料賦予時間戳記，亦可為在設於雲端(cloud)上的伺服器對錄影資料賦予時間戳記。在此情況，氣缸櫃10的控制裝置或設於雲端上的伺服器係具備有賦予時間戳記之賦予部。

以上，已參照圖式而針對本發明的實施型態進行了詳細的說明，但具體的構成並不限定於該實施型態，而是也包含未脫離本發明的主旨的範圍的設計等。

1:高壓氣體設備監視系統

10:氣缸櫃

12:控制盒

15:攝影機

20:錄影伺服器

30:管理伺服器

40:網路

B:氣體容器

Claims (10)

1. 一種高壓氣體設備監視系統，係具備有：

   一個以上的收納庫，該收納庫係收納充填有高壓氣體的氣體容器；

   攝影機，係對於收納庫的內部進行錄影；

   錄影伺服器，係將藉由前述攝影機所錄影到的收納庫的內部的錄影資料予以保存；以及

   顯示裝置，係按照輸入的指示而顯示保存於前述錄影伺服器的錄影資料。
2. 如請求項1所述之高壓氣體設備監視系統，更具備有：賦予部，係以在前述一個以上的收納庫內部的事件的發生作為觸發條件而對錄影資料賦予時間戳記；並且，

   前述攝影機係將包含被前述賦予部賦予時間戳記的錄影資料之預定期間份的錄影資料作為事件錄影資料而發送到前述錄影伺服器；

   前述錄影伺服器係將從前述攝影機發送來的前述事件錄影資料予以保存而作為前述錄影資料。
3. 如請求項2所述之高壓氣體設備監視系統，其中，前述一個以上的收納庫係將事件發生的相關的事件資訊通知給前述顯示裝置；

   前述顯示裝置係顯示被通知的前述事件資訊，並顯示以被選擇到的前述事件資訊所表示的事件所對應的前述事件錄影資料。
4. 如請求項3所述之高壓氣體設備監視系統，其中，前述顯示裝置係在對前述錄影伺服器要求以被選擇到的前述事件資訊所表示的事件所對應的前述事件錄影資料之際，將至少包含錄影到前述事件錄影資料之攝影機的識別資訊及前述事件發生的時刻資訊之要求訊號發送到前述錄影伺服器；

   前述錄影伺服器係從所保存的事件錄影資料之中，將藉由以前述要求訊號所包含的攝影機的識別資訊具體指定的攝影機所錄影到的事件錄影資料，且為以前述事件發生的時刻資訊所表示的時刻與以被賦予的時間戳記所表示的時刻為一致之事件錄影資料，提供給前述顯示裝置。
5. 如請求項1至4中任一項所述之高壓氣體設備監視系統，其中，前述攝影機係具有移動體檢知功能，且藉由前述移動體檢知功能而檢測在收納庫內部進行的作業有沒有異常；

   前述一個以上的收納庫係於藉由前述攝影機檢測到異常之情況發布警報。
6. 如請求項1至4中任一項所述之高壓氣體設備監視系統，其中，前述攝影機係具有藉由將與收納庫內部的熱相關的資訊合成到所拍攝的影像而在影像上顯示溫度分佈之功能，或是檢知熱之功能，且根據藉由任一功能所得到的結果而檢測收納庫內部有沒有著火，其中，前述收納庫內部的熱係藉由檢知熱的熱感知感測器所得到者；

   前述一個以上的收納庫係於藉由前述攝影機檢測到有著火之情況發布警報。
7. 如請求項1至4中任一項所述之高壓氣體設備監視系統，更具備有：氣瓶搬送用台車，係搬送前述氣體容器；並且，

   前述一個以上的收納庫係為氣缸櫃；

   前述攝影機係具有移動體檢知功能，且藉由前述移動體檢知功能而檢測前述氣瓶搬送用台車與前述氣缸櫃是否已連接；

   前述氣缸櫃在藉由前述攝影機判斷為前述氣瓶搬送用台車與前述氣缸櫃未連接時發布警報。
8. 如請求項1至4中任一項所述之高壓氣體設備監視系統，更具備有：氣瓶搬送用台車，係搬送前述氣體容器；並且，

   前述一個以上的收納庫係為氣缸櫃；

   前述攝影機係具有移動體檢知功能，且藉由前述移動體檢知功能而檢測前述氣瓶搬送用台車是否位於前述氣缸櫃之前；

   前述氣缸櫃在判斷為前述氣瓶搬送用台車位於前述氣缸櫃之前之情況，將門打開。
9. 如請求項1至4中任一項所述之高壓氣體設備監視系統，其中，前述攝影機係具有移動體檢知功能，且藉由前述移動體檢知功能而檢測使用者的動作；並且，

   前述一個以上的收納庫係執行對應於所檢測到的前述使用者的動作的處理。
10. 一種高壓氣體設備監視方法，係包含：

    對於收納充填有高壓氣體的氣體容器之一個以上的收納庫的內部進行錄影；

    將所錄影到的收納庫的內部的錄影資料予以保存；

    按照輸入的指示而顯示所保存的錄影資料。

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