TW202334019A - 搬送系統及搬送方法 - Google Patents

Abstract

本發明的搬送方法包括：獲取對作為搬送對象的物品的品種進行辨識的品種辨識資訊的步驟；獲取對設置於多個裝置各者的器具的種類進行辨識的器具辨識資訊的步驟；確定與藉由品種辨識資訊而辨識的品種建立關聯的器具的種類的步驟；自多個裝置中選擇設置有所確定的種類的器具的裝置作為對象裝置的步驟；以及對搬送機器人輸出將作為搬送對象的物品搬送至對象裝置的搬送指示的步驟。

Description

搬送系統及搬送方法

本揭示是有關於一種搬送系統及搬送方法。

近年來，多品種少量生產的要求增加。在多品種少量生產的現場，換產調整等由人進行的作業的頻率多，難以做到省人力化。日本專利特開2012-134260號公報揭示了一種系統，所述系統基於藉由讀取離線裝置的訊號塔訊號而獲得的裝置狀態資訊，輸出離線裝置的批量的作業指示資訊，以實現人的作業的效率化。

設置於多品種少量生產的現場的一部分裝置需要使用與物品的品種相應的器具。作業者必須對設置於裝置的器具進行確認，同時將物品適當地搬送至設置有與該物品的品種相應的器具的裝置。其結果，搬送所需的時間變長。

本揭示是鑒於所述問題而成，其目的在於提供一種能夠實現物品的有效率的搬送的搬送系統及搬送方法。

根據本揭示的一例，搬送系統包括對物品實施規定的處理的多個裝置、搬送機器人、以及指示部。在所述多個裝置各者，設置有自多種器具中任意地選擇的種類的器具。在所述多個裝置各者中，使用所設置的所述器具來實施所述規定的處理。所述指示部包括第一獲取部、第二獲取部、確定部、選擇部、以及第一輸出部。第一獲取部獲取對作為搬送對象的物品的品種進行辨識的第一辨識資訊。第二獲取部獲取對設置於所述多個裝置各者的所述器具的種類進行辨識的第二辨識資訊。確定部使用將物品的品種與用於對該品種的物品實施所述規定的處理的器具的種類建立關聯的關聯資訊，來確定與藉由所述第一辨識資訊而辨識的品種建立關聯的器具的種類。選擇部使用所述第二辨識資訊，自所述多個裝置中選擇設置有所確定的種類的器具的裝置作為對象裝置。第一輸出部對所述搬送機器人輸出將作為所述搬送對象的物品搬送至所述對象裝置的搬送指示。

藉由該揭示，作為搬送對象的物品藉由搬送機器人而被搬送至對象裝置，所述對象裝置設置有與該物品的品種相應的種類的器具。藉此，可削減由作業者進行搬送的工時。其結果，能夠實現物品的有效率的搬送。

在所述揭示中，搬送機器人包括：自主行駛機器人；第一機構，搭載於自主行駛機器人並進行物品的交接；以及控制部，對自主行駛機器人及第一機構進行控制。控制部根據搬送指示，執行以下的處理（a）～處理（d）。 處理（a）：使自主行駛機器人移動至與作為搬送對象的物品的回收場所相應的第一目標位置姿勢。 處理（b）：在自主行駛機器人到達第一目標位置姿勢之後，使第一機構執行將作為搬送對象的物品回收的第一回收動作。 處理（c）：在完成第一回收動作後，使自主行駛機器人移動至與對象裝置相應的第二目標位置姿勢。 處理（d）：在自主行駛機器人到達第二目標位置姿勢之後，使第一機構執行將作為搬送對象的物品分配至對象裝置的第一分配動作。

藉由該揭示，不需要設置用於將物品搬送至各裝置的帶式輸送機、軌道等，可縮短搬送系統的啟動時間。

在所述揭示中，搬送系統更包括能夠保管多個物品的保管庫。保管庫包括將所指定的物品出庫的第二機構。第一目標位置姿勢是根據自保管庫出庫的物品的場所而決定。指示部更包括將作為搬送對象的物品的出庫指示輸出至保管庫的第二輸出部。

藉由該揭示，搬送機器人可將自保管庫出庫的作為搬送對象的物品回收並將其搬送至對象裝置。其結果，可抑制用於將物品自保管庫搬送至對象裝置的作業者的雇用人數。

在所述揭示中，搬送系統更包括能夠載置多個物品的貨架。貨架包括：多個載置部；以及第一管理部，對將多個載置部各者與所載置的物品的品種建立對應的管理資訊進行管理。第一目標位置姿勢是根據多個載置部中的放置有藉由第一辨識資訊來辨識的品種的物品的對象載置部而決定。對象載置部是基於管理資訊，自多個載置部中來確定。

藉由該揭示，搬送機器人可將載置於貨架的作為搬送對象的物品回收並將其搬送至對象裝置。其結果，可抑制用於將物品自貨架搬送至對象裝置的作業者的雇用人數。

在所述揭示中，搬送系統更包括能夠保管多個物品的保管庫。保管庫包括：第二管理部，對所保管的各物品的品種進行管理；以及第二機構，將所指定的物品出庫。貨架更包括檢測部，所述檢測部針對多個載置部各者，檢測是載置有物品的第一狀態以及未載置物品的第二狀態中的哪一狀態。第一管理部在完成第二機構所指定的物品的出庫之後對管理資訊進行更新，以使多個載置部中的最初自第二狀態變化為第一狀態的載置部與所指定的物品的品種對應。

藉由該揭示，第一管理部可準確地對自保管庫移載至貨架的物品的品種進行管理。其結果，搬送機器人可將作為搬送對象的物品自貨架搬送至對象裝置。

在所述揭示中，搬送系統更包括第三機構，所述第三機構使自保管庫出庫的物品移動至多個載置部中的處於第二狀態的一個載置部。

藉由該揭示，不需要雇用用於使自保管庫出庫的物品移動至貨架的作業者。

在所述揭示中，在自主行駛機器人到達第二目標位置姿勢之後，且在使第一機構執行第一分配動作之前，控制部使第一機構執行將放置於對象裝置的實施了規定的處理的物品回收的第二回收動作。在完成第一分配動作後，控制部使自主行駛機器人移動至與實施了規定的處理的物品的分配場所相應的第三目標位置姿勢。在自主行駛機器人到達第三目標位置姿勢之後，控制部使第一機構執行將實施了規定的處理的物品分配至分配場所的第二分配動作。

藉由該揭示，在同一定時執行實施了規定的處理的物品自裝置的回收與物品向裝置的分配。其結果，可有效率地對物品進行搬送。

在所述揭示中，搬送系統更包括伺服器，所述伺服器依照生產計劃向指示部輸出針對作為搬送對象的物品實施規定的處理的命令。伺服器基於第二辨識資訊對生產計劃進行修正，以降低多個裝置中的器具的更換頻率。藉由該揭示，由作業者進行的裝置器具的更換作業的頻率下降。

在所述揭示中，多個裝置各者能夠移動。第二目標位置姿勢是根據對象裝置的位置姿勢而決定。

藉由該揭示，由於根據多個裝置的移動後的位置姿勢來決定第二目標位置姿勢，因此搬送機器人可將作為搬送對象的物品搬送至對象裝置。

在所述揭示中，多個裝置各者具有設置於預先決定的位置的標記。搬送機器人更包括照相機。控制部基於自主行駛機器人到達第二目標位置姿勢之後藉由照相機的拍攝而獲得的圖像，來計算標記的位置，以計算出的標記位置與基準位置的差值，對第一分配動作進行補正。

藉由該揭示，即使由於自主行駛機器人及對象裝置的停止精度的影響而產生了第一機構相對於對象裝置的位置偏移，第一機構亦可將物品分配至對象裝置。

在所述揭示中，多個裝置各者具有設置於預先決定的位置的特徵物。搬送機器人更包括對特徵物的位置進行檢測的感測器。控制部以自主行駛機器人到達第二目標位置姿勢時由感測器檢測到的位置與基準位置的差值，對自主行駛機器人的位置姿勢進行調整。

藉由該揭示，即使由於自主行駛機器人及對象裝置的停止精度的影響而產生了第一機構相對於對象裝置的位置偏移，第一機構亦可將物品分配至對象裝置。

例如，物品為構成生產物的零件。器具為用於收容所述零件的托盤。在裝置中，使用收容於托盤的零件來組裝生產物。

或者，器具為用於對物品進行固定的治具。裝置對由治具固定的物品的性能進行評價。

或者，物品為秧苗。器具為用於栽植秧苗的栽植爪。裝置使用栽植爪來栽植秧苗。

根據本揭示的一例，搬送系統的搬送方法包括第一步驟～第五步驟。搬送系統包括對物品實施規定的處理的多個裝置、以及搬送機器人。在多個裝置各者，設置有自多種器具中任意地選擇的種類的器具。在多個裝置各者中，使用所設置的器具來實施規定的處理。第一步驟是獲取對作為搬送對象的物品的品種進行辨識的第一辨識資訊的步驟。第二步驟是獲取對設置於多個裝置各者的器具的種類進行辨識的第二辨識資訊的步驟。第三步驟是使用將物品的品種與用於對該品種的物品實施規定的處理的器具的種類建立關聯的關聯資訊，來確定與藉由第一辨識資訊而辨識的品種建立關聯的器具的種類的步驟。第四步驟是使用第二辨識資訊，自多個裝置中選擇設置有所確定的種類的器具的裝置作為對象裝置的步驟。第五步驟是對搬送機器人輸出將作為搬送對象的物品搬送至對象裝置的搬送指示的步驟。藉由該揭示，亦能夠實現物品的有效率的搬送。 該發明的上述及其他目的、特徵、方面及優點將根據與該發明相關的以下詳細說明而明確，所述詳細說明可與隨附的圖式相關聯地理解。

參照圖式對本發明的實施方式進行詳細說明。再者，對圖中的相同或相當部分附上相同標號並不重覆其說明。以下所說明的各變形例亦可適宜選擇性地組合。

§1 應用例 圖1是表示實施方式的搬送系統的應用例的圖。如圖1所示，搬送系統1包括：指示伺服器100、一個以上的搬送機器人200、多個裝置300、保管庫600、以及終端800。

保管庫600能夠保管多個物品5。保管庫600具有多個收容空間65。在多個收容空間65各者保管物品5。保管庫600包括用來載置要入庫的物品5或已出庫的物品5的台64。

在裝置300中，對物品5實施規定的處理。規定的處理中可包括加工、檢查、組裝、評價、校正、栽植等各種處理。

在裝置300，設置有自多種器具350中任意地選擇的種類的器具350。器具350由作業者M設置於裝置300。在裝置300中，使用所設置的器具350對物品5實施規定的處理。

搬送機器人200搬送物品5。搬送機器人200包括自主行駛機器人210、以及搭載於自主行駛機器人210並進行物品5的交接的機構。該機構是搭載於自主行駛機器人210上的上物裝置。圖1所示的搬送機器人包括由垂直多關節機器人構成的操縱器（manipulator）220作為該機構。再者，該機構並不限定於由垂直多關節機器人構成的操縱器220，可包括水平多關節機器人、搬送帶、平行連桿機構、升降機構、以重力為動力源的機關機構等。

指示伺服器100執行與物品5向裝置300的搬送相關的處理。具體而言，指示伺服器100根據來自外部的命令，使成為搬送對象的物品5自保管庫600出庫。其後，指示伺服器100向搬送機器人200發送將載置於台64的物品5搬送至裝置300的搬送指示。藉此，搬送機器人200根據搬送指示將載置於台64的物品5搬送至裝置300。

進而，指示伺服器100亦可根據需要對作業者M所攜帶的終端800指示器具350的更換。藉此，作業者M根據指示來更換設置於裝置300的器具350。終端800例如是智慧型手機、平板電腦。

根據物品5的品種，所使用的器具350的種類不同。因此，需要將成為搬送對象的物品5搬送至設置有與該物品5的品種相應的器具350的裝置300。因此，指示伺服器100執行步驟（1）～步驟（5）的處理。

首先，指示伺服器100獲取對作為搬送對象的物品5的品種進行辨識的品種辨識資訊（步驟（1））。

接著，指示伺服器100獲取對設置於多個裝置300各者的器具350的種類進行辨識的器具辨識資訊（步驟（2））。

接著，指示伺服器100使用將物品的品種與用於對該品種的物品實施規定的處理的器具的種類建立關聯的關聯資訊，來確定與藉由品種辨識資訊而辨識的品種建立關聯的器具350的種類（步驟（3））。即，指示伺服器100確定與作為搬送對象的物品5對應的器具350。

接著，指示伺服器100使用器具辨識資訊，自多個裝置300中選擇設置有所確定的種類的器具350的裝置300作為對象裝置（步驟（4））。

指示伺服器100對搬送機器人200輸出將作為搬送對象的物品5搬送至對象裝置的指示（搬送指示）（步驟（5））。

藉由本實施方式，作為搬送對象的物品5藉由搬送機器人200而被搬送至裝置300，所述裝置300設置有與該物品5的品種相應的種類的器具350。藉此，可削減如先前般由作業者進行搬送的工時。其結果，能夠實現物品5的有效率的搬送。

§2 具體例1 ＜具體例1的概要＞ 圖2是表示實施方式的具體例1的搬送系統的圖。如圖2所示，關於作為搬送對象的物品5，具體例1的搬送系統1A搬送半導體晶圓組5A。半導體晶圓組5A包括相同品種的多張半導體晶圓6a、以及保持所述多張半導體晶圓的晶盒6b。再者，半導體晶圓組5A亦可包括用於對裝置300是否正常運轉進行查驗的虛設晶圓作為半導體晶圓6a。搬送系統1A包括多個檢查裝置300A作為多個裝置300。在檢查裝置300A，設置有探針卡350A作為器具350。進而，搬送系統1A包括與指示伺服器100能夠通訊地連接的製造執行系統（Manufacturing Execution System，MES）伺服器700。

檢查裝置300A亦稱為探針器，使用探針卡350A來對半導體晶圓組5A的各半導體晶圓6a內的電路的電特性進行檢查。在檢查裝置300A，能夠裝卸地安裝自多種探針卡350A中任意地選擇的種類的探針卡350A。探針卡350A由作業者M裝設於檢查裝置300A的保持構件。

MES伺服器700對半導體晶圓的製造進行管理。在具體例1中，MES伺服器700依照預先製作的生產計劃將半導體晶圓組5A的檢查命令輸出至指示伺服器100。

指示伺服器100執行與半導體晶圓組5A向檢查裝置300A的搬送相關的處理。

具體而言，指示伺服器100根據來自MES伺服器700的檢查命令，使成為搬送對象的半導體晶圓組5A自保管庫600出庫。其後，指示伺服器100向搬送機器人200發送將載置於台64的半導體晶圓組5A搬送至檢查裝置300A的搬送指示。藉此，搬送機器人200根據搬送指示，將載置於台64的半導體晶圓組5A搬送至檢查裝置300A。檢查裝置300A使用所裝設的探針卡350A來對經搬送的半導體晶圓組5A進行檢查。

根據半導體晶圓組5A的品種，半導體晶圓6a所具有的端子電極的數量及配置不同。因此，針對半導體晶圓組5A的每一品種，需要專用的探針卡350A。即，需要將成為搬送對象的半導體晶圓組5A搬送至裝設有與該品種相應的探針卡350A的檢查裝置300A。因此，指示伺服器100執行步驟（1A）～步驟（5A）的處理。

首先，指示伺服器100獲取對作為搬送對象的半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊（步驟（1A））。

接著，指示伺服器100獲取對裝設於多個檢查裝置300A各者的探針卡350A的種類進行辨識的器具辨識資訊（步驟（2A））。

接著，指示伺服器100使用將半導體晶圓組5A的品種與用於對該品種的半導體晶圓組5A進行檢查的探針卡350A的種類建立關聯的關聯資訊，來確定與藉由品種辨識資訊而辨識的品種建立關聯的探針卡350A的種類（步驟（3A））。即，指示伺服器100確定與作為搬送對象的半導體晶圓組5A對應的探針卡350A。

接著，指示伺服器100使用器具辨識資訊，自多個檢查裝置300A中選擇裝設有所確定的種類的探針卡350A的檢查裝置300A作為對象檢查裝置（步驟（4A））。

指示伺服器100對搬送機器人200輸出將作為搬送對象的半導體晶圓組5A搬送至對象檢查裝置的指示（搬送指示）（步驟（5A））。

藉由具體例1，作為搬送對象的半導體晶圓組5A藉由搬送機器人200而被搬送至檢查裝置300A，所述檢查裝置300A裝設有與該半導體晶圓組5A的品種相應的種類的探針卡350A。藉此，可削減先前的由作業者進行搬送的工時。其結果，能夠實現半導體晶圓組5A的有效率的搬送。

＜半導體晶圓的檢查流程＞ 圖3是表示一般的半導體晶圓的檢查流程的流程圖。首先，將探針卡搬送至檢查裝置（步驟S1）。其後，在檢查裝置中，實施探針卡的更換（步驟S2）。通常，探針卡的更換需要數分鐘。

接著，將半導體晶圓組自保管庫搬送至檢查裝置（步驟S3）。其後，將半導體晶圓組安置於檢查裝置（步驟S4）。

接著，在檢查裝置中，對半導體晶圓組中的第一張半導體晶圓的電特性進行檢查（步驟S5）。通常，步驟S5的執行需要數十分鐘。

在對第一張半導體晶圓的電特性的檢查完成之後，確認該第一張半導體晶圓的外觀（步驟S6）。半導體晶圓的外觀是藉由目視或使用顯微鏡來確認。

若第一張半導體晶圓的外觀不存在問題，則對第二張及其以後的半導體晶圓的電特性進行檢查（步驟S7）。通常，步驟S7的執行需要數小時至十幾小時。

在對第二張及其以後的半導體晶圓的電特性的檢查完成之後，確認該第二張及其以後的半導體晶圓的外觀（步驟S8）。

其後，將半導體晶圓組搬送至保管庫並在保管庫中保管（步驟S9）。半導體晶圓組可保管於原來的保管庫中，亦可保管於其他保管庫中。

在多品種少量生產的現場，先前，步驟S1～步驟S4、步驟S6、步驟S8、步驟S9的主體是作業者。因此，作業者的負擔大，生產效率下降。在具體例1中，指示伺服器100及搬送機器人200執行步驟S3、步驟S4。藉此，可減少作業者的工時。再著，指示伺服器100及搬送機器人200除了執行步驟S3、步驟S4以外，亦可執行步驟S9。

＜指示伺服器的硬體結構＞ 圖4是表示圖1及圖2所示指示伺服器的硬體結構的一例的示意圖。指示伺服器100典型而言具有依照通用的電腦架構的結構。

如圖4所示，指示伺服器100包括：處理器101、記憶體102、儲存器103、通訊介面104、以及無線通訊介面105。

處理器101包括中央處理單元（Central Processing Unit，CPU）、微處理單元（Micro Processing Unit，MPU）等。記憶體102例如包括動態隨機存取記憶體（Dynamic Random Access Memory，DRAM）或靜態隨機存取記憶體（Static Random Access Memory，SRAM）等揮發性記憶裝置等。儲存器103例如包括固態硬碟（Solid State Drive，SSD）、硬碟驅動機（Hard Disk Drive，HDD）等非揮發性記憶裝置等。處理器101藉由將保存於儲存器103的程式在記憶體中展開並予以執行，而實現依照本實施方式的各種處理。

儲存器103保存用於指示由搬送機器人進行的搬送的搬送指示程式131、以及各種資料庫群組132。

通訊介面104經由通訊電纜而與外部設備（包括MES伺服器700、裝置300、檢查裝置300A）之間交換資料。無線通訊介面105使用無線通訊而與外部設備（包括搬送機器人200、終端800）之間交換資料。再者，指示伺服器100與MES伺服器700亦可藉由無線進行通訊連接。在此情況下，無線通訊介面105與MES伺服器700之間交換資料。

在利用具有如上所述般依照通用的電腦構架的結構的電腦時，除了安裝用於提供本實施方式的功能的應用程式以外，亦可安裝用於提供電腦的基本功能的操作系統（Operating System，OS）。在此情況下，本實施方式的程式亦可自作為OS的一部分而提供的程式模組中以規定的順序及定時調用所需的模組來執行處理。即，有時本實施方式的程式本身不包括如上所述般的模組，而是與OS協作來執行處理。另外，可替代地，藉由執行搬送指示程式131而提供的功能的一部分或全部亦可以專用的硬體電路的形式來安裝。

＜搬送機器人的硬體結構＞ 圖5是表示圖1及圖2所示搬送機器人的硬體結構的一例的示意圖。如圖5所示，搬送機器人200包括：處理器201、記憶體202、儲存器203、自主行駛機器人210、操縱器220、存貨感測器204、機架205、以及無線通訊介面206。自主行駛機器人210包括：位置姿勢感測器211、驅動部212、以及至少兩個車輪213。

處理器201包括CPU、MPU等。記憶體202例如包括DRAM或SRAM等揮發性記憶裝置等。儲存器203例如包括SSD或HDD等非揮發性記憶裝置等。處理器201藉由將保存於儲存器203的程式在記憶體中展開並予以執行，而實現依照本實施方式的各種處理。

在儲存器203，保存用於對自主行駛機器人210進行控制的行駛控制程式231、用於對操縱器220進行控制的操縱器控制程式232、用於決定行駛控制程式231及操縱器控制程式232的執行定時的統合控制程式233、以及教示資料庫234。

教示資料庫234包括教示資料，所述教示資料表示操縱器220的用於取放半導體晶圓組5A的各驅動軸的驅動程序。

位置姿勢感測器211使用公知的技術來測量自主行駛機器人210的位置姿勢。例如，對於位置姿勢感測器211，可應用基於光達（Lidar）（光探測和測距（Light Detection And Ranging））中的周邊環境測量結果的自身位置推定方法、全球定位系統（Global Positioning System，GPS）、訊標定位方法、方位感測器等。

驅動部212根據由處理器201生成的操作量驅動至少兩個車輪213。藉由以相同的速度驅動至少兩個車輪213，自主行駛機器人210前進或後退。藉由以不同的速度驅動至少兩個車輪213，自主行駛機器人210回轉。再者，處理器201亦可藉由變更車輪213的朝向，而使自主行駛機器人210回轉。

如上所述，操縱器220是垂直多關節機器人，具有多個驅動軸。操縱器220藉由驅動多個驅動軸，可採取各種姿勢。操縱器220依照由處理器201生成的操作量來驅動多個驅動軸。

在機架205，載置半導體晶圓組5A。存貨感測器204對在機架205是否存在半導體晶圓組5A進行檢測。存貨感測器204例如包括限位開關、接近開關、影像感測器、光電感測器等。

無線通訊介面206使用無線通訊而與外部設備（包括指示伺服器100）之間交換資料。

再者，藉由執行行駛控制程式231、操縱器控制程式232及統合控制程式233而提供的功能的一部分或全部亦可以專用的硬體電路的形式來安裝。

＜功能結構＞ 圖6是表示圖2所示指示伺服器及搬送機器人的功能結構的一例的示意圖。再者，圖6中亦示出檢查裝置300A、保管庫600及MES伺服器700的內部結構。

（檢查裝置） 檢查裝置300A包括：器具裝設機構31A、器具管理部32A、檢查部33A、以及通訊部34A。

器具裝設機構31A保持探針卡350A，並且將檢查部33A與探針卡350A電性連接。

器具管理部32A對器具辨識資訊進行管理，所述器具辨識資訊對由器具裝設機構31A保持的探針卡350A的種類進行辨識。器具管理部32A例如藉由讀入附於探針卡350A的代碼（二維碼或條形碼）來獲取器具辨識資訊。在此情況下，附於探針卡350A的代碼表示該探針卡350A的種類。或者，器具管理部32A亦可藉由讀入附於探針卡350A的射頻辨識符（Radio Frequency Identifier，RFID）標籤來獲取器具辨識資訊。或者，器具管理部32A亦可與探針卡350A的電路電性連接，基於藉由對該電路施加電壓而獲得的訊號來獲取器具辨識資訊。

檢查部33A使用探針卡350A來對由未圖示的保持構件保持的半導體晶圓組5A的電特性進行檢查。檢查部33A生成表示檢查狀況的狀況資訊。狀況資訊包含表示是正在檢查所投入的半導體晶圓組5A、還是正在等待下一半導體晶圓組5A的投入的資訊。

通訊部34A根據來自指示伺服器100的請求，向指示伺服器100發送器具管理部32A所管理的最新的器具辨識資訊及由檢查部33A生成的最新的狀況資訊。再者，在檢查裝置300A處於維護等未運轉中的情況下，通訊部34A不響應來自指示伺服器100的請求。或者，通訊部34A向指示伺服器100通知正在維護的意旨。

（保管庫） 保管庫600包括：保管資料庫61、入庫/出庫機構62、以及控制器63。

圖7是表示保管資料庫的一例的圖。如圖7所示，保管資料庫61具有表格形式。保管資料庫61具有與保管庫600的多個收容空間65（參照圖1）各者對應的記錄61a。記錄61a具有字段61b、字段61c。在字段61b中，記述有對所對應的收容空間65進行辨識的收容空間辨識符（identifier，ID）。在字段61c中，記述有對保管於所對應的收容空間65中的半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。

入庫/出庫機構62進行出庫動作及入庫動作，所述出庫動作是自多個收容空間65中的所指定的收容空間65將半導體晶圓組5A出庫至台64，所述入庫動作是將放置於台64的半導體晶圓組5A入庫至所指定的收容空間65。

控制器63對入庫/出庫機構62進行控制，並且對保管資料庫61進行管理。

具體而言，控制器63自指示伺服器100接受出庫指示。另外，控制器63自指示伺服器100或未圖示的操作面板接受入庫指示。在出庫指示及入庫指示中附有對半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。

響應於接受到出庫指示，控制器63自保管資料庫61中確定在字段61c中記述有附於出庫指示的品種辨識資訊的記錄61a。控制器63對入庫/出庫機構62進行控制，以自藉由所確定的記錄61a的字段61b中所記述的收容空間ID而辨識的收容空間65使半導體晶圓組5A出庫至台64。當由入庫/出庫機構62進行的出庫動作完成時，控制器63在保管資料庫61中將所確定的記錄61a的字段61c更新為「空值（null）」。進而，控制器63向指示伺服器100報告出庫完成。

響應於接受到入庫指示，控制器63自保管資料庫61中確定在字段61c中記述有「空值」的一個記錄61a。控制器63對入庫/出庫機構62進行控制，以使半導體晶圓組5A入庫至藉由所確定的記錄61a的字段61b中所記述的收容空間ID而辨識的收容空間65。當由入庫/出庫機構62進行的入庫動作完成時，控制器63在保管資料庫61中將所確定的記錄61a的字段61c更新為附於入庫指示的品種辨識資訊。

以此方式，控制器63對表示所保管的各半導體晶圓組5A的品種的保管資料庫61進行管理。

（MES伺服器） MES伺服器700包括生產計劃資料庫71、以及命令部72。生產計劃資料庫71表示半導體晶圓的生產計劃。命令部72基於生產計劃資料庫71將與半導體晶圓的製造相關的命令輸出至指示伺服器100。與製造相關的命令中包括檢查命令。在檢查命令中附有對成為檢查對象的半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。

（搬送機器人） 搬送機器人200包括：通訊部21、統合控制部22、行駛控制部23、上物控制部24、以及教示資料庫234。通訊部21是由圖5所示的無線通訊介面實現。統合控制部22是藉由處理器201執行統合控制程式233來實現。行駛控制部23是藉由處理器201執行行駛控制程式231來實現。上物控制部24是藉由處理器201執行操縱器控制程式232來實現。

教示資料庫234包括表示操縱器220的各驅動軸的驅動程序的第一教示資料及第二教示資料。第一教示資料表示用於拾取（pick）保管庫600的台64上放置的半導體晶圓組5A並將其安放於（place）機架205的驅動程序。第二教示資料表示用於拾取機架205上所放置的半導體晶圓組5A並將其安放於檢查裝置300A的保持構件的驅動程序。

通訊部21自指示伺服器100接受搬送指示。在搬送指示中附有表示自主行駛機器人210應採取的第一目標位置姿勢的第一目標資料、以及表示自主行駛機器人210應採取的第二目標位置姿勢的第二目標資料。通訊部21將接受到的搬送指示輸出至統合控制部22。

通訊部21響應於自統合控制部22接收到搬送完成訊號，向指示伺服器100報告搬送完成。

行駛控制部23依照自統合控制部22接收到的行駛指示，計算向驅動部212（參照圖5）輸出的操作量。行駛指示是用於向目標位置姿勢移動的指示。行駛控制部23響應於由位置姿勢感測器211（參照圖5）測量的當前位置姿勢已到達目標位置姿勢，停止驅動部212的動作，並且向統合控制部22報告抵達目標位置姿勢。

上物控制部24根據自統合控制部22接收的動作的開始指示，計算操縱器220的各驅動軸的操作量，並將操作量輸出至操縱器220。自統合控制部22接收的動作的開始指示中包含將半導體晶圓組5A自外部回收至機架205的回收動作的開始指示、以及將機架205的半導體晶圓組5A分配至外部的分配動作的開始指示。在回收動作的開始指示及分配動作的開始指示中附有教示資料。

上物控制部24響應於接收到回收動作的開始指示，基於附於回收動作的開始指示的教示資料，在每一控制週期中計算各驅動軸的操作量。上物控制部24響應於回收動作完成，向統合控制部22報告回收動作的完成。

上物控制部24響應於接收到分配動作的開始指示，基於附於分配動作的開始指示的教示資料，在每一控制週期中計算各驅動軸的操作量。上物控制部24響應於分配動作完成，向統合控制部22報告分配動作的完成。

統合控制部22根據通訊部21接收到的搬送指示，依次執行以下的處理（a）～處理（e）。

處理（a）：統合控制部22將用於向第一目標位置姿勢移動的行駛指示輸出至行駛控制部23，所述第一目標位置姿勢由附於搬送指示的第一目標資料表示。

處理（b）：統合控制部22響應於自行駛控制部23接收到抵達第一目標位置姿勢的報告，自教示資料庫234讀出第一教示資料，並將附有第一教示資料的回收動作的開始指示輸出至上物控制部24。

處理（c）：統合控制部22響應於自上物控制部24接收到回收動作完成的報告，將用於向第二目標位置姿勢移動的行駛指示輸出至行駛控制部23，所述第二目標位置姿勢由附於搬送指示的第二目標資料表示。

處理（d）：統合控制部22響應於自行駛控制部23接收到抵達第二目標位置姿勢的報告，自教示資料庫234讀出第二教示資料，並將附有第二教示資料的分配動作的開始指示輸出至上物控制部24。

處理（e）：統合控制部22響應於自上物控制部24接收到分配動作完成的報告，將搬送完成訊號輸出至通訊部21。

再者，統合控制部22亦可在處理（e）之後，在使自主行駛機器人210停止的狀態下，待機至接受下一搬送指示為止。或者，統合控制部22亦可將搬送機器人200的起始位置（home position）決定為目標位置姿勢，並將用於向目標位置姿勢移動的行駛指示輸出至行駛控制部23。而且，統合控制部22亦可在自主行駛機器人210到達起始位置之後，待機至接受下一搬送指示為止。搬送機器人200的起始位置是預先決定的。

（指示伺服器） 指示伺服器100包括：第一獲取部11、第二獲取部12、控制部13、自動搬送指示部14、出庫指示部15、器具更換指示部16、位置資料庫132a、以及關聯資訊132b。第一獲取部11、第二獲取部12及出庫指示部15是由通訊介面104實現。控制部13是藉由處理器101執行搬送指示程式131來實現。自動搬送指示部14及器具更換指示部16是由無線通訊介面105實現。

位置資料庫132a包括第一位置姿勢資料、以及與多個檢查裝置300A各者建立對應的第二位置姿勢資料。第一位置姿勢資料表示在操縱器220進接保管庫600的台64上的空間時自主行駛機器人210應採取的位置姿勢。第二位置姿勢資料表示在操縱器220進接對應的檢查裝置300A的保持構件時自主行駛機器人210應採取的位置姿勢。

圖8是表示關聯資訊的一例的圖。如圖8所示，關聯資訊132b是將半導體晶圓組5A的品種與用於對該品種的半導體晶圓組5A進行檢查的探針卡350A的種類建立關聯的資訊，且是預先製作的。

第一獲取部11自MES伺服器700接受檢查命令。如上所述，在檢查命令中附有對作為搬送對象的半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。因此，第一獲取部11獲取對作為搬送對象的半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。

第二獲取部12對多個檢查裝置300A請求資訊，針對多個檢查裝置300A各者，獲取對裝設於該檢查裝置300A的探針卡350A的種類進行辨識的器具辨識資訊、以及表示檢查狀況的狀況資訊。第二獲取部12根據來自控制部13的請求指示，對多個檢查裝置300A請求資訊。

自動搬送指示部14對搬送機器人200輸出搬送指示。在搬送指示中附加有由控制部13決定的第一目標資料及第二目標資料。自動搬送指示部14響應於自控制部13接收到第一目標資料及第二目標資料，生成附加有所述第一目標資料及第二目標資料的搬送指示，並將所生成的搬送指示輸出至搬送機器人200。

出庫指示部15對保管庫600輸出出庫指示。在出庫指示中附有對成為出庫的對象的半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。出庫指示部15響應於自控制部13接收到品種辨識資訊，生成附加有該品種辨識資訊的出庫指示，並將所生成的出庫指示輸出至保管庫600。

器具更換指示部16響應於自控制部13接收到裝置ID及器具辨識資訊，對終端800輸出器具更換指示。器具更換指示是如下指示：將藉由自控制部13接收到的裝置ID而辨識的檢查裝置300A上所裝設的探針卡350A更換為藉由自控制部13接收到的器具辨識資訊而辨識的種類的探針卡350A。

控制部13響應於第一獲取部11接受到檢查命令，對第二獲取部12、自動搬送指示部14、出庫指示部15、及器具更換指示部16的動作進行控制。

控制部13響應於第一獲取部11接受到檢查命令，對第二獲取部12輸出請求指示。藉此，第二獲取部12針對多個檢查裝置300A各者獲取器具辨識資訊及狀況資訊。

控制部13包括確定部133及選擇部134作為執行如下處理的區塊，所述處理使用了附於檢查命令的品種辨識資訊、以及由第二獲取部12獲取的各檢查裝置300A的器具辨識資訊及狀況資訊。

確定部133使用關聯資訊132b，來確定與藉由附於檢查命令的品種辨識資訊而辨識的品種的半導體晶圓組5A建立關聯的探針卡350A的種類。

選擇部134使用由第二獲取部12獲取的狀況資訊，自多個檢查裝置300A中抽取正在等待下一半導體晶圓組5A的投入的檢查裝置300A。然後，選擇部134使用由第二獲取部12獲取的器具辨識資訊，自所抽取的檢查裝置300A中選擇裝設有所確定的種類的探針卡350A的檢查裝置300A作為對象檢查裝置。

作為選擇部134的處理結果，除了存在可選擇出對象檢查裝置的第一模式以外，亦存在以下的第二模式及第三模式。 第二模式：在正在等待下一半導體晶圓組5A的投入的所有檢查裝置300A中，裝設有與所確定的種類不同的種類的探針卡350A。 第三模式：不存在正在等待下一半導體晶圓組5A的投入的檢查裝置300A（所有檢查裝置300A均正在檢查）。 控制部13對第一模式～第三模式各者執行如下處理。

（i）第一模式 在處理結果為第一模式的情況下，控制部13將附於檢查命令的品種辨識資訊輸出至出庫指示部15。藉此，出庫指示部15將附加有該品種辨識資訊的出庫指示輸出至保管庫600。其結果，作為搬送對象的半導體晶圓組5A被出庫至台64上。

控制部13當自保管庫600接收到出庫完成的報告時，自位置資料庫132a讀出第一位置姿勢資料、以及與對象檢查裝置建立對應的第二位置姿勢資料。控制部13將所讀出的第一位置姿勢資料及第二位置姿勢資料分別決定為第一目標資料及第二目標資料，並將所決定的第一目標資料及第二目標資料輸出至自動搬送指示部14。藉此，自動搬送指示部14將附有該第一目標資料及第二目標資料的搬送指示輸出至搬送機器人200。其結果，搬送機器人200移動至由第一位置姿勢資料表示的位置姿勢（即，操縱器220進接台64時的位置姿勢），並將放置於台64的半導體晶圓組5A回收至機架205。然後，搬送機器人200移動至由第二位置姿勢資料表示的位置姿勢（即，操縱器220進接對象檢查裝置的保持構件時的位置姿勢），並將放置於機架205的半導體晶圓組5A分配至對象檢查裝置的保持構件。

（ii）第二模式 在處理結果為第二模式的情況下，控制部13任意地選擇正在等待下一半導體晶圓組5A的投入的一個檢查裝置300A。控制部13將對所選擇的檢查裝置300A進行辨識的裝置ID、以及對由確定部133確定的探針卡350A的種類進行辨識的器具辨識資訊輸出至器具更換指示部16。

藉此，器具更換指示部16向終端800輸出如下器具更換指示：將藉由裝置ID而辨識的檢查裝置300A上所裝設的探針卡350A更換為藉由器具辨識資訊而辨識的種類的探針卡350A。其結果，確認過終端800的作業者M前往所指示的檢查裝置300A，將所裝設的探針卡350A更換為所指示的種類的探針卡350A。

進而，控制部13週期性地將請求指示輸出至第二獲取部12。藉此，第二獲取部12自探針卡350A的更換完成的檢查裝置300A獲取表示正在等待下一半導體晶圓組5A的投入的狀況資訊、以及對新裝設的探針卡350A的種類進行辨識的器具辨識資訊。新裝設的探針卡350A的種類與由確定部133確定的種類一致。其結果，選擇部134可選擇對象檢查裝置。

（iii）第三模式 在處理結果為第三模式的情況下，控制部13週期性地將請求指示輸出至第二獲取部12。藉此，第二獲取部12週期性地自多個檢查裝置300A各者獲取器具辨識資訊及狀況資訊，直至處理結果成為第一模式或第二模式為止。

＜搬送系統中的處理流程＞ （指示伺服器） 圖9是表示指示伺服器的處理流程的流程圖。首先，指示伺服器100的處理器101自MES伺服器700接收檢查命令（步驟S21）。在檢查命令中附有對作為搬送對象（檢查對象）的半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。因此，在步驟S21中，處理器101獲取對作為搬送對象的半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。

接著，處理器101使用關聯資訊132b，來確定與藉由附於檢查命令的品種辨識資訊而辨識的品種建立關聯的探針卡350A的種類（步驟S22）。

接著，處理器101對各檢查裝置300A請求資訊，並自各檢查裝置300A獲取器具辨識資訊及狀況資訊（步驟S23）。

處理器101使用自各檢查裝置300A獲取的器具辨識資訊及狀況資訊，來判斷是否存在裝設有所確定的種類的探針卡350A、且正在等待下一半導體晶圓組5A的投入的檢查裝置300A（步驟S24）。

在步驟S24中為否（NO）的情況下，處理器101判斷是否存在裝設有與所確定的種類不同的種類的探針卡350A、且正在等待下一半導體晶圓組5A的投入的檢查裝置300A（步驟S25）。

在步驟S25中為是（YES）的情況下，處理器101將器具更換指示輸出至作業者M的終端800（步驟S26）。器具更換指示是如下指示：將正在等待下一半導體晶圓組5A的投入的一個檢查裝置300A上所裝設的探針卡350A更換為在步驟S22中確定的種類的探針卡350A。

在步驟S25中為否的情況下及在步驟S26之後，處理返回至步驟S23。

在步驟S24中為是的情況下，處理器101選擇裝設有在步驟S22中確定的種類的探針卡350A、且正在等待下一半導體晶圓組5A的投入的檢查裝置300A作為對象檢查裝置（步驟S27）。

接著，處理器101將作為搬送對象的半導體晶圓組5A的出庫指示輸出至保管庫600（步驟S28）。具體而言，處理器101將附加有附於檢查命令的品種辨識資訊的出庫指示輸出至保管庫600。

接著，處理器101判斷是否自保管庫600接收到出庫完成的報告（步驟S29）。在步驟S29中為否的情況下，處理返回至步驟S29。

在步驟S29中為是的情況下，處理器101將放置於台64的半導體晶圓組5A回收，並向搬送機器人200輸出用於將半導體晶圓組5A分配至在步驟S27中選擇的對象檢查裝置的搬送指示（步驟S30）。

接著，處理器101判斷是否自搬送機器人200接收到搬送完成的報告（步驟S31）。在步驟S31中為否的情況下，處理返回至步驟S31。在步驟S31中為是的情況下，處理器101向MES伺服器700報告搬送完成（步驟S32）。在步驟S32之後，處理結束。

（檢查裝置） 圖10是表示檢查裝置的處理流程的流程圖。首先，檢查裝置300A判斷是否自指示伺服器100接收到資訊的請求（步驟S41）。在未接收到資訊的請求的情況下（在步驟S41中為否），處理返回止步驟S41。

在接收到資訊的請求的情況下（在步驟S41中為是），檢查裝置300A將最新的器具辨識資訊及最新的狀況資訊發送至指示伺服器100（步驟S42）。在步驟S42之後，處理結束。

（保管庫） 圖11是表示保管庫的處理流程的流程圖。首先，保管庫600的控制器63判斷是否自指示伺服器100接收到出庫指示（步驟S51）。在未接收到出庫指示的情況下（在步驟S51中為否），處理返回至步驟S51。

在接收到出庫指示的情況下（在步驟S51中為是），控制器63使用圖7所示的保管資料庫61，來確定與藉由附於出庫指示的品種辨識資訊而辨識的品種對應的收容空間65（步驟S52）。即，控制器63確定保管有如下的半導體晶圓組5A、即藉由附於出庫指示的品種辨識資訊而辨識的品種的半導體晶圓組5A的收容空間65。

接著，控制器63對入庫/出庫機構62進行控制，自步驟S52中確定的收容空間65將半導體晶圓組5A出庫至台64（步驟S53）。

接著，控制器63在保管資料庫61中將與半導體晶圓組5A已出庫的收容空間65對應的記錄61a的字段61c更新為「空值」（步驟S54）。

接著，控制器63向指示伺服器100報告出庫完成（步驟S55）。在步驟S55之後，處理結束。

（搬送機器人） 圖12是表示搬送機器人的處理流程的流程圖。首先，搬送機器人200的處理器201判斷是否接收到搬送指示（步驟S61）。在搬送指示中附有第一目標資料及第二目標資料。在未接收到搬送指示的情況下（在步驟S61中為否），處理返回至步驟S61。

在接收到搬送指示的情況下（在步驟S61中為是），處理器201對自主行駛機器人210進行控制，以向由第一目標資料表示的第一目標位置姿勢移動（步驟S62）。

接著，處理器201判斷自主行駛機器人210的位置姿勢是否到達第一目標位置姿勢（步驟S63）。在步驟S63為否的情況下，處理返回至步驟S62。

在步驟S63中為是的情況下，處理器201對操縱器220進行控制，以執行半導體晶圓組5A的回收動作（步驟S64）。

接著，處理器201判斷半導體晶圓組5A的回收動作是否完成（步驟S65）。在步驟S65中為否的情況下，處理返回至步驟S64。

在步驟S65為是的情況下，處理器201對自主行駛機器人210進行控制，以向由第二目標資料表示的第二目標位置姿勢移動（步驟S66）。

接著，處理器201判斷自主行駛機器人210的位置姿勢是否到達第二目標位置姿勢（步驟S67）。在步驟S67中為否的情況下，處理返回至步驟S66。

在步驟S67中為是的情況下，處理器201對操縱器220進行控制，以執行半導體晶圓組5A的分配動作（步驟S68）。

接著，處理器201判斷半導體晶圓組5A的分配動作是否完成（步驟S69）。在步驟S69中為否的情況下，處理返回至步驟S68。

在步驟S69中為是的情況下，處理器201向指示伺服器100報告搬送完成（步驟S70）。再者，在步驟S70中，處理器201亦可使自主行駛機器人210移動至起始位置。在步驟S70之後，處理結束。

＜優點＞ 如以上所述，具體例1的搬送系統1A包括：對半導體晶圓組5A進行規定的處理（檢查）的多個檢查裝置300A、搬送機器人200、以及指示伺服器100。指示伺服器100包括：第一獲取部11、第二獲取部12、確定部133、選擇部134、以及自動搬送指示部14。第一獲取部11獲取對作為搬送對象的半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。第二獲取部12獲取對裝設於多個檢查裝置300A各者的探針卡350A的種類進行辨識的器具辨識資訊。確定部133使用關聯資訊132b，來確定與藉由品種辨識資訊而辨識的品種建立關聯的探針卡350A的種類。關聯資訊132b將半導體晶圓組5A的品種與用於對該品種的半導體晶圓組5A實施規定的處理（檢查）的探針卡350A的種類建立關聯。選擇部134使用器具辨識資訊，自多個檢查裝置300A中選擇裝設有所確定的種類的探針卡350A的檢查裝置300A作為對象檢查裝置。自動搬送指示部14對搬送機器人200輸出將作為搬送對象的半導體晶圓組5A搬送至對象檢查裝置的搬送指示。

藉此，作為搬送對象的半導體晶圓組5A藉由搬送機器人200而被搬送至檢查裝置300A，所述檢查裝置300A裝設有與該半導體晶圓組5A的品種相應的種類的探針卡350A。藉此，可削減先前的由作業者進行的手動搬送的工時。其結果，能夠實現半導體晶圓組5A的有效率的搬送。

另外，在半導體晶圓的生產現場，配置多個檢查裝置300A。因此，在由作業者M執行探針卡350A相對於檢查裝置300A的裝設的情況下，有時會由於人為錯誤而將探針卡350A裝設於與所指定的檢查裝置300A不同的檢查裝置300A。即使發生此種人為錯誤，選擇部134亦可使用自各檢查裝置300A獲取的器具辨識資訊，自多個檢查裝置300A中選擇裝設有所確定的種類的探針卡350A的檢查裝置300A作為對象檢查裝置。其結果，可防止作為搬送對象的半導體晶圓組5A被搬送至裝設有不適合的種類的探針卡350A的檢查裝置300A。

進而，由於第二獲取部12自各檢查裝置300A獲取器具辨識資訊，因此作業者M不需要向指示伺服器100輸入探針卡350A向檢查裝置300A的裝設完成這一內容。因此，可削減作業者M對探針卡350A的裝設作業的工時。

在先前的半導體晶圓的生產現場，需要考慮到半導體晶圓向檢查裝置的搬送時間來完成探針卡向檢查裝置的裝設。探針卡向檢查裝置的裝設時間可根據作業者的熟練度或注意到器具更換指示的時間點的所在位置而變動。然而，具體例1的搬送系統1A不依賴於利用搬送機器人200的搬送時間、探針卡350A的裝設時間的偏差。因此，不需要根據搬送時間及裝設時間變更搬送系統1A的運用方法。

搬送機器人200包括：自主行駛機器人210；操縱器220，搭載於自主行駛機器人210並進行半導體晶圓組5A的交接；以及處理器201（統合控制部22、行駛控制部23及上物控制部24），對自主行駛機器人210及操縱器220進行控制。處理器201根據搬送指示使自主行駛機器人210移動至與作為搬送對象的半導體晶圓組5A的回收場所相應的第一目標位置姿勢（處理（a））。在自主行駛機器人210到達第一目標位置姿勢之後，處理器201使操縱器220執行將作為搬送對象的半導體晶圓組5A回收的回收動作（處理（b））。在完成回收動作後，處理器201使自主行駛機器人210移動至與對象檢查裝置相應的第二目標位置姿勢（處理（c））。在自主行駛機器人210到達第二目標位置姿勢之後，處理器201使操縱器220執行將作為搬送對象的半導體晶圓組5A分配至對象檢查裝置的分配動作（處理（d））。

藉此，不需要設置用於將半導體晶圓組5A搬送至各檢查裝置300A的帶式輸送機、軌道等，可縮短生產現場的啟動時間。

搬送系統1A更包括能夠保管多個半導體晶圓組5A的保管庫600。保管庫600包括將所指定的半導體晶圓組5A出庫的入庫/出庫機構62。第一目標位置姿勢是根據自保管庫600出庫的半導體晶圓組5A的場所即台64而決定。指示伺服器100更包括將作為搬送對象的半導體晶圓組5A的出庫指示輸出至保管庫600的出庫指示部15。

藉此，搬送機器人200可將自保管庫600出庫的、作為搬送對象的半導體晶圓組5A自台64回收，並將其搬送至對象檢查裝置。其結果，可抑制用於將半導體晶圓組5A自保管庫600搬送至對象檢查裝置的作業者的雇用人數。

＜變形例1＞ 根據搬送機器人200及保管庫600的規格，搬送機器人200的操縱器220可能有時無法進接保管庫600的台64上所放置的半導體晶圓組5A。變形例1為與此種情況對應的形態。

圖13是表示變形例1中的保管庫的周圍的圖。如圖13所示，變形例1的搬送系統1A_1除了包括保管庫600以外，亦包括臨時放置架500，所述臨時放置架500具有搬送機器人200的操縱器220能夠進接的載置部。作業者M1使保管庫600的台64上所放置的半導體晶圓組5A移動至臨時放置架500的載置部。

圖14是表示變形例1的搬送系統所包括的指示伺服器及臨時放置架的功能結構的一例的示意圖。變形例1的搬送系統1A_1與圖6所示的搬送系統1A相比不同之處在於，包括指示伺服器100_1來代替指示伺服器100，且包括臨時放置架500。再者，變形例1的搬送系統1A_1與搬送系統1A同樣地包括MES伺服器700、搬送機器人200、多個檢查裝置300A及終端800，但在圖14中省略了該些的圖示。

保管庫600的控制器63除了具有所述功能以外，亦具有以下功能。即，控制器63當藉由入庫/出庫機構62將半導體晶圓組5A出庫至台64時，將表示半導體晶圓組5A已出庫至台64的出庫資訊輸出至臨時放置架500。在出庫資訊中附有對已出庫的半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。

臨時放置架500包括：載置部51a～載置部51c、檢測部52a～檢測部52c、載置資料庫管理部53、出庫資訊獲取部54、以及載置資料庫55。

出庫資訊獲取部54自保管庫600獲取出庫資訊。在載置部51a～載置部51c各者，由作業者M1載置半導體晶圓組5A。

檢測部52a～檢測部52c針對載置部51a～載置部51c，分別輸出表示是否載置有半導體晶圓組5A的訊號。具體而言，檢測部52a～檢測部52c各者輸出表示在對應的載置部載置有半導體晶圓組5A的第一狀態、以及在對應的載置部未載置半導體晶圓組5A的第二狀態中的任一狀態的訊號。檢測部52a～檢測部52c例如包括限位開關、影像感測器、光電感測器。

圖15是表示載置資料庫的一例的圖。如圖15所示，載置資料庫55是表格形式，且具有與載置部51a～載置部51c各者對應的記錄55a。記錄55a包括：字段55b，記述有對對應的載置部進行辨識的載置部ID；以及字段55c，記述有對放置於對應的載置部的半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。

載置資料庫管理部53基於由出庫資訊獲取部54獲取的出庫資訊及來自檢測部52a～檢測部52c的訊號來對載置資料庫55進行更新。

具體而言，載置資料庫管理部53基於檢測部52a～檢測部52c的輸出訊號，自載置部51a～載置部51c中確定在出庫資訊獲取部54獲取出庫資訊後最初自第二狀態變化為第一狀態的載置部。具體而言，載置資料庫管理部53抽取記錄55a，所述記錄55a記述有在出庫資訊獲取部54獲取出庫資訊後輸出訊號最初自第二狀態切換為第一狀態的檢測部所對應的載置部的載置部ID。載置資料庫管理部53在所抽取的記錄55a的字段55c中記述附於出庫資訊的品種辨識資訊。

進而，載置資料庫管理部53始終監視檢測部52a～檢測部52c的輸出訊號。載置資料庫管理部53自檢測部52a～檢測部52c中確定輸出訊號自第一狀態切換為第二狀態的檢測部。載置資料庫管理部53自載置資料庫55中抽取記錄55a，所述記錄55a記述有與所確定的檢測部對應的載置部的載置部ID。載置資料庫管理部53將所抽取的記錄55a的字段55c更新為「空值」。

如此，載置資料庫管理部53對將載置部51a～載置部51c各者與所載置的半導體晶圓組5A的品種建立對應的管理資訊即載置資料庫55進行管理。載置資料庫管理部53根據來自指示伺服器100_1的請求，向指示伺服器100_1提供最新的載置資料庫55。

指示伺服器100_1與圖6所示的指示伺服器100相比不同之處在於，分別包括控制部13_1及位置資料庫132c來代替控制部13及位置資料庫132a，並且包括第三獲取部17。指示伺服器100_1具有與圖4所示的指示伺服器100相同的硬體結構。第三獲取部17是由通訊介面104實現。控制部13_1是藉由處理器101執行搬送指示程式131來實現。

第三獲取部17響應於自控制部13_1接收到請求指示，對臨時放置架500進行資訊請求，獲取最新的載置資料庫55。

位置資料庫132c與圖6所示的位置資料庫132a相比不同之處在於，包括與臨時放置架500的載置部51a～載置部51c各者建立對應的第三位置姿勢資料來代替第一位置姿勢資料。第三位置姿勢資料表示在操縱器220進接對應的載置部時自主行駛機器人210應採取的位置姿勢。

控制部13_1與圖6所示的控制部13相比不同之處在於，在基於選擇部134的處理結果為第一模式時，執行以下處理。

在處理結果為第一模式的情況下，控制部13_1將附於檢查命令的品種辨識資訊輸出至出庫指示部15。藉此，出庫指示部15將附加有該品種辨識資訊的出庫指示輸出至保管庫600。其結果，作為搬送對象的半導體晶圓組5A被出庫至台64上。作業者M1使放置於台64的半導體晶圓組5A移動至臨時放置架500的空的載置部。

控制部13_1當自保管庫600接收到出庫完成的報告時，將請求指示輸出至第三獲取部17，並自第三獲取部17獲取最新的載置資料庫55。控制部13_1判斷在最新的載置資料庫55中是否存在如下的記錄55a、即在字段55c中記述有附於檢查命令的品種辨識資訊的記錄55a。當在最新的載置資料庫55中不存在該記錄55a的情況下，控制部13_1再次將請求指示輸出至第三獲取部17。

當在最新的載置資料庫55中存在在字段55c中記述有附於檢查命令的品種辨識資訊的記錄55a時，控制部13_1確定藉由該記錄55a的字段55b中所記述的載置部ID而辨識的對象載置部。即，基於載置資料庫55，自載置部51a～載置部51c中確定放置有如下品種的半導體晶圓組5A、即藉由附於檢查命令的品種辨識資訊而辨識的品種的半導體晶圓組5A的對象載置部。

控制部13_1自位置資料庫132c讀出與對象載置部對應的第三位置姿勢資料。進而，控制部13_1讀出與對象檢查裝置建立對應的第二位置姿勢資料。控制部13_1將所讀出的第三位置姿勢資料及第二位置姿勢資料分別決定為第一目標資料及第二目標資料，並將所決定的第一目標資料及第二目標資料輸出至自動搬送指示部14。藉此，由第一目標資料表示的第一目標位置姿勢可根據載置部51a～載置部51c中的如下對象載置部、即放置有藉由附於檢查命令的品種辨識資訊而辨識的品種的半導體晶圓組5A的對象載置部來決定。

自動搬送指示部14將附有該第一目標資料及第二目標資料的搬送指示輸出至搬送機器人200。其結果，搬送機器人200移動至由第三位置姿勢資料表示的位置姿勢（即，在操縱器220進接放置有作為搬送對象的半導體晶圓組5A的載置部時的位置姿勢）。然後，搬送機器人200將放置於載置部的半導體晶圓組5A回收至機架205。其後，搬送機器人200移動至由第二位置姿勢資料表示的位置姿勢，並將放置於機架205的半導體晶圓組5A分配至對象檢查裝置的保持構件。

藉由變形例1，即使在搬送機器人200的操縱器220無法進接保管庫600的台64上所放置的半導體晶圓組5A的情況下，搬送機器人200亦可自臨時放置架500將半導體晶圓組5A搬送至檢查裝置300A。

探針卡350A向檢查裝置300A的安裝作業需要專業知識。因此，作為該安裝作業的負責人，需要雇用具有專業知識的作業者M。與此相對，使出庫至台64的半導體晶圓組5A移動至臨時放置架500的空的載置部的作業（移動作業）簡單。因此，容易確保該移動作業的負責人。

＜變形例2＞ 圖16是表示變形例2中的保管庫的周圍的圖。圖17是表示變形例2的搬送系統所包括的指示伺服器、臨時放置架及移載機器人的功能結構的一例的示意圖。如圖16及圖17所示，變形例2的搬送系統1A_2與變形例1的搬送系統1A_1相比不同之處在於包括移載機器人900。移載機器人900進行將保管庫600的台64上所放置的半導體晶圓組5A移動至臨時放置架500的載置部的動作。因此，不需要雇用作業者M1。

如圖17所示，移載機器人900包括：取放機構91、教示資料庫92、以及控制器93。

取放機構91使自保管庫600出庫的半導體晶圓組5A移動至載置部51a～載置部51c中的處於未放置半導體晶圓組5A的第二狀態的一個載置部。具體而言，取放機構91進行拾取台64上所放置的半導體晶圓組5A並將其安放於處於第二狀態的一個載置部的動作。取放機構91典型而言由垂直多關節機器人構成。但是，取放機構91並不限定於垂直多關節機器人，可採取各種形態。

教示資料庫92包括與臨時放置架500的載置部51a～載置部51c各者對應的教示資料。教示資料表示取放機構91的驅動程序，所述取放機構91用於拾取台64上所放置的半導體晶圓組5A並將其安放置對應的載置部51a～載置部51c。

控制器93響應於自保管庫600輸出出庫資訊來對取放機構91進行控制。控制器93對臨時放置架500請求最新的載置資料庫55，並基於載置資料庫55來確定處於未放置半導體晶圓組5A的第二狀態的一個載置部。即，控制器93在載置資料庫55中，將藉由字段55c為「空值」的記錄55a的字段55b中所記述的載置部ID而辨識的載置部確定為未放置半導體晶圓組5A的載置部。控制器93自教示資料庫92讀出與所確定的載置部對應的教示資料，並依照所讀出的教示資料來對取放機構91進行控制。

藉由變形例2，即使在搬送機器人200的操縱器220無法進接保管庫600的台64上所放置的半導體晶圓組5A的情況下，搬送機器人200亦可自臨時放置架500將半導體晶圓組5A搬送至檢查裝置300A。

＜變形例3＞ 搬送機器人200可在將作為搬送對象的半導體晶圓組5A搬送至檢查裝置300A時，將檢查完畢的半導體晶圓組5A自該檢查裝置300A回收。藉此，可使半導體晶圓組5A的搬送效率化。

圖18是表示變形例3的搬送機器人的硬體結構的示意圖。如圖18所示，變形例3的搬送機器人200_1與圖5所示的搬送機器人200相比不同之處在於包括存貨感測器207以及機架208。

在機架208，載置有半導體晶圓組5A。存貨感測器207對在機架208是否載置有半導體晶圓組5A進行檢測。存貨感測器207例如包括限位開關、接近開關、影像感測器、光電感測器等。

圖19是表示變形例3的搬送系統的指示伺服器及搬送機器人的功能結構的示意圖。如圖19所示，變形例3的搬送系統1A_3與圖6所示的搬送系統1A相比不同之處在於，分別包括指示伺服器100_2及一個以上的搬送機器人200_1來代替指示伺服器100及一個以上的搬送機器人200。

搬送機器人200_1與圖6所示的搬送機器人200相比，包括統合控制部22_1及教示資料庫234_1來代替統合控制部22及教示資料庫234，且包括存貨資訊記憶部235。

存貨資訊記憶部235記憶存貨資訊，所述存貨資訊表示在機架205、機架208是否放置有半導體晶圓組5A。通訊部21根據來自指示伺服器100_2的請求，將存貨資訊發送至指示伺服器100_2。

教示資料庫234_1與圖6所示的教示資料庫234相比不同之處在於更包括第三教示資料及第四教示資料。第三教示資料及第四教示資料表示操縱器220的各驅動軸的驅動程序。

第三教示資料表示用於拾取由檢查裝置300A的保持構件保持的檢查完畢的半導體晶圓組5A並將其安放於機架208的各驅動軸的驅動程序。第四教示資料表示用於拾取機架208上所放置的半導體晶圓組5A並將其安放於保管庫1000的各驅動軸的驅動程序。在保管庫1000中保管檢查完畢的半導體晶圓組5A。

統合控制部22_1在統合控制部22的功能的基礎上，還響應於在通訊部21接收到的搬送指示中附有第一目標資料～第三目標資料，依次執行所述處理（a）～處理（c）及以下的處理（f）～處理（i）。

處理（f）：統合控制部22_1響應於自行駛控制部23接收到抵達第二目標位置姿勢的報告，自教示資料庫234_1讀出第三教示資料，並將附有第三教示資料的回收動作的開始指示輸出至上物控制部24。

處理（g）：統合控制部22_1響應於自上物控制部24接收到回收動作完成的報告，自教示資料庫234_1讀出第二教示資料，並將附有第二教示資料的分配動作的開始指示輸出至上物控制部24。

處理（h）：統合控制部22_1響應於自上物控制部24接收到分配動作完成的報告，將搬送完成訊號輸出至通訊部21。進而，統合控制部22_1將用於向第三目標位置姿勢移動的行駛指示輸出至行駛控制部23，所述第三目標位置姿勢由附於搬送指示的第三目標資料表示。

處理（i）：統合控制部22_1響應於自行駛控制部23接收到抵達第三目標位置姿勢的報告，自教示資料庫234_1讀出第四教示資料，並將附有第四教示資料的分配動作的開始指示輸出至上物控制部24。

再者，統合控制部22_1亦可在處理（i）之後，在使自主行駛機器人210停止的狀態下，待機至接受下一搬送指示為止。或者，統合控制部22_1亦可將搬送機器人200_1的起始位置決定為目標位置姿勢，並將用於向目標位置姿勢移動的行駛指示輸出至行駛控制部23。而且，統合控制部22_1亦可在自主行駛機器人210到達起始位置之後，待機至接受下一搬送指示為止。

如上所述，檢查裝置300A的通訊部34A根據資訊請求，將器具辨識資訊及狀況資訊發送至指示伺服器100_2。但是，在變形例3中，狀況資訊更包含表示檢查完畢的半導體晶圓組5A是否裝設於檢查裝置300A的資訊。

指示伺服器100_2與圖6所示的指示伺服器100相比不同之處在於，包括控制部13_2及位置資料庫132d來代替控制部13及位置資料庫132a，且包括第四獲取部18。指示伺服器100_2具有與圖4所示的指示伺服器100相同的硬體結構。控制部13_2是藉由處理器101執行搬送指示程式131來實現。

第四獲取部18對一個以上的所有搬送機器人200_1請求存貨資訊，並自一個以上的搬送機器人200_1各者獲取存貨資訊。

位置資料庫132d與圖6所示的位置資料庫132a相比不同之處在於包括第四位置姿勢資料。第四位置姿勢資料表示在操縱器220進接保管庫1000時自主行駛機器人210應採取的位置姿勢。

控制部13_2與圖6所示的控制部13相比不同之處在於，在基於選擇部134的處理結果為第一模式時，控制部13_2執行以下處理。

在處理結果為第一模式的情況下，控制部13_2基於自對象檢查裝置接收到的狀況資訊，來判斷在對象檢查裝置是否裝設有檢查完畢的半導體晶圓組5A。

進而，控制部13_2對第四獲取部18指示獲取存貨資訊。控制部13_2基於存貨資訊，確認一個以上的搬送機器人200_1中是否存在在機架205、機架208此兩者未放置半導體晶圓組5A的搬送機器人200_1。

當存在在對象檢查裝置裝設有檢查完畢的半導體晶圓組5A、且在機架205、機架208此兩者未放置半導體晶圓組5A的搬送機器人200_1的情況下，控制部13_2執行以下處理。

具體而言，控制部13_2將附於檢查命令的品種辨識資訊輸出至出庫指示部15。藉此，將作為搬送對象的半導體晶圓組5A出庫至台64上。控制部13_2當自保管庫600接收到出庫完成的報告時，自位置資料庫132d讀出第一位置姿勢資料、與對象檢查裝置建立對應的第二位置姿勢資料、以及第四位置姿勢資料。控制部13_2將所讀出的第一位置姿勢資料、第二位置姿勢資料及第四位置姿勢資料分別決定為第一目標資料、第二目標資料及第三目標資料。控制部13_2將所決定的第一目標資料、第二目標資料及第三目標資料輸出至自動搬送指示部14。進而，控制部13_2將搬送指示的輸出目的地指定為在機架205、機架208此兩者未放置半導體晶圓組5A的搬送機器人200_1。藉此，自動搬送指示部14將附有第一目標資料、第二目標資料及第三目標資料的搬送指示輸出至在機架205、機架208此兩者未放置半導體晶圓組5A的搬送機器人200_1。

其結果，接收到搬送指示的搬送機器人200_1的處理器201使自主行駛機器人210移動至由第一目標資料表示的第一目標位置姿勢。在到達第一目標位置姿勢之後，處理器201使操縱器220執行將半導體晶圓組5A回收至機架205的回收動作。然後，處理器201使自主行駛機器人210移動至由第二目標資料表示的第二目標位置姿勢。在到達第二目標位置姿勢之後，在使操縱器220執行半導體晶圓組5A向對象檢查裝置的分配動作之前，處理器201使操縱器220執行將放置於對象檢查裝置的檢查完畢的半導體晶圓組5A回收至機架208的回收動作。其後，處理器201使操縱器220執行半導體晶圓組5A自機架205向對象檢查裝置的分配動作。在完成該分配動作後，處理器201使自主行駛機器人210移動至第三目標位置姿勢，所述第三目標位置姿勢由與檢查完畢的半導體晶圓組5A的分配場所即保管庫1000相應的第三目標資料（第四位置姿勢資料）表示。在自主行駛機器人210到達第三目標位置姿勢之後，處理器201使操縱器220執行將檢查完畢的半導體晶圓組5A分配至保管庫1000的分配動作。

再者，當在對象檢查裝置未裝設檢查完畢的半導體晶圓組5A的情況下，控制部13_2與控制部13同樣地將第一目標資料及第二目標資料輸出至自動搬送指示部14。

＜變形例4＞ 圖20是表示變形例4的搬送系統的示意圖。如圖20所示，變形例4的搬送系統1A_4包括：MES伺服器700、以及多個生產據點1100（1100a、1100b）。在多個生產據點1100各者，配置所述指示伺服器100、一個以上的搬送機器人200、多個檢查裝置300A及保管庫600。多個生產據點1100各自的指示伺服器100將自多個檢查裝置300A獲取的器具辨識資訊輸出至MES伺服器700。再者，指示伺服器100亦可將自多個檢查裝置300A獲取的最新的狀況資訊、保管庫600所管理的最新的保管資料庫61輸出至MES伺服器700。

MES伺服器700可基於自多個生產據點1100獲得的器具辨識資訊來對多個生產據點1100的生產計劃進行修正。

例如，MES伺服器700對各生產據點1100的生產計劃進行修正，以降低多個檢查裝置300A中的探針卡350A的更換頻率。具體而言，MES伺服器700在對生產據點1100b制定了如下品種的半導體晶圓組5A、即與配置於生產據點1100a的檢查裝置300A上所裝設的探針卡350A的種類對應的品種的半導體晶圓組5A的生產計劃的情況下，將該生產計劃自生產據點1100b變更為生產據點1100a。藉此，在生產據點1100a中，探針卡350A的更換頻率下降。

＜變形例5＞ 圖21是表示變形例5的搬送系統的結構的示意圖。如圖21所示，變形例5的搬送系統1A_5與圖2所示的搬送系統1A相比不同之處在於，分別包括指示伺服器100_3及多個檢查裝置300A_1來代替指示伺服器100及多個檢查裝置300A。檢查裝置300A_1與檢查裝置300A相比不同之處在於，包括自主行駛機器人370。即，多個檢查裝置300A_1各者能夠藉由自主行駛機器人370移動。

配備於各檢查裝置300A_1的自主行駛機器人370根據來自指示伺服器100_3的移動指示而移動。藉由自主行駛機器人370移動，可容易地變更多個檢查裝置300A_1的佈局。

圖22是表示變形例5的自主行駛機器人的硬體結構的一例的示意圖。如圖22所示，自主行駛機器人370包括：處理器371、記憶體372、儲存器373、位置姿勢感測器374、驅動部375、至少兩個車輪376、通訊介面377、以及無線通訊介面378。

處理器371包括CPU、MPU等。記憶體372例如包括DRAM或SRAM等揮發性記憶裝置等。儲存器373例如包括SSD或HDD等非揮發性記憶裝置等。處理器371藉由將保存於儲存器373的程式在記憶體中展開並予以執行，而實現依照本實施方式的各種處理。

在儲存器373，保存行駛控制程式380、以及通訊控制程式381。

位置姿勢感測器374使用公知的技術來測量自主行駛機器人370的位置姿勢。例如，對於位置姿勢感測器374，可應用基於光達（Lidar）（光探測和測距（Light Detection And Ranging））中的周邊環境測量結果的自身位置推定方法、GPS、訊標定位方法、方位感測器等。

驅動部375根據由處理器371生成的操作量來驅動至少兩個車輪376。藉由以相同的速度驅動至少兩個車輪376，自主行駛機器人370前進或後退。藉由以不同的速度驅動至少兩個車輪376，自主行駛機器人370回轉。再者，處理器371亦可藉由變更車輪376的朝向，使自主行駛機器人370回轉。

通訊介面377經由通訊電纜或光資料通訊等通訊手段而與外部設備（包括檢查裝置300A_1）之間交換資料。無線通訊介面378使用無線通訊而與外部設備（包括指示伺服器100_3）之間交換資料。

圖23是表示變形例5的搬送系統的指示伺服器及檢查裝置的功能結構的示意圖。

除了檢查命令以外，MES伺服器700的命令部72亦將佈局變更命令輸出至指示伺服器100_3。在佈局變更命令中附有與成為佈局變更的對象的一個以上的檢查裝置300A_1各者對應的資料集。資料集包括對檢查裝置300A_1進行辨識的裝置ID、以及表示目標位置姿勢的第四目標資料。資料集例如是根據由管理者進行的輸入而生成。或者，資料集亦可藉由包括人工智慧（Artificial Intelligence，AI）等的裝置佈局最佳化算法而生成。

自主行駛機器人370包括：資訊獲取部36、通訊控制部37、無線通訊部38、以及行駛控制部39。資訊獲取部36是由通訊介面377實現。無線通訊部38是由無線通訊介面378實現。通訊控制部37是藉由處理器371執行通訊控制程式381來實現。行駛控制部39是藉由處理器371執行行駛控制程式380來實現。

資訊獲取部36自通訊部34A獲取器具辨識資訊及狀況資訊。再者，在變形例5中，通訊部34A將器具辨識資訊及狀況資訊輸出至自主行駛機器人370而非指示伺服器100_3。

行駛控制部39依照無線通訊部38自指示伺服器100_3接收到的移動指示來對驅動部375（參照圖22）進行控制，變更自主行駛機器人370的位置姿勢。在移動指示中附有表示目標位置姿勢的第五位置姿勢資料。行駛控制部39對驅動部375進行控制，以使由位置姿勢感測器374測量的位置姿勢接近由附於移動指示的第五位置姿勢資料表示的目標位置姿勢。藉此，檢查裝置300A_1移動。

另外，行駛控制部39將表示由位置姿勢感測器374測量的位置姿勢的第六位置姿勢資料輸出至通訊控制部37。

通訊控制部37對無線通訊部38進行控制。當無線通訊部38自指示伺服器100_3接收到移動指示時，通訊控制部37將該移動指示輸出至行駛控制部39。

進而，當無線通訊部38自指示伺服器100_3接受資訊請求時，通訊控制部37對無線通訊部38進行控制，以將由資訊獲取部36獲取的最新的器具辨識資訊及最新的狀況資訊、以及自行駛控制部39輸出的最新的第六位置姿勢資料發送至指示伺服器100_3。

指示伺服器100_3與圖6所示的指示伺服器100相比不同之處在於，包括檢查裝置管理部12_3、控制部13_3及位置資料庫132e來代替第二獲取部12、控制部13及位置資料庫132a。指示伺服器100_3具有與圖4所示的指示伺服器100相同的硬體結構。檢查裝置管理部12_3是由無線通訊介面105實現。控制部13_3是藉由處理器101執行搬送指示程式131來實現。

位置資料庫132e與圖6所示的位置資料庫132a相比不同之處在於，包括相對位置姿勢資料來代替與多個檢查裝置300A各者建立對應的第二位置姿勢資料。

相對位置姿勢資料表示在操縱器220進接檢查裝置300A_1的保持構件時自主行駛機器人210相對於該檢查裝置300A_1應採取的相對位置姿勢。

檢查裝置管理部12_3自控制部13_3接受包括裝置ID及第五位置姿勢資料的資料集。檢查裝置管理部12_3當接收到資料集時，對藉由裝置ID而辨識的檢查裝置300A_1輸出向由第五位置姿勢資料表示的目標位置姿勢的移動指示。

進而，檢查裝置管理部12_3對多個檢查裝置300A_1各自的自主行駛機器人370請求資訊，自各自主行駛機器人370獲取最新的器具辨識資訊、最新的狀況資訊及最新的第六位置姿勢資料。檢查裝置管理部12_3根據來自控制部13_3的請求指示，對多個自主行駛機器人370請求資訊。

控制部13_3與圖6所示的控制部13相比不同之處在於：向檢查裝置管理部12_3輸出一個以上的資料集；代替第二獲取部12而向檢查裝置管理部12_3輸出請求指示；及使用相對位置姿勢資料而非第二位置姿勢資料來生成第二目標資料。

當第一獲取部11接收到佈局變更命令時，控制部13_3將附於佈局變更命令的一個以上的資料集輸出至檢查裝置管理部12_3。藉此，根據各資料集，向對應的檢查裝置300A_1輸出移動指示。

控制部13_3響應於第一獲取部11接受到檢查命令，對檢查裝置管理部12_3輸出請求指示。藉此，檢查裝置管理部12_3自多個檢查裝置300A_1各自的自主行駛機器人370獲取器具辨識資訊、狀況資訊及第六位置姿勢資料。

控制部13_3使用自對象檢查裝置的自主行駛機器人370獲取的第六位置姿勢資料以及位置資料庫132e中所包括的相對位置姿勢資料，來計算在操縱器220進接對象檢查裝置的保持構件時自主行駛機器人210應採取的位置姿勢。即，控制部13_3藉由將由第六位置姿勢資料表示的位置姿勢與由相對位置姿勢資料表示的相對位置姿勢相加來計算自主行駛機器人210應採取的位置姿勢。控制部13_3生成表示計算出的位置姿勢的資料作為第二目標資料。

根據變形例5，即使檢查裝置300A_1的佈局被變更，搬送機器人200亦可將半導體晶圓組5A自保管庫600搬送至對象檢查裝置。

再者，根據自主行駛機器人210、自主行駛機器人370的停止位置的精度，有可能無法正常地執行由操縱器220進行的半導體晶圓組5A向檢查裝置300A_1的分配動作。

因此，較佳為根據自主行駛機器人210、自主行駛機器人370的實際停止位置對操縱器220的動作進行補正。例如，在操縱器220上安裝照相機，並且在檢查裝置300A_1的預先決定的位置黏貼對準標記。例如，對準標記可黏貼於檢查裝置300A_1的自主行駛機器人370。搬送機器人200的處理器201響應於自主行駛機器人210到達第二目標位置姿勢，以基於自照相機獲得的圖像計算的對準標記的位置與第一基準位置的差值，對分配動作用的第二教示資料進行補正。第二教示資料以如下方式製作：在自主行駛機器人370停止以使對準標記位於第一基準位置時，操縱器220可進接包括該自主行駛機器人370的檢查裝置300A_1的保持構件。因此，藉由以所述差值對第二教示資料進行補正，可使由操縱器220進行的半導體晶圓組5A向檢查裝置300A_1的分配動作失敗的頻率下降。

或者，搬送機器人200的處理器201亦可根據自主行駛機器人370的實際停止位置對第二目標位置姿勢進行補正。例如，在檢查裝置300A_1的預先決定的位置設置特徵物（L字板、三角板等）。例如，特徵物亦可設置於檢查裝置300A_1的自主行駛機器人370。進而，在自主行駛機器人210設置對該特徵物的位置進行檢測的特徵物檢測感測器。搬送機器人200的處理器201響應於自主行駛機器人210到達第二目標位置姿勢，以由特徵物檢測感測器檢測到的位置與第二基準位置的差值對自主行駛機器人210的位置姿勢進行調整。第二基準位置是操縱器220可進接包括自主行駛機器人370的檢查裝置300A_1的保持構件時的、由特徵物檢測感測器檢測到的特徵物的位置。因此，藉由以所述差值對自主行駛機器人210的位置姿勢進行調整，可使由操縱器220進行的半導體晶圓組5A向檢查裝置300A_1的分配動作失敗的頻率下降。

§3 具體例2 ＜具體例2的概要＞ 圖24是表示實施方式的具體例2的搬送系統的圖。如圖24所示，關於作為搬送對象的物品5，具體例2的搬送系統1B搬送構成生產物的零件5B。搬送系統1B包括多個作業台300B作為多個裝置300。在作業台300B，設置用於收容零件的專用托盤350B作為器具350。在作業台300B中，使用收容於專用托盤350B的零件5B來組裝生產物。生產物的組裝可由作業者執行，亦可由機器人執行。

專用托盤350B設計成可以對應的個數收容對應的品種的零件5B。因此，藉由使用專用托盤350B，可抑制構成生產物的零件5B的品種、個數等的錯誤（丟失、誤裝配等）。

進而，搬送系統1B與具體例1的搬送系統1A同樣地包括與指示伺服器100能夠通訊地連接的MES伺服器700。具體例2的MES伺服器700對生產物的製造進行管理。在具體例2中，MES伺服器700依照預先製作的生產計劃將生產物的製造命令輸出至指示伺服器100。

具體例2的指示伺服器100執行與零件5B向作業台300B的搬送相關的處理。

具體而言，指示伺服器100根據來自MES伺服器700的製造命令，將成為搬送對象的零件5B自保管庫600出庫。其後，指示伺服器100向搬送機器人200發送將載置於台64的零件5B搬送至作業台300B的搬送指示。藉此，搬送機器人200根據搬送指示將載置於台64的零件5B搬送至作業台300B。經搬送的零件5B被收容於作業台300B上所設置的專用托盤350B。在作業台300B，使用專用托盤350B自零件5B組裝生產物。

如上所述，為了抑制構成生產物的零件5B的品種、個數等的錯誤，與零件5B的品種相應地使用專用托盤350B。因此，需要將成為搬送對象的零件5B搬送至設置有與品種相應的專用托盤350B的作業台300B。因此，指示伺服器100執行步驟（1B）～步驟（5B）的處理。

首先，指示伺服器100獲取對作為搬送對象的零件5B的品種進行辨識的品種辨識資訊（步驟（1B））。

接著，指示伺服器100獲取對設置於多個作業台300B各者的專用托盤350B的種類進行辨識的器具辨識資訊（步驟（2B））。

接著，指示伺服器100使用將零件5B的品種與如下的專用托盤350B的種類、即用於執行使用了該品種的零件5B的生產物的組裝的專用托盤350B的種類建立關聯的關聯資訊，來確定與藉由品種辨識資訊而辨識的品種建立關聯的專用托盤350B的種類（步驟（3B））。即，指示伺服器100確定與作為搬送對象的零件5B對應的專用托盤350B。

接著，指示伺服器100使用器具辨識資訊，自多個作業台300B中選擇設置有所確定的種類的專用托盤350B的作業台300B作為對象作業台（步驟（4B））。

指示伺服器100對搬送機器人200輸出將作為搬送對象的零件5B搬送至對象作業台的指示（搬送指示）（步驟（5B））。

＜功能結構＞ 圖25是表示圖24所示搬送系統的功能結構的一例的示意圖。

（作業台） 作業台300B包括：器具管理部32B、組裝部33B、以及通訊部34B。

器具管理部32B對器具辨識資訊進行管理，所述器具辨識資訊對設置於作業台300B的專用托盤350B的種類進行辨識。器具管理部32B例如藉由讀入附於專用托盤350B的代碼（二維碼或條形碼）而獲取器具辨識資訊。在此情況下，附於專用托盤350B的代碼表示該專用托盤350B的種類。或者，器具管理部32B亦可藉由讀入附於專用托盤350B的RFID標籤而獲取器具辨識資訊。

組裝部33B使用收容於專用托盤350B的零件5B來組裝生產物。組裝部33B例如包括組裝機器人等。組裝部33B生成表示作業狀況的狀況資訊。狀況資訊包含表示是正在組裝生產物、還是正在等待下一零件5B的投入的資訊。

通訊部34B根據來自指示伺服器100的請求，向指示伺服器100發送器具管理部32B所管理的最新的器具辨識資訊以及由組裝部33B生成的最新的狀況資訊。

（保管庫） 保管庫600包括與具體例1相同的結構。但是，在保管資料庫61中，在字段61c（參照圖7）中記述有對保管於對應的收容空間65中的零件5B的品種進行辨識的品種辨識資訊。另外，入庫/出庫機構62與具體例1相比不同之處在於，代替半導體晶圓組5A而進行零件5B的入庫動作及出庫動作。控制器63的處理內容與具體例1相同。

（MES伺服器） MES伺服器700包括與具體例1相同的結構。但是，命令部72基於生產計劃資料庫71，將由零件5B構成的生產物的製造命令輸出至指示伺服器100。在製造命令中附有對構成成為製造對象的生產物的零件5B的品種進行辨識的品種辨識資訊。

（搬送機器人） 搬送機器人200包括與具體例1相同的結構。但是，搬送機器人200將零件5B而非半導體晶圓組5A搬送至作業台300B。因此，教示資料庫234中所包括的第一教示資料表示用於拾取保管庫600的台64上所放置的零件5B並將其安放於機架205的驅動程序。教示資料庫234中所包括的第二教示資料表示用於拾取機架205上所放置的零件5B並將其安放於作業台300B的驅動程序。

（指示伺服器） 指示伺服器100包括與具體例1相同的結構。但是，位置資料庫132a包括與多個作業台300B各者建立對應的第二位置姿勢資料來代替與多個檢查裝置300A各者建立對應的第二位置姿勢資料。第二位置姿勢資料表示在操縱器220進接對應的作業台300B時自主行駛機器人210應採取的位置姿勢。

另外，關聯資訊132b將零件5B而非半導體晶圓組5A的品種與在組裝由該品種的零件5B構成的生產物時使用的專用托盤350B的種類建立關聯。

第一獲取部11與具體例1相比不同之處在於自MES伺服器700接受製造命令。如上所述，在製造命令中附有對構成成為製造對象的生產物的零件5B的品種進行辨識的品種辨識資訊。因此，第一獲取部11獲取對作為搬送對象的零件5B的品種進行辨識的品種辨識資訊。

第二獲取部12與具體例1相比不同之處在於，代替多個檢查裝置300A而對多個作業台300B請求資訊，針對多個作業台300B各者，獲取對設置於該作業台300B的專用托盤350B的種類進行辨識的器具辨識資訊、以及表示作業狀況的狀況資訊。

出庫指示部15與具體例1相比不同之處在於，出庫指示部15輸出附有對零件5B而非半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊的出庫指示。

器具更換指示部16與具體例1相比不同之處在於，輸出如下器具更換指示：將設置於藉由自控制部13接收到的裝置ID而辨識的作業台300B的專用托盤350B更換為藉由自控制部13接收到的器具辨識資訊而辨識的種類的專用托盤350B。

控制部13響應於第一獲取部11接受到製造命令，對第二獲取部12、自動搬送指示部14、出庫指示部15、及器具更換指示部16的動作進行控制。由控制部13進行的各部的控制方法除了以下三點以外，與具體例1相同。 ·使用對零件5B而非半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。 ·使用對專用托盤350B而非探針卡350A的種類進行辨識的器具辨識資訊。 ·使用表示作業台300B而非檢查裝置300A的作業狀況的狀況資訊。

另外，指示伺服器100、作業台300B、保管庫600及搬送機器人200中的處理流程除了上述三點以外，依照在具體例1中說明的圖9至圖12所示的流程圖。

＜優點＞ 藉由具體例2，作為搬送對象的零件5B藉由搬送機器人200而被搬送至作業台300B，所述作業台300B設置有與該零件5B的品種相應的種類的專用托盤350B。藉此，可削減先前的由作業者進行搬送的工時。其結果，能夠實現零件5B的有效率的搬送。

例如，汽車、建築機械等考慮到使用其的人的安全性，不允許因零件5B的誤裝配引起的誤運作。因此，具體例2的搬送系統1B適用於汽車、建築機械等的生產現場。此種生產現場中的零件5B例如包括制動器、齒輪箱、油壓泵等零件。

＜變形例＞ 在具體例1中記載的變形例1、變形例2、變形例4及變形例5亦適用於具體例2的搬送系統1B。

另外，保管庫600亦可不包括入庫/出庫機構62。在此情況下，作業者只要將零件5B自保管庫600出庫至台64，並且將附有對所出庫的零件5B的品種進行辨識的品種辨識資訊的製造命令輸入至指示伺服器100即可。由於零件5B已自保管庫600出庫，因此指示伺服器100不需要輸出出庫指示。因此，指示伺服器100亦可不包括出庫指示部15。

§4 具體例3 ＜具體例3的概要＞ 圖26是表示實施方式的具體例3的搬送系統的圖。如圖26所示，關於作為搬送對象的物品5，具體例3的搬送系統1C搬送組裝完畢的製品5C。搬送系統1C包括多個評價裝置300C作為多個裝置300。在評價裝置300C，設置有固定治具350C作為器具350。評價裝置300C對由固定治具350C固定的製品5C的性能進行評價。

評價裝置300C對存在於預先決定的基準高度及基準位置的製品5C的性能進行評價。為了將製品5C固定於該基準高度及基準位置，使用固定治具350C。製品5C根據品種而具有不同的尺寸。因此，根據製品5C的品種，需要使用不同種類的固定治具350C。

進而，搬送系統1C與具體例1的搬送系統1A同樣地包括與指示伺服器100能夠通訊地連接的MES伺服器700。具體例3的MES伺服器700對製品5C的製造進行管理。在具體例3中，MES伺服器700依照預先製作的生產計劃，將製品5C的性能評價命令輸出至指示伺服器100。

具體例3的指示伺服器100執行與製品5C向評價裝置300C的搬送相關的處理。

具體而言，指示伺服器100根據來自MES伺服器700的性能評價命令，將成為搬送對象（評價對象）的製品5C自保管庫600出庫。其後，指示伺服器100向搬送機器人200發送將載置於台64的製品5C搬送至評價裝置300C的搬送指示。藉此，搬送機器人200根據搬送指示，將載置於台64的製品5C搬送至評價裝置300C。經搬送的製品5C由設置於評價裝置300C的固定治具350C固定。評價裝置300C對由固定治具350C固定的製品5C的性能進行評價。

如上所述，根據製品5C的品種，需要使用不同種類的固定治具350C。因此，需要將成為搬送對象的製品5C搬送至設置有與品種相應的固定治具350C的評價裝置300C。因此，指示伺服器100執行步驟（1C）～步驟（5C）的處理。

首先，指示伺服器100獲取對作為搬送對象的製品5C的品種進行辨識的品種辨識資訊（步驟（1C））。

接著，指示伺服器100獲取對設置於多個評價裝置300C各者的固定治具350C的種類進行辨識的器具辨識資訊（步驟（2C））。

接著，指示伺服器100使用將製品5C的品種與在對該品種的製品5C的性能進行評價時使用的固定治具350C的種類建立關聯的關聯資訊，來確定與藉由品種辨識資訊而辨識的品種建立關聯的固定治具350C的種類（步驟（3C））。即，指示伺服器100確定與作為搬送對象的製品5C對應的固定治具350C。

接著，指示伺服器100使用器具辨識資訊，自多個評價裝置300C中選擇設置有所確定的種類的固定治具350C的評價裝置300C作為對象評價裝置（步驟（4C））。

指示伺服器100對搬送機器人200輸出將作為搬送對象的製品5C搬送至對象評價裝置的指示（搬送指示）（步驟（5C））。

＜功能結構＞ 圖27是表示圖26所示搬送系統的功能結構的一例的示意圖。

（評價裝置） 評價裝置300C包括：器具管理部32C、評價部33C、以及通訊部34C。

器具管理部32C對器具辨識資訊進行管理，所述器具辨識資訊對設置於評價裝置300C的固定治具350C的種類進行辨識。器具管理部32C例如藉由讀入附於固定治具350C的代碼（二維碼或條形碼）而獲取器具辨識資訊。在此情況下，附於固定治具350C的代碼表示該固定治具350C的種類。或者，器具管理部32C亦可藉由讀入附於固定治具350C的RFID標籤來獲取器具辨識資訊。

評價部33C對由固定治具350C固定的製品5C的性能進行評價。例如，在製品5C為雷射距離計的情況下，評價部33C評價由雷射距離計所得的測量結果是否在基準範圍內。基準範圍是根據由固定治具350C固定的製品5C存在的基準高度及基準位置而預先設定。

評價部33C生成表示評價狀況的狀況資訊。狀況資訊包含表示是正在評價製品5C的性能、還是正在等待下一製品5C的投入的資訊。

通訊部34C根據來自指示伺服器100的請求，向指示伺服器100發送器具管理部32C所管理的最新的器具辨識資訊以及由評價部33C生成的最新的狀況資訊。

（保管庫） 保管庫600包括與具體例1相同的結構。但是，在保管資料庫61中，在字段61c（參照圖7）中記述有對保管於對應的收容空間65中的製品5C的品種進行辨識的品種辨識資訊。另外，入庫/出庫機構62與具體例1相比不同之處在於，代替半導體晶圓組5A而進行製品5C的入庫動作及出庫動作。控制器63的處理內容與具體例1相同。

（MES伺服器） MES伺服器700包括與具體例1相同的結構。但是，命令部72基於生產計劃資料庫71，將製品5C的性能的評價命令輸出至指示伺服器100。在評價命令中附有對成為評價對象的製品5C的品種進行辨識的品種辨識資訊。

（搬送機器人） 搬送機器人200包括與具體例1相同的結構。但是，搬送機器人200將製品5C而非半導體晶圓組5A搬送至評價裝置300C。因此，教示資料庫234中所包括的第一教示資料表示用於拾取保管庫600的台64上所放置的製品5C並將其安放於機架205的驅動程序。教示資料庫234中所包括的第二教示資料表示用於拾取機架205上所放置的製品5C並將其安放於評價裝置300C的固定治具350C的驅動程序。

（指示伺服器） 指示伺服器100包括與具體例1相同的結構。但是，位置資料庫132a包括與多個評價裝置300C各者建立對應的第二位置姿勢資料，來代替與多個檢查裝置300A各者建立對應的第二位置姿勢資料。第二位置姿勢資料表示在操縱器220進接對應的評價裝置300C的基準高度及基準位置時自主行駛機器人210應採取的位置姿勢。

另外，關聯資訊132b將製品5C而非半導體晶圓組5A的品種與在對該品種的製品5C的性能進行評價時使用的固定治具350C的種類建立關聯。

第一獲取部11與具體例1相比不同之處在於自MES伺服器700接受評價命令。如上所述，在評價命令中附有對成為評價對象的製品5C的品種進行辨識的品種辨識資訊。因此，第一獲取部11獲取對作為搬送對象（評價對象）的製品5C的品種進行辨識的品種辨識資訊。

第二獲取部12與具體例1相比不同之處在於，代替多個檢查裝置300A而對多個評價裝置300C請求資訊，並自多個評價裝置300C各者獲取對固定治具350C的種類進行辨識的器具辨識資訊、以及表示評價狀況的狀況資訊。

出庫指示部15與具體例1相比不同之處在於，輸出附有對製品5C而非半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊的出庫指示。

器具更換指示部16與具體例1相比不同之處在於，輸出如下器具更換指示：將藉由自控制部13接收到的裝置ID而辨識的評價裝置300C上所設置的固定治具350C更換為藉由自控制部13接收到的器具辨識資訊而辨識的種類的固定治具350C。

控制部13響應於第一獲取部11接受到評價命令，對第二獲取部12、自動搬送指示部14、出庫指示部15、及器具更換指示部16的動作進行控制。由控制部13進行的各部的控制方法除了以下三點以外，與具體例1相同。 ·使用對製品5C而非半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。 ·使用對固定治具350C而非探針卡350A的種類進行辨識的器具辨識資訊。 ·使用表示評價裝置300C而非檢查裝置300A的評價狀況的狀況資訊。

另外，指示伺服器100、評價裝置300C、保管庫600及搬送機器人200中的處理流程除了上述三點以外，分別依照在具體例1中說明的圖9至圖12所示的流程圖。

＜優點＞ 藉由具體例3，作為搬送對象的製品5C藉由搬送機器人200而被搬送至評價裝置300C，所述評價裝置300C設置有與該製品5C的品種相應的種類的固定治具350C。藉此，可削減先前的由作業者進行搬送的工時。其結果，能夠實現製品5C的有效率的搬送。

＜變形例＞ 在具體例1中記載的變形例1～變形例5亦適用於具體例3的搬送系統1C。

再者，評價裝置300C亦可根據所評價的性能來執行製品5C的校正。即，評價裝置300C可輸出所評價的性能相對於預先決定的基準性能的偏移。

另外，保管庫600亦可不包括入庫/出庫機構62。在此情況下，作業者只要將製品5C自保管庫600出庫至台64，並且向指示伺服器100輸入將附有對所出庫的製品5C的品種進行辨識的品種辨識資訊的評價命令即可。由於製品5C已自保管庫600出庫，因此指示伺服器100不需要輸出出庫指示。因此，指示伺服器100亦可不包括出庫指示部15。

§5 具體例4 ＜具體例4的概要＞ 圖28是表示實施方式的具體例4的搬送系統的圖。如圖28所示，關於作為搬送對象的物品5，具體例4的搬送系統1D搬送秧苗5D。搬送系統1D包括多個插秧機300D作為多個裝置300。在插秧機300D，設置有栽植爪350D作為器具350。插秧機300D使用栽植爪350D栽植秧苗5D。

具體例4的指示伺服器100_4執行與秧苗5D向插秧機300D的搬送相關的處理。

具體而言，指示伺服器100_4根據插秧開始命令，使成為搬送對象（栽植對象）的秧苗5D自保管庫600出庫。指示伺服器100_4與輸入裝置（鍵盤、滑鼠等）連接，自輸入裝置接收插秧開始命令。

指示伺服器100_4向搬送機器人200發送將載置於台64的秧苗5D搬送至插秧機300D的搬送指示。藉此，搬送機器人200根據搬送指示，將載置於台64的秧苗5D搬送至插秧機300D。經搬送的秧苗5D由設置於插秧機300D的栽植爪350D固定。插秧機300D使用所設置的栽植爪350D將秧苗5D栽植至田地。

根據秧苗5D的品種，需要使用不同種類的栽植爪350D。因此，需要將成為搬送對象的秧苗5D搬送至設置有與品種相應的栽植爪350D的插秧機300D。因此，指示伺服器100_4執行步驟（1D）～步驟（5D）的處理。

首先，指示伺服器100_4獲取對作為搬送對象的秧苗5D的品種進行辨識的品種辨識資訊（步驟（1D））。

接著，指示伺服器100_4獲取對設置於多個插秧機300D各者的栽植爪350D的種類進行辨識的器具辨識資訊（步驟（2D））。

接著，指示伺服器100_4使用將秧苗5D的品種與在栽植該品種的秧苗5D時使用的栽植爪350D的種類建立關聯的關聯資訊，來確定與藉由品種辨識資訊而辨識的品種建立關聯的栽植爪350D的種類（步驟（3D））。即，指示伺服器100_4確定與作為搬送對象的秧苗5D對應的栽植爪350D。

接著，指示伺服器100_4使用器具辨識資訊，自多個插秧機300D中選擇設置有所確定的種類的栽植爪350D的插秧機300D作為對象插秧機（步驟（4D））。

指示伺服器100_4對搬送機器人200輸出將作為搬送對象的秧苗5D搬送至對象插秧機的指示（搬送指示）（步驟（5D））。

＜功能結構＞ 圖29是表示圖28所示搬送系統的功能結構的一例的示意圖。

（插秧機） 插秧機300D包括：器具固定部31D、器具管理部32D、栽植部33D、通訊部34D、以及位置姿勢感測器35D。

器具固定部31D保持栽植爪350D。器具管理部32D對器具辨識資訊進行管理，所述器具辨識資訊對由器具固定部31D固定的栽植爪350D的種類進行辨識。器具管理部32D例如藉由讀入附於栽植爪350D的代碼（二維碼或條形碼）來獲取器具辨識資訊。在此情況下，附於栽植爪350D的代碼表示該栽植爪350D的種類。或者，器具管理部32D亦可藉由讀入附於栽植爪350D的RFID標籤來獲取器具辨識資訊。

栽植部33D使用由器具固定部31D固定的栽植爪350D將秧苗5D栽植至田地。栽植部33D生成表示栽植狀況的狀況資訊。狀況資訊包含表示是正在栽植秧苗5D、還是正在等待下一秧苗5D的投入的資訊。

位置姿勢感測器35D使用公知的技術來測量插秧機300D的位置姿勢。例如，對於位置姿勢感測器35D，可應用基於光達（Lidar）（光探測和測距（Light Detection And Ranging））中的周邊環境測量結果的自身位置推定方法、GPS、訊標定位方法、方位感測器等。

通訊部34D根據來自指示伺服器100_4的請求，向指示伺服器100_4發送器具管理部32D所管理的最新的器具辨識資訊、由栽植部33D生成的最新的狀況資訊以及表示由位置姿勢感測器35D測量的位置姿勢的最新的第七位置姿勢資料。

（保管庫） 保管庫600包括與具體例1相同的結構。但是，在保管資料庫61中，在字段61c（參照圖7）中記述有對保管於對應的收容空間65中的秧苗5D的品種進行辨識的品種辨識資訊。另外，入庫/出庫機構62與具體例1相比不同之處在於，代替半導體晶圓組5A而進行秧苗5D的入庫動作及出庫動作。控制器63的處理內容與具體例1相同。

（搬送機器人） 搬送機器人200包括與具體例1相同的結構。但是，搬送機器人200將秧苗5D而非半導體晶圓組5A搬送至插秧機300D。因此，教示資料庫234中所包括的第一教示資料表示用於拾取保管庫600的台64上所放置的秧苗5D並將其安放於機架205的驅動程序。教示資料庫234中所包括的第二教示資料表示用於拾取機架205上所放置的秧苗5D並將其安放於插秧機300D的保持構件的驅動程序。

（指示伺服器） 指示伺服器100_4與圖23所示的指示伺服器100_3相比不同之處在於，分別包括控制部13_4及第二獲取部12_4來代替控制部13_3及檢查裝置管理部12_3。

再者，指示伺服器100_4的位置資料庫132e中所包括的相對位置姿勢資料表示在操縱器220進接插秧機300D的保持構件時自主行駛機器人210相對於插秧機300D應採取的相對位置姿勢。

關聯資訊132b將秧苗5D而非半導體晶圓組5A的品種與在栽植該品種的秧苗5D時使用的栽植爪350D的種類建立關聯。

第一獲取部11與具體例1相比不同之處在於自輸入裝置接受插秧開始命令。在插秧開始命令中附有對成為栽植對象的秧苗5D的品種進行辨識的品種辨識資訊。因此，第一獲取部11獲取對作為搬送對象（栽植對象）的秧苗5D的品種進行辨識的品種辨識資訊。

第二獲取部12_4對多個插秧機300D請求資訊，並自各插秧機300D獲取最新的器具辨識資訊、最新的狀況資訊及最新的第七位置姿勢資料。第二獲取部12_4根據來自控制部13_4的請求指示，對多個插秧機300D請求資訊。

出庫指示部15與具體例1相比不同之處在於，輸出附有對秧苗5D而非半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊的出庫指示。

器具更換指示部16與具體例1相比不同之處在於，輸出如下器具更換指示：將藉由自控制部13_4接收到的裝置ID而辨識的插秧機300D上所設置的栽植爪350D更換為藉由自控制部13_4接收到的器具辨識資訊而辨識的種類的栽植爪350D。

控制部13_4響應於第一獲取部11接受到插秧開始命令，對第二獲取部12_4、自動搬送指示部14、出庫指示部15、及器具更換指示部16的動作進行控制。由控制部13_4進行的各部的控制方法除了以下四點以外，與圖23所示的控制部13_3的控制方法相同。 ·使用對秧苗5D而非半導體晶圓組5A的品種進行辨識的品種辨識資訊。 ·使用對栽植爪350D而非探針卡350A的種類進行辨識的器具辨識資訊。 ·使用表示插秧機300D而非檢查裝置300A的栽植狀況的狀況資訊。 ·使用自插秧機300D獲取的第七位置姿勢資料，而非自自主行駛機器人370獲取的第六位置姿勢資料。

另外，指示伺服器100_4、插秧機300D、保管庫600及搬送機器人200中的處理流程除了上述四點以外，分別依照在具體例1中說明的圖9至圖12所示的流程圖。

＜優點＞ 藉由具體例4，作為搬送對象的秧苗5D藉由搬送機器人200而被搬送至插秧機300D，所述插秧機300D設置有與該秧苗5D的品種相應的種類的栽植爪350D。藉此，可削減先前的由作業者進行搬送的工時。其結果，能夠實現秧苗5D的有效率的搬送。

＜變形例＞ 在具體例1中記載的變形例1、變形例2亦適用於具體例4的搬送系統1D。

在所述說明中，插秧機300D的位置姿勢由插秧機300D所包括的位置姿勢感測器35D測量。然而，插秧機300D的位置姿勢亦可藉由其他方法測量。例如，搬送系統1D亦可包括：一台以上的照相機，對插秧機300D的移動範圍進行拍攝；以及運算部，藉由對自該照相機獲得的圖像資料進行分析來測量插秧機300D的位置姿勢並輸出第七位置姿勢資料。照相機可安裝於移動範圍內所配置的固定桿，亦可安裝於能夠在移動範圍內飛行的無人機。運算部將最新的第七位置姿勢資料輸出至指示伺服器100。

§6 附記 如以上所述，本實施方式包括如下揭示。

（結構1） 一種搬送系統（1、1A～1D、1A_1～1A_5），包括： 多個裝置（300、300A～300D），對物品（5、5A～5D）實施規定的處理； 搬送機器人（200、200_1）；以及 指示部（100、100_1～100_4）， 在所述多個裝置（300、300A～300D）各者，設置有自多種器具（350、350A～350D）中任意地選擇的種類的器具， 在所述多個裝置（300、300A～300D、300A_1）各者中，使用所設置的所述器具（350、350A～350D）來實施所述規定的處理， 所述指示部（100、100_1～100_4）包括： 第一獲取部（11、101），獲取對作為搬送對象的物品（5、5A～5D）的品種進行辨識的第一辨識資訊； 第二獲取部（12、12_3、12_4、101），獲取對設置於所述多個裝置（300、300A～300D、300A_1）各者的所述器具（350、350A～350D）的種類進行辨識的第二辨識資訊； 確定部（133、101），使用將物品（5、5A～5D）的品種與用於對該品種的物品（5、5A～5D）實施所述規定的處理的器具（350、350A～350D）的種類建立關聯的關聯資訊（132b），來確定與藉由所述第一辨識資訊而辨識的品種建立關聯的器具的種類； 選擇部（134、101），使用所述第二辨識資訊，自所述多個裝置（300、300A～300D、300A_1）中選擇設置有所確定的種類的器具的裝置作為對象裝置；以及 第一輸出部（14、101），對所述搬送機器人（200、200_1）輸出將作為所述搬送對象的物品（5、5A～5D）搬送至所述對象裝置的搬送指示。

（結構2） 如結構1所述的搬送系統（1、1A～1D、1A_1～1A_5），其中，所述搬送機器人（200、200_1）包括： 自主行駛機器人（210）； 第一機構（220），搭載於所述自主行駛機器人（210），進行所述物品（5、5A～5D）的交接；以及 控制部（22～24、22_1、201），對所述自主行駛機器人（210）及所述第一機構（220）進行控制， 所述控制部（22～24、22_1、201）根據所述搬送指示， 使所述自主行駛機器人（210）移動至與作為所述搬送對象的物品的回收場所相應的第一目標位置姿勢， 在所述自主行駛機器人（210）到達所述第一目標位置姿勢之後，使所述第一機構（220）執行將作為所述搬送對象的物品回收的第一回收動作， 在完成所述第一回收動作後，使所述自主行駛機器人移動至與所述對象裝置相應的第二目標位置姿勢， 在所述自主行駛機器人（210）到達所述第二目標位置姿勢之後，使所述第一機構（220）執行將作為所述搬送對象的物品分配至所述對象裝置的第一分配動作。

（結構3） 如結構2所述的搬送系統（1、1A～1D、1A_1～1A_5），更包括能夠保管多個物品（5、5A～5D）的保管庫（600）， 所述保管庫（600）包括將所指定的物品（5、5A～5D）出庫的第二機構（62）， 所述第一目標位置姿勢是根據自所述保管庫（600）出庫的所述物品（5、5A～5D）的場所而決定， 所述指示部（100、100_1～100_4）更包括將作為所述搬送對象的物品的出庫指示輸出至所述保管庫（600）的第二輸出部（15、101）。

（結構4） 如結構2所述的搬送系統（1A_1、1A_2），更包括能夠載置多個物品（5、5A～5D）的貨架（500）， 所述貨架（500）包括： 多個載置部（51a～51c）；以及 第一管理部（53），對將所述多個載置部（51a～51c）各者與所載置的物品（5、5A～5D）的品種建立對應的管理資訊（55）進行管理， 所述第一目標位置姿勢是根據所述多個載置部（51a～51c）中的放置有藉由所述第一辨識資訊來辨識的品種的物品（5、5A～5D）的對象載置部而決定， 所述對象載置部是基於所述管理資訊（55），自所述多個載置部（51a～51c）中來確定。

（結構5） 如結構4所述的搬送系統（1A_1、1A_2），更包括能夠保管多個物品（5、5A～5D）的保管庫（600）， 所述保管庫（600）包括： 第二管理部（63），對所保管的各物品（5、5A～5D）的品種進行管理；以及 第二機構（62），將所指定的物品（5、5A～5D）出庫， 所述貨架（500）更包括檢測部（52a～52c），所述檢測部（52a～52c）針對所述多個載置部（51a～51c）各者，檢測是載置有物品（5、5A～5D）的第一狀態以及未載置物品（5、5A～5D）的第二狀態中的哪一狀態， 所述第一管理部（53）在所述第二機構（62）完成所述所指定的物品（5、5A～5D）的出庫之後對所述管理資訊（55）進行更新，以使所述多個載置部（51a～51c）中的最初自所述第二狀態變化為所述第一狀態的載置部與所述所指定的物品的品種對應。

（結構6） 如結構5所述的搬送系統（1A_2），更包括第三機構（91），所述第三機構（91）使自所述保管庫（600）出庫的物品（5、5A～5D）移動至所述多個載置部（51a～51c）中的處於所述第二狀態的一個載置部。

（結構7） 如結構2至結構6中任一項所述的搬送系統（1A_3），其中，關於所述控制部（22～24、22_1、201）， 在所述自主行駛機器人（210）到達所述第二目標位置姿勢之後，且在使所述第一機構（220）執行所述第一分配動作之前，使所述第一機構（220）執行將放置於所述對象裝置的實施了所述規定的處理的物品（5、5A～5D）回收的第二回收動作， 在完成所述第一分配動作後，使所述自主行駛機器人（210）移動至與實施了所述規定的處理的物品（5、5A～5D）的分配場所（1000）相應的第三目標位置姿勢， 在所述自主行駛機器人（210）到達所述第三目標位置姿勢之後，使所述第一機構（220）執行將實施了所述規定的處理的物品（5、5A～5D）分配至所述分配場所的第二分配動作。

（結構8） 如結構1至結構7中任一項所述的搬送系統（1A_4），更包括伺服器（700），所述伺服器（700）依照生產計劃向所述指示部（100、100_1～100_3）輸出針對作為所述搬送對象的物品（5、5A～5D）實施所述規定的處理的命令， 所述伺服器（700）基於所述第二辨識資訊對所述生產計劃進行修正，以降低所述多個裝置（300、300A～300C、300A_1）中的所述器具（350、350A～350C）的更換頻率。

（結構9） 如結構2所述的搬送系統（1A_5、1D），其中，所述多個裝置（300A_1、300D）各者能夠移動， 所述第二目標位置姿勢是根據所述對象裝置的位置姿勢而決定。

（結構10） 如結構9所述的搬送系統（1A_5、1D），其中，所述多個裝置（300A_1、300D）各者具有設置於預先決定的位置的標記， 所述搬送機器人（200）更包括照相機， 所述控制部（22～24、22_1、201）是 基於所述自主行駛機器人（210）到達所述第二目標位置姿勢之後藉由所述照相機的拍攝而獲得的圖像來計算所述標記的位置， 以計算出的所述標記的位置與基準位置的差值，對所述第一分配動作進行補正。

（結構11） 如結構9所述的搬送系統（1A_5、1D），其中，所述多個裝置（300A_1、300D）各者具有設置於預先決定的位置的特徵物， 所述搬送機器人（200）更包括對所述特徵物的位置進行檢測的感測器， 所述控制部（22～24、22_1、201）是 以在所述自主行駛機器人（210）到達所述第二目標位置姿勢時由所述感測器檢測到的位置與基準位置的差值，對所述自主行駛機器人的位置姿勢進行調整。

（結構12） 如結構1至結構11中任一項所述的搬送系統（1B），其中，所述物品為構成生產物的零件（5B）， 所述器具為用於收容所述零件的托盤（350B）， 在所述裝置（300B）中，使用收容於所述托盤（350B）的所述零件（5B）來組裝所述生產物。

（結構13） 如結構1至結構11中任一項所述的搬送系統（1C），其中，所述器具為用於對所述物品進行固定的治具（350C）， 所述裝置（300C）對由所述治具（350C）固定的所述物品（5C）的性能進行評價。

（結構14） 如結構1至結構11中任一項所述的搬送系統（1C），其中，所述物品為秧苗（5D）， 所述器具為用於栽植所述秧苗（5D）的栽植爪（350D）， 所述裝置使用所述栽植爪（350D）來栽植所述秧苗（5D）。

（結構15） 一種搬送方法，是搬送系統（1、1A～1D、1A_1～1A_5）的搬送方法，其中，所述搬送系統（1、1A～1D、1A_1～1A_5）包括： 多個裝置（300、300A～300D），對物品（5、5A～5D）實施規定的處理；以及 搬送機器人（200、200_1）， 在所述多個裝置（300、300A～300D）各者，設置有自多種器具（350、350A～350D）中任意地選擇的種類的器具， 在所述多個裝置（300、300A～300D）各者中，使用所設置的所述器具（350、350A～350D）來實施所述規定的處理， 所述搬送方法包括： 獲取對作為搬送對象的物品（5、5A～5D）的品種進行辨識的第一辨識資訊的步驟； 獲取對設置於所述多個裝置（300、300A～300D）各者的所述器具（350、350A～350D）的種類進行辨識的第二辨識資訊的步驟； 使用將物品（5、5A～5D）的品種與用於對所述品種的物品（5、5A～5D）實施所述規定的處理的器具（350、350A～350D）的種類建立關聯的關聯資訊（132b），來確定與藉由所述第一辨識資訊而辨識的品種建立關聯的器具（350、350A～350D）的種類的步驟； 使用所述第二辨識資訊，自所述多個裝置（300、300A～300D）中選擇設置有所確定的種類的器具（350、350A～350D）的裝置作為對象裝置的步驟；以及 對所述搬送機器人（200、200_1）輸出將作為所述搬送對象的物品（5、5A～5D）搬送至所述對象裝置的搬送指示的步驟。 對本發明的實施方式進行了說明，但應認為此次揭示的實施方式在所有方面為例示而非限制性者。本發明的範圍由申請專利範圍表示，意圖包括與申請專利範圍均等的含義及範圍內的所有變更。

1、1A～1D、1A_1～1A_5:搬送系統 5:物品 5A:半導體晶圓組（物品） 5B:零件（物品） 5C:製品（物品） 5D:秧苗（物品） 6a:半導體晶圓 6b:晶盒 11:第一獲取部 12、12_4:第二獲取部 12_3:檢查裝置管理部（第二獲取部） 13、13_1～13_4:控制部 14:自動搬送指示部（第一輸出部） 15:出庫指示部（第二輸出部） 16:器具更換指示部 17:第三獲取部 18:第四獲取部 21、34A～34D:通訊部 22、22_1:統合控制部（控制部） 23:行駛控制部（控制部） 24:上物控制部（控制部） 31A:器具裝設機構 31D:器具固定部 32A～32D:器具管理部 33A:檢查部 33B:組裝部 33C:評價部 33D:栽植部 35D、211、374:位置姿勢感測器 36:資訊獲取部 37:通訊控制部 38:無線通訊部 39:行駛控制部 51a～51c:載置部 52a～52c:檢測部 53:載置資料庫管理部（第一管理部） 54:出庫資訊獲取部 55:載置資料庫（管理資訊） 55a、61a:記錄 55b、55c、61b、61c:字段 61:保管資料庫 62:入庫/出庫機構（第二機構） 63:控制器（第二管理部） 64:台 65:收容空間 71:生產計劃資料庫 72:命令部 91:取放機構（第三機構） 92、234、234_1:教示資料庫 93:控制器 100、100_1～100_4:指示伺服器（指示部） 101:處理器（第一獲取部、第二獲取部、確定部、選擇部、第一輸出部、第二輸出部） 102、202、372:記憶體 103、203、373:儲存器 104、377:通訊介面 105、206、378:無線通訊介面 131:搬送指示程式 132:資料庫群組 132a、132c、132d、132e:位置資料庫 132b:關聯資訊 133:確定部 134:選擇部 200、200_1:搬送機器人 201:處理器（控制部） 204、207:存貨感測器 205、208:機架 210、370:自主行駛機器人 212、375:驅動部 213、376:車輪 220:操縱器（第一機構） 231、380:行駛控制程式 232:操縱器控制程式 233:統合控制程式 235:存貨資訊記憶部 300:裝置 300A、300A_1:檢查裝置（裝置） 300B:作業台（裝置） 300C:評價裝置（裝置） 300D:插秧機（裝置） 350:器具 350A:探針卡（器具） 350B:專用托盤（器具、托盤） 350C:固定治具（器具、治具） 350D:栽植爪（器具） 371:處理器 381:通訊控制程式 500:臨時放置架（貨架） 600:保管庫 700:MES伺服器（伺服器） 800:終端 900:移載機器人 1000:保管庫（分配場所） 1100、1100a、1100b:生產據點 M、M1:作業者 S1～S9、S21～S32、S41、S42、S51～S55、S61～S70、（1）～（5）、（1A）～（1D）、（2A）～（2D）、（3A）～（3D）、（4A）～（4D）、（5A）～（5D）:步驟

圖1是表示實施方式的搬送系統的應用例的圖。 圖2是表示實施方式的具體例1的搬送系統的圖。 圖3是表示一般的半導體晶圓的檢查流程的流程圖。 圖4是表示圖1及圖2所示指示伺服器的硬體結構的一例的示意圖。 圖5是表示圖1及圖2所示搬送機器人的硬體結構的一例的示意圖。 圖6是表示圖2所示指示伺服器及搬送機器人的功能結構的一例的示意圖。 圖7是表示保管資料庫的一例的圖。 圖8是表示關聯資訊的一例的圖。 圖9是表示指示伺服器的處理流程的流程圖。 圖10是表示檢查裝置的處理流程的流程圖。 圖11是表示保管庫的處理流程的流程圖。 圖12是表示搬送機器人的處理流程的流程圖。 圖13是表示變形例1中的保管庫的周圍的圖。 圖14是表示變形例1的搬送系統所包括的指示伺服器及臨時放置架的功能結構的一例的示意圖。 圖15是表示載置資料庫的一例的圖。 圖16是表示變形例2中的保管庫的周圍的圖。 圖17是表示變形例2的搬送系統所包括的指示伺服器、臨時放置架及移載機器人的功能結構的一例的示意圖。 圖18是表示變形例3的搬送機器人的硬體結構的示意圖。 圖19是表示變形例3的搬送系統的指示伺服器及搬送機器人的功能結構的示意圖。 圖20是表示變形例4的搬送系統的示意圖。 圖21是表示變形例5的搬送系統的結構的示意圖。 圖22是表示變形例5的自主行駛機器人的硬體結構的一例的示意圖。 圖23是表示變形例5的搬送系統的指示伺服器及檢查裝置的功能結構的示意圖。 圖24是表示實施方式的具體例2的搬送系統的圖。 圖25是表示圖24所示搬送系統的功能結構的一例的示意圖。 圖26是表示實施方式的具體例3的搬送系統的圖。 圖27是表示圖26所示搬送系統的功能結構的一例的示意圖。 圖28是表示實施方式的具體例4的搬送系統的圖。 圖29是表示圖28所示搬送系統的功能結構的一例的示意圖。

1:搬送系統

5:物品

64:台

65:收容空間

100:指示伺服器(指示部)

200:搬送機器人

210:自主行駛機器人

220:操縱器(第一機構)

300:裝置

350:器具

600:保管庫

800:終端

M:作業者

Claims (15)

1. 一種搬送系統，包括： 多個裝置，對物品實施規定的處理； 搬送機器人；以及 指示部， 在所述多個裝置各者，設置有自多種器具中任意地選擇的種類的器具， 在所述多個裝置各者中，使用所設置的所述器具來實施所述規定的處理， 所述指示部包括： 第一獲取部，獲取對作為搬送對象的物品的品種進行辨識的第一辨識資訊； 第二獲取部，獲取對設置於所述多個裝置各者的所述器具的種類進行辨識的第二辨識資訊； 確定部，使用將物品的品種與用於對所述品種的物品實施所述規定的處理的器具的種類建立關聯的關聯資訊，來確定與藉由所述第一辨識資訊而辨識的品種建立關聯的器具的種類； 選擇部，使用所述第二辨識資訊，自所述多個裝置中選擇設置有所確定的種類的器具的裝置作為對象裝置；以及 第一輸出部，對所述搬送機器人輸出將作為所述搬送對象的物品搬送至所述對象裝置的搬送指示。
2. 如請求項1所述的搬送系統，其中， 所述搬送機器人包括： 自主行駛機器人； 第一機構，搭載於所述自主行駛機器人，進行所述物品的交接；以及 控制部，對所述自主行駛機器人及所述第一機構進行控制， 所述控制部根據所述搬送指示， 使所述自主行駛機器人移動至與作為所述搬送對象的物品的回收場所相應的第一目標位置姿勢， 在所述自主行駛機器人到達所述第一目標位置姿勢之後，使所述第一機構執行將作為所述搬送對象的物品回收的第一回收動作， 在完成所述第一回收動作後，使所述自主行駛機器人移動至與所述對象裝置相應的第二目標位置姿勢， 在所述自主行駛機器人到達所述第二目標位置姿勢之後，使所述第一機構執行將作為所述搬送對象的物品分配至所述對象裝置的第一分配動作。
3. 如請求項2所述的搬送系統，更包括能夠保管多個物品的保管庫， 所述保管庫包括將所指定的物品出庫的第二機構， 所述第一目標位置姿勢是根據自所述保管庫出庫的所述物品的場所而決定， 所述指示部更包括將作為所述搬送對象的物品的出庫指示輸出至所述保管庫的第二輸出部。
4. 如請求項2所述的搬送系統，更包括能夠載置多個物品的貨架， 所述貨架包括： 多個載置部；以及 第一管理部，對將所述多個載置部各者與所載置的物品的品種建立對應的管理資訊進行管理， 所述第一目標位置姿勢是根據所述多個載置部中的放置有藉由所述第一辨識資訊來辨識的品種的物品的對象載置部而決定， 所述對象載置部是基於所述管理資訊，自所述多個載置部中來確定。
5. 如請求項4所述的搬送系統，更包括能夠保管多個物品的保管庫， 所述保管庫包括： 第二管理部，對所保管的各物品的品種進行管理；以及 第二機構，將所指定的物品出庫， 所述貨架更包括檢測部，所述檢測部針對所述多個載置部各者，檢測是載置有物品的第一狀態以及未載置物品的第二狀態中的哪一狀態， 所述第一管理部在所述第二機構完成所述所指定的物品的出庫之後對所述管理資訊進行更新，以使所述多個載置部中的最初自所述第二狀態變化為所述第一狀態的載置部與所述所指定的物品的品種對應。
6. 如請求項5所述的搬送系統，更包括第三機構，所述第三機構使自所述保管庫出庫的物品移動至所述多個載置部中的處於所述第二狀態的一個載置部。
7. 如請求項2至6中任一項所述的搬送系統，其中，所述控制部是 在所述自主行駛機器人到達所述第二目標位置姿勢之後，且在使所述第一機構執行所述第一分配動作之前，使所述第一機構執行將放置於所述對象裝置的實施了所述規定的處理的物品回收的第二回收動作， 在完成所述第一分配動作後，使所述自主行駛機器人移動至與實施了所述規定的處理的物品的分配場所相應的第三目標位置姿勢， 在所述自主行駛機器人到達所述第三目標位置姿勢之後，使所述第一機構執行將實施了所述規定的處理的物品分配至所述分配場所的第二分配動作。
8. 如請求項1至6中任一項所述的搬送系統，更包括伺服器，所述伺服器依照生產計劃向所述指示部輸出針對作為所述搬送對象的物品實施所述規定的處理的命令， 所述伺服器基於所述第二辨識資訊對所述生產計劃進行修正，以降低所述多個裝置中的所述器具的更換頻率。
9. 如請求項2所述的搬送系統，其中，所述多個裝置各者能夠移動， 所述第二目標位置姿勢是根據所述對象裝置的位置姿勢而決定。
10. 如請求項9所述的搬送系統，其中，所述多個裝置各者具有設置於預先決定的位置的標記， 所述搬送機器人更包括照相機， 所述控制部是 基於所述自主行駛機器人到達所述第二目標位置姿勢之後藉由所述照相機的拍攝而獲得的圖像來計算所述標記的位置， 以計算出的所述標記的位置與基準位置的差值，對所述第一分配動作進行補正。
11. 如請求項9所述的搬送系統，其中，所述多個裝置各者具有設置於預先決定的位置的特徵物， 所述搬送機器人更包括對所述特徵物的位置進行檢測的感測器， 所述控制部是 以在所述自主行駛機器人到達所述第二目標位置姿勢時由所述感測器檢測到的位置與基準位置的差值，對所述自主行駛機器人的位置姿勢進行調整。
12. 如請求項1至6中任一項所述的搬送系統，其中，所述物品為構成生產物的零件， 所述器具為用於收容所述零件的托盤， 在所述裝置中，使用收容於所述托盤的所述零件來組裝所述生產物。
13. 如請求項1至6中任一項所述的搬送系統，其中，所述器具為用於對所述物品進行固定的治具， 所述裝置對由所述治具固定的所述物品的性能進行評價。
14. 如請求項1至6中任一項所述的搬送系統，其中，所述物品為秧苗， 所述器具為用於栽植所述秧苗的栽植爪， 所述裝置使用所述栽植爪來栽植所述秧苗。
15. 一種搬送方法，是搬送系統的搬送方法，其中， 所述搬送系統包括： 多個裝置，對物品實施規定的處理；以及 搬送機器人， 在所述多個裝置各者，設置有自多種器具中任意地選擇的種類的器具， 在所述多個裝置各者中，使用所設置的所述器具來實施所述規定的處理， 所述搬送方法包括： 獲取對作為搬送對象的物品的品種進行辨識的第一辨識資訊的步驟； 獲取對設置於所述多個裝置各者的所述器具的種類進行辨識的第二辨識資訊的步驟； 使用將物品的品種與用於對所述品種的物品實施所述規定的處理的器具的種類建立關聯的關聯資訊，來確定與藉由所述第一辨識資訊而辨識的品種建立關聯的器具的種類的步驟； 使用所述第二辨識資訊，自所述多個裝置中選擇設置有所確定的種類的器具的裝置作為對象裝置的步驟；以及 對所述搬送機器人輸出將作為所述搬送對象的物品搬送至所述對象裝置的搬送指示的步驟。