TW202244078A - 感光性樹脂組成物、感光性元件及積層體之製造方法 - Google Patents

感光性樹脂組成物、感光性元件及積層體之製造方法 Download PDF

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Abstract

一種感光性樹脂組成物，其含有黏合劑聚合物、光聚合性化合物、光聚合起始劑及供氫體，前述光聚合性化合物包含具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物。一種感光性元件1，其具備支撐體2及配置於支撐體2上之感光性樹脂層3，感光性樹脂層3包含上述感光性樹脂組成物。

Description

感光性樹脂組成物、感光性元件及積層體之製造方法
本發明有關一種感光性樹脂組成物、感光性元件、積層體之製造方法等。
在製造能夠用作配線基板之積層體時，為了獲得所希望之配線而形成光阻圖案。光阻圖案能夠藉由對使用感光性樹脂組成物而獲得之感光性樹脂層進行曝光和顯影來形成。作為感光性樹脂組成物，研究了各種組成物。例如，在下述專利文獻1中，記載了含有蒽衍生物之感光性樹脂組成物。
[專利文獻1]國際公開第2007/004619號
用作光阻圖案之硬化物圖案例如藉由對配置於基材上之感光性樹脂層進行光硬化（曝光）之後，對感光性樹脂層的未硬化部（未曝光部）進行顯影並去除來形成。而且，在對基材中的未形成硬化物圖案之部分實施處理（例如，電鍍處理）之後，硬化物圖案被剝離（去除）。在該情況下，從效率化等觀點考慮，要求縮短硬化部的剝離所需之剝離時間。
本發明的一方面的目的為提供一種能夠縮短硬化部的剝離時間之感光性樹脂組成物。本發明的另一方面的目的為提供一種使用了該感光性樹脂組成物之感光性元件。本發明的另一方面的目的為提供一種使用了上述感光性樹脂組成物之積層體之製造方法。
本發明的一方面有關一種感光性樹脂組成物，其含有黏合劑聚合物、光聚合性化合物、光聚合起始劑及供氫體，前述光聚合性化合物包含具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物。
依據這種感光性樹脂組成物，能夠縮短該感光性樹脂組成物的硬化部的剝離時間。
本發明的另一方面有關一種感光性元件，其具備支撐體、配置於該支撐體上之感光性樹脂層，前述感光性樹脂層包含上述感光性樹脂組成物。
本發明的另一方面有關一種積層體之製造方法，其具備：使用上述感光性樹脂組成物或上述感光性元件，並且將感光性樹脂層配置於基材上之步驟；使前述感光性樹脂層的一部分光硬化之步驟；去除前述感光性樹脂層的未硬化部而形成硬化物圖案之步驟；及在前述基材中的未形成有前述硬化物圖案之部分中的至少一部分形成金屬層之步驟。 [發明效果]
依據本發明的一方面，能夠提供一種能夠縮短硬化部的剝離時間之感光性樹脂組成物。依據本發明的另一方面，能夠提供一種使用了該感光性樹脂組成物之感光性元件。依據本發明的另一方面，能夠提供一種使用了上述感光性樹脂組成物之積層體之製造方法。依據本發明的另一方面，能夠提供一種應用於形成光阻圖案的感光性樹脂組成物或感光性元件。依據本發明的另一方面，能夠提供一種應用於製造配線基板的感光性樹脂組成物或感光性元件。
以下，對本發明的實施形態進行詳細說明。
數值範圍中的“A以上”係指A及超過A之範圍。數值範圍中的“A以下”係指A及小於A之範圍。本說明書中階段性記載之數值範圍中，某階段的數值範圍的上限值或下限值能夠與另一階段的數值範圍的上限值或下限值任意地組合。在本說明書中所記載之數值範圍中，其數值範圍的上限值或下限值可以置換為實施例中示出之值。“A或B”只要包含A及B中的任一者即可，亦可以包含兩者。本說明書中例示之材料只要沒有特別指定，能夠單獨使用1種或組合2種以上而使用。在組成物中相當於各成分之物質存在複數個之情況下，只要沒有特別指定，組成物中的各成分的含量則表示於組成物中存在之該複數個物質的合計量。在作為俯視圖觀察時，“層”這一術語除了形成於整個面之形狀的結構以外，還包含形成於一部分之形狀的結構。“步驟”這一術語除了獨立的步驟，即使在無法與其他步驟明確地區別之情況下，只要可實現其步驟的預期作用，則亦包含於本術語中。“（甲基）丙烯酸酯”係指，丙烯酸酯及與其對應之甲基丙烯酸酯中的至少一者。“（甲基）丙烯酸”等其他類似的表述亦相同。“烷基”只要沒有特別指定，則可以係直鏈狀、支鏈或環狀中的任一種。
本說明書中，“（聚）氧亞烷基”係指氧亞烷基及聚氧伸烷基（2個以上的亞烷基由醚鍵連結之基團）中的至少一者。“（聚）氧伸乙基”，“（聚）氧伸丙基”等其他類似的表述亦相同。“EO改質”係指具有（聚）氧伸乙基之化合物。“PO改質”係指具有（聚）氧伸丙基之化合物。“EO·PO改質”係指具有（聚）氧伸乙基和/或（聚）氧伸丙基之化合物。
本說明書中，“感光性樹脂組成物的固體成分”係指，在感光性樹脂組成物中，除去揮發之物質（水、溶劑等）之不揮發成分。亦即，“固體成分”係指，在乾燥感光性樹脂組成物時不揮發而殘留之成分（除了溶劑以外的成分），亦包含在室溫（25℃）下為液體狀、糖漿狀或石蠟狀的成分。
＜感光性樹脂組成物及硬化物＞ 本實施形態之感光性樹脂組成物包含（A）黏合劑聚合物（（A）成分）、（B）光聚合性化合物（（B）成分）、（C）光聚合起始劑（（C）成分）及（D）供氫體（（D）成分），光聚合性化合物包含具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物。本實施形態之感光性樹脂組成物例如能夠用作負型的感光性樹脂組成物。
本實施形態之感光性樹脂組成物具有光硬化性，能夠藉由對該感光性樹脂組成物進行光硬化來獲得硬化物。本實施形態之硬化物係本實施形態之感光性樹脂組成物的硬化物（光硬化物）。本實施形態之硬化物可以為圖案狀（硬化物圖案），亦可以為光阻圖案。本實施形態之感光性樹脂組成物及硬化物的可見光線透射率（例如，厚度5.0μm之可見光線透射率）的最小值或最大值可以為90%以下、小於90%、85%以下或80%以下。作為可見光線透射率，例如，能夠使用400～700nm的波長區域的透射率。
本實施形態之硬化物的厚度可以為1μm以上、5μm以上、10μm以上、15μm以上、20μm以上或25μm以上。本實施形態之硬化物的厚度可以為100μm以下、80μm以下、50μm以下、40μm以下、30μm以下或25μm以下。從該等觀點考慮，本實施形態之硬化物的厚度可以為1～100μm、10～50μm或15～40μm。
依據本實施形態之感光性樹脂組成物，能夠縮短剝離（去除）該感光性樹脂組成物的硬化部（曝光部）所需之剝離時間。依據本實施形態之感光性樹脂組成物，例如，能夠縮短使該感光性樹脂組成物的硬化部浸漬於3.0質量%的NaOH水溶液（50℃）時之該硬化部的剝離時間。
依據本實施形態之感光性樹脂組成物，能夠獲得對活化光線優異之靈敏度。依據本實施形態之感光性樹脂組成物，藉由顯影處理而能夠良好地去除未硬化部，並且能夠獲得優異之解析性。依據本實施形態之感光性樹脂組成物，能夠在顯影處理時使硬化部良好地殘留，並且能夠獲得優異之密合性。
本實施形態之感光性樹脂組成物含有黏合劑聚合物作為（A）成分。作為（A）成分，可以舉出丙烯酸系樹脂、苯乙烯系樹脂、環氧系樹脂、醯胺系樹脂、醯胺環氧系樹脂、醇酸系樹脂、苯酚系樹脂等。丙烯酸系樹脂係作為單體單元而具備具有（甲基）丙烯醯基之化合物（（甲基）丙烯酸化合物）之樹脂，具有該單體單元之苯乙烯系樹脂、環氧系樹脂、醯胺系樹脂、醯胺環氧系樹脂、醇酸系樹脂及苯酚系樹脂屬於丙烯酸系樹脂。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分可以包含丙烯酸系樹脂。從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，丙烯酸系樹脂的含量以（A）成分的總質量為基準，可以為50質量%以上、大於50質量%、70質量%以上、90質量%以上、95質量%以上、98質量%以上、99質量%以上，或者實質上100質量%（（A）成分實質上由丙烯酸系樹脂組成之態樣）。
作為具有（甲基）丙烯醯基之化合物，可以舉出（甲基）丙烯酸、（甲基）丙烯酸酯等。作為（甲基）丙烯酸酯，可以舉出（甲基）丙烯酸烷基酯（（甲基）丙烯酸烷基酯。相當於（甲基）丙烯酸環烷酯之化合物除外）、（甲基）丙烯酸環烷基酯（（甲基）丙烯酸環烷基酯）、（甲基）丙烯酸芳基酯（（甲基）丙烯酸芳基酯）、（甲基）丙烯醯胺化合物（二丙酮丙烯醯胺等）、（甲基）丙烯酸縮水甘油酯、苯乙烯（甲基）丙烯酸等。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分可以具有（甲基）丙烯酸作為單體單元。
（A）成分具有（甲基）丙烯酸作為單體單元之情況下，從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（甲基）丙烯酸的單體單元的含量以構成（A）成分之單體單元的總量為基準可以在下述範圍。（甲基）丙烯酸的單體單元的含量可以為1質量%以上、5質量%以上、10質量%以上、12質量%以上、15質量%以上、18質量%以上、20質量%以上或25質量%以上。（甲基）丙烯酸的單體單元的含量可以為50質量%以下、小於50質量%、45質量%以下、40質量%以下、35質量%以下或30質量%以下。從該等觀點考慮，（甲基）丙烯酸的單體單元的含量可以為1～50質量%、10～45質量%或15～40質量%。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分具有（甲基）丙烯酸烷酯作為單體單元。作為（甲基）丙烯酸烷基酯的烷基，可以舉出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基等，烷基可以係各種結構異構物。從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（甲基）丙烯酸烷基酯的烷基的碳數可以為1～4、1～3、2～3或1～2。
（甲基）丙烯酸烷基酯的烷基可以具有取代基。作為取代基，可以舉出羥基、胺基、環氧基、呋喃基、鹵代基（氟基、氯基、溴基等）等。作為（A）成分，可以舉出（甲基）丙烯酸二甲胺基乙酯、（甲基）丙烯酸二乙胺基乙酯、（甲基）丙烯酸2,2,2-三氟乙酯、（甲基）丙烯酸2,2,3,3-四氟丙酯、α-氯（甲基）丙烯酸、α-溴（甲基）丙烯酸等。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分可以具有（甲基）丙烯酸羥烷基酯作為單體單元。作為（甲基）丙烯酸羥烷基酯，可以舉出（甲基）丙烯酸羥甲酯、（甲基）丙烯酸羥乙酯、（甲基）丙烯酸羥丙酯、（甲基）丙烯酸羥丁酯、（甲基）丙烯酸羥戊酯、（甲基）丙烯酸羥己酯等。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分具有（甲基）丙烯酸烷基酯作為單體單元時之（甲基）丙烯酸烷基酯的單體單元的含量、或者（A）成分具有（甲基）丙烯酸羥烷基酯作為單體單元時之（甲基）丙烯酸羥烷基酯的單體單元的含量以構成（A）成分之單體單元的總量為基準可以在下述範圍。上述的單體單元的含量可以為0.1質量%以上、0.5質量%以上、1質量%以上、2質量%以上或3質量%以上。上述的單體單元的含量可以為20質量%以下、18質量%以下、15質量%以下、12質量%以下、10質量%以下、8質量%以下、5質量%以下或3質量%以下。該等觀點考慮，上述的單體單元的含量可以為0.1～20質量%、0.5～10質量%或1～8質量%。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分可以具有（甲基）丙烯酸芳基酯作為單體單元。作為（甲基）丙烯酸芳基酯，可以舉出（甲基）丙烯酸芐酯、（甲基）丙烯酸苯酯、（甲基）丙烯酸萘酯等。
（A）成分具有（甲基）丙烯酸芳基酯作為單體單元之情況下，從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（甲基）丙烯酸芳基酯的單體單元的含量以構成（A）成分之單體單元的總量為基準可以在下述範圍。（甲基）丙烯酸芳基酯的單體單元的含量可以為1質量%以上、5質量%以上、10質量%以上、15質量%以上或20質量%以上。（甲基）丙烯酸芳基酯的單體單元的含量可以為50質量%以下、小於50質量%、45質量%以下、40質量%以下、35質量%以下、30質量%以下、25質量%以下或20質量%以下。從該等觀點考慮，（甲基）丙烯酸芳基酯的單體單元的含量可以為1～50質量%、5～40質量%或10～30質量%。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分可以具有苯乙烯化合物作為單體單元。作為苯乙烯化合物，可以舉出苯乙烯、苯乙烯衍生物等。苯乙烯衍生物可以具有乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯等。從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分可以具有（甲基）丙烯酸羥烷基酯及苯乙烯化合物作為單體單元。
（A）成分具有苯乙烯化合物作為單體單元之情況下，從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，苯乙烯化合物的單體單元的含量以構成（A）成分之單體單元的總量為基準可以在下述範圍。苯乙烯化合物的單體單元的含量可以為10質量%以上、20質量%以上、25質量%以上、30質量%以上、35質量%以上、40質量%以上、45質量%以上、47質量%以上或50質量%以上。苯乙烯化合物的單體單元的含量可以為90質量%以下、85質量%以下、80質量%以下、75質量%以下、70質量%以下、65質量%以下、60質量%以下、55質量%以下或50質量%以下。從該等觀點考慮，苯乙烯化合物的單體單元的含量可以為10～90質量%、30～90質量%、40～90質量%、50～90質量%、10～70質量%、30～70質量%、40～70質量%、50～70質量%、10～50質量%、30～50質量%或40～50質量%。
（A）成分可以具有其他單體作為單體單元。作為這種單體，可以舉出乙烯基醇的醚類（乙烯基-正丁基醚等）、（甲基）丙烯腈、順丁烯二酸、順丁烯二酸酐、順丁烯二酸單酯（順丁烯二酸單甲酯、順丁烯二酸單乙酯、順丁烯二酸單異丙酯等）、富馬酸、肉桂酸、α-氰基肉桂酸、伊康酸、巴豆酸、丙炔酸等。
在（A）成分中，具有咔唑環之單體的單體單元的含量以構成（A）成分之單體單元的總量為基準，可以為0.1mol%以下、小於0.1mol%、0.01mol%以下、0.001mol%以下或實質上0mol%。（A）成分可以包含具有咔唑環之黏合劑聚合物。亦即，本實施形態之感光性樹脂組成物可以不含有具有咔唑環之黏合劑聚合物。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分的酸值可以在下述範圍。（A）成分的酸值可以為80mgKOH/g以上、90mgKOH/g以上、100mgKOH/g以上、大於100mgKOH/g、120mgKOH/g以上、140mgKOH/g以上、150mgKOH/g以上、160mgKOH/g以上或170mgKOH/g以上。（A）成分的酸值可以為250mgKOH/g以下、240mgKOH/g以下、230mgKOH/g以下、210mgKOH/g以下、200mgKOH/g以下或180mgKOH/g以下。從該等觀點考慮，（A）成分的酸值可以為80～250mgKOH/g、100～230mgKOH/g或150～200mgKOH/g。（A）成分的酸值能夠藉由構成（A）成分之單體單元（例如，（甲基）丙烯酸的單體單元）的含量來調整。（A）成分的酸值能夠藉由實施例中記載之方法來測量。在將（A）成分與合成溶劑、稀釋溶劑等揮發成分進行混合而獲得之溶液作為測量對象之情況下，能夠藉由下述式來計算酸值。在將（A）成分與合成溶劑、稀釋溶劑等揮發成分進行混合之狀態配合之情況下，亦能夠在精稱之前，預先以比揮發成分的沸點高10℃以上之溫度加熱1～4小時，之後去除揮發成分後測量酸值。 酸值=0.1×Vf×56.1/（Wp×I/100） [式中，Vf表示KOH（氢氧化鉀）水溶液的滴定量（單位：mL），Wp表示含有測量對象的（A）成分之溶液的質量（單位：g），I表示含有測量對象的（A）成分之溶液中的不揮發成分的比例（單位：質量%）。]
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分的重量平均分子量（Mw）可以在下述範圍。（A）成分的重量平均分子量可以為10000以上、20000以上、25000以上、30000以上或35000以上。（A）成分的重量平均分子量可以為100000以下、80000以下、70000以下、小於70000、65000以下、60000以下、50000以下、40000以下或35000以下。從該等觀點考慮，（A）成分的重量平均分子量可以為10000～100000、20000～50000或30000～40000。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分的數量平均分子量（Mn）可以在下述範圍。（A）成分的數量平均分子量可以為5000以上、10000以上、12000以上、15000以上或16000以上。（A）成分的數量平均分子量可以為50000以下、40000以下、35000以下、30000以下、25000以下、20000以下或16000以下。從該等觀點考慮，（A）成分的數量平均分子量可以為5000～50000、10000～25000或15000～20000。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分的分散度（重量平均分子量/數量平均分子量）可以在下述範圍。（A）成分的分散度可以為1.0以上、1.5以上、1.8以上、2.0以上或2.1以上。（A）成分的分散度可以為3.0以下、2.8以下、2.5以下、2.3以下或2.2以下。從該等觀點考慮，（A）成分的分散度可以為1.0～3.0、1.5～2.5或1.8～2.3。
重量平均分子量及數量平均分子量例如能夠藉由凝膠滲透層析法（GPC）使用標準聚苯乙烯的校準曲線來測量。更具體而言，能夠以實施例中記載之條件測量。關於分子量低之化合物，在難以藉由上述的重量平均分子量及數量平均分子量的測量方法進行測量之情況下，亦能夠以其他方法測量分子量，計算其平均值。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分的含量以感光性樹脂組成物的固體成分總量為基準可以在下述範圍。從薄膜的成形性優異之觀點考慮，（A）成分的含量可以為10質量%以上、20質量%以上、30質量%以上、40質量%以上、45質量%以上或50質量%以上。（A）成分的含量可以為90質量%以下、80質量%以下、75質量%以下、70質量%以下、65質量%以下、60質量%以下或55質量%以下。從該等觀點考慮，（A）成分的含量可以為10～90質量%、30～70質量%或40～60質量%。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（A）成分的含量相對於（A）成分及（B）成分的總量100質量份可以在下述範圍。從薄膜的成形性優異之觀點考慮，（A）成分的含量可以為10質量份以上、20質量份以上、30質量份以上、40質量份以上、45質量份以上、50質量份以上或55質量份以上。（A）成分的含量可以為90質量份以下、80質量份以下、75質量份以下、70質量份以下、65質量份以下或60質量份以下。從該等觀點考慮，（A）成分的含量可以為10～90質量份、30～70質量份或40～60質量份。
本實施形態之感光性樹脂組成物含有光聚合性化合物作為（B）成分，光聚合性化合物包含具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物。光聚合性化合物係藉由光而聚合之化合物，例如，可以係具有乙烯性不飽和鍵之化合物。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（B）成分可以包含具有二三羥甲基丙烷骨架之（甲基）丙烯酸化合物。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之（甲基）丙烯酸化合物中的（甲基）丙烯醯基的數量（丙烯醯基及甲基丙烯醯基的合計）可以在下述範圍。（甲基）丙烯醯基的數量可以為2以上、3以上或4以上。（甲基）丙烯醯基的數量可以為8以下、7以下、6以下、5以下或4以下。從該等觀點考慮，（甲基）丙烯醯基的數量可以為2～8或3～6，亦可以為4。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物可以具有（聚）氧亞烷基（例如，聚氧伸烷基），亦可以具有選自由（聚）氧伸乙基及（聚）氧伸丙基組成的組中的至少一種。從尤其容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及尤其容易獲得優異之靈敏度之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物可以具有聚氧伸乙基。從尤其容易獲得優異之解析性及密合性之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物可以具有聚氧伸丙基。
具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物中的氧亞烷基的數量（1分子中的合計）、氧伸乙基的數量或氧伸丙基的數量可以在下述範圍。從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度及密合性之觀點考慮，上述基團的數量可以為1以上、2以上、3以上、4以上、6以上、8以上、10以上、12以上、15以上、18以上或20以上。從容易獲得優異之靈敏度及解析性之觀點考慮，上述基團的數量可以為30以上、25以下、20以下、18以下、15以下、12以下、10以下、8以下、6以下或4以下。從該等觀點考慮，上述基團的數量可為1～30、4～20、8～20、12～20、16～20、4～16、8～16、12～16、4～12、8～12或4～8。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度及密合性之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的分子量可以為250以上、300以上、400以上、500以上、600以上、650以上、700以上、800以上、1000以上、1050以上、1100以上、1200以上或1400以上。從尤其容易獲得優異之解析性及密合性之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的分子量可以為1500以上、1600以上或1700以上。從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的分子量可以為10000以下、小於10000、8000以下、6000以下、5000以下、3000以下、2000以下或1800以下。從尤其容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及尤其容易獲得優異之靈敏度之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的分子量可以為1700以下、1600以下或1500以下。從容易獲得優異之解析性之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的分子量可以為1400以下、1200以下、1100以下、1050以下、1000以下、800以下或700以下。從該等觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的分子量可以為250～10000、500～5000、600～2000、800～2000、1200～2000、1500～2000、600～1500、800～1500、1200～1500、600～1200、800～1200或600～800。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量以（B）成分的總質量為基準，在下述範圍。具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量可以為1質量%以上、3質量%以上、5質量%以上、8質量%以上、10質量%以上或11質量%以上。具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量可以為50質量%以下、小於50質量%、40質量%以下、30質量%以下、20質量%以下、18質量%以下、15質量%以下或12質量%以下。從該等觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量可以為1～50質量%、5～30質量%或8～20質量%。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量以感光性樹脂組成物的固體成分總量為基準可以在下述範圍。具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量可以為0.1質量%以上、0.5質量%以上、1質量%以上、2質量%以上、3質量%以上、4質量%以上或4.5質量%以上。具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量可以為20質量%以下、15質量%以下、10質量%以下、8質量%以下、6質量%以下、5質量%以下或小於5質量%。從該等觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量可以為0.1～20質量%、1～20質量%、3～20質量%、0.1～10質量%、1～10質量%、3～10質量%、0.1～8質量%、1～8質量%、3～8質量%、0.1～5質量%、1～5質量%或3～5質量%。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量相對於（A）成分及（B）成分的總量100質量份可以在下述範圍。具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物可以為0.1質量份以上、0.5質量份以上、1質量份以上、2質量份以上、3質量份以上、4質量份以上、4.5質量份以上或5質量份以上。具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量可以為20質量份以下、15質量份以下、10質量份以下、8質量份以下、6質量份以下或5質量份以下。從該等觀點考慮，具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量可以為0.1～20質量份、1～20質量份、3～20質量份、5～20質量份、0.1～10質量份、1～10質量份、3～10質量份、5～10質量份、0.1～8質量份、1～8質量份、3～8質量份、5～8質量份、0.1～5質量份、1～5質量份或3～5質量份。
（B）成分可以包含不具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物。作為不具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物，可以舉出雙酚A型（甲基）丙烯酸化合物、EO改質二（甲基）丙烯酸酯、PO改質二（甲基）丙烯酸酯、EO·PO改質二（甲基）丙烯酸酯、聚亞烷基二醇二（甲基）丙烯酸酯（聚乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、聚丙二醇二（甲基）丙烯酸酯等）、EO改質聚亞烷基二醇二（甲基）丙烯酸酯、PO改質聚亞烷基二醇二（甲基）丙烯酸酯、EO·PO改質聚亞烷基二醇二（甲基）丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二（甲基）丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、EO改質三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、PO改質三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、EO·PO改質三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、四羥甲基甲烷三（甲基）丙烯酸酯、四羥甲基甲烷四（甲基）丙烯酸酯、EO改質新戊四醇四（甲基）丙烯酸酯、PO改質新戊四醇四（甲基）丙烯酸酯、EO·PO改質新戊四醇四（甲基）丙烯酸酯、EO改質二新戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、PO改質二新戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、EO·PO改質二新戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、壬基苯氧基聚氧乙烯丙烯酸酯、鄰苯二甲酸系化合物、（甲基）丙烯酸烷基酯、在分子內具有能夠聚合至少一個陽離子之環狀醚基之光聚合性化合物（氧雜環丁烷化合物等）等。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（B）成分可以包含雙酚A型（甲基）丙烯酸化合物（具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物除外）。作為雙酚A型（甲基）丙烯酸化合物，可以舉出2,2-雙（4-（（甲基）丙烯醯氧基聚乙氧基）苯基）丙烷（2,2-雙（4-（（甲基）丙烯醯氧基五乙氧基）苯基）丙烷等）、2,2-雙（4-（（甲基）丙烯醯氧基聚丙氧基）苯基）丙烷、2,2-雙（4-（（甲基）丙烯醯氧基聚丁氧基）苯基）丙烷、2,2-雙（4-（（甲基）丙烯醯氧基聚乙氧基聚丙氧基）苯基）丙烷等。從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（B）成分可以包含2,2-雙（4-（（甲基）丙烯醯氧基聚乙氧基）苯基）丙烷，亦可以包含2,2-雙（4-（（甲基）丙烯醯氧基五乙氧基）苯基）丙烷。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，雙酚A型（甲基）丙烯酸化合物的含量以（B）成分的總質量為基準可以在下述範圍。雙酚A型（甲基）丙烯酸化合物的含量可以為50質量%以上、大於50質量%、60質量%以上、65質量%以上、70質量%以上或75質量%以上。雙酚A型（甲基）丙烯酸化合物的含量可以為99質量%以下、97質量%以下、95質量%以下、92質量%以下、90質量%以下、89質量%以下、85質量%以下或80質量%以下。從該等觀點考慮，雙酚A型（甲基）丙烯酸化合物的含量可以為50～99質量%、60～95質量%或70～90質量%。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，雙酚A型（甲基）丙烯酸化合物的含量以感光性樹脂組成物的固體成分總量為基準可以在下述範圍。雙酚A型（甲基）丙烯酸化合物的含量可以為1質量%以上、5質量%以上、10質量%以上、15質量%以上、20質量%以上、25質量%以上或30質量%以上。雙酚A型（甲基）丙烯酸化合物的含量可以在70質量%以下、65質量%以下、60質量%以下、55質量%以下、50質量%以下、45質量%以下、40質量%以下或35質量%以下。從該等觀點考慮，雙酚A型（甲基）丙烯酸化合物的含量可以為1～70質量%、10～70質量%、20～70質量%、30～70質量%、1～50質量%、10～50質量%、20～50質量%、30～50質量%、1～40質量%、10～40質量%、20～40質量%或30～40質量%。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（B）成分的含量以感光性樹脂組成物的固體成分總量為基準可以在下述範圍。（B）成分的含量可以為10質量%以上、15質量%以上、20質量%以上、25質量%以上、30質量%以上、35質量%以上或40質量%以上。（B）成分的含量可以為90質量%以下、80質量%以下、70質量%以下、65質量%以下、60質量%以下、55質量%以下、50質量%以下或45質量%以下。該等觀點考慮，（B）成分的含量可以為10～90質量%、20～90質量%、30～90質量%、40～90質量%、10～70質量%、20～70質量%、30～70質量%、40～70質量%、10～50質量%、20～50質量%、30～50質量%或40～50質量%。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（B）成分的含量相對於（A）成分及（B）成分的總量100質量份可以在下述範圍。（B）成分的含量可以為10質量份以上、20質量份以上、25質量份以上、30質量份以上、35質量份以上或40質量份以上。（B）成分的含量可以為90質量份以下、80質量份以下、70質量份以下、60質量份以下、55質量份以下、50質量份以下或45質量份以下。從該等觀點考慮，（B）成分的含量可以為10～90質量份、20～90質量份、30～90質量份、40～90質量份、10～70質量份、20～70質量份、30～70質量份、40～70質量份、10～50質量份、20～50質量份、30～50質量份或40～50質量份。
本實施形態之感光性樹脂組成物含有光聚合起始劑作為（C）成分。
作為（C）成分，可以舉出六芳基雙咪唑化合物；二苯甲酮、2-芐基-2-二甲胺基-1-（4-口末啉代苯基）-1-丁酮、2-（二甲胺基）-2-[（4-甲基苯基）甲基]-1-[4-（4-口末啉）苯基]-1-丁酮、4-（2-羥基乙氧基）苯基-2-（羥基-2-丙基）酮、2-甲基-1-[4-（甲基硫基）苯基]-2-口末啉基-丙酮-1等芳香族酮；烷基蒽醌等醌化合物；苯偶姻烷基醚等苯偶姻醚化合物；苯偶姻、烷基苯偶姻等苯偶姻化合物；芐基二甲基縮酮等芐基衍生物；雙（2,4,6-三甲基苯甲醯基）-苯基氧化膦；雙（2,6-二甲基苯甲醯基）-2,4,4-三甲基-戊基氧化膦；（2,4,6-三甲基苯甲醯基）乙氧基苯基氧化膦等。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（C）成分可以包含六芳基雙咪唑化合物。六芳基雙咪唑化合物中的芳基可以係苯基等。六芳基雙咪唑化合物中的與芳基鍵結之氫原子可以被鹵素原子（氯原子等）取代。
六芳基雙咪唑化合物可以係2,4,5-三芳基咪唑二聚體。作為2,4,5-三芳基咪唑二聚體，可以舉出2-（鄰氯苯基）-4,5-二苯基咪唑二聚體、2-（鄰氯苯基）-4,5-雙-（間甲氧基苯基）咪唑二聚體、2-（對甲氧基苯基）-4,5-二苯基咪唑二聚體等。從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，六芳基雙咪唑化合物可以包含2-（鄰氯苯基）-4,5-二苯基咪唑二聚體，亦可以包含2,2’-雙（鄰氯苯基）-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-聯咪唑。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，六芳基雙咪唑化合物的含量以（C）成分的總量為基準，可以為50質量%以上、大於50質量%、70質量%以上、90質量%以上、95質量%以上、98質量%以上、99質量%以上或實質上100質量%（（C）成分實質上由六芳基雙咪唑化合物組成之態樣）。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（C）成分的含量以感光性樹脂組成物的固體成分總量為基準可以在下述範圍。（C）成分的含量可以為0.1質量%以上、0.5質量%以上、1質量%以上、2質量%以上、3質量%以上、4質量%以上、5質量%以上或5.5質量%以上。（C）成分的含量可以為20質量%以下、15質量%以下、12質量%以下、10質量%以下、8質量%以下、7質量%以下或6質量%以下。從該等觀點考慮，（C）成分的含量可以為0.1～20質量%、1～10質量%或3～8質量%。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（C）成分的含量相對於（A）成分及（B）成分的總量100質量份可以在下述範圍。（C）成分的含量可以為0.1質量份以上、0.5質量份以上、1質量份以上、2質量份以上、3質量份以上、4質量份以上、5質量份以上、5.5質量份以上或6質量份以上。（C）成分的含量可以為20質量份以下、15質量份以下、12質量份以下、10質量份以下、8質量份以下、7質量份以下或6質量份以下。從該等觀點考慮，（C）成分的含量可以為0.1～20質量份、1～10質量份或3～8質量份。
本實施形態之感光性樹脂組成物含有供氫體（相當於（A）成分、（B）成分或（C）成分之化合物除外）作為（D）成分。作為供氫體，可以舉出雙[4-（二甲胺基）苯基]甲烷、雙[4-（二乙胺基）苯基]甲烷、無色結晶紫、N-苯基甘胺酸等。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（D）成分的含量相對於（A）成分及（B）成分的總量100質量份可以在下述範圍。（D）成分的含量可以為0.1質量份以上、0.2質量份以上、0.3質量份以上、0.4質量份以上或0.5質量份以上。（D）成分的含量可以為5質量份以下、3質量份以下、2質量份以下、1.5質量份以下、1質量份以下、0.8質量份以下、0.7質量份以下或0.5質量份以下。從該等觀點考慮，（D）成分的含量可以為0.1～5質量份、0.2～1質量份或0.3～0.8質量份。
本實施形態之感光性樹脂組成物可以含有蒽化合物作為（E）成分。（E）成分能夠用作蒽系敏化劑（光敏劑）。作為（E）成分，可以舉出9,10-二丁氧基蒽、9,10-二苯基蒽、9,10-二乙氧基蒽等。從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（E）成分可以包含9,10-二丁氧基蒽。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（E）成分的含量以感光性樹脂組成物的固體成分總量為基準可以在下述範圍。（E）成分的含量可以為0.01質量%以上、0.05質量%以上、0.1質量%以上、0.2質量%以上、0.3質量%以上、0.4質量%以上、0.5質量%以上或0.55質量%以上。（E）成分的含量可以為5質量%以下、3質量%以下、2質量%以下、1.5質量%以下、1質量%以下、小於1質量%、0.8質量%以下、0.7質量%以下或0.6質量%以下。從該等觀點考慮，（E）成分的含量可以為0.01～5質量%、0.1～5質量%、0.3～5質量%、0.5～5質量%、0.01～1質量%、0.1～1質量%、0.3～1質量%、0.5～1質量%、0.01質量%以上且小於1質量%、0.1質量%以上且小於1質量%、0.3質量%以上且小於1質量%、0.5質量%以上且小於1質量%、0.01～0.8質量%、0.1～0.8質量%、0.3～0.8質量%或0.5～0.8質量%。
從容易縮短硬化部的剝離時間之觀點、以及容易獲得優異之靈敏度、解析性及密合性之觀點考慮，（E）成分的含量相對於（A）成分及（B）成分的總量100質量份可以在下述範圍。（E）成分的含量可以為0.01質量份以上、0.05質量份以上、0.1質量份以上、0.2質量份以上、0.3質量份以上、0.4質量份以上、0.5質量份以上、0.6質量份以上或0.65質量份以上。（E）成分的含量可以為5質量份以下、3質量份以下、2質量份以下、1.5質量份以下、1質量份以下、小於1質量份、0.8質量份以下或0.7質量份以下。從該等觀點考慮，（E）成分的含量可以為0.01～5質量份、0.1～5質量份、0.3～5質量份、0.5～5質量份、0.01～1質量份、0.1～1質量份、0.3～1質量份、0.5～1質量份、0.01質量份以上且小於1質量份、0.1質量份以上且小於1質量份、0.3質量份以上且小於1質量份、0.5質量份以上且小於1質量份、0.01～0.8質量份、0.1～0.8質量份、0.3～0.8質量份或0.5～0.8質量份。
本實施形態之感光性樹脂組成物可以含有聚合抑制劑作為（F）成分。（F）成分抑制形成光阻圖案時之未曝光部的聚合，容易提高解析性。作為聚合抑制劑，可以舉出第三丁基兒茶酚（例如，4-第三丁基兒茶酚）、受阻胺（例如，2,2,6,6-四甲基-4-羥基哌啶-1-氧基）、4-羥基-2,2,6,6-四甲基哌啶-N-氧基等。
（F）成分的含量相對於（A）成分及（B）成分的總量100質量份可以在下述範圍。從容易獲得優異之靈敏度及解析性之觀點考慮，（F）成分的含量可以為0.001質量份以上、0.003質量份以上、0.005質量份以上、0.01質量份以上、0.015質量份以上、0.02質量份以上或0.025質量份以上。從容易獲得優異之靈敏度及密合性之觀點考慮，（F）成分的含量可以為0.1質量份以下、0.05質量份以下、0.04質量份以下或0.03質量份以下。從該等觀點考慮，（F）成分的含量可以為0.001～0.1質量份、0.005～0.05質量份或0.01～0.04質量份。
本實施形態之感光性樹脂組成物可以含有有機溶劑。作為有機溶劑，可以舉出甲醇、乙醇、丙酮、甲乙酮、甲基賽路蘇、乙基賽路蘇、甲苯、N,N-二甲基甲醯胺、丙二醇單甲醚等。
本實施形態之感光性樹脂組成物可以含有除了上述之成分以外的其他成分。作為其他成分，可以舉出染料（孔雀綠等）、光敏劑（蒽化合物除外）、三溴苯碸、光發色劑、發熱防止劑、塑化劑（對甲苯碸醯胺等）、顏料、填充劑、消泡劑、阻燃劑、穩定劑（光穩定劑等）、密合性賦予劑、調平劑、剝離促進劑、抗氧化劑、香料、顯像劑、熱交聯劑等。
在本實施形態之感光性樹脂組成物中，鋁粉末（鋁粒子）的含量、鋁合金粉末（包含鋁之合金粉末；鋁合金粒子）的含量或鋁粉末及鋁合金粉末的合計量以感光性樹脂組成物的固體成分總量為基準，可以為20質量%以下、小於20質量%、10質量%以下、1質量%以下、0.1質量%以下、0.01質量%以下或實質上0質量%。本實施形態之感光性樹脂組成物可以不含有選自由鋁粉末（鋁粒子）及鋁合金粉末（鋁合金粒子）組成的組中的至少一種。
＜感光性元件＞ 本實施形態之感光性元件具備支撐體及配置於該支撐體上之感光性樹脂層，感光性樹脂層包含本實施形態之感光性樹脂組成物。本實施形態之感光性元件可以具備配置於感光性樹脂層上之保護層。本實施形態之感光性元件可以具備緩衝層、黏合層、光吸收層、阻氣層等。感光性元件可以為片狀，亦可以為以卷狀卷取到卷芯之感光性元件卷的形態。
圖1係表示感光性元件的一例之示意剖面圖。如圖1所示，感光性元件1具備支撐體（支撐薄膜）2、配置於支撐體2上之感光性樹脂層3及配置於感光性樹脂層3上之保護層（保護膜）4。感光性樹脂層3由本實施形態之感光性樹脂組成物組成。
感光性元件1例如能夠以如下步驟獲得。首先，在支撐體2上形成感光性樹脂層3。感光性樹脂層3例如能夠藉由將塗佈含有有機溶劑之感光性樹脂組成物而形成之塗佈層進行乾燥而形成。接著，在感光性樹脂層3上配置保護層4。
支撐體及保護層可以分別為具有耐熱性及耐溶劑性之聚合物薄膜，聚酯薄膜（聚對酞酸乙二酯薄膜等）、聚烯烴薄膜（聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜等）、烴系聚合物（聚烯烴薄膜除外）等。構成保護層之薄膜的種類與構成支撐體之薄膜的種類可以彼此相同，亦可以彼此不同。
從自感光性樹脂層剝離支撐體時容易抑制支撐體的破壞之觀點考慮，支撐體的厚度可以為1μm以上、5μm以上、10μm以上或15μm以上。從在經由支撐體進行曝光時容易較佳地曝光之觀點考慮，支撐體的厚度可以為100μm以下、50μm以下、30μm以下或20μm以下。從該等觀點考慮，支撐體的厚度可以為1～100μm。
從一邊剝離保護層一邊在基材上積層感光性樹脂層及支撐體時容易抑制保護層的破壞之觀點考慮，保護層的厚度可以為1μm以上、5μm以上、10μm以上或15μm以上。從容易提高生產率之觀點考慮，保護層的厚度可以為100μm以下、50μm以下或30μm以下。從該等觀點考慮，保護層的厚度可以為1～100μm。
感光性樹脂層的厚度（乾燥後的厚度；感光性樹脂組成物含有有機溶劑時，使有機溶劑揮發之後的厚度）可以在下述範圍。從容易塗敷感光性樹脂組成物，並且容易提高生產率之觀點考慮，感光性樹脂層的厚度可以為1μm以上、5μm以上、10μm以上、15μm以上、20μm以上或25μm以上。從容易獲得優異之密合性及解析性之觀點考慮，感光性樹脂層的厚度可以為100μm以下、50μm以下、40μm以下、30μm以下或25μm以下。從該等觀點考慮，感光性樹脂層的厚度可以為1～100μm、5～100μm、10～100μm、20～100μm、1～50μm、5～50μm、10～50μm、20～50μm、1～30μm、5～30μm、10～30μm或20～30μm。
＜積層體之製造方法＞ 本實施形態之積層體之製造方法具備：使用本實施形態之感光性樹脂組成物或感光性元件將感光性樹脂層配置於基材（例如，基板）上之感光性樹脂層配置步驟；使感光性樹脂層的一部分光硬化（曝光）之曝光步驟；去除感光性樹脂層的未硬化部（未曝光部）而形成硬化物圖案之顯影步驟；及在基材中的未形成有硬化物圖案之部分中的至少一部分形成金屬層之金屬層形成步驟。本實施形態之積層體可以係藉由本實施形態之積層體之製造方法來獲得，可以係配線基板（例如，印刷線路板）。本實施形態之積層體可以係具備基材、配置於該基材上之硬化物圖案（本實施形態之硬化物）及配置於基材中的未形成有硬化物圖案之部分中的至少一部分之金屬層之態樣。
在感光性樹脂層配置步驟中，將由本實施形態之感光性樹脂組成物組成之感光性樹脂層配置於基材上。例如，感光性樹脂層可以藉由在基材上塗佈及乾燥感光性樹脂組成物而形成，亦可以在從感光性元件中去除保護層之後，一邊加熱感光性元件的感光性樹脂層一邊壓接到基材而形成。
在曝光步驟中，可以在感光性樹脂層上配置遮罩之狀態下照射活化光線，並且對感光性樹脂層中的除了配置有遮罩之區域以外的區域進行曝光使其光硬化，亦可以不使用遮罩，並且藉由LDI曝光法、DLP曝光法等直接描繪曝光法以所希望的圖案照射活化光線而將感光性樹脂層的一部分進行曝光使其光硬化。作為活化光線的光源，可以使用紫外光源或可見光源，可以舉出碳弧燈、汞蒸汽弧光燈、高壓汞燈、超高壓汞燈、疝燈、氣體激光器（氬激光器等）、固體激光器（YAG激光器等）、半導體激光器等。
顯影步驟中的顯影方法例如可以係濕式顯影或乾式顯影。濕式顯影使用與感光性樹脂組成物對應之顯影液，例如能夠藉由浸漬方式、旋覆浸沒（puddle）方式、噴霧方式、刷塗法、拍打法、刮擦法、搖動浸漬等方法來進行。顯影液依據感光性樹脂組成物的構成而適當選擇，可以為鹼顯影液或有機溶劑顯影液。
鹼顯影液可以係包含如下之水溶液：鋰、鈉或鉀的氫氧化物等氫氧化鹼；鋰、鈉、鉀或銨的碳酸鹽或碳酸氫鹽等碳酸鹽；磷酸鉀、磷酸鈉等鹼金屬磷酸鹽；焦磷酸鈉、焦磷酸鉀等鹼金屬焦磷酸鹽；硼砂；偏矽酸鈉；四甲基氫氧化銨；乙醇胺；乙二胺；二伸乙基三胺；2-胺基-2-羥甲基-1,3-丙二醇；1,3-二胺基-2-丙醇；口末啉等鹽基。
有機溶劑顯影液可以含有1,1,1-三氯乙烷、N-甲基吡咯啶酮、N,N-二甲基甲醯胺、環己酮、甲基異丁基酮、γ-丁內酯等有機溶劑。
金屬層形成步驟中的金屬層例如可以為金屬銅層。金屬層例如能夠藉由實施電鍍處理而形成。電鍍處理可以係電解電鍍處理及無電鍍處理中的一者或兩者。
本實施形態之積層體之製造方法可以具備藉由在顯影步驟之後進行60～250℃下的加熱或0.2～10J/cm 2下的曝光而進一步使光阻圖案硬化之步驟。
本實施形態之積層體之製造方法可以具備在金屬層形成步驟之後去除硬化物圖案之步驟。硬化物圖案例如能夠使用強鹼性水溶液，藉由進行浸漬方式、噴霧方式等顯影來去除
圖2係表示積層體之製造方法的一例（配線基板之製造方法）之示意圖。在積層體之製造方法的一例中，首先，如圖2（a）所示，準備具備絕緣層10a及配置於絕緣層10a上之導體層10b之基材（例如，電路形成用基板）10。導體層10b例如可以係金屬銅層。
接著，如圖2（b）所示，在基材10的導體層10b上配置感光性樹脂層12（感光性樹脂層配置步驟）。在感光性樹脂層配置步驟中，使用本實施形態之感光性樹脂組成物或感光性元件，將感光性樹脂層12配置於基材10的導體層10b上。
接著，如圖2（c）所示，藉由在感光性樹脂層12上配置遮罩14之狀態下照射活化光線L，並且對感光性樹脂層12中的除了配置有遮罩14之區域以外的區域進行曝光使其光硬化。
接著，在去除遮罩14之後，如圖2（d）所示，藉由顯影從基材10上去除感光性樹脂層中的除了光硬化部以外的區域（未硬化部），形成由光硬化部（感光性樹脂層的硬化物）組成之光阻圖案12a。
接著，如圖2（e）所示，在基材10的導體層10b中的未形成有光阻圖案12a之部分形成配線層（金屬層）16。配線層16可以由與導體層10b種類相同之材料形成，亦可以由種類不同之材料形成。
接著，如圖2（f）所示，藉由去除光阻圖案12a，並且去除設置於與光阻圖案12a對應之位置之導體層10b而形成導體層10c。藉此，可獲得具備配置於絕緣層10a上之導體層10c及配線層16之配線基板18。導體層10b能夠藉由蝕刻處理來去除。蝕刻液可以依據導體層10b的種類適當選擇，例如，可以為氯化銅溶液、氯化鐵溶液、鹼蝕刻溶液、過氧化氫蝕刻液等。 [實施例]
以下，藉由實施例來對本發明進行進一步具體地說明，但本發明並不限定於該等實施例。
＜黏合劑聚合物的合成＞ 藉由將甲基丙烯酸27質量份、甲基丙烯酸2-羥乙酯3質量份、甲基丙烯酸芐酯20質量份、苯乙烯50質量份及偶氮雙異丁腈0.9質量份進行混合而製備了溶液（a）。藉由在甲基賽路蘇30質量份及甲苯20質量份的混合液50質量份中溶解偶氮雙異丁腈0.5質量份而製備了溶液（b）。在具備攪拌機、回流冷卻器、溫度計、滴液漏斗及氮氣導入管之燒瓶中，投入了500g的甲基賽路蘇30質量份及甲苯20質量份的混合液之後，一邊向瓶內吹入氮氣一邊攪拌，升溫至80℃。以恆定的滴加速度，將溶液（a）經4小時滴加到上述燒瓶內之後，在80℃下將燒瓶內的溶液攪拌了2小時。接著，以恆定的滴加速度，將溶液（b）經10分鐘滴加到上述燒瓶內之後，在80℃下將燒瓶內的溶液攪拌了3小時。進而，經30分鐘使燒瓶內的溶液升溫至90℃，在90℃下保溫2小時之後，停止攪拌，藉由冷卻至室溫（25℃）而獲得了黏合劑聚合物的溶液。黏合劑聚合物的溶液的不揮發成分（固體成分）為56質量%。
黏合劑聚合物的酸值係176mgKOH/g。酸值以如下步驟進行了測量。首先，在精稱酸值的測量對向亦即黏合劑聚合物1g之後，藉由在黏合劑聚合物中添加丙酮30g並均勻地溶解而獲得了溶液。接著，在將指示藥亦即酚酞適當地添加到其溶液之後，使用0.1N的KOH（氢氧化鉀）水溶液進行了滴定。藉由計算為了中和黏合劑聚合物的丙酮溶液所需之KOH的質量（單位：mg）而求出酸值。
黏合劑聚合物的重量平均分子量（Mw）為35000，數量平均分子量（Mn）為16000。重量平均分子量及數量平均分子量藉由下述條件的凝膠滲透層析法（GPC）進行測量，並且使用標準聚苯乙烯的校準曲線進行換算而導出。
（GPC條件） 泵：Hitachi L-6000型（Hitachi,Ltd.製造，產品名稱） 管柱：以下共3根（SHOWA DENKO MATERIALS CO., LTD.製造，產品名稱） Gelpack GL-R440 Gelpack GL-R450 Gelpack GL-R400M 溶析液：四氫呋喃 測量溫度：40℃ 流量：2.05mL/分鐘 檢測器：Hitachi L-3300型RI（Hitachi,Ltd.製造，產品名稱）
＜感光性樹脂組成物的製備＞ （實施例1） 藉由將上述黏合劑聚合物的溶液100質量份（黏合劑聚合物（不揮發成分）：56質量份）、EO改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（EO基：4（合計值），分子量：698，TOHO Chemical Industry Co.,Ltd.製造）5質量份、2,2-雙（4-（甲氧基五乙氧基）苯基）丙烷（EO平均10mol加成物，分子量：804）的丙二醇單甲醚（SHOWA DENKO MATERIALS CO., LTD.製造，產品名稱：FA-321M）35質量份、（PO）（EO）（PO）改質二甲基丙烯酸酯（EO平均6mol及PO平均12mol加成物（合計值），分子量：1114，SHOWA DENKO MATERIALS CO., LTD.製造，產品名稱：FA-024M）4質量份、光聚合起始劑（2,2’-雙（鄰氯苯基）-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-聯咪唑，BCIM，Hampford公司製造）6質量份、供氫體（無色結晶紫，LCV，YAMADA CHEMICAL CO., LTD.製造）0.5質量份、敏化劑（9,10-二丁氧基蒽，DBA，Kawasaki Kasei Chemicals Ltd.製造）0.65質量份、聚合抑制劑A（4-第三丁基兒茶酚，DIC CORPORATION製造，產品名稱：DIC-TBC）0.015質量份、聚合抑制劑B（ADEKA CORPORATION製造，產品名稱：LA-7RD）0.01質量份、染料（孔雀綠，MKG，Osaka Organic Chemical Industry Co.,Ltd.製造）0.02質量份、添加劑A（羧基苯并三唑、5-胺基-1H-四唑及甲氧基丙二醇的混合物；SANWA KASEI CORP.製造，產品名稱：SF-808H）0.5質量份及添加劑B（光穩定劑，SHOWA DENKO MATERIALS CO., LTD.製造，產品名稱：FA711MM）1質量份進行混合而製備了感光性樹脂組成物。
（實施例2） 除了將EO改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（EO基：4（合計值））變更為EO改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（EO基：12（合計值），分子量：1050，TOHO Chemical Industry Co.,Ltd.製造）變更以外，藉由進行與實施例1相同的方式製備了感光性樹脂組成物。
（實施例3） 除了將EO改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（EO基：4（合計值））變更為EO改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（EO基：20（合計值），分子量：1402，TOHO Chemical Industry Co.,Ltd.製造）變更以外，以與實施例1相同的方式進行而製備了感光性樹脂組成物。
（實施例4） 除了將EO改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（EO基：4（合計值））變更為PO改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（PO基：20（合計值），分子量：1762，TOHO Chemical Industry Co.,Ltd.製造）變更以外，以與實施例1相同的方式進行而製備了感光性樹脂組成物。
（實施例5） 除了將EO改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（EO基：4（合計值））變更為（EO）（PO）改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（EO基：12（合計值），PO基：8（合計值），TOHO Chemical Industry Co.,Ltd.製造）以外，以與實施例1相同的方式進行而製備了感光性樹脂組成物。
（比較例1） 除了將EO改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（EO基：4（合計值））變更為EO改質雙酚A二甲基丙烯酸酯（分子量：1686，Miwon Specialty Chemical Co., Ltd.製造，產品名稱：Miramer M2301）、將BCIM的使用量變更為5質量份、將4-第三丁基兒茶酚的使用量變更為0.01質量份、將孔雀綠的使用量變更為0.01質量份以外，以與實施例1相同的方式進行而製備了感光性樹脂組成物。
（比較例2） 除了將EO改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（EO基：4（合計值））變更為2,2-雙（4-（甲氧基乙氧基丙氧基）苯基）丙烷（環氧乙烷平均12mol及環氧丙烷平均4mol加成物，分子量：1125，SHOWA DENKO MATERIALS CO., LTD.製造，產品名稱：FA-3200MY）、將BCIM的使用量變更為5質量份、將4-第三丁基兒茶酚的使用量變更為0.01質量份、將孔雀綠的使用量變更為0.01質量份以外，以與實施例1相同的方式進行而製備了感光性樹脂組成物。
（比較例3） 除了將EO改質二三羥甲基丙烷四甲基丙烯酸酯（EO基：4（合計值））變更為EO改質胺基甲酸酯甲基丙烯酸酯（分子量：692，Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造，產品名稱：UA-1137）、將BCIM的使用量變更為5質量份、將4-第三丁基兒茶酚的使用量變更為0.01質量份、將孔雀綠的使用量變更為0.01質量份以外，以與實施例1相同的方式進行而製備了感光性樹脂組成物。
＜感光性元件的製作＞ 作為支撐體，準備了厚度16μm的聚對酞酸乙二酯薄膜（TORAY INDUSTRIES, INC.製造，產品名稱“FS-31”）。將上述感光性樹脂組成物厚度均勻地塗佈於支撐體上之後，藉由用80℃及120℃的熱風對流式乾燥機依次乾燥而形成了感光性樹脂層（乾燥後的厚度：25μm）。作為保護層而將聚乙烯薄膜（TAMAPOLY INC. Tochigi Factory製造，產品名稱“NF-15”）貼合到該感光性樹脂層而獲得了依序具備支撐體、感光性樹脂層及保護層之感光性元件。
＜積層體的製作＞ 對具備配置於玻璃環氧材料的兩面之銅箔（厚度：35μm）之銅積層板（基板、SHOWA DENKO MATERIALS CO., LTD.製造，產品名稱：MCL-E-67）進行酸洗及水洗之後，用空氣流進行了乾燥。接著，將銅積層板加溫至80℃之後，藉由一邊剝離保護層一邊以感光性樹脂層與銅表面接觸的方式積層上述感光性元件，從而獲得了依序具備銅積層板、感光性樹脂層及支撐體之積層體。使用110℃的熱輥，以0.4Mpa的壓接壓力、1.0m/分鐘的輥速度進行積層。
＜評價＞ （靈敏度） 在上述積層體的支撐體上放置41段梯型板（SHOWA DENKO MATERIALS CO., LTD.製造）之後，將藉由波長405nm的藍紫色激光二極體作為光源之直描曝光機（Via Mechanics, Ltd.製造，產品名稱：DE-1UH），以41段梯型板的顯影後的殘留段數成為15段之曝光量（照射能量），經由支撐體對感光性樹脂層進行了曝光。藉由此時的曝光量（單位：mJ/cm 2）評價了靈敏度（光靈敏度）。將結果示於表1中。曝光量越少，則表示靈敏度越良好。
（解析性） 在上述積層體的支撐體上放置41段梯型板（SHOWA DENKO MATERIALS CO., LTD.製造）之後，將藉由波長405nm的藍紫色激光二極體作為光源之直描曝光機（Via Mechanics, Ltd.製造，產品名稱：DE-1UH），以線寬（L）/空間寬度（S）（以下，記載為“L/S”。）為3x/x（x=1～20，單位：μm，1μm間隔）之描繪圖案，以41段梯型板的顯影後的殘留段數成為15段之曝光量（照射能量），經由支撐體對感光性樹脂層進行了曝光（描繪）。
曝光後，從積層體中剝離支撐體，使感光性樹脂層露出，藉由在30℃下對1.0質量%碳酸鈉水溶液進行最小顯影時間的2倍時間的噴霧而去除了未曝光部。顯影後，藉由空間部分（未曝光部）被無殘渣地去除，並且線部分（曝光部）不產生曲折及缺陷地形成之光阻圖案中的空間寬度中的最小值而評價了解析性。將結果示於表1中。該數值越小，則表示解析性越良好。
上述最小顯影時間藉由以如下步驟預先進行了評價。首先，藉由將上述積層體切割成矩形（12.5cm×4cm）之後，剝離支撐體而獲得了試驗片。接著，使用30℃的1.0質量%碳酸鈉水溶液，以0.18Mpa的壓力將試驗片中的未曝光的感光性樹脂層進行噴霧顯影，獲得了能夠目視確認未曝光的感光性樹脂層完全被去除之最短時間作為最小顯影時間（MD）。
（密合性） 在上述積層體的支撐體上放置41段梯型板（SHOWA DENKO MATERIALS CO., LTD.製造）之後，將藉由波長405nm的藍紫色激光二極體作為光源之直描曝光機（Via Mechanics, Ltd.製造，產品名稱：DE-1UH），L/S為x/3x（x=1～20，單位：μm，1μm間隔）之描繪圖案，以41段梯型板的顯影後的殘留段數成為15段之曝光量（照射能量），經由支撐體對感光性樹脂層進行了曝光（描繪）。
曝光後，從積層體中剝離支撐體，使感光性樹脂層露出，藉由在30℃下對1.0質量%碳酸鈉水溶液進行最小顯影時間的2倍時間的噴霧而去除了未曝光部。顯影後，藉由空間部分（未曝光部）被無殘渣地去除，並且線部分（曝光部）不產生曲折及缺陷地形成之光阻圖案中的線寬中的最小值而評價了密合性。將結果示於表1中。該數值越小，則表示密合性越良好。
（剝離特性） 使用實施例1～5及比較例1～3的上述積層體進行了剝離試驗。使用上述積層體，將藉由波長405nm的藍紫色激光二極體作為光源之直描曝光機（Via Mechanics, Ltd.製造，產品名稱：DE-1UH），以與上述解析性的評價相同的曝光量（照射能量），經由支撐體對感光性樹脂層進行了曝光（描繪）。
曝光後，藉由從積層體中剝離支撐體而使感光性樹脂層露出。而且，藉由以與上述解析性的評價相同的方式顯影而獲得了試驗體。接著，將上述試驗體浸漬於藉由恆溫槽加溫至50℃之3.0質量%的NaOH水溶液中，測量了顯影後的感光性樹脂層完全剝離（被去除）為止之剝離時間。將結果示於表1中。剝離時間越短，則表示剝離特性越良好。
[表1]
  單元 實施例 比較例
1 2 3 4 5 1 2 3
二三羥甲基丙烷化合物 使用/不使用 - 使用 不使用
EO數/PO數 - 4(EO) 12(EO) 20(EO) 20(PO) 12(EO) 8(PO) -
評價 靈敏度 mj/cm 2 90 97 89 106 102 85 82 85
解析性(3x/x) μm 9 10 10 9 10 12 12 12
密合性(x/3x) μm 7 7 6 5 5 8 8 8
剝離時間 秒鐘 39 39 43 43 43 61 57 57
1:感光性元件 2:支撐體 3,12:感光性樹脂層 4:保護層 10:基材 10a:絕緣層 10b,10c:導體層 12a:光阻圖案 14:遮罩 16:配線層 18:配線基板 L:活化光線
圖1係表示感光性元件的一例之示意剖面圖。 圖2係表示積層體之製造方法的一例之示意圖。
1:感光性元件
2:支撐體
3:感光性樹脂層
4:保護層

Claims (13)

  1. 一種感光性樹脂組成物，其含有黏合劑聚合物、光聚合性化合物、光聚合起始劑及供氫體， 前述光聚合性化合物包含具有二三羥甲基丙烷骨架之化合物。
  2. 如請求項1所述之感光性樹脂組成物，其中 前述黏合劑聚合物具有苯乙烯化合物作為單體單元。
  3. 如請求項2所述之感光性樹脂組成物，其中 前述苯乙烯化合物的單體單元的含量以構成前述黏合劑聚合物之單體單元的總量為基準為20質量%以上。
  4. 如請求項2或請求項3所述之感光性樹脂組成物，其中 前述黏合劑聚合物進一步具有（甲基）丙烯酸芳基酯作為單體單元。
  5. 如請求項1至請求項4之任一項所述之感光性樹脂組成物，其中 具有前述二三羥甲基丙烷骨架之化合物包含具有二三羥甲基丙烷骨架之（甲基）丙烯酸化合物。
  6. 如請求項5所述之感光性樹脂組成物，其中 前述（甲基）丙烯酸化合物中的（甲基）丙烯醯基的數量為4。
  7. 如請求項1至請求項6之任一項所述之感光性樹脂組成物，其中 具有前述二三羥甲基丙烷骨架之化合物具有聚氧伸烷基。
  8. 如請求項7所述之感光性樹脂組成物，其中 前述聚氧伸烷基的數量為4～20。
  9. 如請求項1至請求項8之任一項所述之感光性樹脂組成物，其中 具有前述二三羥甲基丙烷骨架之化合物的含量相對於前述黏合劑聚合物及前述光聚合性化合物的總量100質量份為0.1～20質量份。
  10. 如請求項1至請求項9之任一項所述之感光性樹脂組成物，其進一步含有蒽化合物。
  11. 如請求項10所述之感光性樹脂組成物，其中 前述蒽化合物的含量以該感光性樹脂組成物的固體成分總量為基準為0.01質量%以上且小於1質量%。
  12. 一種感光性元件，其具備支撐體及配置於該支撐體上之感光性樹脂層， 前述感光性樹脂層包含請求項1至請求項11之任一項所述之感光性樹脂組成物。
  13. 一種積層體之製造方法，其具備： 使用請求項1至請求項11之任一項所述之感光性樹脂組成物或請求項12所述之感光性元件將感光性樹脂層配置於基材上之步驟； 使前述感光性樹脂層的一部分光硬化之步驟； 去除前述感光性樹脂層的未硬化部而形成硬化物圖案之步驟；及 在前述基材中的未形成有前述硬化物圖案之部分中的至少一部分形成金屬層之步驟。
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