TW202241081A - 雙通道整合光子波長解多工器 - Google Patents

雙通道整合光子波長解多工器 Download PDF

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Abstract

一種雙通道光子解多工器包含：一輸入區，其用於接收一多通道光學信號；兩個輸出區，其等各自經調適以接收自該多通道光學信號解多工之兩個相異波長通道之一對應者；及一分散區，其包含不均勻地散佈以形成複數個介面之一第一材料及一第二材料，該複數個介面共同結構化該分散區以在該輸入區接收該多通道光學信號時，將該兩個相異波長通道之各者與該多通道光學信號光學地分離且分別將第一相異波長通道導引至一第一輸出區及將第二相異波長通道導引至第二輸出區。該第一材料或該第二材料之至少一者在該分散區內結構化為可藉由具有一預定寬度之一特徵形狀示意性地再現。

Description

雙通道整合光子波長解多工器
本發明大體上係關於光子裝置，且特定言之(但非排外地)係關於光學多工器及解多工器。
通常採用光纖通信以經由已經調變以攜載資訊之光將資訊自一個地方傳輸至另一地方。例如，許多電信公司使用光纖來傳輸電話信號、網際網路通信及有線電視信號。但部署光纖用於光纖通信之成本可為高昂的。因而，已發展出更有效率地使用在一單一光纖內可用之頻寬之技術。分波多工係使用不同波長將多個光學載波信號集束(bundle)至一單一光纖上之一種此技術。
本發明提供一種雙通道光子解多工器，其包括：一輸入區，其用於接收包含兩個相異波長通道之一多通道光學信號，該兩個相異波長通道包含一第一相異波長通道及一第二相異波長通道；兩個輸出區，其等包含一第一輸出區及一第二輸出區，該第一輸出區經調適以接收自該多通道光學信號解多工之該第一相異波長通道，且該第二輸出區經調適以接收自該多通道光學信號解多工之該第二相異波長通道；及一分散區，其光學地安置於該輸入區與該兩個輸出區之間，其中該分散區包含不均勻地散佈以形成複數個介面之一第一材料及一第二材料，該複數個介面各自對應於該分散區之一折射率變化，且共同結構化該分散區以在該輸入區接收該多通道光學信號時，將該兩個相異波長通道之各者與該多通道光學信號光學地分離且分別將該第一相異波長通道導引至該第一輸出區及將該第二相異波長通道導引至該第二輸出區，且其中該第一材料或該第二材料之至少一者在該分散區內結構化為可藉由具有一預定寬度之一特徵形狀示意性地再現。
本發明之另一態樣提供至少一個機器可存取儲存媒體，其提供指令，該等指令在藉由一機器執行時將引起該機器執行用於產生一光子積體電路之一設計之操作，該等操作包括：組態一模擬環境以表示該光子積體電路之一初始描述，其中該模擬環境包含光學地耦合於一第一通信區與複數個第二通信區之間的一設計區，其中該複數個第二通信區包含兩個通信區，且其中該設計區係由該模擬環境之結構參數予以定義；將兩個相異波長通道之各者映射至該兩個通信區之一各自者；回應於對應於該兩個相異波長通道之一選定者之一激發源在該模擬環境內執行該光子積體電路之一操作模擬以判定該光子積體電路之一效能度量；至少部分基於該光子積體電路之該效能度量與一目標效能度量之間的一差異判定一損失度量；反向傳播該損失度量通過該模擬環境以判定對應於該等結構參數之變化對該損失度量之一影響的一結構梯度；及藉由更新該等結構參數以至少部分基於該結構梯度調整該損失度量而修改該光子積體電路之該設計。
本發明之又一態樣提供一種光子積體電路，其包括：一第一通信區；複數個第二通信區，其等包含兩個通信區；及一分散區，其光學地安置於該第一通信區與該複數個第二通信區之間，其中該分散區包含不均勻地散佈以形成複數個介面之至少一第一材料及一第二材料，該複數個介面各自對應於該分散區之一折射率變化，其中該複數個介面沿著該分散區之至少部分藉由包含該第二材料之一周邊區包圍的一橫截面區域形成一材料介面圖案，且其中該材料介面圖案經塑形而與可運用技術方案15之操作獲得之一設計實質上成比例。
本文中描述包含一多通道光子解多工器之光子積體電路，以及用於產生光子積體電路之一設計之一方法的實施例。在以下描述中，闡述許多特定細節以提供對實施例之透徹理解。然而，熟習相關技術者將認識到，可在不具有該等特定細節之一或多者或具有其他方法、組件、材料等之情況下實踐本文中所描述之技術。在其他例項中，未詳細展示或描述熟知結構、材料或操作以免使某些態樣不清楚。
在本說明書各處對「一項實施例」或「一實施例」之引用意謂結合該實施例所描述之一特定特徵、結構或特性包含於本發明之至少一項實施例中。因此，在整個本說明書之各種地方出現片語「在一項實施例中」或「在一實施例中」不一定全部指代相同實施例。此外，在一或多項實施例中，特定特徵、結構或特性可以任何適合方式組合。
分波多工及其變體(例如，密集(dense)分波多工、粗略(coarse)分波多工及類似者)藉由將多個光學載波信號集束至一單一光纖上而利用光纖之頻寬。一旦將多個載波信號集束在一起，便可經由單一光纖將其等自一個地方傳輸至另一地方，可在該處將該多個載波信號解多工以藉由一光學通信裝置讀出。然而，在成本、大小及類似者方面，使載波信號彼此解耦之裝置仍令人望而卻步。
此外，傳統上經由習知技術來設計光子裝置(諸如用於光學通信之光子裝置)之設計，該等習知技術有時透過一簡單猜測及檢查方法或手動導引之格點搜尋(grid-search)進行判定，其中針對對一特定應用之適合性來調整來自預定設計或建置區塊之少量設計參數。然而，實際上，取決於裝置大小及功能性，此等裝置可具有在數百一直到數十億或更多之範圍內之設計參數。因此，隨著光子裝置之功能性增加且製造公差改良以容許更小裝置特徵大小，經由最佳化之裝置設計充分利用此等改良變得愈來愈重要。
本文中描述具有可藉由一逆設計程序獲得之一設計之一光子積體電路(例如，一多通道光子解多工器及/或多工器)之實施例。更明確言之，在本文中之實施例中所描述之技術可結合第一原理模擬利用基於梯度之最佳化來根據對預期管理光子積體電路之操作之基礎物理學之理解產生一設計。應瞭解，在其他實施例中，亦可使用不運用基於梯度之技術之光子積體電路之設計最佳化。有利的是，本文中所描述之實施例及技術不限於用於光子裝置之設計之習知技術，在習知技術中基於對一特定應用之適合性來調整用於預定建置區塊之少量設計參數。實情係，本文中所描述之基於第一原理之設計不一定取決於人類直覺，且一般可導致在效能、大小、穩健性或其等之一組合方面超過當前最先進技術設計之設計。此外，本文中所描述之實施例及技術可提供幾乎無限數目個設計參數之可擴展最佳化，而非歸因於習知技術而限於少量設計參數。
圖1係繪示根據本發明之一實施例之用於經由光學信號110在光學通信裝置101-A與光學通信裝置101-B之間進行光學通信(例如，經由分波多工或其他技術)之一系統100之一功能方塊圖。更一般而言，光學通信裝置101-A經組態以藉由將來自一或多個光源之光調變成一多通道光學信號110 (例如，包含複數個相異波長通道之一單一光學信號)而傳輸資訊，隨後經由一光纖、一光導、一波導或其他光子裝置將多通道光學信號110自光學通信裝置101-A傳輸至光學通信裝置101-B。光學通信裝置101-B接收多通道光學信號110且將複數個相異波長通道之各者自多通道光學信號110解多工以提取經傳輸資訊。應瞭解，在一些實施例中，光學通信裝置101-A及101-B可為相異及分離裝置(例如，經由一或多個光纖通信地耦合至一分離光學收發器或接收器之一光學收發器或傳輸器)。然而，在其他實施例中，光學通信裝置101-A及101-B可為一單一組件或裝置(例如，一智慧型電話、一平板電腦、一電腦、光學裝置或類似者)之部分。例如，光學通信裝置101-A及101-B兩者可皆為一單片積體電路上之經由一波導彼此耦合之構成組件，該波導嵌入於該單片積體電路內且經調適以在光學通信裝置101-A與光學通信裝置101-B之間攜載光學信號110或以其他方式在一個地方與另一地方之間傳輸光學信號。
在所繪示實施例中，光學通信裝置101-A包含彼此耦合之一控制器105、一或多個介面裝置107 (例如，光纖耦合器、光導、波導及類似者)、一多工器(multiplexer/mux)、解多工器(demultiplexer/demux)或多工器與解多工器之組合109、一或多個光源111 (例如，發光二極體、雷射及類似者)及一或多個光感測器113 (例如，光電二極體、光電晶體、光阻器及類似者)。控制器包含一或多個處理器115 (例如，一或多個中央處理單元、特定應用電路、場可程式化閘陣列或其他)及記憶體117 (舉例而言，諸如DRAM及SAM之揮發性記憶體、諸如ROM之非揮發性記憶體、快閃記憶體及類似者)。應瞭解，光學通信裝置101-B可包含與光學通信裝置101-A相同或類似之元件，為清楚起見已省略該等元件。
控制器105安排(orchestrate)光學通信裝置101-A之操作用於傳輸及/或接收光學信號110 (例如，具有複數個相異波長通道之一多通道光學信號或其他)。控制器105包含在藉由控制器105執行時引起控制器105及/或光學通信裝置101-A執行操作之軟體(例如，包含於耦合至處理器115之記憶體117中之指令)及/或硬體邏輯(例如，特定應用積體電路、場可程式化閘陣列及類似者)。
在一項實施例中，控制器105可籌劃(choreograph)光學通信裝置101-A之操作以引起光源111產生經由多工器/解多工器109多工成一多通道光學信號110之複數個相異波長通道，隨後經由介面裝置107將多通道光學信號110傳輸至光學通信裝置101-B。換言之，光源111可輸出具有不同波長(例如，1271 nm、1291 nm、1311 nm、1331 nm、1511 nm、1531 nm、1551 nm、1571 nm或其他)之光，可經由控制器105調變或脈送該光以產生表示資訊之複數個相異波長通道。隨後經由多工器/解多工器109將該複數個相異波長通道組合或以其他方式多工成經由介面裝置107傳輸至光學通信裝置101-B之一多通道光學信號110。在相同或另一實施例中，控制器105可籌劃光學通信裝置101-A之操作以引起經由多工器/解多工器109將複數個相異波長通道從經由介面裝置107自光學通信裝置101-B接收之一多通道光學信號110解多工。
應瞭解，在一些實施例中，可能已省略光學通信裝置101-A及/或101-B之某些元件以避免使本發明之某些態樣不清楚。例如，光學通信裝置101-A及101-B可包含用於促進傳輸及接收光學信號110之放大電路、透鏡或其他組件。進一步應瞭解，在一些實施例中，光學通信裝置101-A及/或101-B可不一定包含圖1中所繪示之所有元件。例如，在一項實施例中，光學通信裝置101-A及/或101-B係操作為可被動地將複數個相異波長通道多工成多通道光學信號110及/或將複數個相異波長通道自多通道光學信號110解多工之一中間裝置的被動裝置。
圖2A及圖2B分別繪示根據本發明之一實施例之一例示性解多工器220及多工器250。解多工器220及多工器250係圖1中所繪示之多工器/解多工器109之可能實施例，且其等可為一整合光子電路、矽光子裝置或其他之部分。
如圖2A中所繪示，解多工器220包含一輸入區202及複數個輸出區204。複數個輸出區204包含一第一輸出區204-A及一第二輸出區204-B。在所繪示實施例中，解多工器220係一雙通道解多工器，其經組態以經由輸入區202接收包含兩個相異波長通道(例如，對應於通道1 (Ch. 1)之一第一相異波長通道及對應於通道2之一第二相異波長通道)之多通道光學信號110，以在輸入區202接收多通道光學信號110時，將該兩個相異波長通道之各者與多通道光學信號110光學地分離且分別將該第一相異波長通道導引至第一輸出區204-A及將該第二相異波長通道導引至第二輸出區204-B。在一些實施例中，複數個輸出區204包含、對應於或以其他方式耦合至各自光學波導(例如，圖1中所繪示之介面裝置107)。在一項實施例中，兩個相異波長通道具有不同中心波長(例如，1271 nm、1291 nm、1311 nm、1331 nm、1511 nm、1531 nm、1551 nm或1571 nm之任何組合，或取決於根據本發明之實施例之解多工器之設計及結構的任何其他波長)。更明確言之，在所繪示實施例中，輸出區204之各者接收對應於或以其他方式表示可作為複數個光學信號(例如，λ 1、λ 2或其他)輸出之複數個相異波長通道之一者的多通道光學信號110之一部分。複數個輸出區204可各自耦合至一各自光感測器(例如，對應於圖1中所繪示之光感測器113)，該各自光感測器可用於將自多通道光學信號110解多工之光學信號轉換成電信號以供進一步處理。
在一些實施例中，輸入區202及複數個輸出區204之各者可各自具有小於1 μm、小於0.5 μm、大約0.4 μm或其他之一寬度(例如，垂直於多通道光學信號110之箭頭且平行於解多工器220之橫截面之平面的方向)。在相同或其他實施例中，輸入區202可與複數個輸出區204橫向(例如，沿著與多通道光學信號110之箭頭平行之一縱向方向)分離達小於100 μm、小於50 μm、小於10 μm、大約6.4 μm或其他。在一或多項實施例中，複數個輸出區204可彼此分離達小於50 μm、小於30 μm、小於10 μm、小於5 μm、小於2 μm、大約1.1 μm或其他之一分離距離206。在一些實施例中，複數個輸出區204之各者可至少部分沿著實質上垂直於多通道光學信號110之箭頭之一方向彼此平行地配置。
在圖2B之所繪示實施例中，多工器250包含複數個輸入區254及一輸出區252。多工器250係一雙通道多工器，其經組態以接收複數個相異光學信號(例如，包含具有λ 1及λ 2之各自中心波長之第一相異波長通道(通道1)及第二相異波長通道(通道2)之兩個相異波長通道)，各相異光學信號在複數個輸入區254 (例如，可對應於圖1中所繪示之介面裝置107之複數個波導)之一各自者處。多工器250經結構化或以其他方式經組態以將複數個相異波長通道之各者光學地組合(即，多工)成導引至輸出區252 (例如，可對應於圖1中所繪示之介面裝置107之一波導)之一多通道光學信號110。應瞭解，在一些實施例中，圖2A中所繪示之解多工器220及圖2B中所繪示之多工器250可為雙向的，使得各裝置可用作一解多工器及多工器兩者。進一步應瞭解，多工器250可具有在關於輸出區252及複數個輸入區254之寬度、分離距離及類似者方面與關於圖2A之解多工器220所描述類似之一結構。例如，複數個輸入區254之各者可彼此分離達小於50 μm、小於30 μm、小於10 μm、小於5 μm、小於2 μm、大約1.1 μm或其他之一分離距離256。
圖2C繪示根據本發明之一實施例之一多通道光學信號之一例示性相異波長通道(例如，包含於圖1、圖2A及圖2B中所繪示之多通道光學信號110中之通道1、通道2或其他)。例示性通道N可表示包含於該多通道光學信號之複數個相異波長通道(包含該兩個相異波長通道)中之可藉由圖2A之解多工器220解多工及/或藉由圖2B之多工器250多工的一個別通道。相異波長通道之各者可具有不同中心波長(λ N)，包含1271 nm、1291 nm、1311 nm、1331 nm、1511 nm、1531 nm、1551 nm、1571 nm或其他之至少一者。在圖2C之所繪示實施例中，相異波長通道具有大約13 nm寬之一通道頻寬212。然而，在其他實施例中，該通道頻寬可不同於13 nm寬。實情係，通道頻寬可被視為可取決於圖1之多工器/解多工器109、圖2A之解多工器220及/或圖2B之多工器250之結構組態之一參數。例如，在一些實施例中，複數個相異波長通道之各者可共用可對應於13 nm或其他之一共用頻寬。
返回參考圖2C，通道頻寬212可定義為一通帶區213 (即，被定義為在PB 1與PB 2之間之區)之寬度。通帶區213可表示一解多工器或多工器之一近似功率傳輸214。應瞭解，在一些實施例中，通帶區213可包含如圖2C中所繪示之漣波，該漣波對應於通帶區213內之波動。在一或多項實施例中，通帶區內之漣波可為+/- 2 dB或更小、+/- 1 dB或更小、+/- 0.5 dB或更小或其他。在一些實施例中，通道頻寬212可由通帶區213予以定義。在其他實施例中，通道頻寬212可定義為高於一臨限值(例如，dB th)之經量測功率。例如，圖2A中所繪示之解多工器220可將第一相異波長通道(例如，通道1)與多通道光學信號110光學地分離且具有用於第一相異波長通道之一對應通道頻寬，該對應通道頻寬等效於高於一臨限值之傳輸至映射至第一相異波長通道之第一輸出區204-A (即，λ 1)的波長之範圍。在相同或其他實施例中，亦可在最佳化設計時考量複數個相異波長通道之一給定者與該等相異波長通道之各其他者之隔離(即，藉由通道頻寬212定義)。隔離可定義為通帶區213與阻帶區(例如，小於SB 1且大於SB 2之區)之間的一比率。進一步應瞭解，過渡帶區(例如，SB 1與PB 1之間之一第一過渡區及PB 2與SB 2之間之一第二過渡區)係實例且可出於繪示目的而被放大。在一些實施例中，光子解多工器之設計之最佳化亦可包含用於過渡帶區之一斜率、寬度或類似者之一目標度量。
圖3A至圖3D繪示根據本發明之一實施例之一例示性光子解多工器320之不同視圖。光子解多工器320係圖1中所繪示之多工器/解多工器109及圖2A中所繪示之解多工器220之一個可能實施方案。進一步應瞭解，雖然此後之論述可關於能夠將複數個相異波長通道自一多通道光學信號解多工之光子積體電路，但在其他實施例中，根據本發明之實施例，一解多工器(例如，解多工器320)亦可或替代地能夠將複數個相異波長通道多工成一多通道光學信號。
圖3A繪示沿著由解多工器320之一寬度321及一長度323界定之一作用層內之一橫向平面的解多工器320之一橫截面視圖。如所繪示，解多工器320包含一輸入區302 (例如，相當於圖2A中所繪示之輸入區202)、複數個輸出區304 (例如，相當於圖2A中所繪示之複數個輸出區204)，及光學地安置於輸入區302與複數個輸出區304之間之一分散區。輸入區302及複數個輸出區304 (例如，304-A及304-B)各自光學地耦合至分散區330且可對應於能夠沿著波導之路徑傳播光之波導(例如，平板波導、條形波導、槽狀波導或類似者)。分散區330包含不均勻地散佈以形成複數個介面之一第一材料及一第二材料(例如，參見圖3D)，該複數個介面各自對應於分散區330之一折射率變化，且共同結構化分散區330以在輸入區302接收一多通道光學信號(例如，圖2A中所繪示之光學信號110)時，將複數個相異波長通道(例如，圖2A中所繪示之通道1、通道2或其他)之各者與該多通道光學信號光學地分離且將該複數個相異波長通道之各者分別導引至複數個輸出區304之一對應者。換言之，輸入區302經調適以接收包含複數個相異波長通道之多通道光學信號，且複數個輸出區304經調適以各自經由分散區330接收自多通道光學信號解多工之該複數個相異波長通道之一對應者。
如圖3A中所繪示，且在圖3D及圖4A至圖4L中更清楚展示，不均勻地散佈之第一及第二材料之形狀及配置產生複數個介面，該複數個介面沿著分散區330之至少部分由包含第二材料之一周邊邊界區322包圍的一橫截面區域共同形成一材料介面圖案。在一些實施例中，周邊區322具有包含第二材料之一實質上均勻組合物。在所繪示實施例中，分散區330包含各自與一內邊界(即，安置於分散區330與對應於周邊區322之一外邊界之點劃線之間的周邊區322之未標記之虛線)介接之一第一側331及一第二側333。第一側331及第二側333對應於分散區330之相對側。輸入區302安置成靠近第一側331 (例如，輸入區302之一個側鄰接分散區330之第一側331)，而複數個輸出區304之各者安置成靠近第二側333 (例如，複數個輸出區304之各者之一個側鄰接分散區330之第二側333)。
在所繪示實施例中，複數個輸出區304之各者平行於複數個輸出區304之各其他者。然而，在其他實施例中，複數個輸出區304可不彼此平行或甚至安置於相同側上(例如，複數個輸出區304及/或輸入區302之一或多者可安置成靠近分散區330之鄰近於第一側331及/或第二側333之側)。在一些實施例中，當複數個輸出區包含至少三個輸出區時，複數個輸出區之相鄰者藉由一共同分離距離彼此分離。在一項實施例中，第一輸出區304-A與第二輸出區304-B分離達對應於小於50 μm、小於30 μm、小於10 μm、小於5 μm、小於2 μm、大約1.1 μm或其他之一分離距離306。
如圖3A之實施例中所繪示，解多工器320之分散區330光學耦合至各自分別映射(即，憑藉分散區330之結構)至包含於複數個相異波長通道中之兩個通道之一各自者之恰好兩個輸出區304 (例如，304-A及304-B) (例如，一第一相異波長通道可映射至第一輸出區304-A且一第二相異波長通道可映射至第二輸出區304-B)。更明確言之，藉由一第一材料及一第二材料之不均勻散佈界定之分散區330之複數個介面沿著分散區330之一橫截面區域形成一材料介面圖案(例如，如圖3A或圖4A至圖4L中所繪示)，以引起在輸入區302接收多通道光學信號時，分散區330將兩個通道之各者與多通道光學信號光學地分離且將兩個通道之各者路由至兩個輸出區304之一各自者。
應注意，分散區330之第一材料及第二材料在分散區內經配置且經塑形使得材料介面圖案與可用一逆設計程序獲得之一設計實質上成比例，本發明中稍後將更詳細論述該逆設計程序。更明確言之，在一些實施例中，逆設計程序可包含至少部分基於一損失函數之一設計之迭代最佳化(例如，基於梯度或其他方式)，該損失函數併有經共同減少或以其他方式迭代地調整直至獲得亦可製造之在目標規格內之一設計的一效能損失(例如，用於強制執行功能性)及一製造損失(例如，用於強制執行一第一材料及一第二材料之可製造性及二值化)。在相同或其他實施例中，可使用其他最佳化技術來代替基於梯度之最佳化，或可結合基於梯度之最佳化使用其他最佳化技術。有利的是，此容許幾乎無限數目個設計參數之最佳化，以在一預定區域內達成習知設計技術無法實現之功能性及效能。
例如，在一項實施例中，分散區330經結構化以在輸入區302接收多通道光學信號時，在小於100 µm x 100 µm 、小於35 µm x 35 µm或其他之一預定區域內將兩個通道之各者與多通道光學信號光學地分離。在相同或其他實施例中，該預定區域大於3 µm x 3 µm。在一些實施例中，分散區330之寬度325可小於100 µm、小於50 µm、小於35 µm、小於20 µm、小於10 µm、小於5 µm、大約3.2 µm或其他。在相同或其他實施例中，分散區330之長度327可小於100 µm、小於50 µm、小於35 µm、小於10 µm、大約6.4 µm或其他。如所繪示，分散區330具有具實質上等於長度327之寬度325之一方形區域。然而，在其他實施例中，分散區330可具有不同長度及寬度(例如，矩形、八邊形、圓形、卵形或其他)。例如，在一項實施例中，分散區330可為3.2 µm之一寬度325及6.4 µm之一長度327。在一些實施例中，輸入區302及複數個輸出區304之各者可具有可對應於小於1 µm、小於0.5 µm、大約0.4 µm或其他之一共同寬度(例如，平行於寬度325之方向)。
在相同或另一實施例中，分散區330經結構化以適應用於兩個相異波長通道之各者之一共同頻寬，各相異波長通道具有不同中心波長。在一項實施例中，該共同頻寬係大約13 nm寬且不同中心波長係選自由以下各者組成之一群組：1271 nm、1291 nm、1311 nm、1331 nm、1511 nm、1531 nm、1551 nm及1571 nm。在一些實施例中，解多工器320之整個結構(例如，包含輸入區302、周邊區322、分散區330及複數個輸出區304)裝配於一預定區域(例如，如藉由寬度321及長度323界定)內。在一項實施例中，該預定區域小於或等於100 µm x 100 µm、小於或等於35 µm x 35 µm或其他。應瞭解，在其他實施例中，分散區330及/或解多工器320裝配於大於或小於100 µm x 100 µm、35 µm x 35 µm或其他之其他區域內，此可導致分散區330之結構(例如，第一及第二材料之配置及形狀)及/或解多工器320之其他組件之變化。
在相同或其他實施例中，分散區330經結構化以針對映射至複數個輸出區304之一對應者之相異波長通道內之一給定波長具有自輸入區302、通過分散區330且至複數個輸出區304之該對應者的-2 dB或更大之一功率傳輸。例如，若一多通道光學信號之通道1映射至輸出區304-A，則在解多工器320在輸入區302處接收該多通道光學信號時，分散區330將以-2 dB或更大之一功率傳輸將通道1與多通道光學信號光學地分離且將對應於通道1之多通道光學信號之一部分導引至第一輸出區304-A。在相同或另一實施例中，分散區330經結構化使得針對給定波長之自輸入區302至除複數個輸出區304之對應者以外之複數個輸出區之任何者的一不利功率傳輸(即，隔離)係-30 dB或更小、-22 dB或更小或其他。例如，若一多通道光學信號之通道1映射至輸出區304-A，則自輸入區302至除複數個輸出區之對應者(例如，304-A)以外之複數個輸出區之任一其他者(例如，第二輸出區304-B)的不利功率傳輸係-30 dB或更小、-22 dB或更小或其他。在一些實施例中，來自解多工器320之對在一輸入區(例如，輸入區302)處接收之一輸入信號(例如，一多通道光學信號)的一最大功率反射藉由分散區330反射回至該輸入區，或解多工器320之其他組件係-40 dB或更小、-20 dB或更小、-8 dB或更小，或其他。應瞭解，在其他實施例中，功率傳輸、不利功率傳輸、最大功率或其他效能特性可不同於本文中所論述之各自值，但分散區330之結構可歸因於解多工器320之結構、功能性及效能之間的內在關係而改變。
圖3B繪示包含於解多工器320之所繪示實施例中之各種層之一垂直示意圖或堆疊。然而，應瞭解，所繪示實施例並非詳盡性的且可省略某些特徵或元件以免使本發明之某些態樣不清楚。在所繪示實施例中，解多工器320包含基板302、介電層304、作用層306 (例如，如圖3A之橫截面繪示中所展示)及一包覆層308。在一些實施例中，解多工器320可部分或以其他方式為與習知製造技術(例如，微影技術(諸如光微影、電子束微影及類似者)、濺鍍、熱蒸鍍、物理及化學氣相沈積及類似者)相容之一光子積體電路或矽光子裝置。
在一項實施例中，可提供一絕緣體上矽(SOI)晶圓，其包含具有一支撐基板(例如，矽基板)、二氧化矽層、矽層(例如，經摻雜矽、無摻雜矽或其他)之循序堆疊之層。該SOI晶圓之支撐基板可對應於基板302。SOI晶圓之二氧化矽層可對應於介電層304。可藉由在SOI晶圓上(例如，直接在矽層之頂部上)微影地產生一圖案而選擇性地蝕刻SOI晶圓之矽層，經由一乾式蝕刻程序(例如，經由一光阻劑遮罩或任何其他遮罩)將該圖案轉印至SOI晶圓以移除矽層之部分。隨後可用二氧化矽回填包含於SOI晶圓中之矽層之經蝕刻部分且平坦化該等經蝕刻部分以形成可共同對應於作用層306之矽及二氧化矽之一經圖案化層。可在SOI晶圓之經蝕刻/經回填矽層之頂部上生長、沈積或以其他方式提供可對應於包覆層308之氧化物層(例如，二氧化矽或其他)。應瞭解，在蝕刻程序期間，可選擇性地將作用層306內之矽一直向下蝕刻至介電層304以形成隨後可用二氧化矽回填、經平坦化且接著進一步用二氧化矽囊封以形成包覆層308的空隙。在一項實施例中，作用層306之形成可包含矽之數個蝕刻深度(包含一全蝕刻深度)以獲得目標結構。在一項實施例中，矽可為220 nm厚且因此全蝕刻深度可為220 nm。在一些實施例中，形成解多工器320可包含一個兩步驟囊封程序，其中運用用於產生作用層306之一平面表面之一中間化學機械平坦化執行兩次二氧化矽沈積。
圖3C繪示沿著包含圖3A之輸入區302之周邊區322之一部分取得的作用層306之一更詳細視圖(相對於圖3B)。在所繪示實施例中，作用區306包含具有一折射率ε 1之一第一材料332及具有不同於ε 1之一折射率ε 2之一第二材料334。第一材料332及第二材料334之均勻區可形成對應於如圖3A及圖3C中所繪示之輸入區302及複數個輸出區304之波導或波導之部分。
圖3D繪示沿著分散區330取得之作用層306之一更詳細視圖(相對於圖3B)。如先前所描述，分散區330包含不均勻地散佈以形成共同形成一材料介面圖案之複數個介面336的一第一材料332 (例如，矽)及一第二材料334 (例如，二氧化矽)。形成介面圖案之複數個介面336之各者對應於分散區330之一折射率變化，以結構化分散區(即，第一材料332及第二材料334之形狀及配置)而至少部分提供解多工器320之功能性(即，當輸入區302接收多通道光學信號時，將複數個相異波長通道與多通道光學信號光學分離及將複數個相異波長通道之各者分別導引至複數個輸出區304之一對應者)。
應瞭解，在如圖3A至圖3D中所展示之解多工器320之所繪示實施例中，折射率變化被展示為垂直一致(即，第一材料332及第二材料334形成實質上垂直(vertical/perpendicular)於解多工器320之一橫向平面或橫截面的介面)。然而，在相同或其他實施例中，複數個介面(例如，圖3D中所繪示之介面336)可未與解多工器320之橫向平面或橫截面實質上垂直。
圖4A至圖4L繪示在包含於一光子解多工器420中之一作用層(例如，圖3B之作用層306)內之分散區430及在分散區430內之由一第一材料421 (例如，分散區430內之可對應於矽之黑色區)及一第二材料423 (例如，分散區430內之可對應於二氧化矽之白色區)之配置形成的對應材料介面圖案之更詳細橫截面視圖。解多工器420係一雙通道解多工器，其包含未經結構化以將兩個相異波長通道外之光學信號解多工之分散區430。解多工器420包含一輸入區402、複數個輸出區404 (例如，包含一第一輸出區404-A及一第二輸出區404-B之兩個輸出區)、分散區430 (例如，具有對應於包含於分散區430-1、430-2、430-3、430-4、430-5、430-6中之設計之任一者之一設計，或藉由本發明中所描述之逆設計方法產生之設計)。分散區430光學地安置於輸入區402與複數個輸出區404之間。分散區430至少部分藉由一周邊區422 (例如，二氧化矽或其他)包圍。應瞭解，解多工器420之相似命名或相似標記之元件可類似地對應於在本發明之實施例中所描述之其他解多工器之相似命名或相似標記之元件。此外，應瞭解，可針對圖4A至圖4L省略或以其他方式不標記解多工器420之某些元件(例如，圖4C至圖4L未繪示輸入區402、輸出區404、周邊區422及類似者)。圖4A至圖4L中所繪示之各項實施例之分散區430內之結構可包含突部、島狀物、樹突形狀(dendritic shape)或如所繪示之其他形狀及結構。應瞭解，在其他實施例中，可不存在突部，可不存在島狀物，可不存在樹突狀結構，或可存在包含於分散區430、樹突狀結構中之任何材料之任何數目個(包含零個)突部、島狀物，或其等之一組合。因此，藉由圖4A至圖4L繪示之分散區430之結構可併入於本發明之各項實施例中所描述之解多工器(例如，圖1之多工器/解多工器109、圖2A之解多工器220、圖3A之解多工器320及類似者)之任一者中。
分散區430內之結構係自一逆設計程序獲得之設計，該逆設計程序利用迭代最佳化(例如，基於梯度之最佳化、馬可夫鏈蒙地卡羅(Markov Chain Monte Carlo)最佳化或其他最佳化技術)結合管理光子裝置之基礎物理學之第一原理模擬以產生由分散區430按一成比例或按比例方式實質上複製之一設計，使得光子解多工器420提供目標功能性(例如，將相異波長通道與一多通道光學信號光學地分離及將該等相異波長通道導引至複數個輸出區之一對應者以將該多通道光學信號解多工)。逆設計程序可包含強制執行一最小特徵大小以例如確保設計之可製造性之一製造損失。在圖4A至圖4L中所繪示之分散區430之實施例中，由第一材料421及第二材料423形成之材料介面圖案(例如，432、434、436、438、440及442)經塑形以用一指定形狀強制執行最小特徵大小。在一項實施例中，由第一材料421及第二材料423形成之介面可經塑形使得定義分散區430內之一材料介面之任何給定半徑之一曲率半徑具有小於一臨限大小之一量值。例如，若最小特徵大小係150 nm，則複數個介面之任何者之曲率半徑具有小於臨限大小之一量值，該量值對應於最小特徵大小之一半之倒數(即，1/75 nm -1)。在其他實施例中，最小特徵大小可包含具有對應於最小特徵大小之一寬度(例如，100 nm、140 nm、150 nm、180 nm或其他)之一最小特徵形狀(例如，一方形、圓形、六邊形、八邊形或任何其他形狀)。因此，第一材料421及第二材料423之任何部分可在分散區430內經結構化使得具有最小特徵大小之一寬度之最小特徵形狀(例如，一八邊形)可用於形成(例如，繪製、繪畫或以其他方式建構表示結構之一設計)分散區430。強制執行此一最小特徵大小及/或形狀防止逆設計程序產生因考量製造約束、限制及/或良率而不可製造之設計。在相同或其他實施例中，可利用對與可製造性有關之度量的不同或額外檢查來強制執行一最小寬度或間距作為一最小特徵大小。
圖4A繪示根據本發明之一實施例之光子解多工器420之分散區430-1之一橫截面視圖。圖4B繪示基於第一材料(例如，分散區430-1內之黑色區)及第二材料(例如，分散區430-1內之白色區)之形狀及配置形成於分散區430-1內之一材料介面圖案432。分散區430-1經結構化使得兩個輸出區(例如，404-A及404-B)分別映射至具有20 nm之一中心波長分離之相異波長通道。明確言之，兩個輸出區之一者映射至具有1271 nm之一中心波長之一相異波長通道，而兩個輸出區之另一者映射至具有1291 nm之一中心波長之一相異波長通道。另外，應注意，分散區430-1可具有100 nm之一最小特徵大小。例如，一最小特徵形狀可為具有100 nm之一寬度或間距之一八邊形。
如圖4B中所繪示，藉由分散區430-1內之黑線界定且對應於分散區430-1內之一折射率變化的材料介面圖案432包含複數個突部441。一第一突部441-A係由第一材料421形成且自周邊區422延伸至分散區430-1中。類似地，一第二突部441-B係由第二材料423形成且自周邊區422延伸至分散區430-1中。在圖4B中進一步繪示，分散區430-1包含由第一材料421或第二材料423之任一者形成之複數個島狀物443。複數個島狀物443包含由第一材料421形成且由第二材料423包圍之一第一島狀物443-A。複數個島狀物443亦包含由第二材料423形成且由第一材料421包圍之一第二島狀物443-B。在一些實施例中，島狀物可具有對應於最小特徵大喜之形狀之一形狀(例如，一八邊形)。
圖4C及圖4D分別繪示根據本發明之一實施例之光子解多工器420之分散區430-2及基於第一及第二材料之形狀及配置形成於分散區430-2內之對應材料介面圖案434之一橫截面視圖。分散區430-2經結構化以將兩個輸出區(例如，圖4A中所繪示之404-A及404-B)映射至具有40 nm之一中心波長分離(例如，分別對應於1271 nm及1311 nm之中心波長)之兩個相異波長通道。分散區430-2進一步經結構化以具有100 nm之一最小特徵大小。
圖4E及圖4F分別繪示根據本發明之一實施例之光子解多工器420之分散區430-3及基於第一及第二材料之形狀及配置形成於分散區430-3內之對應材料介面圖案436之一橫截面視圖。分散區430-3經結構化以將兩個輸出區(例如，圖4A中所繪示之404-A及404-B)映射至具有20 nm之一中心波長分離(例如，分別對應於1271 nm及1291 nm之中心波長)之兩個相異波長通道。分散區430-3進一步經結構化以具有140 nm之一最小特徵大小。
圖4G及圖4H分別繪示根據本發明之一實施例之光子解多工器420之分散區430-4及基於第一及第二材料之形狀及配置形成於分散區430-4內之對應材料介面圖案438之一橫截面視圖。分散區430-4經結構化以將兩個輸出區(例如，圖4A中所繪示之404-A及404-B)映射至具有40 nm之一中心波長分離(例如，分別對應於1271 nm及1311 nm之中心波長)之兩個相異波長通道。分散區430-4進一步經結構化以具有140 nm之一最小特徵大小。
在一些實施例中，材料介面圖案438 (或本發明之任何其他實施例)包含一或多個樹突形狀，其中該一或多個樹突形狀之各者定義為由第一材料或第二材料形成且具有大小沿著一對應方向在增加與減小之間交替之一寬度的一分枝結構。如圖4H中所繪示，樹突狀結構461具有大小沿著一對應方向(即，上覆樹突狀結構461之一長度之虛線箭頭)交替地增加及減小以產生一分枝結構的一寬度。
圖4I及圖4J分別繪示根據本發明之一實施例之光子解多工器420之分散區430-5及基於第一及第二材料之形狀及配置形成於分散區430-5內之對應材料介面圖案440之一橫截面視圖。分散區430-5經結構化以將兩個輸出區(例如，圖4A中所繪示之404-A及404-B)映射至具有20 nm之一中心波長分離(例如，分別對應於1271 nm及1291 nm之中心波長)之兩個相異波長通道。分散區430-5進一步經結構化以具有180 nm之一最小特徵大小。
圖4K及圖4L分別繪示根據本發明之一實施例之光子解多工器420之分散區430-6及基於第一及第二材料之形狀及配置形成於分散區430-6內之對應材料介面圖案442之一橫截面視圖。分散區430-6經結構化以將兩個輸出區(例如，圖4A中所繪示之404-A及404-B)映射至具有40 nm之一中心波長分離(例如，分別對應於1271 nm及1311 nm之中心波長)之兩個相異波長通道。分散區430-6進一步經結構化以具有180 nm之一最小特徵大小。
圖5係繪示根據本發明之一實施例之用於產生一光子積體電路(即，光子裝置)之一設計的一系統500之一功能方塊圖。可利用系統500來執行逆設計程序。更明確言之，系統500係可用於基於第一原理模擬(例如，用於判定光子裝置對一激發源之一場回應的電磁模擬)及迭代最佳化來最佳化光子積體電路之結構參數(例如，在本發明中所描述之實施例之分散區內之一第一材料及一第二材料的形狀及配置)的一設計工具。換言之，系統500可提供經由逆設計程序獲得之實質上由圖3A及圖4A至圖4L中所繪示之解多工器320及420之分散區330及430複製(即，成比例地縮放)的一設計。
如所繪示，系統500包含控制器505、顯示器507、(若干)輸入裝置509、(若干)通信裝置511、網路513、遠端資源515、匯流排521及匯流排523。控制器505包含處理器531、記憶體533、本端儲存器535及光子裝置模擬器539。光子裝置模擬器539包含操作模擬引擎541、製造損失計算邏輯543、計算邏輯545、伴隨模擬引擎547及最佳化引擎549。應瞭解，在一些實施例中，控制器505可為一分佈式系統。
控制器505耦合至透過匯流排523耦合至匯流排521之顯示器507 (例如，一發光二極體顯示器、一液晶顯示器及類似者)以用於向利用系統500之一使用者顯示資訊以最佳化光子裝置(即，解多工器)之結構參數。輸入裝置509透過匯流排523耦合至匯流排521用於將資訊及命令選擇傳遞至處理器531。輸入裝置509可包含促進使用者與控制器505之間之一互動之一滑鼠、軌跡球、鍵盤、觸控筆或其他電腦週邊器件。作為回應，控制器505可透過顯示器507提供該互動之確認。
可視情況耦合至控制器505之另一裝置係用於經由網路513存取一分佈式系統之遠端資源515的一通信裝置511。通信裝置511可包含若干網路周邊裝置之任何者，諸如用於耦合至乙太網絡、網際網路或廣域網路及類似者之網路周邊裝置。通信裝置511可進一步包含提供控制器505與外部世界之間之連接性之一機構。應注意，圖5中所繪示之系統500之組件及相關聯硬體之任何者或所有者可用於本發明之各項實施例中。遠端資源515可為一分佈式系統之部分且包含任何數目個處理器、記憶體及用於最佳化光子裝置之結構參數之其他資源。
控制器505安排系統500之操作用於最佳化光子裝置之結構參數。處理器531 (例如，一或多個中央處理單元、圖形處理單元及/或張量處理單元等)、記憶體533 (舉例而言，諸如DRAM及SRAM之揮發性記憶體、諸如ROM之非揮發性記憶體、快閃記憶體及類似者)、本端儲存器535 (例如，磁性記憶體，諸如電腦磁碟機)及光子裝置模擬器539透過匯流排523彼此耦合。控制器505包含在藉由控制器505執行時引起控制器505或系統500執行操作之軟體(例如，包含於耦合至處理器531之記憶體533中之指令)及/或硬體邏輯(例如，特定應用積體電路、場可程式化閘陣列及類似者)。該等操作可基於儲存於記憶體533、本端儲存器535、光子裝置模擬器539及透過網路513存取之遠端資源515之任一者或一組合內之指令。
在所繪示實施例中，光子裝置模擬器539之模組541至549用於最佳化光子裝置(例如，圖1之多工器/解多工器109、圖2A之解多工器220、圖2B之多工器250、圖3A至圖3D之解多工器320及圖4A至圖4L之解多工器420)之結構參數。在一些實施例中，系統500可尤其經由利用一時域有限差分(FDTD)方法模型化場回應(例如，光子裝置內之電場及磁場)之模擬(例如，操作模擬及伴隨模擬)來最佳化光子裝置之結構參數。操作模擬引擎541提供用於在一模擬環境內執行回應於一激發源而操作之光子裝置之一電磁模擬的指令。特定言之，操作模擬回應於激發源判定模擬環境(及因此由模擬環境描述之光子裝置)之一場回應以用於判定實體裝置之一效能度量(例如，基於描述具有複數個體素(voxel)之模擬環境內之光子裝置之結構參數的光子裝置之一初始描述或輸入設計)。例如，結構參數可對應於實體裝置之特定設計、材料組合物、尺寸及類似者。製造損失計算邏輯543提供用於判定用於強制執行一最小特徵大小及/或形狀以確保可製造性之一製造損失的指令。在一些實施例中，製造損失亦用於強制執行設計之二值化(即，使得光子裝置包含經散佈以形成複數個介面之一第一材料及一第二材料)。計算邏輯545運算經由一損失函數判定之一損失度量，該損失函數併有基於效能度量之一效能損失，及製造損失。伴隨模擬引擎547結合操作模擬引擎541用於執行光子裝置之一伴隨模擬，以經由損失函數反向傳播損失度量通過模擬環境而判定光子裝置之結構參數之變化如何影響損失度量。最佳化引擎549用於更新光子裝置之結構參數以減小損失度量及產生光子裝置之一經修改描述(即，修改設計)。
圖6A至圖6C分別繪示描述一光子裝置之一模擬環境601-A之一初始設置、在模擬環境601-B內回應於一激發源執行光子裝置之一操作模擬，及在模擬環境601-C內執行光子裝置之一伴隨模擬。可用圖1中所繪示之系統100來實施模擬環境601之初始設置、模擬環境601之1維表示、實體裝置之操作模擬及實體裝置之伴隨模擬。如圖6A至圖6C中所繪示，模擬環境601係以二維進行表示。然而，應瞭解，亦可使用其他維度(例如，3維空間)來描述模擬環境601及光子裝置。在一些實施例中，可經由一逆設計程序來達成圖6A至圖6C中所繪示之光子裝置之結構參數之最佳化，該逆設計程序尤其包含利用一時域有限差分(FDTD)方法模型化對一激發源之場回應(例如，電場及磁場)之模擬(例如，操作模擬及伴隨模擬)。
圖6A繪示根據本發明之一實施例之描述一光子積體電路(即，一光子裝置，諸如一波導、解多工器及類似者)之一示範模擬環境601-A。更明確言之，回應於接收由一或多個結構參數定義之一光子裝置之一初始描述(例如，一輸入設計)，一系統(例如，圖5之系統500)組態一模擬環境601以表示該光子裝置。如所繪示，藉由表示二維(或其他維度)空間之個別元素(即，離散化)之複數個體素610來描述模擬環境601 (及隨後光子裝置)。體素之各者被繪示為二維方形；然而，應瞭解，體素可被表示為三維空間中之立方體或其他形狀。應瞭解，可取決於模擬環境601及所模擬之光子裝置來調整複數個體素610之特定形狀及維度。進一步應注意，僅繪示複數個體素610之一部分以免使模擬環境601之其他態樣不清楚。
複數個體素610之各者可與一結構值、一場值及一源值相關聯。共同地，模擬環境601之結構值描述光子裝置之結構參數。在一項實施例中，結構值可對應於共同描述光子裝置之結構(即，材料)邊界或介面(例如，圖4B之介面圖案432)之一相對電容率、磁導率及/或折射率。例如，一介面636表示在模擬環境601內相對電容率在何處改變且可界定光子裝置之其中一第一材料與一第二材料交會或以其他方式介接之一邊界。場值描述回應於由源值描述之一激發源計算(例如，經由馬克士威方程式(Maxwell's equation))之場(或損失)回應。例如，場回應可對應於描述複數個體素610之各者在一特定時間步長處之電場及/或磁場(例如，在一或多個正交方向上)之一向量。因此，場回應可至少部分基於光子裝置之結構參數及激發源。
在所繪示實施例中，光子裝置對應於具有一設計區630 (例如，對應於圖3A之分散區330及/或圖4A至圖4L之分散區430)之一光學解多工器，其中可更新或以其他方式修改實體裝置之結構參數。應瞭解，最佳化光子裝置之設計之複雜性至少部分基於一目標大小。明確言之，透過一逆設計程序，執行自一損失函數判定之一損失度量之迭代最佳化(例如，基於梯度之最佳化、馬可夫鏈蒙地卡羅最佳化或其他最佳化技術)以產生光子裝置之一設計，該設計在功能上引起將一多通道光學信號解多工且將其自輸入埠602導引至輸出埠604(例如，輸出埠604-A或輸出埠604-B)之一對應者。因此，光子裝置之輸入埠602 (例如，對應於圖3A之輸入區302、圖4A之輸入區402及類似者)對應於提供一輸出(例如，一高斯脈衝、一波、一波導模式回應及類似者)之一激發源之一位置。激發源之輸出基於結構參數與光子裝置互動(例如，在對應於激發源之一電磁波在模擬環境601內傳播通過光子裝置時，該波可被擾動、重新傳輸、衰減、折射、反射、繞射、散射、吸收、分散、放大或其他)。換言之，激發源可引起光子裝置之場回應改變，此取決於管理實體域之基礎物理學及光子裝置之結構參數。激發源起源於或以其他方式靠近輸入埠602且經定位以傳播(或以其他方式影響複數個體素之場值)通過設計區630朝向光子裝置之輸出埠604。在所繪示實施例中，輸入埠602及輸出埠604定位於設計區630之外。換言之，在所繪示實施例中，僅可最佳化光子裝置之結構參數之一部分。
然而，在其他實施例中，可將整個光子裝置放置於設計區630內使得結構參數可表示光子裝置之設計之任何部分或整個設計。模擬環境601 (及隨後光子裝置)內之電場及磁場可回應於激發源而改變(例如，藉由共同對應於模擬環境之場回應之個別體素之場值來表示)。解多工器之輸出埠604可用於回應於激發源判定光子裝置之一效能度量(例如，自輸入埠602至輸出埠604之一特定者之功率傳輸)。光子裝置之初始描述(包含初始結構參數、激發源、效能參數或度量及描述光子裝置之其他參數)藉由系統(例如，圖5之系統500)接收且用於組態模擬環境601用於執行光子裝置之一基於第一原理之模擬。此等特定值及參數可藉由(例如，圖5中之系統500之)一使用者直接定義，間接定義(例如，經由控制器505選擇儲存於記憶體533、本端儲存器535或遠端資源515中之預定值)，或其等之一組合。
圖6B繪示根據本發明之一實施例之在模擬環境601-B內之回應於一激發源之光子裝置之一操作模擬。在所繪示實施例中，光子裝置係一光學解多工器，其經結構化以將包含於在輸入埠602處接收之一多通道光學信號中之複數個相異波長通道之各者光學地分離，且將該複數個相異波長通道之各者分別導引至複數個輸出區604之一對應者。激發源可選自(隨機地或以其他方式)複數個相異波長通道且起源於具有一指定空間、相位及/或時間輪廓之輸入區602處。操作模擬在包含所繪示時間步長之複數個時間步長內發生。當執行操作模擬時，在複數個時間步長內回應於激發源逐步更新複數個體素610之各者之場回應(例如，場值)之變化。在一特定時間步長處之場回應變化至少部分基於結構參數、激發源及模擬環境601在包含於複數個時間步長中之緊接在前之時間步長處的場回應。類似地，在一些實施例中，(例如，基於描述激發源之空間輪廓及/或時間輪廓)更新複數個體素610之源值。應瞭解，操作模擬係逐步的，且在操作模擬期間隨著時間針對複數個時間步長之各者向前推移，模擬環境601之場值(及源值)係在各時間步長處逐步更新。進一步應注意，在一些實施例中，更新係一迭代程序且各場值及源值之更新至少部分基於各場值及源值之先前更新。
一旦操作模擬達到一穩定狀態(例如，回應於激發源之場值變化實質上穩定或減小至可忽略值)或以其他方式結束，便可判定一或多個效能度量。在一項實施例中，效能度量對應於映射至相異波長通道之輸出埠604之一對應者處之藉由激發源模擬的功率傳輸。換言之，在一些實施例中，效能度量表示輸出埠604之特定位置處之呈目標模式形狀之功率(在一或多個所關注頻率下)。在相同或其他實施例中，效能度量可對應於以其判定複數個輸出埠604之各者處之功率的隔離。可經由一損失函數判定至少部分基於效能度量之輸入設計(例如，初始設計及/或其中已更新結構參數之任何細化設計)之一損失值或度量。損失度量結合一伴隨模擬可用於判定一結構梯度(例如，結構參數對損失度量之影響)用於更新或以其他方式修改結構參數以減小損失度量(即，增加效能度量)。應注意，損失度量進一步基於用於強制執行光子裝置之一最小特徵大小以促進裝置之可製造性的一製造損失值。
圖6C繪示根據本發明之一實施例之在模擬環境601-C內藉由反向傳播一損失度量而進行之一例示性伴隨模擬。更明確言之，伴隨模擬係其中將一損失度量處置為與光子裝置互動且引起一損失回應之一激發源的一時間倒退模擬。換言之，將基於損失度量之一伴隨者(adjoint) (或虛擬源)放置於輸出區(例如，輸出埠604)或對應於在判定效能度量時所使用之一位置之其他位置處。接著，在伴隨模擬期間將(若干)伴隨源處置為一實體刺激或一激發源。回應於伴隨源而針對複數個時間步長之各者(例如，在時間上倒退)運算模擬環境601之一損失回應。損失回應共同指代在複數個時間步長內回應於伴隨源逐步更新之複數個體素之損失值。基於損失度量之損失回應變化可對應於一損失梯度，該損失梯度指示實體裝置之場回應之變化如何影響損失度量。損失梯度及場梯度可以適當方式組合以判定光子裝置/模擬環境之一結構梯度(例如，模擬環境內之光子裝置之結構參數之變化如何影響損失度量)。一旦知道一特定循環(例如，操作及伴隨模擬)之結構梯度，便可更新結構參數以減小損失度量及產生光子裝置之一經修改描述或設計。
在一些實施例中，連續地執行執行操作模擬及伴隨模擬，判定結構梯度及更新結構參數以減小損失度量的迭代循環作為利用迭代的基於梯度之最佳化之一逆設計程序之部分。一最佳化方案(諸如梯度下降)可用於判定光子裝置之結構參數變化之特定量或程度以逐步減小損失度量。更明確言之，在各循環之後，更新(例如，最佳化)結構參數以減小或以其他方式調整損失度量。迭代地重複操作模擬、伴隨模擬及更新結構參數，直至損失度量實質上收斂或以其他方式低於或在一臨限值或範圍內，使得光子裝置提供所要效能同時維持可製造性。
圖7A係繪示根據本發明之一實施例之用於操作模擬710及伴隨模擬750之例示性時間步長之一流程圖700。流程圖700係一系統(例如，圖5之系統500)可用於執行描述一光子積體電路(例如，在一電磁域中操作之一光學裝置，諸如一光子解多工器)之模擬環境(例如，圖6A至圖6C之模擬環境601)之操作模擬710及伴隨模擬750的一個可能實施方案。在所繪示實施例中，操作模擬利用一時域有限差分(FDTD)方法以針對複數個時間步長回應於對應於一激發源及/或伴隨源之實體刺激模型化複數個體素(例如，圖6A至圖6C中所繪示之複數個體素610)之各者處之場回應(電及磁兩者)或損失回應。
如圖7A中所繪示，流程圖700包含用於操作模擬710及伴隨模擬750之一部分之更新操作。操作模擬710在複數個時間步長內(例如，在具有一指定時間步長大小之預定或條件數目個時間步長內自一初始時間步長至一最後時間步長)發生，且模型化共同對應於場回應之描述模擬環境及/或光子裝置之複數個體素之電場及磁場的變化(例如，自初始場值711)。更明確言之，更新操作(例如，712、714及716)係迭代的且基於場回應、結構參數704及一或多個激發源708。各更新操作之後接著另一更新操作，其等表示在複數個時間步長內在時間上向前之連續步長。例如，更新操作714基於自先前更新操作712判定之場回應、源708及結構參數704來更新場值713 (例如，參見圖7B)。類似地，更新操作716基於自更新操作714判定之場回應來更新場值715 (例如，參見圖7B)。換言之，在操作模擬之各時間步長處，基於光子裝置之先前場回應及結構參數來更新場值(及因此場回應)。一旦執行操作模擬710之最後時間步長，便可判定損失度量718 (例如，基於一預定損失函數720)。可將自方塊752判定之損失梯度處置為伴隨或虛擬源(例如，起源於一輸出區或埠處之實體刺激或激發源)，反向傳播(從最後時間步長逐步通過複數個時間步長直至到達初始時間步長)該等伴隨或虛擬源以判定結構梯度768。
在所繪示實施例中，自一高層級(high-level)僅使用「更新」及「損失」操作以及其等對應梯度操作來以圖形方式(pictorially)描述FDTD求解(例如，操作模擬710)及反向求解(例如，伴隨模擬750)問題。最初設置模擬，其中(例如，經由一初始描述及/或輸入設計)提供結構參數、實體刺激(即，激發源)及模擬環境(及光子裝置)之初始場狀態。如先前所論述，回應於激發源基於結構參數來更新場值。更明確言之，藉由
Figure 02_image001
給出更新操作，其中針對
Figure 02_image003
，
Figure 02_image005
。此處，
Figure 02_image007
對應於用於操作模擬之時間步長(例如，複數個時間步長)之總數目，其中
Figure 02_image009
對應於模擬環境在時間步長
Figure 02_image011
處之場回應(與複數個體素之各者之電場及磁場相關聯之場值)，
Figure 02_image013
對應於模擬環境在時間步長
Figure 02_image011
處之(若干)激發源(與複數個體素之各者之電場及磁場相關聯之源值)，且
Figure 02_image015
對應於描述實體裝置之拓撲及/或材料性質(例如，相對電容率、折射率及類似者)之結構參數。
應注意，使用FDTD方法，可將更新操作具體地陳述為：
Figure 02_image017
即，FDTD更新相對於場項及源項係線性的。具體而言，
Figure 02_image019
及
Figure 02_image021
係取決於結構參數
Figure 02_image023
且分別作用於場
Figure 02_image025
及源
Figure 02_image027
之線性運算子。此處，假定
Figure 02_image029
，其中
Figure 02_image031
係操作模擬中之FDTD場分量之數目。另外，可藉由
Figure 02_image033
給出損失操作(例如，損失函數)，該損失操作將經運算場視為輸入且產生可經減小及/或最小化之一單一實值純量(例如，損失度量)。
在修改或以其他方式最佳化實體裝置之結構參數方面，所產生之相關量係
Figure 02_image035
，其用於描述結構參數之變化對損失值之影響且被表示為圖7A中所繪示之結構梯度768。
圖7B係繪示根據本發明之一實施例之用於操作模擬及伴隨模擬(例如，反向傳播)之更新操作之間的關係之一圖表780。更明確言之，圖7B概述在運算結構梯度(
Figure 02_image035
)時所涉及之操作及伴隨模擬關係，該等關係包含
Figure 02_image038
、
Figure 02_image040
、
Figure 02_image042
及
Figure 02_image044
。操作模擬之更新操作714將複數個體素在第𝒾時間步長處之場值713 (
Figure 02_image046
)更新至對應於場值715 (
Figure 02_image048
)之下一時間步長(即，第𝒾+1時間步長)。梯度755用於針對反向傳播(例如，在時間上倒退之更新操作756)判定
Figure 02_image050
，
Figure 02_image050
結合梯度769至少部分用於計算結構梯度
Figure 02_image052
。
Figure 02_image054
係各場對損失度量(L)之貢獻。應注意，此係偏導數，且因此未考量
Figure 02_image056
之因果關係。因此，利用涵蓋
Figure 02_image056
關係之
Figure 02_image059
。損失梯度(
Figure 02_image061
)亦可用於計算結構梯度(
Figure 02_image063
)且對應於場相對於損失值(L)之總導數。在一特定時間步長(
Figure 02_image065
)處，總梯度(
Figure 02_image067
)等於
Figure 02_image069
Figure 02_image071
之總和。最後，使用對應於場梯度之
Figure 02_image073
，其係來自各時間/更新步長之對
Figure 02_image075
之貢獻。
特定言之，直接運算
Figure 02_image077
及
Figure 02_image079
之記憶體使用量(memory footprint)如此大以至於難以儲存超過少量狀態張量。狀態張量對應於針對一單一模擬時間步長儲存所有FDTD單元(例如，複數個體素)之值。應瞭解，術語「張量」可指代在一數學意義上或如藉由Alphabet公司研發之TensorFlow框架所描述之張量。在一些實施例中，術語「張量」指代對應於遵循特定變換規律之一多維陣列之一數學張量。然而，在大多數實施例中，術語「張量」指代TensorFlow張量，其中一張量被描述為向量及矩陣至潛在更高維度(例如，基本資料類型之n維陣列)之一般化，且不一定限於特定變換規律。例如，對於一般損失函數
Figure 02_image081
，可有必要針對所有時間步長(
Figure 02_image083
)儲存場(
Figure 02_image085
)。此係因為，對於
Figure 02_image087
之大多數選擇，梯度將為
Figure 02_image087
之引數之一函數。歸因於場回應之逐步更新及/或透過損失度量之反向傳播，此困難由於在針對較小
Figure 02_image089
之值之前需要針對
Figure 02_image089
之較大值之
Figure 02_image091
之值的事實而更加複雜，此可防止使用試圖在一緊接時間步長處僅儲存值
Figure 02_image093
之方案。
進一步繪示在運算結構梯度(
Figure 02_image095
)時之一額外困難，
Figure 02_image095
係藉由下式給出：
Figure 02_image097
為完整性起見，將總和(
Figure 02_image099
)中之第一項之完整形式表達為：
Figure 02_image101
基於如藉由方程式(1)描述之
Figure 02_image103
之定義，應注意，
Figure 02_image105
，可在方程式(3)中將其代入以到達用於反向傳播之一伴隨更新(舉例而言，諸如更新操作754、756或758之伴隨更新操作)，該伴隨更新可被表達為：
Figure 02_image107
或
Figure 02_image109
伴隨更新係自稍後時間步長至較早時間步長之損失梯度之反向傳播(例如，自損失度量)，且可被稱為
Figure 02_image111
之一反向求解。更明確言之，損失梯度最初可基於運用損失函數自操作模擬判定之一損失度量之反向傳播。結構梯度(
Figure 02_image113
)之總和中之第二項對應於場梯度，且被表示為：
Figure 02_image115
針對藉由方程式(1)描述之
Figure 02_image117
之特定形式。因此，相關聯總和
Figure 02_image119
之各項取決於針對
Figure 02_image121
之
Figure 02_image123
及針對
Figure 02_image125
之
Figure 02_image127
兩者。由於此兩個項之相依鏈係在相反方向上，因此得出結論，以此方式運算
Figure 02_image129
需要針對所有
Figure 02_image131
儲存
Figure 02_image133
值。在一些實施例中，可藉由場之縮減表示來減輕儲存所有場值之需要。
圖8展示根據本發明之一實施例之用於產生一光子積體電路之一設計之一例示性方法800。應瞭解，方法800係可藉由用一系統(例如，圖5之系統500)執行操作以執行自包含一效能損失及一製造損失之一損失函數判定之一損失度量之迭代最佳化而完成的一逆設計程序。在相同或其他實施例中，方法800可被包含為由至少一機器可存取儲存媒體(例如，非暫時性記憶體)提供之指令，該等指令在藉由一機器執行時將引起該機器執行用於產生光子積體電路之設計之操作。進一步應瞭解，一些或所有程序方塊在方法800中出現之順序不應被視為限制性。實情係，受益於本發明之一般技術者將理解，可按未繪示之多種順序或甚至並行地執行一些程序方塊。
方塊810繪示組態一模擬環境以表示已接收或以其他方式獲得之一光子積體電路(例如，光子裝置)之一初始描述。在一些實施例中，可預期在最佳化之後，光子積體電路具有一特定功能性(例如，作為一光學解多工器執行)。初始描述可描述一模擬環境內之光子積體電路之結構參數。模擬環境可包含共同描述光子裝置之結構參數之複數個體素。該複數個體素之各者與用於描述結構參數之一結構值、用於描述對實體刺激(例如，一或多個激發源)之場回應(例如，在一或多個正交方向上之電場及磁場)之一場值，及用於描述實體刺激之一源值相關聯。一旦已接收或以其他方式獲得初始描述，便組態模擬環境(例如，基於初始描述設定體素之數目、體素之形狀/配置，及用於體素之結構值、場值及/或源值之特定值)。在一些實施例中，初始描述可為實體裝置之一第一描述，其中用於結構參數之值可為在輸入區及輸出區之外之隨機值或空值，使得初始(例如，第一)設計不存在偏差。應瞭解，初始描述或輸入設計可為一相對術語。因此，在一些實施例中，一初始描述可為在模擬環境之內容背景內描述之實體裝置之一第一描述(例如，用於執行一第一操作模擬之一第一輸入設計)。
然而，在其他實施例中，術語初始描述可指代(例如，執行一操作模擬、操作一伴隨模擬及更新結構參數之)一特定循環之一初始描述。在此一實施例中，該特定循環之初始描述或設計可對應於一經修改描述或細化設計(例如，自一先前循環產生)。在一項實施例中，模擬環境包含一設計區，該設計區包含具有可經更新、修改或以其他方式改變以最佳化光子裝置之結構參數之結構參數的複數個體素之一部分。在相同或其他實施例中，結構參數與基於模擬環境之材料性質(例如，相對電容率、折射率等)之實體裝置之幾何邊界及/或材料組合物相關聯。
在一項實施例中，模擬環境包含光學地耦合於一第一通信區與複數個第二通信區之間之一設計區。在一些實施例中，第一通信區可對應於一輸入區或埠(例如，一激發源起源之處)，而第二通信區可對應於複數個輸出區或埠(例如，在設計將包含於在輸入埠處接收之一多通道光學信號中之複數個相異波長通道光學地分離且將該等相異波長通道之各者分別導引至複數個輸出埠之一對應者的一光學解多工器時)。然而，在其他實施例中，第一通信區可對應於一輸出區或埠，而複數個第二通信區對應於複數個輸入埠或區(例如，在設計將在複數個輸入埠之各自者處接收之複數個相異波長信號光學地組合以形成導引至輸出埠之一多通道光學信號的一光學多工器時)。
方塊815展示將複數個相異波長通道之各者映射至複數個第二通信區之一各自者。可憑藉光子裝置之初始描述來將相異波長通道映射至第二通信區。例如，可針對經映射通道選取使光子裝置之一效能度量與自輸入埠至個別輸出埠之功率傳輸相關聯的一損失函數。在一項實施例中，將包含於複數個相異波長通道中之一第一通道映射至一第一輸出埠，此意謂第一通道之光子裝置之效能度量與第一輸出埠相關。類似地，可將其他輸出埠映射至包含於複數個相異波長通道中之相同或不同通道，使得將相異波長通道之各者映射至模擬環境內之複數個輸出埠(即，第二通信區)之一各自者。在一項實施例中，複數個第二通信區包含兩個通信區且複數個相異波長通道包含各自映射至該兩個通信區之一對應者之兩個相異波長通道。在其他實施例中，可存在不同數目個第二通信區(例如，8個區)及各自映射至第二通信區之一各自者之不同數目個通道(例如，8個通道)。
方塊820繪示在回應於一或多個激發源操作之模擬環境內執行光子積體電路之一操作模擬以判定一效能度量。更明確言之，執行一電磁模擬，其中在複數個時間步長內逐步更新光子積體電路之一場回應以判定實體裝置之場回應如何歸因於激發源而改變。複數個體素之場值回應於激發源而更新且至少部分基於整合光子電路之結構參數。另外，在一特定時間步長處之各更新操作亦可至少部分基於一先前(例如，緊接在前之)時間步長。
因此，操作模擬模擬光子裝置(即，光子積體電路)與一實體刺激(即，一或多個激發源)之間之一互動以判定光子裝置回應於該實體刺激之一模擬輸出(例如，在輸出埠或區之一或多者處)。互動可對應於在電磁域內之實體刺激至少部分歸因於光子裝置之結構參數及管理光子裝置之操作之基礎物理學的擾動、重新傳輸、衰減、分散、折射、反射、繞射、吸收、散射、放大或其他之任一者或組合。因此，操作模擬模擬在複數個時間步長內(例如，以一預定步長大小從一初始時間步長至最後時間步長)模擬環境之場回應如何歸因於激發源而改變。
在一些實施例中，模擬輸出可用於判定光子積體電路之一或多個效能度量。例如，激發源可對應於各自映射至複數個輸出埠之一者之複數個相異波長通道之一選定者。當執行操作模擬時，激發源可起源於第一通信區(即，輸入埠)處或安置成靠近第一通信區。在操作模擬期間，在映射至複數個相異波長通道之選定者之輸出埠處的場回應接著可用於針對選定相異波長通道判定光子積體電路之一模擬功率傳輸。換言之，操作模擬可用於判定效能度量，包含判定激發源自第一通信區、通過設計區且至映射至複數個相異波長通道之選定者之複數個第二通信區之一各自者的一模擬功率傳輸。在一些實施例中，激發源可覆蓋複數個輸出埠之所有者之頻譜(例如，激發源至少跨越複數個相異波長通道之各者之帶通區以及對應過渡帶區及對應阻帶區之至少部分的目標頻率範圍)以判定與用於光子積體電路之相異波長通道之各者相關聯的一效能度量(即，模擬功率傳輸)。在一些實施例中，隨機地選擇跨越複數個相異波長通道之一給定者之通帶的一或多個頻率以最佳化設計(例如，在具有包含通帶中之滿足目標規格之漣波之各通帶之一全寬度時，批次梯度下降)。在相同或其他實施例中，複數個相異波長通道之各者具有一共同頻寬與不同中心波長。
方塊825展示基於與一效能度量相關聯之一效能損失及與一最小特徵大小相關聯之一製造損失來判定一損失度量。在一些實施例中，損失度量係經由包含效能損失及製造損失兩者作為輸入值之一損失函數來判定。效能損失可對應於光子積體電路之效能度量與一目標效能度量之間的一差異。在一些實施例中，可提供用於模擬環境之設計區之一最小特徵大小以促成由逆設計程序產生之設計之可製造性。製造損失至少部分基於設計區之最小特徵大小及結構參數。更明確言之，製造損失強制執行設計之最小特徵大小使得設計區不具有具小於最小特徵大小之一直徑的結構元件。此幫助此系統提供滿足特定可製造性及/或良率要求之設計。在一些實施例中，製造損失亦幫助強制執行設計之二值化(即，設計包含不均勻地散佈之第一材料及第二材料之區，而非將第一材料及第二材料混合在一起以形成一第三材料)。在相同或其他實施例中，最小特徵大小可包含一最小特徵形狀。
在一些實施例中，由逆設計程序產生之設計最佳化第一材料(例如，圖4A之第一材料421)或第二材料(例如，圖4A之第二材料423)之至少一者，以在分散區(例如，圖4A之分散區430)內結構化為可藉由具有一預定寬度之一特徵形狀示意性地再現。例如，可用具有對應於特徵形狀之一大小及對應於預定寬度之一寬度的一刷子來再現(例如，繪製)設計區內之第一材料及/或第二材料之形狀及配置。在一項實施例中，特徵形狀包含一圓形、一方形、一六邊形、一八邊形或任何其他形狀之至少一者。在一些實施例中，特徵形狀係可旋轉、翻轉及/或與另一特徵形狀之一部分重疊之一單一形狀。例如，若特徵形狀係八邊形，則各自對應於特徵形狀之兩個重疊八邊形可彼此部分重疊以產生一不同形狀。在其他實施例中，特徵形狀可僅為不重疊之一可拼接(tileable)單元(即，設計之一不可分割的單元)。在相同或其他實施例中，特徵形狀之預定寬度可在20 nm與200 nm之間。例如，特徵形狀之預定寬度可為100 nm、140 nm、180 nm或其他。在一些實施例中，特徵形狀及特徵形狀之預定寬度對應於設計之最小特徵大小。例如，圖4A之分散區430-1之第一材料421可藉由具有100 nm之一寬度之八邊形示意性地再現。
返回參考圖8，在一些實施例中，藉由產生具有等於最小特徵大小之一寬度之一迴旋核心(convolution kernel) (例如，圓形、方形、八邊形或其他)來判定製造損失。接著，使迴旋核心移位通過模擬環境之設計區以判定設計區內之將迴旋核心擬合於設計區內而未延伸超出設計區的體素位置(即，個別體素)。接著，在體素位置之各者處將迴旋核心與相關聯於體素位置之結構參數迴旋以判定第一製造值。接著，反轉結構參數且在體素位置之各者處再次將迴旋核心與經反轉之結構參數迴旋以判定第二製造值。隨後，組合第一及第二製造值以判定用於設計區之製造損失。判定製造損失之此程序可促成具有具小於一臨限大小之一量值(即，最小特徵大小之一半之倒數)之一曲率半徑之設計區的結構元件。
方塊830繪示經由損失函數反向傳播損失度量通過模擬環境以判定結構參數之變化對損失度量之一影響(即，結構梯度)。將損失度量處置為一伴隨或虛擬源，且在一反向模擬中將其自一最後時間步長逐步反向傳播至較早時間步長以判定光子積體電路之結構梯度。
方塊835展示藉由更新結構參數以調整損失度量而修改光子積體電路之一設計(例如，產生一經修改描述)。在一些實施例中，調整損失度量可減小損失度量。然而，在其他實施例中，可以不一定減小損失度量之一方式調整或以其他方式補償損失度量。在一項實施例中，調整損失度量可維持可製造性，同時在參數化空間內提供一大體方向以獲得最終將導致增加之效能同時亦維持裝置可製造性及目標效能度量的設計。在一些實施例中，藉由在操作及伴隨模擬之一循環之後經由一梯度下降演算法、馬可夫鏈蒙地卡羅演算法或其他最佳化技術利用一最佳化方案來產生經修改描述。換言之，可連續地執行模擬光子積體電路、判定一損失度量、反向傳播損失度量及更新結構參數以調整損失度量的迭代循環，直至損失度量實質上收斂，使得效能度量與目標效能度量之間之差異在一臨限範圍內同時亦考慮到歸因於製造損失之可製造性及二值化。在一些實施例中，術語「收斂」可簡單指示差異在臨限範圍內及/或低於某一臨限值。
方塊840繪示判定損失度量是否實質上收斂使得效能度量與目標效能度量之間的差異在一臨限範圍內。可執行用選自複數個相異波長通道之激發源模擬光子積體電路、反向傳播損失度量及藉由更新結構參數以減小損失度量來修改設計的迭代循環直至損失度量實質上收斂，使得效能度量與目標效能度量之間之差異在一臨限範圍內。在一些實施例中，在執行循環時修改整合光子電路之設計區之結構參數以引起光子積體電路之設計區將複數個相異波長通道之各者與經由第一通信區接收之一多通道光學信號光學地分離，且基於方塊815之映射將複數個相異波長通道之各者導引至複數個第二通信區之對應者。
方塊845繪示輸出光子積體電路之一經最佳化設計，其中已更新結構參數以使效能度量與目標效能度量之間之差異在一臨限範圍內同時亦強制執行一最小特徵大小及二值化。
上文所說明之程序係依據電腦軟體及硬體來描述。所描述之技術可構成體現於一有形或非暫時性機器(例如，電腦)可讀儲存媒體內之機器可執行指令，該等機器可執行指令在藉由一機器執行時將引起機器執行所描述之操作。另外，程序可體現於諸如一特定應用積體電路(「ASIC」)或其他者之硬體內。
一有形機器可讀儲存媒體包含以可供一機器(例如，一電腦、網路裝置、個人數位助理、製造工具、具有一組一或多個處理器之任何裝置等)存取之一非暫時性形式提供(即，儲存)資訊的任何機構。例如，一機器可讀儲存媒體包含可記錄/不可記錄媒體(例如，唯讀記憶體(ROM)、隨機存取記憶體(RAM)、磁碟儲存媒體、光學儲存媒體、快閃記憶體裝置等)。
包含[摘要]中所描述之內容之本發明之所繪示實施例之上述描述不意欲為詳盡的或將本發明限於所揭示之精確形式。如熟習相關技術者將認知，雖然本文中出於闡釋性目的描述本發明之特定實施例及實例，但在本發明之範疇內，各種修改係可行的。
可鑑於上述詳細描述對本發明進行此等修改。以下發明申請專利範圍中所使用之術語不應被解釋為將本發明限於說明書中所揭示之特定實施例。實情係，本發明之範疇應完全由以下發明申請專利範圍判定，以下發明申請專利範圍應根據發明申請專利範圍解釋之既定原則來解釋。
100:系統 101-A:光學通信裝置 101-B:光學通信裝置 105:控制器 107:介面裝置 109:多工器/解多工器 110:光學信號/多通道光學信號/相異波長通道 111:光源 113:光感測器 115:處理器 117:記憶體 202:輸入區 204-A:第一輸出區 204-B:第二輸出區 206:分離距離 212:通道頻寬 213:通帶區 214:功率傳輸 220:解多工器 250:多工器 252:輸出區 254:輸入區 256:分離距離 302:輸入區(圖3A)/基板(圖3B至圖3D) 304:輸出區(圖3A)/介電層(圖3B至圖3D) 304-A:第一輸出區 304-B:第二輸出區 306:分離距離(圖3A)/作用層/作用區(圖3B) 308:包覆層 320:光子解多工器/解多工器 321:寬度 322:周邊邊界區/周邊區 323:長度 325:寬度 327:長度 330:分散區 331:第一側 332:第一材料 333:第二側 334:第二材料 336:介面 402:輸入區 404-A:第一輸出區 404-B:第二輸出區 420:光子解多工器/解多工器 421:第一材料 422:周邊區 423:第二材料 430-1至430-6:分散區 432:材料介面圖案 434:材料介面圖案 436:材料介面圖案 438:材料介面圖案 440:材料介面圖案 442:材料介面圖案 441-A:第一突部 441-B:第二突部 443-A:第一島狀物 443-B:第二島狀物 461:樹突狀結構 500:系統 505:控制器 507:顯示器 509:輸入裝置 511:通信裝置 513:網路 515:遠端資源 521:匯流排 523:匯流排 531:處理器 533:記憶體 535:本端儲存器 539:光子裝置模擬器 541:操作模擬引擎/模組 543:製造損失計算邏輯/模組 545:計算邏輯/模組 547:伴隨模擬引擎/模組 549:最佳化引擎/模組 601-A至601-C:模擬環境 602:輸入埠/輸入區 604:輸出埠/輸出區 604-A:輸出埠 604-B:輸出埠 610:體素 630:設計區 636:介面 700:流程圖 704:結構參數 708:激發源/源 710:操作模擬 711:初始場值 712:更新操作 713:場值 714:更新操作 715:場值 716:更新操作 718:損失度量 720:損失函數 750:伴隨模擬 752:方塊 754:更新操作 755:梯度 756:更新操作 758:更新操作 768:結構梯度 769:梯度 780:圖表 800:方法 810:方塊 815:方塊 820:方塊 825:方塊 830:方塊 835:方塊 840:方塊 845:方塊
參考以下圖描述本發明之非限制性及非窮舉性實施例，其中除非另有指定，否則在各個視圖各處，相同元件符號指代相同部分。在適當之處，並非必須標記一元件之所有例項以免使圖式混亂。圖式不一定按比例，而是重點在於繪示所描述之原理。
圖1係繪示根據本發明之一實施例之用於經由一光學信號在兩個光學通信裝置之間進行光學通信之一系統之一功能方塊圖。
圖2A及圖2B分別繪示根據本發明之一實施例之一例示性解多工器及多工器。
圖2C繪示根據本發明之一實施例之一多通道光學信號之一例示性相異波長通道。
圖3A至圖3D繪示根據本發明之一實施例之一例示性光子解多工器之不同視圖。
圖4A至圖4L繪示根據本發明之一實施例之例示性光子解多工器之一分散區及對應介面圖案之一更詳細橫截面視圖。
圖5係繪示根據本發明之一實施例之用於產生一光子積體電路之一設計之一系統之一功能方塊圖。
圖6A繪示根據本發明之一實施例之描述一光子積體電路之一示範模擬環境。
圖6B繪示根據本發明之一實施例之一光子積體電路之一例示性操作模擬。
圖6C繪示根據本發明之一實施例之在模擬環境內藉由反向傳播一損失值而進行之一例示性伴隨模擬。
圖7A係繪示根據本發明之一實施例之用於操作模擬及伴隨模擬之例示性時間步長(time step)之一流程圖。
圖7B係繪示根據本發明之一實施例之自一操作模擬及一伴隨模擬判定之梯度之間的一關係之一圖表。
圖8展示根據本發明之一實施例之用於產生一光子積體電路之一設計之一例示性方法。
302:輸入區
304:輸出區
304-A:第一輸出區
304-B:第二輸出區
306:分離距離
320:光子解多工器/解多工器
321:寬度
322:周邊邊界區/周邊區
323:長度
325:寬度
327:長度
330:分散區
331:第一側
333:第二側

Claims (20)

  1. 一種光子解多工器，其包括： 一輸入區，其經組態以接收包含一第一波長通道及一第二波長通道之一多通道光學信號，該第二波長通道不同於該第一波長通道； 一分散區，其光學地耦合至該輸入區，其中該分散區包含與一第二材料不均勻地散佈之一第一材料以形成複數個介面，該複數個介面之各者對應於該分散區之一折射率變化且共同結構化(collectively structure)該分散區以當該輸入區接收該多通道光學信號時，將該第一波長通道及該第二波長通道與該多通道光學信號光學地分離；及 至少兩個輸出區，其包含一第一輸出區及一第二輸出區，該第一輸出區及該第二輸出區各者光學地耦合至該分散區，其中該第一輸出區經定位以從該分散區接收自該多通道光學信號解多工之該第一波長通道，且其中該第二輸出區經定位以從該分散區接收自該多通道光學信號解多工之該第二波長通道。
  2. 如請求項1之光子解多工器，其中該分散區進一步經結構化以在該輸入區接收該多通道光學信號時，在100 µm 2或更小之一預定區域內將該第一波長通道及該第二波長通道與該多通道光學信號光學地分離。
  3. 如請求項1之光子解多工器，其中該分散區進一步經結構化，使得在該輸入區接收該多通道光學信號時，針對包含於該第一波長通道中之一給定波長，該光子解多工器具有從該輸入區通過該分散區而至該第一輸出區之-2 dB或更大之一功率傳輸。
  4. 如請求項3之光子解多工器，其中該分散區進一步經結構化，使得該光子解多工器具有用於從該輸入區至該第二輸出區之該給定波長之傳輸之-30 dB或更小之一不利功率傳輸。
  5. 如請求項1之光子解多工器，其中該分散區進一步經結構化，使得在該光子解多工器接收該多通道光學信號時，該光子解多工器具有在該第一波長通道之一通帶區內之+/- 1 dB或更小之一漣波或該多通道光學信號之-40 dB或更小之一最大功率反射之至少一者。
  6. 如請求項1之光子解多工器，其中該第一輸出區及該第二輸出區之各者對應於沿著一共同方向對準且彼此分離達50 μm或更小之一波導。
  7. 如請求項1之光子解多工器，其中該第一波長通道及該第二波長通道具有一共同頻寬。
  8. 如請求項1之光子解多工器，其中該至少兩個輸出區對應於包含該第一輸出區及該第二輸出區之恰好兩個輸出區，該恰好兩個輸出區之各者係個別地映射至該第一波長通道及該第二波長通道之一者。
  9. 如請求項1之光子解多工器，其中藉由由包含該第二材料之一均勻組合物形成之一周邊區包圍具有該第一材料及該第二材料之不均勻散佈之該分散區。
  10. 如請求項9之光子解多工器，其中該分散區包含由該第一材料形成之一第一突部或由該第二材料形成之一第二突部之至少一者，其自該分散區與朝向該分散區之該周邊區交會之一介面延伸。
  11. 如請求項9之光子解多工器，其中該分散區包含由藉由該第二材料包圍之該第一材料形成之一第一島狀物或由藉由該第一材料包圍之該第二材料形成之一第二島狀物之至少一者。
  12. 如請求項9之光子解多工器，其中該分散區包含一樹突狀結構，其中該樹突狀結構具有沿著一對應方向而大小在增加與減小之間交替之一寬度之一分枝形狀，及其中該相應方向係垂直於該樹突狀結構之該寬度。
  13. 至少一種非暫時性機器可存取儲存媒體，其提供指令，該等指令在藉由一機器執行時，將引起該機器執行用於產生表示一光子解多工器之一示意圖之操作，該光子解多工器包括： 一輸入區，其經組態以接收包含一第一波長通道及一第二波長通道之一多通道光學信號，該第二波長通道不同於該第一波長通道； 一分散區，其光學地耦合至該輸入區，其中該分散區包含不均勻地散佈以形成複數個介面之一第一材料及一第二材料，該複數個介面之各者對應於該分散區之一折射率變化且共同結構化該分散區以當該輸入區接收該多通道光學信號時，將該第一波長通道及該第二波長通道與該多通道光學信號光學地分離；及 至少兩個輸出區，其包含一第一輸出區及一第二輸出區，該第一輸出區及該第二輸出區各者光學地耦合至該分散區，其中該第一輸出區經定位以從該分散區接收自該多通道光學信號解多工之該第一波長通道，且其中該第二輸出區經定位以從該分散區接收自該多通道光學信號解多工之該第二波長通道。
  14. 如請求項13之至少一種非暫時性機器可存取儲存媒體，其中該示意圖可藉由具有一預定寬度之一特徵形狀而產生。
  15. 如請求項14之至少一種非暫時性機器可存取儲存媒體，其中該特徵形狀之該預定寬度在20 nm與200 nm之間，及其中該特徵形狀包含一圓形、一方形、一六邊形或一八邊形之至少一者。
  16. 如請求項14之至少一種非暫時性機器可存取儲存媒體，其中該特徵形狀之該預定寬度強制執行在該分散區內之該第一材料或該第二材料之一最小特徵大小。
  17. 如請求項16之至少一種非暫時性機器可存取儲存媒體，其中該第一材料或該第二材料之該最小特徵大小引起該複數個介面不具有以下至少一者：具有小於一第一臨限大小之一量值之一曲率半徑或小於一第二臨限大小之該第一材料或該第二材料之一最小寬度。
  18. 一種電腦實施方法，其包括： 產生表示一光子解多工器之一示意圖，該光子解多工器包含： 一輸入區，其經組態以接收包含一第一波長通道及一第二波長通道之一多通道光學信號，該第二波長通道不同於該第一波長通道； 一分散區，其光學地耦合至該輸入區，其中該分散區包含不均勻地散佈以形成複數個介面之一第一材料及一第二材料，該複數個介面之各者對應於該分散區之一折射率變化且共同結構化該分散區以當該輸入區接收該多通道光學信號時，將該第一波長通道及該第二波長通道與該多通道光學信號光學地分離；及 至少兩個輸出區，其包含一第一輸出區及一第二輸出區，該第一輸出區及該第二輸出區各者光學地耦合至該分散區，其中該第一輸出區經定位以從該分散區接收自該多通道光學信號解多工之該第一波長通道，且其中該第二輸出區經定位以從該分散區接收自該多通道光學信號解多工之該第二波長通道；及 儲存該示意圖於一機器可存取儲存媒體上。
  19. 如請求項18之電腦實施方法，其中該示意圖可藉由具有一預定寬度之一特徵形狀而產生。
  20. 如請求項19之電腦實施方法，其中該特徵形狀之該預定寬度在20 nm與200 nm之間，及其中該特徵形狀包含一圓形、一方形、一六邊形或一八邊形之至少一者。
TW111124428A 2019-11-15 2020-11-05 雙通道整合光子波長解多工器 TWI784919B (zh)

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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10862610B1 (en) 2019-11-11 2020-12-08 X Development Llc Multi-channel integrated photonic wavelength demultiplexer
US11187854B2 (en) * 2019-11-15 2021-11-30 X Development Llc Two-channel integrated photonic wavelength demultiplexer
US11621784B1 (en) * 2021-09-29 2023-04-04 X Development Llc Photonic integrated circuit with optical deinterleaver
US11962351B2 (en) 2021-12-01 2024-04-16 X Development Llc Multilayer photonic devices with metastructured layers
US11609392B1 (en) * 2022-02-24 2023-03-21 X Development Llc Photonic coupler
US20240056211A1 (en) * 2022-08-12 2024-02-15 X Development Llc Metastructured photonic devices for multiplexing or demultiplexing of optical signals
US11968034B2 (en) * 2022-08-18 2024-04-23 X Development Llc Metastructured photonic devices for binary tree multiplexing or demultiplexing of optical signals
CN115343803A (zh) * 2022-08-23 2022-11-15 中国地质大学（武汉） 一种设于硅基片上的环形波长解复用器及其设计方法
CN115189799B (zh) * 2022-09-08 2022-12-23 之江实验室 一种基于逆向设计及波长自动反馈的宽带波分解复用器

Family Cites Families (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4279464A (en) 1979-12-18 1981-07-21 Northern Telecom Limited Integrated optical wavelength demultiplexer
US4696536A (en) 1985-07-01 1987-09-29 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Integrated optical wavelength demultiplexer
US5647036A (en) * 1994-09-09 1997-07-08 Deacon Research Projection display with electrically-controlled waveguide routing
US5774693A (en) 1996-02-28 1998-06-30 Kaimei Electronic Corp. Multiprocessor parallel computing device for application to the execution of a numerical simulation software program
GB9710062D0 (en) 1997-05-16 1997-07-09 British Tech Group Optical devices and methods of fabrication thereof
US6281997B1 (en) 1997-09-11 2001-08-28 Ciena Corporation Dense WDM optical multiplexer and demultiplexer
FR2779274B1 (fr) * 1998-05-27 2000-08-18 St Microelectronics Sa Circuit integre avec couche d'arret et procede de fabrication associe
CA2281044A1 (en) * 1998-09-01 2000-03-01 Yihao Cheng Optical multiplexor/demultiplexor
US6567196B1 (en) 1999-03-22 2003-05-20 Ciena Corporation Dense WDM optical multiplexer and demultiplexer
CA2285128C (en) 1999-10-06 2008-02-26 Nortel Networks Corporation Switch for optical signals
US6289147B1 (en) * 1999-11-01 2001-09-11 Bbv Design Bv Passband flattening of a phasar
US6734453B2 (en) 2000-08-08 2004-05-11 Translucent Photonics, Inc. Devices with optical gain in silicon
US6539150B2 (en) * 2000-12-13 2003-03-25 Alcatel Optronics Uk Limited Segmented waveguide flattening the passband of a phasar
DE60235781D1 (de) * 2001-02-09 2010-05-12 Panasonic Corp Optische Vorrichtung
JP3842660B2 (ja) * 2001-02-09 2006-11-08 松下電器産業株式会社 光デバイス
US6618535B1 (en) 2001-04-05 2003-09-09 Nortel Networks Limited Photonic bandgap device using coupled defects
JP3726062B2 (ja) * 2001-04-25 2005-12-14 日本発条株式会社 光合分波器
US20030011833A1 (en) * 2001-04-26 2003-01-16 Vladimir Yankov Planar holographic multiplexer/demultiplexer
US6965470B2 (en) * 2001-08-20 2005-11-15 Texas Instruments Incorporated Adaptive control of power transients
US6772076B2 (en) 2002-04-24 2004-08-03 Ffc Limited Electromagnetic field analysis method based on FDTD method, medium representation method in electromagnetic field analysis, simulation device, and storage medium
US20030206681A1 (en) * 2002-05-02 2003-11-06 Vyoptics, Inc. Integrating element for optical fiber communication systems based on photonic multi-bandgap quasi-crystals having optimized transfer functions
AU2003234438A1 (en) * 2002-05-02 2003-11-17 Vyoptics, Inc. Integrating element for optical fiber communication systems based on photonic multi-bandgap quasi-crystals having optimized transfer functions
US20030206694A1 (en) * 2002-05-02 2003-11-06 Vyoptics, Inc. Photonic multi-bandgap lightwave device and methods for manufacturing thereof
JP2004163731A (ja) * 2002-11-14 2004-06-10 Seiko Epson Corp 光デバイスおよびその製造方法
JP4383815B2 (ja) * 2002-12-26 2009-12-16 日本電信電話株式会社 ホログラフィック波動伝達媒体の製造方法
US20040225483A1 (en) 2003-02-24 2004-11-11 Michal Okoniewski Fdtd hardware acceleration system
US6904203B2 (en) * 2003-05-23 2005-06-07 Metrophotonics Inc. Passband flattened demultiplexer employing segmented reflectors and other devices derived therefrom
EP1754330A4 (en) * 2004-06-04 2010-12-22 Enablence Inc TWO-STAGE OPTICAL BIDIRECTIONAL TRANSMITTER
US7894699B2 (en) 2006-10-16 2011-02-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Photonic based interconnects for interconnecting multiple integrated circuits
US7466884B2 (en) 2006-10-17 2008-12-16 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Photonic-interconnect systems for reading data from memory cells and writing data to memory integrated circuits
US8724507B2 (en) 2008-02-04 2014-05-13 Zte Corporation System and method for implementing an automatic discovery function in a DWDM network
US8532446B2 (en) 2011-03-15 2013-09-10 Oracle International Corporation Scalable silicon photonic multiplexers and demultiplexers
US8792786B2 (en) 2012-03-15 2014-07-29 Massachusetts Institute Of Technology Photonically-enabled in-flight data reorganization
US20160012176A1 (en) 2012-11-30 2016-01-14 Coriant Advanced Technology, LLC Methods for designing photonic devices
US9217829B2 (en) 2012-11-30 2015-12-22 Coriant Advanced Technology, LLC Compact and low loss Y-junction for submicron silicon waveguide
KR102048251B1 (ko) 2013-03-14 2019-11-25 삼성전자주식회사 메모리 칩 패키지, 그것을 포함하는 메모리 시스템, 그것의 구동 방법
US20140365188A1 (en) 2013-06-06 2014-12-11 Acacia Communications Inc. Sparse finite-difference time domain simulation
WO2015034802A1 (en) 2013-09-06 2015-03-12 Massachusetts Institute Of Technology Isa extensions for synchronous coalesced accesses
US9730643B2 (en) 2013-10-17 2017-08-15 Siemens Healthcare Gmbh Method and system for anatomical object detection using marginal space deep neural networks
US9231698B2 (en) * 2014-02-25 2016-01-05 Google Inc. Optical communication terminal
JP6372142B2 (ja) 2014-04-11 2018-08-15 沖電気工業株式会社 光波長分波器
US9577780B2 (en) 2014-06-26 2017-02-21 Luxtera, Inc. Method and system for a polarization immune wavelength division multiplexing demultiplexer
US9250388B1 (en) 2014-07-17 2016-02-02 Intel Corporation Optical device using echelle grating that provides total internal reflection of light
EP3203282B1 (en) * 2014-10-02 2022-01-26 Nec Corporation Rib type optical waveguide and optical multiplexer/demultiplexer using same
US9912408B2 (en) 2014-10-28 2018-03-06 Luxtera, Inc. Method and system for silicon photonics wavelength division multiplexing transceivers
US9589757B1 (en) 2015-09-23 2017-03-07 Jefferson Science Associates, Llc Nano-patterned superconducting surface for high quantum efficiency cathode
GB201516870D0 (en) * 2015-09-23 2015-11-04 Roadmap Systems Ltd Optical systems
US20170293835A1 (en) 2016-04-06 2017-10-12 Saudi Arabian Oil Company Data-driven simulation method of multiphase choke performance
US10725290B2 (en) 2016-04-29 2020-07-28 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Device components formed of geometric structures
US10970887B2 (en) 2016-06-24 2021-04-06 Rensselaer Polytechnic Institute Tomographic image reconstruction via machine learning
US20180018757A1 (en) 2016-07-13 2018-01-18 Kenji Suzuki Transforming projection data in tomography by means of machine learning
KR101885080B1 (ko) 2016-10-19 2018-08-03 아이오솔루션(주) 파장 다중화 광수신 모듈
CN106405730B (zh) * 2016-11-28 2019-09-24 华中科技大学 一种硅基粗波分器件
FR3086096B1 (fr) 2018-09-14 2021-08-27 Soitec Silicon On Insulator Procede de realisation d'un substrat avance pour une integration hybride
JP7322646B2 (ja) 2019-10-01 2023-08-08 住友電気工業株式会社 波長可変レーザ素子およびその製造方法
US10862610B1 (en) 2019-11-11 2020-12-08 X Development Llc Multi-channel integrated photonic wavelength demultiplexer
US11187854B2 (en) * 2019-11-15 2021-11-30 X Development Llc Two-channel integrated photonic wavelength demultiplexer

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