TW202235886A - 電阻元件金屬層雜質的檢測方法 - Google Patents
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Abstract
本發明公開了一種電阻元件金屬層雜質的檢測方法，在電阻元件金屬層上施加脈衝電壓以產生測試諧振波，將測試諧振波與標準諧振波進行比較可以用來判斷金屬層是否包含雜質。
Description
本發明係有關電阻元件金屬層雜質的檢測方法，特別是一種利用脈衝電壓波形檢測金屬層中雜質的方法。
晶片電阻、柱狀電阻等常見被動元件，電阻體皆使用金屬皮膜，在製造過程中若有機物或無機物等雜質附著於金屬皮膜中，在通電時，會導致阻值改變，電阻元件的壽命亦會受影響。
一般電阻元件為檢測阻值為主，但無法得知電阻元件的金屬層是否存在雜質，因此有阻值達標準，但金屬層存在雜質的情況。
本發明針對電阻元件金屬層施加非破壞性的高速及低能量脈衝電壓，使金屬層產生諧振波，當金屬層產生的諧振波形有異常衰退或有異常上下波動，判斷該金屬層含有雜質。
本發明提供一種電阻元件金屬層雜質的檢測方法，包含：
施加一脈衝電壓於一無雜質電阻元件金屬層，以建立一標準諧振波；
施加該脈衝電壓於一測試電阻元件金屬層，以取得一測試諧振波；以及
比對該標準諧振波與該測試諧振波：
若比例超過一設定值，則判斷該測試電阻元件金屬層的雜質成份過高；或者
若比例無超過該設定值，則判斷該測試電阻元件金屬層的雜質成份符合標準。
一種電阻元件金屬層雜質的檢測方法，包含：
施加一脈衝電壓於一電阻元件金屬層，以取得一諧振波；以及
比對該諧振波在不同週期的波形：
若比例超過一設定值，則判斷該電阻元件金屬層的雜質含量過高；或者
若比例無超過該設定值，則判斷該測試電阻元件金屬層的雜質成份符合標準。
一種電阻元件金屬層雜質的檢測方法，包含：
量測一電阻元件金屬層的一第一阻值；
施加一脈衝電壓於該電阻元件金屬層；
量測該電阻元件金屬層的一第二阻值；以及
比對該第一阻值與該第二阻值的一變化量：
若該變化量超過一設定值，則判斷該電阻元件金屬層的雜質含量過高；或者
若該變化量無超過該設定值，則判斷該測試電阻元件金屬層的雜質成份符合標準。
以下將詳述本發明之各實施例，並配合圖式作為例示，以利讀者具有較佳的理解。除了這些詳細說明之外，本發明亦可廣泛地施行於其它的實施例中，任何所述實施例的輕易替代、修改、等效變化都應理解被包含在本發明之範圍內，專利範圍之界定應以申請專利範圍為準。特別注意的是，圖式僅為示意之用，並非代表元件實際之尺寸或數量，有些細節可能未完全繪出，以求圖式之簡潔。
本發明的檢測方法是對電阻元件的金屬層施加3KV~6KV脈衝電壓，並量測金屬層所產生諧振波，當金屬層產生的諧振波形有異常衰退或有異常上下波動，判斷該金屬層含有雜質。
或者，預先設定標準品的諧振波形，在量產階段時，對每一待檢測的電阻元件施加脈衝電壓，若電阻元件的金屬層含有雜質時，諧振波幅會快速衰退，諧振波面積相對變小，若標準品與待測物的諧振波面積比例超過設定值時，判斷該金屬層含有雜質。
在一實施例中，先施加4.5KV脈衝電壓於無雜質電阻元件金屬層，以建立標準諧振波，再施加4.5KV脈衝電壓於測試電阻元件金屬層，以取得測試諧振波，最後比對標準諧振波與測試諧振波，如圖1所示，若比例超過一設定值，則判斷該測試電阻元件金屬層的雜質成份過高，反之則符合標準。其中該設定值為第一週期C1的測試諧振波的振幅小於第一週期C1的標準諧振波的振幅達10%以上，或者為第一週期C1的測試諧振波的波形面積小於第一週期C1的標準諧振波的波形面積達1%以上。
在另一實施例，施加4.5KV脈衝電壓於電阻元件金屬層，以取得諧振波，以及比對諧振波在不同週期的波形，如圖2所示，若比例超過一設定值，則判斷電阻元件金屬層的雜質成份過高，反之則符合標準。其中該設定值為該諧振波在第二週期的振幅小於第一週期的振幅達30%以上。
在其他實施例中，先量測電阻元件金屬層的第一阻值，施加4.5KV脈衝電壓於電阻元件金屬層，再量測電阻元件金屬層的第二阻值，最後比對施加脈衝電壓前後的第一阻值與第二阻值的變化量，若變化量超過一設定值，則判斷電阻元件金屬層的雜質含量過高，反之則符合標準。其中該設定值為0.1%。
在其他實施例中，電阻元件金屬層為多層結構，且可為不同金屬層。在操作上，可施予多次脈衝電壓，並選擇於第二或三次的脈衝電壓進行量測，可取得較穩定的諧振波，增加判斷的準確度。
C1:第一週期
C2:第二週期
圖1為標準品及不良品的金屬層諧振波形對照圖。
圖2為不良品的金屬層諧振波形圖。
C1:第一週期
Claims (11)
- 一種電阻元件金屬層雜質的檢測方法，包含： 施加一脈衝電壓於一無雜質電阻元件金屬層，以建立一標準諧振波； 施加該脈衝電壓於一測試電阻元件金屬層，以取得一測試諧振波；以及 比對該標準諧振波與該測試諧振波： 若比例超過一設定值，則判斷該測試電阻元件金屬層的雜質成份過高；或者 若比例無超過該設定值，則判斷該測試電阻元件金屬層的雜質成份符合標準。
- 如請求項1所述之檢測方法，其中該脈衝電壓範圍為3KV~6KV。
- 如請求項1所述之檢測方法，其中該設定值為第一週期的該測試諧振波的振幅小於第一週期的該標準諧振波的振幅達10%以上。
- 如請求項1所述之檢測方法，其中該設定值為第一週期的該測試諧振波的波形面積小於第一週期的該標準諧振波的波形面積達1%以上。
- 如請求項1所述之檢測方法，其中該無雜質電阻元件金屬層及該測試電阻元件金屬層為多層結構。
- 一種電阻元件金屬層雜質的檢測方法，包含： 施加一脈衝電壓於一電阻元件金屬層，以取得一諧振波；以及 比對該諧振波在不同週期的波形： 若比例超過一設定值，則判斷該電阻元件金屬層的雜質含量過高；或者 若比例無超過該設定值，則判斷該電阻元件金屬層的雜質成份符合標準。
- 如請求項6所述之檢測方法，其中該脈衝電壓範圍為3KV~6KV。
- 如請求項6所述之檢測方法，其中該設定值為該諧振波在第二週期的振幅小於第一週期的振幅達30%以上。
- 如請求項6所述之檢測方法，其中該電阻元件金屬層為多層結構。
- 一種電阻元件金屬層雜質的檢測方法，包含： 量測一電阻元件金屬層的一第一阻值； 施加一脈衝電壓於該電阻元件金屬層； 量測該電阻元件金屬層的一第二阻值；以及 比對該第一阻值與該第二阻值的一變化量： 若該變化量超過一設定值，則判斷該電阻元件金屬層的雜質含量過高；或者 若該變化量無超過該設定值，則判斷該電阻元件金屬層的雜質成份符合標準。
- 如請求項10所述之檢測方法，其中該設定值為0.1%。
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