TW202234089A - 放射線檢測器、放射線檢測器的製造方法、以及閃爍板單元 - Google Patents
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Abstract
放射線檢測器，是具備：設有受光面的檢測板、及在沿著受光面彼此鄰接的狀態下被配置於受光面上的第1閃爍板及第2閃爍板、及防濕層。第1閃爍板，是具有：第1基板、及包含複數柱狀結晶的第1閃爍器層。第2閃爍板，是具有：第2基板、及包含複數柱狀結晶的第2閃爍器層。第1閃爍器層，是至少到達第1基板的第1部分。第2閃爍器層，是至少到達第2基板的第2部分。防濕層，是橫跨第1閃爍板及第2閃爍板並連續。
Description
本發明，是有關於放射線檢測器、放射線檢測器的製造方法、及閃爍板單元。
已知的放射線檢測器，具備：設有受光面的檢測板、及被配置於受光面上的閃爍板、及在檢測板相反側被配置於閃爍板上的防濕層，在閃爍板中閃爍器層是由複數柱狀結晶所構成(例如專利文獻1參照)。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2019-060876號公報
[發明所欲解決之問題]
在如上述的放射線檢測器中，伴隨檢測板的大面積化，而要求放射線檢測區域也大面積化。但是，在閃爍板中閃爍器層是由複數柱狀結晶所構成的情況時，雖容易取得高解像度的放射線畫像，但是對於具有潮解性的柱狀結晶，若要確保防濕性及放射線檢測區域的大面積化的話，將閃爍板大面積化是困難的。
本發明的目的是提供一種放射線檢測器、該放射線檢測器的製造方法以及適合那些的閃爍板單元，可以達成放射線檢測區域的大面積化及放射線畫像的高解像度化的兼容。
[用以解決問題之技術手段]
本發明的一態樣的放射線檢測器，是具備：設有受光面的檢測板、及在沿著受光面彼此鄰接的狀態下被配置於受光面上的第1閃爍板及第2閃爍板、及在檢測板相反側被配置於第1閃爍板及第2閃爍板上的防濕層，第1閃爍板，是具有：第1基板、及第1閃爍器層，第1閃爍器層包含形成於第1基板上的複數柱狀結晶，第2閃爍板，是具有：第2基板、及第2閃爍器層，第2閃爍器層包含形成於第2基板上的複數柱狀結晶，第1閃爍板，是在第1閃爍器層是對於第1基板位於受光面側的狀態下，被配置於受光面上，第2閃爍板，是在第2閃爍器層是對於第2基板位於受光面側的狀態下，被配置於受光面上，從第1閃爍器層側觀看的情況時的第1基板的外緣，是包含沿著第2閃爍板延伸的第1部分，第1閃爍器層，是至少到達第1部分，從第2閃爍器層側觀看的情況時的第2基板的外緣，是包含沿著第1閃爍板延伸的第2部分，第2閃爍器層，是至少到達第2部分，防濕層，是橫跨第1閃爍板及第2閃爍板並連續。
本發明的一態樣的放射線檢測器中，第1閃爍板及第2閃爍板，是在沿著檢測板的受光面彼此鄰接的狀態下被配置於檢測板的受光面上。在第1閃爍板及第2閃爍板中，第1閃爍器層，是到達第1基板的外緣之中沿著第2閃爍板延伸的第1部分，第2閃爍器層，是到達第2基板的外緣之中沿著第1閃爍板延伸的第2部分。因此，可由可確實形成複數柱狀結晶的尺寸而構成第1閃爍板及第2閃爍板的各個，且只要藉由第1閃爍板及第2閃爍板就可以獲得一個放射線檢測區域。且，在檢測板相反側被配置於第1閃爍板及第2閃爍板上的防濕層，是橫跨第1閃爍板及第2閃爍板並連續。由此，可以防止水分侵入第1閃爍板及第2閃爍板之間的接觸部分，可以確實地保護具有潮解性的複數柱狀結晶。進一步，在檢測板及第1閃爍板之間及在檢測板及第2閃爍板之間由溫度變化所產生的膨脹收縮差即使產生，仍可以防止第1閃爍板及第2閃爍板之間的接觸部分從檢測板的受光面剝離。藉由以上，依據本發明的一態樣的放射線檢測器的話，可以達成放射線檢測區域的大面積化及放射線畫像的高解像度化的兼容。
本發明的一態樣的放射線檢測器中，第1基板及第2基板，是各別具有可撓性也可以。由此，可以達成將第1閃爍板及第2閃爍板的各個黏著在檢測板的受光面時的作業性的提高。
本發明的一態樣的放射線檢測器，是進一步具備被配置於受光面及第1閃爍板之間及受光面及第2閃爍板之間的黏著層，第1閃爍板及第2閃爍板的各個，是藉由黏著層而被黏著在受光面也可以。由此，可以將第1閃爍板及第2閃爍板的各個確實地配置在檢測板的受光面上。
本發明的一態樣的放射線檢測器中，黏著層，是包含黏接劑或是黏著劑也可以。由此，可以將第1閃爍板及第2閃爍板的各個確實地黏著在檢測板的受光面。
本發明的一態樣的放射線檢測器中，第1閃爍板，是進一步具有將第1基板及第1閃爍器層覆蓋的第1保護層，第2閃爍板，是進一步具有將第2基板及第2閃爍器層覆蓋的第2保護層也可以。由此，可以更確實地保護具有潮解性的複數柱狀結晶。
本發明的一態樣的放射線檢測器中，進一步具備被配置於第1閃爍板及第2閃爍板之間的粒狀螢光體也可以。由此，在第1閃爍板及第2閃爍板之間的接觸部分可以抑制放射線畫像的畫質劣化。
本發明的一態樣的放射線檢測器中，防濕層，是具有：可撓性的本體層、及被配置於本體層上的無機層，防濕層，是在無機層是對於本體層位於第1閃爍板及第2閃爍板側的狀態下，被配置於第1閃爍板及第2閃爍板上也可以。由此，無機層可作為防濕層的功能，並且本體層可作為保護層的功能。
本發明的一態樣的放射線檢測器，是進一步具備密封構件，防濕層的外緣，是到達受光面的周圍的檢測板的表面，密封構件，是在藉由檢測板及防濕層而被劃界的區域被減壓的狀態下，在檢測板的表面將防濕層的外緣密封也可以。由此，不使用黏著層就可以將防濕層密合在第1閃爍板及第2閃爍板。
本發明的一態樣的放射線檢測器的製造方法，是製造上述的放射線檢測器的方法，具備：準備檢測板的過程、及準備第1閃爍板及第2閃爍板的過程、及在受光面上將第1閃爍板及第2閃爍板的各個配置的過程、及在檢測板相反側且在第1閃爍板及第2閃爍板上配置防濕層的過程，在配置防濕層的過程中，防濕層是橫跨第1閃爍板及第2閃爍板並連續。
依據本發明的一態樣的放射線檢測器的製造方法的話，可以容易且確實地獲得上述的放射線檢測器。
本發明的一態樣的放射線檢測器的製造方法中，配置第1閃爍板及第2閃爍板的各個的過程，是在配置防濕層的過程之前被實施也可以。由此，在檢測板相反側且在第1閃爍板及第2閃爍板上配置防濕層時，可以在檢測板以及第1閃爍板及第2閃爍板成為一體的狀態下進行處理。
本發明的一態樣的放射線檢測器的製造方法中，配置防濕層的過程，是在配置第1閃爍板及第2閃爍板的各個的過程之前被實施也可以。由此，在檢測板的受光面上配置各第1閃爍板及第2閃爍板時，可以在第1閃爍板及第2閃爍板以及防濕層成為一體的狀態下進行處理。
本發明的一態樣的閃爍板單元，是具備：防濕層、及在沿著防濕層彼此鄰接的狀態下被配置於防濕層上的第1閃爍板及第2閃爍板，第1閃爍板，是具有：第1基板、及第1閃爍器層，第1閃爍器層包含形成於第1基板上的複數柱狀結晶，第2閃爍板，是具有：第2基板、及第2閃爍器層，第2閃爍器層包含形成於第2基板上的複數柱狀結晶，第1閃爍板，是在第1基板是對於第1閃爍器層位於防濕層側的狀態下，被配置於防濕層上，第2閃爍板，是在第2基板是對於第2閃爍器層位於防濕層側的狀態下，被配置於防濕層上，從第1閃爍器層側觀看的情況時的第1基板的外緣，是包含沿著第2閃爍板延伸的第1部分，第1閃爍器層，是至少到達第1部分，從第2閃爍器層側觀看的情況時的第2基板的外緣，是包含沿著第1閃爍板延伸的第2部分，第2閃爍器層，是至少到達第2部分，防濕層，是橫跨第1閃爍板及第2閃爍板並連續也可以。
依據本發明的一態樣的閃爍板單元的話，可以在第1閃爍板及第2閃爍板以及防濕層成為一體的狀態下進行處理。
本發明的一態樣的閃爍板單元中，第1閃爍板，進一步具有將第1基板及第1閃爍器層覆蓋的第1保護層，第2閃爍板，進一步具有將第2基板及第2閃爍器層覆蓋的第2保護層也可以。由此，可以更確實地保護具有潮解性的複數柱狀結晶。
[發明的效果]
依據本發明的話，成為可提供一種放射線檢測器、該放射線檢測器的製造方法以及適合那些的閃爍板單元，可以達成放射線檢測區域的大面積化及放射線畫像的高解像度化的兼容。
以下，對於本發明的實施方式，參照圖面詳細說明。又，在各圖中對於同一或是相當部分是附加同一符號，並省略重複的說明。
[放射線檢測器的結構]
如圖1所示，放射線檢測器1，是具備：檢測板2、及第1閃爍板10、及第2閃爍板20、及黏著層3、及粒狀螢光體4、及防濕層5、及黏著層6、及密封構件7。在放射線檢測器1中，放射線(例如X線)若入射至第1閃爍板10及第2閃爍板20的話，在第1閃爍板10及第2閃爍板20中會發生閃爍光，該閃爍光是藉由檢測板而被檢測。放射線檢測器1，是作為放射成像裝置，使用在例如，醫療用放射線畫像診斷裝置或是非破壞檢查裝置。
檢測板2，是包含沿著受光面2a被配置的複數光電轉換元件(圖示省略)。各光電轉換元件，是構成畫素，將對應入射的閃爍光的電氣訊號輸出。受光面2a，是被設置在檢測板2的一方的主面。在該主面中，設有將受光面2a包圍的框狀的區域也就是表面2b。檢測板2，是具有可撓性。在檢測板2中設有複數光電轉換元件的基板的材料，是例如，PI(聚醯亞胺)、PET(聚對苯二甲酸乙二醇酯)、PEN(聚乙烯萘)、PP(聚丙烯)、PE(聚酯)或是PMMA (聚甲基異質混凝土)。
第1閃爍板10及第2閃爍板20，是在沿著受光面2a彼此鄰接的狀態下被配置於受光面2a上。第1閃爍板10，是具有：第1基板11、及第1閃爍器層12、及第1保護層13。第2閃爍板20，是具有：第2基板21、及第2閃爍器層22、及第2保護層23。
第1基板11及第2基板21，是各別具有可撓性。第1基板11及第2基板21的各個的材料，是例如，PET、PEN、PI、PP、PE或是PMMA。第1基板11及第2基板21的各個的厚度，是例如，50μm以上250μm以下。又，在第1基板11及第2基板21的各個的表面及背面形成有功能性的膜也可以。該功能性的膜，是例如，易黏膜、防止帶電膜、防濕膜(聚對二甲苯膜)。該功能性的膜，包含各別具有不同功能的複數膜的層疊膜也可以。
第1閃爍器層12，是包含形成於第1基板11上的複數柱狀結晶。第2閃爍器層22，是包含形成於第2基板21上的複數柱狀結晶。複數柱狀結晶，是例如，藉由使閃爍器材料被蒸鍍在第1基板11或是第2基板21上，而形成於第1基板11或是第2基板21上者。第1閃爍器層12及第2閃爍器層22的各個的材料，是例如，CsI:Tl(將鉈作為激活劑包含的碘化銫)、CsI:Na(將鈉作為激活劑包含的碘化銫)、CsI:Ce(將鈰作為激活劑包含的碘化銫)或是CsI:Tl、Eu(將鉈及銪作為激活劑包含的碘化銫)。第1閃爍器層12及第2閃爍器層22的各個的厚度，是例如，100μm以上1000μm以下(較佳是，400μm以上800μm以下)。
第1保護層13，是將第1基板11及第1閃爍器層12覆蓋。第2保護層23，是將第2基板21及第2閃爍器層22覆蓋。第1保護層13及第2保護層23的各個的材料，是例如，聚對二甲苯(聚對二甲苯)。第1保護層13及第2保護層23的各個的厚度，是例如，0.5μm以上20μm以下。
第1閃爍板10，是在第1閃爍器層12是對於第1基板11位於受光面2a側的狀態下，被配置於受光面2a上。第1閃爍板10，是從第1基板11的厚度方向觀看的情況時，成為一邊的長度是300mm以上的矩形狀。第2閃爍板20，是在第2閃爍器層22是對於第2基板21位於受光面2a側的狀態下，被配置於受光面2a上。第2閃爍板20，是從第2基板21的厚度方向觀看的情況時，成為一邊的長度是300 mm以上的矩形狀。
從第1閃爍器層12側觀看的情況時的第1基板11的外緣11a，是包含沿著第2閃爍板20延伸的第1部分11b。第1閃爍器層12，是到達第1部分11b。在本實施方式中，第1閃爍器層12，是到達外緣11a的全部分。從第2閃爍器層22側觀看的情況時的第2基板21的外緣21a，是包含沿著第1閃爍板10延伸的第2部分21b。第2閃爍器層22，是到達第2部分21b。在本實施方式中，第2閃爍器層22，是到達外緣21a的全部分。第1基板11的外緣11a的第1部分11b及第2基板21的外緣21a的第2部分21b，是相面對。
又，第1基板11及第1閃爍器層12，是在包含相當於複數第1基板11的部分的基板上，形成了包含相當於複數第1閃爍器層12的部分的閃爍器層之後，藉由使該基板及該閃爍器層被切斷，而獲得者。第2基板21及第2閃爍器層22，是在包含相當於複數第2基板21的部分的基板上，形成了包含相當於複數第2閃爍器層22的部分的閃爍器層之後，藉由使該基板及該閃爍器層被切斷，而獲得者。第1基板11及第1閃爍器層12，是在包含相當於一片第1基板11的部分的基板上，形成了包含相當於一層第1閃爍器層12的部分的閃爍器層之後，藉由使該基板及該閃爍器層被切出，而獲得者也可以。第2基板21及第2閃爍器層22，是在包含相當於一片第2基板21的部分的基板上，形成了包含相當於一層第2閃爍器層22的部分的閃爍器層之後，藉由使該基板及該閃爍器層被切出，而獲得者也可以。
由第1閃爍板10中的檢測板2側(對於第1基板11位於第1閃爍器層12側)的表面10a及第1閃爍板10中的第2閃爍板20側的側面10b所形成的第1角度θ1，是45度以上且未滿90度。在本實施方式中，表面10a及第1閃爍板10的全側面是成為45度以上且未滿90度的角度。由第2閃爍板20中的檢測板2側(對於第2基板21位於第2閃爍器層22側)的表面20a及第2閃爍板20中的第1閃爍板10側的側面20b所形成的第2角度θ2，是45度以上且未滿90度。在本實施方式中，表面20a及第2閃爍板20的全側面是成為45度以上且未滿90度的角度。藉由表面10a及側面10b而形成的第1閃爍板10的角部，是與藉由表面20a及側面20b而形成的第2閃爍板20的角部接觸。
黏著層3，是被配置於受光面2a及第1閃爍板10之間及受光面2a及第2閃爍板20之間。第1閃爍板10，是在第1閃爍器層12是對於第1基板11位於受光面2a側的狀態下，藉由黏著層3而被黏著在受光面2a。第2閃爍板20，是在第2閃爍器層22是對於第2基板21位於受光面2a側的狀態下，藉由黏著層3而被黏著在受光面2a。黏著層3，是橫跨第1閃爍板10及第2閃爍板20並連續。即，黏著層3，沒有與第1閃爍板10及第2閃爍板20分離，而是一體形成。
黏著層3，是黏接劑或是黏著劑。黏接劑，是指在黏著後不會硬化者的意思。黏著劑，是指在黏著後會硬化者的意思。黏著層3的材料，是例如，光透過性的有機材料(例如OCA(Optical Clear Adhesive))。黏著層3的厚度，是例如，0.1μm以上100μm以下(較佳是，25μm以下)。
粒狀螢光體4，是被配置於第1閃爍板10及第2閃爍板20之間。更具體而言，粒狀螢光體4，是被配置於由第1閃爍板10的側面10b及第2閃爍板20的側面20b所形成的剖面V字狀的溝內。粒狀螢光體4的材料，是例如，GOS (酸硫化釓)。
防濕層5，是在檢測板2上覆蓋第1閃爍板10及第2閃爍板20。防濕層5，是在檢測板2相反側被配置於第1閃爍板10及第2閃爍板20上，橫跨第1閃爍板10及第2閃爍板20並連續。防濕層5的外緣5a，是到達檢測板2的表面2b(受光面2a的周圍的表面)。
防濕層5，是具有：本體層51、及無機層52。本體層51，是具有可撓性。無機層52，是被配置於本體層51上。無機層52，是例如，藉由被黏著在本體層51，而與本體層51一體化。防濕層5，是在無機層52是對於本體層51位於第1閃爍板10及第2閃爍板20側的狀態下，被配置於第1閃爍板10及第2閃爍板20上。
本體層51的材料，是例如，PET、PEN、PI、PP、PE或是PMMA。本體層51的厚度，是例如，50μm以上250μm以下。無機層52的材料，是例如，Al(鋁)、Cu (銅)、Ti(鈦)、Fe(鐵)或是SUS(不銹鋼)。無機層52的厚度，是例如，10μm以上100μm以下。
黏著層6，是被配置於：第1閃爍板10及防濕層5之間、第2閃爍板20及防濕層5之間、及檢測板2的表面2b及防濕層5之間。防濕層5，是被黏著在第1閃爍板10、第2閃爍板20、及檢測板2的表面2b。黏著層6，是黏接劑或是黏著劑。黏著層6的厚度，是例如，0.1μm以上100μm以下(較佳是，25μm以下)。
密封構件7，是在檢測板2的表面2b將防濕層5的外緣5a密封。密封構件7，是沿著外緣5a呈框狀延伸。密封構件7的材料，是例如，環氧、矽、氟、尿烷或是丙烯酸。密封構件7的材料，包含由玻璃等的無機材料所構成的充填材也可以。充填材的材料的防濕性，是比密封構件7的主要的材料的防濕性更高即可，例如，SiO
2(二氧化矽)、Al
2O
3(氧化鋁)或是TiO
2(氧化鈦)。
如以上說明，在放射線檢測器1中，第1閃爍板10及第2閃爍板20，是在沿著檢測板2的受光面2a彼此鄰接的狀態下被配置於檢測板2的受光面2a上。在第1閃爍板10及第2閃爍板20中，第1閃爍器層12，是到達第1基板11的外緣11a之中沿著第2閃爍板20延伸的第1部分11b，第2閃爍器層22，是到達第2基板21的外緣21a之中沿著第1閃爍板10延伸的第2部分21b。因此，可由可確實形成複數柱狀結晶的尺寸而構成第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個，且藉由第1閃爍板10及第2閃爍板20而可以獲得一個放射線檢測區域。且，在檢測板2相反側被配置於第1閃爍板10及第2閃爍板20上的防濕層5，是橫跨第1閃爍板10及第2閃爍板20並連續。由此，可以防止水分侵入第1閃爍板10及第2閃爍板20之間的接觸部分，可以確實地保護具有潮解性的複數柱狀結晶。進一步，在檢測板2及第1閃爍板10之間及檢測板2及第2閃爍板20之間由溫度變化所產生的膨脹收縮差即使產生，仍可以防止第1閃爍板10及第2閃爍板20之間的接觸部分從受光面2a剝離。藉由以上，依據放射線檢測器1的話，可以達成放射線檢測區域的大面積化及放射線畫像的高解像度化的兼容。
在放射線檢測器1中，第1基板11及第2基板21是各別具有可撓性。由此，可以達成將第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個黏著在受光面2a時的作業性的提高。
在放射線檢測器1中，在受光面2a及第1閃爍板10之間及受光面2a及第2閃爍板20之間配置有黏著層3，第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個，是藉由黏著層3而被黏著在受光面2a。由此，可以將第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個確實地配置在受光面2a上。
在放射線檢測器1中，黏著層3是包含黏接劑或是黏著劑。由此，可以將第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個確實地黏著在受光面2a。
在放射線檢測器1中，第1閃爍板10，是具有將第1基板11及第1閃爍器層12覆蓋的第1保護層13，第2閃爍板20，是具有將第2基板21及第2閃爍器層22覆蓋的第2保護層23。由此，可以更確實地保護具有潮解性的複數柱狀結晶。
在放射線檢測器1中，在第1閃爍板10及第2閃爍板20之間配置有粒狀螢光體4。由此，在第1閃爍板10及第2閃爍板20之間的接觸部分，可以抑制放射線畫像的畫質劣化。
在放射線檢測器1中，防濕層5，是具有：可撓性的本體層51、及被配置於本體層51上的無機層52，防濕層5，是在無機層52是對於本體層51位於第1閃爍板10及第2閃爍板20側的狀態下，被配置於第1閃爍板10及第2閃爍板20上。由此，可以將無機層52作為防濕層5的功能，並且可以將本體層51作為保護層的功能。
在放射線檢測器1中，被配置於受光面2a及第1閃爍板10之間及受光面2a及第2閃爍板20之間的黏著層3，是橫跨第1閃爍板10及第2閃爍板20並連續。由此，可以防止第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個從受光面2a剝離。
在放射線檢測器1中，第1閃爍板10，從第1基板11的厚度方向觀看的情況時，是成為一邊的長度是300mm以上的矩形狀，第2閃爍板20，從第2基板21的厚度方向觀看的情況時，是成為一邊的長度是300mm以上的矩形狀。由此，可以容易且確實地將放射線檢測區域大面積化。
在放射線檢測器1中，由第1閃爍板10中的檢測板2側的表面10a及第1閃爍板10中的第2閃爍板20側的側面10b所形成的第1角度θ1是90度以下，由第2閃爍板20中的檢測板2側的表面20a及第2閃爍板20中的第1閃爍板10側的側面20b所形成的第2角度θ2是90度以下。由此，可以防止由第1閃爍板10及第2閃爍板20之間的接觸部分中的空氣的熱膨脹所起因而使該接觸部分是從受光面2a剝離。進一步，因為第1閃爍器層12及第2閃爍器層22之間可彼此接近，所以可以抑制放射線畫像的畫質在第1閃爍板10及第2閃爍板20之間的接觸部分中劣化。
在放射線檢測器1中，第1角度θ1及第2角度θ2各別是45度以上且未滿90度。由此，可以更確實地防止由第1閃爍板10及第2閃爍板20之間的接觸部分中的空氣的熱膨脹所起因而使該接觸部分從受光面2a剝離。
在放射線檢測器1中，第1角度θ1及第2角度θ2是各別未滿90度，檢測板2是具有可撓性。由此，可以對應放射線檢測器1的設置環境等將放射線檢測器1的整體撓曲。進一步，對於第1閃爍板10及第2閃爍板20檢測板2是以成為外側的方式將放射線檢測器1的整體撓曲的情況時，可以防止第1閃爍板10及第2閃爍板20彼此物理地相互干涉。
其中一例，如圖4所示，可以將放射線檢測器1的整體撓曲，使第1閃爍板10及第2閃爍板20沿著圓柱面S配置。此時，因為第1角度θ1及第2角度θ2是各別未滿90度，所以可以防止第1閃爍板10及第2閃爍板20彼此物理地相互干涉。又，如圖4所示的放射線檢測器1，雖不具備：粒狀螢光體4、及防濕層5、及黏著層6、及密封構件7，但是依據需要具備那些也可以。
[閃爍板單元的結構]
如圖2所示，閃爍板單元100，是具備：第1閃爍板10、及第2閃爍板20、及黏著層3、及剝離薄片8。閃爍板單元100，是例如，在將上述的放射線檢測器1製造時使用。
第1閃爍板10及第2閃爍板20，是在沿著黏著層3彼此鄰接的狀態下，被配置於作為支撐層的黏著層3上。黏著層3，是橫跨第1閃爍板10及第2閃爍板20並連續。剝離薄片8，是從第1閃爍板10及第2閃爍板20相反側將黏著層3覆蓋。黏著層3對於剝離薄片8的表面8a的黏著力，是比黏著層3對於第1閃爍板10及第2閃爍板20的黏著力更低。又，在閃爍板單元100中，黏著層3，是黏接層。
第1閃爍板10，是在第1閃爍器層12是對於第1基板11位於黏著層3側的狀態下，被配置於黏著層3上。第2閃爍板20，是在第2閃爍器層22是對於第2基板21位於黏著層3側的狀態下，被配置於黏著層3上。即，閃爍板單元100中將第1閃爍板10及第2閃爍板20配置於黏著層3上的配置方式，是與上述的放射線檢測器1中將第1閃爍板10及第2閃爍板20配置於黏著層3的方式同樣。
依據以上的閃爍板單元100的話，可以在第1閃爍板10及第2閃爍板20以及黏著層3成為一體的狀態下進行處理。
在閃爍板單元100中，第1閃爍板10，是具有將第1基板11及第1閃爍器層12覆蓋的第1保護層13，第2閃爍板20，是具有將第2基板21及第2閃爍器層22覆蓋的第2保護層23。由此，可以保護具有潮解性的複數柱狀結晶。
[放射線檢測器的製造方法]
說明製造上述的放射線檢測器1用的方法。在本實施方式中，使用上述的閃爍板單元100。
首先，準備檢測板2(準備檢測板2的過程)。接著，在如圖2所示的閃爍板單元100的狀態下，準備第1閃爍板10及第2閃爍板20(準備第1閃爍板10及第2閃爍板20的過程)。在準備第1閃爍板10及第2閃爍板20的過程中，第1角度θ1及第2角度θ2各別是45度以上且未滿90度(圖1參照)。又，對於準備檢測板2的過程以及準備第1閃爍板10及第2閃爍板20的過程，其中任一的過程是先被實施也可以，雙方的過程是同時被實施也可以。
接著，使剝離薄片8從閃爍板單元100的黏著層3被剝離，如圖3所示，第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個是藉由黏著層3而被黏著在受光面2a(黏著的過程)。即，將第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個配置於受光面2a上(各別配置第1閃爍板10及第2閃爍板20的過程)。在黏著的過程中，黏著層3是橫跨第1閃爍板10及第2閃爍板20並連續。在黏著的過程中，在第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個被黏著在受光面2a之前，先在第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個配置黏著層3。
在黏著的過程中，第1基板11及第2基板21因為是各別具有可撓性，所以可以一邊將第1閃爍板10及第2閃爍板20撓曲，一邊將第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個從一方側漸漸地黏著在受光面2a。此時，藉由表面20a及側面20b而形成的第2閃爍板20的角部，可以確實地接觸藉由表面10a及側面10b而形成的第1閃爍板10的角部。
接著，如圖1所示，在檢測板2上，第1閃爍板10及第2閃爍板20是被防濕層5覆蓋。即，在檢測板2相反側且在第1閃爍板10及第2閃爍板20上配置防濕層5(配置防濕層5的過程)。在配置防濕層5的過程中，防濕層5是橫跨第1閃爍板10及第2閃爍板20並連續。接著，在檢測板2的表面2b中，防濕層5的外緣5a是藉由密封構件7而被密封之後，就可獲得放射線檢測器1。在本實施方式中，將第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個配置的過程，是在配置防濕層5的過程之前被實施。
依據以上的放射線檢測器1的製造方法的話，可以容易且確實地獲得上述的放射線檢測器1。
在放射線檢測器1的製造方法中，在黏著的過程中，在第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個被黏著在受光面2a之前，先在第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個配置黏著層3。由此，可以在第1閃爍板10及第2閃爍板20以及黏著層3成為一體的狀態下進行處理。
在放射線檢測器1的製造方法中，將第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個配置的過程，是在配置防濕層5的過程之前被實施。由此，在檢測板2相反側且在第1閃爍板10及第2閃爍板20上配置防濕層5時，可以在檢測板2以及第1閃爍板10及第2閃爍板20成為一體的狀態下進行處理。
[變形例]
本發明，不限定於上述的實施方式。在放射線檢測器1中，如圖5(a)所示，第1角度θ1及第2角度θ2各別是90度也可以。或是在放射線檢測器1中，如圖5(b)所示，第1角度θ1及第2角度θ2是各別超越90度也可以。在該情況中，在第1閃爍板10的側面10b及第2閃爍板20的側面20b之間，配置粒狀螢光體4也可以。如此第1角度θ1及第2角度θ2各別是90度以上也可以，其在上述的閃爍板單元100、及放射線檢測器1的製造方法中也同樣。
如圖6所示，閃爍板單元100，具備：作為支撐層的防濕層5、及在沿著防濕層5彼此鄰接的狀態下被配置於防濕層5上的第1閃爍板10及第2閃爍板20也可以。如圖6所示的閃爍板單元100的結構，是如以下。即，防濕層5，是橫跨第1閃爍板10及第2閃爍板20並連續。第1閃爍板10，是在第1基板11是對於第1閃爍器層12位於防濕層5側的狀態下，被配置於防濕層5上。第2閃爍板20，是在第2基板21是對於第2閃爍器層22位於防濕層5側的狀態下，被配置於防濕層5上。
在如圖6所示的閃爍板單元100中，防濕層5是將第1閃爍板10及第2閃爍板20覆蓋，在第1閃爍板10及防濕層5之間及第2閃爍板20及防濕層5之間配置有黏著層6。進一步，在第1閃爍板10及剝離薄片8之間及第2閃爍板20及剝離薄片8之間配置有黏著層3，在防濕層5的外緣5a及剝離薄片8之間配置有黏著層6。黏著層3及黏著層6，各別是黏接層。黏著層3對於剝離薄片8的表面8a的黏著力，是比黏著層3對於第1閃爍板10及第2閃爍板20的黏著力更低。黏著層6對於剝離薄片8的表面8a的黏著力，是比對於防濕層5的外緣5a的黏著層6的黏著力更低。依據如圖6所示的閃爍板單元100的話，可以在第1閃爍板10及第2閃爍板20以及防濕層5成為一體的狀態下進行處理。又，如圖6所示的閃爍板單元100，不具備：黏著層3、及被配置於黏著層6之中外緣5a上的部分、及剝離薄片8也可以。
如圖7所示，在放射線檢測器1中，防濕層5的外緣，是位於第1閃爍板10及第2閃爍板20上也可以，密封構件7，是在檢測板2的表面2b上，將第1閃爍板10及第2閃爍板20的外側的側面、以及防濕層5的外側的側面密封也可以。
如圖8所示，在閃爍板單元100中，防濕層5的外緣，是位於第1閃爍板10及第2閃爍板20上也可以。又，如圖8所示的閃爍板單元100，不具備：黏著層3、及剝離薄片8也可以。
在放射線檢測器1及閃爍板單元100中，第1基板11及第2基板21皆沒有可撓性也可以。該情況，第1基板11及第2基板21的各個的材料，是例如，CFRP(碳纖維強化塑膠)、a-C(非晶碳)、Al、Cu或是玻璃也可以。在第1基板11及第2基板21的各個的材料是金屬的情況中，在第1基板11及第2基板21的各個的表面及背面，形成功能性的膜(聚對二甲苯膜等)，作為例如耐腐蝕塗層也可以。該功能性的膜，包含各別具有不同功能的複數膜的層疊膜也可以。其中一例，在第1基板11及第2基板21的各個的材料是Al的情況中，在第1基板11及第2基板21的各個的表面及背面，形成耐酸鋁(陽極氧化鋁)膜及聚對二甲苯膜也可以。在放射線檢測器1及閃爍板單元100中，第1基板11及第2基板21，是各別包含複數基板(例如CFRP基板及PET基板)的層疊基板也可以。
在放射線檢測器1及閃爍板單元100中，第1閃爍器層12，是到達第1基板11的外緣11a之中的至少第1部分11b即可。同樣地，第2閃爍器層22，是到達第2基板21的外緣11a之中至少第2部分21b即可。在放射線檢測器1及閃爍板單元100中，第1基板11及第1閃爍器層12，不限定於藉由切斷或切出而獲得者，第1閃爍器層12到達第1基板11的側面也可以。同樣地，第2基板21及第2閃爍器層22，不限定於藉由切斷或切出而獲得者，第2閃爍器層22到達第2基板21的側面也可以。
在放射線檢測器1中，檢測板2沒有可撓性也可以。該情況，在檢測板2中設有複數光電轉換元件的基板的材料，是例如，a-Si(非晶矽)、Si(矽)或是玻璃(例如無鹼玻璃)。在放射線檢測器1中，防濕層5的外緣5a，是到達受光面2a的周圍的檢測板2的表面2b，密封構件7，是在藉由檢測板2及防濕層5而被劃界的區域被減壓的狀態下，在檢測板2的表面2b將防濕層5的外緣5a密封也可以。該情況，不使用黏著層3就可以將防濕層5密合在第1閃爍板10及第2閃爍板20。在放射線檢測器1中，形成於帽型的防濕層5，是在檢測板2中被第1閃爍板10及第2閃爍板20覆蓋，密封構件7，在檢測板2的表面2b將防濕層5的外緣5a密封也可以。
放射線檢測器1及閃爍板單元100，不具備第1保護層13及第2保護層23也可以。
在放射線檢測器1的製造方法中，在黏著的過程中，在第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個被黏著在受光面2a之前，先在受光面2a配置黏著層3也可以。該情況，可以對於第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個進行各處理。在放射線檢測器1的製造方法中，將防濕層5配置的過程，是在配置第1閃爍板10及第2閃爍板20的各個的過程之前被實施也可以。該情況，在受光面2a上各別配置第1閃爍板10及第2閃爍板20時，可以在第1閃爍板10及第2閃爍板20以及防濕層5成為一體的狀態下進行處理。
上述的放射線檢測器1、閃爍板單元100、及放射線檢測器1的製造方法的全部的實施方式及變形例等，是作為呈一次元或是二次元配置的複數閃爍板，具備第1閃爍板10及第2閃爍板20即可。例如，三片閃爍板是呈一次元配置的情況時，任意的「相鄰接的二片閃爍板」可以視為第1閃爍板10及第2閃爍板20。且，四片閃爍板是呈二次元配置的情況時，任意的「相鄰接的二片閃爍板」可以視為第1閃爍板10及第2閃爍板20。
1:放射線檢測器
2:檢測板
2a:受光面
2b:表面
3:黏著層
4:粒狀螢光體
5:防濕層
5a:外緣
6:黏著層
7:密封構件
8:剝離薄片
8a:表面
10:第1閃爍板
10a:表面
10b:側面
11:第1基板
11a:外緣
11b:第1部分
12:第1閃爍器層
13:第1保護層
20:第2閃爍板
20a:表面
20b:側面
21:第2基板
21a:外緣
21b:第2部分
22:第2閃爍器層
23:第2保護層
51:本體層
52:無機層
100:閃爍板單元
[圖1]一實施方式的放射線檢測器的剖面圖。
[圖2]一實施方式的閃爍板單元的剖面圖。
[圖3]一實施方式的放射線檢測器的製造方法的一過程中的放射線檢測器的剖面圖。
[圖4]變形例的放射線檢測器的剖面圖。
[圖5]變形例的放射線檢測器的一部分的剖面圖。
[圖6]變形例的閃爍板單元的剖面圖。
[圖7]變形例的放射線檢測器的剖面圖。
[圖8]變形例的閃爍板單元的剖面圖。
1:放射線檢測器
2:檢測板
2a:受光面
2b:表面
3:黏著層
4:粒狀螢光體
5:防濕層
5a:外緣
6:黏著層
7:密封構件
10:第1閃爍板
10a:表面
10b:側面
11:第1基板
11a:外緣
11b:第1部分
12:第1閃爍器層
13:第1保護層
20:第2閃爍板
20a:表面
20b:側面
21:第2基板
21a:外緣
21b:第2部分
22:第2閃爍器層
23:第2保護層
51:本體層
52:無機層
θ1:第1角度
θ2:第2角度
Claims (13)
- 一種放射線檢測器，具備： 設有受光面的檢測板、及 在沿著前述受光面彼此鄰接的狀態下被配置於前述受光面上的第1閃爍板及第2閃爍板、及 在前述檢測板相反側被配置於前述第1閃爍板及前述第2閃爍板上的防濕層， 前述第1閃爍板，是具有：第1基板、及第1閃爍器層，前述第1閃爍器層包含形成於前述第1基板上的複數柱狀結晶， 前述第2閃爍板，是具有：第2基板、及第2閃爍器層，前述第2閃爍器層包含形成於前述第2基板上的複數柱狀結晶， 前述第1閃爍板，是在前述第1閃爍器層是對於前述第1基板位於前述受光面側的狀態下，被配置於前述受光面上， 前述第2閃爍板，是在前述第2閃爍器層是對於前述第2基板位於前述受光面側的狀態下，被配置於前述受光面上， 從前述第1閃爍器層側觀看的情況時的前述第1基板的外緣，是包含沿著前述第2閃爍板延伸的第1部分，前述第1閃爍器層，是至少到達前述第1部分， 從前述第2閃爍器層側觀看的情況時的前述第2基板的外緣，是包含沿著前述第1閃爍板延伸的第2部分，前述第2閃爍器層，是至少到達前述第2部分， 前述防濕層，是橫跨前述第1閃爍板及前述第2閃爍板並連續。
- 如請求項1的放射線檢測器，其中， 前述第1基板及前述第2基板，是各別具有可撓性。
- 如請求項1或2的放射線檢測器，其中， 進一步具備被配置於前述受光面及前述第1閃爍板之間及前述受光面及前述第2閃爍板之間的黏著層， 前述第1閃爍板及前述第2閃爍板的各個，是藉由前述黏著層而被黏著在前述受光面。
- 如請求項3的放射線檢測器，其中， 前述黏著層，是包含黏接劑或是黏著劑。
- 如請求項1至4中任一項的放射線檢測器，其中， 前述第1閃爍板，是進一步具有將前述第1基板及前述第1閃爍器層覆蓋的第1保護層， 前述第2閃爍板，是進一步具有將前述第2基板及前述第2閃爍器層覆蓋的第2保護層。
- 如請求項1至5中任一項的放射線檢測器，其中， 進一步具備被配置於前述第1閃爍板及前述第2閃爍板之間的粒狀螢光體。
- 如請求項1至6中任一項的放射線檢測器，其中， 前述防濕層，具有： 可撓性的本體層、及 被配置於前述本體層上的無機層， 前述防濕層，是在前述無機層是對於前述本體層位於前述第1閃爍板及前述第2閃爍板側的狀態下，被配置於前述第1閃爍板及前述第2閃爍板上。
- 如請求項1至7中任一項的放射線檢測器，其中， 進一步具備密封構件， 前述防濕層的外緣，是到達前述受光面的周圍的前述檢測板的表面， 前述密封構件，是在藉由前述檢測板及前述防濕層而被劃界的區域被減壓的狀態下，在前述檢測板的前述表面將前述防濕層的前述外緣密封。
- 一種放射線檢測器的製造方法， 是製造如請求項1至8中任一項的放射線檢測器的方法，具備： 準備前述檢測板的過程、及 準備前述第1閃爍板及前述第2閃爍板的過程、及 在前述受光面上各別配置前述第1閃爍板及前述第2閃爍板的過程、及 在前述檢測板相反側且在前述第1閃爍板及前述第2閃爍板上配置防濕層的過程， 在配置前述防濕層的過程中，前述防濕層是橫跨前述第1閃爍板及前述第2閃爍板並連續。
- 如請求項9的放射線檢測器的製造方法，其中， 各別配置前述第1閃爍板及前述第2閃爍板的過程，是在配置前述防濕層的過程之前被實施。
- 如請求項9的放射線檢測器的製造方法，其中， 將前述防濕層配置的過程，是在各別配置前述第1閃爍板及前述第2閃爍板的過程之前被實施。
- 一種閃爍板單元，具備： 防濕層、及 在沿著前述防濕層彼此鄰接的狀態下被配置於前述防濕層上的第1閃爍板及第2閃爍板， 前述第1閃爍板，是具有：第1基板、及第1閃爍器層，前述第1閃爍器層包含形成於前述第1基板上的複數柱狀結晶， 前述第2閃爍板，是具有：第2基板、及第2閃爍器層，前述第2閃爍器層包含形成於前述第2基板上的複數柱狀結晶， 前述第1閃爍板，是在前述第1基板是對於前述第1閃爍器層位於前述防濕層側的狀態下，被配置於前述防濕層上， 前述第2閃爍板，是在前述第2基板是對於前述第2閃爍器層位於前述防濕層側的狀態下，被配置於前述防濕層上， 從前述第1閃爍器層側觀看的情況時的前述第1基板的外緣，是包含沿著前述第2閃爍板延伸的第1部分，前述第1閃爍器層，是至少到達前述第1部分， 從前述第2閃爍器層側觀看的情況時的前述第2基板的外緣，是包含沿著前述第1閃爍板延伸的第2部分，前述第2閃爍器層，是至少到達前述第2部分， 前述防濕層，是橫跨前述第1閃爍板及前述第2閃爍板並連續。
- 如請求項12的閃爍板單元，其中， 前述第1閃爍板，是進一步具有將前述第1基板及前述第1閃爍器層覆蓋的第1保護層， 前述第2閃爍板，是進一步具有將前述第2基板及前述第2閃爍器層覆蓋的第2保護層。
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